JPH0777523A - クロロシラン類中の超微量リンの定量方法 - Google Patents
クロロシラン類中の超微量リンの定量方法Info
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- JPH0777523A JPH0777523A JP24754593A JP24754593A JPH0777523A JP H0777523 A JPH0777523 A JP H0777523A JP 24754593 A JP24754593 A JP 24754593A JP 24754593 A JP24754593 A JP 24754593A JP H0777523 A JPH0777523 A JP H0777523A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 クロロシラン類に酸化剤を加えてクロロシラ
ン類に含まれるリン化合物をオキシ三塩化リンに転換さ
せた後、このオキシ三塩化リンをクロロシラン類から分
離し、次いで分離したオキシ三塩化リンを定量すること
を特徴とするクロロシラン類中の超微量リンの定量方
法。 【効果】 本発明の定量方法は下記のような利点を有す
る。 （１）特定の形態に着目した定量方法であるため、本質
的に分析環境からのコンタミネーションを受けず、超微
量分析を行う際に行われる試験室のクリーン化が必要は
ない。 （２）％オーダー〜２ｐｐｔまで精度よく定量でき、適
用濃度範囲が極めて広い。 （３）迅速である（３０分以内／１件が可能である）。 （４）分析に要する試料量は、通常わずかに１ｍｌで済
む。 （５）試料有姿をそのまま直接、分析する方法として
は、最高感度を持つ方法である。
ン類に含まれるリン化合物をオキシ三塩化リンに転換さ
せた後、このオキシ三塩化リンをクロロシラン類から分
離し、次いで分離したオキシ三塩化リンを定量すること
を特徴とするクロロシラン類中の超微量リンの定量方
法。 【効果】 本発明の定量方法は下記のような利点を有す
る。 （１）特定の形態に着目した定量方法であるため、本質
的に分析環境からのコンタミネーションを受けず、超微
量分析を行う際に行われる試験室のクリーン化が必要は
ない。 （２）％オーダー〜２ｐｐｔまで精度よく定量でき、適
用濃度範囲が極めて広い。 （３）迅速である（３０分以内／１件が可能である）。 （４）分析に要する試料量は、通常わずかに１ｍｌで済
む。 （５）試料有姿をそのまま直接、分析する方法として
は、最高感度を持つ方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、トリクロロシラン及び
テトラクロロシラン等のクロロシラン類に含まれる超微
量のリンを高精度で、かつ迅速に定量する方法に関し、
特に半導体用クロロシラン類中に含まれるリンの定量に
好適な超微量リンの定量方法に関する。
テトラクロロシラン等のクロロシラン類に含まれる超微
量のリンを高精度で、かつ迅速に定量する方法に関し、
特に半導体用クロロシラン類中に含まれるリンの定量に
好適な超微量リンの定量方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来か
ら、リンの定量法としては、化学分析法、機器分析法な
どの多くの方法が採用されているが、半導体用クロロシ
ラン類（ノンドープレベル）中に含まれるリンの量はｐ
ｐｔレベルの超微量であるため、適用できる分析法がな
かった。また、ｐｐｂレベルまでのリンを定量する場
合、前処理及び濃縮を高度にクリーン化（０．３μｍ対
応、クラス１）した環境において、上記化学分析法及び
機器分析法のうちの多種類の分析法を適用することがで
きるが、いずれの分析法を用いた場合も分析にかかるコ
ストは膨大であり、また処理時間も多く要するため、迅
速性に欠けるという問題があった。
ら、リンの定量法としては、化学分析法、機器分析法な
