JPH0777241A - 浮上支持装置 - Google Patents
浮上支持装置Info
- Publication number
- JPH0777241A JPH0777241A JP22317393A JP22317393A JPH0777241A JP H0777241 A JPH0777241 A JP H0777241A JP 22317393 A JP22317393 A JP 22317393A JP 22317393 A JP22317393 A JP 22317393A JP H0777241 A JPH0777241 A JP H0777241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- levitation
- gravity
- center
- scanned
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、簡便にして、安定した高精度な指
向制御を実現すると共に、設計を含む取扱いの簡略化を
図り得るようにすることにある。 【構成】被走査体２０の２位置における変位量を第１及
び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂで検出して、該被走
査体２０の重心の位置及び重心回りの回転角度を算出
し、この重心の位置及び重心回りの回転角度に基づいて
被走査体２０に作用する力及びトルクを求めて、この力
及びトルクに基づいた駆動指令を生成して第１及び第２
の磁気軸受２１ａ，２１ｂを駆動制御して被走査体２０
を浮上支持するように構成し、所期の目的を達成したも
のである。
向制御を実現すると共に、設計を含む取扱いの簡略化を
図り得るようにすることにある。 【構成】被走査体２０の２位置における変位量を第１及
び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂで検出して、該被走
査体２０の重心の位置及び重心回りの回転角度を算出
し、この重心の位置及び重心回りの回転角度に基づいて
被走査体２０に作用する力及びトルクを求めて、この力
及びトルクに基づいた駆動指令を生成して第１及び第２
の磁気軸受２１ａ，２１ｂを駆動制御して被走査体２０
を浮上支持するように構成し、所期の目的を達成したも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば周囲の振動か
ら防振し、直線的に走査駆動される走査鏡を浮上支持す
るのに用いる浮上支持装置に関する。
ら防振し、直線的に走査駆動される走査鏡を浮上支持す
るのに用いる浮上支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査鏡を用いるシステムの例としては、
図２に示すように観測光の入射光路上に周知のビームス
プリッタ１が配設され、このビームスプリッタ１の反射
光路には固定鏡２が配設される。また、ビームスプリッ
タ１の透過光路上には、走査鏡３が後述する浮上支持装
置を介して浮上自在に配設される。そして、ビームスプ
リッタ３の他の光路上には、光検出器４が配設される。
これにより、観測光は、ビームスプリッタ１で反射され
て固定鏡２に導かれ、この固定鏡２で反射された反射光
が再びビームスプリッタ１を透過して光検出器４に入射
される。同時に、ビームスプリッタ１を透過した観測光
は、走査鏡３で反射された後、再びビームスプリッタ１
で反射されて光検出器４に入射される。ここで、走査鏡
３は、詳細を後述する上記浮上支持装置により走査軸上
に浮上支持されると共に、走査軸方向（矢印方向）に直
線的に走査駆動される。この結果、光検出器４には、固
定鏡２からの光と、走査鏡３からの光が干渉縞として入
力され、電圧信号として検出される。
図２に示すように観測光の入射光路上に周知のビームス
プリッタ１が配設され、このビームスプリッタ１の反射
光路には固定鏡２が配設される。また、ビームスプリッ
タ１の透過光路上には、走査鏡３が後述する浮上支持装
置を介して浮上自在に配設される。そして、ビームスプ
リッタ３の他の光路上には、光検出器４が配設される。
これにより、観測光は、ビームスプリッタ１で反射され
て固定鏡２に導かれ、この固定鏡２で反射された反射光
が再びビームスプリッタ１を透過して光検出器４に入射
される。同時に、ビームスプリッタ１を透過した観測光
は、走査鏡３で反射された後、再びビームスプリッタ１
で反射されて光検出器４に入射される。ここで、走査鏡
３は、詳細を後述する上記浮上支持装置により走査軸上
に浮上支持されると共に、走査軸方向（矢印方向）に直
線的に走査駆動される。この結果、光検出器４には、固
定鏡２からの光と、走査鏡３からの光が干渉縞として入
力され、電圧信号として検出される。
