JPH0762641B2 - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPH0762641B2 JPH0762641B2 JP9616688A JP9616688A JPH0762641B2 JP H0762641 B2 JPH0762641 B2 JP H0762641B2 JP 9616688 A JP9616688 A JP 9616688A JP 9616688 A JP9616688 A JP 9616688A JP H0762641 B2 JPH0762641 B2 JP H0762641B2
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- pressure
- block
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、差圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。
である。
＜従来の技術＞ 第５図は従来より一般に使用されているオリフイスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。
図において、Ａは測定流体の流れる管路である。
Ｂは管路Ａに設けられたオリフイスである。
ＣはオリフイスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。C1は導管を開閉する元弁であ
る。
付けられた導管である。C1は導管を開閉する元弁であ
る。
Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。D1は三方弁Ｄに
設けられたストップ弁、D2は均圧弁である。
設けられたストップ弁、D2は均圧弁である。
Ｅは、三方弁Ｄに接続された差圧測定装置である。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、この様な装置においては、三方弁Ｄと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要とな
る。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コス
トダウンが図れない。
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要とな
る。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コス
トダウンが図れない。
本発明は、この問題点を解決するものである。
本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
によりコストダウンを図り得る差圧測定装置を提供する
にある。
によりコストダウンを図り得る差圧測定装置を提供する
にある。
＜課題を解決するための手段＞ この目的を達成するために、本発明は、過大圧保護機構
を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通するシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端
が外部に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、該
接続孔の途中にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉するス
トップ弁と、前記２個の接続孔の該ストップ弁と前記受
圧室間の途中を相互に連通する均圧孔と、該均圧孔の途
中に設けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を
構成したものである。
を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通するシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端
が外部に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、該
接続孔の途中にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉するス
トップ弁と、前記２個の接続孔の該ストップ弁と前記受
圧室間の途中を相互に連通する均圧孔と、該均圧孔の途
中に設けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を
構成したものである。
＜作用＞ 以上の構成において、ストップ弁を開放し、均圧弁を閉
とすることにより、本体の左右から、測定圧力が加わ
り、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位す
る。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定
ダイアフラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対
応した電気信号出力が得られる。
とすることにより、本体の左右から、測定圧力が加わ
り、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位す
る。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定
ダイアフラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対
応した電気信号出力が得られる。
装置の両測定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁を開にした後、高圧側のストップ弁を閉に
し、次に、低圧側のストップ弁を閉めてから装置のゼロ
点を調整する 以下、実施例に基づき詳細に説明する。
には、均圧弁を開にした後、高圧側のストップ弁を閉に
し、次に、低圧側のストップ弁を閉めてから装置のゼロ
点を調整する 以下、実施例に基づき詳細に説明する。
＜実施例＞ 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、１は差圧センサ部である。
11は金属よりなるブロック状の本体である。
12は本体11に設けられた内部室である。
13は内部室12を二つの測定室14,15に分け移動電極とし
て機能する測定ダイアフラムである。
て機能する測定ダイアフラムである。
131,132は内部室12の壁面に設けられセラミックスのプ
ラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。この場合は、0.2
〜0.5mmの厚さをなす。
ラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。この場合は、0.2
〜0.5mmの厚さをなす。
133,134は絶縁膜131,132の表面上に、測定ダイアフラム
12に対向して内部室12の壁にそれぞれ設けられた固定電
極である。
12に対向して内部室12の壁にそれぞれ設けられた固定電
極である。
２は差圧センサ部１に一端がそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管である。
導圧する導圧管である。
３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。
である。
31は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック３
と導圧管２と連通するシール室32を構成するシールダイ
アフラムである。
と導圧管２と連通するシール室32を構成するシールダイ
アフラムである。
４は受圧ブロック３が取付けられシールダイアフラム31
と受圧室41を構成する凹部42を有するベースブロックで
ある。
と受圧室41を構成する凹部42を有するベースブロックで
ある。
43,44はベースブロック４に設けられ受圧室41に一端が
連通され他端が外部に受圧接続口として開口する２個の
接続孔である。
連通され他端が外部に受圧接続口として開口する２個の
接続孔である。
５は第３図に示すごとく、接続孔43,44の途中にそれぞ
れ設けられ、接続孔43,44を開閉するストップ弁であ
る。
れ設けられ、接続孔43,44を開閉するストップ弁であ
る。
45は２個の受圧室41を相互に連通する均圧孔である。
６は第４図に示すごとく、均圧孔45の途中に設けられた
均圧弁である。
均圧弁である。
７は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けられたカバーである。71はカバ
ー７に取付けられ、電子部品の取付けられたプリント板
ユニットである。
ースブロック４に取付けられたカバーである。71はカバ
ー７に取付けられ、電子部品の取付けられたプリント板
ユニットである。
101,102は、測定室14,15、導圧管２、シール室32とで構
成される２個の室に封入される封入液である。この場合
はシリコンオイルが用いられている。
成される２個の室に封入される封入液である。この場合
はシリコンオイルが用いられている。
以上の構成において、ストップ弁５を開放し、均圧弁６
を閉とすることにより、本体11の左右から、測定圧力が
加わり、測定ダイアフラム13は測定圧力の差圧によって
変位する。測定ダイアフラム13の変位によって、固定電
極133,134と測定ダイアフラム13との静電容量が差動的
に変化し、差圧に対応した電気信号出力が得られる。
を閉とすることにより、本体11の左右から、測定圧力が
加わり、測定ダイアフラム13は測定圧力の差圧によって
変位する。測定ダイアフラム13の変位によって、固定電
極133,134と測定ダイアフラム13との静電容量が差動的
に変化し、差圧に対応した電気信号出力が得られる。
装置の両測定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁６を開にした後、高圧側のストップ弁５を
閉にし、次に、低圧側のストップ弁５を閉めてから装置
のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付けブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。
には、均圧弁６を開にした後、高圧側のストップ弁５を
閉にし、次に、低圧側のストップ弁５を閉めてから装置
のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付けブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。
（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。
なる。
（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けにく
く測定可能温度範囲の広い装置が得られる。
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けにく
く測定可能温度範囲の広い装置が得られる。
（４）絶縁膜131,132として、セラミックスの溶射膜を
用いれば、極めて薄くできるので、本体11を大きく抉る
必要はなく、本体11の強度を上げることが出来るので、
本体11を小形化出来る。
用いれば、極めて薄くできるので、本体11を大きく抉る
必要はなく、本体11の強度を上げることが出来るので、
本体11を小形化出来る。
なお、前述の実施例においては、ストップ弁５と均圧弁
６とは、マニアル操作のものについて説明したが、電磁
弁等を使用したリモート式の弁でも良いことは勿論であ
る。
６とは、マニアル操作のものについて説明したが、電磁
弁等を使用したリモート式の弁でも良いことは勿論であ
る。
＜発明の効果＞ 以上説明したように、本発明は、過大圧保護機構を具備
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端が
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通す
るシール室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧
ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該ベースブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端が外部
に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、該接続孔
の途中にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉するストップ
弁と、前記２個の接続孔の該ストップ弁と前記受圧室間
の途中を相互に連通する均圧孔と、該均圧孔の途中に設
けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を構成し
た。
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端が
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通す
るシール室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧
ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該ベースブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端が外部
に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、該接続孔
の途中にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉するストップ
弁と、前記２個の接続孔の該ストップ弁と前記受圧室間
の途中を相互に連通する均圧孔と、該均圧孔の途中に設
けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を構成し
た。
この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付けブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。
たので、ボルト、本体フランジ、取付けブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。
（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。
なる。
（３）差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。
従って、本発明によれば、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等によりコストダウンを図り得る差圧測定装置を
実現することができる。
不要化等によりコストダウンを図り得る差圧測定装置を
実現することができる。
第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図，
第３図，第４図は第１図の要部構成説明図、第５図は従
来より一般に使用されている従来例の構成説明図であ
る。 １……差圧センサ部、101,102,……封入液、11……本
体、12……内部室、13……測定ダイアフラム、131,132
……絶縁膜、133,134……固定電極、14,15……測定室、
２……導圧管、３……受圧ブロック、31……シールダイ
アフラム、32……シール室、４……ベースブロック、41
……受圧室、42……凹部、43,44……接続孔、45……均
圧孔、５……ストップ弁、６……均圧弁、７……カバ
ー、プリント板ユニット。
第３図，第４図は第１図の要部構成説明図、第５図は従
来より一般に使用されている従来例の構成説明図であ
る。 １……差圧センサ部、101,102,……封入液、11……本
体、12……内部室、13……測定ダイアフラム、131,132
……絶縁膜、133,134……固定電極、14,15……測定室、
２……導圧管、３……受圧ブロック、31……シールダイ
アフラム、32……シール室、４……ベースブロック、41
……受圧室、42……凹部、43,44……接続孔、45……均
圧孔、５……ストップ弁、６……均圧弁、７……カバ
ー、プリント板ユニット。
Claims (2)
- 【請求項１】過大圧保護機構を具備する差圧センサ部
と、該差圧センサ部に一端がそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管と、該導圧管の他端がそれぞれ固定され
る受圧ブロックと、該受圧ブロックの外側面に設けられ
該受圧ブロックと前記導圧管と連通するシール室を構成
するシールダイアフラムと、前記受圧ブロックが取付け
られ該シールダイアフラムと受圧室を構成する凹部を有
するベースブロックと、該ベースブロックに設けられ前
記受圧室に一端が連通され他端が外部に受圧接続口とし
て開口する２個の接続孔と、該接続孔の途中にそれぞれ
設けられ該接続孔を開閉するストップ弁と、前記２個の
接続孔の該ストップ弁と前記受圧室間の途中を相互に連
通する均圧孔と、該均圧孔の途中に設けられた均圧弁と
を具備してなる差圧測定装置。 - 【請求項２】差圧センサ部として、ブロック状の本体
と、該本体内部に設けられ対向する球面よりなる内部室
と、該内部室を測定圧が導入される２個の測定室に分け
移動電極として機能する測定ダイアフラムと、前記内部
室の壁面に設けられセラミックスのプラズマ溶射膜より
なる絶縁膜と、該絶縁膜の表面上に前記測定ダイアフラ
ムに対向して設けられた固定電極とを具備してなる実用
新案登録請求の範囲第１項記載の差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9616688A JPH0762641B2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9616688A JPH0762641B2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267431A JPH01267431A (ja) | 1989-10-25 |
| JPH0762641B2 true JPH0762641B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=14157751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9616688A Expired - Fee Related JPH0762641B2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0762641B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013535016A (ja) * | 2010-06-28 | 2013-09-09 | テアー・ハイドロニクス・アクチボラグ | 自動的なゼロ点校正及びフラッシングを備えた、差圧センサーのバルブアセンブリ |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0238936A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JPH02196940A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-03 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| KR20180000181U (ko) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 주식회사 한국가스기술공사 | 볼 밸브의 차압식 누설 검사 장치 |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP9616688A patent/JPH0762641B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013535016A (ja) * | 2010-06-28 | 2013-09-09 | テアー・ハイドロニクス・アクチボラグ | 自動的なゼロ点校正及びフラッシングを備えた、差圧センサーのバルブアセンブリ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01267431A (ja) | 1989-10-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |