JPH0755652A - クリーンルーム機器の試験装置 - Google Patents
クリーンルーム機器の試験装置Info
- Publication number
- JPH0755652A JPH0755652A JP19658493A JP19658493A JPH0755652A JP H0755652 A JPH0755652 A JP H0755652A JP 19658493 A JP19658493 A JP 19658493A JP 19658493 A JP19658493 A JP 19658493A JP H0755652 A JPH0755652 A JP H0755652A
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- temperature
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Abstract
(57)【要約】
【目的】作業員，試験員の労力，負担を軽減して試験の
自動化，並びに省人力化が達成できるようにしたサーマ
ルクリーンチャンバーなどを対象とする恒温機能を有す
るクリーンルーム機器の試験装置を提供する。 【構成】サーマルクリーンチャンバーなどのクリーンル
ーム機器を被試験体としてその恒温機能評価を行う試験
装置であって、被試験体１６を収容する可搬式（キャス
タ１１）の試験用サーマルブース９にファンフィルタユ
ニット１２、空調機１３、および試験用ブース，被試験
体に対する試験温度，運転モードの設定、起動／停止、
および温度測定，記録を行うプログラムシーケンサ，温
度記録計を内蔵の自動運転制御盤１４を装備して試験装
置を構成する。そして、試験用サーマルブースを被試験
体（サーマルクリーンチャンバー）の製作現場に移動
し、この位置で被試験体をブースに収容して温度試験を
全自動式に行う。
自動化，並びに省人力化が達成できるようにしたサーマ
ルクリーンチャンバーなどを対象とする恒温機能を有す
るクリーンルーム機器の試験装置を提供する。 【構成】サーマルクリーンチャンバーなどのクリーンル
ーム機器を被試験体としてその恒温機能評価を行う試験
装置であって、被試験体１６を収容する可搬式（キャス
タ１１）の試験用サーマルブース９にファンフィルタユ
ニット１２、空調機１３、および試験用ブース，被試験
体に対する試験温度，運転モードの設定、起動／停止、
および温度測定，記録を行うプログラムシーケンサ，温
度記録計を内蔵の自動運転制御盤１４を装備して試験装
置を構成する。そして、試験用サーマルブースを被試験
体（サーマルクリーンチャンバー）の製作現場に移動
し、この位置で被試験体をブースに収容して温度試験を
全自動式に行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造の分
野に適用する露光装置（ステッパ）を組み込むサーマル
クリーンチャンバーを被試験体として、その恒温機能の
評価を行う試験装置に関する。
野に適用する露光装置（ステッパ）を組み込むサーマル
クリーンチャンバーを被試験体として、その恒温機能の
評価を行う試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、頭記したサーマルクリーンチャン
バーの一般構成を図４に示す。図において、１はその内
部を作業空間として露光装置などの機器２を設置する筐
体構造のチャンバーであり、該チャンバー１にＨＥＰ
Ａ，ＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタ３、冷凍機
４，ヒータ５，送風ファン６を内蔵した空調機７、運転
制御盤８などを装備して構成されている。
バーの一般構成を図４に示す。図において、１はその内
部を作業空間として露光装置などの機器２を設置する筐
体構造のチャンバーであり、該チャンバー１にＨＥＰ
Ａ，ＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタ３、冷凍機
４，ヒータ５，送風ファン６を内蔵した空調機７、運転
制御盤８などを装備して構成されている。
【０００３】かかるサーマルクリーンチャンバーは、ク
リーンルーム内に据え付けて使用されるものであり、特
にＬＳＩなどの露光装置に適用するものでは、作業空間
の清浄度はクラス１０以下、恒温性については周囲温度
条件が変化する中で作業空間の温度変動幅を２０〜２６
±0.０５℃以内に収まるように管理することか要求され
る。
リーンルーム内に据え付けて使用されるものであり、特
にＬＳＩなどの露光装置に適用するものでは、作業空間
の清浄度はクラス１０以下、恒温性については周囲温度
条件が変化する中で作業空間の温度変動幅を２０〜２６
±0.０５℃以内に収まるように管理することか要求され
る。
【０００４】そこで、工場内で組立てたサーマルクリー
ンチャンバーの製品は、出荷前に恒温機能を評価，確認
するために、次記のような方法で温度試験を実施してい
る。すなわち、工場内の建屋に試験用のクリーンルーム