どの多くの方法が採用されているが、半導体用クロロシ
ラン類（ノンドープレベル）中に含まれるリンの量はｐ
ｐｔレベルの超微量であるため、適用できる分析法がな
かった。また、ｐｐｂレベルまでのリンを定量する場
合、前処理及び濃縮を高度にクリーン化（０．３μｍ対
応、クラス１）した環境において、上記化学分析法及び
機器分析法のうちの多種類の分析法を適用することがで
きるが、いずれの分析法を用いた場合も分析にかかるコ
ストは膨大であり、また処理時間も多く要するため、迅
速性に欠けるという問題があった。
【０００３】ところで、従来、リンの測定方法として、
揮発性リン化合物を検出して定量する炎光光度検出器付
きガスクロマトグラフィー装置（ＦＰＤ）を使用する測
定方法があるが、上記半導体用クロロシラン類中のリン
含有量をＦＰＤを用いて測定した場合、以下の問題点が
生じる。 （１）要求される測定感度に到達しない。 （２）測定試料を水素炎と混合燃焼させるため、クロロ
シラン類から生成するＳｉＯ2粉が検出器の光路中に堆
積してしまい、このため測定感度が低下し、最終的には
全く感度がなくなってしまう。
揮発性リン化合物を検出して定量する炎光光度検出器付
きガスクロマトグラフィー装置（ＦＰＤ）を使用する測
定方法があるが、上記半導体用クロロシラン類中のリン
含有量をＦＰＤを用いて測定した場合、以下の問題点が
生じる。 （１）要求される測定感度に到達しない。 （２）測定試料を水素炎と混合燃焼させるため、クロロ
シラン類から生成するＳｉＯ2粉が検出器の光路中に堆
積してしまい、このため測定感度が低下し、最終的には
全く感度がなくなってしまう。
【０００４】本発明は上記事情に鑑みなされてもので、
トリクロロシラン及びテトラクロロシラン等の特に半導
体用のクロロシラン類に含まれる超微量のリンを高精度
で、かつ迅速に定量する方法を提供することを目的とす
る。
トリクロロシラン及びテトラクロロシラン等の特に半導
体用のクロロシラン類に含まれる超微量のリンを高精度
で、かつ迅速に定量する方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は上記
目的を達成するため鋭意検討を行った結果、トリクロロ
シラン及びテトラクロロシラン等のクロロシラン類に過
酸化水素、硝酸、過マンガン酸カリウム、過ヨウ素酸カ
リウム、過ヨウ素酸塩等の酸化剤の１種又は２種以上を
加え、上記クロロシラン類中に含まれるリン化合物を高
沸誘導体化してオキシ三塩化リンに変化させ、該オキシ
三塩化リンを上記クロロシラン類から分離して濃縮し、
該濃縮したオキシ三塩化リンを定量することにより、ト
リクロロシラン及びテトラクロロシラン等のクロロシラ
ン類に含まれる超微量のリンを高精度で、かつ迅速に定
量することができることを知見した。
目的を達成するため鋭意検討を行った結果、トリクロロ
シラン及びテトラクロロシラン等のクロロシラン類に過
酸化水素、硝酸、過マンガン酸カリウム、過ヨウ素酸カ
リウム、過ヨウ素酸塩等の酸化剤の１種又は２種以上を
加え、上記クロロシラン類中に含まれるリン化合物を高
沸誘導体化してオキシ三塩化リンに変化させ、該オキシ
三塩化リンを上記クロロシラン類から分離して濃縮し、
該濃縮したオキシ三塩化リンを定量することにより、ト
リクロロシラン及びテトラクロロシラン等のクロロシラ
ン類に含まれる超微量のリンを高精度で、かつ迅速に定
量することができることを知見した。
【０００６】即ち、本発明者は、ガスクロマトグラフ質
量分析装置を用いてクロロシラン類中のリン化合物を定
性した結果、三塩化リンＰＣｌ3（沸点７５℃）とオキ
シ三塩化リンＰＯＣｌ3（沸点１０５℃）の２種のリン
化合物が含まれること、かつ三塩化リンは経時に従って
徐々にオキシ三塩化リンに転換することを知見した。即
ち、後述する表１に示すように２０ｐｐｍの三塩化リン
は７２時間で約３％の転換率を有するものであった）。
量分析装置を用いてクロロシラン類中のリン化合物を定
