JPH08122510A - 回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法 - Google Patents
回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH08122510A JPH08122510A JP25667994A JP25667994A JPH08122510A JP H08122510 A JPH08122510 A JP H08122510A JP 25667994 A JP25667994 A JP 25667994A JP 25667994 A JP25667994 A JP 25667994A JP H08122510 A JPH08122510 A JP H08122510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- diffraction grating
- area
- diffraction
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Printing Methods (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
部において回折効率が低下するのを防止する。 【構成】 絵柄AとBの部分Cでの重畳体を電子線描
画、レーザ描画等の描画により形成する場合、絵柄Aの
非多重化領域A1 、A2 、絵柄Bの非多重化領域B1 、
B2 、それに多重化領域Cに分け、同一基板上に、まず
非多重化領域A1 、A2 に横方向の回折格子溝列を描画
し、次いで、非多重化領域B1 、B2 に縦方向の回折格
子溝列を描画し、最後に、多重化領域Cに、描画する回
折格子の交差部を1回だけ露光し多重露光しないように
するため、これら2つの回折格子溝列の多重化溝列であ
る碁盤の目状の交差回折格子溝列を1回の露光で描画す
る。
Description
体及びその製造方法に関し、特に、多重記録部において
回折効率の低下を防止した回折格子を用いた絵柄体及び
その製造方法に関する。
字、画像等の絵柄を構成することは、透明回折格子ラベ
ルとして、本出願人が国際公開番号WO91/0338
0及び特願平4−90923号において提案している。
また、回折格子集合体の輪郭によって視点の移動に伴っ
て回折光が滑らかに動く絵柄を構成することも、本出願
人が特願平4−220022号、同4−220074
号、同4−223966号等において提案している。
用いた絵柄体において、複数の絵柄を照明方向、観察方
向等の切り換えにより選択的に見えるようにするため、
各絵柄に対して溝方向の異なる回折格子を対応させ、そ
れらの絵柄領域の全部又は一部を重ね合わせて記録する
いわゆる多重化を行う場合、多重化領域の回折効率が非
多重化領域に比べて低下し、1つの絵柄内に輝度ムラが
生じてしまうという問題がある。
して作製する場合、従来は、図7に模式的に示すよう
に、1つの絵柄A(横長の長方形)を表す回折格子の溝
aともう1つの絵柄B(縦長の長方形)を表す別の回折
格子の溝bとを順番に連続して一部の領域Cで重ね合わ
せて描画している。矢印は描画方向を示すものとする。
その場合、多重化領域Cは、図8(a)に示すように、
多重化する2つの回折格子の溝a、bの交差部は、設計
上できるだけ角張った十字状であることが必要である
が、上記のように順番に連続して重ね合わせて描画する
と、この交差部で二重露光になるため、図8(b)に示
すように、溝で囲まれる島部分の角がなくなり丸味を帯
び、かつ、その面積が設計値より小さくなる。そのた
め、それぞれの絵柄を表す回折格子の回折効率がこの部
分Cで非多重化領域に比べて低下してしまう。具体例と
して、溝とその間のスペースの幅の比が1:1で溝幅が
0.5μmの場合、回折効率の多重化領域と非多重化領
域の比が1:12になってしまう。この比はスペースの
幅の割合がさらに小さくなると、溝で囲まれる島部分の
面積がより急速に小さくなるので、さらに小さくなる。
鑑みてなされたものであり、その目的は、輪郭によって
絵柄を表す回折格子の多重記録部において回折効率が低
下するのを防止するようにした絵柄体とその製造方法を
提供することである。
明の回折格子を用いた絵柄体は、複数の絵柄を少なくと
も一部の領域で相互に重畳して配置し、各絵柄に対して
格子の向きが相互に異なる回折格子を対応させ、その回
折格子領域の輪郭によって各絵柄を表した回折格子を用
いた絵柄体において、各絵柄の多重化領域、非多重化領
域のそれぞれの回折格子部分が多重露光により形成され
ていないことを特徴とするものである。
折格子により囲まれる部分の形状が多角形からなり、そ
の多角形の対向する辺間の距離が非多重化領域の回折格
子の格子間の距離にほぼ等しいことが望ましい。
つのものは、複数の絵柄を少なくとも一部の領域で相互
に重畳して配置し、各絵柄に対して格子の向きが相互に
異なる回折格子を対応させ、その回折格子領域の輪郭に
よって各絵柄を表した回折格子を用いた絵柄体におい
て、各絵柄に対応する回折格子が破線列からなることを
特徴とするものである。
製造方法は、複数の絵柄を少なくとも一部の領域で相互
に重畳して配置し、各絵柄に対して格子の向きが相互に
異なる回折格子を対応させ、その回折格子領域の輪郭に
よって各絵柄を表した回折格子を用いた絵柄体の製造方
法において、絵柄の描画時に、多重化領域に描画する回
折格子の交差部を1回だけ露光し、多重露光しないよう
にしたことを特徴とする方法である。
領域とに分け、非多重化領域には、対応する絵柄に対応
する回折格子を別々に描画し、多重化領域には、多重化
される絵柄に対応する回折格子を重ね合わせて表される
模様を別に描画するようにしてもよく、また、第1の絵
柄全領域にそれに対応する第1の回折格子を描画し、第
2の絵柄に対応する第2の回折格子を第1の絵柄と重な
らない領域に描画すると共に、第1の絵柄と重なる領域
においては、第1の回折格子と重ならないように、飛び
飛びの破線列として描画し、第3の絵柄に対応する第3
の回折格子を第1及び第2の絵柄と重ならない領域に描
画すると共に、第1の絵柄又は第2の絵柄の少なくとも
一方と重なる領域においては、第1の回折格子又は第2
の回折格子の少なくとも一方と重ならないように、飛び
飛びの破線列として描画し、第4以降の絵柄についても
同様に繰り返すようにしてもよい。
製造方法のもう1つの方法は、複数の絵柄を少なくとも
一部の領域で相互に重畳して配置し、各絵柄に対して格
子の向きが相互に異なる回折格子を対応させ、その回折
格子領域の輪郭によって各絵柄を表した回折格子を用い
た絵柄体の製造方法において、絵柄の描画時に、各絵柄
に対応する回折格子を破線列で描画することを特徴とす
る方法である。
回折格子の交差部を1回だけ露光し、多重露光しないよ
うにするか、少なくとも多重化領域において回折格子溝
相互が重畳して交差しないように、回折格子を破線溝列
から構成するので、多重化領域において、回折格子で囲
まれる島部分が丸味を帯びかつ面積が小さくなることが
なく、その多重化領域の回折効率が非多重化領域に比べ
て低下することは起きない。したがって、各絵柄内に輝
度ムラが生じない。
用いた絵柄体及びその製造方法の実施例について説明す
る。本発明の基本の第1は、回折格子を用いた絵柄体の
多重記録部において回折効率が低下するのを防止するた
めに、絵柄の描画時に、描画する回折格子溝の交差部を
1回だけ露光し、多重露光しないようにすることであ
る。本発明の基本の第2は、回折格子を連続線溝列から
構成するのではなく、少なくとも多重記録領域において
回折格子溝相互が交差しないように、回折格子を破線溝
列から構成するようにすることである。
方形の絵柄Bを領域Cで重ね合わせて絵柄体を構成する
場合の模式図であり、照明方向又は観察方向を切り換え
て、絵柄A又はBが選択的に見えるようにするため、絵
柄Aは、例えば横方向に平行に伸びる回折格子溝列aの
輪郭によって表すものとし、絵柄Bは、例えば縦方向に
平行に伸びる回折格子溝列bの輪郭によって表すものと
する(図7参照)。
画等によりレジストを塗布した基板上に描画により形成
する場合、絵柄Aの非多重化領域A1 、A2 、絵柄Bの
非多重化領域B1 、B2 、それに多重化領域Cに分け、
同一基板上に、図2(a)〜(c)に示すように、例え
ば、まず非多重化領域A1 、A2 に横方向の回折格子溝
列aを描画し(同図(a))、次いで、非多重化領域B
1 、B2 の回折格子溝列bを描画し(同図(b))、最
後に、多重化領域Cに回折格子溝列a、bの多重化溝列
である碁盤の目状の交差回折格子溝列cを描画する。交
差回折格子溝列cの描画方法には種々の方法があるが、
例えば横方向の溝列をまず描き、縦方向の溝列を交差部
で二重露光にならないように飛び飛びに描く方法等があ
るが、その他の何れの方法でもよい。描画後、レジスト
を現像して、開口の開いたレジストをマスクとして基板
をエッチングすることにより回折格子を用いた絵柄体の
原版が完成する。その原版をプラスチックシート等に複
製することにより、図1の絵柄A又はBが選択的に見え
る回折格子を用いた絵柄体が作成される。なお、図2
(a)〜(c)の描画順は、何れを最初に、また、何れ
を最後に描画してもよい。
を、非多重化領域A1 、A2 、B1 、B2 と、多重化領
域Cに分け、非多重化領域A1 、A2 、B1 、B2 には
それぞれの絵柄A、Bが対応する単一の回折格子溝列
a、bを別々に描画し、また、多重化領域Cには、多重
化される絵柄A、Bに対応する回折格子溝列a、bの交
差回折格子溝列cを別に描画することにより、多重化領
域Cにおいて、2つの回折格子溝列a、bの交差部が二
重露光され、溝列で囲まれる島部分が丸味を帯びかつ面
積が小さくなることは起きず、その多重化領域の回折効
率が非多重化領域に比べて低下することはなくなる。具
体例として、溝とその間のスペースの幅の比が1:2で
溝幅が0.4μmの場合、回折効率の多重化領域と非多
重化領域の比はほぼ1:1になった。
柄A、Bを領域Cで多重化する場合、図2のように3つ
の格子パターン(a)、(b)、(c)を描画する代わ
りに、図3に示すように、まず一方の絵柄Aの回折格子
溝列aを全部描画し(同図(a))、次に他方の絵柄B
の回折格子溝列bを、非多重化領域B1 、B2 では直線
溝列とし、多重化領域Cで回折格子溝列aと重ならない
ように、飛び飛びの破線溝列として描画する(同図
(b))ようにしてもよい。この場合、回折格子溝列a
を描画するときと回折格子溝列bを描画するときの位置
合わせ精度が図2の場合より高いものが要求される。
的に多重化して描画する場合、図2のように、多重化す
る領域と非多重化する領域を予め分けて、多重化する領
域には多重化する回折格子溝列の交差回折格子溝列を別
に描画する場合は、図4に示すように、1つの基板の
A、B、D、A+B、A+D、B+D、A+B+Dの7
つの領域に対応する回折格子溝列ないし交差回折格子溝
列のパターンを別々に描画すればよい。また、図3のよ
うに1つの絵柄(例えば、A)の回折格子溝列を全部描
画する場合は、その次に残りの1つの絵柄(例えば、
B)の回折格子溝列を、最初の絵柄と重ならない領域で
は直線溝列とし、最初の絵柄と重なる領域ではその絵柄
の回折格子溝列と重ならないように、飛び飛びの破線溝
列として描画し、最後の絵柄(例えば、C)の回折格子
溝列を、最初の絵柄及び次の絵柄と重ならない領域では
直線溝列とし、最初の絵柄又は次の絵柄と重なる領域で
はそれらの回折格子溝列と重ならないように、飛び飛び
の破線溝列として描画すればよい。
うに、複数の絵柄に属する溝方向の異なる回折格子溝列
が相互に交差する領域において、交差点において溝間が
離間していれば、多重記録部において回折効率が低下す
るのが防止できる。そのためには、例えば図5に示すよ
うに、絵柄A、Bを形成する回折格子溝列a’、b’
を、溝相互の交差点においてそれぞれの溝が途切れる破
線溝列で形成することが考えられる。この場合、回折効
率を多重化領域、非多重化領域でほぼ同じにするため
に、非多重化領域においても多重化領域と同様な破線溝
列で回折格子を構成する。図5の場合は、両溝列a’、
b’が相互に90°で交差するため、絵柄A、Bの回折
格子溝列は同じ位相で同じ周期(溝間の距離が周期)で
繰り返す破線溝列となるが、交差角が90°以外の場
合、各溝は位相がその角度に応じて隣接する溝から遅れ
るか進み、周期は90°で交差する場合よりその交差角
に応じて大きくなる。
において溝列a”、b”の一方の溝のみが途切れ、他方
が連続し、隣接する交差点においては、他方の溝が途切
れ、一方が連続するようにしてもよい。この場合、交差
点において、両方の溝が相互に二重露光しないで接触す
るようにしてもよいし(溝の途切れ幅が溝の太さに等し
い。)、図6のように、両方の溝が離間していても(溝
の途切れ幅が溝の太さより大きい)よい。なお、両溝列
a”、b”が相互に90°で交差する図6の例では、図
5の場合に比較して破線溝の周期は2倍になるが、隣接
する溝間の位相差は180°になる。交差角が90°以
外の場合、図5の場合と同様、隣接する溝との位相差
は、その交差角に応じて180°から遅れるか進み、周
期は90°で交差する場合よりその交差角に応じて大き
くなる。
ついても、図5、図6と同様、各絵柄を破線溝列からな
る回折格子の輪郭で表すことができる。
なるレリーフ回折格子を前提にしていたが、描画部が尾
根になるレリーフ回折格子であっても同様であり、ま
た、描画部が吸収部、反射部又は透過部となる振幅回折
格子であっても同様である。また、回折格子は反射型、
透過型何れにも適用できる。また、以上において、各領
域A1 、A2 、B1 、B2 、C等の溝列a、b、c等の
1本の溝は、電子ビーム、レーザビーム等の1回のスキ
ャンにより描画することを考えていたが、溝幅がこれら
ビームの径より広く、これらビームの1回のスキャンで
その溝幅をカバーできない場合は、位置をずらしながら
複数回のスキャンを行ってその溝幅をカバーするように
して、各領域の溝列を描画する。このような描画は、本
発明においては、絵柄の多重化領域、非多重化領域の回
折格子部分の多重露光による形成を意味するものとは考
えていない。
びその製造方法をいくつかの実施例に基づいて説明して
きたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形
が可能である。
の回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法によると、
絵柄の描画時に、描画する回折格子の交差部を1回だけ
露光し、多重露光しないようにするか、少なくとも多重
化領域において回折格子溝相互が重畳して交差しないよ
うに、回折格子を破線溝列から構成するので、多重化領
域において、回折格子で囲まれる島部分が丸味を帯びか
つ面積が小さくなることがなく、その多重化領域の回折
効率が非多重化領域に比べて低下することは起きない。
したがって、各絵柄内に輝度ムラが生じない。
成する場合の模式図である。
する工程を示す図である。
る工程を示す図である。
の描画領域区分を示す図である。
図である。
示す図である。
ある。
する理由を説明するための図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 複数の絵柄を少なくとも一部の領域で相
互に重畳して配置し、各絵柄に対して格子の向きが相互
に異なる回折格子を対応させ、その回折格子領域の輪郭
によって各絵柄を表した回折格子を用いた絵柄体におい
て、各絵柄の多重化領域、非多重化領域のそれぞれの回
折格子部分が多重露光により形成されていないことを特
徴とする回折格子を用いた絵柄体。 - 【請求項2】 多重化領域における重畳した回折格子に
より囲まれる部分の形状が多角形からなり、その多角形
の対向する辺間の距離が非多重化領域の回折格子の格子
間の距離にほぼ等しいことを特徴とする請求項1記載の
回折格子を用いた絵柄体。 - 【請求項3】 複数の絵柄を少なくとも一部の領域で相
互に重畳して配置し、各絵柄に対して格子の向きが相互
に異なる回折格子を対応させ、その回折格子領域の輪郭
によって各絵柄を表した回折格子を用いた絵柄体におい
て、各絵柄に対応する回折格子が破線列からなることを
特徴とする回折格子を用いた絵柄体。 - 【請求項4】 複数の絵柄を少なくとも一部の領域で相
互に重畳して配置し、各絵柄に対して格子の向きが相互
に異なる回折格子を対応させ、その回折格子領域の輪郭
によって各絵柄を表した回折格子を用いた絵柄体の製造
方法において、絵柄の描画時に、多重化領域に描画する
回折格子の交差部を1回だけ露光し、多重露光しないよ
うにしたことを特徴とする回折格子を用いた絵柄体の製
造方法。 - 【請求項5】 各絵柄を非多重化領域と多重化領域とに
分け、非多重化領域には、対応する絵柄に対応する回折
格子を別々に描画し、多重化領域には、多重化される絵
柄に対応する回折格子を重ね合わせて表される模様を別
に描画することを特徴とする請求項4記載の回折格子を
用いた絵柄体の製造方法。 - 【請求項6】 第1の絵柄全領域にそれに対応する第1
の回折格子を描画し、第2の絵柄に対応する第2の回折
格子を第1の絵柄と重ならない領域に描画すると共に、
第1の絵柄と重なる領域においては、第1の回折格子と
重ならないように、飛び飛びの破線列として描画し、第
3の絵柄に対応する第3の回折格子を第1及び第2の絵
柄と重ならない領域に描画すると共に、第1の絵柄又は
第2の絵柄の少なくとも一方と重なる領域においては、
第1の回折格子又は第2の回折格子の少なくとも一方と
重ならないように、飛び飛びの破線列として描画し、第
4以降の絵柄についても同様に繰り返すことを特徴とす
る請求項4記載の回折格子を用いた絵柄体の製造方法。 - 【請求項7】 複数の絵柄を少なくとも一部の領域で相
互に重畳して配置し、各絵柄に対して格子の向きが相互
に異なる回折格子を対応させ、その回折格子領域の輪郭
によって各絵柄を表した回折格子を用いた絵柄体の製造
方法において、絵柄の描画時に、各絵柄に対応する回折
格子を破線列で描画することを特徴とする回折格子を用
いた絵柄体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25667994A JP3764181B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 回折格子を用いた絵柄体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25667994A JP3764181B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 回折格子を用いた絵柄体の製造方法 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004352303A Division JP4134014B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法 |
JP2004352302A Division JP2005099858A (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 回折格子を用いた絵柄体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08122510A true JPH08122510A (ja) | 1996-05-17 |
JP3764181B2 JP3764181B2 (ja) | 2006-04-05 |
Family
ID=17295969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25667994A Expired - Fee Related JP3764181B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 回折格子を用いた絵柄体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3764181B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014915A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-15 | Japan Science & Technology Corp | Dammann型グレーティングをつけた光学素子 |
WO2008050641A1 (en) * | 2006-10-24 | 2008-05-02 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display body and labeled article |
JP2009042309A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Toppan Printing Co Ltd | 表示体及びラベル付き物品 |
CN106904045A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-06-30 | 陈红丽 | 一种具有视觉立体效果的工艺品结构 |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25667994A patent/JP3764181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014915A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-15 | Japan Science & Technology Corp | Dammann型グレーティングをつけた光学素子 |
WO2008050641A1 (en) * | 2006-10-24 | 2008-05-02 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display body and labeled article |
US8957761B2 (en) | 2006-10-24 | 2015-02-17 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display and labeled article |
US10350838B2 (en) | 2006-10-24 | 2019-07-16 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display and labeled article |
US10843419B2 (en) | 2006-10-24 | 2020-11-24 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display and labeled article |
JP2009042309A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Toppan Printing Co Ltd | 表示体及びラベル付き物品 |
CN106904045A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-06-30 | 陈红丽 | 一种具有视觉立体效果的工艺品结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3764181B2 (ja) | 2006-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2534540C3 (de) | Phasenmaske far die Fouriertransformations-Holographie | |
US5046827A (en) | Optical reconstruction filter for color mosaic displays | |
CN100485486C (zh) | 显示装置 | |
US6777141B2 (en) | Phase shift mask including sub-resolution assist features for isolated spaces | |
EP0678761A2 (en) | Diffraction grating array and display having a diffraction grating pattern | |
JPH11223713A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイとその作製方法 | |
DE102005051274A1 (de) | Beugender Lichtmodulator auf der Basis offener Löcher | |
DE112018003033T5 (de) | Lichtemittierende vorrichtung | |
JP2004085831A (ja) | 微細格子およびその製造方法 | |
JP2000180894A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JPH08122510A (ja) | 回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法 | |
US6811935B2 (en) | Phase shift mask layout process for patterns including intersecting line segments | |
JP3285167B2 (ja) | 階調マスク | |
EP0627675B1 (de) | Diffraktive optische Einrichtung zur optischen Abbildung eines Raumpunktes auf andere Raumpunkte | |
JP3635116B2 (ja) | 回折格子記録媒体 | |
JP2001330717A (ja) | 回折格子パターンとその作製方法 | |
JP3670046B2 (ja) | 回折格子記録媒体ならびにその作成方法および作成装置 | |
JP2005099858A (ja) | 回折格子を用いた絵柄体の製造方法 | |
JP2000131516A (ja) | 回折格子パターン | |
JP4134014B2 (ja) | 回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法 | |
KR880002301A (ko) | 분포귀환형 반도체 레이저 및 그 제조방법 | |
JP3033404B2 (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイ | |
JP5205946B2 (ja) | 回折格子パターンおよび回折格子記録媒体 | |
JP2000019315A (ja) | 回折格子パターンとその作製方法 | |
JP2003177655A (ja) | 計算機ホログラムから成る表示体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040909 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041027 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041206 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050114 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20050204 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060119 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090127 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100127 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100127 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110127 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110127 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120127 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120127 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130127 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130127 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140127 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |