JPH0798607A - 物体移動装置及びその制御ユニット - Google Patents
物体移動装置及びその制御ユニットInfo
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- JPH0798607A JPH0798607A JP6101011A JP10101194A JPH0798607A JP H0798607 A JPH0798607 A JP H0798607A JP 6101011 A JP6101011 A JP 6101011A JP 10101194 A JP10101194 A JP 10101194A JP H0798607 A JPH0798607 A JP H0798607A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- error
- control unit
- drive mechanism
- object moving
- steering signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
- Y10T409/30—Milling
- Y10T409/30084—Milling with regulation of operation by templet, card, or other replaceable information supply
- Y10T409/300896—Milling with regulation of operation by templet, card, or other replaceable information supply with sensing of numerical information and regulation without mechanical connection between sensing means and regulated means [i.e., numerical control]
Abstract
(57)【要約】
【目的】 変形を誘発するジオメトリック誤差、負荷及
び温度を補償することによって物体の移動の精度を向上
する物体移動装置を得る。 【構成】 誤差及び変形の作用を定期的に更新する補償
テーブルに又はパラメータ化して記憶し、この補償テー
ブル又はパラメータ化記憶から位置の関数としての誤差
値を得る。装置の瞬間の全体的状態を考慮することがで
きる間に適当な誤差値を選択する。導き出した誤差値を
使用してフィードバックループにおける測定位置を修正
又はフィードバックループを使用することなく駆動手段
のためのステアリング信号を変更けする。
び温度を補償することによって物体の移動の精度を向上
する物体移動装置を得る。 【構成】 誤差及び変形の作用を定期的に更新する補償
テーブルに又はパラメータ化して記憶し、この補償テー
ブル又はパラメータ化記憶から位置の関数としての誤差
値を得る。装置の瞬間の全体的状態を考慮することがで
きる間に適当な誤差値を選択する。導き出した誤差値を
使用してフィードバックループにおける測定位置を修正
又はフィードバックループを使用することなく駆動手段
のためのステアリング信号を変更けする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも１つの方向
に物体を移動するための駆動機構と、前記駆動機構に接
続し、この駆動機構に加えるべきステアリング信号を繰
り返し発生することによって前記物体を目標位置に至る
運動を制御する制御ユニットと、実際の位置と前記目標
位置との間のずれを生じさせる駆動機構における誤差の
作用を補償する誤差補償手段とを備える物体移動装置に
関するものである。
に物体を移動するための駆動機構と、前記駆動機構に接
続し、この駆動機構に加えるべきステアリング信号を繰
り返し発生することによって前記物体を目標位置に至る
運動を制御する制御ユニットと、実際の位置と前記目標
位置との間のずれを生じさせる駆動機構における誤差の
作用を補償する誤差補償手段とを備える物体移動装置に
関するものである。
【０００２】このような装置としては、例えば、プリン
ト回路板上で構成部材を移動するための表面実装装置、
数値制御ミリング装置、ロボット、又は高い精度で幾つ
かの運動を行う他のタイプの装置がある。本発明は更
に、このような装置を制御する制御ユニットに関するも
のである。用語「駆動機構」は本発明のフレームとして
広い意味で解釈することができる。またモータや他の力
発生装置のみならず、運動を案内する受動部材及び能動
部材例えば、キャリッジ、クロススライド及びワークテ
ーブルをも意味するものと理解されたい。更に、用語
「目標位置」は、最終位置のみならず、正確に追従すべ
き経路における極めて多くの位置のそれぞれの位置をも
意味するものと理解されたい。
ト回路板上で構成部材を移動するための表面実装装置、
数値制御ミリング装置、ロボット、又は高い精度で幾つ
かの運動を行う他のタイプの装置がある。本発明は更
に、このような装置を制御する制御ユニットに関するも
のである。用語「駆動機構」は本発明のフレームとして
広い意味で解釈することができる。またモータや他の力
発生装置のみならず、運動を案内する受動部材及び能動
部材例えば、キャリッジ、クロススライド及びワークテ
ーブルをも意味するものと理解されたい。更に、用語
「目標位置」は、最終位置のみならず、正確に追従すべ
き経路における極めて多くの位置のそれぞれの位置をも
意味するものと理解されたい。
【０００３】
【従来の技術】このような装置は、プレシジョン エン
ジニアリング第８巻第４号（１９８６年発行）第１８７
〜１９５頁に掲載されたＭ．Ａ．ドンメッツ(Donmez)氏
等による記事「誤差補償によりマシンツールの精度を向
上する一般的方法論(A generalmethodology for machin
e tool accuracy enhancement by error compensation)
」に記載されている。この記事において、装置のモデ
ルに従って誤差を評価することによって誤差を補償し、
また誤差補償信号を位置サーボループに反映させること