【０００３】図３は、このような従来の浮上支持装置を
示すもので、図中６は、上記走査鏡３が支持されるヨー
クと称する被走査体である。この被走査体６は、例えば
周知の浮上支持用第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂに
遊挿される。この第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂ
は、所定の間隔を有して配置され、その磁気力で被走査
体６を走査軸上に浮上支持する。
示すもので、図中６は、上記走査鏡３が支持されるヨー
クと称する被走査体である。この被走査体６は、例えば
周知の浮上支持用第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂに
遊挿される。この第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂ
は、所定の間隔を有して配置され、その磁気力で被走査
体６を走査軸上に浮上支持する。
【０００４】そして、上記被走査体６には、非接触型の
第１及び第２の変位センサ８ａ，８ｂが上記第１及び第
２の磁気軸受７ａ，７ｂに対応して所定の間隔に対向配
置される。この第１及び第２の変位センサ８ａ，８ｂ
は、それぞれ複数の検出部８ａ1 及び８ａ2 ，８ｂ1 及
びｂ2 を有し、その各出力端が減算器の各入力端に接続
されており、各検出部８ａ1 及び８ａ2 ，８ｂ1 及び８
ｂ2 で被走査体６との間隔（ギャップ長）の変位を検出
して、その検出信号を減算器９ａ，９ｂにそれぞれ出力
する。この各減算器９ａ，９ｂは、その出力端に制御部
１０ａ，１０ｂがそれぞれ接続され、入力した検出信号
の差信号を求めて制御部１０ａ，１０ｂに出力する。こ
の制御部１０ａ，１０ｂは、その出力端に駆動部１１
ａ，１１ｂがそれぞれ接続され、入力した差信号が
「０」となるような駆動指令を生成して、各駆動部１１
ａ，１１ｂに出力する。駆動部１１ａ，１１ｂは、その
出力端に上記第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂがそれ
ぞれ接続され、入力した駆動指令に応じた駆動電流を発
生して、第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂをそれぞれ
駆動制御し、被走査体６とのギャップ長が一定となるよ
うに浮上支持する。
第１及び第２の変位センサ８ａ，８ｂが上記第１及び第
２の磁気軸受７ａ，７ｂに対応して所定の間隔に対向配
置される。この第１及び第２の変位センサ８ａ，８ｂ
は、それぞれ複数の検出部８ａ1 及び８ａ2 ，８ｂ1 及
びｂ2 を有し、その各出力端が減算器の各入力端に接続
されており、各検出部８ａ1 及び８ａ2 ，８ｂ1 及び８
ｂ2 で被走査体６との間隔（ギャップ長）の変位を検出
して、その検出信号を減算器９ａ，９ｂにそれぞれ出力
する。この各減算器９ａ，９ｂは、その出力端に制御部
１０ａ，１０ｂがそれぞれ接続され、入力した検出信号
の差信号を求めて制御部１０ａ，１０ｂに出力する。こ
の制御部１０ａ，１０ｂは、その出力端に駆動部１１
ａ，１１ｂがそれぞれ接続され、入力した差信号が
「０」となるような駆動指令を生成して、各駆動部１１
ａ，１１ｂに出力する。駆動部１１ａ，１１ｂは、その
出力端に上記第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂがそれ
ぞれ接続され、入力した駆動指令に応じた駆動電流を発
生して、第１及び第２の磁気軸受７ａ，７ｂをそれぞれ
駆動制御し、被走査体６とのギャップ長が一定となるよ
うに浮上支持する。
【０００５】この際、被走査体６は、例えば図示しない
走査機構により走査軸上を走査制御される。しかしなが
ら、上記浮上支持装置では、第１及び第２の磁気軸受７
ａ，７ｂをそれぞれ第１及び第２の変位センサ８ａ，８
ｂの検出信号に基づいて駆動制御して被走査体６の浮上
支持を制御する独立した制御系を備えいている構成上、
その動作状態で、相互の制御系が干渉し合って、浮上制
御の精度に悪影響を及ぼすために、制御精度の向上を図
るのが困難であるという問題を有する。
走査機構により走査軸上を走査制御される。しかしなが
ら、上記浮上支持装置では、第１及び第２の磁気軸受７
ａ，７ｂをそれぞれ第１及び第２の変位センサ８ａ，８
ｂの検出信号に基づいて駆動制御して被走査体６の浮上
支持を制御する独立した制御系を備えいている構成上、
その動作状態で、相互の制御系が干渉し合って、浮上制
御の精度に悪影響を及ぼすために、制御精度の向上を図
るのが困難であるという問題を有する。
【０００６】また、これによると、各制御系を設計する
に当り、干渉状況を把握するために、模擬試験等を実施
