JPH0765925A - Component mounting stage and hot pressure attaching device using stage - Google Patents

Component mounting stage and hot pressure attaching device using stage

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JPH0765925A
JPH0765925A JP22784993A JP22784993A JPH0765925A JP H0765925 A JPH0765925 A JP H0765925A JP 22784993 A JP22784993 A JP 22784993A JP 22784993 A JP22784993 A JP 22784993A JP H0765925 A JPH0765925 A JP H0765925A
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JP
Japan
Prior art keywords
stage
thermocompression bonding
liquid crystal
crystal display
display panel
Prior art date
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Pending
Application number
JP22784993A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Nakajima
英樹 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
Priority to JP22784993A priority Critical patent/JPH0765925A/en
Publication of JPH0765925A publication Critical patent/JPH0765925A/en
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  • Connections Effected By Soldering, Adhesion, Or Permanent Deformation (AREA)

Abstract

PURPOSE:To place a liquid crystal display panel on a hot pressure attaching stage at all times in the intended manner even though the thickness of the lower polarization plate of the panel differs. CONSTITUTION:In such a way movable up and down, an attraction stage 30 is installed in a runoff recess 24 provided on the surface of a stage body 23. When a lower protection film 10 of a liquid crystal panel 6 is placed on the stage 30, a coil spring 29 is elongated by the gravitational force of the panel 6 to cause the stage 30 to sink, and, the undersurface periphery of a lower glass board 7 of the panel 6 contacts the surface of the stage body 23. Therein the stage 30 sinks for an amount corresponding to the total thickness of a lower polarization plate 9 and the film 10. Accordingly the stage position in the vertical direction varies only in compliance with the thickness of the lower polarization plate 9 even though it differs, and therefore, it is possible to place the panel 6 on the stage 21 at all times in the intended manner.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は部品搭載ステージおよ
びそれを用いた熱圧着装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component mounting stage and a thermocompression bonding apparatus using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば液晶表示パネルとTABテープと
いうように、2つの電子部品を互いに接合するとき、熱
圧着装置を用いて接合する方法がある。図3はこのよう
な接合方法で用いられている従来の熱圧着装置を示した
ものである。この熱圧着装置は、熱圧着ステージ1と、
この熱圧着ステージ1の上方に上下動自在に設けられた
熱圧着ヘッド2とを備えている。熱圧着ステージ1は、
上面の所定の個所に逃げ用凹部3が設けられ、この逃げ
用凹部3の底面中央部に吸引用凹部4が設けられ、この
吸引用凹部4が吸引孔5等を介して図示しない真空ポン
プに接続された構造となっている。
2. Description of the Related Art There is a method of joining two electronic components such as a liquid crystal display panel and a TAB tape by using a thermocompression bonding device. FIG. 3 shows a conventional thermocompression bonding apparatus used in such a joining method. This thermocompression bonding apparatus includes a thermocompression bonding stage 1,
A thermocompression bonding head 2 is provided above the thermocompression bonding stage 1 so as to be vertically movable. The thermocompression bonding stage 1
An escape recess 3 is provided at a predetermined position on the upper surface, and a suction recess 4 is provided in the center of the bottom surface of the escape recess 3. The suction recess 4 is provided to a vacuum pump (not shown) via a suction hole 5 or the like. It has a connected structure.

【0003】一方、液晶表示パネル6は、下部ガラス基
板7および上部ガラス基板8を備えている。両ガラス基
板7、8は、図示していないが、シール材を介して互い
に接着され、その間に液晶が封入されている。下部ガラ
ス基板7の下面には下部偏光板9および下部保護フィル
ム10が設けられている。上部ガラス基板8の上面には
上部偏光板11および上部保護フィルム12が設けられ
ている。下部ガラス基板7の一端部は上部ガラス基板8
の一端部から突出され、この突出部分の上面には接続端
子(図示せず)が設けられている。TABテープ13
は、液晶表示パネル6を駆動するためのICチップ(図
示せず)が搭載され、一端部下面に接続端子(図示せ
ず)が設けられた構造となっている。
On the other hand, the liquid crystal display panel 6 includes a lower glass substrate 7 and an upper glass substrate 8. Although not shown, both glass substrates 7 and 8 are adhered to each other via a sealing material, and liquid crystal is sealed between them. A lower polarizing plate 9 and a lower protective film 10 are provided on the lower surface of the lower glass substrate 7. An upper polarizing plate 11 and an upper protective film 12 are provided on the upper surface of the upper glass substrate 8. One end of the lower glass substrate 7 is the upper glass substrate 8
A connection terminal (not shown) is provided on the upper surface of the protruding portion. TAB tape 13
Has a structure in which an IC chip (not shown) for driving the liquid crystal display panel 6 is mounted and a connection terminal (not shown) is provided on the lower surface of one end.