が記載されている。誤差補償信号は、制御ユニットに取
り付けた外部誤差補償コンピュータ内で計算する。
ジニアリング第８巻第４号（１９８６年発行）第１８７
〜１９５頁に掲載されたＭ．Ａ．ドンメッツ(Donmez)氏
等による記事「誤差補償によりマシンツールの精度を向
上する一般的方法論(A generalmethodology for machin
e tool accuracy enhancement by error compensation)
」に記載されている。この記事において、装置のモデ
ルに従って誤差を評価することによって誤差を補償し、
また誤差補償信号を位置サーボループに反映させること
が記載されている。誤差補償信号は、制御ユニットに取
り付けた外部誤差補償コンピュータ内で計算する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、既知の誤差補
償は、限定された量の装置の状態に関する情報しか外部
コンピュータに転送されないという欠点があった。制御
ユニット及び誤差補償コンピュータの双方のハードウェ
ア及びソフトウェアにおける変更なしには、極めて多数
の関連パラメータを誤差補償に利用することができな
い。これらパラメータとしては、ツールの長さ、ツール
の向き、位置決め移動、精細な加工移動等の重要なパラ
メータがある。既知の誤差補償の第２の大きな欠点は、
位置のフィードバックの利用可能性に依存する点であ
る。従って、このような信号を発生するために少なくと
も１個の位置センサを必要とする。
償は、限定された量の装置の状態に関する情報しか外部
コンピュータに転送されないという欠点があった。制御
ユニット及び誤差補償コンピュータの双方のハードウェ
ア及びソフトウェアにおける変更なしには、極めて多数
の関連パラメータを誤差補償に利用することができな
い。これらパラメータとしては、ツールの長さ、ツール
の向き、位置決め移動、精細な加工移動等の重要なパラ
メータがある。既知の誤差補償の第２の大きな欠点は、
位置のフィードバックの利用可能性に依存する点であ
る。従って、このような信号を発生するために少なくと
も１個の位置センサを必要とする。
【０００５】従って、本発明の目的は、装置の内部パラ
メータに容易にアクセスすることができ、位置センサ等
がなくて済む誤差補償物体移動装置を得るにある。
メータに容易にアクセスすることができ、位置センサ等
がなくて済む誤差補償物体移動装置を得るにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明物体移動装置は、前記制御ユニットに、前記
駆動機構における前記誤差の作用を知得できるソースを
設け、ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこ
のような繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソー
スに前記制御ユニットがアクセスし、誤差作用を示す誤
差値を取得し、ステアリング信号を発生する間に誤差作
用を考慮するよう前記制御ユニット及び前記誤差補償手
段を機能的に統合したことを特徴とする。
め、本発明物体移動装置は、前記制御ユニットに、前記
駆動機構における前記誤差の作用を知得できるソースを
設け、ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこ
のような繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソー
スに前記制御ユニットがアクセスし、誤差作用を示す誤
差値を取得し、ステアリング信号を発生する間に誤差作
用を考慮するよう前記制御ユニット及び前記誤差補償手
段を機能的に統合したことを特徴とする。
【０００７】
【作用】ステアリング信号を発生する瞬間に誤差補償を
行うため、ステアリング信号に影響を与える装置の全て
のパラメータを直接論理に含ませる。換言すれば、本発
明による装置は、駆動システムにおける誤差の補償に必
要な値を決定する間に、物体の移動を決定するすべての
パラメータを知得し、考慮に入れる。このようにして誤
差の作用を処理することによって、装置の実際の位置を
決定するのに位置センサを使用することは必須ではなく
なる。
行うため、ステアリング信号に影響を与える装置の全て
のパラメータを直接論理に含ませる。換言すれば、本発
明による装置は、駆動システムにおける誤差の補償に必
要な値を決定する間に、物体の移動を決定するすべての
パラメータを知得し、考慮に入れる。このようにして誤
差の作用を処理することによって、装置の実際の位置を
決定するのに位置センサを使用することは必須ではなく
なる。
【０００８】例えば、誤差作用のソースは、スライドの
直線性及び装置の種々の軸線間の実際の角度に関する情
報がある。
直線性及び装置の種々の軸線間の実際の角度に関する情
報がある。
【０００９】誤差が時間の経過とともに変化する場合、
本発明による装置の好適な実施例においては、前記ソー
スは、装置の一時的状態における誤差作用を示す誤差値
を有し、規則的な時間間隔毎にこれら誤差値を更新する
構成とする。
本発明による装置の好適な実施例においては、前記ソー
スは、装置の一時的状態における誤差作用を示す誤差値
を有し、規則的な時間間隔毎にこれら誤差値を更新する
構成とする。
【００１０】補償値は、例えば、温度変化による装置の
変形に時間依存するよう調整する。例えば、更新は、大
まかに一定時間間隔毎、又は装置が所定状態にあるとき
に行うことができる。数値制御加工装置の場合、６０秒
毎の誤差値更新だけで十分熱膨張又は収縮に適応させる
のに十分であることがわかっている。
変形に時間依存するよう調整する。例えば、更新は、大
まかに一定時間間隔毎、又は装置が所定状態にあるとき
に行うことができる。数値制御加工装置の場合、６０秒
毎の誤差値更新だけで十分熱膨張又は収縮に適応させる
のに十分であることがわかっている。
【００１１】本発明の好適な実施例においては、前記ソ
ースを前記制御ユニットに設け、また前記ソースには、
誤差値を記憶したテーブル及び／又はパラメータ化によ
って誤差値を導き出すプロセッサ手段を設ける。
ースを前記制御ユニットに設け、また前記ソースには、
誤差値を記憶したテーブル及び／又はパラメータ化によ
って誤差値を導き出すプロセッサ手段を設ける。
【００１２】制御ユニットにおけるテーブルによれば、
計算の手間がほとんどなく迅速にアクセスすることがで
きる。従って、制御ユニットのサイクル毎の誤差補償の
組み込みを行う場合、たとえ同一のプロセッサを装置の
動作制御及び誤差補償の双方に使用するとしても、機械
加工の速度が遅くなることはない。パラメータ化によっ
て誤差値を決定することにより精度を向上し、誤差値の
連続性を保証する。パラメータ化を行うプロセッサは専
用プロセッサとし、制御ユニットのプロセッサに対する
負荷を軽減することができる。
計算の手間がほとんどなく迅速にアクセスすることがで
きる。従って、制御ユニットのサイクル毎の誤差補償の
組み込みを行う場合、たとえ同一のプロセッサを装置の
動作制御及び誤差補償の双方に使用するとしても、機械
加工の速度が遅くなることはない。パラメータ化によっ
て誤差値を決定することにより精度を向上し、誤差値の
連続性を保証する。パラメータ化を行うプロセッサは専
用プロセッサとし、制御ユニットのプロセッサに対する
負荷を軽減することができる。
【００１３】更に、本発明装置の他の好適な実施例にお
いては、装置の状態を表す状態値又は複数個の状態値を
決定するセンサ手段と、装置の数学的モデルに従って前
記状態値から誤差値を導き出す計算手段とを設ける。
いては、装置の状態を表す状態値又は複数個の状態値を
決定するセンサ手段と、装置の数学的モデルに従って前
記状態値から誤差値を導き出す計算手段とを設ける。
【００１４】状態センサとしては、例えば、装置の適当
な位置に配置した温度及び／又は負荷センサを使用す
る。装置の実際の設計に基づいて、このようなセンサと
して、位置センサ及び速度センサを設けることもでき
る。関連するパラメータの関数としての装置の変形を早
期に測定することによって、例えば、装置のジオメトリ
ックな挙動に対する機械的又は熱的に誘発される種々の
誤差源の作用を決定するらうモデルを構築することがで
きる。このモデルからの結果を使用して誤差の作用を表
しまた上述のソースを介して得られる値を発生する。
な位置に配置した温度及び／又は負荷センサを使用す
る。装置の実際の設計に基づいて、このようなセンサと
して、位置センサ及び速度センサを設けることもでき
る。関連するパラメータの関数としての装置の変形を早
期に測定することによって、例えば、装置のジオメトリ
ックな挙動に対する機械的又は熱的に誘発される種々の
誤差源の作用を決定するらうモデルを構築することがで
きる。このモデルからの結果を使用して誤差の作用を表
しまた上述のソースを介して得られる値を発生する。
【００１５】更に、本発明装置の他の好適な実施例にお
いては、前記制御ユニットに、物体の位置を測定するセ
ンサを有する位置決定手段を設ける。
いては、前記制御ユニットに、物体の位置を測定するセ
ンサを有する位置決定手段を設ける。
【００１６】位置センサによって決定される実際の位置
を制御ユニットにフィードバックし、ソースから得られ
る誤差値を選択する。
を制御ユニットにフィードバックし、ソースから得られ
る誤差値を選択する。
【００１７】更に、本発明装置の他の好適な実施例にお
いては、前記制御ユニットに、前記駆動機構に加わるス
テアリング信号から物体の位置を導き出す位置決定手段
を設ける。
いては、前記制御ユニットに、前記駆動機構に加わるス
テアリング信号から物体の位置を導き出す位置決定手段
を設ける。
【００１８】この実施例において、補償は、ステアリン
グ信号をモータに加える前に行う。実際の位置の別個の
測定は不要である。
グ信号をモータに加える前に行う。実際の位置の別個の
測定は不要である。
【００１９】本発明による装置は、一方向の又は単独の
軸線における運動又はひずみが他の方向又は他の軸線に
も反映される誤差として現れるような複数個の軸線を有
する装置に特に好適である。
軸線における運動又はひずみが他の方向又は他の軸線に
も反映される誤差として現れるような複数個の軸線を有
する装置に特に好適である。
【００２０】本発明は更に、装置の制御のため、前記駆
動機構に供給すべきステアリング信号を繰り返し発生す
ることにより前記物体を目標位置に移動させる制御を行
う構成とし、実際の位置と目標位置との間のずれを生じ
させる駆動機構の誤差の作用を補償する誤差補償手段を
設けた制御ユニットに関するものである。
動機構に供給すべきステアリング信号を繰り返し発生す
ることにより前記物体を目標位置に移動させる制御を行
う構成とし、実際の位置と目標位置との間のずれを生じ
させる駆動機構の誤差の作用を補償する誤差補償手段を
設けた制御ユニットに関するものである。
【００２１】本発明による制御ユニットは、前記駆動機
構における前記誤差の作用を知得できるソースを設け、
ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこのよう
な繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソースに前
記制御ユニットがアクセスし、ステアリング信号を発生
する間に誤差作用を考慮するよう前記制御ユニット及び
前記誤差補償手段を機能的に統合したことを特徴とす
る。
構における前記誤差の作用を知得できるソースを設け、
ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこのよう
な繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソースに前
記制御ユニットがアクセスし、ステアリング信号を発生
する間に誤差作用を考慮するよう前記制御ユニット及び
前記誤差補償手段を機能的に統合したことを特徴とす
る。
【００２２】
【実施例】次に、図面につき本発明の好適な実施例を説
明する。
明する。
【００２３】本発明装置を５軸ミリング装置（フライス
削り装置）につき説明する。このような装置は、温度負
荷及び機械的負荷に対して複雑な挙動を示し、このよう
な挙動は、本発明による装置に関連する誤差源の大部分
を占めるようになり、従って、この挙動を説明すること
は、本発明を理解する上で好適である。しかし、本発明
は、ミリング装置又はレースに限定するものではなく、
正確な運動を行うべき他の装置例えば、射出成形装置、
電子構成部品のための位置決め装置、ロボット、座標測
定装置等にも適用できる。
削り装置）につき説明する。このような装置は、温度負
荷及び機械的負荷に対して複雑な挙動を示し、このよう
な挙動は、本発明による装置に関連する誤差源の大部分
を占めるようになり、従って、この挙動を説明すること
は、本発明を理解する上で好適である。しかし、本発明
は、ミリング装置又はレースに限定するものではなく、
正確な運動を行うべき他の装置例えば、射出成形装置、
電子構成部品のための位置決め装置、ロボット、座標測
定装置等にも適用できる。
【００２４】図１において、５軸ミリング装置10の線図
的レイアウトを示す。この装置は、ツールホルダ21とワ
ークピーステーブル12の相対運動のための互いに直交す
る３軸を有する。これら３軸の方向を、前後移動のため
の双頭矢印１、左右移動のための双頭矢印２、及び上下
移動のための双頭矢印３で示す。これら３軸の軸線に沿
う直線運動は、それぞれ前後移動、左右移動及び上下移
動のためのキャリッジ11,12,13を有するキャリッジ案内
装置によって行うのが一般的である。更に、５軸ミリン
グ装置は、互いに直交する回転軸線を有する２個の回転
軸14,15 を有し、ツールホルダ21を前後移動軸線１の周
りにに回転させ、またテーブル22を垂直軸線の周りに矢
印Ｃ、Ｂで示すように回転させることができる。実際上
は、極めて多数の異なる組み合わせにし、ツール及びワ
ークピーステーブルの移動及び回転の軸線を配置するこ
とができる。実際の構成は、本発明による誤差修正の詳
細な実施に基づくが、通常の当業者が理解できる特定の
構成について本発明方法を適用したものを説明する。
的レイアウトを示す。この装置は、ツールホルダ21とワ
ークピーステーブル12の相対運動のための互いに直交す
る３軸を有する。これら３軸の方向を、前後移動のため
の双頭矢印１、左右移動のための双頭矢印２、及び上下
移動のための双頭矢印３で示す。これら３軸の軸線に沿
う直線運動は、それぞれ前後移動、左右移動及び上下移
動のためのキャリッジ11,12,13を有するキャリッジ案内
装置によって行うのが一般的である。更に、５軸ミリン
グ装置は、互いに直交する回転軸線を有する２個の回転
軸14,15 を有し、ツールホルダ21を前後移動軸線１の周
りにに回転させ、またテーブル22を垂直軸線の周りに矢
印Ｃ、Ｂで示すように回転させることができる。実際上
は、極めて多数の異なる組み合わせにし、ツール及びワ
ークピーステーブルの移動及び回転の軸線を配置するこ
とができる。実際の構成は、本発明による誤差修正の詳
細な実施に基づくが、通常の当業者が理解できる特定の
構成について本発明方法を適用したものを説明する。
【００２５】このような装置に関して、所望の位置及び
実際の位置との間のずれの大部分を決定する関連の誤差
源は、キャリッジ案内装置の不完全な形状に起因する形
状誤差又はジオメトリック誤差(geometric errors)であ
る。これらずれ自体は、ツールとワークピースとの間の
位置誤差及び向き誤差であり、例えば、第１方向の移動
が他の方向への意図しない移動及び／又は１個の軸線の
周りの回転を誘発する。この点に関し、また一般的な理
由として、測定誤差が、所望の移動を生ずる同一方向で
の望ましくない移動を誘発すると考えられる場合さえあ
る。ジオメトリック誤差の他の要因としては、他の軸線
の周りにの回転又は一方の方向への移動をも誘発する回
転がある。
実際の位置との間のずれの大部分を決定する関連の誤差
源は、キャリッジ案内装置の不完全な形状に起因する形
状誤差又はジオメトリック誤差(geometric errors)であ
る。これらずれ自体は、ツールとワークピースとの間の
位置誤差及び向き誤差であり、例えば、第１方向の移動
が他の方向への意図しない移動及び／又は１個の軸線の
周りの回転を誘発する。この点に関し、また一般的な理
由として、測定誤差が、所望の移動を生ずる同一方向で
の望ましくない移動を誘発すると考えられる場合さえあ
る。ジオメトリック誤差の他の要因としては、他の軸線
の周りにの回転又は一方の方向への移動をも誘発する回
転がある。
【００２６】ジオメトリック誤差は装置の素子の有限の
剛性に起因する。重量のあるワークピース又はワークピ
ースとツールとの間に大きな力が加わった場合、ツール
とワークピースとの間に位置のずれを生ずる。また装置
構体の温度に関する挙動も要因となる。幾つかの内部熱
源（モータ、軸受）及び外部熱源による熱膨張は、ツー
ルとワークピースとの間に少なくともジオメトリック誤
差又は形状誤差と同程度のオーダーの位置誤差及び向き
誤差を生ずる。
剛性に起因する。重量のあるワークピース又はワークピ
ースとツールとの間に大きな力が加わった場合、ツール
とワークピースとの間に位置のずれを生ずる。また装置
構体の温度に関する挙動も要因となる。幾つかの内部熱
源（モータ、軸受）及び外部熱源による熱膨張は、ツー
ルとワークピースとの間に少なくともジオメトリック誤
差又は形状誤差と同程度のオーダーの位置誤差及び向き
誤差を生ずる。
【００２７】ツールの位置誤差に対する種々のジオメト
リック誤差を記述する可能な方法の一つとしては、アイ
ドーヘン テクノロジー ユニバーシティの１９９１年
におけるＦ. ゼウウス(Theuws)氏による論文、「マシン
ツール精度の向上の理論と実践(Enhancement of machin
e tool accuracy: Theory and implementation) 」及
び、プレシジョン エンジニアリング第１４巻、第１号
において掲載されたＪ.Ａ．スーン(Soon)氏等による記
事「多軸マシンの誤差のモデリング: 一般的方法論(Mod
elling the errors of multi axes machines: a genera
l methodology)」に記載されているものがある。
リック誤差を記述する可能な方法の一つとしては、アイ
ドーヘン テクノロジー ユニバーシティの１９９１年
