JPH08101065A - 光スペクトル測定装置 - Google Patents
光スペクトル測定装置Info
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- JPH08101065A JPH08101065A JP6261737A JP26173794A JPH08101065A JP H08101065 A JPH08101065 A JP H08101065A JP 6261737 A JP6261737 A JP 6261737A JP 26173794 A JP26173794 A JP 26173794A JP H08101065 A JPH08101065 A JP H08101065A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2889—Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry
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- G—PHYSICS
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速で測定できる光スペクトル測定装置を提
供する。 【構成】 エンコーダ１４は、モータ１０の回転軸に接
続される。カウンタ１５はエンコーダ１４より出力され
るパルスを計数する。比較器１７は、カウンタ１５とレ
ジスタ１６に接続されており、カウンタ１５の値と、制
御部より設定されたレジスタ１６の値とを比較し、両者
が一致する瞬間にＡ／Ｄ変換信号を出力する。制御部１
２は、レジスタ１２に最初の測定点に対応する値を設定
し、回折格子５を測定開始波長から測定終了波長まで定
速で回転させる。測定点を通過するとＡ／Ｄ変換信号が
比較器１７より出力され、制御部１２より、次の測定点
に対応する値をレジスタ１６に設定する。
供する。 【構成】 エンコーダ１４は、モータ１０の回転軸に接
続される。カウンタ１５はエンコーダ１４より出力され
るパルスを計数する。比較器１７は、カウンタ１５とレ
ジスタ１６に接続されており、カウンタ１５の値と、制
御部より設定されたレジスタ１６の値とを比較し、両者
が一致する瞬間にＡ／Ｄ変換信号を出力する。制御部１
２は、レジスタ１２に最初の測定点に対応する値を設定
し、回折格子５を測定開始波長から測定終了波長まで定
速で回転させる。測定点を通過するとＡ／Ｄ変換信号が
比較器１７より出力され、制御部１２より、次の測定点
に対応する値をレジスタ１６に設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光源の光スペクトル
特性を測定する、光スペクトル測定装置に関するもので
ある。
特性を測定する、光スペクトル測定装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】つぎに、従来の光スペクトル測定装置を
図４により説明する。図４において、１は光源、２は入
射スリット、３は凹面鏡、４は回折格子、５は凹面鏡、
６は出射スリット、７は光検出器、８は増幅回路、９は
Ａ／Ｄ変換器、１０はモータ、１１は駆動回路、１２は
制御部、１３は表示部である。そして、入射スリット
２、凹面鏡３、回折格子４、凹面鏡５、出射スリット６
により、ツェルニターナ形分散分光器と呼ばれる構成が
形成される。
図４により説明する。図４において、１は光源、２は入
射スリット、３は凹面鏡、４は回折格子、５は凹面鏡、
６は出射スリット、７は光検出器、８は増幅回路、９は
Ａ／Ｄ変換器、１０はモータ、１１は駆動回路、１２は
制御部、１３は表示部である。そして、入射スリット
２、凹面鏡３、回折格子４、凹面鏡５、出射スリット６
により、ツェルニターナ形分散分光器と呼ばれる構成が
形成される。
【０００３】この従来例では、光源１の光は、入射スリ
ット２に入射する。入射スリット２の通過光は、凹面鏡
３により平行光に変換され、回折格子４に入射する。回
折格子４の表面には多数の溝が形成されている。回折格
子４は、これらの溝に平行な軸を中心として、モータ１
０により任意の角度に可変させることができる。駆動回
路１１は、制御部１２の指令を受け、モータ１０を制御
して回折格子４の角度を可変させる。
ット２に入射する。入射スリット２の通過光は、凹面鏡
３により平行光に変換され、回折格子４に入射する。回
折格子４の表面には多数の溝が形成されている。回折格
子４は、これらの溝に平行な軸を中心として、モータ１
０により任意の角度に可変させることができる。駆動回
路１１は、制御部１２の指令を受け、モータ１０を制御
して回折格子４の角度を可変させる。
【０００４】回折格子４は、上記の平行光より、任意の
角度によって決まる特定の波長成分だけの回折光を、凹
面鏡５の方向に反射する。凹面鏡５は、回折光を出射ス
リット６上に結像させる。そして、出射スリット６の横
幅の範囲内となる波長成分だけが出射スリット６を通過
する。
角度によって決まる特定の波長成分だけの回折光を、凹
面鏡５の方向に反射する。凹面鏡５は、回折光を出射ス
リット６上に結像させる。そして、出射スリット６の横
幅の範囲内となる波長成分だけが出射スリット６を通過
する。
【０００５】光検出器７は、出射スリット６の通過光を
受光し、通過光のの光強度に比例した電気信号に変換す
る。増幅回路８は、光検出器７の出力をＡ／Ｄ変換器９
の入力に適した電圧まで増幅する。Ａ／Ｄ変換器９は、
増幅回路８の出力をディジタル信号に変換する。
受光し、通過光のの光強度に比例した電気信号に変換す
る。増幅回路８は、光検出器７の出力をＡ／Ｄ変換器９
の入力に適した電圧まで増幅する。Ａ／Ｄ変換器９は、
増幅回路８の出力をディジタル信号に変換する。
【０００６】制御部１２は、駆動回路１１に指令を与
え、回折格子５の角度を可変することにより出射スリッ
ト６を通過する波長を設定し、出射光２Ａの光強度をＡ
／Ｄ変換器９の出力より取り込む。制御部９は、出射ス
リット６の通過波長を測定開始波長から測定終了波長ま
で掃引させ、繰り返し得られた波長−光強度特性を、光
スペクトルとして表示部１３に表示させる。
え、回折格子５の角度を可変することにより出射スリッ
ト６を通過する波長を設定し、出射光２Ａの光強度をＡ
／Ｄ変換器９の出力より取り込む。制御部９は、出射ス
リット６の通過波長を測定開始波長から測定終了波長ま
で掃引させ、繰り返し得られた波長−光強度特性を、光
スペクトルとして表示部１３に表示させる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光スペ
クトル測定装置の構成では、出射スリット６の通過波長
を測定開始波長から測定終了波長まで掃引する際に、各
測定点ごとに回折格子５を停止させなければならない。
このため、測定点が増えると測定に時間がかかるという
問題がある。
クトル測定装置の構成では、出射スリット６の通過波長
を測定開始波長から測定終了波長まで掃引する際に、各
測定点ごとに回折格子５を停止させなければならない。
このため、測定点が増えると測定に時間がかかるという
問題がある。
【０００８】この発明は、高速で測定することが可能な
光スペクトル測定装置を提供することを目的とする。
光スペクトル測定装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、第１の発明は、回折格子と、前記回折格子を回転さ
せるモータと、前記回折格子の回折光を受光して電気信
号に変換する光検出器と、前記電気信号を入力してＡ／
Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、モータの角度を設定すると
ともに前記Ａ／Ｄ変換器の値を読み込む制御部とを備え
る光スペクトル測定装置において、前記モータの回転軸
に接続されたエンコーダと、前記エンコーダの出力に接
続されるカウンタと、前記制御部より値が設定されるレ
ジスタと、前記カウンタの値と前記レジスタの値が等し
いときに前記Ａ／Ｄ変換器にＡ／Ｄ変換信号を出力する
比較器とを備える。
め、第１の発明は、回折格子と、前記回折格子を回転さ
せるモータと、前記回折格子の回折光を受光して電気信
号に変換する光検出器と、前記電気信号を入力してＡ／
Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、モータの角度を設定すると
ともに前記Ａ／Ｄ変換器の値を読み込む制御部とを備え
る光スペクトル測定装置において、前記モータの回転軸
に接続されたエンコーダと、前記エンコーダの出力に接
続されるカウンタと、前記制御部より値が設定されるレ
ジスタと、前記カウンタの値と前記レジスタの値が等し
いときに前記Ａ／Ｄ変換器にＡ／Ｄ変換信号を出力する
比較器とを備える。
【００１０】第２の発明は、上記第１の発明の構成に加
えて、比較器とＡ／Ｄ変換器の間に接続されて、比較器
の出力パルスの時間間隔を一定値以上に保つ遅延回路を
備える。
えて、比較器とＡ／Ｄ変換器の間に接続されて、比較器
の出力パルスの時間間隔を一定値以上に保つ遅延回路を
備える。
【００１１】
【作用】第１の発明の装置では、エンコーダの出力パル
ス数をカウンタにより計数し、カウンタの値が制御部よ
りレジスタに設定した値と一致するときに比較器からＡ
／Ｄ変換信号を出力し、回折格子を測定開始波長から測
定終了波長まで一定速度で回転させながら測定する構成
としたので、高速で測定することができる。
ス数をカウンタにより計数し、カウンタの値が制御部よ
りレジスタに設定した値と一致するときに比較器からＡ
／Ｄ変換信号を出力し、回折格子を測定開始波長から測
定終了波長まで一定速度で回転させながら測定する構成
としたので、高速で測定することができる。
【００１２】第２の発明の装置では、比較器より出力さ