性した結果、三塩化リンＰＣｌ3（沸点７５℃）とオキ
シ三塩化リンＰＯＣｌ3（沸点１０５℃）の２種のリン
化合物が含まれること、かつ三塩化リンは経時に従って
徐々にオキシ三塩化リンに転換することを知見した。即
ち、後述する表１に示すように２０ｐｐｍの三塩化リン
は７２時間で約３％の転換率を有するものであった）。
【０００７】このような知見から、更に検討を進めた結
果、、クロロシラン類中のリン化合物（特に三塩化リ
ン）をオキシ三塩化リンに積極的に転換させ、高沸点誘
導体化を計ることにより、このオキシ三塩化リンをクロ
ロシラン類から容易に分離し得、この分離したオキシ三
塩化リンを定量すれば、定量装置として上記ＦＰＤを用
いた場合もＦＰＤがコンタミネーションを受けることが
ないこと、また上記三塩化リンのオキシ三塩化リンへの
転換には酸化剤を用いることが迅速性、確実性などの点
から有利であることを知見し、本発明をなすに至ったも
のである。
果、、クロロシラン類中のリン化合物（特に三塩化リ
ン）をオキシ三塩化リンに積極的に転換させ、高沸点誘
導体化を計ることにより、このオキシ三塩化リンをクロ
ロシラン類から容易に分離し得、この分離したオキシ三
塩化リンを定量すれば、定量装置として上記ＦＰＤを用
いた場合もＦＰＤがコンタミネーションを受けることが
ないこと、また上記三塩化リンのオキシ三塩化リンへの
転換には酸化剤を用いることが迅速性、確実性などの点
から有利であることを知見し、本発明をなすに至ったも
のである。
【０００８】従って、本発明は、クロロシラン類に酸化
剤を加えてクロロシラン類に含まれるリン化合物をオキ
シ三塩化リンに転換させた後、このオキシ三塩化リンを
クロロシラン類から分離し、次いで分離したオキシ三塩
化リンを定量することを特徴とするクロロシラン類中の
超微量リンの定量方法を提供する。
剤を加えてクロロシラン類に含まれるリン化合物をオキ
シ三塩化リンに転換させた後、このオキシ三塩化リンを
クロロシラン類から分離し、次いで分離したオキシ三塩
化リンを定量することを特徴とするクロロシラン類中の
超微量リンの定量方法を提供する。
【０００９】以下、本発明につき更に詳述すると、本発
明のクロロシラン類中の超微量リンの定量方法は、まず
クロロシラン類に酸化剤を加えてクロロシラン類中のリ
ン化合物（主として三塩化リン）をオキシ三塩化リンに
１００％転換させる。
明のクロロシラン類中の超微量リンの定量方法は、まず
クロロシラン類に酸化剤を加えてクロロシラン類中のリ
ン化合物（主として三塩化リン）をオキシ三塩化リンに
１００％転換させる。
【００１０】この場合、本発明法が適用されるクロロシ
ラン類としては、トリクロロシラン、テトラクロロシラ
ン、ジクロロシランなどが挙げられる。
ラン類としては、トリクロロシラン、テトラクロロシラ
ン、ジクロロシランなどが挙げられる。
【００１１】また、酸化剤としては、三塩化リンをオキ
シ三塩化リンに転換し得るものであればよいが、特に過
酸化水素、硝酸、過マンガン酸カリウム、過ヨウ素酸カ
リウム、過ヨウ素酸が好ましく、中でも過酸化水素及び
硝酸が転換速度の点から好ましい。なお、酸化剤の添加
量、処理時間は特に制限されず、所用量の酸化剤を用い
て三塩化リンからオキシ三塩化リンに１００％転換され
るように所用時間放置すればよい。
シ三塩化リンに転換し得るものであればよいが、特に過
酸化水素、硝酸、過マンガン酸カリウム、過ヨウ素酸カ
リウム、過ヨウ素酸が好ましく、中でも過酸化水素及び
硝酸が転換速度の点から好ましい。なお、酸化剤の添加
量、処理時間は特に制限されず、所用量の酸化剤を用い
て三塩化リンからオキシ三塩化リンに１００％転換され
るように所用時間放置すればよい。
【００１２】次に、本発明においては、このようにリン
化合物をオキシ三塩化リンに転換させた後、このオキシ
三塩化リンをクロロシラン類から分離し、次いで分離し
たオキシ三塩化リンを定量するものである。この場合オ