におけるＦ. ゼウウス(Theuws)氏による論文、「マシン
ツール精度の向上の理論と実践(Enhancement of machin
e tool accuracy: Theory and implementation) 」及
び、プレシジョン エンジニアリング第１４巻、第１号
において掲載されたＪ.Ａ．スーン(Soon)氏等による記
事「多軸マシンの誤差のモデリング: 一般的方法論(Mod
elling the errors of multi axes machines: a genera
l methodology)」に記載されているものがある。
【００２８】先ず、装置に負荷が加わり、ツールとワー
クピースとの間に力が加わった状態でのジオメトリック
誤差とキャリッジの位置との関係は、基準状態で測定す
べきである。この測定は、レーザ干渉計、レベルメー
タ、及び移動量変換器によって普通の方法で行うことが
できる。ジオメトリック誤差を決定する他の方法として
は、基準物体の位置を測定する座標測定装置などの装置
を使用することがある。ジオメトリック誤差を導出する
第３の方法としては、誤差成分を個別に測定するよう設
計したテストワークピースの加工又はこれらテストワー
クピースのセットの加工がある。この測定した値を使用
し、例えば、一組の多項式を評価することにより、全て
の軸の位置の関数としての誤差ベクトルを与える装置の
個別モデルを創出する。
クピースとの間に力が加わった状態でのジオメトリック
誤差とキャリッジの位置との関係は、基準状態で測定す
べきである。この測定は、レーザ干渉計、レベルメー
タ、及び移動量変換器によって普通の方法で行うことが
できる。ジオメトリック誤差を決定する他の方法として
は、基準物体の位置を測定する座標測定装置などの装置
を使用することがある。ジオメトリック誤差を導出する
第３の方法としては、誤差成分を個別に測定するよう設
計したテストワークピースの加工又はこれらテストワー
クピースのセットの加工がある。この測定した値を使用
し、例えば、一組の多項式を評価することにより、全て
の軸の位置の関数としての誤差ベクトルを与える装置の
個別モデルを創出する。
【００２９】同様にして、装置の熱変形の効果も考慮し
てモデルに導入する。誤差修正のためには、装置の各構
成部材の変形ではなく、ミリング装置に目標位置と実際
位置との間のずれがある場合、ワークピースに対するツ
ールの移動に注目することである。決定すべき関係は、
装置に取り付けた幾つかの温度センサによって基準温度
状態からの温度のずれの関数としてのこの移動量であ
る。ミリング装置に関して、最も重要な内部熱源は、主
要な駆動装置と主要なスピンドル軸受である。このこと
は、例えば、キャリッジのための駆動装置のような他の
内部熱源は考慮せず、また所定期間にわたり種々のスピ
ンドル速度での測定のみを行うという点で測定手法に影
響する。ミリング装置の温度に関する挙動の決定及びモ
デルの創出に関する詳細は、上述のアイドーヘン テク
ノロジー ユニバーシティの1991年におけるＦ. ゼウウ
ス(Theuws)氏による論文「マシンツール精度の向上の理
論と実践(Enhancement of machine tool accuracy: The
ory and implementation) 」を参照されたい。
てモデルに導入する。誤差修正のためには、装置の各構
成部材の変形ではなく、ミリング装置に目標位置と実際
位置との間のずれがある場合、ワークピースに対するツ
ールの移動に注目することである。決定すべき関係は、
装置に取り付けた幾つかの温度センサによって基準温度
状態からの温度のずれの関数としてのこの移動量であ
る。ミリング装置に関して、最も重要な内部熱源は、主
要な駆動装置と主要なスピンドル軸受である。このこと
は、例えば、キャリッジのための駆動装置のような他の
内部熱源は考慮せず、また所定期間にわたり種々のスピ
ンドル速度での測定のみを行うという点で測定手法に影
響する。ミリング装置の温度に関する挙動の決定及びモ
デルの創出に関する詳細は、上述のアイドーヘン テク
ノロジー ユニバーシティの1991年におけるＦ. ゼウウ
ス(Theuws)氏による論文「マシンツール精度の向上の理
論と実践(Enhancement of machine tool accuracy: The
ory and implementation) 」を参照されたい。
【００３０】図２において、本発明による修正システム
の全体的レイアウトを線図的に示す。３個の上側矢印
Ｌ、Ｇ及びＴは、種々の誤差源である負荷(load)、ジオ
メトリ(geometry)、及び温度(temperature) をそれぞれ
示す。これら値を、誤差モデルＥＭに入力し、誤差ター
ムを有する複数個のテーブルを生成する。評価すべき18
個のテーブルと、各方向の位置の関数としてｘ、ｙ、及
びｚ方向に誤差で誘発される平行移動量を表す９個のテ
ーブルＴＴと、及び誤差で誘発される回転量の９個のテ
ーブルＲＴのセット（組）がある。ミリング装置の実際
の実施例では、テーブルを評価し、また６０秒毎に制御
ユニットのメモリに記憶させる。制御プログラムＣＰは
これらテーブルを参照し、移動のためのステアリング信
号を決定するのに考慮すべき偏差δｘ、δｙ及びδｚを
決定する。
の全体的レイアウトを線図的に示す。３個の上側矢印
Ｌ、Ｇ及びＴは、種々の誤差源である負荷(load)、ジオ
メトリ(geometry)、及び温度(temperature) をそれぞれ
示す。これら値を、誤差モデルＥＭに入力し、誤差ター
ムを有する複数個のテーブルを生成する。評価すべき18
個のテーブルと、各方向の位置の関数としてｘ、ｙ、及
びｚ方向に誤差で誘発される平行移動量を表す９個のテ
ーブルＴＴと、及び誤差で誘発される回転量の９個のテ
ーブルＲＴのセット（組）がある。ミリング装置の実際
の実施例では、テーブルを評価し、また６０秒毎に制御
ユニットのメモリに記憶させる。制御プログラムＣＰは
これらテーブルを参照し、移動のためのステアリング信
号を決定するのに考慮すべき偏差δｘ、δｙ及びδｚを
決定する。
【００３１】図３には、図１に示したミリング装置のた
めのリアルタイム誤差修正装置の実施例の詳細を示す。
