JPH0797186B2 - ガルバノメータミラーの調整方法 - Google Patents

ガルバノメータミラーの調整方法

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JPH0797186B2
JPH0797186B2 JP62303899A JP30389987A JPH0797186B2 JP H0797186 B2 JPH0797186 B2 JP H0797186B2 JP 62303899 A JP62303899 A JP 62303899A JP 30389987 A JP30389987 A JP 30389987A JP H0797186 B2 JPH0797186 B2 JP H0797186B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はガルバノメータミラーの調整方法に関し、一層
詳細には、被走査体をガルバノメータミラーによって偏
向された光ビームにより走査して画像等の読取あるいは
記録を行う光ビーム走査装置に組み込まれるガルバノメ
ータミラーのオフセット並びに偏向角速度の調整方法に
関する。
[発明の背景] 従来から、光偏向器であるガルバノメータミラーによっ
て一次元方向に偏向された光ビームにより被走査体を主
走査すると共に、この被走査体を主走査方向と略直交す
る方向(副走査方向)に相対的に移動して被走査体を二
次元的に走査するよう構成した光ビーム走査装置が各種
記録装置または読取装置として広汎に使用されている。
例えば、放射線画像情報が蓄積記録された蓄積性蛍光体
シートをレーザ光等の励起光により走査し放射線画像情
報を有する輝尽発光光を生じさせ、この輝尽発光光をフ
ォトマルチプライヤ等の光検出手段を用いて光電的に検
出することにより画像信号を得るように構成した放射線
画像情報読取装置がその好例と謂えよう。なお、ここ
で、蓄積性蛍光体とは、放射線(X線、α線、β線、γ
線、電子線および紫外線等)を照射するとこの放射線エ
ネルギの一部を蓄積し、後に可視光等の励起光を照射す
ることにより蓄積されたエネルギに応じて輝尽発光光を
生じる蛍光体をいい、また、蓄積性蛍光体シートとは当
該蓄積性蛍光体からなる層を有するシートをいう。
ところで、前記放射線画像情報読取装置においては、蓄
積性蛍光体シートを主走査する光ビームの走査線毎の読
取開始位置並びに主走査速度(読取速度)は一定である
ことが望ましい。すなわち、走査線毎の読取開始位置
(以下、単に読取開始位置という)が一定であれば、常
に、前記蓄積性蛍光体シートの所定の位置からの画像情
報が正確に得られ、一方、主走査速度が一定であれば、
画像情報の1画素あたりのサンプリング時間が均等とな
り、画像情報をムラなく読み取ることが出来るからであ
る。そして、これら読取開始位置並びに主走査速度は、
夫々、光ビームを偏向するガルバノメータミラーの位置
オフセット並びに偏向角速度に依存して変化する。
ところが、前記ガルバノメータミラーは機械的可動部分
が多い構成であるため、周囲温度等の環境条件の変動に
よって、その位置オフセットおよび偏向範囲が機械的に
僅かにずれる場合がある。この場合、機械的な僅かなず
れ、例えば、ミラーのアライメントの僅かな位置ずれ等
であっても、蓄積性蛍光体シート上の読取開始位置並び
に光ビームの走査速度は相当に変化する。
そこで、この環境条件による読取開始位置・走査速度の
変動を除去するために、次のような調整作業が遂行され
ている。すなわち、先ず、走査用の光ビームをハーフミ
ラー等により分割し、この分割した同期用の光ビームを
光透過部と非透過部(反射部)とが交互に配設されてな
る明暗パターンを有する光学格子(以下、グリッドとい
う)に導いて走査することでパルス光を生成する。次い
で、このパルス光から得られるグリッド信号に基づいて
同期信号を発生し、この同期信号を用いてガルバノメー