れるＡ／Ｄ変換信号の間隔を一定値以上に保つ遅延回路
によってＡ／Ｄ変換信号の間隔のばらつきが押さえられ
る。このため、測定開始波長と測定終了波長の間隔が狭
いときや、モータの回転速度にむらがある場合にも高速
で測定できる。
れるＡ／Ｄ変換信号の間隔を一定値以上に保つ遅延回路
によってＡ／Ｄ変換信号の間隔のばらつきが押さえられ
る。このため、測定開始波長と測定終了波長の間隔が狭
いときや、モータの回転速度にむらがある場合にも高速
で測定できる。
【００１３】
【実施例】つぎに、第１の発明による光スペクトル測定
装置の実施例の構成を図１に示す。図１は、図４の従来
の装置にエンコーダ１４とカウンタ１５とレジスタ１６
および比較器１７を加えたものである。
装置の実施例の構成を図１に示す。図１は、図４の従来
の装置にエンコーダ１４とカウンタ１５とレジスタ１６
および比較器１７を加えたものである。
【００１４】図１で、エンコーダ１４はモータ１０の回
転軸に接続されており、モータ１０の回転角度に比例し
た数のパルス列を出力する。またカウンタ１５はエンコ
ーダ１４より出力されるパルスを計数する。したがっ
て、カウンタ１５に保持される値は、モータ１０および
回折格子４の回転角度に対応する値となる。すなわち、
カウンタ１５に保持される値は、出射スリット６を通過
する波長に対応する値となる。
転軸に接続されており、モータ１０の回転角度に比例し
た数のパルス列を出力する。またカウンタ１５はエンコ
ーダ１４より出力されるパルスを計数する。したがっ
て、カウンタ１５に保持される値は、モータ１０および
回折格子４の回転角度に対応する値となる。すなわち、
カウンタ１５に保持される値は、出射スリット６を通過
する波長に対応する値となる。
【００１５】また、レジスタ１６は、制御部１２に接続
されており、制御部１２より任意の値を書き込み、これ
を保持する。比較器１７は、カウンタ１５とレジスタ１
６に接続されており、カウンタ１５に保持される値とレ
ジスタ１６に保持される値とを比較する。そして、両者
が一致する瞬間にトリガパルスを出力する。比較器１７
の出力は、Ａ／Ｄ変換器９にＡ／Ｄ変換信号として接続
されている。このため、カウンタ１５とレジスタ１６に
保持される値が一致した瞬間に、Ａ／Ｄ変換器９におい
てＡ／Ｄ変換が行われる。また、比較器１７の出力は制
御部１２にも接続されており、これにより制御部１２に
Ａ／Ｄ変換の開始が通知される。
されており、制御部１２より任意の値を書き込み、これ
を保持する。比較器１７は、カウンタ１５とレジスタ１
６に接続されており、カウンタ１５に保持される値とレ
ジスタ１６に保持される値とを比較する。そして、両者
が一致する瞬間にトリガパルスを出力する。比較器１７
の出力は、Ａ／Ｄ変換器９にＡ／Ｄ変換信号として接続
されている。このため、カウンタ１５とレジスタ１６に
保持される値が一致した瞬間に、Ａ／Ｄ変換器９におい
てＡ／Ｄ変換が行われる。また、比較器１７の出力は制
御部１２にも接続されており、これにより制御部１２に
Ａ／Ｄ変換の開始が通知される。
【００１６】なお、実際の回路構成においては、カウン
タ１５、レジスタ１６、比較器１７が一体となった集積
回路としてZENIC 社のZEN-2011を使用することができ
る。
タ１５、レジスタ１６、比較器１７が一体となった集積
回路としてZENIC 社のZEN-2011を使用することができ
る。
【００１７】次に、図１の構成による光スペクトル測定
装置を用いた測定の手順を説明する。まず、制御部１２
は、回折格子５を測定開始波長の少し前まで移動し、レ
ジスタ１６に最初の測定点に対応する値を書き込む。そ
して、駆動回路１１により、回折格子５を測定終了波長
に向けて定速で回転させる。
装置を用いた測定の手順を説明する。まず、制御部１２
は、回折格子５を測定開始波長の少し前まで移動し、レ
ジスタ１６に最初の測定点に対応する値を書き込む。そ
して、駆動回路１１により、回折格子５を測定終了波長
に向けて定速で回転させる。
【００１８】回折格子５の角度が最初の測定点に到達す
ると、カウンタ１５とレジスタ１６に保持される値が一
致する。このため、比較器１７からＡ／Ｄ変換信号がＡ
／Ｄ変換器９に出力されて、Ａ／Ｄ変換が行われる。同
時にＡ／Ｄ変換信号は制御部１２にも出力される。そし
て、制御部１２は、Ａ／Ｄ変換信号を検出したら、Ａ／
Ｄ変換器９から光強度の測定値を取り込むとともに、レ
ジスタ１６に次の測定点に対応する値を書き込む。
ると、カウンタ１５とレジスタ１６に保持される値が一
致する。このため、比較器１７からＡ／Ｄ変換信号がＡ
／Ｄ変換器９に出力されて、Ａ／Ｄ変換が行われる。同
時にＡ／Ｄ変換信号は制御部１２にも出力される。そし
て、制御部１２は、Ａ／Ｄ変換信号を検出したら、Ａ／
Ｄ変換器９から光強度の測定値を取り込むとともに、レ
ジスタ１６に次の測定点に対応する値を書き込む。
【００１９】回折格子５の角度が次の測定点に到達する
