JPH0771907A - 着脱式測定装置における信号伝達装置 - Google Patents
着脱式測定装置における信号伝達装置Info
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- JPH0771907A JPH0771907A JP15033093A JP15033093A JPH0771907A JP H0771907 A JPH0771907 A JP H0771907A JP 15033093 A JP15033093 A JP 15033093A JP 15033093 A JP15033093 A JP 15033093A JP H0771907 A JPH0771907 A JP H0771907A
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- JP
- Japan
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- signal
- measurement
- coil
- power
- primary coil
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- Pending
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- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］測定ヘッドから主軸側への信号伝達を確実に行
うことができ、また、装置の構成を簡単にする。 ［構成］電源手段５１から一次コイル５０には常時電力
信号が出力されている。この電力信号は一次コイル５０
から二次コイル３４に電磁誘導によって伝達され、２次
コイル３４に接続された周波数信号変換手段３２および
測定信号出力手段３１に電力が供給される。一方、測定
子によって検出された被測定物の径は測定値出力手段３
１によって測定信号として出力され、この出力された測
定信号は、周波数信号変換手段３２により測定値に応じ
た周波数信号に変換され、信号合成手段３５にて測定値
に応じた周波数信号が前記二次コイル３４に印加され電
力信号に測定信号が合成される。そして、この測定信号
が二次コイル３４から一次コイル５０を介して主軸側に
伝達され、信号分離手段５２によって測定信号が電力信
号と分離されることで、測定ヘッドから主軸側に測定信
号が伝達される。
うことができ、また、装置の構成を簡単にする。 ［構成］電源手段５１から一次コイル５０には常時電力
信号が出力されている。この電力信号は一次コイル５０
から二次コイル３４に電磁誘導によって伝達され、２次
コイル３４に接続された周波数信号変換手段３２および
測定信号出力手段３１に電力が供給される。一方、測定
子によって検出された被測定物の径は測定値出力手段３
１によって測定信号として出力され、この出力された測
定信号は、周波数信号変換手段３２により測定値に応じ
た周波数信号に変換され、信号合成手段３５にて測定値
に応じた周波数信号が前記二次コイル３４に印加され電
力信号に測定信号が合成される。そして、この測定信号
が二次コイル３４から一次コイル５０を介して主軸側に
伝達され、信号分離手段５２によって測定信号が電力信
号と分離されることで、測定ヘッドから主軸側に測定信
号が伝達される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物に当接する測
定子を備えた測定ヘッドと、この測定ヘッドを挿着する
主軸を備えた着脱式測定装置の測定信号を測定ヘッドか
ら主軸側へ伝達する信号伝達装置に関する。
定子を備えた測定ヘッドと、この測定ヘッドを挿着する
主軸を備えた着脱式測定装置の測定信号を測定ヘッドか
ら主軸側へ伝達する信号伝達装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、測定子を備えた測定ヘッドと、こ
の測定ヘッドを着脱可能に把持した主軸側とを有するよ
うな着脱式測定装置においては、測定信号を測定ヘッド
から主軸側に伝達し、表示装置等に測定値を表示させて
いた。係る装置においては、測定信号を測定ヘッドから
主軸側に伝達するために、１次コイルと２次コイルをそ
れぞれ測定ヘッドと主軸側に設け、電磁誘導にて行って
いた。また、測定ヘッドにて測定信号を出力させるため
には、増幅回路を使用し、実際に測定された信号を増幅
してコイルに出力する必要がある。
の測定ヘッドを着脱可能に把持した主軸側とを有するよ
うな着脱式測定装置においては、測定信号を測定ヘッド
から主軸側に伝達し、表示装置等に測定値を表示させて
いた。係る装置においては、測定信号を測定ヘッドから
主軸側に伝達するために、１次コイルと２次コイルをそ
れぞれ測定ヘッドと主軸側に設け、電磁誘導にて行って
いた。また、測定ヘッドにて測定信号を出力させるため
には、増幅回路を使用し、実際に測定された信号を増幅
してコイルに出力する必要がある。
【０００３】このため、増幅回路を駆動するための電力
が必要になるが、従来はこの増幅回路を駆動するための
電力についても、別のコイルを使用して電磁誘導にて主
軸側から測定ヘッドに供給する構成をとっていた。
が必要になるが、従来はこの増幅回路を駆動するための
電力についても、別のコイルを使用して電磁誘導にて主
軸側から測定ヘッドに供給する構成をとっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、電磁誘
導にて測定信号を測定ヘッドから主軸側に伝達するため
または、主軸側から測定ヘッドに電力を供給するために
は、１次コイルと２次コイルを対向した位置に配置する
必要があった。しかしながら、測定信号を伝達するため
のコイルと電力供給用のコイルをそれぞれ設けた場合、
その配置スペースを確保するために測定ヘッドが大型化
してしまう問題があった。しかも、この２組のコイルに
ついて主軸側のコイルとの結合度を良好にすることは非
常に困難であった。
導にて測定信号を測定ヘッドから主軸側に伝達するため
または、主軸側から測定ヘッドに電力を供給するために
は、１次コイルと２次コイルを対向した位置に配置する
必要があった。しかしながら、測定信号を伝達するため
のコイルと電力供給用のコイルをそれぞれ設けた場合、
その配置スペースを確保するために測定ヘッドが大型化
してしまう問題があった。しかも、この２組のコイルに
ついて主軸側のコイルとの結合度を良好にすることは非
常に困難であった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述した問題を
解決するためになされたもので、測定ヘッドには、前記
測定子の変位を検出して測定信号を出力する測定値出力
手段と、この測定値出力手段から出力された測定信号を
測定値に応じた周波数信号に変換する周波数信号変換手
段と、この周波数信号変換手段および測定値出力手段に
電力を供給するために接続された二次コイルと、この二
次コイルの電力信号に周波数信号に変換された測定信号
を合成する信号合成手段を備え、前記主軸側には前記二
次コイルに対向した一次コイルと、この一次コイルに電
力を供給する電源手段と、前記一次コイルに接続され前
記電力信号から測定信号を分離する信号分離手段とを備
えたものである。
解決するためになされたもので、測定ヘッドには、前記
測定子の変位を検出して測定信号を出力する測定値出力
手段と、この測定値出力手段から出力された測定信号を
測定値に応じた周波数信号に変換する周波数信号変換手
段と、この周波数信号変換手段および測定値出力手段に
電力を供給するために接続された二次コイルと、この二
次コイルの電力信号に周波数信号に変換された測定信号
を合成する信号合成手段を備え、前記主軸側には前記二
次コイルに対向した一次コイルと、この一次コイルに電
力を供給する電源手段と、前記一次コイルに接続され前
記電力信号から測定信号を分離する信号分離手段とを備
えたものである。
【０００６】
【作用】上述のような構成において、電源手段から一次
コイルには常時電力信号が出力されている。この電力信
号は一次コイルから二次コイルに電磁誘導によって伝達
され、２次コイルに接続された周波数信号変換手段およ
び測定値出力手段に電力が供給される。
コイルには常時電力信号が出力されている。この電力信
号は一次コイルから二次コイルに電磁誘導によって伝達
され、２次コイルに接続された周波数信号変換手段およ
び測定値出力手段に電力が供給される。
【０００７】一方、測定子によって検出された被測定物
の径は測定値出力手段によって測定信号として出力さ
れ、この出力された測定信号は、周波数信号変換手段に
より測定値に応じた周波数信号に変換され、信号合成手
段にて測定値に応じた周波数信号が前記二次コイルに印
加され電力信号に測定信号が合成される。そして、この
測定信号が二次コイルから一次コイルを介して主軸側に
伝達され、信号分離手段によって測定信号が電力信号と
分離されることで、測定ヘッドから主軸側に測定信号が
伝達される。
の径は測定値出力手段によって測定信号として出力さ
れ、この出力された測定信号は、周波数信号変換手段に
より測定値に応じた周波数信号に変換され、信号合成手
段にて測定値に応じた周波数信号が前記二次コイルに印
加され電力信号に測定信号が合成される。そして、この
測定信号が二次コイルから一次コイルを介して主軸側に
伝達され、信号分離手段によって測定信号が電力信号と
分離されることで、測定ヘッドから主軸側に測定信号が