タミラーを駆動するのこぎり波状の電気信号(以下、の
こぎり波信号という)の直流オフセットおよび偏向角速
度に対応する傾斜(単位時間あたりの電流または電圧の
変化量、以下、単に走査速度という)を可変とし、ガル
バノメータミラーの位置オフセットおよび偏向角速度を
調整している。
このように直流オフセット並びに偏向角速度を調整する
場合、前記蓄積性蛍光体シートの読取開始位置を決定す
る基準信号が必要である。この基準信号を得る方策とし
て、従来は前記グリッドの端部に配設される非透過部を
幅広に形成し、この幅広非透過部を同期用光ビームで走
査した後に最初に発生するパルス光を基準信号とする方
法あるいは蓄積性蛍光体シートの読取開始位置に対応し
て同期用光ビームの走査区域の先端位置近傍に光検出セ
ンサを配設し、この光検出センサから得られるパルス光
を基準信号とする方策等が採用されている。
然しながら、このような方策を選択した場合において、
前記したガルバノメータミラーの初期オフセットずれが
相当に大きく、従って同期用光ビームの走査域が前記グ
リッド上の幅広な非透過部あるいは読取開始位置に対応
して配設した光検出センサから外れる場合が生ずる。こ
の場合においては、最早、直流オフセット並びに走査速
度を調整をするための基準信号が発生しないのでガルバ
ノメータミラーの自動調整が出来ないという欠点が内在
している。
[発明の目的] 本発明は前記の不都合を克服するためになされたもので
あって、前記グリッドに明暗パターンの位相変調部分を
複数個所形成し、グリッド上を同期用の光ビームで走査
する際、先ず、一走査あたりの位相変調部分の検出数が
所定の数となるようにガルバノメータミラーを駆動する
のこぎり波信号の直流オフセットを調整し、次いで、前
記位相変調部分に係るパルス発生の後、グリッド信号の
所定のパルス数を発生する時間が予め設定した所定の時
間になるようにガルバノメータミラーを駆動するのこぎ
り波信号の傾斜を調整することによって、ガルバノメー
タミラーの位置オフセット並びに偏向角速度を自動的に
調整することを可能とするガルバノメータミラーの調整
方法を提供することを目的とする。
[目的を達成するための手段] 前記の目的を達成するために、本発明はガルバノメータ
ミラーによって一次元方向に偏向された光ビームにより
被走査体を主走査すると共に、該被走査体を主走査方向
と略直交する方向に相対的に移動して被走査体を二次元
的に走査し文字情報、画像情報等の記録あるいは読取を
行うにあたり、同期用光ビームにより主走査方向に複数
の明暗パターンが形成されたグリッドを走査し該グリッ
ドを通過した光ビームを光電的に検出してグリッド信号
を得、当該グリッド信号を所定逓倍して同期信号を得る
光ビーム走査装置に採用されるガルバノメータミラーの
調整方法であって、前記グリッドに明暗パターンの位相
変調部をN個(Nは2以上の自然数)形成し、当該N個
の位相変調部を有するグリッドを同期用光ビームによっ
て走査する際、先ず、一走査あたりの位相変調部の検出
数がM個(MはM≦Nを満足する自然数)になるようガ
ルバノメータミラーのオフセットを調整し、次に一走査
における前記位相変調部の検出後、グリッド信号の所定
のパルス数を発生する時間が予め設定した所定時間とな
るようにガルバノメータミラーの速度を調整することを
特徴とする。
[実施態様] 次に、本発明に係るガルバノメータミラーの調整方法に
ついてこれを実施する装置の好適な実施態様を挙げ、添
付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
第1図において、参照符号10は本発明に係るガルバノメ
ータミラーの調整方法を実施する装置を組み込む放射線
画像情報読取装置の概略構成を示す。当該放射線画像情
報読取装置10には放射線画像情報が記録された被走査
体、例えば、副走査方向(矢印A方向)に搬送される蓄
積性蛍光体シートSを光ビームLaにより走査するレーザ
走査部12と、前記光ビームLaによる走査で得られた画像
情報を有する光を光電変換する画像読取部14と、光ビー
ムLbの走査位置を検出し同期信号を発生する同期信号発
生部16と、ガルバノメータミラー17を駆動するガルバノ
メータミラーの駆動部18と、前記画像読取部14からの信
号を同期信号に基づきデジタル画像情報に変換して図示
しない画像メモリに蓄積する信号処理部20とから基本的
に構成される。
そこで、レーザ走査部12のレーザ光源22から発せられた
光ビームLはビームエキスパンダ24を通過して所望の太
さのビーム径に形成された後、矢印B方向に揺動動作し
て光ビームLを反射するガルバノメータミラー17に入射
して反射偏向される。ガルバノメータミラー17の揺動動
作により反射偏向された光ビームLは光路中に配設され
たfθレンズ等の走査レンズ26を通過した後、光路上に
主走査方向に延在して配設されたハーフミラー28に入射
する。このハーフミラー28は入射した光ビームLの中、
走査に必要な量の光ビームを走査用の光ビームLaとして
反射し、残りの光ビームを同期用の光ビームLbとして透
過させる。前記ハーフミラー28により反射された光ビー
ムLaは光路上に配設された蓄積性蛍光体シートS上で集
束し、蓄積性蛍光体シートS上を主走査方向(矢印C方
向)に走査する。
前記画像読取部14は光ビームLaによって励起された蓄積
性蛍光体シートSから発生される輝尽発光光を集光する
光ガイド30と、集光された輝尽発光光を光電変換するフ
ォトマルチプライヤ32とを含む。この場合、光ガイド30
における輝尽発光光の受光面は蓄積性蛍光体シートSに
近接してその主走査方向に沿って配置されている。前記
フォトマルチプライヤ32の光電変換後の電気信号は前記
信号処理部20の中、ログアンプ33を介してA/D変換器34
の信号入力端子に導入される。
一方、同期信号発生部16は前記ハーフミラー28を通過し
た光ビームLbを透過させる透過部36a、後述する幅広の
透過部36cおよびこの光ビームLbを反射させる反射部36b
からなる明暗パターン37が前記光ビームLbの走査方向
(矢印F方向)に沿って交互に配設されてなるグリッド
36と、前記グリッド36の後方に沿って配設される円柱状
の光ガイド38と、前記光ガイド38の両端部に設けられグ
リッド36から透過した光ビームLbを検出する光センサ40
a、40bと当該光センサ40a、40bから出力される基準グリ
ッド信号GRを波形整形する波形整形回路42と、波形整形
回路42からの波形整形後の出力信号であるグリッド信号
GGに基づいて同期信号TRを発生する同期信号発生回路44
とから構成される。
この場合、前述のように、前記走査用の光ビームLaは蓄
積性蛍光体シートS上において主走査方向の所定の位置
から実質的な読取を行う主走査(以下、有効走査とい
う)を開始する必要があり、各走査線毎に有効走査の始
点が同一位置に制御される必要がある。そこで、本装置
においては、前記グリッド36の明暗パターン37を第2図
aに示す特徴的な構成として始点制御を行うようにして
いる。すなわち、グリッド36の明暗パターン37は基本的
には同期用光ビームLbを透過させる標準幅の透過部36a
と同期用光ビームLbを反射する反射部36bが一定のピッ
チで交互に形成されているが所定間隔毎にこれらの部分
とはピッチが異なる、すなわち、位相変調された幅広の
透過部36cが形成される構成としている。なお、本実施
態様において、前記幅広透過部36cの数Nは4個として
いる。この幅広透過部36cの数Nは、後述するように、
本発明を実施するためには最低限2個必要であり、以下
に説明する理由により3個以上に形成すればさらに好適
である。
一方、前記同期信号発生回路44からの同期信号TRは前記
A/D変換器34の同期信号入力端子に導入される。この場
合、前記同期信号発生回路44は、例えば、周波数シンセ
サイザとして構成され、グリッド信号GGを所定倍数逓倍
した、所謂、画素クロックに対応する同期信号TRを発生
する。
第3図は前記駆動部18の概略構成を示すブロック図であ
る。駆動部18は同期信号発生回路44で生成される同期信
号TRを利用してグリッド信号GGに含まれる幅広透過部36
cに係る位相変調されたパルスPmを検出し、変調部に対
応するパルスGH(以下、変調検出パルスという)を出力
する変調検出部50と、前記変調検出パルスGHを基にガル
バノメータミラー17の揺動動作オフセット分を検出する
オフセット検出部52と、グリッド信号GGの所定のパルス
数を発生する時間に基づいてガルバノメータミラー17の
走査速度を検出する速度検出部54と、前記オフセット検
出部52と速度検出部54の出力信号から所定のオフセット
データDOFFと所定の速度データDSPをD/Aコンバータ56、
58に夫々送給する制御部60と、D/Aコンバータ58の出力
信号を積分してのこぎり波信号を発生するのこぎり波発
生器である積分器62と、当該積分器62の出力信号と前記
D/Aコンバータ56の出力信号を加算する加算増幅器69と
当該加算増幅器69の出力信号をガルバノメータミラー17
を駆動する所定の駆動電流に変換するガルバノメータド
ライバ70とからなる。
第4図は前記速度検出部54の概略機構を示すブロック図
である。当該速度検出部54は、基本的に、グリッド信号
GGの各パルスを所定数計数する間その出力端子OUTがロ
ーレベルに付勢されるカウンタ72と、当該カウンタ72の
出力端子OUTがローレベルに付勢されている間クロック
端子CLK2に入力する高周波の基準クロックf0のパルス数
を計数するカウンタ74とから構成される。前記カウンタ
72は変調検出パルスGHによって付勢されるDフリップフ
ロップ76の出力信号によって計数を開始し、カウンタ72
とカウンタ74の間には位相反転用のインバータ78とその
入力端子SETに信号到来後パルスを1個のみ通過させる
1パルス通過回路80が配設されている。
本発明に係るガルバノメータミラーの調整方法を実施す
るための装置を組み込む放射線画像情報読取装置は基本
的には以上のように構成されるものであり、次にその作
用並びに効果について説明する。
本装置では、前記したように、ガルバノメータミラー17
に係る読取開始位置E1(第1図参照)と、当該読取開始
位置E1から読取終了位置E2に至るまでの走査速度を決定
する。この場合、読取開始位置E1並びに走査速度の決定
はガルバノメータミラー17に供給される繰り返しのこぎ
り波信号W(第2図b参照)の調整によって可能であ
る。すなわち、のこぎり波信号Wの振幅WAが全走査区間
E3(第1図参照)に対応することを考慮すれば、のこぎ
り波信号Wの直流オフセットWBの調整によって読取開始
位置E1が決定出来、のこぎり波信号Wの傾斜、すなわ
ち、走査期間T0内の振幅変化WA(以下、単に振幅WAとい
う)を調整することによって所定の読取速度Vが決定出
来ることが容易に諒解されよう。なお、この場合、のこ
ぎり波信号Wは制御部60内に導入されている基準クロッ
クf0を所定分周した走査開始クロックCL(第2図c参
照)毎に発生する。
そこで、先ず、前記制御部60において直流オフセットWB
と振幅WAの初期値が適当に設定され、当該設定値に係る
のこぎり波信号Wがガルバノメータドライバ70からガル
バノメータミラー17に供給されるものとする。
再び第1図において、レーザ光源22から発せられた光ビ
ームLはのこぎり波信号Wが供給されたガルバノメータ
ミラー17によって矢印D方向に偏向される。このように
偏向された光ビームLの中、走査レンズ26、ハーフミラ
ー28を通過した光ビームLbはグリッド36上を矢印D方向
に走査する。この場合、グリッド36の標準幅の透過部36
a並びに幅広透過部36cを通過した光ビームLbが光ガイド
38に入射し、光ガイド38の光ビームLbの入射側と反対側
に形成されている拡散帯(図示せず)により種々の異な
る方向に拡散され、光ガイド38内を全反射を繰り返した
光ビームLbは光センサ40a、40bに到達し光電変換され、
幅広の透過部36cに係る幅広光パルスを含む基準グリッ
ド信号GRが生成される。この基準グリッド信号GRはアナ
ログ信号であるのでタイミング信号として利用すべく、
コンパレータを含み比較動作を行う波形整形回路42によ
り波形の立ち上がり部および立ち下がり部の急峻なグリ
ッド信号GG(第2図d参照)に変換されて駆動部18およ
び同期信号発生回路44に導入される。
次に、ガルバノメータミラー17の調整を実施する。な
お、当該ガルバノメータミラー17の調整にあっては、オ
フセットの調整と走査速度に係る振幅の調整とは互いに
独立なものでなく、一方を調整すると他方が所定量変動
するので、このオフセットの調整と振幅の調整はそれを
何度か繰り返し行うことにより所定の設定範囲内に入る
ようにする。
そこで、先ず、オフセットの調整について説明する。こ
の場合、前記したように変調検出部50には波形整形回路
42からのグリッド信号GGが導入されると共に、同期信号
発生回路44から当該グリッド信号GGが所定逓倍された同
期信号TR(第2図e参照)が導入される。第2図dから
諒解されるように、グリッド信号GGにはグリッド36の透
過部36a並びに幅広透過部36cに対応する標準パルスPs
幅広パルスPmが存在する。従って、グリッド信号GGから
幅広パルスPmのみを検出する変調検出部50の構成は標準
パルスPsおよび幅広パルスPmの発生期間中に発生する同
期信号TRのパルスPcの数が所定個数以上の数であるパル
スのみを幅広パルスPmとして選択するカウンタとタイマ
とから構成すればよい。このようして変調検出部50で検
出される変調検出パルスGHを第2図fに示す。
第2図fにおいては、変調検出パルスGHに存在するパル
スPHの数を4個全て描出しているが、今、例えば、ガル
バノメータミラー17のオフセットずれによってグリッド
36上の光ビームLbの走査範囲が、第3図で偏向角θ
示すように、右方にずれていて、4個目のパルスPH4
みしか検出出来ないものとし、この場合についてのガル
バノメータミラー17のオフセットの調整方法について述
べる。
先ず、主走査全長を走査した場合、変調検出パルスGH
係るパルスPHの全数Nが4個ということが予め分かって
るので、オフセット値を徐々に減らしてその度毎にパル
スPHの数を計数しその数が4個になるまでオフセットを
低減する。次に、予め蓄積性蛍光体シートSの大きさを
制御部60に図示しない入力手段から入力することによっ
て制御部60において自動的に決定されるある走査モード
に対応した規定数M(この実施態様ではMは4以下)の
数だけパルスPHが検出されるようにオフセットを、逆
に、徐々に増加する。
なお、規定数Mは、最終的に設定されたオフセット値xm
(後述する)に基づいて光ビームLbでグリッド36上を矢
印D方向に一走査したときのパルスPHの検出数、すなわ
ち、位相変調部の検出数、言い換えれば、幅広の透過部
36c(第2図a参照)の検出数に等しい。今、規定数M
が、例えば、M=3に決定されているものとする。そこ
で、パルスPHの数が4個から当該規定数M=3(第2図
fに示すパルスPH2、PH3、PH4の3個)となるまでオフ
セット値を増加した後、当該規定数M=3に対してパル
スPHの数がM−1=2となるようにオフセット値をさら
に増加し、パルスPHの数がM−1=2となった直後のオ
フセット値xm-1を求める。このオフセット値xm-1はD/A
コンバータ56に対する設定データDoffである。そこで、
さらにオフセットを増加し、パルスPHの数がM−2=1
となるオフセット値xm-2を求める。以上の結果より、ガ
ルバノメータミラー17に設定すべきオフセット値xmをXm
=xm-1−(xm-2−xm-1)/2=3/2xm-1−1/2xm-2とする
(第2図gに示す数直線参照)。
第2図gから容易に諒解されるように、オフセット値xm
は隣接するパルスPHの略中央部に対応する値に設定して
パルスPHの誤検出を回避している。
ところで、規定数Mが2以上の場合には、上記の手順で
オフセット値を調整すればよいが、規定数Mが1の場合
には上記の方法は採用出来ないので次に述べる方法で行
う。すなわち、規定数MがM=1と設定された場合、先
ず、パルスPHの数が3となるオフセットとしてから、パ
ルスPHが2となるオフセット値x3を求め、次に、オフセ
ットを徐々に増加させてパルスPHの数が1となるオフセ
ット値x2を求める。この結果、オフセット値x1は3/2x2
−1/2x3とすればよいことが容易に諒解されよう。
なお、以上に述べたオフセットの調整方法は光ビームLb
の走査範囲が右方にずれている場合の調整方法である
が、走査範囲が左方にずれている場合であっても、最初
の工程、すなわち、変調検出パルスGHに係るパルスPH
全数を見つけるまでの工程においてオフセットを増加す
る方向に調整するように変更すればよい。
このようにしてオフセットを調整後、次に、走査速度を
調整する。この場合、先ず、速度検出部54の中、Dフリ
ップフロップ76のクリア入力端子CLRと1パルス通過回
路80の入力端子SETに走査開始クロックCL(第5図a参
照)が導入されて、Dフリップフロップ76の出力端子Q
はローレベル(第5図b参照)とされると共に1パルス
通過回路80はパルスを1個のみ通過可能な状態にされ
る。次に、カウンタ72の計数設定端子Kにプリセット計
数kを設定する。そこで、変調検出パルスGH(第5図c
参照)の第1パルスPH1がDフリップフロップ76のクロ
ック入力端子に導入されると、Dフリップフロップ76の
出力端子Qはハイレベル(第5図b参照)になり、カウ
ンタ72が能動状態となり、グリッド信号GG(第5図d参
照)の中、パルスPs1からパルスPSKまでのk個のパルス
を計数する間カウンタ72の出力端子OUTはローレベルと
なる(第5図e参照)。このローレベルの信号はインバ
ータ78で反転され、1パルス通過回路80を通過してカウ
ンタ74のゲート端子G2に導入される。当該カウンタ74で
はゲート端子G2がハイレベルの間、高周波の基準クロッ
クf0のパルス数を計数し、計数値を制御部60に導入す
る。
制御部60は当該計数値が予め定められた設定範囲か否か
を判断し、速度の調整を行う。速度が所定速度よりも遅
い場合はD/Aコンバータ58に送給すべき振幅データDSP
値を増加させ、一方、早い場合には低減して、積分器62
で発生するのこぎり波信号の傾斜を調整する。このよう
に振幅を調整すると、オフセットも変動するので前記し
たオフセット調整、当該速度調整を繰り返して双方共予
め定められた設定値以内となるまで調整を行う。
以上のようにしてのこぎり波信号Wが適切に調整された
後、蓄積性蛍光体シートSを設定し画像の読取を開始す
る。この場合、前記蓄積性蛍光体シートSの表面にはレ
ーザ光源22から射出される光ビームLaが主走査方向に照
射され、前記蓄積性蛍光体シートSに記録された被写体
の画像情報が輝尽発光光として取り出される。この輝尽
発光光は蓄積性蛍光体シートSの主走査方向に配設され
た光ガイド30を介してフォトマルチプライヤ32に入射し
電気信号に変換される。そして、フォトマルチプライヤ
32からの電気信号がログアンプ33を介してA/D変換器34
の信号入力端子に加えられ、この信号が前記同期信号TS
の各パルス毎にA/D変換される。このようにして得られ
た画像信号は図示しない信号処理器によって階調処理、
周波数処理等の信号処理が施された後、フイルム等の画
像記録担体にあるいはCRT等の表示器上に可視像として
再生される。
なお、上記実施態様は光ビーム走査装置により読取を行
う装置について説明したが、光ビーム走査によりフイル
ム等の画像記録担体上に画像記録を行う装置にも適用出
来ることは勿論である。
[発明の効果] 以上のように、本発明によれば、位相変調部分を複数個
