JPH076910U - 水平型薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 上部磁気コアを形成する磁性膜がデコボコし
て磁束が漏れたり、ヘッド表面が部分的に段差を生じ
て、媒体に対する空気流れが乱れるのを解消する。 【構成】 磁性基板１１と上部磁性膜１２の間に絶縁層
を介して励磁用の導体コイル１３ａ，１４ａを配置し、
この上部磁性膜１２の中央に磁気ギャップ１５を有する
水平型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記各導体コイル１３
ａ，１４ａを四角のスパイラル形コイルから構成する。
そして、このコイル両端の引出し線１３ａ₁ ，１４ａ₁
を同一方向から引出して、その一方の引き出し線１３ａ
₁ の部分とは反対側の領域にダミーパターン部１６を形
成する。これにより、ダミーパターニング部１６によっ
てコイル両端のうち一方の引き出し線領域に相当する部
分の段差を吸収できるので、そのコイル面が平坦にな
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は磁気印写装置や磁気記録装置などに用いられる水平型の薄膜磁気ヘッ ドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

磁気印写装置用の磁気ヘッドは、一般的に磁気ディスクなどの磁気記録装置に 用いられている磁気ヘッドが使用でき、モノリシック（バルク）タイプと薄膜タ イプがあるが、マルチチャネル化や高精細記録化，高速化の点で薄膜タイプのも のが優れている。この薄膜磁気ヘッドは、例えば下部磁気コアとなる磁性基板上 に、薄膜形成技術により励磁用導体コイルとこのコイルの一部を横切って覆う上 部磁気コアを形成し、この上部磁気コアと磁性基板との接合面端部を磁気ギャッ プとするものであり、記録に寄与するヘッド磁界が急峻で、高精細の記録ができ 、しかもインダクタンスが小さいため高速化がはかれる等の優れた特長を有して いる。

【０００３】 ところで、このような薄膜磁気ヘッドを磁気印写装置に組み込む場合、薄膜磁 気ヘッドはその磁気ドラムの回転により所定のスペーシングで浮上させるために スライダに実装されている。この場合、薄膜磁気ヘッドはスライダの浮上面と異 なる側面に装着されていて、上下の磁気コアが磁気ドラムに対し垂直に配置され ており、垂直型と呼ばれている。

【０００４】 しかしながら、垂直型の薄膜磁気ヘッドをスライダに装着した浮上スライダは 、磁気ヘッドの製造に際し上下の磁気コア間隔を広く取りにくいため、後部の磁 束がギャップ先端に達する前にコア間で漏れてしまい、磁気効率が低下したり、 あるいはヘッド製造時に磁極を所定のギャップ深さにまで機械的に研磨する必要 があるため薄膜磁気ヘッドの小型化，高精度化に限界がある。これは、薄膜磁気 ヘッドを多数個並設するマルチチャネル化を阻害する要因となっていた。

【０００５】 他方、マルチチャネル化を容易とする構造として、通常の垂直型薄膜磁気ヘッ ドに代えて水平型の薄膜磁気ヘッドを用い、この水平型薄膜磁気ヘッドを側レー ルの間に面実装するスライダが考えられる。その構造を説明する前に理解を容易 にするために磁気印写装置の概要を図２を参照して説明する。

【０００６】 磁気印写装置は、図２に示すように、磁気ドラム１を高速に回転させるととも に、そのドラム回転により後述する浮上スライダ２を浮上させながらこのスライ ダ２を磁気ドラム１の軸方向へ走査することにより、その浮上スライダ２に装着 した水平型薄膜磁気ヘッドによって磁気ドラム１上に印写情報の磁気潜像を形成 し、これを磁性体トナーで現像したうえ記録紙に転写するものとなっている。

【０００７】 ただし、図２は磁気ドラム１の回転により浮上スライダ２が浮上した状態を示 すものであり、矢印ａは磁気ドラム１の回転方向、ｂはこのドラム１と浮上スラ イダ２の最小すきま、３はバネステム、４はバネ、５は浮上スライダ２を支える ための支持棒を示す。この場合、浮上スライダ２は磁気ドラム１の回転による浮 上力とバネ４の負荷によって所定のスペーシング量だけ浮上するように構成され ていて、このスライダ２は支持棒５に沿って紙面に垂直方向に走査するものとな っている。なお、図２に図示していないが、浮上スライダ２の最小すきま位置ｂ に後述する水平型薄膜磁気ヘッドが設置されている。

