JPH078815U - Guide light mirror holder - Google Patents

Guide light mirror holder

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JPH078815U
JPH078815U JP035814U JP3581493U JPH078815U JP H078815 U JPH078815 U JP H078815U JP 035814 U JP035814 U JP 035814U JP 3581493 U JP3581493 U JP 3581493U JP H078815 U JPH078815 U JP H078815U
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mirror
light mirror
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彰 上杉
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガイド光の光路を直交する2軸方向の1軸方
向のみに対しても精度良く変化させることができ、光路
調整が極めて容易となり、組立も容易であるガイド光ミ
ラーホルダを提供すること。 【構成】 ガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支持す
るガイド光ミラーホルダ25において、ホルダ本体26
に球面滑り軸受28を介して支持軸30を装着し、前記
ガイド光ミラー14の鏡面をこの支持軸30と直交させ
るとともに、鏡面の中心を支持軸30の軸心と合致させ
て支持軸30に取付け、前記鏡面の中心を通る直交2方
向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミラー14を前記支持
軸30と平行な方向に往復移動せしめる位置調整機構3
3a,33b,35を設けたことを特徴とする。
(57) [Abstract] [Purpose] The optical path of the guide light can be accurately changed only in one of the two axial directions that are orthogonal to each other, and the optical path can be adjusted very easily and the guide light can be easily assembled. Providing a mirror holder. [Structure] In a guide light mirror holder 25 that supports the guide light mirror 14 in a posture-controllable manner, a holder body 26
A support shaft 30 is attached to the support shaft 30 via a spherical plain bearing 28, the mirror surface of the guide light mirror 14 is made orthogonal to this support shaft 30, and the center of the mirror surface is aligned with the shaft center of the support shaft 30 to support the shaft 30. A position adjusting mechanism 3 for mounting and reciprocating the guide light mirror 14 in two directions orthogonal to each other passing through the center of the mirror surface in a direction parallel to the support shaft 30.
It is characterized in that 3a, 33b and 35 are provided.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、ガイド光ミラーホルダに係り、特に光学機器の光軸合せ用に照射さ れるガイド光の光路を調整するガイド光ミラーを姿勢制御自在に支持するガイド 光ミラーホルダに関する。 The present invention relates to a guide light mirror holder, and more particularly to a guide light mirror holder that supports a guide light mirror for adjusting an optical path of guide light emitted for aligning an optical axis of an optical device in a posture controllable manner.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

一般に、光学機器の組立時や保守、点検時等に行なわれる光軸合せにおいては 、例えばレーザ装置より可視光等からなるビーム状のガイド光を照射し、このガ イド光に光学機器の構成各部の光軸を合致させて全体の光軸合せを行なっている 。この場合に、ガイド光の光路を光学機器を設置すべき所定位置に予め合致させ るために、重量の大きい前記レーザ装置は固定的に配設し、ガイド光ミラーホル ダに支持されている軽量なガイド光ミラーを姿勢制御することにより反射される ガイド光の光路を移動させて調整している。 Generally, in optical axis alignment performed at the time of assembling, maintenance, and inspection of optical equipment, for example, a beam-shaped guide light such as visible light is emitted from a laser device, and the guide light is irradiated to each component part of the optical equipment. The optical axes of are aligned and the entire optical axis is aligned. In this case, in order to previously match the optical path of the guide light with the predetermined position where the optical device should be installed, the heavy laser device is fixedly arranged and is supported by the guide light mirror holder. By adjusting the attitude of the guide light mirror, the optical path of the reflected guide light is moved and adjusted.

【0003】 この光軸合せを図4に示す光学機器の1種であるYAGレーザ加工機1により 説明する。This optical axis alignment will be described using a YAG laser beam machine 1 which is one type of optical equipment shown in FIG.