所形成したグリッドを同期用の光ビームで走査し、先
ず、位相変調部分に係るパルスの数が所定の数となるよ
うにガルバノメータミラーの位置オフセットを調整し、
次に、位相変調部分を検出した後、グリッド信号の所定
のパルス数を発生する時間が予め設定した時間になるよ
う調整している。このため、ガルバノメータミラーの位
置オフセット並びに偏向角速度を正確に調整出来る。従
って、このように調整されたガルバノメータミラーを用
いて被走査体を走査した場合、画像情報をむらなく読取
あるいは記録出来、その結果、常に、精緻な再生画像を
得ることが出来る。
以上、本発明について好適な実施態様を挙げて説明した
が、本発明はこの実施態様に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並び
に設計の変更が可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明に係るガルバノメータミラーの調整方法
を実施する放射線画像情報読取装置の概略構成図、 第2図は第1図並びに第3図に示す放射線画像情報読取
装置並びにガルバノメータミラー駆動部の各構成ブロッ
クに入出力する信号等の説明図、 第3図は第1図に示す放射線画像情報読取装置の中、ガ
ルバノメータミラー駆動部の詳細ブロック図、 第4図は第3図に示すガルバノメータミラー駆動部の
中、速度検出部の詳細ブロック図、 第5図は第4図に示す速度検出部の作用を示すタイムチ
ャートである。 10……放射線画像情報読取装置 12……レーザ走査部、14……画像読取部 16……同期信号発生部 17……ガルバノメータミラー、18……駆動部 20……信号処理部、22……レーザ光源 24……ビームエキスパンダ、26……走査レンズ 28……ハーフミラー、30……光ガイド 32……フォトマルチプライヤ、34……A/D変換器 36……グリッド、36a……透過部 36b……反射部、36c……幅広透過部 38……光ガイド 40a、40b……光センサ、42……波形整形回路 44……同期信号発生回路、54……速度検出部 56、58……D/Aコンバータ、60……制御部 62……積分器、72、74……カウンタ 76……Dフリップフロップ、78……インバータ L、La、Lb……光ビーム S……蓄積性蛍光体シート GG……グリッド信号 GH……変調検出パルス GR……基準グリッド信号 TR、TS……同期信号

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガルバノメータミラーによって一次元方向
    に偏向された光ビームにより被走査体を主走査すると共
    に、該被走査体を主走査方向と略直交する方向に相対的
    に移動して被走査体を二次元的に走査し文字情報、画像
    情報等の記録あるいは読取を行うにあたり、同期用光ビ
    ームにより主走査方向に複数の明暗パターンが形成され
    たグリッドを走査し該グリッドを通過した光ビームを光
    電的に検出してグリッド信号を得、当該グリッド信号を
    所定逓倍して同期信号を得る光ビーム走査装置に採用さ
    れるガルバノメータミラーの調整方法であって、前記グ
    リッドに明暗パターンの位相変調部をN個(Nは2以上
    の自然数)形成し、当該N個の位相変調部を有するグリ
    ッドを同期用光ビームによって走査する際、先ず、一走
    査あたりの位相変調部の検出数がM個(MはM≦Nを満
    足する自然数)になるようガルバノメータミラーのオフ
    セットを調整し、次に一走査における前記位相変調部の
    検出後、グリッド信号の所定のパルス数を発生する時間
    が予め設定した所定時間となるようにガルバノメータミ
    ラーの速度を調整することを特徴とするガルバノメータ
    ミラーの調整方法。
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