して評価しなければならないために、その設計を含む取
扱いが非常に面倒であるという問題を有する。
に当り、干渉状況を把握するために、模擬試験等を実施
して評価しなければならないために、その設計を含む取
扱いが非常に面倒であるという問題を有する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の浮上支持装置では、制御系が干渉して、高精度な浮
上支持を実現するのが困難であると共に、その設計を含
む取扱いが非常に面倒であるという問題を有する。
来の浮上支持装置では、制御系が干渉して、高精度な浮
上支持を実現するのが困難であると共に、その設計を含
む取扱いが非常に面倒であるという問題を有する。
【０００８】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
ので、構成簡易にして、安定した高精度な浮上支持を実
現し得、且つ、設計を含む取扱いの簡略化を図り得るよ
うにした浮上支持装置を提供することを目的とする。
ので、構成簡易にして、安定した高精度な浮上支持を実
現し得、且つ、設計を含む取扱いの簡略化を図り得るよ
うにした浮上支持装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、被走査体の
複数箇所を浮上支持する浮上手段と、この浮上手段に支
持された前記被走査体の複数箇所の変位を検出する変位
検出手段と、この変位検出手段で検出した前記被走査体
の複数箇所の各変位量に基づいて前記被走査体の重心の
位置及び重心回りの回転角度を算出する処理手段と、こ
の処理手段で求めた前記重心の位置及び重心回りの回転
角度に基づいて前記被走査体に作用する力及びトルクを
算出して、この力及びトルクに基づいた駆動指令を生成
して前記浮上手段を駆動制御する駆動制御手段とを備え
て浮上支持装置を構成したものである。
複数箇所を浮上支持する浮上手段と、この浮上手段に支
持された前記被走査体の複数箇所の変位を検出する変位
検出手段と、この変位検出手段で検出した前記被走査体
の複数箇所の各変位量に基づいて前記被走査体の重心の
位置及び重心回りの回転角度を算出する処理手段と、こ
の処理手段で求めた前記重心の位置及び重心回りの回転
角度に基づいて前記被走査体に作用する力及びトルクを
算出して、この力及びトルクに基づいた駆動指令を生成
して前記浮上手段を駆動制御する駆動制御手段とを備え
て浮上支持装置を構成したものである。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、浮上手段を駆動する駆動指
令は、変位検出手段で検出した変位量に基づいて算出し
た被走査体の重心の位置及び重心回りの回転角度より力
及びトルクが求められて、この力及びトルクに基づいて
生成されることにより、被走査体の複数箇所の関連した
浮上支持を可能とする。従って、被走査体の安定した高
精度な浮上支持が容易に可能となり、その設計を含む取
扱いの簡略化が促進される。
令は、変位検出手段で検出した変位量に基づいて算出し
た被走査体の重心の位置及び重心回りの回転角度より力
及びトルクが求められて、この力及びトルクに基づいて
生成されることにより、被走査体の複数箇所の関連した
浮上支持を可能とする。従って、被走査体の安定した高
精度な浮上支持が容易に可能となり、その設計を含む取
扱いの簡略化が促進される。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例について、図面を参
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
る浮上支持装置を示すもので、前記走査鏡３が支持され
る被走査体２０は、例えば周知の浮上支持用の第１及び
第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂに遊挿される。この第１
及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂは、所定の間隔を有
して配置され、その磁気力で被走査体２０を走査軸上に
浮上支持する。
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
る浮上支持装置を示すもので、前記走査鏡３が支持され
る被走査体２０は、例えば周知の浮上支持用の第１及び
第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂに遊挿される。この第１
及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂは、所定の間隔を有
して配置され、その磁気力で被走査体２０を走査軸上に
浮上支持する。
【００１２】そして、上記被走査体２０には、非接触型
の第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂが上記第１
及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂに対応して所定の間
隔に対向配置される。この第１及び第２の変位センサ２
２ａ，２２ｂは、それぞれ複数の検出部２２ａ1 及び２
２ａ2 ，２２ｂ1 及び２２ｂ2 を有し、その各出力端が
センサ信号処理部２３入力端にそれぞれ接続されてお
り、各検出部２２ａ1 及び２２ａ2 ，２２ｂ1 及び２２
ｂ2 で被走査体２０との間隔（ギャップ長）の変位を検
出して、その検出信号をセンサ信号処理部２３にそれぞ
れ出力する。このセンサ信号処理部２３は、その第１の
出力端に位置制御処理部２４が接続され、その第２の出
力端に回転制御処理部２５が接続される。センサ信号処
理部２３は、入力した検出信号に基づいて被走査体２０
の重心の位置（走査軸と略直交する方向の位置）及び重
心回りの回転角度を算出して、その位置信号を位置制御
処理部２４に出力し、その回転角度信号を回転制御処理
部２５に出力する。
の第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂが上記第１
及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂに対応して所定の間
隔に対向配置される。この第１及び第２の変位センサ２
２ａ，２２ｂは、それぞれ複数の検出部２２ａ1 及び２
２ａ2 ，２２ｂ1 及び２２ｂ2 を有し、その各出力端が
センサ信号処理部２３入力端にそれぞれ接続されてお
り、各検出部２２ａ1 及び２２ａ2 ，２２ｂ1 及び２２
ｂ2 で被走査体２０との間隔（ギャップ長）の変位を検
出して、その検出信号をセンサ信号処理部２３にそれぞ
れ出力する。このセンサ信号処理部２３は、その第１の
出力端に位置制御処理部２４が接続され、その第２の出
力端に回転制御処理部２５が接続される。センサ信号処
理部２３は、入力した検出信号に基づいて被走査体２０
の重心の位置（走査軸と略直交する方向の位置）及び重
心回りの回転角度を算出して、その位置信号を位置制御
処理部２４に出力し、その回転角度信号を回転制御処理
部２５に出力する。
【００１３】上記位置制御処理部２４は、その出力端に
演算処理部２６の一方の入力端が接続され、入力した位
置信号に基づいて力指令値を算出して演算処理部２６に
出力する。また、回転制御処理部２５は、その出力端に
上記演算処理部２６の他方の入力端が接続され、入力し
た回転角度信号に基づいてトルク指令値を算出して演算
処理部２６に出力する。演算処理部２６は、第１及び第
２の駆動部２７，２８が接続され、入力した力指令値及
びトルク指令値に基づいて駆動指令を生成し、図示しな
い重心位置測定手段からの上記被走査体の重心位置情報
に基づいて第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂに対
応する第１及び第２の駆動指令に分配して、第１及び第
２の駆動部２７，２８に出力する。第１及び第２の駆動
部２７，２８は、その出力端が上記第１及び第２の磁気
軸受２１ａ，２１ｂにそれぞれ接続され、入力した第１
及び第２の駆動指令に応じた駆動電流をそれぞれ発生し
て、第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂをそれぞれ
駆動制御し、被走査体２０を所望の位置に浮上支持す
る。
演算処理部２６の一方の入力端が接続され、入力した位
置信号に基づいて力指令値を算出して演算処理部２６に
出力する。また、回転制御処理部２５は、その出力端に
上記演算処理部２６の他方の入力端が接続され、入力し
た回転角度信号に基づいてトルク指令値を算出して演算
処理部２６に出力する。演算処理部２６は、第１及び第
２の駆動部２７，２８が接続され、入力した力指令値及
びトルク指令値に基づいて駆動指令を生成し、図示しな
い重心位置測定手段からの上記被走査体の重心位置情報
に基づいて第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂに対
応する第１及び第２の駆動指令に分配して、第１及び第
２の駆動部２７，２８に出力する。第１及び第２の駆動
部２７，２８は、その出力端が上記第１及び第２の磁気
軸受２１ａ，２１ｂにそれぞれ接続され、入力した第１
及び第２の駆動指令に応じた駆動電流をそれぞれ発生し
て、第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂをそれぞれ
駆動制御し、被走査体２０を所望の位置に浮上支持す
る。
【００１４】上記構成において、第１及び第２の磁気軸