【0004】 光学機器の1種であるYAGレーザ加工機1においては、全反射ミラー2と出 力ミラー3との間にYAGロッド4を設け、励起ランプ5からの光により前記Y AGロッド4内の原子を励起させ、その後出力ミラー3を通してレーザ光Laを 発射させ、更にこのレーザ光Laを分岐ミラー6および入射ユニット7を通して 複数に分岐出力可能にされている。各入射ユニット7からは光ファイバ8および 出射ユニット9を順に通して被加工物10にレーザ光Laを照射できるようにさ れている。YAGロッド4と全反射ミラー2および出力ミラー3との間には、そ れぞれ安全保持用のシャッタ11が配設されている。出力ミラー3と分岐ミラー 6との間には、出力状態をチェックするためのパワーモニタ12が配設されてい る。In the YAG laser beam machine 1 which is one type of optical equipment, a YAG rod 4 is provided between the total reflection mirror 2 and the output mirror 3 and the inside of the YAG rod 4 is illuminated by the light from the excitation lamp 5. Atoms are excited, laser light La is then emitted through the output mirror 3, and this laser light La can be branched and output into a plurality of beams through the branching mirror 6 and the incident unit 7. From each incident unit 7, the optical fiber 8 and the emission unit 9 are sequentially passed so that the workpiece 10 can be irradiated with the laser beam La. Between the YAG rod 4, the total reflection mirror 2 and the output mirror 3, a shutter 11 for maintaining safety is arranged. A power monitor 12 for checking the output state is arranged between the output mirror 3 and the branch mirror 6.

【0005】 このように形成されているYAGレーザ加工機1の光学系の光軸合せを行なう ために、光軸合せ用のHe−Neレーザ等のレーザ発生装置13からビーム状の ガイド光Lbを照射し、2個のガイド光ミラー14、14を用いてガイド光Lb の光路を前記YAGレーザ加工機1の光学系を設置する所定位置に合致させるよ うにしている。その後、このガイド光Lbの光路に前記YAGレーザ加工機1の 光学系の構成各部の光軸を合致させてから、構成各部をYAGレーザ加工機1の 本体の所定箇所に固着させている。In order to perform optical axis alignment of the optical system of the YAG laser beam machine 1 formed in this way, a beam-shaped guide light Lb is emitted from a laser generator 13 such as a He-Ne laser for optical axis alignment. Irradiation is performed so that the optical path of the guide light Lb 1 is matched with a predetermined position where the optical system of the YAG laser beam machine 1 is installed by using the two guide light mirrors 14, 14. After that, the optical axes of the constituent parts of the optical system of the YAG laser processing machine 1 are aligned with the optical path of the guide light Lb, and then the constituent parts are fixed to predetermined portions of the main body of the YAG laser processing machine 1.