サークルＰＳＤにおいて、プロセスセンサデータを収集
する。このサークルは図２の上側部分の機能に対応し、
ジオメトリック誤差データＧ、負荷センサ信号Ｌ、及び
温度センサ信号Ｔの収集を行う。コンフィギュレーショ
ンデータ又は構成データ(cofiguration data) ＣＦとと
もに補償テーブルＣＴを決定する。この補償テーブルＣ
Ｔは、それぞれｘ、ｙ及びｚの関数としての平行移動量
及び回転量が与えられる６個のテーブルよりなる。テー
ブルの値は、例えば、測定した値に基づく関数から導き
出す。サークルＲＴＶで示されるプログラム部分は、テ
ーブルＣＴを読み取り、これらテーブルから、それぞれ
ｘ、ｙ及びｚ軸に沿う位置の関数としての補償を示す補
償メトリクスＣＸＭ、ＣＹＭ及びＣＺＭを決定する。
めのリアルタイム誤差修正装置の実施例の詳細を示す。
サークルＰＳＤにおいて、プロセスセンサデータを収集
する。このサークルは図２の上側部分の機能に対応し、
ジオメトリック誤差データＧ、負荷センサ信号Ｌ、及び
温度センサ信号Ｔの収集を行う。コンフィギュレーショ
ンデータ又は構成データ(cofiguration data) ＣＦとと
もに補償テーブルＣＴを決定する。この補償テーブルＣ
Ｔは、それぞれｘ、ｙ及びｚの関数としての平行移動量
及び回転量が与えられる６個のテーブルよりなる。テー
ブルの値は、例えば、測定した値に基づく関数から導き
出す。サークルＲＴＶで示されるプログラム部分は、テ
ーブルＣＴを読み取り、これらテーブルから、それぞれ
ｘ、ｙ及びｚ軸に沿う位置の関数としての補償を示す補
償メトリクスＣＸＭ、ＣＹＭ及びＣＺＭを決定する。
【００３２】テーブルＣＴを使用して制御ユニットに利
用できる補償値を創出する代わりに、プログラムのサブ
部分ＲＴＶに入力する平行移動量及び回転量を決定する
ためパラメータ化を使用することもできる。制御ユニッ
トにおけるプロセッサの負荷を軽減するため、専用プロ
セッサを使用してテーブルを決定する又はパラメータ化
から導いた関数値を計算することもできる。
用できる補償値を創出する代わりに、プログラムのサブ
部分ＲＴＶに入力する平行移動量及び回転量を決定する
ためパラメータ化を使用することもできる。制御ユニッ
トにおけるプロセッサの負荷を軽減するため、専用プロ
セッサを使用してテーブルを決定する又はパラメータ化
から導いた関数値を計算することもできる。
【００３３】サークルＣＴＶの機能は、ツールベクトル
ＴＶを計算することである。このツールベクトルＴＶ
は、ツール長さ及び旋回ヘッドＴＬ、Ｃ軸データＣＤ、
及びＣ軸の実際の位置ＣＡのようなパラメータから導き
出す。図１に示すミリング装置において、Ｃ軸は参照符
号14で示す。
ＴＶを計算することである。このツールベクトルＴＶ
は、ツール長さ及び旋回ヘッドＴＬ、Ｃ軸データＣＤ、
及びＣ軸の実際の位置ＣＡのようなパラメータから導き
出す。図１に示すミリング装置において、Ｃ軸は参照符
号14で示す。
【００３４】サークルＳＣＶにおいて、実際の補償値Ｃ
ＭＰを、補償メトリクスＣＸＭ、ＣＹＭ及びＣＺＭか
ら、またツールベクトルＴＶから、またｘ、ｙ及びｚ軸
に沿う実際の位置ＸＡ、ＹＡ及びＺＡがプログラムのこ
の部分に入力されている実際の位置Ｐから導き出す。補
償値ＣＭＰを使用し、サークルＯＵＴにおいて補償デー
タＣＭＰＤを決定し、所要に応じ、プログラム部分ＳＣ
Ｄを介してこの補償データをスクリーンに表示する。プ
ログラム部分ＯＵＴとＳＣＤとの間のインターフェース
により他の情報を表示目的のために使用することもでき
る。
ＭＰを、補償メトリクスＣＸＭ、ＣＹＭ及びＣＺＭか
ら、またツールベクトルＴＶから、またｘ、ｙ及びｚ軸
に沿う実際の位置ＸＡ、ＹＡ及びＺＡがプログラムのこ
の部分に入力されている実際の位置Ｐから導き出す。補
償値ＣＭＰを使用し、サークルＯＵＴにおいて補償デー
タＣＭＰＤを決定し、所要に応じ、プログラム部分ＳＣ
Ｄを介してこの補償データをスクリーンに表示する。プ
ログラム部分ＯＵＴとＳＣＤとの間のインターフェース
により他の情報を表示目的のために使用することもでき
る。
【００３５】上述したプログラム部分は均等に繰り返す
必要はない。上述したように、或る実施例では、サーク
ルＰＳＤ及びＲＴＶにおける補償メトリクスの計算は６
０秒毎に行う。ＳＣＶ及びＯＵＴにおける補償値選択及
び補償データ決定は１５秒毎に即ち、位置決定のための
ステアリング信号を発生する毎に行う。サークルＣＴＶ
におけるツールベクトルの計算は、ツールの長さ又はツ
ールの向きが変化するときのみ行う。
必要はない。上述したように、或る実施例では、サーク
ルＰＳＤ及びＲＴＶにおける補償メトリクスの計算は６
０秒毎に行う。ＳＣＶ及びＯＵＴにおける補償値選択及
び補償データ決定は１５秒毎に即ち、位置決定のための
ステアリング信号を発生する毎に行う。サークルＣＴＶ
におけるツールベクトルの計算は、ツールの長さ又はツ
ールの向きが変化するときのみ行う。
【００３６】図４においてプログラム部分ＳＣＶの内容
を更に示す。この図４に、３個のサブ入力部分ＳＣＶ．
Ｘ、ＳＣＶ．Ｙ、ＳＣＶ．Ｚと、３個のサブ出力部分Ｃ
ＭＰ．Ｘ、ＣＭＰ．Ｙ、ＣＭＰ．Ｚを示す。サブ入力部
分ＳＣＶ．Ｘには、ｘ軸に沿う実際の位置ＸＡを入力
し、補償マトリックスＣＸＭ．にアクセスする。これら
値からｘ、ｙ及びｚ軸に沿う誤差ＥＸをｘ軸実際位置Ｘ
Ａに対して決定する。これら誤差は平行移動誤差及び回
転誤差の双方とする。同様に、サブ部分ＳＣＶ．Ｙ、Ｓ
ＣＶ．Ｚにおいても、ｙ軸実際位置ＹＡ及びｚ軸実際位
置ＺＡ並びに補償マトリックスＣＹＭ及びＣＺＭ．から
誤差ＥＹ及びＥＺを決定する。サブ出力部分ＣＭＰ．Ｘ
において、ｘ軸補償値を、サブ入力部分により決定した
誤差値ＥＸ、ＥＹ及びＥＺから、並びにツールベクトル
ＴＶ、ｙ軸及びｚ軸方向の実際の位置、及び構成データ
の対応部分の関連の成分から計算する。誤差が回転を含
み、ｙ位置の関数としてのｚ軸の周りの回転がｘ軸方向
の移動を生ずる、又はその逆を生ずるので、実際のｙ軸
位置及びｚ軸位置は必要である。このサークルＣＭＰ．
Ｘの出力は、ＯＵＴプログラム部分（図３参照）に送ら
れる決定した補償データの一部である。同様に、Ｙ補償
データ及びＺ補償データを誤差値ＥＸ、ＥＹ及びＥＺ、