キシ三塩化リンの分離を熱伝導度検出器付きガスクロマ
トグラフ（ＴＣＤ−ＧＣ）にて行うと共に、オキシ三塩
化リンの定量を炎光光度検出器付きガスクロマトグラフ
（ＦＰＤ−ＧＣ）にて行うことが好ましく、また分離し
たオキシ三塩化リンをガラスビーズに低温で繰り返し吸
着させることにより濃縮した後、これを急速に加熱する
ことにより溶出したオキシ三塩化リンを定量するように
することが好ましい。
化合物をオキシ三塩化リンに転換させた後、このオキシ
三塩化リンをクロロシラン類から分離し、次いで分離し
たオキシ三塩化リンを定量するものである。この場合オ
キシ三塩化リンの分離を熱伝導度検出器付きガスクロマ
トグラフ（ＴＣＤ−ＧＣ）にて行うと共に、オキシ三塩
化リンの定量を炎光光度検出器付きガスクロマトグラフ
（ＦＰＤ−ＧＣ）にて行うことが好ましく、また分離し
たオキシ三塩化リンをガラスビーズに低温で繰り返し吸
着させることにより濃縮した後、これを急速に加熱する
ことにより溶出したオキシ三塩化リンを定量するように
することが好ましい。
【００１３】この点につき更に詳述すると、例えば図１
に示す装置を用い、オキシ三塩化リンの分離、濃縮、定
量を行うことができる。
に示す装置を用い、オキシ三塩化リンの分離、濃縮、定
量を行うことができる。
【００１４】ここで、図１において、ＡはＴＣＤ−ＧＣ
であり、１は分離カラム、２は対照カラム、３はＴＣＤ
検出器、４は切換コック、５は抵抗カラム、６は圧力
計、７はバルブである。このＴＣＤ−ＧＣにおいて、上
記リン化合物がオキシ塩化リンに転換されたクロロシラ
ン類がキャリアーガスと共に分離カラム１に導入され、
ここでクロロシラン類とこれに含まれる上記オキシ塩化
リンが分離される。この場合、クロロシラン類はオキシ
塩化リンよりも速く分離カラム１を通過するので、ＴＣ
Ｄ検出器３によりクロロシラン類が検出されている場合
は切換コック４を図中点線に示す流路に切換え、クロロ
シラン類を系外に排出する。次いで、ＴＣＤ検出器３で
オキシ塩化リンが検出された時は切換コック４を図中実
線に示す流路に切換え、後述する濃縮装置Ｂに送るもの
である。
であり、１は分離カラム、２は対照カラム、３はＴＣＤ
検出器、４は切換コック、５は抵抗カラム、６は圧力
計、７はバルブである。このＴＣＤ−ＧＣにおいて、上
記リン化合物がオキシ塩化リンに転換されたクロロシラ
ン類がキャリアーガスと共に分離カラム１に導入され、
ここでクロロシラン類とこれに含まれる上記オキシ塩化
リンが分離される。この場合、クロロシラン類はオキシ
塩化リンよりも速く分離カラム１を通過するので、ＴＣ
Ｄ検出器３によりクロロシラン類が検出されている場合
は切換コック４を図中点線に示す流路に切換え、クロロ
シラン類を系外に排出する。次いで、ＴＣＤ検出器３で
オキシ塩化リンが検出された時は切換コック４を図中実
線に示す流路に切換え、後述する濃縮装置Ｂに送るもの
である。
【００１５】この場合、分離カラム１としては、例えば
直径が４ｍｍで長さが１ｍのガラス製のものを使用する
ことができる。分離カラム１には液体と担体とが充填さ
れるが、液体としてはシリコーンオイルなどが好適に用
いられる。また、担体としてはケイソウ土のシラン処理
品などを用いることができ、キャリアーガスとしてはヘ
リウム、窒素などを用いることが好ましい。
直径が４ｍｍで長さが１ｍのガラス製のものを使用する
ことができる。分離カラム１には液体と担体とが充填さ
れるが、液体としてはシリコーンオイルなどが好適に用
いられる。また、担体としてはケイソウ土のシラン処理
品などを用いることができ、キャリアーガスとしてはヘ
リウム、窒素などを用いることが好ましい。
【００１６】Ｂは上述したように濃縮装置であり、内部
にガラスビーズが充填されたＵ字管状の捕集カラム８と
これを冷却するための液体窒素冷却器９とからなり、上
記捕集カラム８には、カラム加熱用の電熱コイル１０が
巻きつけられている。ここで、上記ＴＣＤ−ＧＣで分離