受２１ａ，２１ｂが駆動されて被走査体２０が浮上支持
されると、第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂの
各検出部２２ａ1 及び２２ａ2 ，２２ｂ1 及び２２ｂ2
は、被走査体２０とのギャップ長を検出して、その検出
信号をセンサ信号処理部２３に出力する。センサ信号処
理部２３は、入力した検出信号に基づいて重心の位置及
び重心回りの回転角度を算出し、その重心の位置信号を
位置制御処理部２４に出力する。位置制御処理部部２４
は、入力した位置信号に基づいて力指令値を算出して演
算処理部２６に出力する。
受２１ａ，２１ｂが駆動されて被走査体２０が浮上支持
されると、第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂの
各検出部２２ａ1 及び２２ａ2 ，２２ｂ1 及び２２ｂ2
は、被走査体２０とのギャップ長を検出して、その検出
信号をセンサ信号処理部２３に出力する。センサ信号処
理部２３は、入力した検出信号に基づいて重心の位置及
び重心回りの回転角度を算出し、その重心の位置信号を
位置制御処理部２４に出力する。位置制御処理部部２４
は、入力した位置信号に基づいて力指令値を算出して演
算処理部２６に出力する。
【００１５】同時に、センサ信号処理部２３は、重心回
りの回転角度信号を回転制御処理部２５に出力する。回
転制御処理部２５は、入力した回転角度信号に基づいて
トルク指令値を算出して上記演算処理部２６に出力す
る。演算処理部２６は、入力した力指令値及びトルク指
令値に基づいて駆動指令を生成し、この駆動指令値を上
記被走査体２０の重心位置情報に基づいて第１及び第２
の磁気軸受２１ａ，２１ｂに対応する第１及び第２の駆
動指令に分配して、第１及び第２の駆動部２７，２８に
出力する。第１及び第２の駆動部２７，２８は、入力し
た第１及び第２の駆動指令に基づいて駆動電流をそれぞ
れ発生して、第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂを
それぞれ駆動制御し、被走査体２０を所望の位置に浮上
支持する。
りの回転角度信号を回転制御処理部２５に出力する。回
転制御処理部２５は、入力した回転角度信号に基づいて
トルク指令値を算出して上記演算処理部２６に出力す
る。演算処理部２６は、入力した力指令値及びトルク指
令値に基づいて駆動指令を生成し、この駆動指令値を上
記被走査体２０の重心位置情報に基づいて第１及び第２
の磁気軸受２１ａ，２１ｂに対応する第１及び第２の駆
動指令に分配して、第１及び第２の駆動部２７，２８に
出力する。第１及び第２の駆動部２７，２８は、入力し
た第１及び第２の駆動指令に基づいて駆動電流をそれぞ
れ発生して、第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂを
それぞれ駆動制御し、被走査体２０を所望の位置に浮上
支持する。
【００１６】この際、図示しない被走査体走査機構が作
動され、被走査体２０は、走査方向に走査駆動される。
このように、上記浮上支持装置は、被走査体２０の２位
置における変位量を第１及び第２の変位センサ２２ａ，
２２ｂで検出して、該被走査体２０の重心の位置及び重
心回りの回転角度を算出し、この重心の位置及び重心回
りの回転角度に基づいて被走査体２０に作用する力及び
トルクを求めて、この力及びトルクに基づいた駆動指令
を生成して第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂを駆
動制御して被走査体２０を浮上支持するように構成し
た。
動され、被走査体２０は、走査方向に走査駆動される。
このように、上記浮上支持装置は、被走査体２０の２位
置における変位量を第１及び第２の変位センサ２２ａ，
２２ｂで検出して、該被走査体２０の重心の位置及び重
心回りの回転角度を算出し、この重心の位置及び重心回
りの回転角度に基づいて被走査体２０に作用する力及び
トルクを求めて、この力及びトルクに基づいた駆動指令
を生成して第１及び第２の磁気軸受２１ａ，２１ｂを駆
動制御して被走査体２０を浮上支持するように構成し
た。
【００１７】これによれば、第１及び第２の磁気軸受２
１ａ，２１ｂを駆動する駆動指令を、被走査体２０の変
位量に基づいて算出した重心の位置及び重心回りの回転
角度を求めて、力及びトルクを求め、この力及びトルク
に基づいて生成していることにより、被走査体２０の２
位置の関連した浮上支持が可能となり、従来に比して被
走査体２０の安定した高精度な浮上支持が実現されると
共に、その設計を含む取扱いの簡略化が図れる。
１ａ，２１ｂを駆動する駆動指令を、被走査体２０の変
位量に基づいて算出した重心の位置及び重心回りの回転
角度を求めて、力及びトルクを求め、この力及びトルク
に基づいて生成していることにより、被走査体２０の２
位置の関連した浮上支持が可能となり、従来に比して被
走査体２０の安定した高精度な浮上支持が実現されると
共に、その設計を含む取扱いの簡略化が図れる。
【００１８】なお、上記実施例では、第１及び第２の磁
気軸受２１ａ，２１ｂを用いて被走査体２０の２位置を
浮上支持するように構成した場合で説明したが、これに
限ることなく、２位置以上の複数位置において浮上支持
するように構成することも可能である。
気軸受２１ａ，２１ｂを用いて被走査体２０の２位置を
浮上支持するように構成した場合で説明したが、これに
限ることなく、２位置以上の複数位置において浮上支持
するように構成することも可能である。
【００１９】また、上記実施例では、磁気軸受を用いて
被走査体を磁気浮上支持するように構成した場合で説明
したが、この磁気軸受を用いないで、浮上支持する構造
のものにおいても適用可能である。
被走査体を磁気浮上支持するように構成した場合で説明
したが、この磁気軸受を用いないで、浮上支持する構造
のものにおいても適用可能である。
【００２０】さらに、上記実施例では、走査鏡３が配設
される走査自在な被走査体２０を浮上支持するように構
成した場合で説明したが、これに限ることなく、その
他、外部からの防振を行う防振体を浮上支持する浮上支
持構造等の各種の浮上体を浮上支持する場合において適
用可能で、略同様の効果が期待される。よって、この発
明は、上記実施例に限ることなく、その他、この発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることは
勿論である。
される走査自在な被走査体２０を浮上支持するように構
成した場合で説明したが、これに限ることなく、その
他、外部からの防振を行う防振体を浮上支持する浮上支
持構造等の各種の浮上体を浮上支持する場合において適
用可能で、略同様の効果が期待される。よって、この発
明は、上記実施例に限ることなく、その他、この発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることは
勿論である。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、構成簡易にして、安定した高精度な浮上支持を実現
し得、且つ、設計を含む取扱いの簡略化を図り得るよう
にした浮上支持装置を提供することができる。
ば、構成簡易にして、安定した高精度な浮上支持を実現
し得、且つ、設計を含む取扱いの簡略化を図り得るよう
にした浮上支持装置を提供することができる。
【図１】この発明の一実施例に係る直線走査駆動装置を
示した図。
示した図。
【図２】この発明の適用されるシステムの概要を説明す
るために示した図。
るために示した図。
【図３】従来の浮上支持装置を示した図。
１…ビームスプリッタ。 ２…固定鏡。 ３…走査鏡。 ４…光検出器。 ５…演算部。 ２０…被走査体。 ２１ａ，２１ｂ…第１及び第２の磁気軸受。 ２２ａ，２２ｂ…変位センサ。 ２２ａ1 ，２２ａ2 ，２２ｂ1 ，２２ｂ2 …検出部。 ２３…センサ信号処理部。 ２４…位置制御処理部。 ２５…回転制御処理部。 ２６…演算処理部。 ２７，２８…第１及び第２の駆動部。
Claims (2)
- 【請求項１】 浮上体の複数箇所を浮上支持する浮上手
段と、 この浮上手段に支持された前記浮上体の複数箇所の変位
を検出する変位検出手段と、 この変位検出手段で検出した前記浮上体の複数箇所の各
変位量に基づいて前記浮上体の重心の位置及び重心回り
の回転角度を算出する処理手段と、 この処理手段で求めた前記重心の位置及び重心回りの回
転角度に基づいて前記浮上体に作用する力及びトルクを
算出して、この力及びトルクに基づいた駆動指令を生成
して前記浮上手段を駆動制御する駆動制御手段とを具備
した浮上支持装置。 - 【請求項２】 前記浮上手段は、前記浮上体の走査軸方
向の複数箇所に配置される複数の磁気軸受で構成されて
なることを特徴とする請求項１記載の浮上支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22317393A JPH0777241A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 浮上支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22317393A JPH0777241A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 浮上支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777241A