【0004】さて、液晶表示パネル6とTABテープ1
3とを互いに接合する場合には、まず、熱圧着ステージ
1の上面の所定の個所に液晶表示パネル6を位置決めし
て載置する。この場合、熱圧着ステージ1の逃げ用凹部
3の深さは液晶表示パネル6の下部偏光板9と下部保護
フィルム10の合計厚さと同じとなっている。このた
め、下部ガラス基板7の下面周囲が熱圧着ステージ1の
上面に載置され、かつ下部保護フィルム10の下面が逃
げ用凹部3の底面に載置されることなる。次に、真空ポ
ンプの駆動により吸引用凹部4を負圧にすると、液晶表
示パネル6が熱圧着ステージ1に吸着される。
Now, the liquid crystal display panel 6 and the TAB tape 1
In the case of bonding 3 and 3 to each other, first, the liquid crystal display panel 6 is positioned and placed at a predetermined position on the upper surface of the thermocompression bonding stage 1. In this case, the depth of the escape recess 3 of the thermocompression bonding stage 1 is the same as the total thickness of the lower polarizing plate 9 and the lower protective film 10 of the liquid crystal display panel 6. Therefore, the lower surface of the lower glass substrate 7 is placed on the upper surface of the thermocompression bonding stage 1, and the lower surface of the lower protective film 10 is placed on the bottom surface of the escape recess 3. Next, when the vacuum pump is driven to make the suction concave portion 4 a negative pressure, the liquid crystal display panel 6 is adsorbed to the thermocompression bonding stage 1.

【0005】次に、下部ガラス基板7の一端部上面にT
ABテープ13の一端部を位置合わせして載置する。こ
の後、熱圧着ヘッド2を下降させてその下面をTABテ
ープ13の一端部上面に圧接させる。この状態で、熱圧
着ヘッド2に電流が流れることによりその下面が発熱す
ると、この発熱により下部ガラス基板7の一端部とTA
Bテープ13の一端部との間に予め介在された異方導電
性接着剤(図示せず)が溶融し、これにより下部ガラス
基板7の一端部上面にTABテープ13の一端部下面が
接合されるとともに、この部分の相対向する接続端子が
互いに導電接続される。
Next, a T is formed on the upper surface of one end of the lower glass substrate 7.
The one end of the AB tape 13 is aligned and placed. Then, the thermocompression bonding head 2 is lowered to bring its lower surface into pressure contact with the upper surface of one end of the TAB tape 13. In this state, when a current flows through the thermocompression bonding head 2 to generate heat on the lower surface of the thermocompression bonding head 2, this heat generation causes one end portion of the lower glass substrate 7 and the TA
An anisotropic conductive adhesive (not shown) previously interposed between the one end portion of the B tape 13 and the one end portion of the B tape 13 is melted, whereby the one end lower surface of the TAB tape 13 is joined to the one end upper surface of the lower glass substrate 7. In addition, the connection terminals facing each other in this portion are conductively connected to each other.

【0006】ところで、従来のこのような熱圧着装置で
は、熱圧着ステージ1の逃げ用凹部3の深さが液晶表示
パネル6の下部偏光板9と下部保護フィルム10の合計
厚さと同じとなっているので、例えば下部偏光板9の厚
さが異なった場合には、次のような不都合が生じる。ま
ず、下部偏光板9の厚さが厚くなった場合には、図4
(A)に示すように、下部ガラス基板7の下面が熱圧着
ステージ1の上面から浮き上がり、この状態で熱圧着を
行うと、下部ガラス基板7が割れてしまうことがある。
一方、下部偏光板9の厚さが薄くなった場合には、図4
(B)に示すように、下部保護フィルム8の下面が逃げ
用凹部3の底面から浮き上がり、これによって液晶表示
パネル6を吸着して固定することができなくなり、この
結果熱圧着時の振動等によって液晶表示パネル6に位置
ずれが生じ、ひいては導電接続不良が生じてしまうこと
がある。
By the way, in such a conventional thermocompression bonding apparatus, the depth of the relief recess 3 of the thermocompression bonding stage 1 becomes the same as the total thickness of the lower polarizing plate 9 and the lower protective film 10 of the liquid crystal display panel 6. Therefore, if the lower polarizing plate 9 has a different thickness, the following inconvenience occurs. First, when the thickness of the lower polarizing plate 9 becomes thicker, as shown in FIG.
As shown in (A), the lower surface of the lower glass substrate 7 floats up from the upper surface of the thermocompression bonding stage 1, and if thermocompression bonding is performed in this state, the lower glass substrate 7 may break.
On the other hand, when the thickness of the lower polarizing plate 9 becomes thin, as shown in FIG.
As shown in (B), the lower surface of the lower protective film 8 floats up from the bottom surface of the recess 3 for escape, and as a result, the liquid crystal display panel 6 cannot be adsorbed and fixed, resulting in vibration or the like during thermocompression bonding. The liquid crystal display panel 6 may be misaligned, which may result in a defective conductive connection.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の熱
圧着装置では、下部偏光板9の厚さが厚くなった場合に
は、下部ガラス基板7が割れてしまうことがあり、一
方、下部偏光板9の厚さが薄くなった場合には、導電接
続不良が生じてしまうことがあるという問題があった。
なお、下部偏光板9の厚さに応じて逃げ用凹部3の深さ
の異なる複数の熱圧着ステージを用意し、交換して使用
することが考えられるが、この場合、交換作業を必要と
するばかりでなく、使用しない熱圧着ステージを保管し
なければならないという別の問題がある。この発明の目
的は、例えば下面側に下部偏光板を有する液晶表示パネ
ルのように、下面側に突出部を有する部品の下面側突出
部の厚さが異なっても、常に所期の通り載置することの
できる部品搭載ステージおよびそれを用いた熱圧着装置
を提供することにある。
As described above, in the conventional thermocompression bonding apparatus, when the thickness of the lower polarizing plate 9 is increased, the lower glass substrate 7 may be broken, while the lower glass substrate 7 is broken. When the thickness of the polarizing plate 9 becomes thin, there is a problem that a conductive connection failure may occur.
It should be noted that it is conceivable that a plurality of thermocompression bonding stages having different depths of the recessed recesses 3 depending on the thickness of the lower polarizing plate 9 are prepared and used in exchange, but in this case, replacement work is required. Not only that, but there is another problem in that unused thermocompression bonding stages must be stored. An object of the present invention is to mount a component having a protrusion on the lower surface side, such as a liquid crystal display panel having a lower polarization plate on the lower surface side, even if the thickness of the lower surface side protrusion is different. (EN) Provided are a component mounting stage and a thermocompression bonding apparatus using the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の部品搭載
ステージは、上面に逃げ用凹部を有するステージ本体
と、該ステージ本体の逃げ用凹部内に上下動自在に設け
られた吸着ステージとを具備し、下面側に突出部を有す
る部品がその下面側突出部を前記吸着ステージ上に載置
されて前記ステージ本体上に載置されるようにしたもの
である。請求項2記載の熱圧着装置は、請求項1記載の
部品搭載ステージを熱圧着ステージとして用いたもので
ある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a component mounting stage comprising a stage main body having an escape recess on an upper surface thereof and an adsorption stage vertically movable in the escape recess of the stage main body. A component having a projecting portion on the lower surface side is mounted on the stage body by mounting the lower surface projecting portion on the suction stage. According to a second aspect of the thermocompression bonding apparatus, the component mounting stage according to the first aspect is used as a thermocompression bonding stage.

【0009】[0009]

【作用】この発明によれば、ステージ本体上に部品を載
置したとき、吸着ステージの上下方向の位置が部品の下
面側突出部の厚さに応じて変化することにより、部品の
下面側突出部の厚さが異なっても、常に所期の通り載置
することができる。
According to the present invention, when a component is placed on the stage body, the vertical position of the suction stage changes in accordance with the thickness of the lower surface side protrusion of the component, so that the lower surface side protrusion of the component occurs. Even if the thickness of the part is different, it can always be mounted as expected.

【0010】[0010]

【実施例】図1(A)はこの発明の一実施例における熱
圧着装置の要部を示したものである。この熱圧着装置
は、熱圧着ステージ(部品搭載ステージ)21と、この
熱圧着ステージ21の上方に上下動自在に設けられた熱
圧着ヘッド22とを備えている。熱圧着ステージ21は
ステージ本体23を備えている。ステージ本体23は、
上面の所定の個所に逃げ用凹部24が設けられ、この逃
げ用凹部24の底部中央にバカ孔25が設けられ、この
バカ孔25の周囲における逃げ用凹部24の底部の複数
個所に円筒状のガイド部材26が設けられた構造となっ
ている。ガイド部材26にはシャフト27が上下動自在
に挿通されている。シャフト27の下部にはフランジ2
8が設けられている。ステージ本体23の下側における
シャフト27にはコイルバネ29が巻き付けられてい
る。コイルバネ29の上端部はガイド部材26の下面に
固定され、下端部はフランジ28の上面に固定されてい
る。複数のシャフト27の上部には吸着ステージ30が
取り付けられている。これにより、吸着ステージ30は
ステージ本体23の逃げ用凹部24内に上下動自在に設
けられている。吸着ステージ30は、上面中央部に吸引
用凹部31が設けられ、この吸引用凹部31が吸引孔3
2および吸引ホース33を介して図示しない真空ポンプ
に接続された構造となっている。吸引ホース33はステ
ージ本体23のバカ孔25に上下動自在に挿通されてい
る。そして、熱圧着ステージ21上に何も載置されてい
ない状態では、コイルバネ29が吸着ステージ30およ
びシャフト27等の重力によって伸びていることによ
り、吸着ステージ30の上面がステージ本体23の上面
とほぼ同じ位置に位置している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1A shows a main part of a thermocompression bonding apparatus according to an embodiment of the present invention. The thermocompression bonding apparatus includes a thermocompression bonding stage (component mounting stage) 21 and a thermocompression bonding head 22 provided above the thermocompression bonding stage 21 so as to be vertically movable. The thermocompression bonding stage 21 includes a stage body 23. The stage body 23 is
A relief recess 24 is provided at a predetermined position on the upper surface, a fool hole 25 is provided at the center of the bottom of the relief recess 24, and a cylindrical shape is provided at a plurality of bottoms of the relief recess 24 around the fool hole 25. The structure is such that a guide member 26 is provided. A shaft 27 is vertically inserted through the guide member 26. The flange 2 is provided at the bottom of the shaft 27.
8 are provided. A coil spring 29 is wound around the shaft 27 below the stage body 23. The upper end of the coil spring 29 is fixed to the lower surface of the guide member 26, and the lower end is fixed to the upper surface of the flange 28. A suction stage 30 is attached to the upper portions of the plurality of shafts 27. As a result, the suction stage 30 is vertically movable within the escape recess 24 of the stage body 23. The suction stage 30 is provided with a suction concave portion 31 in the center of the upper surface, and the suction concave portion 31 is formed in the suction hole 3.
2 and a suction hose 33 are connected to a vacuum pump (not shown). The suction hose 33 is inserted into the fool hole 25 of the stage body 23 so as to be vertically movable. Then, when nothing is placed on the thermocompression bonding stage 21, the upper surface of the suction stage 30 is almost the same as the upper surface of the stage body 23 because the coil spring 29 extends due to gravity of the suction stage 30 and the shaft 27. Located in the same position.

【0011】次に、この熱圧着装置を用いて、図1
(B)に示すように、液晶表示パネル6とTABテープ
13とを互いに接合する場合について説明する。なお、
液晶表示パネル6およびTABテープ13は、図3に示
す従来例の場合と同一構造であるので、同一の符号を付
してその説明を省略する。
Next, using this thermocompression bonding apparatus, as shown in FIG.
A case where the liquid crystal display panel 6 and the TAB tape 13 are bonded to each other as shown in FIG. In addition,
Since the liquid crystal display panel 6 and the TAB tape 13 have the same structure as in the case of the conventional example shown in FIG. 3, the same reference numerals are given and the description thereof is omitted.

