JPH076065B2 - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPH076065B2 JPH076065B2 JP4384088A JP4384088A JPH076065B2 JP H076065 B2 JPH076065 B2 JP H076065B2 JP 4384088 A JP4384088 A JP 4384088A JP 4384088 A JP4384088 A JP 4384088A JP H076065 B2 JPH076065 B2 JP H076065B2
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- vacuum
- vapor deposition
- chamber
- stage
- vacuum seal
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプラスチックフィルム等の薄膜（蒸着基板）へ
アルミニューム等の金属の蒸着を行う連続真空蒸着装置
に関する。
アルミニューム等の金属の蒸着を行う連続真空蒸着装置
に関する。
従来例を第３図に示す。
フィルム10は外部より入側真空シール部11に搬入され、
徐々に真空度が高くなっていく真空シール室５を通過し
て所定の真空度を有する蒸着室３へ導入される。この蒸
着室３で金属蒸着が施された後、フィルム10は徐々に真
空度が低くなっていく真空シール室５よりなる出側真空
シール部12を経てもとの外部へと搬出されている。１は
ケーシング、２は各真空シール室５を形成するシールロ
ールである。
徐々に真空度が高くなっていく真空シール室５を通過し
て所定の真空度を有する蒸着室３へ導入される。この蒸
着室３で金属蒸着が施された後、フィルム10は徐々に真
空度が低くなっていく真空シール室５よりなる出側真空
シール部12を経てもとの外部へと搬出されている。１は
ケーシング、２は各真空シール室５を形成するシールロ
ールである。
また、４は蒸着室３及び各真空シール室５の真空びきを
行う容積形の真空ポンプであり、蒸着室３や蒸着室３に
近い真空シール室５には、高真空を形成する必要がある
ため、真空ポンプ４が並列あるいは直列に複数連結され
ている。
行う容積形の真空ポンプであり、蒸着室３や蒸着室３に
近い真空シール室５には、高真空を形成する必要がある
ため、真空ポンプ４が並列あるいは直列に複数連結され
ている。
６は冷却器であり、特に、装置内の雰囲気ガスにN2ガス
等の特別なガスが必要とされる場合には、真空ポンプ４
により大気圧程度に排気されるガスを大気圧に近い真空
シール室５へ送り込み、装置内を循環させている。
等の特別なガスが必要とされる場合には、真空ポンプ４
により大気圧程度に排気されるガスを大気圧に近い真空
シール室５へ送り込み、装置内を循環させている。
一般に、往復動又はロータリー式等の容積形の真空ポン
プは吸入容量及び１台当りの圧力比が低いため、隣接す
る高圧側の真空シール室より多分に大量の気体が漏入し
てくる真空シール室や蒸着室を所望の高真空に保つため
には、各真空シール室、蒸着室ごとに非常に多数台の真
空ポンプを並列、直列に組み合せて設置する必要があ
り、広い設置空間を要するばかりか、各真空ポンプ等機
器間を連結する配管も多くなり複雑となってしまう。
又、容量形の真空ポンプを直列で使用する場合には各真
空ポンプの制御が特別に必要となるため、装置全体とし
ての価格が高くなってしまうという経済上のデメリット
もある。
プは吸入容量及び１台当りの圧力比が低いため、隣接す
る高圧側の真空シール室より多分に大量の気体が漏入し
てくる真空シール室や蒸着室を所望の高真空に保つため
には、各真空シール室、蒸着室ごとに非常に多数台の真
空ポンプを並列、直列に組み合せて設置する必要があ
り、広い設置空間を要するばかりか、各真空ポンプ等機
器間を連結する配管も多くなり複雑となってしまう。
又、容量形の真空ポンプを直列で使用する場合には各真
空ポンプの制御が特別に必要となるため、装置全体とし
ての価格が高くなってしまうという経済上のデメリット
もある。
本発明は上記課題を解決するために提案されたもので、
シールロールにより仕切られ漸次真空度が増大する多段
の真空シール室からなる入側真空シール部を介して、蒸
着基板を外部より蒸着室へ導入して蒸着金属の蒸着を行
ったのち、シールロールにより仕切られ漸次真空度が減
少する多段の真空シール室からなる出側真空シール部を
介して、上記蒸着基板を外部へ搬出する連続真空蒸着装
置において、上記多段の真空シール室を真空度の高い側
から順次多段非容積形ポンプの高圧側吸込口へと接続し
てなる真空排気系を具備したことを特徴とするものであ
る。
シールロールにより仕切られ漸次真空度が増大する多段
の真空シール室からなる入側真空シール部を介して、蒸
着基板を外部より蒸着室へ導入して蒸着金属の蒸着を行
ったのち、シールロールにより仕切られ漸次真空度が減
少する多段の真空シール室からなる出側真空シール部を
介して、上記蒸着基板を外部へ搬出する連続真空蒸着装
置において、上記多段の真空シール室を真空度の高い側
から順次多段非容積形ポンプの高圧側吸込口へと接続し
てなる真空排気系を具備したことを特徴とするものであ
る。
このような構成を有する本発明によれば、各真空シール
室は多段非容形ポンプにより真空排気されることになり
機器間の接続が簡素化されることになると同時に、真空
排気系に特別な制御も不要となる。
室は多段非容形ポンプにより真空排気されることになり
機器間の接続が簡素化されることになると同時に、真空
排気系に特別な制御も不要となる。
第１図は本発明の１実施例を示すもので、第４図と同一
部材には同一符号を付し説明は省略する。
部材には同一符号を付し説明は省略する。
図より明らかなように、８は多段ターボポンプであり、
この各段の吸込口は、冷却器６、制御弁７を介して各真
空シール室５と連結しており、かつこの連結関係は、高
真空側の真空シール室５が低圧段側の吸込口と、低真空
側の真空シール室５が高圧段側の吸込口と接続うるよう
になっている。従って、真空シール室５より多段ターボ
ポンプ８のある段の吸込口に流入するガスは、前段、次
段の吸込口から流入したガスといっしょに最終段（最高
圧段＝大気圧程度）に向けて圧縮されることになる。
この各段の吸込口は、冷却器６、制御弁７を介して各真
空シール室５と連結しており、かつこの連結関係は、高
真空側の真空シール室５が低圧段側の吸込口と、低真空
側の真空シール室５が高圧段側の吸込口と接続うるよう
になっている。従って、真空シール室５より多段ターボ
ポンプ８のある段の吸込口に流入するガスは、前段、次
段の吸込口から流入したガスといっしょに最終段（最高
圧段＝大気圧程度）に向けて圧縮されることになる。
なお、蒸着室３に必要とされるような高真空を多段ター
ボポンプ８により実現できない場合には、真空ポンプ４
をその間に介してやればよい。９は電動機である。
ボポンプ８により実現できない場合には、真空ポンプ４
をその間に介してやればよい。９は電動機である。
第２図は多段ターボポンプの構成図を示すもので、図よ
り明らかなように、21はその中心軸を鉛直方向に据付け
られるケーシング、22は流入ガスの通路を形成する仕切
板、23は流入ガスの吸込口、24は羽根車、25はディフュ
ーザ、26はスラストカラー、27はスラスト軸受、32は吐
出口、34はピボット軸受33を下方に押出し羽根車24群の
位置を安定させるバネである。また、第３図は羽根車24
間連結部の拡大図であり、図より明らかなように、38は
羽根車24軸下部に取付けられた電磁軸受回転子36は電磁
軸受回転子38と間隔を置いて仕切板22に取付けられた電
磁軸受固定子であり、羽根車24軸の変位検出器39からの
信号を得て羽根車24軸の軸変位を制御するものである。
35は前段の羽根車24軸と後段の羽根車24軸の軸心を一致
させるとともに、前段の羽根車24の自重と後段の羽根車
24の回転トルクをピン結合により相互に伝えるカップリ
ングである。
り明らかなように、21はその中心軸を鉛直方向に据付け
られるケーシング、22は流入ガスの通路を形成する仕切
板、23は流入ガスの吸込口、24は羽根車、25はディフュ
ーザ、26はスラストカラー、27はスラスト軸受、32は吐
出口、34はピボット軸受33を下方に押出し羽根車24群の
位置を安定させるバネである。また、第３図は羽根車24
間連結部の拡大図であり、図より明らかなように、38は
羽根車24軸下部に取付けられた電磁軸受回転子36は電磁
軸受回転子38と間隔を置いて仕切板22に取付けられた電
磁軸受固定子であり、羽根車24軸の変位検出器39からの
信号を得て羽根車24軸の軸変位を制御するものである。
35は前段の羽根車24軸と後段の羽根車24軸の軸心を一致
させるとともに、前段の羽根車24の自重と後段の羽根車
24の回転トルクをピン結合により相互に伝えるカップリ
ングである。
このように、各羽根車24を独立して軸受けさせ、各羽根