【0006】 前記ガイド光ミラー14は、図5および図6に示すガイド光ミラーホルダ15 に支持されている。すなわち、このガイド光ミラーホルダ15においては、略L 字形のホルダ本体16の立壁部16aにガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支 持するように形成されている。このガイド光ミラー14は略正方形状に形成され ており、同じく略正方形状に形成されているミラー支持板17の前面側に接着等 により固着されている。ミラー支持板17の背面側には、2本の引張ばね18、 18の一端分がそれぞれ止めねじ19をもって固着されており、各引張ばね18 の中間部は立壁部16aに穿設された透孔20を貫通し、他端のフック部18a を止めピン21をもって立壁部16aの背面側に係止されており、これによりガ イド光ミラー14およびミラー支持板17が立壁部16aに連結される。立壁部 16aの前面とミラー支持板17の背面との間には、ガイド光ミラー14の1つ の頂点(図6において左下位置)に合せて支点ボール22が介装されている。そ して、ガイド光ミラー14の支点ボール22が配設されている頂点の両隣の頂点 位置に合せて、前記立壁部16aに前記ミラー支持板17に向けて2本の位置調 整ねじ23a、23bが貫通螺入されている。両方の位置調整ねじ23a、23 bの先端は半球状に形成されており、一方の位置調整ねじ23aはミラー支持板 17の平坦状の背面に当接され、他方の位置調整ねじ23bはミラー支持板17 に形成したV型溝24に当接させられている。また、ガイド光ミラーホルダ15 はホルダ本体16の水平部16bをもって所定位置に固着される。The guide light mirror 14 is supported by a guide light mirror holder 15 shown in FIGS. That is, the guide light mirror holder 15 is formed so that the guide light mirror 14 is supported by the standing wall portion 16a of the substantially L-shaped holder body 16 in a posture controllable manner. The guide light mirror 14 is formed in a substantially square shape, and is fixed to the front surface side of a mirror support plate 17, which is also formed in a substantially square shape, by adhesion or the like. One end of each of the two tension springs 18 and 18 is fixed to the rear side of the mirror support plate 17 with a set screw 19, and an intermediate portion of each tension spring 18 is a through hole formed in the standing wall portion 16a. The hook portion 18a at the other end is locked to the rear surface side of the standing wall portion 16a with a locking pin 21 so that the guide optical mirror 14 and the mirror support plate 17 are connected to the standing wall portion 16a. A fulcrum ball 22 is interposed between the front surface of the upright wall portion 16a and the rear surface of the mirror support plate 17 in accordance with one apex of the guide light mirror 14 (lower left position in FIG. 6). Then, in accordance with the apexes on both sides of the apex where the fulcrum balls 22 of the guide light mirror 14 are arranged, two position adjusting screws 23a are provided on the standing wall portion 16a toward the mirror support plate 17, 23b is screwed through. The tip ends of both position adjusting screws 23a and 23b are formed in a hemispherical shape, one position adjusting screw 23a is brought into contact with the flat back surface of the mirror support plate 17, and the other position adjusting screw 23b is used to support the mirror. It is brought into contact with a V-shaped groove 24 formed in the plate 17. Further, the guide light mirror holder 15 is fixed to a predetermined position by the horizontal portion 16b of the holder body 16.

【0007】 このように形成されているガイド光ミラーホルダ15によるガイド光Lbの光 路の調整は、2本の位置調整ねじ23a、23bの螺入量を調整することにより 行なわれる。すなわち、引張ばね18の弾力により支点ボール22および2本の 位置調整ねじ23a、23bに押圧されているミラー支持板17に対して、両位 置調整ねじ23a、23bの螺入量を変化させると、ミラー支持板17は支点ボ ール22を支点として姿勢を変化させられ、ガイド光Lbのガイド光ミラー14 に対する入射角および反射角を変化させられ、ガイド光Lbの光路を図において X軸方向、Y軸方向に変化させる。The adjustment of the optical path of the guide light Lb by the guide light mirror holder 15 formed in this way is performed by adjusting the screwing amounts of the two position adjusting screws 23a and 23b. That is, by changing the screwing amount of the position adjusting screws 23a and 23b with respect to the mirror support plate 17 pressed by the fulcrum ball 22 and the two position adjusting screws 23a and 23b by the elasticity of the tension spring 18. The posture of the mirror support plate 17 is changed with the fulcrum ball 22 as a fulcrum, the incident angle and the reflection angle of the guide light Lb with respect to the guide light mirror 14 are changed, and the optical path of the guide light Lb is shown in the X-axis direction in the figure. , In the Y-axis direction.

