JPH0781455B2 - 熱処理炉のスカベンジャードア - Google Patents
熱処理炉のスカベンジャードアInfo
- Publication number
- JPH0781455B2 JPH0781455B2 JP62169074A JP16907487A JPH0781455B2 JP H0781455 B2 JPH0781455 B2 JP H0781455B2 JP 62169074 A JP62169074 A JP 62169074A JP 16907487 A JP16907487 A JP 16907487A JP H0781455 B2 JPH0781455 B2 JP H0781455B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- heat treatment
- rotary shaft
- treatment furnace
- spiral groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Power-Operated Mechanisms For Wings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウエーハなどに特定の熱処理を施す
熱処理炉のスカベンジャードアに関する。
熱処理炉のスカベンジャードアに関する。
半導体ウエーハに熱処理を施す熱処理炉の炉口には、ス
カベンジャー側との遮断をするためのドアが設置され
る。
カベンジャー側との遮断をするためのドアが設置され
る。
従来、ドアは、駆動機構としてドアを開閉する方向にチ
ェーンやワイヤを用いており、チェーンではスプロケッ
ト、ワイヤではプーリーによって移動を可能にし、ガイ
ドレールにより支持されたドアを、チェーンまたはワイ
ヤの一部に固定することにより、スプロケットまたはプ
ーリーの回転によるチェーンまたはワイヤの移動によっ
てドアを開閉するものであった。
ェーンやワイヤを用いており、チェーンではスプロケッ
ト、ワイヤではプーリーによって移動を可能にし、ガイ
ドレールにより支持されたドアを、チェーンまたはワイ
ヤの一部に固定することにより、スプロケットまたはプ
ーリーの回転によるチェーンまたはワイヤの移動によっ
てドアを開閉するものであった。
ドア装置では、チェーンまたはワイヤが切れ易いととも
に耐久性がなく、チェーンの各コマが互いにこすれ合う
ことによる塵埃が発生して清浄化を妨げる上、チェーン
の各コマがこすれ合うことにより騒音が大きいなどの欠
点があった。また、チェーンやワイヤは、プロセスチュ
ーブから出る高温の雰囲気に曝されるので、機械的な接
触部分を円滑化するために潤滑剤を使うと、その潤滑剤
が熱によって蒸発し、半導体ウエーハなどの処理に悪影
響を与えるなどの不都合があった。
に耐久性がなく、チェーンの各コマが互いにこすれ合う
ことによる塵埃が発生して清浄化を妨げる上、チェーン
の各コマがこすれ合うことにより騒音が大きいなどの欠
点があった。また、チェーンやワイヤは、プロセスチュ
ーブから出る高温の雰囲気に曝されるので、機械的な接
触部分を円滑化するために潤滑剤を使うと、その潤滑剤
が熱によって蒸発し、半導体ウエーハなどの処理に悪影
響を与えるなどの不都合があった。
そこで、この発明は、チェーンやワイヤなどの駆動機構
を用いる場合の不都合を解消し、清浄化を乱すことな
く、充分な耐久性を備え、安定したドア開閉を実現し
た、熱処理炉のスカベンジャードアを提供することを目
的とする。
を用いる場合の不都合を解消し、清浄化を乱すことな
く、充分な耐久性を備え、安定したドア開閉を実現し
た、熱処理炉のスカベンジャードアを提供することを目
的とする。
この発明の熱処理炉のスカベンジャードアは、第１図に
例示するように、熱処理炉のスカベンジャーの上下部に
配置された第１及び第２のガイドレール（14、16）と、
これら第１及び第２のガイドレールにローラ（32）を以
て摺動可能に支持された複数の支持体（ドア支持体17）
と、前記第１のガイドレール側又は前記第２のガイドレ
ール側に配置されて螺旋溝が形成された回転軸（20）
と、この回転軸を回転させる駆動手段（モータ24）と、
前記回転軸に螺旋溝に係合するローラを備えて前記回転
軸上に設置されるとともに、前記支持体に取り付けられ
て前記駆動手段による前記回転軸の回転によってその軸
方向に摺動する摺動体（摺動ブロック34）と、前記支持
体によって支持されて前記回転軸の回転によって前記第
１及び第２のガイドレール上を摺動することにより前記
熱処理炉のスカベンジシャーを開閉するドア本体（18）
とを備えたことを特徴とする。
例示するように、熱処理炉のスカベンジャーの上下部に
配置された第１及び第２のガイドレール（14、16）と、