と、比較器１７から同様にＡ／Ｄ変換信号が出力され、
また制御部１２は上記と同様の手順を行う。そして、こ
の手順を測定終了波長まで繰り返すことにより、制御部
１２においてモータ１０を停止させることなく全測定点
の波長−光強度特性を測定することができる。全測定点
の測定が終わったら、制御部１２は駆動回路１１により
モータ１０を停止させる。
と、比較器１７から同様にＡ／Ｄ変換信号が出力され、
また制御部１２は上記と同様の手順を行う。そして、こ
の手順を測定終了波長まで繰り返すことにより、制御部
１２においてモータ１０を停止させることなく全測定点
の波長−光強度特性を測定することができる。全測定点
の測定が終わったら、制御部１２は駆動回路１１により
モータ１０を停止させる。
【００２０】次に、第２の発明による光スペクトル測定
装置の実施例の構成を図２に示す。図２は、図１の構成
に遅延回路１８を追加したものであり、図１の構成にお
ける次の欠点を解消したものである。
装置の実施例の構成を図２に示す。図２は、図１の構成
に遅延回路１８を追加したものであり、図１の構成にお
ける次の欠点を解消したものである。
【００２１】すなわち、実施例１の構成では、制御回路
が１測定点の測定データを処理するために必要な時間が
Ｔmin であるときには、モータの回転速度を比較器１７
の出力パルス間隔がＴmin より長くなるような速度に設
定しなければならない。ここで、たとえば測定開始波長
から測定終了波長までのパルス数が10000 パルスであ
り、これに対する測定点の数が1001である場合、測定点
の間隔が等しいとすると、各測定点の間隔は10パルスで
ある。そしてこの場合には、測定点の間隔は常に等しい
ので、比較器１７の出力パルス間隔は一定となる。した
がって、比較器１７の出力パルス間隔がＴmin より長く
なるようにモータ１０の回転速度を設定すれば良い。
が１測定点の測定データを処理するために必要な時間が
Ｔmin であるときには、モータの回転速度を比較器１７
の出力パルス間隔がＴmin より長くなるような速度に設
定しなければならない。ここで、たとえば測定開始波長
から測定終了波長までのパルス数が10000 パルスであ
り、これに対する測定点の数が1001である場合、測定点
の間隔が等しいとすると、各測定点の間隔は10パルスで
ある。そしてこの場合には、測定点の間隔は常に等しい
ので、比較器１７の出力パルス間隔は一定となる。した
がって、比較器１７の出力パルス間隔がＴmin より長く
なるようにモータ１０の回転速度を設定すれば良い。
【００２２】しかし、例えば、測定開始波長から測定終
了波長までのパルス数が1500パルスであり、測定点の数
が1001である場合、測定点の間隔が等しいとすると、各
測定点の間隔は1.5 パルスである。ここで、カウンタ及
びレジスタは整数を扱うため、測定点の間隔を１パル
ス、あるいは２パルスのいずれかに、交互に設定する形
となる。そしてこの場合には、比較器１７の出力パルス
間隔が等間隔でなくなってしまうことから、パルス間隔
が最も短い時にＴmin より長くなるようにモータ１０の
回転速度を設定しなければならず、測定時間が長くな
る。
了波長までのパルス数が1500パルスであり、測定点の数
が1001である場合、測定点の間隔が等しいとすると、各
測定点の間隔は1.5 パルスである。ここで、カウンタ及
びレジスタは整数を扱うため、測定点の間隔を１パル
ス、あるいは２パルスのいずれかに、交互に設定する形
となる。そしてこの場合には、比較器１７の出力パルス
間隔が等間隔でなくなってしまうことから、パルス間隔
が最も短い時にＴmin より長くなるようにモータ１０の
回転速度を設定しなければならず、測定時間が長くな
る。
【００２３】このように、図１の構成では、測定開始波
長と測定終了波長の間隔が狭く、この間のパルス数が測
定点の数に対し十分に大きくない場合、比較器１７の出
力パルス間隔にばらつきが起こるため、モータ１０の回
転速度を速くすることができない。また、モータ１０の
回転速度にむらがある場合も、比較器１７の出力パルス
間隔にばらつきが起こるため、モータ１０の回転速度を
速くすることができない。
長と測定終了波長の間隔が狭く、この間のパルス数が測
定点の数に対し十分に大きくない場合、比較器１７の出
力パルス間隔にばらつきが起こるため、モータ１０の回
転速度を速くすることができない。また、モータ１０の
回転速度にむらがある場合も、比較器１７の出力パルス
間隔にばらつきが起こるため、モータ１０の回転速度を
速くすることができない。
【００２４】図２で、遅延回路１８は、比較器１７とＡ
／Ｄ変換器９および制御部１２の間に接続される。遅延
回路１８は、比較器１７から２つのパルスがＴ＜Ｔmin
となる間隔Ｔで連続して出力された場合、２番目のパル
スをＴ−Ｔmin だけ遅延させることにより、二つのパル
ス間隔をＴmin に保つように機能するものである。した
がって、この遅延回路１８を設けることにより、パルス
間隔にむらが起こる場合でも、平均パルス間隔がＴmin
より長くなるようモータ１０の回転速度を設定すれば良
く、これによって測定時間を短くできる。
／Ｄ変換器９および制御部１２の間に接続される。遅延
回路１８は、比較器１７から２つのパルスがＴ＜Ｔmin
となる間隔Ｔで連続して出力された場合、２番目のパル
スをＴ−Ｔmin だけ遅延させることにより、二つのパル
ス間隔をＴmin に保つように機能するものである。した
がって、この遅延回路１８を設けることにより、パルス
間隔にむらが起こる場合でも、平均パルス間隔がＴmin
より長くなるようモータ１０の回転速度を設定すれば良
く、これによって測定時間を短くできる。
【００２５】遅延回路１８としては、例えば図３に示す
ように、フリップフロップ２０，２１、カウンタ２２、
並びにＯＲゲート２３、インバータ２４等から構成され
るものが用いられる。この構成である遅延回路１８で
は、比較器１７より出力されたパルスはフリップフロッ
プ２０に保持される。フリップフロップ２０の出力は、
クロックＡに同期してフリップフロップ２１に保持され
るとともに、Ａ／Ｄ変換器９や制御部１２に出力され
る。また、このとき、カウンタ２２のカウントが開始さ
れる。
ように、フリップフロップ２０，２１、カウンタ２２、
並びにＯＲゲート２３、インバータ２４等から構成され
るものが用いられる。この構成である遅延回路１８で
は、比較器１７より出力されたパルスはフリップフロッ
プ２０に保持される。フリップフロップ２０の出力は、
クロックＡに同期してフリップフロップ２１に保持され
るとともに、Ａ／Ｄ変換器９や制御部１２に出力され
る。また、このとき、カウンタ２２のカウントが開始さ
れる。
【００２６】カウンタ２２のカウント中に次のパルスが
フリップフロップ２０に保持された場合、その出力はＯ
Ｒゲート２３によりカウントが終了するまで阻止され
る。カウント終了後、フリップフロップ２０の出力はフ
リップフロップ２１に入力される。そして、クロックＡ
に同期してフリップフロップ２１に保持され、Ａ／Ｄ変
換器９や制御部１２に出力される。したがって、カウン
タ２２のカウント数及びカウンタ２２の基準となるクロ
ックＢの周期により、カウンタ２２のカウント時間をＴ
に設定すれば、Ａ／Ｄ変換器９や制御部１２へ出力され
るパルスの最小間隔をＴにすることができる。
フリップフロップ２０に保持された場合、その出力はＯ
Ｒゲート２３によりカウントが終了するまで阻止され
る。カウント終了後、フリップフロップ２０の出力はフ
リップフロップ２１に入力される。そして、クロックＡ
に同期してフリップフロップ２１に保持され、Ａ／Ｄ変
換器９や制御部１２に出力される。したがって、カウン
タ２２のカウント数及びカウンタ２２の基準となるクロ
ックＢの周期により、カウンタ２２のカウント時間をＴ
に設定すれば、Ａ／Ｄ変換器９や制御部１２へ出力され
るパルスの最小間隔をＴにすることができる。
【００２７】なお、以上説明した各実施例の装置では、
回折格子４とモータ１０との接続にギヤを用いた場合を
説明したが、直結方式等の他の接続方法でも良い。ま
た、これら実施例ではツェルニ・ターナ形の光学配置の
場合を説明したが、リトロー形やダブルパス形など、他
の光学配置を用いても良い。
回折格子４とモータ１０との接続にギヤを用いた場合を
説明したが、直結方式等の他の接続方法でも良い。ま
た、これら実施例ではツェルニ・ターナ形の光学配置の
場合を説明したが、リトロー形やダブルパス形など、他
の光学配置を用いても良い。
【００２８】発明者は、図４の従来の光スペクトル装置
において測定時間が１０秒かかる場合と同じ測定が、実
施例１の光スペクトル装置では１秒以下で、また実施例
２の装置の場合には０．５秒以下で、それぞれ測定する
ことができることを確認した。
において測定時間が１０秒かかる場合と同じ測定が、実
施例１の光スペクトル装置では１秒以下で、また実施例
２の装置の場合には０．５秒以下で、それぞれ測定する
ことができることを確認した。
【００２９】
【発明の効果】この発明の光スペクトル測定装置によれ
ば、回折格子を測定開始波長から測定終了波長まで一定
速度で回転させながら測定することにより、高速で測定
を行うことが可能となる。また、Ａ／Ｄ変換信号の間隔
のばらつきを押さえる遅延回路を設けることにより、測
定開始波長と測定終了波長の間隔が狭いときや、モータ
の回転むらがある場合にも高速で測定を行うことができ
る。
ば、回折格子を測定開始波長から測定終了波長まで一定
速度で回転させながら測定することにより、高速で測定
を行うことが可能となる。また、Ａ／Ｄ変換信号の間隔
のばらつきを押さえる遅延回路を設けることにより、測
定開始波長と測定終了波長の間隔が狭いときや、モータ
の回転むらがある場合にも高速で測定を行うことができ
る。
【図１】第１の発明による光スペクトル測定装置の実施
例の構成図である。