伝達される。
【０００８】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。第１図において、１０は自動工具交換装置を備えた
工作機械の主軸頭、１１はこの主軸頭１０に軸受１２に
て回転可能に軸承された主軸、この主軸１１の中心に貫
通穴１３が穿設され、この貫通穴１３の一端には工具Ｔ
を着脱可能に受入れる工具受口１４が形成されている。
る。第１図において、１０は自動工具交換装置を備えた
工作機械の主軸頭、１１はこの主軸頭１０に軸受１２に
て回転可能に軸承された主軸、この主軸１１の中心に貫
通穴１３が穿設され、この貫通穴１３の一端には工具Ｔ
を着脱可能に受入れる工具受口１４が形成されている。
【０００９】前記貫通穴１３にはクランプバー１５が挿
通され、このクランプバー１５の一端には工具Ｔの端部
に突設されたプルスタッド１６と係合する係合部１５ａ
が設けられ、他端には前記プルスタッド１６と係合部１
５ａとのクランプ、アンクランプを行う図略の工具着脱
機構が設けられている。前記主軸１１の先端には、工具
Ｔとの位相合わせを行うキー１７が設けられ、工具Ｔに
は、このキー１７と係合する係合溝１８が形成されてい
る。また、工具Ｔは先端に測定部１９を有しており、こ
の測定部１９は前記プルスタッド１６と一体的に構成さ
れた工具ホルダ２０に弾性部材２１を介して揺動自在に
取付けられている。
通され、このクランプバー１５の一端には工具Ｔの端部
に突設されたプルスタッド１６と係合する係合部１５ａ
が設けられ、他端には前記プルスタッド１６と係合部１
５ａとのクランプ、アンクランプを行う図略の工具着脱
機構が設けられている。前記主軸１１の先端には、工具
Ｔとの位相合わせを行うキー１７が設けられ、工具Ｔに
は、このキー１７と係合する係合溝１８が形成されてい
る。また、工具Ｔは先端に測定部１９を有しており、こ
の測定部１９は前記プルスタッド１６と一体的に構成さ
れた工具ホルダ２０に弾性部材２１を介して揺動自在に
取付けられている。
【００１０】この測定部１９の先端円周面には一対の測
定子１９ａが設けられており、この測定子１９ａが工作
物Ｗの穴の内周面に当接することで、穴径が検出され
る。一方、工具Ｔの側方には測定子１９ａにて検出され
た測定値を処理する第１処理装置２２が取付けられ、こ
の第１処理装置２２と対向する位置には第２処理装置２
３が主軸頭１０に取付けられている。
定子１９ａが設けられており、この測定子１９ａが工作
物Ｗの穴の内周面に当接することで、穴径が検出され
る。一方、工具Ｔの側方には測定子１９ａにて検出され
た測定値を処理する第１処理装置２２が取付けられ、こ
の第１処理装置２２と対向する位置には第２処理装置２
３が主軸頭１０に取付けられている。
【００１１】この第１処理装置２２は図２に示すよう
に、測定子１９ａに動きに連動する差動コイル３０と、
この差動コイル３０の動きを移動量に応じた電圧信号に
変換する測定値出力装置３１と、この移動量に応じた電
圧信号を周波数変換するＶ／Ｆ変換回路３２と、このＶ
／Ｆ変換回路３２および測定値出力回路３１に直流電圧
を印加する直流電源３３と、この直流電源３３に交流信
号にて電力を供給する二次コイル３４および、この二次
コイル３４を流れる交流信号に周波数変換された測定信
号を合成する信号合成回路３５とで構成されている。
に、測定子１９ａに動きに連動する差動コイル３０と、
この差動コイル３０の動きを移動量に応じた電圧信号に
変換する測定値出力装置３１と、この移動量に応じた電
圧信号を周波数変換するＶ／Ｆ変換回路３２と、このＶ
／Ｆ変換回路３２および測定値出力回路３１に直流電圧
を印加する直流電源３３と、この直流電源３３に交流信
号にて電力を供給する二次コイル３４および、この二次
コイル３４を流れる交流信号に周波数変換された測定信
号を合成する信号合成回路３５とで構成されている。
【００１２】差動コイル３０は図３に示すようにコアＣ
Ｒとその変位に応じて各々のインピーダンスが増減する
直列接続された一対のコイルＣＬ１，ＣＬ２とから構成
される。この差動コイル３０のコイルＣＬ１の一端に
は、図３に示すように、正弦波を発生させ印加する正弦
波発振回路４０が接続されている。また、コイルＣＬ２
の一端には、正弦波発振回路４０にて発生された正弦波
を位相反転させ印加する位相反転回路４１が接続されて
いる。そして、一対のコイルＣＬ１，ＣＬ２の接続点に
は差動増幅回路４２が接続され、その差動増幅回路４２
の後段には、交流成分から成る差動増幅回路４２の出力
信号を同期整流する同期整流回路４３と、その整流され
た出力信号を平滑化する平滑回路４４と、その平滑化さ
れた出力信号に零点調整電圧を加算する調整電圧加算回
路４５とが接続されている。
Ｒとその変位に応じて各々のインピーダンスが増減する
直列接続された一対のコイルＣＬ１，ＣＬ２とから構成
される。この差動コイル３０のコイルＣＬ１の一端に
は、図３に示すように、正弦波を発生させ印加する正弦
波発振回路４０が接続されている。また、コイルＣＬ２
の一端には、正弦波発振回路４０にて発生された正弦波
を位相反転させ印加する位相反転回路４１が接続されて
いる。そして、一対のコイルＣＬ１，ＣＬ２の接続点に
は差動増幅回路４２が接続され、その差動増幅回路４２
の後段には、交流成分から成る差動増幅回路４２の出力
信号を同期整流する同期整流回路４３と、その整流され
た出力信号を平滑化する平滑回路４４と、その平滑化さ
れた出力信号に零点調整電圧を加算する調整電圧加算回
路４５とが接続されている。
【００１３】この正弦波発振回路４０と位相反転回路４
１と差動増幅回路４２と同期整流回路４３と平滑化回路
４４および調整電圧加算回路４５にて測定値出力装置３
１を構成している。一方、第１処理装置２２に対向して
配置された第２処理装置２３は、図２に示すように、二
次コイル３４に対向する位置に一次コイル５０が配置さ
れており、この一次コイル５０には交流電力を供給する
交流電源５１と、この一次コイル５０に伝送される測定
値信号を電源波形と分離する波形分離回路５２および、
この波形分離回路５２に接続され周波数に応じた電圧波
形を出力するＦ／Ｖ変換回路５３にて構成されている。
１と差動増幅回路４２と同期整流回路４３と平滑化回路
４４および調整電圧加算回路４５にて測定値出力装置３
１を構成している。一方、第１処理装置２２に対向して
配置された第２処理装置２３は、図２に示すように、二
次コイル３４に対向する位置に一次コイル５０が配置さ
れており、この一次コイル５０には交流電力を供給する
交流電源５１と、この一次コイル５０に伝送される測定
値信号を電源波形と分離する波形分離回路５２および、
この波形分離回路５２に接続され周波数に応じた電圧波
形を出力するＦ／Ｖ変換回路５３にて構成されている。
【００１４】以上のような構成にて測定時の第１処理装
置２２および第２処理装置２３の動作について説明す
る。交流電源５１から出力された交流信号は、一次コイ
ル５２に供給され、この一次コイル５２から電磁誘導に
て二次コイル３４に起電力が発生する。このとき、一次
コイル５２と二次コイル３４の巻線比によって二次コイ
ル３４に発生する起電力が変化するが、本実施例では巻
線比は同数として考え、二次コイル３４にて発生する起
電力は、一次コイル５２に供給されたものと同等とす
る。
置２２および第２処理装置２３の動作について説明す
る。交流電源５１から出力された交流信号は、一次コイ
ル５２に供給され、この一次コイル５２から電磁誘導に
て二次コイル３４に起電力が発生する。このとき、一次
コイル５２と二次コイル３４の巻線比によって二次コイ
ル３４に発生する起電力が変化するが、本実施例では巻
線比は同数として考え、二次コイル３４にて発生する起
電力は、一次コイル５２に供給されたものと同等とす
る。
【００１５】そして、この二次コイル３４に接続された
直流電源３３では、この供給された交流信号を直流電力
に変換してＶ／Ｆ変換回路３２および測定値出力回路３
１に電力を供給し、それぞれを駆動する。一方、測定信
号は、コイルＣＬ１のインピーダンスをＺ１、ＣＬ２の
インピーダンスをＺ２とし、コアＣＲが一対のコイルＣ
Ｌ１、ＣＬ２の中間位置にある時、インピーダンスＺ
１、Ｚ２の値は等しく、その値をＺＯとする。
直流電源３３では、この供給された交流信号を直流電力
に変換してＶ／Ｆ変換回路３２および測定値出力回路３
１に電力を供給し、それぞれを駆動する。一方、測定信
号は、コイルＣＬ１のインピーダンスをＺ１、ＣＬ２の
インピーダンスをＺ２とし、コアＣＲが一対のコイルＣ
Ｌ１、ＣＬ２の中間位置にある時、インピーダンスＺ
１、Ｚ２の値は等しく、その値をＺＯとする。
【００１６】正弦波発振回路４０からの出力ＥｍＳｉｎ
ωｔは一方のコイルＣＬ１に電圧Ｅｔとして印加され
る。また、正弦波発振回路４０からの出力ＥｍＳｉｎω
ｔは、位相反転回路４１により−ＥｍＳｉｎωｔとな
り、他方のコイルＣＬ２に電圧Ｅ２として印加される。
ここで、コアＣＲが一対のコイルＣＬ１、ＣＬ２の中間
位置から移動され、インピーダンスＺ１がＺ０−ΔＺ、
インピーダンスＺ２がＺ０＋ΔＺになると、出力電圧Ｅ
Ｃは、 ＥＣ＝〔（Ｚ０＋ΔＺ）／｛（Ｚ０−ΔＺ）＋（Ｚ０＋
ΔＺ）｝〕・２ＥｍＳｉｎωｔ−ＥｍＳｉｎωｔ ＝（ΔＺ／Ｚ０）ＥｍＳｉｎωｔ となる。
ωｔは一方のコイルＣＬ１に電圧Ｅｔとして印加され
る。また、正弦波発振回路４０からの出力ＥｍＳｉｎω
ｔは、位相反転回路４１により−ＥｍＳｉｎωｔとな
り、他方のコイルＣＬ２に電圧Ｅ２として印加される。
ここで、コアＣＲが一対のコイルＣＬ１、ＣＬ２の中間
位置から移動され、インピーダンスＺ１がＺ０−ΔＺ、
インピーダンスＺ２がＺ０＋ΔＺになると、出力電圧Ｅ
Ｃは、 ＥＣ＝〔（Ｚ０＋ΔＺ）／｛（Ｚ０−ΔＺ）＋（Ｚ０＋
ΔＺ）｝〕・２ＥｍＳｉｎωｔ−ＥｍＳｉｎωｔ ＝（ΔＺ／Ｚ０）ＥｍＳｉｎωｔ となる。
【００１７】そして、この出力信号ＥＣを差動増幅回路
４２にて増幅した後、同期整流回路にて同期整流し、平
滑回路４４にて平滑化して調整電圧加算回路４５にて零
点調整電圧を加算すれば、コアＣＲが一対のコイルＣＬ
１、ＣＬ２の中間位置にある時の変位を零として、この
中間位置を基準とした変位に比例した直流電圧が得られ
る。
４２にて増幅した後、同期整流回路にて同期整流し、平
滑回路４４にて平滑化して調整電圧加算回路４５にて零
点調整電圧を加算すれば、コアＣＲが一対のコイルＣＬ
１、ＣＬ２の中間位置にある時の変位を零として、この
中間位置を基準とした変位に比例した直流電圧が得られ
る。
【００１８】今、この変位に比例した直流電圧として得
られた測定信号を図４(a) に示すように検出されたとす
ると、Ｖ／Ｆ変換回路３２では、この直流電圧にて与え
られた測定信号を電圧に比例した周波数信号（図４(b))
に変換して信号合成回路３５にて２次コイル３４に供給
され、２次コイル３４での交流波形は、前述した一次コ
イル５２側から与えられた交流信号と合成され図４(c)
に示すような波形が現れる。
られた測定信号を図４(a) に示すように検出されたとす
ると、Ｖ／Ｆ変換回路３２では、この直流電圧にて与え
られた測定信号を電圧に比例した周波数信号（図４(b))
に変換して信号合成回路３５にて２次コイル３４に供給
され、２次コイル３４での交流波形は、前述した一次コ
イル５２側から与えられた交流信号と合成され図４(c)
に示すような波形が現れる。
【００１９】このとき、この二次コイル３４と一次コイ
ルの間では、この合成された測定信号が一次コイル５２
側に誘導され、この一次コイル５２に誘導された測定信
号が、今度は波形分離回路５２によって電源信号から分
離され、Ｆ／Ｖ変換回路５３にて周波数に応じた電圧波
形が出力され、工具Ｔから主軸頭１０に測定信号が伝達
される。
ルの間では、この合成された測定信号が一次コイル５２
側に誘導され、この一次コイル５２に誘導された測定信
号が、今度は波形分離回路５２によって電源信号から分
離され、Ｆ／Ｖ変換回路５３にて周波数に応じた電圧波
形が出力され、工具Ｔから主軸頭１０に測定信号が伝達
される。
【００２０】なお、上記実施例の中では信号合成回路３
５および波形分離回路５２は１次コイル５２と２次コイ
ル３４と同様に電磁誘導によって行うようにしていた
が、これに限られるものでなく、例えば図５に示すよう
にコンデンサを用いてもよい。また、本実施例では、着
脱式測定装置としてマシニングセンタ等の主軸に測定ヘ
ッドを着脱可能に挿着したものを開示したが、これ以外
に３次元測定機等の専用測定機にも使用できるものであ
る。
５および波形分離回路５２は１次コイル５２と２次コイ
ル３４と同様に電磁誘導によって行うようにしていた
が、これに限られるものでなく、例えば図５に示すよう
にコンデンサを用いてもよい。また、本実施例では、着
脱式測定装置としてマシニングセンタ等の主軸に測定ヘ
ッドを着脱可能に挿着したものを開示したが、これ以外
に３次元測定機等の専用測定機にも使用できるものであ
る。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明は、測定ヘッドに測
定信号を測定値に応じた周波数信号に変換する周波数信
号変換手段と、電力を供給するために接続された二次コ
イルと、この二次コイルの電力信号に周波数信号に変換
された測定信号を合成する信号合成手段を備え、主軸側
には二次コイルに対向した一次コイルと、一次コイルに
接続され前記電力信号から測定信号を分離する信号分離
手段とを備えたので、測定信号を伝達するためのコイル
と測定ヘッドに電力を供給するためのコイルをそれぞれ
設ける必要がないため、コイルの結合度を容易に高める
ことができ、測定ヘッドから主軸側への信号伝達を確実
に行うことができる。また、一組のコイルにて測定信号
と電力の授受が行えるので、装置の構成を簡単にするこ
とができる。
定信号を測定値に応じた周波数信号に変換する周波数信
号変換手段と、電力を供給するために接続された二次コ
イルと、この二次コイルの電力信号に周波数信号に変換
された測定信号を合成する信号合成手段を備え、主軸側
には二次コイルに対向した一次コイルと、一次コイルに
接続され前記電力信号から測定信号を分離する信号分離
手段とを備えたので、測定信号を伝達するためのコイル
と測定ヘッドに電力を供給するためのコイルをそれぞれ
設ける必要がないため、コイルの結合度を容易に高める