【０００８】 図３は前記浮上スライダの一例を示す原理説明図である。この浮上スライダ２ は、図３に示すように、磁気ドラム１（図２参照）に対する面に正の浮上力を発 生させるために２つの側レール２ｂが形成された双胴型のスライダ部２ａと、こ のスライダ部２ａの側レール２ｂ間の中央部分に装着された複数個の水平型薄膜 磁気ヘッド１０（１０₁ 〜１０ｎ）からなる磁気ヘッド部９を備える。そして、 この磁気ヘッド部９の長さをＬ₀ とし、そのヘッド部９と磁気ドラムとの最小す きま位置８の磁気ヘッド部９の流体の流出端からの距離をＬ₀₁としたとき、Ｌ₀₁ ／Ｌ₀ ＞０．５の領域においてヘッド部９の浮上力が零もしくは零に近い浮上力 にするように構成されている。

【０００９】 この場合、水平型薄膜磁気ヘッド１０は、その基本構造を図４に示すように、 例えば下部磁気コア１１となる磁性基板上に、薄膜プロセスにより一対の励磁用 導体コイル１３，１４とこれらコイルの一部を横切って覆う上部磁気コア１２が 形成され、この上部磁気コア１２の中央部分に磁気ギャップ１５が形成された平 面構造を有している。

【００１０】 また、スライダ部２ａの側レール２ｂと磁気ヘッド部９との間は、浮上力が無 視できる深さの溝２ｃが形成されていて、図３中符号８で示す一点鎖線は磁気ド ラム１との最小すきま位置を表し、符号ｃは空気の流れ方向を表す。磁気ヘッド の場合、電磁変換効率をあげるため薄膜磁気ヘッド１０のギャップ位置と最小す きま位置８は一致させてある。なお、図３中符号Ｌ₁ は側レール２ｂの最小すき ま位置８の側レールの流体の流出端からの距離、Ｌは側レール２ｂの長さをそれ ぞれ示す。

【００１１】 このような構造のスライダは、ヘッド面９の最小すきま位置８からヘッドの流 入端までの領域は正の浮上力が、逆にヘッド面９の最小すきま位置８から流出端 までの領域は負の浮上力がかかる。そして、ヘッド面９に対しての実効的な浮上 力はその総和になる。このため、Ｌ₀₁／Ｌ₀ を調整することにより実効的にヘッ ド面の浮上力を零もしくは零に近い状態にできる。したがって、薄膜磁気ヘッド １０をもつ側レール２ｂにはさまれたヘッド面９の浮上力を実効的に側レールの 浮上力に比較して無視できるくらい小さいものとなるため、薄膜磁気ヘッドの多 チャネル化を容易とし、磁気ドラムやヘッドの損傷を軽減し、スライダの傾きの 復元力を低下させることなく安定に浮上スライダを浮上させることができる。

【００１２】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、かかるスライダに装着される従来の水平型薄膜磁気ヘッドにお いては、前述した図４に示すように、導体コイル１３，１４として円形コイルや スパイラル形コイルなどが用いられているが、そのコイル両端の引き出し方によ って上部磁気コア１２を形成する磁性膜がデコボコして磁束が漏れたり、あるい はヘッド表面が部分的に段差を生じて、媒体に対する空気流れを乱す虞れがある などの問題点があった。

【００１３】 本考案は以上の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板上に励磁用 導体コイルの両端を同一方向から引出す際にその一方の引出し線に相当する領域 に生じる段差部分にダミーパターンを施すことにより、上記のような課題を解決 した水平型薄膜磁気ヘッドを提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するために本考案は、磁性基板と上部磁性膜の間に絶縁層を 介して励磁用の導体コイルを配置し、この上部磁性膜の中央に磁気ギャップを有 する水平型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記導体コイルは、前記磁気ギャップを中 心に対称に配置して形成された四角のスパイラル形コイルからなり、そのコイル 両端の引出し線を同一方向から引出す構造とし、前記基板上の前記導体コイルの 引出し線部分とは反対側の領域にその導体コイルと同一面上にダミーパターン部 を形成したことを特徴とする。

【００１５】

【作用】

本考案においては、基板上の導体コイルとして四角のスパイラル形コイルを用 い、このコイル両端の引出し線を同一方向から引出して、そのコイルの引出し線 部分とは反対側の領域にダミーパターン部を形成することにより、このダミーパ ターニング部によって導体コイル両端のうち一方の引出し線領域に相当する部分 の段差を吸収できるので、そのコイル面が平坦になる。

【００１６】

【実施例】

図１は本考案による水平型薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す主要部の拡大平面 図である。 この実施例において、下部磁気コアとなる磁性基板１１上に薄膜形成プロセス により一対の励磁用導体コイル１３，１４とこれらコイルの一部を横切って覆う べく上部磁性膜１２が上部磁気コアとして形成され、この上部磁性膜１２の中央 部分に磁気ギャップ１５が形成された平面構造を有している点は、前述した図４ の従来例のものと同様であるが、各導体コイルとして、磁性基板１１上の前記磁 気ギャップ１５を中心に左右対称に配置して形成された四角のスパイラル形コイ ル１３ａ，１４ａから構成し、これらコイル１３ａ，１４ａの両端の引出し線１ ３ａ₁，１４ａ₁を同一方向から引き出す。

