JPH0794545A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents

ワイヤボンデイング装置

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JPH0794545A
JPH0794545A JP5257645A JP25764593A JPH0794545A JP H0794545 A JPH0794545 A JP H0794545A JP 5257645 A JP5257645 A JP 5257645A JP 25764593 A JP25764593 A JP 25764593A JP H0794545 A JPH0794545 A JP H0794545A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤカット用クランパの長寿命化、ワイヤボ
ンデイングの安定、スプール交換作業の向上及びスプー
ル回転駆動部構造のシンプル化を図る。 【構成】ワイヤカット用クランパ５の上方にワイヤ電気
的接続用クランパ２０を配設し、ワイヤ電気的接続用ク
ランパ２０を電気トーチ用電源１０及びワイヤ接続不良
検出用電源１４に電気的に接続した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンデイング装置は、図３
に示すような構造となっている。ワイヤ１が巻回された
スプール２は、スプールホルダ３に取付けられ、スプー
ルホルダ３は、スプール回転用モータ４によって回転さ
せられる。前記ワイヤ１は、一端がワイヤカット用クラ
ンパ５を経てキャピラリ６に挿通され、他端がスプール
ホルダ３のアース端子７に接続されている。前記ワイヤ
カット用クランパ５の上方には、ワイヤ１のたるみを持
たせるため及びボール１ａをキャピラリ６に当接させる
ために、ワイヤ１にエアを吹き付けるノズル８よりなる
ワイヤたるみ手段が配設されている。なお、エアを吸引
してワイヤ１にたるみを持たせるものも用いられてい
る。
【０００３】ワイヤ１にボール１ａを形成するために高
電圧を印加する電気トーチ用電源１０は、電気トーチ１
１と切替えスイッチ１２を介してワイヤカット用クラン
パ５に接続されている。またワイヤ接続不良検出のため
に、スプールホルダ３のスプール軸１３には、スリップ
リング１４が装着され、スリップリング１４には、切替
えスイッチ１２を介してワイヤ接続不良検出用電源１５
が接続されている。そして、ワイヤ接続不良はワイヤ接
続不良検出器１６で検出するようになっている。ここ
で、切替えスイッチ１２は、ボール１ａ形成時のみ電気
トーチ用電源１０に接続されるようになっている。な
お、ワイヤ接続不良検出方法として、例えば特開平２−
２９８８７４号公報があげられる。
【０００４】次に作用を図４を参照しながら説明する。
図４はタイミング図で、（ａ）はキャピラリ６の上下
動、（ｂ）はワイヤカット用クランパ５の開閉、（ｃ）
はワイヤフィード、即ちスプール回転用モータ４の作
動、（ｄ）はボール１ａ形成、（ｅ）はワイヤ接続不良
検出のそれぞれのタイミングを示す。
【０００５】まず、切替えスイッチ１２が電気トーチ用
電源１０に接続され、電気トーチ用電源１０より電気ト
ーチ１１とワイヤカット用クランパ５を通したワイヤ１
とに高電圧が印加され、ワイヤ１の先端に電気トーチ１
１の放電によってボール１ａを形成する。切替えスイッ
チ１２は、ボール１ａ形成後にワイヤ接続不良検出用電
源１５に接続される。次にキャピラリ６は下降し、ボー
ル１ａは第１ボンド点に第１ボンドされる。その後キャ
ピラリ６は上昇及び第２ボンド点の上方に移動し、再び
下降する。この間にワイヤ接続不良検出用電源１５より
スリップリング１４、スプール軸１３、スプールホルダ
３、アース端子７を通してワイヤ１に電圧が印加され、
第１ボンド検出が行われる。ワイヤ接続が正常である
と、キャピラリ６は下降を続け、第２ボンド点にワイヤ
１を第２ボンドする。その後、ワイヤカット用クランパ
５は閉じ、キャピラリ６が上昇する。キャピラリ６が一
定高さ上昇した時にワイヤカット用クランパ５も上昇
し、第２ボンド点の付け根よりワイヤ１はカットされ
る。また第２ボンド後とワイヤカット間にワイヤ接続不
良検出用電源１５より前記した第１ボンド検出と同様
に、ワイヤ１に電圧が印加され、第２ボンド検出が行わ
れる。
【０００６】前記したように、ボール１ａを形成するた
めには、ワイヤ１を電気トーチ用電源１０に電気的に接
続する必要がある。またワイヤ接続不良を検出するため
には、ワイヤ１をワイヤ接続不良検出用電源１５に電気
的に接続する必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボー
ル１ａ形成のためのワイヤ１への電気的接続は、ワイヤ
カット用クランパ５で行っている。しかるに、ワイヤカ
ット用クランパ５の主目的は、ワイヤ１を確実にクラン
プしてワイヤ１をカットすることである。このワイヤカ
ット用クランパ５を電気的接続のために使用すると、ワ
イヤ１とワイヤカット用クランパ５間における電気放電
現象により、ワイヤカット用クランパ５に傷が生じ、ク
ランプ能力が低下する。
【０００８】また上記従来技術は、ワイヤ接続不良検出
のためのワイヤ１への電気的接続は、スリップリング１
４、スプール軸１３、スプールホルダ３、アース端子７
により行っている。このため、スプール２交換時にワイ
ヤ１をアース端子７に接続する作業を必要とする。また
ワイヤ１への電気的導通は、回転するスプールホルダ
３、スプール軸１３を通して固定のスリップリング１４
で行うため、構造が複雑で、またスリップ部があるため
にゴミが発生する。
【０００９】本発明の第１の目的は、ワイヤカット用ク
ランパの長寿命化が図れ、ワイヤボンデイング（ワイヤ
カット）が安定するワイヤボンデイング装置を提供する
ことにある。
【００１０】本発明の第２の目的は、スプール交換作業
の向上及びスプール回転駆動部構造のシンプル化が図れ
るワイヤボンデイング装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るための本発明の第１の構成は、ワイヤカット用クラン
パの上方にワイヤ電気的接続用クランパを配設し、この
ワイヤ電気的接続用クランパを電気トーチ用電源に電気
的に接続したことを特徴とする。
【００１２】上記第２の目的を達成するための本発明の
第２の構成は、ワイヤカット用クランパの上方にワイヤ
電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電気的接続
用クランパをワイヤ接続不良検出用電源に電気的に接続
したことを特徴とする。
【００１３】上記第１及び第２の目的を達成するための
本発明の第３の構成は、ワイヤカット用クランパの上方
にワイヤ電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電
気的接続用クランパを電気トーチ用電源及びワイヤ接続
不良検出用電源に電気的に接続したことを特徴とする。
【００１４】
【作用】上記第１の構成によれば、電気トーチ用電源は
ワイヤ電気的接続用クランパを通してワイヤに電気的に
接続される。即ち、ボール形成のためのワイヤへの電気
的接続は、ワイヤ電気的接続用クランパで行い、ワイヤ
カット用クランパでは行わないので、ワイヤカット用ク
ランパの長寿命化が図れ、ワイヤボンデイングが安定す
る。
【００１５】上記第２の構成によれば、ワイヤ接続不良
検出用電源はワイヤ電気的接続用クランパを通してワイ
ヤに電気的に接続される。即ち、ワイヤ接続不良検出の
ためのワイヤへの電気的接続は、ワイヤ電気的接続用ク
ランパで行うので、ワイヤをアース端子に接続する作業
が不要で、スプール交換が容易に行える。またスプール
の回転駆動部がシンプルになると共に、スリップリング
のようなスリップ部が不要で、ゴミの発生がなくなる。
【００１６】上記第３の構成は、上記第１及び第２の構
成を備えているので、第１及び第２の構成の両方の作用
及び効果を有する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２によ
り説明する。なお、図３及び図４と同じ又は相当部材に
は同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。図１に
示すように、ワイヤたるみ手段であるノズル８の上方に
は、ワイヤ電気的接続用クランパ２０が配設されてい
る。そして、電気トーチ用電源１０は切替えスイッチ１
２を介してワイヤ電気的接続用クランパ２０に接続され
ている。またワイヤ接続不良検出用電源１５も切替えス
イッチ１２を介してワイヤ電気的接続用クランパ２０に
接続されている。
【００１８】図２はタイミング図で、（ａ）はキャピラ
リ６の上下動、（ｂ）はワイヤカット用クランパ５の開
閉、（ｃ）はワイヤフィード、即ちスプール回転用モー