車24軸端を曲げモーメントを伝えないピン結合により連
結することによって、各羽根車24群にほぼ剛体の性質を
呈しせしめ、危険速度を上げることで、より一層の多段
高速化を可能としている。
車24軸端を曲げモーメントを伝えないピン結合により連
結することによって、各羽根車24群にほぼ剛体の性質を
呈しせしめ、危険速度を上げることで、より一層の多段
高速化を可能としている。
なお、このような多段ターボポンプ構造は、一台にて各
真空シール室の真空排気を可能たらしめようとするもの
であって、危険速度の限界により一台では各真空シール
室に所要される真空排気が不能な場合には、複数台の多
段ターボポンプを直列に接続するようにしてやればよい
ことは言うまでもない。
真空シール室の真空排気を可能たらしめようとするもの
であって、危険速度の限界により一台では各真空シール
室に所要される真空排気が不能な場合には、複数台の多
段ターボポンプを直列に接続するようにしてやればよい
ことは言うまでもない。
以上具体的に説明したように、本発明によれば、各真空
シール室の真空排気を多段非容積形ポンプによって行う
ことにより、従来の真空排気系に比べ必要敷地面積が少
なくてすみ、配管が簡素化される上、複雑な制御が不要
となり、コスト低減を図ることができる。
シール室の真空排気を多段非容積形ポンプによって行う
ことにより、従来の真空排気系に比べ必要敷地面積が少
なくてすみ、配管が簡素化される上、複雑な制御が不要
となり、コスト低減を図ることができる。
第１図は本発明の１実施例に係わる連続真空蒸着装置の
構成図、第２図は多段ターボポンプの構成図、第３図は
第２図の各羽根車間詳細図、第４図は従来の連続真空蒸
着装置の構成図である。 ２……シールロール、５……真空シール室、８……多段
ターボポンプ、10……フィルム、11……入側真空シール
部、12……出側真空シール部。
構成図、第２図は多段ターボポンプの構成図、第３図は
第２図の各羽根車間詳細図、第４図は従来の連続真空蒸
着装置の構成図である。 ２……シールロール、５……真空シール室、８……多段
ターボポンプ、10……フィルム、11……入側真空シール
部、12……出側真空シール部。
Claims (1)
- 【請求項１】シールロールにより仕切られ漸次真空度が
増大する多段の真空シール室からなる入側真空シール部
を介して、蒸着基板を外部より蒸着室へ導入して蒸着金
属の蒸着を行ったのち、シールロールにより仕切られ漸
次真空度が減少する多段の真空シール室からなる出側真
空シール部を介して、上記蒸着基板を外部へ搬出する連
続真空蒸着装置において、上記多段の真空シール室を真
空度の高い側から順次多段非容積形ポンプの高圧側吸込
口へと接続してなる真空排気系を具備したことを特徴と
する連続真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4384088A JPH076065B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 連続真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4384088A JPH076065B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219164A JPH01219164A (ja) | 1989-09-01 |
| JPH076065B2 true JPH076065B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=12674944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4384088A Expired - Fee Related JPH076065B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076065B2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4384088A patent/JPH076065B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01219164A (ja) | 1989-09-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |