JPH08101299A

JPH08101299A - 集光光学装置

Info

Publication number: JPH08101299A
Application number: JP6261293A
Authority: JP
Inventors: Motosada Kiri; 元貞喜利; Hiroyuki Oyanagi; 宏之大柳
Original assignee: Agency of Industrial Science and Technology; Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 1994-09-30
Filing date: 1994-09-30
Publication date: 1996-04-16

Abstract

(57)【要約】【目的】理想的な回転楕円面に近似した反射面によっ
て良好な結像が得ることができる集光光学装置を提供す
ることを提供する。【構成】反射集光鏡によって入射光を結像する集光光
学装置１において、光源２と結像点３を焦点とする回転
楕円面上であって、光源２と結像点３とを結ぶ軸方向に
配置されて反射集光鏡を構成する鏡面体１１〜１５と、
その鏡面体に入射光の光軸と直角方向に力を付加して鏡
面体を変形させる変形機構１０を備え、変形機構は鏡面
体における反射角を調整して、回転楕円面に近似した集
光面を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集光光学装置に関し、
特に、Ｘ線等の波長の短い光を集光させてマイクロビー
ム化する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】種々の試料の分析において、組成や状態
の局所的な部位まで指定して分析を行いたいという要求
があり、このような要求に対して、例えば、ＥＰＭＡ
（電子プローブマイクロアナリシス）やＳＰＩＸＥ（走
査型荷電粒子励起Ｘ線分析）等が知られている。このよ
うな分析では荷電粒子のビームを用いており、この場合
には試料への損傷や定量性の点で問題があるため、波長
の短いＸ線のビーム化が望まれている。試料の局所的な
部位にＸ線を照射するためのＸ線のビーム化において、
放射されるＸ線の指向性が良好なシンクロトロンが光源
として有効であることは知られているが、該シンクロト
ロンからのＸ線を利用するためには、該Ｘ線を試料に集
光する集光光学装置が必要である。一般に、金属表面に
おける反射率は、入射する光の波長が短くなるほど低下
する傾向にある。この反射率の低下を改善するために、
入射角を大きく（視斜角を小さく）する方法がとられ、
視斜角を小さくを小さくすればするほど、より短波長の
反射率は増大する。そして、ある臨界角より小さな視斜
角で光を入射した場合には、光は全反射されることにな
る。

【０００３】Ｘ線を全反射条件で用いれば有効に集光さ
せることができるが、このような極度の斜め入射条件を
満足して照射位置の光を集光させるには、理想的には図
２の（ａ），図３の（ａ）に示すような回転楕円面４に
沿って形成される反射集光鏡６が必要である。この回転
楕円面４は、楕円を一方の軸の回りに回転して得られる
回転楕円体５に形成される面である。そして、この回転
楕円体５を形成する楕円の焦点の位置に配置された光源
２からの光は、この回転楕円面４上で反射されて楕円の
もう一方の焦点上の結像点３に結像される。また、該集
光鏡は、視斜角が非常に小さいため、光軸方向に極めて
長い反射面が必要である。しかしながら、この回転楕円
面を忠実に形成する集光鏡は、その鏡面の曲率が軸方向
に沿って異なるため製作が非常に困難である。そのた
め、異なる曲率を組み合わせることによって反射集光鏡
を構成し、集光光学装置を実現することが知られてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
集光光学装置では、極度な斜め入射条件によりコマ収差
が大きくなるといった原因により結像が不充分となり、
良好な結像が得られないという問題点がある。これに対
して、平面鏡や円筒鏡に機械的な力によって湾曲させて
塑性変形させ反射面を理想的な回転楕円面に近づける構
造とする一解決手段も考えられるが、この場合において
も結像は充分でなく像にぼけや歪みが生じ、また、その
調整も困難である。そこで、本発明は前記した従来の集
光光学装置の問題点を解決し、理想的な回転楕円面に近
似した反射面によって良好な結像が得ることができる集
光光学装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、反射集光鏡に
よって入射光を結像する集光光学装置において、光源と
結像点を焦点とする回転楕円面上であって、光源と結像
点とを結ぶ軸方向に配置されて反射集光鏡を構成する鏡
面体と、その鏡面体に入射光の光軸と直角方向に力を付
加して鏡面体を変形させる変形機構を備え、変形機構は
鏡面体における反射角を調整して、回転楕円面に近似し
た集光面を形成することによって、前記目的を達成す
る。本発明の集光光学装置において、回転楕円面は光源
と結像点とを焦点とする楕円を、その光源と結像点を結
ぶ軸を中心として回転させて形成される面であり、入射
光を反射集光する反射集光鏡は該回転楕円面上に配置さ
れ、その配置方向は光源と結像点を結ぶ軸方向である。
本発明の集光光学装置における変形機構は、反射集光鏡
を構成する鏡面体に力を加える機構であって、その力の
方向は鏡面体に入射する入射光の光軸と直角の方向であ
り、この力によって鏡面体は変形を受けるものである。

【０００６】本発明の第１の実施態様は、反射集光鏡を
構成する鏡面体は、光軸の両側に分割して配置される鏡
面体を含む構成とするものであり、分割して配置された
各鏡面体はそれぞれ変形機構を備え、反射角を個々に独
立して調整を可能とするものである。これによって、集
光面を回転楕円面に、より近似した形状に変形すること
ができる。本発明の第２の実施態様は、変形機構は鏡面
体の軸中心上において入射光の光軸と直角方向であっ
て、楕円の軸方向に力を付加するものであり、これによ
って、鏡面体を光軸に対して湾曲変形させ、鏡面体にお
ける光軸方向の反射角を結像点方向に調整することがで
きる。本発明の第３の実施態様は、変形機構は鏡面体の
軸中心上において入射光の光軸と直角方向であって、楕
円の軸方向と角度を有した方向に力を付加するものであ
り、これによって、鏡面体に光軸に対してひねり変形さ
せ、鏡面体における光軸と直角方向の反射角を光軸方向
に調整することができる。本発明の第４の実施態様は、
変形機構は鏡面体の軸中心上において入射光の光軸と直
角方向であって、楕円の軸方向及び楕円の軸方向と角度
を有した方向に力を付加するものであり、これによっ
て、鏡面体に光軸に対して湾曲変形とひねり変形とを加
え、鏡面体における光軸方向の反射角と光軸と直角方向
の反射角を調整することができる。

【０００７】本発明の第５の実施態様は、変形機構は圧
電素子を用いた駆動機構を備え、圧電素子の発生する力
を用いるものであり、これによって、鏡面体に加える変
形を制御することができる。本発明の第６の実施態様
は、変形機構は機械的動作機構を用いた駆動機構を備
え、機械的変位量に基づいて発生する力を用いるもので
あり、これによって、鏡面体に加える変形を制御するこ
とができる。本発明の第７の実施態様は、変形機構が付
加する力は、結像点に結像される光の拡散状態に応じて
フィードバック制御されるものであり、これによって、
鏡面体の集光面を回転楕円面に、より近似した形状に変
形することができる。本発明の第８の実施態様は、鏡面
体を円筒鏡により構成するものであり、これによって、
成形が容易な鏡面体により集光光学装置を構成すること
ができる。

【０００８】また、本発明の第９の実施態様は、鏡面体
を平面鏡により構成するものであり、これによって、成
形が容易な鏡面体により集光光学装置を構成することが
できる。

【０００９】

【作用】光源と結像点とを焦点として幾何学的に形成さ
れる楕円を、その両焦点を結ぶ軸を中心として回転させ
ると回転楕円面が形成される。この一方の焦点を光源位
置として光を回転楕円面に向けて照射し、回転楕円面に
おいて入射光を反射するとその反射光は他方の焦点上の
結像点に結像される。本発明の集光光学装置は、この回
転楕円面における反射集光鏡として、光源と結像点とを
結ぶ軸方向に配置した変形機構を備えた鏡面体により構
成するものであり、変形機構を駆動すると、鏡面体は入
射光の光軸と直角方向に力を受けて変形する。この鏡面
体の変形は光軸方向の反射角を結像点方向に調整し、光
軸と直角方向の反射角を光軸方向に調整するものであ
り、この変形によって鏡面体による反射集光鏡を回転楕
円面に近似した集光面とすることができる。

【００１０】また、反射集光鏡を構成する鏡面体を光軸
の両側に分割して配置される鏡面体を含む構成とする
と、各分割して配置された鏡面体はそれぞれが備えた変
形機構によって、反射角を個々に独立して調整する。こ
の調整は、圧電素子を用いた駆動機構によって変形機構
を駆動する場合には、圧電素子に入力した電圧に応じて
発生する力により変位量を調整することができ、この変
位量によって鏡面体の変形を制御する。また、機械的動
作機構を用いた駆動機構によって変形機構を駆動する場
合には、例えば、ねじやカムの移動量に応じて発生する
力により変位量を調整することができる。また、結像点
において集光される光点の大きさ、輝度、あるいは形状
等の散乱状態に応じた信号を変形機構にフィードバック
して、集光の程度が向上するよう制御することができ
る。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。（集光光学装置の反射集光鏡の構成及び作用）はじめ
に、本発明の集光光学装置の反射集光鏡の構成につい
て、図１〜図５を用いて説明する。なお、図１〜図５に
示す実施例は、反射集光鏡を複数個の鏡面体によって構
成する場合を示している。図２の（ａ）は回転楕円面を
有した反射集光鏡による理想的な集光状態を示してお
り、長軸５１の長さを２ａとし短軸５２の長さをｂとす
る楕円を、その楕円の２つの焦点を結ぶ軸を中心として
回転させて形成される回転楕円体５において、一方の焦
点に置かれた光源２から照射された光は回転楕円体５の
回転楕円面４上で反射集光されて他方の焦点上の結像点
３に結像する。この光源２からの光を結像点３に反射集
光する集光光学装置６としては、回転楕円面４の形状が
理想的である。図３の（ａ）は回転楕円体５及び回転楕
円形状の集光光学装置６の関係を示す斜視図であり、反
射集光鏡６の反射集光面が回転楕円面の場合には、光源
２からの光は理想的な状態で反射集光されて結像点３に
結像する。

【００１２】しかしながら、この回転楕円面を形成する
ことは非常に困難であるため、本発明の実施例では図２
の（ｂ）及び図３の（ｂ）に示すような反射集光鏡によ
る集光光学装置１を構成する。本発明の集光光学装置１
において、回転楕円面形状の集光光学装置６の反射集光
鏡は、複数個の鏡面体を組み合わせて構成される。図で
は５枚の鏡面体によって反射集光鏡が構成されている。
この鏡面体による反射集光鏡は、ほぼ回転楕円面上に配
置され、光源２から照射された光を結像点３に反射集光
する。なお、図３において、一点鎖線４１は回転楕円面
において光軸あるいは光源２と結像点３とを結ぶ軸に沿
って形成される線を示しており、集光光学装置１，６は
この一点鎖線４１に沿って配置される。また、破線４２
は回転楕円面において前記軸と直交する線を示してお
り、図３は、集光光学装置１，６がこの破線４２−１と
４２−２に挟まれる回転楕円面に対応した位置に配置さ
れる状態を示している。

【００１３】図１は、本発明の集光光学装置１の反射集
光鏡を説明する斜視図である。図１において、集光光学
装置１の反射集光鏡は第１鏡面体１１〜第５鏡面体１５
の５つの鏡面体によって構成されている。第１鏡面体１
１〜第５鏡面体１５は、光軸あるいは光源２と結像点３
とを結ぶ軸５１を、回転楕円面４上に投影した線４１
（図中の一点鎖線，以下中心線とういう）に沿って配置
される。第１鏡面体１１は中心線４１と鏡面体の中心線
とを一致して配置され、第２鏡面体１２と第３鏡面体１
３は中心線４１を中心線としてその両側に対称となる位
置に配置され、また、第４鏡面体１４と第５鏡面体１５
は中心線４１を中心線としてその両側に対称となる位置
に配置される。また、各鏡面体には変形機構１０を備え
ている。

【００１４】光源２からの照射光２１は、集光光学装置
１の各鏡面体上において曲線２２で示される位置に照射
され、該位置において結像点３に向けて反射光２３とし
て反射集光される。図１に示すように、光源２から集光
光学装置１に向けられる照射光２１は薄い帯状であるた
め、照射光２１は第１鏡面体１１においてのみ中心線４
１と交差する。そこで、実施例では、第１鏡面体１１の
みを中心線４１上に配置し、第２鏡面体１２〜第５鏡面
体１５は中心線４１に対して対称となる位置に配置し
て、中心線４１と交差する部分の鏡面体を省略する構成
としている。なお、集光光学装置１の反射集光鏡を構成
する鏡面体の個数は任意とすることができる。

【００１５】図４は、集光光学装置１の反射集光鏡の平
面図であり、図５，６は集光光学装置１を光源側からみ
た断面図である。図４の平面図は、集光光学装置１の反
射集光鏡の各鏡面体の長軸方向における位置関係を示し
ており、１１−ａ〜１５−ａは各鏡面体１１〜１５の結
像点側の端部を示し、１１−ｂ〜１５−ｂは各鏡面体１
１〜１５の光源側の端部を示し、また、４２−１〜４２
−４は回転楕円体において光軸と直交する回転楕円面を
示している。なお、回転楕円面４１−１は短い破線で示
し、回転楕円面４１−２は一点鎖線で示し、回転楕円面
４１−３は長い破線で示し、回転楕円面４１−４は二点
鎖線で示している。そして、第１鏡面体１１はその中心
線を回転楕円体５の中心線４１上と一致させて配置し、
その結像点側の端部１１−ａは回転楕円面４２−１に対
応して配置し、また、光源側の端部１１−ｂは回転楕円
面４２−２に対応して配置している。また、第２鏡面体
１２と第３鏡面体１３は、回転楕円体５の中心線４１に
対して対称な位置に配置し、各結像点側の端部１２−
ａ，１３−ａは回転楕円面４２−２に対応して配置し、
光源側の端部１２−ｂ，１３−ｂは回転楕円面４２−２
に対応して配置している。同様に、第４鏡面体１４と第
５鏡面体１５は、回転楕円体５の中心線４１に対して対
称な位置に配置し、各結像点側の端部１４−ａ，１５−
ａは回転楕円面４２−３に対応して配置し、光源側の端
部１４−ｂ，１５−ｂは回転楕円面４２−４に対応して
配置している。

【００１６】また、図５は光源側から集光光学装置１を
見た場合の各鏡面体の短軸方向の位置関係を示してい
る。例えば、第１鏡面体１１においては、その一方の端
部１１−ａは回転楕円面４２−１に沿った高さにあり、
他方の端部１１−ｂは回転楕円面４２−２に沿った高さ
にあって、鏡面体が回転楕円面に沿って湾曲して鏡面体
の軸方向の両端の高さが異なることを示している。その
他の鏡面体についても同様に鏡面体の軸方向の両端の高
さが異なっており、各鏡面体が湾曲する回転楕円面に沿
って配置され、全体として回転楕円面に沿った配置が行
われている。なお、図５においては、短軸を中心軸とし
て片側のみを示しているが、図示しない他方の側の鏡面
体も同様な配置が行われている。

【００１７】図６は前記図５の鏡面体を光源側から見た
場合の各鏡面体の位置関係を拡大して示し、同時に鏡面
体上における照射光の照射位置を示しており、鏡面体は
第１鏡面体１１の半分と第３鏡面体１３と第５鏡面体１
５を示し、第１鏡面体１１の残りの半分と第２鏡面体１
２と第４鏡面体１４は省略している。照射光の鏡面体に
対する照射位置は図中の曲線２２で示され、曲線２２−
１（破線）は光の中心を示し、曲線２２−２，及び曲線
２２−３（一点鎖線）はその上下の境界を示している。
そして、図に示すように、照射光は分割された第１鏡面
体１１，第３鏡面体１３，及び第５鏡面体１５の各部分
に照射され、全体として一つの集光光学装置として反射
し集光している。

【００１８】（反射集光鏡を構成する鏡面体の構成及び
作用）次に、本発明の集光光学装置の反射集光鏡を構成
する鏡面体について、図７を用いて説明する。なお、図
７は一つの鏡面体のみを示し、図７の（ａ）は鏡面体の
反射集光面側を示し、図７の（ｂ）は鏡面体の反射集光
面の反対側を示している。鏡面体７は反射集光面を回転
楕円面に近似するための変形機構１０を備えており、そ
の変形機構１０は、例えば、平面鏡あるいは円筒鏡から
なる鏡面体の反射集光面７−１の反対側の面７−２に、
固定機構８及び駆動機構９を設けることによって構成さ
れる。固定機構８は鏡面体７を集光光学装置１に対する
位置を定めて固定する手段であり、鏡面体７の面７−２
に第１固定部８−１を介して固定部材８−２を取付け、
第２固定部８−３によって集光光学装置１側に固定され
ている。第１固定部８−１の鏡面体７に対する取付け位
置は、任意の位置とすることができるが、駆動機構９に
よる鏡面体７の変形を容易にする観点から、鏡面体７を
変形した場合に変形の少ない位置とすることが適当であ
り、例えば、鏡面体７のほぼ中央部分とすることができ
る。

【００１９】また、第１固定部８−１，第２固定部８−
３はねじ止めや接着材等の任意の周知の固定手段を用い
ることができる。この固定機構８によって、鏡面体７の
集光光学装置１に対する位置が設定される。また、駆動
機構９は鏡面体７を変形させるための手段であり、鏡面
体７の面７−２に固定部９−１を介して駆動部材９−
２，及び駆動部材９−３を取付け、該駆動部材９−２，
９−３を図示しない駆動手段によって動かすことによ
り、鏡面体７に対して入射光の光軸と直角方向に力を付
加して鏡面体を変形させ、鏡面体における反射角を調整
して、鏡面体の反射集光面を回転楕円面に近似するもの
である。駆動機構９の駆動部材９−２，及び駆動部材９
−３は、例えば互いに直交するロッドにより構成するこ
とができ、一方の駆動部材９−２は入射光の光軸方向に
沿っており、他方の駆動部材９−３は該駆動部材９−２
と直交する方向に向いて取り付けられている。なお、こ
の駆動機構９を鏡面体７に取り付ける固定部９−１はね
じ止めや接着材等の任意の周知の固定手段を用いること
ができる。そして、この駆動機構９は、鏡面体７の光軸
に対して両端部に設置される。

【００２０】駆動部材９−２，９−３を駆動する駆動手
段は、例えば、圧電等を用いた電気的駆動機構やねじや
カム等の機械的駆動機構により構成することができ、各
駆動部材９−２，９−３を図７の示す矢印の方向に移動
することができる。この駆動部材９−２，９−３の移動
は、固定部９−１を介して鏡面体７に入射光の光軸と直
角方向に力を加える。例えば、駆動部材９−２に矢印に
示すように鏡面体７の軸方向と直交する方向で鏡面体の
厚さ方向に力を加えると、鏡面体７の一部は固定機構８
によって固定されているため、光軸の方向に湾曲変形
し、鏡面体における光軸方向の反射角を調整することが
できる。この駆動部材９−２による鏡面体７の湾曲変形
は、鏡面体７の両端に設けた二つの駆動部材９−２を用
いることによって、より回転楕円面に近似する方向に行
うことができる。また、駆動部材９−３に矢印に示すよ
うに鏡面体７の軸方向と直交する方向で鏡面体の幅方向
に力を加えると、鏡面体７の一部は固定機構８によって
固定されているため、鏡面体の光軸に対してひねり変形
し、鏡面体における光軸と直角方向の反射角を光軸方向
に調整することができる。この駆動部材９−３による鏡
面体７のひねり変形は、鏡面体７の両端に設けた二つの
駆動部材９−３を駆動方向を逆方向とすることによっ
て、鏡面体７の対角線上の両隅部を鏡面体の面に対して
同じ方向に移動するとともに、鏡面体７の面の軸に対し
て対向する隅部を鏡面体の面に対して逆の方向に移動さ
せ、回転楕円面に近似する方向に行うことができる。

【００２１】また、鏡面体７の両端に設けた二つの駆動
機構９における各駆動部材の変位量を調節することによ
り、鏡面体の湾曲及びひねりの程度を調節することがで
きる。鏡面体の湾曲及びひねりの程度の調節は、例え
ば、次のようにして行うことができる。結像点に照射光
を受ける受光手段を配置し、該受光手段によって集光光
学装置により反射集光された光の結像点における光の散
乱状態を測定する。この光の散乱状態としては、例え
ば、光点の大きさ、輝度、あるいは形状等を用いること
ができる。受光手段はこの光の散乱状態に対応するデー
タを駆動機構にフィードバックし、このフィードバック
データに基づいて駆動機構の変位量を調節する。これに
よって、鏡面体の軸方向に２次曲線様の変形を与えて回
転楕円面に近似こせて、結像点における集光状態を改善
する。

【００２２】例えば、前記第２鏡面体１２〜第５鏡面体
１５の反射集光面における軸直交方向の勾配が光源方向
に近づくにつれて徐々に大きくなるように、駆動機構の
変位量を調節して鏡面体にひねりを加えると、反射集光
面は短軸径が中心に寄るほど大きくなり、回転楕円面に
近づく。これによって、結像点における光の歪みが減少
する。このフィードバックデータによる駆動機構の駆動
は、例えば、駆動機構を圧電素子を用いる場合には、そ
の圧電素子に印加する電圧値をフィードバックデータに
基づいて調節することにより行うことができ、また、駆
動機構を機械的駆動機構を用いる場合には、その機械的
駆動機構を動かすモータの回転量をフィードバックデー
タに基づいて調節することにより行うことができる。

【００２３】（実施例の作用）本発明の実施例による作
用を図８及び図９を用いて説明する。図８は、集光状況
を示す図である。図８の（ｃ）において、ｃ−１は回転
楕円面の結像点前の集光状況であり、ｃ−２は回転楕円
面の結像点での集光状況であり、ｃ−３は回転楕円面の
結像点後の集光状況である。これに対して、図８の
（ａ）は本発明の実施例において湾曲変形により２次曲
線変形を与えた反射集光鏡による集光状況であり、図８
の（ｂ）は本発明の実施例において湾曲変形にさらにひ
ねり変形を付加した反射集光鏡による集光状況である。
また、図９は結像点における集光状況を輝度のヒストグ
ラムによって表しており、図９の（ａ）によってひねり
変形による作用を図９の（ｂ）のひねり変形がない場合
と比較して示している。なお、図９は、レイトレース計
算によるヒストグラムの模式図、及び等高線図である。
図８，９から、反射集光鏡を構成する鏡面体の湾曲変形
を与えて回転楕円面に近似させると、結像点におけるビ
ームの集光状況は改善され、さらに鏡面体にひねり変形
を加えると、ビームの集光状況はさらに改善される。

【００２４】（実施例の効果）鏡面体として円筒鏡を用
いる場合には、その円筒鏡の軸長を長くとることによ
り、鏡面体の湾曲とひねりの変形を容易に加えることが
できるという効果がある。また、反射集光面を長くとる
ことができるため、回転楕円面への近似度を向上するこ
とができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
理想的な回転楕円面に近似した反射面によって良好な結
像が得ることができる集光光学装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の集光光学装置の反射集光鏡を説明する
斜視図である。

【図２】集光光学装置の反射集光鏡の光学的位置関係を
説明する断面図である。

【図３】集光光学装置の反射集光鏡の光学的位置関係を
説明する斜視図である。

【図４】本発明の集光光学装置の反射集光鏡の平面図で
ある。

【図５】本発明の集光光学装置を光源側からみた断面図
である。

【図６】本発明の集光光学装置を光源側からみた断面図
である。

【図７】本発明の集光光学装置の反射集光鏡を構成する
鏡面体の斜視図である。

【図８】本発明の実施例の集光状況を示す図である。

【図９】本発明の実施例による集光状況のヒストグラム
の模式図、及び等高線図である。

【符号の説明】

１…集光光学装置、２…光源、３…結像点、４…回転楕
円面、５…回転楕円体、８…固定機構、９…駆動機構、
１０…調整機構、１１〜１５…鏡面体。

フロントページの続き (72)発明者大柳宏之茨城県つくば市梅園１丁目１番４工業技術院電子技術総合研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】反射集光鏡によって入射光を結像する集
光光学装置において、光源と結像点を焦点とする回転楕
円面上であって、光源と結像点とを結ぶ軸方向に配置さ
れ、前記反射集光鏡を構成する鏡面体と、前記鏡面体に
入射光の光軸と直角方向に力を付加して鏡面体を変形さ
せる変形機構を備え、該変形機構によって鏡面体におけ
る反射角を調整して回転楕円面に近似した集光面を形成
することを特徴とする集光光学装置。