されたオキシ塩化リンはこの濃縮装置Ｂの捕集カラム８
内のガラスビーズに液体窒素による冷却下に捕集、濃縮
される。オキシ塩化リンが所定量捕集された後は、上記
ＴＣＤ−ＧＣの切換コック４を切換えて点線で示す流路
構成とし、キャリアーガスを流路１１を通して捕集カラ
ム８に送ると共に、上記電熱コイル１０を通電し、約１
５０〜２００℃に急速に加熱してオキシ塩化リンを図中
Ｃで示すＦＰＤ−ＧＣに送るものである。
にガラスビーズが充填されたＵ字管状の捕集カラム８と
これを冷却するための液体窒素冷却器９とからなり、上
記捕集カラム８には、カラム加熱用の電熱コイル１０が
巻きつけられている。ここで、上記ＴＣＤ−ＧＣで分離
されたオキシ塩化リンはこの濃縮装置Ｂの捕集カラム８
内のガラスビーズに液体窒素による冷却下に捕集、濃縮
される。オキシ塩化リンが所定量捕集された後は、上記
ＴＣＤ−ＧＣの切換コック４を切換えて点線で示す流路
構成とし、キャリアーガスを流路１１を通して捕集カラ
ム８に送ると共に、上記電熱コイル１０を通電し、約１
５０〜２００℃に急速に加熱してオキシ塩化リンを図中
Ｃで示すＦＰＤ−ＧＣに送るものである。
【００１７】このＦＰＤ−ＧＣにおいて、１２は分離カ
ラム、１３，１４，１５はそれぞれ切換コック、１６，
１７はそれぞれ抵抗カラム、１８は圧力計、１９はバル
ブであり、２０はＦＰＤ検出器である。上記捕集カラム
８から溶出されたオキシ塩化リンは、クロロシラン類中
のリン化合物をＨ2Ｏ2やＨＮＯ3などの還元剤でオキシ
塩化リンに転換する際、クロロシラン類とＨ2Ｏ2やＨＮ
Ｏ3などの還元剤中の水分が反応した結果生じたシラノ
ール系成分を含む場合があり、これがそのままＦＰＤ検
出器２０に導入された場合、この成分も水素炎と混合燃
焼する際に生成するＳｉＯ2粉が検出器の光路に堆積
し、感度を低下させるおそれがあるので、上記捕集カラ
ム８からのオキシ塩化リンはそのままＦＰＤ検出器２０
に導入せず、まず分離カラム１２でオキシ塩化リンをシ
ラノール系不純物と分離し、このようにして精製したオ
キシ塩化リンをＦＰＤ検出器２０に送るものである。
ラム、１３，１４，１５はそれぞれ切換コック、１６，
１７はそれぞれ抵抗カラム、１８は圧力計、１９はバル
ブであり、２０はＦＰＤ検出器である。上記捕集カラム
８から溶出されたオキシ塩化リンは、クロロシラン類中
のリン化合物をＨ2Ｏ2やＨＮＯ3などの還元剤でオキシ
塩化リンに転換する際、クロロシラン類とＨ2Ｏ2やＨＮ
Ｏ3などの還元剤中の水分が反応した結果生じたシラノ
ール系成分を含む場合があり、これがそのままＦＰＤ検
出器２０に導入された場合、この成分も水素炎と混合燃
焼する際に生成するＳｉＯ2粉が検出器の光路に堆積
し、感度を低下させるおそれがあるので、上記捕集カラ
ム８からのオキシ塩化リンはそのままＦＰＤ検出器２０
に導入せず、まず分離カラム１２でオキシ塩化リンをシ
ラノール系不純物と分離し、このようにして精製したオ
キシ塩化リンをＦＰＤ検出器２０に送るものである。
【００１８】即ち、捕集カラム８からのオキシ塩化リン
は、切換コック１３を実線に示す流路に切換えることに
より分離カラム１２に導入する。ここで、オキシ塩化リ
ン中のシラノール系不純物は分離カラム１２を早く通過
するので、まず切換コック１４を実線に示す流路に切換
えて系外に排出し、シラノール系不純物が分離されたら
切換コック１４を点線に示す流路に切換え、シラノール
系不純物が分離除去されたオキシ塩化リンをＦＰＤ検出
器２０に送り、オキシ塩化リンを定量するものである。
は、切換コック１３を実線に示す流路に切換えることに
より分離カラム１２に導入する。ここで、オキシ塩化リ
ン中のシラノール系不純物は分離カラム１２を早く通過
するので、まず切換コック１４を実線に示す流路に切換
えて系外に排出し、シラノール系不純物が分離されたら
切換コック１４を点線に示す流路に切換え、シラノール
系不純物が分離除去されたオキシ塩化リンをＦＰＤ検出
器２０に送り、オキシ塩化リンを定量するものである。
【００１９】この場合、分離カラム１２としては、例え
ば直径が３ｍｍで長さが２ｍのものを使用することがで
きる。分離カラム１２には上記分離カラム１と同様に液
体と担体とが充填されるが、液体としてはシリコーンオ
イルなどが好適に用いられる。また、担体としてはケイ
ソウ土のシラン処理品などを用いることができ、キャリ
アーガスとしてはヘリウム、窒素などを用いることが好
ましく、ガス流量は８０〜１００ｍｌ／分とすることが
できる。なお、試料を燃焼させるために用いるガスとし
ては、窒素と水素との混合ガスを用いることができる。
ば直径が３ｍｍで長さが２ｍのものを使用することがで
きる。分離カラム１２には上記分離カラム１と同様に液
体と担体とが充填されるが、液体としてはシリコーンオ
イルなどが好適に用いられる。また、担体としてはケイ
ソウ土のシラン処理品などを用いることができ、キャリ
アーガスとしてはヘリウム、窒素などを用いることが好
ましく、ガス流量は８０〜１００ｍｌ／分とすることが
できる。なお、試料を燃焼させるために用いるガスとし
ては、窒素と水素との混合ガスを用いることができる。
【００２０】
【実施例】以下、実験例と実施例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
【００２１】［実験例１］試料としてトリクロロシラン
及びテトラクロロシランを用い、表１に示す条件で種々
の酸化剤を用いた場合の三塩化リンからオキシ三塩化リ
ンへの転換率について種々検討を行ったところ、表１及
び図２に示す結果を得た。なお、処理は室温で行った。
及びテトラクロロシランを用い、表１に示す条件で種々
の酸化剤を用いた場合の三塩化リンからオキシ三塩化リ
ンへの転換率について種々検討を行ったところ、表１及
び図２に示す結果を得た。なお、処理は室温で行った。
【００２２】
【表１】
【００２３】［実験例２］図１に示したＴＣＤ−ＧＣに
おいて、表２に示す条件でトリクロロシランとオキシ塩
化リンとの分離を行った。その結果を図３に示す。
おいて、表２に示す条件でトリクロロシランとオキシ塩
化リンとの分離を行った。その結果を図３に示す。
【００２４】
【表２】
【００２５】［実験例３］図１に示したＴＣＤ−ＧＣに
おいて、表３に示す条件で濃縮装置で捕集されたオキシ
塩化リンとシラノール系不純物の分離を行った。その結
果を図４に示す。
おいて、表３に示す条件で濃縮装置で捕集されたオキシ
塩化リンとシラノール系不純物の分離を行った。その結
果を図４に示す。
【００２６】
【表３】
【００２７】［実験例４］試料としてリン濃度が０．１
ｐｐｂ、１ｐｐｂ、１００ｐｐｂのトリクロロシランを
用い、図１の捕集カラム８における濃縮回数を１回と
し、表２，３と同様の条件でＦＰＤ検出器による測定ま
での操作を行い、適用濃度範囲を調べたところ、図５に
示す結果が得られた。図５から本発明のリンの定量法は
ｐｐｔオーダーのリンの定量にも適用できることがわか
った。
ｐｐｂ、１ｐｐｂ、１００ｐｐｂのトリクロロシランを
用い、図１の捕集カラム８における濃縮回数を１回と
し、表２，３と同様の条件でＦＰＤ検出器による測定ま
での操作を行い、適用濃度範囲を調べたところ、図５に
示す結果が得られた。図５から本発明のリンの定量法は
ｐｐｔオーダーのリンの定量にも適用できることがわか
った。
【００２８】［実験例５］試料としてリン濃度が５０ｐ
ｐｔのテトラクロロシランを用い、実験例４と同様にし
てＦＰＤ検出器による測定までの操作を行った。この場
合、捕集カラム８における濃縮回数を１，２，４，６，
８，１０，１２回としたところ、図６に示す結果が得ら
れた。図６に示す結果から、本発明の濃縮の有効性が明
らかになった。
ｐｔのテトラクロロシランを用い、実験例４と同様にし
てＦＰＤ検出器による測定までの操作を行った。この場
合、捕集カラム８における濃縮回数を１，２，４，６，