【0008】[0008]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかしながら、前記した従来のガイド光ミラーホルダ15においては、ガイド 光ミラー14の姿勢を変化させる支点となる支点ボール22が当該ガイド光ミラ ー14の4辺の頂点部分に配設されており、しかもガイド光Lbの入反射点は前 記支点から離れているガイド光ミラー14の鏡面のほぼ中心部であるために、X 軸方向およびY軸方向のいずれか一方を変化させるために両位置調整ねじ23a 、23bのいずれか一方の螺入量を調整すると、必然的にX軸方向およびY軸方 向がともに変化し、ガイド光ミラー14の鏡面におけるガイド光Lbの入反射点 の移動量も大きいために、常にX軸方向およびY軸方向の両方を調整しなければ ならないという不都合があった。そのために調整作業が極めて繁雑となり、特に ガイド光ミラーホルダ15を複数設置した場合には、調整に非常に長時間を要す るという不都合があった。更に、前記従来例においては、2本の引張ばね18の フック部18aに止めピン21を差込む作業が、引張ばね18を引張しながら行 なわなければならず、極めて面倒なものである。 However, in the above-mentioned conventional guide light mirror holder 15, the fulcrum ball 22 which is a fulcrum for changing the posture of the guide light mirror 14 is arranged at the apexes of the four sides of the guide light mirror 14. Since the incident / reflecting point of the guide light Lb is substantially the center of the mirror surface of the guide light mirror 14 which is distant from the fulcrum described above, both position adjusting screws are used to change either the X axis direction or the Y axis direction. When the screwing amount of one of 23a and 23b is adjusted, both the X-axis direction and the Y-axis direction are inevitably changed, and the moving amount of the incident / reflecting point of the guide light Lb on the mirror surface of the guide light mirror 14 is large. Therefore, there is a disadvantage that it is necessary to constantly adjust both the X-axis direction and the Y-axis direction. Therefore, the adjustment work becomes very complicated, and particularly when a plurality of guide light mirror holders 15 are installed, there is a disadvantage that the adjustment takes a very long time. Further, in the above-mentioned conventional example, the work of inserting the retaining pin 21 into the hook portions 18a of the two tension springs 18 must be performed while pulling the tension springs 18, which is extremely troublesome.

【0009】 本考案はこれらの点に鑑みてなされたものであり、ガイド光の光路を直交する 2軸方向の1軸方向のみに対しても精度良く変化させることができ、光路調整が 極めて容易となり、組立も容易であるガイド光ミラーホルダを提供することを目 的とする。The present invention has been made in view of these points, and it is possible to accurately change the optical path of the guide light only in one of two biaxial directions orthogonal to each other, and it is extremely easy to adjust the optical path. Therefore, it is an object to provide a guide light mirror holder that is easy to assemble.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

前記目的を達成するために本考案のガイド光ミラーホルダは、ガイド光ミラー を姿勢制御自在に支持するガイド光ミラーホルダにおいて、ホルダ本体に球面滑 り軸受を介して支持軸を装着し、前記ガイド光ミラーの鏡面をこの支持軸と直交 させるとともに、鏡面の中心を支持軸の軸心と合致させて支持軸に取付け、前記 鏡面の中心を通る直交2方向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミラーを前記支持軸 と平行な方向に往復移動せしめる位置調整機構を設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the guide light mirror holder of the present invention is a guide light mirror holder that supports a guide light mirror in a posture-controllable manner. The mirror surface of the optical mirror is made orthogonal to this support axis, the center of the mirror surface is aligned with the axis of the support shaft and attached to the support shaft, and the guide light mirrors are respectively arranged at positions in two orthogonal directions passing through the center of the mirror surface. It is characterized in that a position adjusting mechanism for reciprocating in a direction parallel to the support shaft is provided.

【0011】[0011]

【作用】[Action]

本考案によれば、ガイド光ミラーはその鏡面の中心を支点として角度の変更調 整が可能となり、その鏡面の中心点部分に入反射されるガイド光の光路を直交す る2軸方向の1軸方向のみに対して精度良く変化させることができる。 According to the present invention, the guide light mirror is capable of changing and adjusting the angle with the center of the mirror surface as a fulcrum, and the guide light mirror is reflected by the center point portion of the mirror surface in the two axial directions orthogonal to the optical path of the guide light. It can be accurately changed only in the axial direction.

【0012】[0012]

【実施例】【Example】

以下、本考案の実施例を図1から図3について説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0013】 図1から図3は本考案の1実施例を示し、従来と同一部分には同一符号を付し てある。1 to 3 show an embodiment of the present invention, in which the same parts as those in the conventional art are designated by the same reference numerals.

【0014】 本実施例のガイド光ミラーホルダ25においては、略L字形のホルダ本体26 の立壁部26aにガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支持するように形成され ている。この立壁部26aの上部の幅方向中心に穿設された軸受装着孔27内に は、球面滑り軸受28が環状の固定部28aをもって嵌挿され、固定用ねじ29 により固着されている。この球面滑り軸受28の環状の可動部28bには、ガイ ド光ミラー14を支持する支持軸となる支持ボルト30が先端部を立壁部26a の前面に向けて貫通固着されている。この支持ボルト30の先端部には、ガイド 光ミラー14が前面に固着されているミラー支持板31が前記ガイド光ミラー1 4の鏡面の中心を支持ボルト30の軸心と合致させて固着されている。これによ り、ガイド光ミラー14の鏡面と支持ボルト30の軸心とは直交状態とされ、ミ ラー支持板31は立壁部26aの前面から所定間隔だけ離間して支持される。支 持ボルト30のミラー支持板31と立壁部26aとの間にはスペーサ32が嵌挿 されている。また、前記ガイド光ミラー14の鏡面の中心を通る直交2方向の位 置、すなわち本実施例においては図3における上側のX軸方向および右側のY軸 方向の位置に、それぞれ前記ガイド光ミラー14を前記支持ボルト30と平行な 方向に往復移動せしめる位置調整機構を形成する2本の位置調整ねじ33a、3 3bが、前記立壁部26aに前記ミラー支持板31に向けて貫通螺入されている 。両方の位置調整ねじ33a、33bの先端は半球状に形成されており、一方の 位置調整ねじ33aはミラー支持板31の平坦状の背面に当接され、他方の位置 調整ねじ33bはミラー支持板31に形成したV型溝34に当接させられている 。そして、ミラー支持板31と立壁部26aとの間の支持ボルト30の左斜め下 部分には、ミラー支持板31を常に両方の位置調整ねじ33a、33bに当接さ せる弾力を付与する圧縮ばね35が介装されている。また、ガイド光ミラーホル ダ25はホルダ本体26の水平部26bをもって所定位置に固着される。In the guide light mirror holder 25 of the present embodiment, the guide light mirror 14 is formed on the standing wall portion 26a of the substantially L-shaped holder body 26 so that the attitude thereof can be controlled. A spherical slide bearing 28 is fitted and inserted with an annular fixing portion 28a into a bearing mounting hole 27 formed in the widthwise center of the upper portion of the standing wall portion 26a, and is fixed by a fixing screw 29. A support bolt 30 serving as a support shaft for supporting the guide optical mirror 14 is fixed to the annular movable portion 28b of the spherical plain bearing 28 by penetrating the tip thereof toward the front surface of the standing wall portion 26a. At the tip of the support bolt 30, a mirror support plate 31 to which the guide light mirror 14 is fixed on the front surface is fixed so that the center of the mirror surface of the guide light mirror 14 is aligned with the axis of the support bolt 30. There is. As a result, the mirror surface of the guide light mirror 14 and the axis of the support bolt 30 are orthogonal to each other, and the mirror support plate 31 is supported at a predetermined distance from the front surface of the standing wall portion 26a. A spacer 32 is fitted between the mirror support plate 31 of the support bolt 30 and the standing wall portion 26a. Further, the guide light mirror 14 is disposed at positions in two orthogonal directions passing through the center of the mirror surface of the guide light mirror 14, that is, in the present embodiment, at positions on the upper X axis direction and the right Y axis direction in FIG. Two position adjusting screws 33a, 33b which form a position adjusting mechanism for reciprocating in a direction parallel to the support bolt 30 are screwed through the standing wall portion 26a toward the mirror support plate 31. . The tip ends of both position adjusting screws 33a and 33b are formed in a hemispherical shape, one position adjusting screw 33a abuts on the flat back surface of the mirror support plate 31, and the other position adjusting screw 33b is the mirror support plate. It is brought into contact with the V-shaped groove 34 formed in 31. Then, a compression spring for imparting an elastic force for constantly abutting the mirror support plate 31 to both the position adjusting screws 33a and 33b is provided at a left lower left portion of the support bolt 30 between the mirror support plate 31 and the standing wall portion 26a. 35 is interposed. The guide light mirror holder 25 is fixed to a predetermined position by the horizontal portion 26b of the holder body 26.