【００１７】 そして、この基板１１上の一方のスパイラル形コイル１３ａの引き出し線１３ ａ₁ の領域と反対側の領域にはそのコイル１３ａと同一面上にダミーパターン部 １６が形成されるとともに、各々のコイル１３ａおよび１４ａの層間接続用スル ーホール１７₁，１７₂と隣接する領域にはそのコイルパターンに相当するダミー パターン部１８₁，１８₂がそれぞれ形成されている。

【００１８】 なお、図１中１９₁，１９₂は下部磁気コアとなる磁性基板１１と上部磁性膜１ ２を磁気的に接続するための開口部（窓領域）であり、２０はヘッドの中心線、 ２１₁，２１₂で示す矢印はコイルの入端，出端側をそれぞれ表す。また、図１に おいて図４と同一または相当のものは同一の符号を示し、各々のダミーパターン 部１６および１８₁，１８₂はコイルパターンとの識別を容易にするために便宜上 斜めのハッチング線を付している。

【００１９】 このように本実施例によると、磁性基板１１上の導体コイルを四角のスパイラ ル形コイル１３ａ，１４ａから構成し、このコイル両端の引出し線１３ａ₁ ，１ ４ａ₁ を同一方向から引出して、その一方の引き出し線１３ａ₁ の部分とは反対 側の領域にダミーパターン部１６を形成するとともに、各コイル１３ａ，１４ａ の層間接続用スルーホール１７₁，１７₂と近接する領域にダミーパターン部１８ ₁ ，１８₂を形成することにより、これらダミーパターニング部によってコイル両 端のうち一方の引き出し線領域に相当する部分の段差およびコイル端部の隙間を 吸収できるので、そのコイル面が平坦になる。そのため、従来のように、コイル 両端の引き出しによって上部磁気コア１２を形成する磁性膜がデコボコして磁束 が漏れたり、あるいはヘッド表面が部分的に段差を生じて、媒体に対する空気流 れを乱すのを解消することができる。

【００２０】 なお、以上では本考案を磁気印写装置に適用した場合について説明したが、本 考案はこの装置に限定されるものではなく、媒体ドラムの回転により薄膜ヘッド を浮上させる各種装置に適用できることは言うまでもない。 また、上記実施例では下部磁気コアとして磁性基板を用いる場合について示し たが、本考案はこれに限定されるものではなく、基板上に下部磁性膜を形成した 磁性基板であっても同様に適用できることは言うまでもない。

【００２１】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、基板上の導体コイルとして四角のスパイ ラル形コイルを用い、このコイル両端の引出し線を同一方向から引出して、その コイルの引出し線部分とは反対側の領域にそれと同一面上にダミーパターン部を 形成することにより、このダミーパターニング部によってコイル両端のうち一方 の引出し線領域に相当する部分の段差を吸収できる。そのため、このコイル面上 の段差がなくなり、ヘッド表面も平坦化されるので、媒体に対する空気流れを乱 すことなく、磁束の漏れの少ない良好な水平型薄膜磁気ヘッドが得られる効果が ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の水平型薄膜磁気ヘッドの一実施例を示
す主要部の拡大平面図である。

【図２】磁気印写装置における磁気ドラムの回転による
スライダの浮上した状態を示す説明図である。

【図３】スライダの一例を示す原理説明図である。

【図４】水平型薄膜ヘッドを説明する概略図であり、
(a) はその平面図、(b) は断面側面図である。

【符号の説明】

１１ 磁性基板（下部磁気コア） １２ 上部磁性膜（上部磁気コア） １３，１４ 導体コイル １３ａ₁，１４ａ₁ コイル端部の引出し線 １５ 磁気ギャップ １６ ダミーパターン部 １７₁，１７₂ 層間接続用スルーホール １８₁，１８₂ ダミーパターン部 １９₁，１９₂ 開口部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性基板と上部磁性膜の間に絶縁層を介
   して励磁用の導体コイルを配置し、この上部磁性膜の中
   央に磁気ギャップを有する水平型薄膜磁気ヘッドにおい
   て、 前記導体コイルは、前記磁気ギャップを中心に対称に配
   置して形成された四角のスパイラル形コイルからなり、
   そのコイル両端の引出し線を同一方向から引出す構造と
   し、前記基板上の前記導体コイルの引出し線部分とは反
   対側の領域にその導体コイルと同一面上にダミーパター
   ン部を形成したことを特徴とする水平型薄膜磁気ヘッ
   ド。