ツールベクトルＴＶ及び装置構成ＣＦから計算する。
を更に示す。この図４に、３個のサブ入力部分ＳＣＶ．
Ｘ、ＳＣＶ．Ｙ、ＳＣＶ．Ｚと、３個のサブ出力部分Ｃ
ＭＰ．Ｘ、ＣＭＰ．Ｙ、ＣＭＰ．Ｚを示す。サブ入力部
分ＳＣＶ．Ｘには、ｘ軸に沿う実際の位置ＸＡを入力
し、補償マトリックスＣＸＭ．にアクセスする。これら
値からｘ、ｙ及びｚ軸に沿う誤差ＥＸをｘ軸実際位置Ｘ
Ａに対して決定する。これら誤差は平行移動誤差及び回
転誤差の双方とする。同様に、サブ部分ＳＣＶ．Ｙ、Ｓ
ＣＶ．Ｚにおいても、ｙ軸実際位置ＹＡ及びｚ軸実際位
置ＺＡ並びに補償マトリックスＣＹＭ及びＣＺＭ．から
誤差ＥＹ及びＥＺを決定する。サブ出力部分ＣＭＰ．Ｘ
において、ｘ軸補償値を、サブ入力部分により決定した
誤差値ＥＸ、ＥＹ及びＥＺから、並びにツールベクトル
ＴＶ、ｙ軸及びｚ軸方向の実際の位置、及び構成データ
の対応部分の関連の成分から計算する。誤差が回転を含
み、ｙ位置の関数としてのｚ軸の周りの回転がｘ軸方向
の移動を生ずる、又はその逆を生ずるので、実際のｙ軸
位置及びｚ軸位置は必要である。このサークルＣＭＰ．
Ｘの出力は、ＯＵＴプログラム部分（図３参照）に送ら
れる決定した補償データの一部である。同様に、Ｙ補償
データ及びＺ補償データを誤差値ＥＸ、ＥＹ及びＥＺ、
ツールベクトルＴＶ及び装置構成ＣＦから計算する。
【００３７】上述したことの他に、補償値を決定するた
め、プログラム部分に補償ドージング(compensation do
sing) 又は補償投入を含ませることができる。補償値Ｃ
ＭＰは、位置及び時間の関数である。補償システムにお
いて位置及び時間の双方を離散化し、幾つかの解決ステ
ップの空間的及び時間的変化が時刻毎に補償値に生ずる
ようにする。「補償ドージング」がないと、ワークピー
スに目に見える急変端部を生ずることになる。補償ドー
ジングによれば、１サイクルにつき１回の解決ステップ
を行って１回以上の解決ステップの補償が確実に行われ
る。このようにして、補償が時間又は位置ですり込ま
れ、目に見える急変端部が回避される。
め、プログラム部分に補償ドージング(compensation do
sing) 又は補償投入を含ませることができる。補償値Ｃ
ＭＰは、位置及び時間の関数である。補償システムにお
いて位置及び時間の双方を離散化し、幾つかの解決ステ
ップの空間的及び時間的変化が時刻毎に補償値に生ずる
ようにする。「補償ドージング」がないと、ワークピー
スに目に見える急変端部を生ずることになる。補償ドー
ジングによれば、１サイクルにつき１回の解決ステップ
を行って１回以上の解決ステップの補償が確実に行われ
る。このようにして、補償が時間又は位置ですり込ま
れ、目に見える急変端部が回避される。
【００３８】本発明において、誤差を決定するのに必要
な実際位置は、２通りの方法で導き出すことができる。
第１の方法としては、装置の制御部にフィードバックル
ープを設けることであり、上述のようにして決定した補
償値を使用し、位置センサから受けた位置を修正してフ
ィードバックシステムに使用した実際位置をとるように
する。第２の方法としては、補償値を使用して駆動手段
に供給されるステアリング信号を変更する。この第２の
方法は、駆動手段の応答性が高い信頼性を有する場合例
えば、駆動手段がステップモータてある場合に適用する
とよい。これら２つの方法を図５の（ａ）及び（ｂ）に
示す。図５の（ａ）において、制御ユニット51によりス
テアリング信号ＰＯＳを駆動手段52に供給する。駆動手
段の応答を位置センサ53で測定し、制御ユニット51にフ
ィードバックする。制御ユニットのサブ部分56におい
て、補償データＣＭＰＤを位置センサから受けた信号か
ら計算し、サブ部分54においてこの補償データを位置セ
ンサからの信号と組み合わせて位置信号の修正に使用す
る。図５の（ｂ）にはサブ部分55を有する制御ユニット
51を示し、このサブ部分において位置信号ＰＯＳ及び補
償データＣＭＰＤを組み合わせ、駆動手段52のためのス
テアリング信号を発生する。補償データＣＭＰＤは、サ
ブ部分56において位置信号ＰＯＳから計算する。
な実際位置は、２通りの方法で導き出すことができる。
第１の方法としては、装置の制御部にフィードバックル
ープを設けることであり、上述のようにして決定した補
償値を使用し、位置センサから受けた位置を修正してフ
ィードバックシステムに使用した実際位置をとるように
する。第２の方法としては、補償値を使用して駆動手段
に供給されるステアリング信号を変更する。この第２の
方法は、駆動手段の応答性が高い信頼性を有する場合例
えば、駆動手段がステップモータてある場合に適用する
とよい。これら２つの方法を図５の（ａ）及び（ｂ）に
示す。図５の（ａ）において、制御ユニット51によりス
テアリング信号ＰＯＳを駆動手段52に供給する。駆動手
段の応答を位置センサ53で測定し、制御ユニット51にフ
ィードバックする。制御ユニットのサブ部分56におい
て、補償データＣＭＰＤを位置センサから受けた信号か
ら計算し、サブ部分54においてこの補償データを位置セ
ンサからの信号と組み合わせて位置信号の修正に使用す
る。図５の（ｂ）にはサブ部分55を有する制御ユニット
51を示し、このサブ部分において位置信号ＰＯＳ及び補
償データＣＭＰＤを組み合わせ、駆動手段52のためのス
テアリング信号を発生する。補償データＣＭＰＤは、サ
ブ部分56において位置信号ＰＯＳから計算する。
【００３９】装置の制御部における誤差補償を積分する
ことにより、精度を相当向上することができる。本発明
は、上述のＦ. ゼウウス氏の論文に記載されたモデルを
使用してＭＡＨＯ７００Ｓの５軸ミリング装置にインプ
リメントした。この結果、ジオメトリック誤差、有限こ
わさ(finite stiffness:有限剛度）誤差及び温度誤差が
８０％向上した。
ことにより、精度を相当向上することができる。本発明
は、上述のＦ. ゼウウス氏の論文に記載されたモデルを
使用してＭＡＨＯ７００Ｓの５軸ミリング装置にインプ
リメントした。この結果、ジオメトリック誤差、有限こ
わさ(finite stiffness:有限剛度）誤差及び温度誤差が
８０％向上した。
【図１】３軸方向の平行移動及び２個の回転軸線を有す
るミリング装置の線図的斜視図である。