タ４の作動、（ｄ）はボール１ａ形成、（ｅ）はワイヤ
接続不良検出のそれぞれのタイミングを示し、図４の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）のタイミング
と同じタイミングである。図２（ｆ）はワイヤ電気的接
続用クランパ２０の開閉タイミングを示し、ワイヤ電気
的接続用クランパ２０はワイヤフィード以外は閉（ワイ
ヤクランプ）状態となっている。しかし、ワイヤ電気的
接続用クランパ２０の閉状態は、少なくとも第１ボンド
検出開始時からボール１ａ形成完了までであればよい。
【００１９】従って、本実施例においても、ボール１ａ
形成、第１ボンド検出、第２ボンド検出及びワイヤカッ
トも前記実施例と同じタイミングで行われる。しかし、
本実施例においては、ボール１ａ形成時には、切替えス
イッチ１２が電気トーチ用電源１０に接続され、電気ト
ーチ用電源１０はワイヤ電気的接続用クランパ２０を通
してワイヤ１に電気的に接続される。即ち、ワイヤ電気
的接続用クランパ２０を通してワイヤ１と電気トーチ１
１に高電圧が印加され、ボール１ａが形成される。
【００２０】また第１ボンド検出及び第２ボンド検出時
には、切替えスイッチ１２がワイヤ接続不良検出用電源
１５に接続され、ワイヤ接続不良検出用電源１５はワイ
ヤ電気的接続用クランパ２０を通してワイヤ１に電気的
に接続される。即ち、ワイヤ電気的接続用クランパ２０
を通してワイヤ１に電圧を印加し、ワイヤ接続不良が検
出される。なお、ワイヤ電気的接続用クランパ２０は、
ワイヤ１を電気的に接続させることが目的であるので、
ワイヤカット用クランパ５のように非常に精密に開閉す
る必要はない。
【００２１】このように、ボール１ａ形成のためのワイ
ヤ１への電気的接続は、ワイヤ電気的接続用クランパ２
０で行い、ワイヤカット用クランパ５では行わないの
で、ワイヤカット用クランパ５の長寿命化が図れ、ワイ
ヤボンデイングが安定する。
【００２２】またワイヤ接続不良検出のためのワイヤ１
への電気的接続は、ワイヤ電気的接続用クランパ２０で
行うので、従来のようにワイヤ１をアース端子７に接続
する作業が不要で、スプール交換が容易に行える。また
スプール２の回転駆動部がシンプルになり、コストダウ
ンが図れると共に、スリップリング１４のようなスリッ
プ部が不要で、ゴミの発生がなくなる。
【００２３】なお、上記実施例においては、ワイヤ電気
的接続用クランパ２０には電気トーチ用電源１０及びワ
イヤ接続不良検出用電源１５を接続したが、ワイヤ電気
的接続用クランパ２０を電気トーチ用電源１０のみに接
続し、ワイヤ接続不良検出用電源１５は従来と同様にス
リップリング１４に接続してもよい。このように、ボー
ル１ａ形成のためのワイヤ１への電気的接続は、ワイヤ
電気的接続用クランパ２０で行い、ワイヤカット用クラ
ンパ５では行わないので、ワイヤカット用クランパ５の
長寿命化が図れ、ワイヤボンデイングが安定する。この
場合、ワイヤ電気的接続用クランパ２０は、図２（ｆ）
のタイミングではなく、ボール１ａ形成時のみ閉状態で
あってもよい。ワイヤ電気的接続用クランパ２０をボー
ル１ａ形成時のみ閉状態にした場合には、ワイヤ電気的
接続用クランパ２０はワイヤカット用クランパ５の上方
でノズル８の下方に設けてもよい。
【００２４】またワイヤ電気的接続用クランパ２０をワ
イヤ接続不良検出用電源１５のみに接続し、電気トーチ
用電源１０は従来と同様にワイヤカット用クランパ５に
接続してもよい。このように、ワイヤ接続不良検出のた
めのワイヤ１への電気的接続は、ワイヤ電気的接続用ク
ランパ２０で行うので、従来のようにワイヤ１をアース
端子７に接続する作業が不要で、スプール交換が容易に
行える。またスプール２の回転駆動部がシンプルにな
り、コストダウンが図れると共に、スリップリング１４
のようなスリップ部が不要で、ゴミの発生がなくなる。
この場合、ワイヤ電気的接続用クランパ２０は、図２
（ｆ）のタイミングではなく、第１ボンド検出開始から
ワイヤカット完了まで閉状態であってもよい。しかし、
本実施例に示すように、ワイヤ電気的接続用クランパ２
０に電気トーチ用電源１０及びワイヤ接続不良検出用電
源１５を接続した方がより優れた効果が得られることは
言うまでもない。
【００２５】
【発明の効果】本発明の第１の構成は、ワイヤカット用
クランパの上方にワイヤ電気的接続用クランパを配設
し、このワイヤ電気的接続用クランパを電気トーチ用電
源に電気的に接続してなるので、ワイヤカット用クラン
パの長寿命化が図れ、ワイヤボンデイングが安定する。
【００２６】本発明の第２の構成は、ワイヤカット用ク
ランパの上方にワイヤ電気的接続用クランパを配設し、
このワイヤ電気的接続用クランパをワイヤ接続不良検出
用電源に電気的に接続してなるので、スプール交換作業
の向上及びスプール回転駆動部構造のシンプル化が図
れ、コストダウンになる。
【００２７】本発明の第３の構成は、ワイヤカット用ク
ランパの上方にワイヤ電気的接続用クランパを配設し、
このワイヤ電気的接続用クランパを電気トーチ用電源及
びワイヤ接続不良検出用電源に電気的に接続してなるの
で、前記第１及び第２の構成の両方の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になるワイヤボンデイング装置の一実施
例を示す要部概略構成説明図である。
【図２】図１のタイミング図である。
【図３】従来のワイヤボンデイング装置の要部概略構成
説明図である。
【図４】図３のタイミング図である。
【符号の説明】
１ ワイヤ １ａ ボール ５ ワイヤカット用クランパ ６ キャピラリ １０ 電気トーチ用電源 １１ 電気トーチ １５ ワイヤ接続不良検出用電源 １６ ワイヤ接続不良検出器 ２０ ワイヤ電気的接続用クランパ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年９月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】従って、本実施例においても、ボール１ａ
形成、第１ボンド検出、第２ボンド検出及びワイヤカッ
トも前記従来の技術と同じタイミングで行われる。しか
し、本実施例においては、ボール１ａ形成時には、切替
えスイッチ１２が電気トーチ用電源１０に接続され、電
気トーチ用電源１０はワイヤ電気的接続用クランパ２０
を通してワイヤ１に電気的に接続される。即ち、ワイヤ
電気的接続用クランパ２０を通してワイヤ１と電気トー
チ１１に高電圧が印加され、ボール１ａが形成される。
【手続補正書】
【提出日】平成６年１０月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るための本発明の第１の構成は、ワイヤカット用クラン
パと別個にワイヤ電気的接続用クランパを配設し、この
ワイヤ電気的接続用クランパを電気トーチ用電源に電気
的に接続したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】上記第２の目的を達成するための本発明の
第２の構成は、ワイヤカット用クランパと別個にワイヤ
電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電気的接続
用クランパをワイヤ接続不良検出用電源に電気的に接続
したことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】上記第１及び第２の目的を達成するための
本発明の第３の構成は、ワイヤカット用クランパと別個
にワイヤ電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電
気的接続用クランパを電気トーチ用電源及びワイヤ接続
不良検出用電源に電気的に接続したことを特徴とする。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤカット用クランパの上方にワイヤ
    電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電気的接続
    用クランパを電気トーチ用電源に電気的に接続したこと
    を特徴とするワイヤボンデイング装置。
  2. 【請求項２】 ワイヤカット用クランパの上方にワイヤ
    電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電気的接続
    用クランパをワイヤ接続不良検出用電源に電気的に接続
    したことを特徴とするワイヤボンデイング装置。
  3. 【請求項３】 ワイヤカット用クランパの上方にワイヤ
    電気的接続用クランパを配設し、このワイヤ電気的接続
    用クランパを電気トーチ用電源及びワイヤ接続不良検出
    用電源に電気的に接続したことを特徴とするワイヤボン
    デイング装置。
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