【0012】さて、液晶表示パネル6とTABテープ1
3とを互いに接合する場合には、まず、液晶表示パネル
6の下部保護フィルム10の下面を吸着ステージ30の
上面に位置決めして載置する。すると、コイルバネ29
が液晶表示パネル6の重力によって伸びることにより、
吸着ステージ30およびシャフト27が下降し、これに
伴い液晶表示パネル6も下降し、そして液晶表示パネル
6の下部ガラス基板7の下面周囲がステージ本体23の
上面に当接する。この状態が図1(B)に示す状態であ
る。この状態では、下部ガラス基板7の下面周囲がステ
ージ本体23の上面に載置され、下部偏光板9と下部保
護フィルム10の合計厚さに相当する分だけ吸着ステー
ジ30が下降し、この下降した吸着ステージ30の上面
に下部保護フィルム10が載置されている。したがっ
て、この後、真空ポンプの駆動により吸引用凹部31を
負圧にすると、液晶表示パネル6が吸着ステージ30に
吸着される。
Now, the liquid crystal display panel 6 and the TAB tape 1
When joining 3 and 3 to each other, first, the lower surface of the lower protective film 10 of the liquid crystal display panel 6 is positioned and placed on the upper surface of the suction stage 30. Then, the coil spring 29
Is extended by the gravity of the liquid crystal display panel 6,
The suction stage 30 and the shaft 27 descend, the liquid crystal display panel 6 descends accordingly, and the lower surface periphery of the lower glass substrate 7 of the liquid crystal display panel 6 contacts the upper surface of the stage body 23. This state is the state shown in FIG. In this state, the periphery of the lower surface of the lower glass substrate 7 is placed on the upper surface of the stage body 23, and the adsorption stage 30 descends by an amount corresponding to the total thickness of the lower polarizing plate 9 and the lower protective film 10, and this descends. The lower protective film 10 is placed on the upper surface of the suction stage 30. Therefore, after that, when the suction concave portion 31 is made to have a negative pressure by driving the vacuum pump, the liquid crystal display panel 6 is sucked by the suction stage 30.

【0013】次に、下部ガラス基板7の一端部上面にT
ABテープ13の一端部を位置合わせして載置する。こ
の後、熱圧着ヘッド22を下降させてその下面をTAB
テープ13の一端部上面に圧接させる。この状態で、熱
圧着ヘッド22に電流が流れることによりその下面が発
熱すると、この発熱により下部ガラス基板7の一端部と
TABテープ13の一端部との間に予め介在された異方
導電性接着剤(図示せず)が溶融し、これにより下部ガ
ラス基板7の一端部上面にTABテープ13の一端部下
面が接合されるとともに、この部分の相対向する接続端
子が互いに導電接続される。
Next, T is formed on the upper surface of one end of the lower glass substrate 7.
The one end of the AB tape 13 is aligned and placed. After that, the thermocompression bonding head 22 is lowered and the lower surface thereof is TAB.
The tape 13 is pressed against the upper surface of one end. In this state, when a current flows through the thermocompression bonding head 22 to generate heat on the lower surface of the thermocompression bonding head 22, this heat generation causes an anisotropic conductive adhesive that is previously interposed between one end of the lower glass substrate 7 and one end of the TAB tape 13. The agent (not shown) is melted, whereby the lower surface of one end of the TAB tape 13 is joined to the upper surface of one end of the lower glass substrate 7, and the connecting terminals facing each other in this portion are conductively connected to each other.

【0014】このように、この熱圧着装置では、熱圧着
ステージ21上に液晶表示パネル6を載置すると、下部
ガラス基板7の下面周囲がステージ本体23の上面に載
置され、下部偏光板9と下部保護フィルム10の合計厚
さに相当する分だけ吸着ステージ30が下降し、この下
降した吸着ステージ30の上面に下部保護フィルム10
が載置されることになる。したがって、下部偏光板9と
下部保護フィルム10の合計厚さが異なっても、吸着ス
テージ30の上下方向の位置が下部偏光板9と下部保護
フィルム10の合計厚さに応じて変化するだけであり、
このため熱圧着ステージ21上に液晶表示パネル6を常
に所期の通り載置することができる。
As described above, in this thermocompression bonding apparatus, when the liquid crystal display panel 6 is mounted on the thermocompression bonding stage 21, the lower glass substrate 7 is mounted on the upper surface of the stage body 23 around the lower surface of the lower glass substrate 7, and the lower polarizing plate 9 is placed. The suction stage 30 is lowered by an amount corresponding to the total thickness of the lower protection film 10 and the lower protection film 10.
Will be placed. Therefore, even if the total thickness of the lower polarizing plate 9 and the lower protective film 10 is different, the vertical position of the adsorption stage 30 only changes according to the total thickness of the lower polarizing plate 9 and the lower protective film 10. ,
Therefore, the liquid crystal display panel 6 can always be mounted on the thermocompression bonding stage 21 as expected.

【0015】次に、図2(A)および(B)はこの発明
の他の実施例における熱圧着装置の要部を示したもので
ある。これらの図において、図1(A)および(B)と
同一名称部分には同一の符号を付し、その説明を適宜省
略する。この熱圧着装置では、ステージ本体23の下面
の所定の個所にシリンダ41が設けられ、このシリンダ
41のピストンロッド42が逃げ用凹部24の底部中央
に設けられたバカ孔43に上下動自在に挿通されてい
る。そして、熱圧着ステージ21上に何も載置されてい
ない状態では、図2(A)に示すように、シリンダ41
のピストンロッド42が突出していることにより、ピス
トンロッド42の上部によって吸着ステージ30を押し
上げ、吸着ステージ30の上面がステージ本体23の上
面よりも上方に位置している。
Next, FIGS. 2A and 2B show the essential parts of a thermocompression bonding apparatus according to another embodiment of the present invention. In these figures, parts having the same names as those in FIGS. 1A and 1B are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be appropriately omitted. In this thermocompression bonding apparatus, a cylinder 41 is provided at a predetermined position on the lower surface of the stage main body 23, and a piston rod 42 of this cylinder 41 is vertically movably inserted into a fool hole 43 provided at the center of the bottom of the escape recess 24. Has been done. Then, when nothing is placed on the thermocompression bonding stage 21, as shown in FIG.
The protrusion of the piston rod 42 pushes up the suction stage 30 by the upper portion of the piston rod 42, and the upper surface of the suction stage 30 is located above the upper surface of the stage body 23.

【0016】さて、この熱圧着装置で液晶表示パネル6
とTABテープ13とを互いに接合する場合には、まず
図2(A)に示すように、液晶表示パネル6の下部保護
フィルム10の下面を吸着ステージ30の上面にただ単
に載置する。この状態では、吸着ステージ30の上面が
ステージ本体23の上面よりも上方に位置していること
により、下部ガラス基板7の下面がステージ本体23の
上面よりも上方に位置することになる。そして、この状
態において、図示しない位置決め機構によって液晶表示
パネル6の位置決めを行う。この場合、下部ガラス基板
7の下面周囲がステージ本体23の上面と擦り合うこと
がないので、下部ガラス基板7の下面周囲に傷が付かな
いようにすることができる。また、他の場所で液晶表示
パネル6の位置決めを行う必要がないので、位置決めス
テージを別に設ける必要がなく、装置を簡略化すること
ができ、また動作時間の短縮を図ることもできる。
Now, with this thermocompression bonding apparatus, the liquid crystal display panel 6
When the TAB tape 13 and the TAB tape 13 are bonded to each other, first, as shown in FIG. 2A, the lower surface of the lower protective film 10 of the liquid crystal display panel 6 is simply placed on the upper surface of the suction stage 30. In this state, since the upper surface of the suction stage 30 is located above the upper surface of the stage body 23, the lower surface of the lower glass substrate 7 is located above the upper surface of the stage body 23. Then, in this state, the liquid crystal display panel 6 is positioned by a positioning mechanism (not shown). In this case, since the lower surface periphery of the lower glass substrate 7 does not rub against the upper surface of the stage body 23, it is possible to prevent the lower surface periphery of the lower glass substrate 7 from being scratched. Further, since it is not necessary to position the liquid crystal display panel 6 at another place, it is not necessary to separately provide a positioning stage, the device can be simplified, and the operation time can be shortened.

【0017】次に、真空ポンプの駆動により吸引用凹部
31を負圧にすると、液晶表示パネル6が吸着ステージ
30に吸着される。次に、シリンダ41のピストンロッ
ド42を退入させると、図2(B)に示すように、コイ
ルバネ29が液晶表示パネル6の重力によって伸びるこ
とにより、吸着ステージ30およびシャフト27が下降
し、これに伴い液晶表示パネル6も下降し、そして液晶
表示パネル6の下部ガラス基板7の下面周囲がステージ
本体23の上面に当接する。以下、上述した一実施例の
場合と同様であるので、説明を省略する。
Next, when the vacuum recess is driven to make the suction concave portion 31 have a negative pressure, the liquid crystal display panel 6 is sucked onto the suction stage 30. Next, when the piston rod 42 of the cylinder 41 is retracted, as shown in FIG. 2 (B), the coil spring 29 extends due to the gravity of the liquid crystal display panel 6, and the suction stage 30 and the shaft 27 descend. Along with this, the liquid crystal display panel 6 also descends, and the lower surface periphery of the lower glass substrate 7 of the liquid crystal display panel 6 contacts the upper surface of the stage body 23. The following is the same as in the case of the above-described embodiment, so the description thereof will be omitted.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ステージ本体上に部品を載置したとき、吸着ステー
ジの上下方向の位置が部品の下面側突出部の厚さに応じ
て変化することにより、部品の下面側突出部の厚さが異
なっても、常に所期の通り載置することができる。
As described above, according to the present invention, when a component is placed on the stage body, the vertical position of the suction stage changes according to the thickness of the lower surface side protrusion of the component. Thus, even if the thickness of the lower surface side protruding portion of the component is different, the component can always be mounted as expected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(A)はこの発明の一実施例における熱圧着装
置の要部の断面図、(B)はその熱圧着ステージ上に液
晶表示パネルを載置した状態の断面図。
FIG. 1A is a sectional view of a main part of a thermocompression bonding apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a sectional view showing a state in which a liquid crystal display panel is placed on the thermocompression bonding stage.

【図2】(A)はこの発明の他の実施例における熱圧着
装置の熱圧着ステージ上に液晶表示パネルをただ単に載
置した状態の要部の断面図、(B)は液晶表示パネルを
所期の通り載置した状態の断面図。
FIG. 2A is a sectional view of an essential part of a thermocompression bonding stage of a thermocompression bonding apparatus according to another embodiment of the present invention, in which the liquid crystal display panel is simply placed, and FIG. 2B shows the liquid crystal display panel. Sectional drawing of the state mounted as expected.

【図3】従来の熱圧着装置の一部の断面図。FIG. 3 is a partial sectional view of a conventional thermocompression bonding apparatus.

【図4】(A)および(B)はそれぞれこの従来の熱圧
着装置の問題点を説明するために示す断面図。
4 (A) and 4 (B) are cross-sectional views each illustrating a problem of the conventional thermocompression bonding apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 液晶表示パネル(部品) 21 熱圧着ステージ(部品搭載ステージ) 23 ステージ本体 24 逃げ用凹部 30 吸着ステージ 6 Liquid crystal display panel (component) 21 Thermocompression bonding stage (component mounting stage) 23 Stage body 24 Escape recess 30 Adsorption stage

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上面に逃げ用凹部を有するステージ本体
と、該ステージ本体の逃げ用凹部内に上下動自在に設け
られた吸着ステージとを具備し、 下面側に突出部を有する部品がその下面側突出部を前記
吸着ステージ上に載置されて前記ステージ本体上に載置
されるようにしたことを特徴とする部品搭載ステージ。
1. A stage main body having a relief recess on an upper surface thereof, and a suction stage vertically movable in the relief recess of the stage body, and a component having a protrusion on a lower surface side thereof has a lower surface. A component mounting stage characterized in that a side protrusion is placed on the suction stage and is placed on the stage body.
【請求項2】 請求項1記載の部品搭載ステージを熱圧
着ステージとして用いたことを特徴とする熱圧着装置。
2. A thermocompression bonding apparatus, wherein the component mounting stage according to claim 1 is used as a thermocompression bonding stage.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6665043B1 (en) 1999-08-31 2003-12-16 Sharp Kabushiki Kaisha Bonding method and bonding device of substrates and manufacturing method of a liquid crystal display device
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