JPH0794415A - ランプ加熱装置 - Google Patents
ランプ加熱装置Info
- Publication number
- JPH0794415A JPH0794415A JP23384593A JP23384593A JPH0794415A JP H0794415 A JPH0794415 A JP H0794415A JP 23384593 A JP23384593 A JP 23384593A JP 23384593 A JP23384593 A JP 23384593A JP H0794415 A JPH0794415 A JP H0794415A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- heating device
- light
- mirror
- plane mirrors
- Prior art date
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- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ランプ加熱装置に関し，加熱効率を高め，基
板温度の制御性を向上する。 【構成】 棒状ランプ 1と反射鏡とを有し，該反射鏡は
該棒状ランプを囲み且つ出射部が開口された円柱鏡2Aと
該円柱鏡の出射部に設けられた２枚の対向する平面鏡2B
とからなり，該平面鏡の間隔を該棒状ランプの径より小
さくする。
板温度の制御性を向上する。 【構成】 棒状ランプ 1と反射鏡とを有し，該反射鏡は
該棒状ランプを囲み且つ出射部が開口された円柱鏡2Aと
該円柱鏡の出射部に設けられた２枚の対向する平面鏡2B
とからなり，該平面鏡の間隔を該棒状ランプの径より小
さくする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は有機金属気相成長(MOCV
D) 装置等に用いられるランプ加熱装置に関する。
D) 装置等に用いられるランプ加熱装置に関する。
【０００２】近年, 成長技術の進歩にともない, 大口径
基板上への均一な成膜が要求されている。このために
は，基板温度を厳密に制御することが重要である。大面
積加熱にはランプと反射鏡との組み合わせを配列したラ
ンプ加熱装置が用いられることが多いが，温度制御の上
で加熱効率の高い反射鏡が必要となる。
基板上への均一な成膜が要求されている。このために
は，基板温度を厳密に制御することが重要である。大面
積加熱にはランプと反射鏡との組み合わせを配列したラ
ンプ加熱装置が用いられることが多いが，温度制御の上
で加熱効率の高い反射鏡が必要となる。
【０００３】
【従来の技術】通常のランプ加熱装置は, 回転楕円鏡の
一方の焦点に加熱源を置き, 他方の焦点に置かれた試料
を加熱するものであるが，MOCVD 装置においては反応生
成物が反射鏡に被着するため, このタイプのランプ加熱
装置は利用できない。
一方の焦点に加熱源を置き, 他方の焦点に置かれた試料
を加熱するものであるが，MOCVD 装置においては反応生
成物が反射鏡に被着するため, このタイプのランプ加熱
装置は利用できない。
【０００４】このため，図４に示されるような，石英窓
3によって成長室と隔離されたランプ加熱装置が用いら
れることが多い。図４は従来例によるランプ加熱装置の
説明図である。
3によって成長室と隔離されたランプ加熱装置が用いら
れることが多い。図４は従来例によるランプ加熱装置の
説明図である。
【０００５】この装置は，直径10mm程度の棒状ハロゲン
ランプ 1と金(Au)コーティングを施した反射鏡 2からな
る。また, 反射鏡 2は半円柱鏡と平行平面鏡からなる。
ハロゲンランプのフィラメント1Aから出た光は, 反射鏡
2により反射され，平行平面鏡の間より基板 5を載せた
サセプタ 4に照射されてこれを加熱する。
ランプ 1と金(Au)コーティングを施した反射鏡 2からな
る。また, 反射鏡 2は半円柱鏡と平行平面鏡からなる。
ハロゲンランプのフィラメント1Aから出た光は, 反射鏡
2により反射され，平行平面鏡の間より基板 5を載せた
サセプタ 4に照射されてこれを加熱する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この加熱装置からの放
射光には，反射鏡で反射されて出てくる光と，反射を受
けずに出てくる光があるが，出射部の平面鏡の間隔がラ
ンプの径より大きいため，前者の光の大部分は放射角度
が大きくなる。このために, 基板加熱に有効に使用され
る放射光のパワーは少なく, 有効エネルギーの低減にと
もない基板温度の制御が困難となる問題が生じていた。
射光には，反射鏡で反射されて出てくる光と，反射を受
けずに出てくる光があるが，出射部の平面鏡の間隔がラ
ンプの径より大きいため，前者の光の大部分は放射角度
が大きくなる。このために, 基板加熱に有効に使用され
る放射光のパワーは少なく, 有効エネルギーの低減にと
もない基板温度の制御が困難となる問題が生じていた。
【０００７】本発明はランプ加熱装置の加熱効率を高
め，基板温度の制御性を向上させることを目的とする。
め，基板温度の制御性を向上させることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は，棒状
ランプ 1と反射鏡とを有し，該反射鏡は該棒状ランプを
囲み且つ出射部が開口された円柱鏡2Aと該円柱鏡の出射
部に設けられた２枚の対向する平面鏡2Bとからなり，該
平面鏡の間隔を該棒状ランプの径より小さくしたランプ
加熱装置により達成される。
ランプ 1と反射鏡とを有し，該反射鏡は該棒状ランプを
囲み且つ出射部が開口された円柱鏡2Aと該円柱鏡の出射
部に設けられた２枚の対向する平面鏡2Bとからなり，該
平面鏡の間隔を該棒状ランプの径より小さくしたランプ
加熱装置により達成される。
【０００９】
【作用】図１は本発明の原理説明図である。この図は，
ランプ加熱装置の１ユニットを示す。
ランプ加熱装置の１ユニットを示す。
【００１０】図において， 1は棒状ハロゲンランプ, 2A
は円柱鏡, 2Bは平行平面鏡である。平行平面鏡2Bの間隔
ａは，従来のものに比べ，光の回折が起こらない範囲で
小さくする。また，棒状ハロゲンランプ 1は，その中心
と平面鏡入り口との距離ｄが可能な限り大きくなるよう
に設置する。反射鏡は反射率を高めるため従来例と同様
に金コーティングを施す。
は円柱鏡, 2Bは平行平面鏡である。平行平面鏡2Bの間隔
ａは，従来のものに比べ，光の回折が起こらない範囲で
小さくする。また，棒状ハロゲンランプ 1は，その中心
と平面鏡入り口との距離ｄが可能な限り大きくなるよう
に設置する。反射鏡は反射率を高めるため従来例と同様
に金コーティングを施す。
【００１１】円柱鏡で反射されずに出てくる光はθ
C 〔＝ tan-1 (ａ／２ｄ）〕より小さな角度で放射さ
れ，また円柱鏡で何回か反射されて出てくる光の大部分
もθC 程度の小さな角度で放射される。従って, 加熱光
の大部分は基板領域内を有効に照射することが可能とな
り，ランプパワーの使用効率が高くなる。
C 〔＝ tan-1 (ａ／２ｄ）〕より小さな角度で放射さ
れ，また円柱鏡で何回か反射されて出てくる光の大部分
もθC 程度の小さな角度で放射される。従って, 加熱光
の大部分は基板領域内を有効に照射することが可能とな
り，ランプパワーの使用効率が高くなる。
【００１２】
【実施例】図２は本発明の実施例(1) の説明図である。
図において，ランプ径は10mm, コイル状フィラメントの
径は 3mm, 円柱鏡径は16mm, 平行平面鏡の長さは15mmで
あり，ランプはその中心と平面鏡との距離が11mmになる
ように設置されている。また, 平行平面鏡の間隔はフィ
ラメントの径と同じく 3mmである。
図において，ランプ径は10mm, コイル状フィラメントの
径は 3mm, 円柱鏡径は16mm, 平行平面鏡の長さは15mmで
あり，ランプはその中心と平面鏡との距離が11mmになる
ように設置されている。また, 平行平面鏡の間隔はフィ
ラメントの径と同じく 3mmである。
【００１３】この装置の加熱光の放射角度は，反射され
ずに出てくる光の放射角θは約 3°以下となり，一方,
反射鏡で反射されて出てくる光の放射角θC は約 8°と
なる。
ずに出てくる光の放射角θは約 3°以下となり，一方,
反射鏡で反射されて出てくる光の放射角θC は約 8°と
なる。
【００１４】図３は本発明の実施例(2) の説明図であ
る。図において，ランプ径は10mm, コイル状フィラメン
トの径は 3mm, 円柱鏡径は16mm, 平行平面鏡の長さは15
mmであり，ランプは図２と同じ位置に設置されている。
また, 平行平面鏡の間隔はランプの径と同じく10mmであ
る。
る。図において，ランプ径は10mm, コイル状フィラメン
トの径は 3mm, 円柱鏡径は16mm, 平行平面鏡の長さは15
mmであり，ランプは図２と同じ位置に設置されている。
また, 平行平面鏡の間隔はランプの径と同じく10mmであ
る。
【００１５】この装置の加熱光の放射角度は，反射され
ずに出てくる光の放射角θは約11°以下となり，一方,
反射鏡で反射されて出てくる光の放射角θC は約24°と
なる。
ずに出てくる光の放射角θは約11°以下となり，一方,
反射鏡で反射されて出てくる光の放射角θC は約24°と
なる。
【００１６】図１，２より，平行平面鏡の間隔を小さく
することにより, ランプ加熱装置から出射される光の放
射角が小さくなることがわかる。
することにより, ランプ加熱装置から出射される光の放
射角が小さくなることがわかる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば，ランプ加熱装置の光の
放射角を低減でき，この結果加熱効率が高められること
により，ランプパワーの使用効率が高くなり，基板温度
の制御性が向上した。
放射角を低減でき，この結果加熱効率が高められること
により，ランプパワーの使用効率が高くなり，基板温度
の制御性が向上した。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 本発明の実施例(1) の説明図
【図３】 本発明の実施例(2) の説明図
【図４】 従来例によるランプ加熱装置の説明図
【符号の説明】 1 棒状ハロゲンランプ 1A フィラメント 2 反射鏡 2A 円柱鏡 2B 平行平面鏡 3 石英窓 4 サセプタ 5 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 棒状ランプ(1) と反射鏡とを有し，該反
射鏡は該棒状ランプを囲み且つ出射部が開口された円柱
鏡(2A)と該円柱鏡の出射部に設けられた２枚の対向する
平面鏡(2B)とからなり，該平面鏡の間隔を該棒状ランプ
の径より小さくしたことを特徴とするランプ加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23384593A JPH0794415A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | ランプ加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23384593A JPH0794415A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | ランプ加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0794415A true JPH0794415A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=16961474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23384593A Withdrawn JPH0794415A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | ランプ加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0794415A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002098175A3 (de) * | 2001-05-28 | 2003-02-20 | Barbara Gerstendoerfer-Hart | Vorrichtung zur erwärmung von substraten mit seitenblenden und/oder sekundären reflektoren |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP23384593A patent/JPH0794415A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002098175A3 (de) * | 2001-05-28 | 2003-02-20 | Barbara Gerstendoerfer-Hart | Vorrichtung zur erwärmung von substraten mit seitenblenden und/oder sekundären reflektoren |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001128 |