例の構成図である。
【図２】第２の発明による光スペクトル測定装置の第２
の実施例の構成図である。
の実施例の構成図である。
【図３】第２の実施例で用いる遅延回路の構成例を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】従来の光スペクトル測定装置の説明図である。
１ 光源 ２ 入射スリット ３ 凹面鏡 ４ 回折格子 ５ 凹面鏡 ６ 出射スリット ７ 光検出器 ８ 増幅回路 ９ Ａ／Ｄ変換器 １０ モータ １１ 駆動回路 １２ 制御部 １３ 表示部 １４ エンコーダ １５ カウンタ １６ レジスタ １７ 比較器 １８ 遅延回路
Claims (2)
- 【請求項１】 回折格子(4) と、前記回折格子(4) を回
転させるモータ(10)と、前記回折格子(4) の回折光を受
光して電気信号に変換する光検出器(7) と、前記電気信
号を入力してＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器(9) と、モー
タ(10)の角度を設定するとともに前記Ａ／Ｄ変換器(9)
の値を読み込む制御部(12)とを備える光スペクトル測定
装置において、 前記モータ(10)の回転軸に接続されたエンコーダ(14)
と、前記エンコーダ(14)の出力に接続されるカウンタ(1
5)と、前記制御部(12)より値を設定するレジスタ(16)
と、前記カウンタ(15)の値と前記レジスタ(16)の値が等
しいときに前記Ａ／Ｄ変換器(9) にＡ／Ｄ変換信号を出
力する比較器(17)とを備えることを特徴とする光スペク
トル測定装置。 - 【請求項２】 前記比較器(17)と前記Ａ／Ｄ変換器(9)
の間に接続されて、前記比較器(17)の出力パルスの時間
間隔を一定値以上に保つ遅延回路(18)を更に備えたこと
を特徴とする請求項１に記載の光スペクトル測定装置。
Priority Applications (5)
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|---|---|---|---|
| JP26173794A JP3254932B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 光スペクトル測定装置 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5767966A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-16 | Ando Electric Co., Ltd. | Optical spectrum measuring device |
| JPWO2002088660A1 (ja) * | 2001-04-27 | 2004-08-19 | アンリツ株式会社 | 波長が連続的に変化する光を用いる波長特性測定装置及び方法 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3189162B2 (ja) * | 1997-05-30 | 2001-07-16 | 安藤電気株式会社 | 光スペクトラム計算方法 |
| JPH11125562A (ja) | 1997-10-21 | 1999-05-11 | Ando Electric Co Ltd | 波長校正装置 |
| US6031608A (en) * | 1998-09-03 | 2000-02-29 | Foss Nirsystems, Inc. | Spectroscopic instrument with offset grating to improve focus |
| JP3991497B2 (ja) | 1999-03-31 | 2007-10-17 | 横河電機株式会社 | 光スペクトラムアナライザと波長可変光源の波長トラッキング方式 |
| JP3887992B2 (ja) | 1999-04-30 | 2007-02-28 | 横河電機株式会社 | 波長特性測定装置 |
| US6362476B1 (en) | 1999-09-21 | 2002-03-26 | Agere Systems Guardian Corp. | Optical spectrum analyzer wavelength non-linearity measurement system |
| US6683686B2 (en) * | 2000-10-10 | 2004-01-27 | Photonica Pty Ltd | Temporally resolved wavelength measurement method and apparatus |
| EP1233255A1 (en) * | 2001-02-15 | 2002-08-21 | Ando Electric Co., Ltd. | Wavelength measurement apparatus |
