JPH0784330B2 - 分散シフトフアイバ用母材の製造方法 - Google Patents

分散シフトフアイバ用母材の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、通信用石英系光フアイバ用母材の構造及びそ
の製造方法に関するものであり、特に波長1.5μm帯に
零分散波長をシフトさせたシングルモードフアイバ(以
下「分散シフトフアイバ」と呼称する)の製造に適する
方法に関するものである。
〔従来の技術〕
石英系光フアイバにおいて、その最低損失波長領域であ
る1.5μm帯に零分散波長をシフトさせた分散シフトフ
アイバは、長距離かつ大伝達容量の光通信伝送路として
実用化が進んでいる。第1−A図に示すような段階型屈
折率分布を有するものは、単純なステツプ型屈折率分布
を有する分散シフトフアイバに比べ、曲げ損失が小さく
なり、実用上の利点が大きく、開発検討が進められてい
る(参考文献1:「デイスパージヨン−シフテツド コン
ヴエツクス−インデツクス シングルモードフアイバー
ズ」N.クワキ他、エレクトロニクス レターズ 1985年
12月5日、21、No.25/26、p1186−1187)。第1−A図
に示した段階型屈折率分布では、中央部の屈折率の最も
高い部分1.1(内側コアと称する)と該内側コア1.1を囲
む内側コアより低い屈折率を有する部分1.2(外側コア
と称する)、更に該外側コア1.2を取り囲む最も屈折率
の低い、クラツド部1.3から屈折率分布が形成されてい
る。
このような段階型屈折率分布を有する分散シフトフアイ
バの一例として、第6図に示すようにその屈折率分布を
形成するガラス組成として内側コア1.1がGeO2−SiO2
外側コア1.2がSiO2、クラツド1.3がF−SiO2からなるも
のが提案されている(参考文献2:「デイスパージヨン・
シフテツドフアイバーズ ウイズ フルオリンアツデツ
ドクラツデイング バイザ ウエイパーフエイズ アク
シアル デポジツシヨン メソツド」N.ヨコタ他、テク
ニカル ダイジエスト オン トピカル ミーテイング
オン オプテイカル フアイバー コミユニケイシヨ
ン(アトランタ、1986)ペーパー WF2)。この構成の
分散シフトフアイバでは1.55μmにおける伝送損失を0.
23dB/kmにまで低減できたが、これ以上の低損失化は困
難であつた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
光フアイバの屈折率分布は、コアのSiO2ガラスにGeO2
屈折率増加成分として添加することによつて得るのが一
般的である。しかしながら、GeO2添加量を多くすると、
ガラスのレーリー散乱損失が増加して伝送損失が高くな
る、あるいはGeO2→GeOの還元に基づくと考えられる紫
外域での電子遷移吸収が増加し、その影響が使用波長域
である1.5μm帯にまで及び、やはり、伝送損失が高く
なるという問題があつた。
また、GeO2を含有する内側コアとFを含有するクラツド
部に挟まれたSiO2からなる外側コアは、他の部分に比べ
て高温加熱における粘性が高く、線引時にかかる張力が
外側コアに集中して、ここに欠陥を生じ、やはり紫外域
での吸収の原因となるという問題があつた。
以上の考察から、本発明者らは第1−A図の型の屈折率
分布を得るガラスの組成として、第1−B図に示すよう
に内側コアをGeO2−SiO2、外側コアをF−SiO2とし、ク
ラツドを外側コアより低屈折率のF−SiO2とすること
で、GeO2添加量を増加せずに屈折率差をとることがで
き、しかもF−SiO2外側コアとして張力集中を防げるの
で、上記の問題が解決できると考え、検討を進めてき
た。本発明はこのような構成の分散シフトフアイバ用母
材の新規な製造方法を提供して、非常に低損失な分散シ
フトフアイバの製造を実現するものである。
〔問題点を解決するための手段・作用〕
本発明はGeO2を添加したSiO2からなる内側コア部とFを
添加したSiO2からなる外側コア部を有するコア用透明ガ
ラス体の外周にFを添加したSiO2からなるクラツド部を
形成して分散シフトフアイバ用母材を製造する方法に於
て、VAD法により複数本のガラス微粒子合成用バーナを
用いて、純粋SiO2からなる外側コアスート体とGeO2を添
加したSiO2からなり該外側コアスート体よりそのカサ密
度が高い内側コアスート体を有してなるコア用スート体
を作製し、該コア用スート体を加熱脱水処理した後に、
Fを含有する雰囲気中で加熱して外側コア部分にF添加
するとともに透明化して上記コア用透明ガラス体を作製
することを特徴とする分散シフトフアイバ用母材の製造
方法である。