これら第１及び第２のガイドレールにローラ（32）を以
て摺動可能に支持された複数の支持体（ドア支持体17）
と、前記第１のガイドレール側又は前記第２のガイドレ
ール側に配置されて螺旋溝が形成された回転軸（20）
と、この回転軸を回転させる駆動手段（モータ24）と、
前記回転軸に螺旋溝に係合するローラを備えて前記回転
軸上に設置されるとともに、前記支持体に取り付けられ
て前記駆動手段による前記回転軸の回転によってその軸
方向に摺動する摺動体（摺動ブロック34）と、前記支持
体によって支持されて前記回転軸の回転によって前記第
１及び第２のガイドレール上を摺動することにより前記
熱処理炉のスカベンジシャーを開閉するドア本体（18）
とを備えたことを特徴とする。
このように構成したことによって、回転軸20を回転させ
ることで、その螺旋溝28上をローラ32が回転し、その回
転力によって摺動体（摺動ブロック34）が回転軸20の回
転方向に応じた方向の移動が生じる。この移動力は、第
１及び第２のガイドレール14、16上に移動可能に支持さ
れたドア本体18に与えられ、ドア本体18が回転軸20の回
転によって所望方向に移動し、開閉されるのである。
ることで、その螺旋溝28上をローラ32が回転し、その回
転力によって摺動体（摺動ブロック34）が回転軸20の回
転方向に応じた方向の移動が生じる。この移動力は、第
１及び第２のガイドレール14、16上に移動可能に支持さ
れたドア本体18に与えられ、ドア本体18が回転軸20の回
転によって所望方向に移動し、開閉されるのである。
そして、このドアにおいて、第２図に示すように、回転
軸20に複数条の螺旋溝28a、28b、28cを形成し、摺動体
（摺動ブロック34）の螺旋溝28a、28b、28cに対応して
複数のローラ32a、32b、32cを設置し、または、第３図
に示すように、回転軸20に単一の螺旋溝28を形成し、そ
の螺旋溝28に係合する複数のローラ32a、32b、32cを設
置した摺動体（摺動ブロック34）を設置すれば、より大
きな駆動力を得ることができ、安定した滑らかな移動が
実現される。
軸20に複数条の螺旋溝28a、28b、28cを形成し、摺動体
（摺動ブロック34）の螺旋溝28a、28b、28cに対応して
複数のローラ32a、32b、32cを設置し、または、第３図
に示すように、回転軸20に単一の螺旋溝28を形成し、そ
の螺旋溝28に係合する複数のローラ32a、32b、32cを設
置した摺動体（摺動ブロック34）を設置すれば、より大
きな駆動力を得ることができ、安定した滑らかな移動が
実現される。
第１図は、この発明の熱処理炉のスカベンジャードアの
実施例を示す。
実施例を示す。
第１図（Ａ）に示すように、板状を成すフレーム２は、
たとえば、熱処理炉の炉口に対して開口４を備え、スカ
ベンジャー側に対しては熱遮蔽板を兼用する。このフレ
ーム２の側面部間に軸受６、８、10、12を固定し、開口
４に跨がってその上下側に平行して取り付けた軸からな
る第１及び第２のガイドレール14、16が取り付けられて
いる。開口４を開閉するためのドア本体18は、その上下
部のドア支持体17に取り付けられた複数のガイドローラ
19を以てガイドレール16上を左右に移動可能に支持され
ている。
たとえば、熱処理炉の炉口に対して開口４を備え、スカ
ベンジャー側に対しては熱遮蔽板を兼用する。このフレ
ーム２の側面部間に軸受６、８、10、12を固定し、開口
４に跨がってその上下側に平行して取り付けた軸からな
る第１及び第２のガイドレール14、16が取り付けられて
いる。開口４を開閉するためのドア本体18は、その上下
部のドア支持体17に取り付けられた複数のガイドローラ
19を以てガイドレール16上を左右に移動可能に支持され
ている。
フレーム２には、ガイドレール16に平行して回転軸20が
回転可能に軸受10、12間に取り付けられ、回転軸20の一
端部にはフレキシブルジョイント22を介して駆動手段と
してのモータ24の駆動軸26が連結されている。すなわ
ち、回転軸20は、モータ24の駆動によって左右に回転す
る。
回転可能に軸受10、12間に取り付けられ、回転軸20の一
端部にはフレキシブルジョイント22を介して駆動手段と
してのモータ24の駆動軸26が連結されている。すなわ
ち、回転軸20は、モータ24の駆動によって左右に回転す
る。
そして、回転軸20には、たとえば、１条の螺旋溝28が形
成されている。そして、この回転軸20には、第１図の
（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）に示すように、螺旋溝28に
係合するローラ32を回転可能に備えた摺動体としての摺
動ブロック34が設置されており、この摺動ブロック34に
ドア本体18が固定される。
成されている。そして、この回転軸20には、第１図の
（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）に示すように、螺旋溝28に
係合するローラ32を回転可能に備えた摺動体としての摺
動ブロック34が設置されており、この摺動ブロック34に
ドア本体18が固定される。
したがって、ドア本体18は、炉口を開閉するための駆動
機構としてローラ32を備えた摺動ブロック34と、螺旋溝
28を形成した回転軸20との係合により、モータ24によっ
て回転軸20を回転させると、ローラ32が、螺旋溝28に噛
み合って回転し、摺動ブロック34を移動させる。この結
果、ドア本体18は回転軸20の回転方向に応じて第１図の
（Ａ）に示すように、矢印Ｌ、Ｒで示す方向に移動して
開閉される。
機構としてローラ32を備えた摺動ブロック34と、螺旋溝
28を形成した回転軸20との係合により、モータ24によっ
て回転軸20を回転させると、ローラ32が、螺旋溝28に噛
み合って回転し、摺動ブロック34を移動させる。この結
果、ドア本体18は回転軸20の回転方向に応じて第１図の
（Ａ）に示すように、矢印Ｌ、Ｒで示す方向に移動して
開閉される。
そして、ドア本体18を開閉させるための駆動機構を成す
摺動ブロック34は、第１図の（Ｄ）に示すように、ドア
支持体17に一定の間隔を設けて固定した支持板34a、34b
の間に回転可能に軸30を以て１個のローラ32を取り付
け、回転軸20は１条の螺旋溝28として構成される。この
場合、たとえば、第２図に示すように、３条の螺旋溝28
a、28b、28cに対して係合する複数のローラとして３個
のローラ32a、32b、32cを設置してもよい。このように
して、ローラ32a、32b、32cを回転軸20の外周に接する
ように３ヵ所に保持させると、ローラ数に比例した大き
な駆動力が得られ、安定した滑らかなドア18の開閉を行
うことができる。
摺動ブロック34は、第１図の（Ｄ）に示すように、ドア
支持体17に一定の間隔を設けて固定した支持板34a、34b
の間に回転可能に軸30を以て１個のローラ32を取り付
け、回転軸20は１条の螺旋溝28として構成される。この
場合、たとえば、第２図に示すように、３条の螺旋溝28
a、28b、28cに対して係合する複数のローラとして３個
のローラ32a、32b、32cを設置してもよい。このように
して、ローラ32a、32b、32cを回転軸20の外周に接する
ように３ヵ所に保持させると、ローラ数に比例した大き
な駆動力が得られ、安定した滑らかなドア18の開閉を行
うことができる。
また、第３図に示すように、ドア本体18の開閉駆動機構
は、回転軸20の螺旋溝28を１条にし、摺動ブロック34に
３個のローラ32a、32b、32cを設置して同一の螺旋溝28
に噛み合うように各ローラ32a、32b、32cを互いに水平
方向にずらして配置すれば、回転軸20の螺旋溝28を１条
とすることができるため、構造の簡略化とともに、駆動
力の増強を図ることができ、安定したドア本体18の開閉
を行うことができる。
は、回転軸20の螺旋溝28を１条にし、摺動ブロック34に
３個のローラ32a、32b、32cを設置して同一の螺旋溝28
に噛み合うように各ローラ32a、32b、32cを互いに水平
方向にずらして配置すれば、回転軸20の螺旋溝28を１条
とすることができるため、構造の簡略化とともに、駆動
力の増強を図ることができ、安定したドア本体18の開閉
を行うことができる。
このドア開閉装置では、摺動ブロック34の回転部分を隠
蔽でき、炉口からの放熱の影響を受けることがなく、回
転部分からの塵埃の発生も抑制できるのである。
蔽でき、炉口からの放熱の影響を受けることがなく、回
転部分からの塵埃の発生も抑制できるのである。
なお、実施例では回転軸20に形成した螺旋溝28を１また
は３条としたが、４以上の複数条としてもよく、また、
摺動ブロック34のローラ数も４以上の複数個に設定して
もよい。
は３条としたが、４以上の複数条としてもよく、また、
摺動ブロック34のローラ数も４以上の複数個に設定して
もよい。
実施例では、２枚のドア本体18を左右に開閉させたが、
１枚のドアを以て構成してもよい。
１枚のドアを以て構成してもよい。
この発明によれば、耐久性に優れ、回転部分からの塵埃
の発生もなく、安定したドア開閉を実現できる。
の発生もなく、安定したドア開閉を実現できる。
第１図はこの発明の熱処理炉のスカベンジャードアの実
施例を示す図、第２図および第３図は第１図に示した回
転軸および摺動ブロックの他の実施例を示す斜視図であ
る。 14、16……ガイドレール 17……ドア支持体 18……ドア本体 20……回転軸 24……モータ（駆動手段） 28、28a、28b、28c……螺旋溝 32、32a、32b、32c……ローラ 34……摺動ブロック（摺動体）
施例を示す図、第２図および第３図は第１図に示した回
転軸および摺動ブロックの他の実施例を示す斜視図であ
る。 14、16……ガイドレール 17……ドア支持体 18……ドア本体 20……回転軸 24……モータ（駆動手段） 28、28a、28b、28c……螺旋溝 32、32a、32b、32c……ローラ 34……摺動ブロック（摺動体）
Claims (3)
- 【請求項１】熱処理炉のスカベンジャーの上下部に配置
された第１及び第２のガイドレールと、 これら第１及び第２のガイドレールにローラを以て摺動
可能に支持された複数の支持体と、 前記第１のガイドレール側又は前記第２のガイドレール
側に配置されて螺旋溝が形成された回転軸と、 この回転軸を回転させる駆動手段と、 前記回転軸に螺旋溝に係合するローラを備えて前記回転
軸上に設置されるとともに、前記支持体に取り付けられ
て前記駆動手段による前記回転軸の回転によってその軸
方向に摺動する摺動体と、 前記支持体によって支持されて前記回転軸の回転によっ
て前記第１及び第２のガイドレール上を摺動することに
より前記熱処理炉のスカベンジシャーを開閉するドア本
体と、 を備えたことを特徴とする熱処理炉のスカベンジャード
ア。 - 【請求項２】前記回転軸に複数条の螺旋溝を形成し、前
記摺動体に前記螺旋溝に対応して複数のローラを設置し
た特許請求の範囲第１項に記載の熱処理炉のスカベンジ
ャードア。 - 【請求項３】前記回転軸に単一の螺旋溝を形成し、その
螺旋溝に係合する複数のローラを備えた摺動体を設置し
た特許請求の範囲第１項に記載の熱処理炉のスカベンジ
ャードア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169074A JPH0781455B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 熱処理炉のスカベンジャードア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169074A JPH0781455B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 熱処理炉のスカベンジャードア |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414490A JPS6414490A (en) | 1989-01-18 |
| JPH0781455B2 true JPH0781455B2 (ja) | 1995-08-30 |
Family
ID=15879842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62169074A Expired - Lifetime JPH0781455B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 熱処理炉のスカベンジャードア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781455B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612964B2 (ja) * | 1972-06-26 | 1986-01-29 | Cincinnati Milacron Inc | |
| JPS6219375B2 (ja) * | 1982-04-26 | 1987-04-28 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612964U (ja) * | 1984-06-11 | 1986-01-09 | パイロツトインキ株式会社 | 偽造防止印刷を施した券類 |
| JPH051592Y2 (ja) * | 1985-07-17 | 1993-01-14 |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP62169074A patent/JPH0781455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612964B2 (ja) * | 1972-06-26 | 1986-01-29 | Cincinnati Milacron Inc | |
| JPS6219375B2 (ja) * | 1982-04-26 | 1987-04-28 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6414490A (en) | 1989-01-18 |
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