【0015】 次に、本実施例の作用を説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.

【0016】 このように形成されているガイド光ミラーホルダ25は、レーザ発生装置13 から照射されるガイド光Lbがガイド光ミラー14の鏡面の中心部で入反射する 位置に設置される。The guide light mirror holder 25 formed in this way is installed at a position where the guide light Lb emitted from the laser generator 13 enters and reflects at the center of the mirror surface of the guide light mirror 14.

【0017】 そして、ガイド光Lbの光路の調整は、2本の位置調整ねじ33a、33bの 螺入量を調整することにより行なわれる。すなわち、圧縮ばね35の弾力により 2本の位置調整ねじ33a、33bに押圧されているミラー支持板31に対して 、両位置調整ねじ33a、33bの螺入量を変化させると、ミラー支持板31は 球面滑り軸受28を支点として姿勢を変化させられ、ガイド光Lbのガイド光ミ ラー14に対する入射角および反射角を変化させられ、ガイド光Lbの光路を図 においてX軸方向、Y軸方向に変化させる。The optical path of the guide light Lb is adjusted by adjusting the screwing amounts of the two position adjusting screws 33a and 33b. That is, when the screwing amount of both position adjusting screws 33a and 33b is changed with respect to the mirror supporting plate 31 pressed by the two position adjusting screws 33a and 33b by the elasticity of the compression spring 35, the mirror supporting plate 31 is changed. Is changed in its attitude with the spherical plain bearing 28 as a fulcrum, the incident angle and the reflection angle of the guide light Lb with respect to the guide light mirror 14 are changed, and the optical path of the guide light Lb is changed in the X axis direction and the Y axis direction in the figure. Change.

【0018】 特に、本実施例においては、ガイド光ミラー14の鏡面の中心と球面滑り軸受 28および支持ボルト30中心とを合致させており、しかもガイド光Lbをガイ ド光ミラー14の鏡面の中心に入反射させるものであるために、両位置調整ねじ 33a、33bのいずれか一方の螺入量を変化させると、ガイド光Lbの光路を X軸方向およびY軸方向のいずれか一方に限定して変化させることができる。特 に、前記ガイド光Lbの光路の調整時における角度変化量を小さく抑えるように することにより、一層精度の良い1方向の光路調整を行なうことができる。In particular, in the present embodiment, the center of the mirror surface of the guide light mirror 14 and the center of the spherical plain bearing 28 and the support bolt 30 are aligned, and the guide light Lb is the center of the mirror surface of the guide light mirror 14. Therefore, changing the screwing amount of one of the two position adjusting screws 33a and 33b restricts the optical path of the guide light Lb to either the X-axis direction or the Y-axis direction. Can be changed. In particular, by suppressing the amount of angle change during the adjustment of the optical path of the guide light Lb to be small, it is possible to perform more accurate one-way optical path adjustment.

【0019】 従って、ガイド光Lbの光路の調整作業を極めて容易に行なうことができ、し かもガイド光ミラーを複数用いる場合においても同様に光路の調整作業を極めて 容易に行なうことができる。Therefore, the work of adjusting the optical path of the guide light Lb can be performed extremely easily, and even when a plurality of guide light mirrors are used, the work of adjusting the optical path can be performed very easily.

【0020】 更に、本考案においては、従来例に比べて圧縮ばね35を用いているために、 組立作業が非常に容易となる。Further, in the present invention, since the compression spring 35 is used as compared with the conventional example, the assembling work becomes very easy.

【0021】 なお、本考案は前記実施例に限定されるものではなく、必要に応じて変更する ことができる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but can be modified as necessary.

【0022】[0022]

【考案の効果】[Effect of device]

このように本考案のガイド光ミラーホルダは構成され作用するものであるから 、ガイド光ミラーはその鏡面の中心を支点として角度の変更調整が可能となり、 その鏡面の中心点部分に入反射されるガイド光の光路を直交する2軸方向の1軸 方向のみに対しても精度良く変化させることができ、しかも光路調整が極めて容 易となり、組立も容易となる等の効果を奏する。 Since the guide light mirror holder of the present invention is constructed and operates in this way, the guide light mirror can be adjusted in angle by using the center of the mirror surface as a fulcrum, and is reflected and reflected at the center point portion of the mirror surface. It is possible to accurately change the optical path of the guide light only in one of the two axial directions that are orthogonal to each other, and the optical path can be adjusted very easily, and the assembly is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案のガイド光ミラーホルダの1実施例を示
す分解斜視図
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a guide light mirror holder of the present invention.

【図2】本考案のガイド光ミラーホルダの正面図FIG. 2 is a front view of the guide light mirror holder of the present invention.

【図3】図2の左側面図3 is a left side view of FIG.

【図4】YAGレーザ加工機における光学系の概要を示
す構成図
FIG. 4 is a configuration diagram showing an outline of an optical system in a YAG laser processing machine.

【図5】従来のガイド光ミラーホルダを示す分解斜視図FIG. 5 is an exploded perspective view showing a conventional guide light mirror holder.

【図6】従来のガイド光ミラーホルダを示す図3と同様
の図
FIG. 6 is a view similar to FIG. 3 showing a conventional guide light mirror holder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

14 ガイド光ミラー 25 ガイド光ミラーホルダ 26 ホルダ本体 28 球面滑り軸受 30 支持ボルト 33a、33b 位置調整ねじ 35 圧縮ばね 14 Guide Light Mirror 25 Guide Light Mirror Holder 26 Holder Main Body 28 Spherical Plain Bearing 30 Support Bolts 33a, 33b Position Adjustment Screw 35 Compression Spring

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ガイド光ミラーを姿勢制御自在に支持す
るガイド光ミラーホルダにおいて、ホルダ本体に球面滑
り軸受を介して支持軸を装着し、前記ガイド光ミラーの
鏡面をこの支持軸と直交させるとともに、鏡面の中心を
支持軸の軸心と合致させて支持軸に取付け、前記鏡面の
中心を通る直交2方向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミ
ラーを前記支持軸と平行な方向に往復移動せしめる位置
調整機構を設けたことを特徴とするガイド光ミラーホル
ダ。
1. A guide light mirror holder for supporting a guide light mirror in a posture controllable manner, wherein a support shaft is attached to a holder body via a spherical plain bearing, and a mirror surface of the guide light mirror is made orthogonal to this support shaft. , Adjusting the position of the guide light mirror so as to reciprocate in the two directions orthogonal to each other passing through the center of the mirror surface by aligning the center of the mirror surface with the axis of the support shaft and attaching to the support shaft. A guide light mirror holder characterized by having a mechanism.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006072081A (en) * 2004-09-03 2006-03-16 Keyence Corp Microscopic device
KR20200114642A (en) * 2019-03-29 2020-10-07 엘케이제작소 주식회사 Alignment regulators for CNC laser cutting machine
CN113203078A (en) * 2021-05-18 2021-08-03 深圳市皓龙激光设备有限公司 Light source shaping and adjusting system

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