| US7209230B2 (en) | 2004-06-18 | 2007-04-24 | Luckoff Display Corporation | Hand-held spectra-reflectometer |
| US7233394B2 (en) | 2005-06-20 | 2007-06-19 | Luckoff Display Corporation | Compact spectrometer |
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| WO2009070459A1 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Jingyun Zhang | Miniature spectrometers working with cellular phones and other portable electronic devices |
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| JP2023025742A (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-24 | 株式会社ディスコ | 光照射装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3822941A (en) * | 1969-11-19 | 1974-07-09 | Perkin Elmer Corp | Scanning monochromators |
| US4225233A (en) * | 1978-02-02 | 1980-09-30 | The Trustees Of Boston University | Rapid scan spectrophotometer |
| US4732476A (en) * | 1985-07-26 | 1988-03-22 | Barspec Ltd. | Continuously rotating grating rapid-scan spectrophotometer |
| US4804266A (en) * | 1985-07-26 | 1989-02-14 | Barspec Ltd. | Continuously rotating grating rapid-scan spectrophotometer |
| US4776695A (en) * | 1986-05-16 | 1988-10-11 | Prometrix Corporation | High accuracy film thickness measurement system |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP26173794A patent/JP3254932B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-09-12 GB GB9518619A patent/GB2293650B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-26 FR FR9511269A patent/FR2725273B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-29 IT IT95MI002005A patent/IT1275782B1/it active IP Right Grant
-
1996
- 1996-12-18 US US08/768,991 patent/US5784159A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5767966A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-16 | Ando Electric Co., Ltd. | Optical spectrum measuring device |
| JPWO2002088660A1 (ja) * | 2001-04-27 | 2004-08-19 | アンリツ株式会社 | 波長が連続的に変化する光を用いる波長特性測定装置及び方法 |
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| GB2293650A (en) | 1996-04-03 |
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| GB9518619D0 (en) | 1995-11-15 |
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