true JPH0777241A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16793952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22317393A Pending JPH0777241A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 浮上支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777241A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023149593A (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-13 | ダイキン工業株式会社 | 駆動システム、ターボ圧縮機、冷凍装置 |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP22317393A patent/JPH0777241A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023149593A (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-13 | ダイキン工業株式会社 | 駆動システム、ターボ圧縮機、冷凍装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4882837A (en) | Precision automatic assembly apparatus including face to face magnets and an air core coil therebetween | |
| US5385217A (en) | Vibration eliminating apparatus for elminating vibration of an installation floor | |
| JP2539906B2 (ja) | 磁気式防振装置 | |
| WO1999027540A1 (fr) | Dispositif de positionnement d'une plaquette | |
| US4290316A (en) | Free-rotor gas-bearing gyroscope having electromagnetic rotor restraint and acceleration output signal | |
| KR100473924B1 (ko) | 반도체 제조장치에 있어서의 ｘｙ테이블 | |
| JP3680226B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH0777241A (ja) | 浮上支持装置 | |
| EP0378678B1 (en) | Electromagnetic bearings | |
| JP3543701B2 (ja) | ２次元位置決め装置 | |
| EP1701050A1 (en) | Power amplification device and magnetic bearing | |
| JPS6360636B2 (ja) | ||
| JPH07139546A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPS6032581A (ja) | 磁気浮上案内 | |
| JP2951488B2 (ja) | 除振装置 | |
| JPH11160150A (ja) | 変位検出装置 | |
| JP2566997B2 (ja) | 非接触位置決め装置 | |
| JPH04256867A (ja) | 三軸加速度検出装置 | |
| JP3434603B2 (ja) | 直線動磁気支持装置 | |
| JPH087050B2 (ja) | 回転体の位置検出装置 | |
| JPS58119782A (ja) | 磁気浮上案内機構 | |
| JP3183913B2 (ja) | 直線動支持装置 | |
| WO2003027520A1 (en) | Passive and active magnetic bearing by using the lorentz force | |
| JPH11207559A (ja) | リニアステージ装置 | |
| JP2003121573A (ja) | ステージユニット及びｘ−ｙステージ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030930 |