JPH0778495B2 - バックグランド除去装置 - Google Patents
バックグランド除去装置Info
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- JPH0778495B2 JPH0778495B2 JP4367788A JP4367788A JPH0778495B2 JP H0778495 B2 JPH0778495 B2 JP H0778495B2 JP 4367788 A JP4367788 A JP 4367788A JP 4367788 A JP4367788 A JP 4367788A JP H0778495 B2 JPH0778495 B2 JP H0778495B2
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- JP
- Japan
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- sheet
- cation exchange
- liquid
- background
- exchange membrane
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Description
【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、被測定液中の陰イオンを分析する陰イオン分
析装置に装着され、分離カラムからの溶出液あるいは試
料溶液自身の導電率バックグランドを減少させるバック
グランド除去装置に関する。
析装置に装着され、分離カラムからの溶出液あるいは試
料溶液自身の導電率バックグランドを減少させるバック
グランド除去装置に関する。
<従来の技術> 一般に、被測定液中の陰イオンを分析するには、低イオ
ン交換容量の陰イオン交換樹脂が充填された分離カラム
に、希薄な塩基性溶液(例えば炭酸ナトリウムや水酸化
ナトリウム等)でなる移動相でもって一定量の被測定液
を搬送し該被測定液中の陰イオンをクロマトグラフィッ
クに分離させて分析を行う。被測定液中の陰イオンの検
出は、分離カラムよりの溶出液を直接検出器(例えば導
電率検出器)で検出して上記分析結果たるクロマトグラ
ムを得ることができるが、分離カラムと検出器の間に酸
型の陽イオン交換樹脂を充填したサプレッサカラムを置
き、該サプレッサカラムに上記移動相(カラムからの溶
出液)を通すことによって移動相(例えば水酸化ナトリ
ウムや炭酸ナトリウム等)を導電率の低い液(例えば水
や炭酸等)にすると共に被測定液中の陰イオンの対イオ
ンを水素イオンに変えることにより、移動相の導電率を
低下させてS/N比を向上させながら被測定液中の陰イオ
ンを測定することが行われる。この場合、酸型の陽イオ
ン交換樹脂を充填したサプレッサカラムに代えて陽イオ
ン交換膜を利用したものが利用できれば、該陽イオン交
換膜を介して連続的に水を変換できるため、陰イオン分
析装置を利用する上できわめて好都合となる。
ン交換容量の陰イオン交換樹脂が充填された分離カラム
に、希薄な塩基性溶液(例えば炭酸ナトリウムや水酸化
ナトリウム等)でなる移動相でもって一定量の被測定液
を搬送し該被測定液中の陰イオンをクロマトグラフィッ
クに分離させて分析を行う。被測定液中の陰イオンの検
出は、分離カラムよりの溶出液を直接検出器(例えば導
電率検出器)で検出して上記分析結果たるクロマトグラ
ムを得ることができるが、分離カラムと検出器の間に酸
型の陽イオン交換樹脂を充填したサプレッサカラムを置
き、該サプレッサカラムに上記移動相(カラムからの溶
出液)を通すことによって移動相(例えば水酸化ナトリ
ウムや炭酸ナトリウム等)を導電率の低い液(例えば水
や炭酸等)にすると共に被測定液中の陰イオンの対イオ
ンを水素イオンに変えることにより、移動相の導電率を
低下させてS/N比を向上させながら被測定液中の陰イオ
ンを測定することが行われる。この場合、酸型の陽イオ
ン交換樹脂を充填したサプレッサカラムに代えて陽イオ
ン交換膜を利用したものが利用できれば、該陽イオン交
換膜を介して連続的に水を変換できるため、陰イオン分
析装置を利用する上できわめて好都合となる。
<発明が解決しようとする問題点> 然るに、陽イオン交換膜を利用したサプレッサの従来例
としては、二重管構造の陽イオン交換チューブでなるサ
プレッサがある。これは、ステンレスあるいはテフロン
チューブの中にこれらのチューブの内径より細い外径を
持つ中空の陽イオン交換チューブを入れた二重管構造に
なっている。カラムからの溶出液は中空の陽イオン交換
チューブの中を流れ、除去液はその外側を移動相の流れ
に対して向流で流れるようになっており、連続的にバッ
クグランドを除去できるようになっている。また、シー
ト状のイオン交換膜を利用した例としては2枚のイオン
交換膜と球状充填物(例えばイオン交換樹脂)が充填さ
れた長溝を有する3枚のスペーサを積層し、上記二重管
構造のサプレッサと同様の効果を得るようにしたものが
ある。
としては、二重管構造の陽イオン交換チューブでなるサ
プレッサがある。これは、ステンレスあるいはテフロン
チューブの中にこれらのチューブの内径より細い外径を
持つ中空の陽イオン交換チューブを入れた二重管構造に
なっている。カラムからの溶出液は中空の陽イオン交換
チューブの中を流れ、除去液はその外側を移動相の流れ
に対して向流で流れるようになっており、連続的にバッ
クグランドを除去できるようになっている。また、シー
ト状のイオン交換膜を利用した例としては2枚のイオン
交換膜と球状充填物(例えばイオン交換樹脂)が充填さ
れた長溝を有する3枚のスペーサを積層し、上記二重管
構造のサプレッサと同様の効果を得るようにしたものが
ある。
然しながら、上記二重管構造のサプレッサは中空の陽イ
オン交換チューブを利用しているためイオン交換効率は
あまり高くなく高効率でバックグランドを減少させるこ
とは難しい。そのため、十分なサプレスト効果を得るた
めにはかなりの長さが必要となり、結果として内容積が
増加し余剰の分析時間を費やし、分離カラムで分離した
成分の広がりを生じてしまうという問題点がある。これ
らの問題点の改善策として内径の小さいイオン交換チュ
ーブを使用することやイオン交換効率の高いイオン交換
チューブを利用することが考えられるが、このようなチ
ューブは入手が非常に困難である。また、製作・加工が
あまり容易ではないという問題もある。また、イオン交
換膜を利用した充填型イオン交換膜サプレッサは上記二
重管構造のサプレッサの欠点を改良するものであるが、
イオン交換膜とスペーサで形成される3つの空間に球状
物質(例えばイオン交換樹脂)を充填するため製作・加
工の過程でイオン交換膜の変形・破損が生ずるという問
題がある。
オン交換チューブを利用しているためイオン交換効率は
あまり高くなく高効率でバックグランドを減少させるこ
とは難しい。そのため、十分なサプレスト効果を得るた
めにはかなりの長さが必要となり、結果として内容積が
増加し余剰の分析時間を費やし、分離カラムで分離した
成分の広がりを生じてしまうという問題点がある。これ
らの問題点の改善策として内径の小さいイオン交換チュ
ーブを使用することやイオン交換効率の高いイオン交換
チューブを利用することが考えられるが、このようなチ
ューブは入手が非常に困難である。また、製作・加工が
あまり容易ではないという問題もある。また、イオン交
換膜を利用した充填型イオン交換膜サプレッサは上記二
重管構造のサプレッサの欠点を改良するものであるが、
イオン交換膜とスペーサで形成される3つの空間に球状
物質(例えばイオン交換樹脂)を充填するため製作・加
工の過程でイオン交換膜の変形・破損が生ずるという問
題がある。
本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、入手が容易なシート状の陽イオン交
換膜と球状充填物(例えば、陽イオン交換樹脂,ポリマ
ービーズ、ガラス球、金属球等)及び平板状の連続気孔
を持つフィルター状物質(例えば焼結金属板、ガラスフ
ィルター、多孔性セラミック、多孔性プラスチック板
等)を用いた簡単な構成(構造)のバックグランド除去
装置を提供することにある。
あり、その目的は、入手が容易なシート状の陽イオン交
換膜と球状充填物(例えば、陽イオン交換樹脂,ポリマ
ービーズ、ガラス球、金属球等)及び平板状の連続気孔
を持つフィルター状物質(例えば焼結金属板、ガラスフ
ィルター、多孔性セラミック、多孔性プラスチック板
等)を用いた簡単な構成(構造)のバックグランド除去
装置を提供することにある。
<問題点を解決するための手段> 上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、バック
グランド除去装置において、連続気孔を持つフィルター
状物質が挿入された長い溝を有する第1シートと、陽イ
オン交換膜でなる第2シートと、球状物質が充填された
長い溝を有する第3シートと、陽イオン交換膜でなる第
4シートと、連続気孔を持つフィルター状物質が挿入さ
れた長い溝を有する第5シートを積層してその上下を第
1及び第2の基板で狭着し、前記第2及び第4のシート
(陽イオン交換膜)に挟まれた第3シートの間隙流路に
移動相を流すと共に前記第2及び第4シートの外側に形
成される(第2シートと第1基板及び第4シートと第2
基板に挟まれた)第1及び第5シートの間隙流路に前記
移動相と向流方向に除去液を流すことにある。
グランド除去装置において、連続気孔を持つフィルター
状物質が挿入された長い溝を有する第1シートと、陽イ
オン交換膜でなる第2シートと、球状物質が充填された
長い溝を有する第3シートと、陽イオン交換膜でなる第
4シートと、連続気孔を持つフィルター状物質が挿入さ
れた長い溝を有する第5シートを積層してその上下を第
1及び第2の基板で狭着し、前記第2及び第4のシート
(陽イオン交換膜)に挟まれた第3シートの間隙流路に
移動相を流すと共に前記第2及び第4シートの外側に形
成される(第2シートと第1基板及び第4シートと第2
基板に挟まれた)第1及び第5シートの間隙流路に前記
移動相と向流方向に除去液を流すことにある。
<実施例> 以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第1
図は本発明実施例に係わる導電率バックグランド減少
(除去)の原理を詳しく示す概念図である。この図にお
いて、2枚の陽イオン交換膜Mで仕切られた3つの部屋
C1〜C3のうち被測定成分が通過するC2には例えば陽イオ
ン交換樹脂のような球状物質Rが充填されており、無駄
体積は少なくなっている。また、除去液が通過する部屋
C1及びC3には連続気孔を持つフィルター状物質Fが挿入
されており、流路抵抗を余り大きくすることなくイオン
交換膜Mを介したイオン交換効率を改善するようになっ
ている。部屋C2には被測定試料(例えばCl-イオン)を
含む分離カラムから溶出された溶離液や被測定溶液(例
えばNaClを含むNaOH)が流れ、部屋C1、C3には該溶離液
と向流方向に除去液(例えばH2SO4)が流れている。こ
の状態で、部屋C2内の分離カラムからの溶離液や被測定
溶液(例えばNaClを含むNaOH)に含まれているNa+イオ
ンは、部屋C1、C3内の除去液(例えばH2SO4)に含まれ
ているH+イオンと陽イオン交換膜Mを介してイオン交換
する。この時分離カラムからの溶離液や被測定溶液中の
被測定成分(例えばCl-)は各部屋を仕切るイオン交換
膜Mと同一の電荷を持つためイオン交換されずに部屋C2
中に残る。このため、部屋C2から溶出する液体は、イオ
ン交換されて対イオンがH+型となった被測定成分(例
えばNaClではHCl)を含む導電率のバックグランドの除
去された液体(例えばH20)となり、部屋C1及びC3から
溶出する液体は、溶離液や被測定溶液中の陽イオンとイ
オン交換して例えばNa+型なった除去液(例えばNaS
O4)と余剰の除去液(例えばH2SO4)を含む導電率の高
い液体となる。
図は本発明実施例に係わる導電率バックグランド減少
(除去)の原理を詳しく示す概念図である。この図にお
いて、2枚の陽イオン交換膜Mで仕切られた3つの部屋
C1〜C3のうち被測定成分が通過するC2には例えば陽イオ
ン交換樹脂のような球状物質Rが充填されており、無駄
体積は少なくなっている。また、除去液が通過する部屋
C1及びC3には連続気孔を持つフィルター状物質Fが挿入
されており、流路抵抗を余り大きくすることなくイオン
交換膜Mを介したイオン交換効率を改善するようになっ
ている。部屋C2には被測定試料(例えばCl-イオン)を
含む分離カラムから溶出された溶離液や被測定溶液(例
えばNaClを含むNaOH)が流れ、部屋C1、C3には該溶離液
と向流方向に除去液(例えばH2SO4)が流れている。こ
の状態で、部屋C2内の分離カラムからの溶離液や被測定
溶液(例えばNaClを含むNaOH)に含まれているNa+イオ
ンは、部屋C1、C3内の除去液(例えばH2SO4)に含まれ
ているH+イオンと陽イオン交換膜Mを介してイオン交換
する。この時分離カラムからの溶離液や被測定溶液中の
被測定成分(例えばCl-)は各部屋を仕切るイオン交換
膜Mと同一の電荷を持つためイオン交換されずに部屋C2
中に残る。このため、部屋C2から溶出する液体は、イオ
ン交換されて対イオンがH+型となった被測定成分(例
えばNaClではHCl)を含む導電率のバックグランドの除
去された液体(例えばH20)となり、部屋C1及びC3から
溶出する液体は、溶離液や被測定溶液中の陽イオンとイ
オン交換して例えばNa+型なった除去液(例えばNaS
O4)と余剰の除去液(例えばH2SO4)を含む導電率の高
い液体となる。
一方、第2図は本発明実施例の分解構成斜視図であり、
図中、1は例えばアクリル板でなる第1基板、1a1〜1a1
0は第1基板に設けられた貫通穴、1bは貫通穴1a1に挿入
されるボルト、1cは溶離液用の導入口、1dは除去液用の
第1導入口、1eは溶離液用の導出口、1fは除去液用の第
1導出口、2は中央部に溝2aが設けられた例えばゴム製
の第1シート、3はシート状の陽イオン交換膜でなる第
2シート、4は中央部に溝4aが設けられた例えばゴム製
の第3シート、5はシート状の陽イオン交換膜でなる第
4シート、6は中央部に溝6aが設けられた例えばゴム製
の第5シート、7は例えばアクリル板でなる第2基板、
7a1〜7a10は第2基板に設けられた貫通穴、7cは除去液
用の第2導入口、7dは除去液用の第2導出口、8a1はワ
ッシャ、8b1はボルト1b1のネジ部と合うナットである。
尚、第1シートの溝2a及び第5シートの溝6aには、いず
れも連続気孔を持つフィルター状物質例えば多孔性ポリ
エチレンシートが挿入されており、第3シートの溝4aに
は、球状物質例えば陽イオン交換樹脂が埋め込まれて
(充填されて)いる。
図中、1は例えばアクリル板でなる第1基板、1a1〜1a1
0は第1基板に設けられた貫通穴、1bは貫通穴1a1に挿入
されるボルト、1cは溶離液用の導入口、1dは除去液用の
第1導入口、1eは溶離液用の導出口、1fは除去液用の第
1導出口、2は中央部に溝2aが設けられた例えばゴム製
の第1シート、3はシート状の陽イオン交換膜でなる第
2シート、4は中央部に溝4aが設けられた例えばゴム製
の第3シート、5はシート状の陽イオン交換膜でなる第
4シート、6は中央部に溝6aが設けられた例えばゴム製
の第5シート、7は例えばアクリル板でなる第2基板、
7a1〜7a10は第2基板に設けられた貫通穴、7cは除去液
用の第2導入口、7dは除去液用の第2導出口、8a1はワ
ッシャ、8b1はボルト1b1のネジ部と合うナットである。
尚、第1シートの溝2a及び第5シートの溝6aには、いず
れも連続気孔を持つフィルター状物質例えば多孔性ポリ
エチレンシートが挿入されており、第3シートの溝4aに
は、球状物質例えば陽イオン交換樹脂が埋め込まれて
(充填されて)いる。
上述のような分解構成からなる本発明の実施例は、第1
〜第5のシート2〜6が積層されてのち該シート2〜6
が第1及び第2の基板1及び7で挟まれ、その後ボルト
1b1(及び図示しないボルト1b2〜1b10)が貫通穴1a1
(及び1a2〜1a10)と貫通穴7a1(及び7a2〜7a10)の貫
通されてのちワッシャ8a1(及び図示しないワッシャ8a2
〜8a10)が入れられ、最後にボルト1b1(及び1b2〜1b1
0)のネジ部にナット8b1(及び図示しないナット8b2〜8
b10)がねじ込まれることによって、本発明実施例たる
バックグランド除去装置の組立が完成する。このように
して組み立てられたバックグランド除去装置は第3図に
示すようなアニオン分析装置に装着されて使用される。
即ち、第3図は本発明実施例の使用例構成説明図であ
り、図中、分離カラム12、サプレッサ13、及び検出器14
は恒温槽15内に収容されて一定温度(例えば45℃)に保
たれている。また、ポンプ10aが駆動すると槽9a内の溶
離液が、例えば1ml/minの流量で、ポンプ10a→切り換え
弁11の第1及び第2の接続口11a、11b→分離カラム12→
バックグランド除去装置13の内室13bの導入口1c→バッ
クグランド除去装置13の内室13b→バックグランド除去
装置13の内室13bの導出口1e→検出器14を経て廃液槽9c
へと流れ、ポンプ10bが駆動すると槽9b内の除去液が、
例えば1ml/minの流量で、ポンプ10b→バックグランド除
去装置13の外室13cの第1導入口1d→バックグランド除
去装置13の外室13c→バックグランド除去装置13の外室1
3cの第1導出口1f→バックグランド除去装置13の外室13
cの第2導入口7c→バックグランド除去装置13の外室13c
→バックグランド除去装置13の外室13cの第2導出口7d
を経て廃液槽9dへと流れる。このため、バックグランド
除去装置13の内室13b(第2図の溝4a)内を流れる液体
に含まれている陽イオンは陽イオン交換膜13a(第2図
の第2シート3及び第4シート5)を介してバックグラ
ンド除去装置13の外室13c(第2図の溝2a及び溝6a)内
を流れる液体に含まれている陽イオンと交換し究極的に
導電率のバックグランドを低下させることができるよう
になる。
〜第5のシート2〜6が積層されてのち該シート2〜6
が第1及び第2の基板1及び7で挟まれ、その後ボルト
1b1(及び図示しないボルト1b2〜1b10)が貫通穴1a1
(及び1a2〜1a10)と貫通穴7a1(及び7a2〜7a10)の貫
通されてのちワッシャ8a1(及び図示しないワッシャ8a2
〜8a10)が入れられ、最後にボルト1b1(及び1b2〜1b1
0)のネジ部にナット8b1(及び図示しないナット8b2〜8
b10)がねじ込まれることによって、本発明実施例たる
バックグランド除去装置の組立が完成する。このように
して組み立てられたバックグランド除去装置は第3図に
示すようなアニオン分析装置に装着されて使用される。
即ち、第3図は本発明実施例の使用例構成説明図であ
り、図中、分離カラム12、サプレッサ13、及び検出器14
は恒温槽15内に収容されて一定温度(例えば45℃)に保
たれている。また、ポンプ10aが駆動すると槽9a内の溶
離液が、例えば1ml/minの流量で、ポンプ10a→切り換え
弁11の第1及び第2の接続口11a、11b→分離カラム12→
バックグランド除去装置13の内室13bの導入口1c→バッ
クグランド除去装置13の内室13b→バックグランド除去
装置13の内室13bの導出口1e→検出器14を経て廃液槽9c
へと流れ、ポンプ10bが駆動すると槽9b内の除去液が、
例えば1ml/minの流量で、ポンプ10b→バックグランド除
去装置13の外室13cの第1導入口1d→バックグランド除
去装置13の外室13c→バックグランド除去装置13の外室1
3cの第1導出口1f→バックグランド除去装置13の外室13
cの第2導入口7c→バックグランド除去装置13の外室13c
→バックグランド除去装置13の外室13cの第2導出口7d
を経て廃液槽9dへと流れる。このため、バックグランド
除去装置13の内室13b(第2図の溝4a)内を流れる液体
に含まれている陽イオンは陽イオン交換膜13a(第2図
の第2シート3及び第4シート5)を介してバックグラ
ンド除去装置13の外室13c(第2図の溝2a及び溝6a)内
を流れる液体に含まれている陽イオンと交換し究極的に
導電率のバックグランドを低下させることができるよう
になる。
<発明の効果> 以上詳しく説明したような本発明の実施例によれば、入
手が容易なシート状の陽イオン交換膜と球状物質(例え
ば、陽イオン交換樹脂、ポリマービーズ、ガラス球、金
属球等)及び連続気孔を持つフィルター状物質(例えば
焼結金属板、ガラスフィルター、多孔性セラミック、多
孔性プラスチック板等)を用い、クロマトグラムにおけ
るピーク形状を損ねることのないデッドボリウムの小さ
な簡単な構成(構造)のバックグランド除去装置が実現
する。また、陽イオン交換膜とスペーサ(第1〜第5の
シート2〜6)で形成されている空間(具体的には長溝
2a、6a)に例えば多孔性ポリエチレンシートのような連
続気孔を持つフィルター状物質が充填されているため、
該フィルター状物質が陽イオン交換膜をバックアップし
て溶離液が流れる流通系の耐圧を高めているため、被測
定液の流れる空間(具体的には流溝4a)に球状物質を高
圧・高密度で充填でき,イオン交換膜の変形・破損が起
きないという利点もある。更に、陽イオン交換膜とスペ
ーサで形成される3つの空間(具体的には長溝2a、4a、
6a)全てに充填する必要がなく、1つの空間(具体的に
は長溝4a)にのみ充填するため製造が容易となる。ま
た、被測定液の流れる空間(具体的には長溝4a)に充填
される充填物が、ポリマービーズ、ガラス球若しくは金
属球であっても同様の効果が現れて有効である。
手が容易なシート状の陽イオン交換膜と球状物質(例え
ば、陽イオン交換樹脂、ポリマービーズ、ガラス球、金
属球等)及び連続気孔を持つフィルター状物質(例えば
焼結金属板、ガラスフィルター、多孔性セラミック、多
孔性プラスチック板等)を用い、クロマトグラムにおけ
るピーク形状を損ねることのないデッドボリウムの小さ
な簡単な構成(構造)のバックグランド除去装置が実現
する。また、陽イオン交換膜とスペーサ(第1〜第5の
シート2〜6)で形成されている空間(具体的には長溝
2a、6a)に例えば多孔性ポリエチレンシートのような連
続気孔を持つフィルター状物質が充填されているため、
該フィルター状物質が陽イオン交換膜をバックアップし
て溶離液が流れる流通系の耐圧を高めているため、被測
定液の流れる空間(具体的には流溝4a)に球状物質を高
圧・高密度で充填でき,イオン交換膜の変形・破損が起
きないという利点もある。更に、陽イオン交換膜とスペ
ーサで形成される3つの空間(具体的には長溝2a、4a、
6a)全てに充填する必要がなく、1つの空間(具体的に
は長溝4a)にのみ充填するため製造が容易となる。ま
た、被測定液の流れる空間(具体的には長溝4a)に充填
される充填物が、ポリマービーズ、ガラス球若しくは金
属球であっても同様の効果が現れて有効である。
第1図は導電率バックグランド除去の原理を詳しく示す
概念図、第2図は本発明実施例の分解構成斜視図、第3