ことができ、測定ヘッドから主軸側への信号伝達を確実
に行うことができる。また、一組のコイルにて測定信号
と電力の授受が行えるので、装置の構成を簡単にするこ
とができる。
【図１】本発明に係わる工作機械の主軸部分の断面図で
ある。
ある。
【図２】第１処理装置および第２処理装置のブロック図
である。
である。
【図３】測定値出力装置の詳細ブロック図である。
【図４】伝達される信号の波形を示した図である。
１０ 主軸頭 １１ 主軸 １９ 測定部 １９ａ 測定子 ３０ 差動コイル ３１ 測定値出力装置（測定値出力手段） ３２ Ｖ／Ｆ変換回路（周波数信号変換手段） ３３ 直流電源 ３４ 二次コイル ３５ 信号合成回路（信号合成手段） ５０ 一次コイル ５１ 交流電源（電源手段） ５２ 信号分離回路（信号分離手段） ５３ Ｆ／Ｖ変換回路
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物に当接する測定子を備えた測定
ヘッドと、この測定ヘッドを着脱可能に挿着する主軸を
備えた着脱式測定装置において、前記測定ヘッドには、
前記測定子の変位を検出して測定信号を出力する測定値
出力手段と、この測定値出力手段から出力された測定信
号を測定値に応じた周波数信号に変換する周波数信号変
換手段と、この周波数信号変換手段および測定値出力手
段に接続された二次コイルと、この二次コイルの電力信
号に周波数信号に変換された測定信号を合成する信号合
成手段を備え、前記主軸側には前記二次コイルに対向し
た一次コイルと、この一次コイルに電力を供給する電源
手段と、前記一次コイルに接続され前記電力信号から測
定信号を分離する信号分離手段とを備えたことを特徴と
する着脱式測定装置における信号伝達装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15033093A JPH0771907A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 着脱式測定装置における信号伝達装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15033093A JPH0771907A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 着脱式測定装置における信号伝達装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0771907A true JPH0771907A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=15494659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15033093A Pending JPH0771907A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 着脱式測定装置における信号伝達装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0771907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6848315B2 (en) | 2001-02-14 | 2005-02-01 | Mitutoyo Corporation | Vibration detecting system of resilient body and vibrating contact detection probe |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP15033093A patent/JPH0771907A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6848315B2 (en) | 2001-02-14 | 2005-02-01 | Mitutoyo Corporation | Vibration detecting system of resilient body and vibrating contact detection probe |
| DE10206146B4 (de) * | 2001-02-14 | 2021-07-08 | Mitutoyo Corporation | Vibrationsnachweissystem eines elastischen Körpers und Vibrationskontakt-Nachweissonde |
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