８，１０，１２回としたところ、図６に示す結果が得ら
れた。図６に示す結果から、本発明の濃縮の有効性が明
らかになった。
【００２９】［実施例］５ｐｐｔのリンを三塩化リンと
して含むトリクロロシラン及びテトラクロロシランに酸
化剤として過酸化水素水溶液を使用し、０．５時間放置
した。次いで図１に示す装置を用い、表２，３に示す条
件でリンの定量を行った。この場合、濃縮回数は１０回
とし、５回繰り返して定量した。結果を表４に示す。表
４の結果から、本発明の定量方法の有効性が認められ
る。
して含むトリクロロシラン及びテトラクロロシランに酸
化剤として過酸化水素水溶液を使用し、０．５時間放置
した。次いで図１に示す装置を用い、表２，３に示す条
件でリンの定量を行った。この場合、濃縮回数は１０回
とし、５回繰り返して定量した。結果を表４に示す。表
４の結果から、本発明の定量方法の有効性が認められ
る。
【００３０】
【表４】
【００３１】
【発明の効果】本発明の定量方法は下記のような利点を
有する。 （１）特定の形態に着目した定量方法であるため、本質
的に分析環境からのコンタミネーションを受けず、超微
量分析を行う際に行われる試験室のクリーン化が必要は
ない。 （２）％オーダー〜２ｐｐｔまで精度よく定量でき、適
用濃度範囲が極めて広い。 （３）迅速である（３０分以内／１件が可能である）。 （４）分析に要する試料量は、通常わずかに１ｍｌで済
む。 （５）試料有姿をそのまま直接、分析する方法として
は、最高感度を持つ方法である。
有する。 （１）特定の形態に着目した定量方法であるため、本質
的に分析環境からのコンタミネーションを受けず、超微
量分析を行う際に行われる試験室のクリーン化が必要は
ない。 （２）％オーダー〜２ｐｐｔまで精度よく定量でき、適
用濃度範囲が極めて広い。 （３）迅速である（３０分以内／１件が可能である）。 （４）分析に要する試料量は、通常わずかに１ｍｌで済
む。 （５）試料有姿をそのまま直接、分析する方法として
は、最高感度を持つ方法である。
【図１】本発明に係るリンの定量に用いる測定装置の一
例を示す工程図である。
例を示す工程図である。
【図２】各種酸化剤を用いた場合における三塩化リンか
らオキシ三塩化リンへの転換率の経時変化を示すグラフ
である。
らオキシ三塩化リンへの転換率の経時変化を示すグラフ
である。
【図３】トリクロロシランとオキシ三塩化リンの分離状
態を示すガスクロマトグラムである。
態を示すガスクロマトグラムである。
【図４】シラノール系不純物とオキシ三塩化リンの分離
状態を示すガスクロマトグラムである。
状態を示すガスクロマトグラムである。
【図５】試料中のリン濃度とリン濃度測定値との関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図６】オキシ三塩化リンの濃縮回数とリン濃度測定値
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
１ 熱伝導度検出器付きガスクロマトグラフィー ３ 熱伝導度検出器 ８ 捕集カラム １１ 炎光光度検出器付きガスクロマトグラフィー １２ 炎光光度検出器
Claims (5)
- 【請求項１】 クロロシラン類に酸化剤を加えてクロロ
シラン類に含まれるリン化合物をオキシ三塩化リンに転
換させた後、このオキシ三塩化リンをクロロシラン類か
ら分離し、次いで分離したオキシ三塩化リンを定量する
ことを特徴とするクロロシラン類中の超微量リンの定量
方法。 - 【請求項２】 酸化剤が、過酸化水素、硝酸、過マンガ
ン酸カリウム、過ヨウ素酸カリウム、及び過ヨウ素酸か
ら選ばれたものである請求項１記載の定量方法。 - 【請求項３】 オキシ三塩化リンの分離を熱伝導度検出
器付きガスクロマトグラフにて行うと共に、オキシ三塩
化リンの定量を炎光光度検出器付きガスクロマトグラフ
にて行うようにした請求項１又は２記載の定量方法。 - 【請求項４】 分離したオキシ三塩化リンをガラスビー