図は本発明実施例の使用例構成説明図である。 1,7……基板、2〜6……シート、2a,4a,6a……溝、9a
〜9d……槽、10a,10b……ポンプ、11……切り換え弁、1
2……分離カラム、13……サプレッサ、14……検出器、1
5……恒温槽
概念図、第2図は本発明実施例の分解構成斜視図、第3
図は本発明実施例の使用例構成説明図である。 1,7……基板、2〜6……シート、2a,4a,6a……溝、9a
〜9d……槽、10a,10b……ポンプ、11……切り換え弁、1
2……分離カラム、13……サプレッサ、14……検出器、1
5……恒温槽
Claims (3)
- 【請求項1】被測定液中の陰イオンを分析する陰イオン
分析装置に装着され分離カラムから溶出する液体の導電
率バックグランドを減少させるバックグランド除去装置
において、連続気孔を持つフィルター状物質が挿入され
た長い溝を有する第1シートと、陽イオン交換膜でなる
第2シートと、球状物質が充填された長い溝を有する第
3シートと、陽イオン交換膜でなる第4シートと、連続
気孔を持つフィルター状物質が挿入された長い溝を有す
る第5シートを積層してその上下を第1及び第2の基板
で狭着し、前記第2及び第4のシートに挟まれた第3シ
ートの間隙流路に移動相を流すと共に前記第2及び第4
シートの外側に形成される第1及び第5シートの間隙流
路に除去液を流すことを特徴とするバックグランド除去
装置。 - 【請求項2】前記第1シート及び第5シートに挿入され
ものが平板状の連続気孔を持つフィルター状物質でなる
前記特許請求範囲第(1)項記載のバックグランド除去
装置。 - 【請求項3】前記第3シートに充填されるものが陽イオ
交換樹脂、ポリマービーズ、ガラス球、金属球でなる前
記特許請求範囲第(1)項記載のバックグランド除去装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4367788A JPH0778495B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | バックグランド除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4367788A JPH0778495B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | バックグランド除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01217258A JPH01217258A (ja) | 1989-08-30 |
JPH0778495B2 true JPH0778495B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=12670470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4367788A Expired - Lifetime JPH0778495B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | バックグランド除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0778495B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9116210B2 (en) | 2001-09-28 | 2015-08-25 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module including signal shaping interface |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4367788A patent/JPH0778495B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9116210B2 (en) | 2001-09-28 | 2015-08-25 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module including signal shaping interface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01217258A (ja) | 1989-08-30 |
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