るミリング装置の線図的斜視図である。
【図２】ｘ、ｙ及びｚ軸方向の誤差を装置の状態を記述
するパラメータから導き出す中間ステップのブロック図
である。
するパラメータから導き出す中間ステップのブロック図
である。
【図３】本発明装置の実施例のデータの流れを示す説明
図である。
図である。
【図４】図３の一部の詳細説明図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、装置の制御システムに組
み込むことができる本発明の２個の代替実施例の説明図
である。
み込むことができる本発明の２個の代替実施例の説明図
である。
10 ５軸ミリング装置 12 ワークピーステーブル 21 ツールホルダ 11,12,13 キャリッジ 14,15 回転軸 51 制御ユニット 53 センサ 54,55,56 サブ部分 52 駆動手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨハネス アウグスチヌス ソーンズ オランダ国 5621 ベー アー アインド ーフェン フルーネヴァウツウェッハ１ (72)発明者 ヘレナ マリア デ ルイテル オランダ国 5621 ベー アー アインド ーフェン フルーネヴァウツウェッハ１
Claims (9)
- 【請求項１】少なくとも１つの方向に物体を移動するた
めの駆動機構と、 前記駆動機構に接続し、この駆動機構に加えるべきステ
アリング信号を繰り返し発生することによって前記物体
を目標位置に至る運動を制御する制御ユニットと、 実際の位置と前記目標位置との間のずれを生じさせる駆
動機構における誤差の作用を補償する誤差補償手段とを
備える物体移動装置において、 前記制御ユニットに、前記駆動機構における前記誤差の
作用を知得できるソースを設け、 ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこのよう
な繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソースに前
記制御ユニットがアクセスし、誤差作用を示す誤差値を
取得し、ステアリング信号を発生する間に誤差作用を考
慮するよう前記制御ユニット及び前記誤差補償手段を機
能的に統合したことを特徴とする物体移動装置。 - 【請求項２】前記ソースは、装置の一時的状態における
誤差作用を示す誤差値を有し、規則的な時間間隔毎にこ
れら誤差値を更新する構成とした請求項１記載の物体移
動装置。 - 【請求項３】前記ソースを前記制御ユニットに設け、ま
た前記ソースには、誤差値を記憶したテーブル及び／又
はパラメータ化によって誤差値を導き出すプロセッサ手
段を設けた請求項１又は２記載の物体移動装置。 - 【請求項４】装置の状態を表す状態値又は複数個の状態
値を決定するセンサ手段と、装置の数学的モデルに従っ
て前記状態値から誤差値を導き出す計算手段とを設けた
請求項１乃至３のうちのいずれか一項に記載の物体移動
装置。 - 【請求項５】前記装置における温度を測定する及び／又
は装置に加わる負荷を測定するセンサ手段を設けた請求
項４記載の物体移動装置。 - 【請求項６】前記制御ユニットに、物体の位置を測定す
るセンサを有する位置決定手段を設けた請求項２乃至５
のうちのいずれか一項に記載の物体移動装置。 - 【請求項７】前記制御ユニットに、前記駆動機構に加わ
るステアリング信号から物体の位置を導き出す位置決定
手段を設けた請求項２乃至５のうちのいずれか一項に記
載の物体移動装置。 - 【請求項８】駆動機構は、種々の方向に及び種々の向き
で物体を移動させる複数個の軸線を有する構成とした請
求項４乃至７のうちのいずれか一項に記載の物体移動装
置において、誤差値を決定する計算手段を、数学的モデ
ルに従って装置の各軸線のために物体の位置及び向きの
関数として誤差値のパラメータ化を決定する計算手段と
し、１個の軸線に沿う位置にのみ依存する前記誤差値を
前記制御ユニットのテーブルに記憶させた物体移動装
置。 - 【請求項９】前記制御ユニットは、前記駆動機構に供給
すべきステアリング信号を繰り返し発生することにより
前記物体を目標位置に移動させる制御を行う構成とし、
実際の位置と目標位置との間のずれを生じさせる駆動機
構の誤差の作用を補償する誤差補償手段を設けた請求項
１乃至８のうちのいずれか一項に記載の物体移動装置を
制御する制御ユニットにおいて、 前記駆動機構における前記誤差の作用を知得できるソー
スを設け、 ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこのよう
な繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソースに前
記制御ユニットがアクセスし、ステアリング信号を発生
する間に誤差作用を考慮するよう前記制御ユニット及び
前記誤差補償手段を機能的に統合したことを特徴とする
制御ユニット。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP93201425 | 1993-05-18 | ||
| NL93201425:1 | 1993-05-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798607A true JPH0798607A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=8213833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6101011A Pending JPH0798607A (ja) | 1993-05-18 | 1994-05-16 | 物体移動装置及びその制御ユニット |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5492440A (ja) |
| JP (1) | JPH0798607A (ja) |
| DE (1) | DE69419819T2 (ja) |
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