ズに低温で繰り返し吸着させることにより濃縮した後、
これを急速に加熱することにより溶出したオキシ三塩化
リンを定量するようにした請求項３記載の定量方法。 - 【請求項５】 クロロシラン類がトリクロロシラン又は
テトラクロロシランである請求項１乃至４のいずれか１
項記載の定量方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24754593A JP3304547B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | クロロシラン類中の超微量リンの定量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24754593A JP3304547B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | クロロシラン類中の超微量リンの定量方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777523A true JPH0777523A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3304547B2 JP3304547B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=17165093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24754593A Expired - Fee Related JP3304547B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | クロロシラン類中の超微量リンの定量方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3304547B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010066251A (ja) * | 2008-08-12 | 2010-03-25 | Mitsubishi Materials Corp | クロロシラン類の分析装置および分析方法 |
| JP2013015390A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフ分離方法およびガスクロマトグラフィ用カラム |
| JP2016125911A (ja) * | 2015-01-05 | 2016-07-11 | 信越化学工業株式会社 | 元素分析方法 |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP24754593A patent/JP3304547B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2010066251A (ja) * | 2008-08-12 | 2010-03-25 | Mitsubishi Materials Corp | クロロシラン類の分析装置および分析方法 |
| JP2013015390A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフ分離方法およびガスクロマトグラフィ用カラム |
| JP2016125911A (ja) * | 2015-01-05 | 2016-07-11 | 信越化学工業株式会社 | 元素分析方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3304547B2 (ja) | 2002-07-22 |
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