本発明においては、内側コア合成用バーナへのガス流量
を調節することにより外側コアスート体よりもカサ密度
の高い内側コアスート体を作製し、GeO2添加量を比屈折
率差で0.1〜0.8%とし、GeO2−SiO2からなる内側コアの
径と純粋SiO2からなる外側コアの径の径比を0.2〜1.0と
することが特に好ましく、さらにGeO2−SiO2からなる内
側コアガラススート体のカサ密度を0.3g/cm3以上とする
ことが特に好ましい。
本発明は内側コアがGeO2−SiO2、外側コアがF−SiO2
クラツドが外側コアより低屈折率のF−SiO2である第1
−B図の型の屈折率分布の光フアイバ母材を得ることを
目的とするが、VAD法によりコア用のガラス微粒子体
(以下スート体という)を作製し、これを透明ガラス化
してコア用透明ガラス体とし、この外周にクラツド部を
形成する。
本発明は、特に、コア用透明ガラス体の作製方法に特徴
のあるもので、複数本のバーナを用いて、内側コアとな
るGeO2−SiO2スート体と、外側コアとなる純粋SiO2スー
ト体からなる複合スート体、すなわちコア用スート体を
まず形成しておく。つまり、外側コアスート体は、この
段階では未だFを添加されていないのである。
またこのコア用スート体の作製にあたつては、内側コア
のGeO2−SiO2スート体のカサ密度が、純粋SiO2からなる
外側コアスート体のカサ密度より大きくなるようにす
る。具体的にはスート合成用バーナーには、例えばSiCl
4,GeCl4等のガラス原料ガス、例えばH2,O2等の燃焼ガス
及び助燃ガス、例えばAr,He等の不活性ガスを流してス
ートを生成せしめるのであるが、このときのガス流量を
調整して、カサ密度を制御する。通常は内側コア合成用
バーナのH2流量を増量することで、内側コアスート体の
カサ密度を大きくし、好ましくは0.3g/cm3以上とする。
これにより、後のF添加工程で外側コアスート体にのみ
Fを添加することが可能となる。このメカニズムについ
ては後記する。なお、内側コアスートのカサ密度の上限
値については特に限定する理由はないが、カサ密度が1g
/cm3のスートを作ろうとしても、ススの成長速度が不安
定となり、また、Geの収率も悪化するので、実生産では
無理がある。
また本発明においては、内側コアのGeO2としての添加量
が、比屈折率差(内側コアの屈折率をn1とし、外側コア
の純SiO2の屈折率をn2とするとき比屈折率差=n1−n2/n
2)が0.1〜0.8%の範囲となり、かつ内側コア径d1と外
側コア径d2の比d1/d2が0.2〜1.0となるように作製する
ことが、特に好ましい。かかる限定の理由は、まず比屈
折率差については0.1〜0.8%の範囲であることが本発明
によるフアイバにおいて零分散波長を1.55μmにシフト
させるための必須の条件であり、またd1/d2が0.2〜1.0
という範囲は分散制御性から限定したものであつて、曲
げ損失を抑え、MFDを大きくするという点で必須であ
る。そしてこの屈折率範囲と径比の両方を満足させるこ
とが特に好ましい。なお従来は第6図のように比屈折率
差は0.8%を越えるものとしていたが本発明では外側コ
アがF−SiO2であるので0.8%以下で充分であり、GeO2
による影響や、外側コア張力の問題を解消できるのであ
る。
以上で得られたコア用スート体を公知の方法例えばCl2
ガス、Cl化合物ガス等の脱水作用のあるガスを含む不活
性ガス雰囲気中で加熱して脱水する。例えばCl44容量%
含有He雰囲気で1050℃で加熱といつた条件である。
脱水処理したコア用スート体について、次にF添加処理
して、外側コアスート体にのみFを添加する。
本発明におけるF添加処理はFを含有する雰囲気中で当
該スート体を1300〜1600℃前後の温度範囲で加熱する。
Fを含有する雰囲気としては、例えば、SF6,SiF4,COl2F
2等のF化合物ガスとHe等の不活性ガスからなる雰囲気
が挙げられる。
ところで、このときすでに内側コアスートのカサ密度は
外側コアソートのカサ密度より高くなつているが、スー
トのカサ密度(g/cm3)とFの添加量(△%)につい
ては、第5図の図表に示す関係がある。これは本発明者
らが現在に至るまでの研究途上が、実験データから得て
いたもので、第5図から明らかなようにスートのカサ密
度が0.3g/cm3以上になると、Fはスート中に拡散し難い
ことが判る。また0.8g/cm3以上では殆んどFが添加され
ないことも判る。
又、1300〜1600℃前後の温度域では、GeO2−SiO2ガラス
は純SiO2ガラスよりも軟化点が低いので、この温度域で
GeO2−SiO2からなる内側コアスート体部分は収縮し、そ
のカサ密度が急増するが、純SiO2の外側コアスート部分
は収縮できず、外側コアスート体のみにFを添加するこ
とを確実にする。
従つて、上記の条件のF添加処理によつて、外側コアス
ートにのみFが添加され、GeO2−SiO2内側コア/F−SiO2
外側コアというガラス組成構造と、第1図の屈折率分布
に相当するコア部の屈折率構造が実現できる。
F添加処理工程と同時に又はこの工程に続いて加熱焼結
して、コア用透明ガラス体を得る。F添加の際の雰囲気
のままで加熱温度を1650℃程度にして、F添加と焼結を
同時にすれば工程的に簡便である。
以上で得られたコア用透明ガラス体の外周にF−SiO2
らなるクラツドを形成する。具体的にはi)公知技術に
より別途作成したF−SiO2からなるクラツド用ガラス管
とコア用透明ガラス体とを合体せしめて、加熱により中
実化する方法、ii)コア用透明ガラス体を出発材とし、
この外周にスート付けしてクラツドスート体を形成した
後に、該クラツドスート体を前記と同様の方法でF添加
して透明化する方法、のいずれかの方法によればよく、
又は両者を組合せて行つてもよい。なおi)の方法にお
いては少くともハロゲンガス例えばCl2,SOCl2,CCl4等を
含む雰囲気において合体中実化すれば、損失増の少ない
フアイバを得ることができるので好ましい。
本発明は複数バーナを用いて、コア部のスス付けを一度
に行ない、これをF素添加し焼結するという、簡単な工
程でGeO2−SiO2内側コア/F−SiO2外側コア構造のコア材
を製造できる点で、コスト低減効果も期待できる。ま
た、GeO2−SiO2ガラスロツドにSiO2スートを直接つける
方法も考えられるが、この方法では酸水素炎からロツド
中にHが拡散してしまい、その後の脱水処理でも水分の
除去は容易でなく、伝送損失を低減することは無理であ
る。
そして、本発明では、外側コアにFを添加しその屈折率
を下げることによつて内側コアの屈折率を上げるための
内側コアへのGeO2添加量を相対的に低減できる。その結
果GeO2に起因するレーリー散乱損失及び紫外域での吸収
損失の影響を低減できるに加え、外側コアへの張力集中
の問題も解決できるので、伝送特性に優れた分散シフト
光フアイバ用母材を製造できる。
〔実施例〕
第2図に示す様な構成でコア用スート体を作製した。2.
1は内側コア用ガラス微粒子合成用バーナー(内側コア
用バーナーと称す)、2.2は外側コア用ガラス微粒子合
成用バーナ(外側コア用バーナーと称す)であり、内側
コア用バーナー2.1にGeCl4,SiCl4,H2,O2及び不活性ガス
を供給し、GeCl4,SiCl4を酸水素火炎中で加水分解させG
eO2を含有するSiO2ガラス微粒子を発生せしめ、出発材
1先端上に内側コア用スート体1を堆積させる。出発材
3は回転しつつ、内側コア用スート体の成長に合わせ、
上方に引上げられていく。一方、外側コアバーナー2.2
には、SiCl4,H2,O2,不活性ガスを供給し、内側コア用ス
ート体1を取り囲む様に、SiO2微粒子からなる外側コア
用スート体2が形成される。
本実施例では外側コア用バーナー2.2にはSiCl4800cc/mi
n、H214/min、O27/min、Ar2/minを供給し、内側
コア用バーナー2.1にH24.5/min、O25/min、SiCl427
0cc/min、GeCl45cc/min、Ar2/minを供給することによ
り、外径100mmφ、長さ400mmのコア用スート体が35mm/h
rの引上速度で得られた。このコア用スート体の内側コ
アのカサ密度は0.4g/cm3、外側コアのカサ密度は〜0.2g
/cm3であつた。
このコア用スート体をリング状カーボンヒーターを有す
る炉内に挿入し1050℃に加熱し、炉内雰囲気をCl2/He=
4/100、下降速度4mm/minとして加熱脱水処理し、次い
で、1650℃に加熱し、炉内雰囲気をSiF4/He=1/100とし
て、コア用スートにFを添加せしめ、同時に透明ガラス
化した。
得られたコア用透明ガラス体の屈折率分布と元素濃度分
布(Ge,F)をまとめて第3図に示す。またスートの密度
を種々に変えたときのFの添加量とカサ密度の関係を第
5図に示す。第5図から明らかなようにGeO2−SiO2から
なる内側コアスートのカサが0.4g/cm3であれば、添加さ
れるF量は0.1%とおさえられ、純粋SiO2からなる外側
スートにより多量のFが添加されGeO2の添加量を低減す
ることができた。
このようにして得られたコア用透明ガラス体とVAD法に
より作製した純粋SiO2からなるクラツド用スート体をF
を含有する雰囲気中で加熱して、該クラツド用スート体
にFを添加するとともに、加熱脱水処理及び加熱透明化
処理を行なうことによりクラツド用透明ガラス体を作製
した後、該クラツド用透明ガラス体の中央部を穿孔し、
該コア用ガラス体を該クラツド用ガラス体の中空部に挿
入して両者を加熱一体化した。更に上で得られたガラス
母材を延伸した後、VAD法でガラス母材上に純粋SiO2
ラス微粒子を堆積させた後、加熱脱水・F添加・透明化
処理を行ない外径7.0mmφ、内側コア径1.6mmφ、外側コ
ア径4.5mmOのプリフオームを得た。得られたプリフオー
ムの屈折率分布を第1−B図に示す。
このプリフオームを外径23mmφに延伸した後、外径125
μmに紡糸した。
第4図に本発明で得られた分散シフトアイバの伝送損失
スペクトルを実線イで示し、また比較例として第6図の
GeO2−SiO2内側コア/SiO2外側コア/F−SiO2クラツド構
造の従来フアイバのスペクトルを破線ロで示す。又、第
1図及び第6図から明らかなように本発明フアイバは、
純粋SiO2屈折率レベルからのGeO2による屈折率増加分が
0.6%であるのに対して従来フアイバのそれは0.8%であ
る。
第4図からも明らかなように従来フアイバの伝送損失
(ロ)も波長1.55μmで0.22dB/kmと比較的低ロスであ
るが、本発明品フアイバのそれ(イ)は波長1.55μmで
0.20dB/kmの低損失化が達成されている。
〔発明の効果〕
本発明の分散シフトフアイバ用母材の製造方法は以上説
明したようにGeO2−SiO2からなる内側コアへのFの拡散
を極力、防止し、外側コアにFを添加することによつ
て、GeO2−SiO2内側コア/F−SiO2外側コア/F−SiO2クラ
ツドの構造+実現できて、GeO2量を低減して充分に比屈
折率差をとれるので、GeO2に起因するレーリー散乱損失
及びGeO2が還元されることに起因する紫外吸収を低減で
きさらに外側コアへの張力集中を抑えて曲げ損失増を防
ぎうるので分散シフトフアイバの低損失化に非常に効果
がある方法である。
また本発明は、同様のフアイバ構造を得る従来法に比し
て、工程が簡略であるので、製造コスト低減も可能で経
済的利点も大きい。
【図面の簡単な説明】
第1−A図は段階型分散シフトフアイバ用母材の屈折率
分布を示す図、第1−B図は本発明に係わる分散シフト
フアイバ用母材の屈折率分布とガラス組成構造を示す
図、第2図は本発明におけるコア用スート体作製の実施
態様を示す図、第3図は本発明の実施例で製造したコア
用透明ガラス体の屈折率分布と元素濃度(Ge,F)分布の
関係を示す図、第4図は本発明による分散シフトフアイ
バ及び従来品の伝送損失スペクトルを比較して示した
図、第5図はF添加量(△)とスートのカサ密度(g/
cm3)との関係を示す図、第6図は従来の分散シフトフ
アイバ用母材の屈折率分布とガラス組成構成を示す図で
ある。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】GeO2を添加したSiO2からなる内側コア部と
    Fを添加したSiO2からなる外側コア部を有するコア用透
    明ガラス体の外周にFを添加したSiO2からなるクラツド
    部を形成して分散シフトフアイバ用母材を製造する方法
    に於て、VAD法により複数本のガラス微粒子合成用バー
    ナを用いて、純粋SiO2からなる外側コアスート体とGeO2
    を添加したSiO2からなり該外側コアスート体よりそのカ
    サ密度が高い内側コアスート体を有してなるコア用スー
    ト体を作製し、該コア用スート体を加熱脱水処理した後
    に、Fを含有する雰囲気中で加熱して外側コア部分にF
    添加するとともに透明化して上記コア用透明ガラス体を
    作製することを特徴とする分散シフトフアイバ用母材の
    製造方法。
  2. 【請求項2】内側コア合成用バーナへのガス流量を調節
    することにより外側コアスート体よりもそのカサ密度が
    高い内側コアスート体を作製する特許請求の範囲第1項
    に記載される分散シフトフアイバ用母材の製造方法。
  3. 【請求項3】内側コア部へのGeO2の添加量を比屈折率差
    で0.1〜0.8%とし、内側コア径と外側コア径の径比を0.
    2〜1.0とする特許請求の範囲第1項又は第2項に記載さ
    れる分散シフトフアイバ用母材の製造方法。
  4. 【請求項4】GeO2を添加したSiO2からなる内側コアスー
    ト体のカサ密度を0.3g/cm3以上とする特許請求の範囲第
    1ないし第3項のいずれかに記載される分散シフトフア
    イバ用母材の製造方法。
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