を構築しておき、製作したサーマルクリーンチャンバー
の製品を製造現場から作業員が運搬してクリーンルーム
内に搬入する。次に被試験体のサーマルクリーンチャン
バーを運転しつつ、クリーンルームの室内温度，および
被試験体の恒温温度設定などを含む運転モードを試験員
の指令，操作で様々に変更し、その都度被試験体である
サーマルクリーンチャンバー内のの作業空間の温度変化
を測定，記録し、その試験データから製品の恒温機能を
評価するようにしている。
ンチャンバーの製品は、出荷前に恒温機能を評価，確認
するために、次記のような方法で温度試験を実施してい
る。すなわち、工場内の建屋に試験用のクリーンルーム
を構築しておき、製作したサーマルクリーンチャンバー
の製品を製造現場から作業員が運搬してクリーンルーム
内に搬入する。次に被試験体のサーマルクリーンチャン
バーを運転しつつ、クリーンルームの室内温度，および
被試験体の恒温温度設定などを含む運転モードを試験員
の指令，操作で様々に変更し、その都度被試験体である
サーマルクリーンチャンバー内のの作業空間の温度変化
を測定，記録し、その試験データから製品の恒温機能を
評価するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記した従
来の温度試験方法では次記のような問題点が残る。すな
わち、 （１）大形，重量物である被試験体を製作現場から運搬
して試験用のクリーンルーム内に搬入，据付けるには多
大な労力と時間を要する。
来の温度試験方法では次記のような問題点が残る。すな
わち、 （１）大形，重量物である被試験体を製作現場から運搬
して試験用のクリーンルーム内に搬入，据付けるには多
大な労力と時間を要する。
【０００６】（２）クリーンルーム内で行う試験は、開
始，停止，および運転モードの変更，測定温度の記録な
どを全て試験員のマニュアル操作で行うために、試験中
は作業員が付いていることが不可欠である。しかも、１
台の試験所要時間は約１０時間にも及ぶために、試験員
は深夜作業も強いられることがある。 本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、その
目的は前記課題を解決し、作業員，試験員の労力，負担
を軽減して試験の自動化，並びに省人力化が達成できる
ようにしたサーマルクリーンチャンバーなどを対象とす
る恒温機能を有するクリーンルーム機器の試験装置を提
供することにある。
始，停止，および運転モードの変更，測定温度の記録な
どを全て試験員のマニュアル操作で行うために、試験中
は作業員が付いていることが不可欠である。しかも、１
台の試験所要時間は約１０時間にも及ぶために、試験員
は深夜作業も強いられることがある。 本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、その
目的は前記課題を解決し、作業員，試験員の労力，負担
を軽減して試験の自動化，並びに省人力化が達成できる
ようにしたサーマルクリーンチャンバーなどを対象とす
る恒温機能を有するクリーンルーム機器の試験装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の試験装置は、クリーンルーム機器の被試験
体を収容する可搬式の試験用ブースにファンフィルタユ
ニット，空調機を搭載し、さらに試験用ブース，被試験
体に対する運転モードの設定，起動／停止，および温度
測定，記録を行う自動運転制御盤を付設して構成するも
のとする。
に、本発明の試験装置は、クリーンルーム機器の被試験
体を収容する可搬式の試験用ブースにファンフィルタユ
ニット，空調機を搭載し、さらに試験用ブース，被試験
体に対する運転モードの設定，起動／停止，および温度
測定，記録を行う自動運転制御盤を付設して構成するも
のとする。
【０００８】ここで、前記構成の試験装置において、自
動運転制御盤は電源盤，プログラムシーケンサ，および
温度記録計を備えており、また、試験用ブースは底部に
移動用のキャスタを装備し、かつブースの周面を帯電防
止ビニール製のカーテンで覆って構成することができ
る。
動運転制御盤は電源盤，プログラムシーケンサ，および
温度記録計を備えており、また、試験用ブースは底部に
移動用のキャスタを装備し、かつブースの周面を帯電防
止ビニール製のカーテンで覆って構成することができ
る。
【０００９】
【作用】前記構成の試験装置は工場内に保管されてお
り、工場で組立てたクリーンルーム機器の試験を行う場
合には、試験用ブースを被試験体の製作現場まで移動
し、この位置で被試験体を試験用ブース内に収容する。
また、試験員は試験用ブースに装備した自動運転制御盤
でプログラムシーケンサに試験温度，運転モードなどを
入力（プログラミング）した上で試験装置に起動指令を
与える。
り、工場で組立てたクリーンルーム機器の試験を行う場
合には、試験用ブースを被試験体の製作現場まで移動
し、この位置で被試験体を試験用ブース内に収容する。
また、試験員は試験用ブースに装備した自動運転制御盤
でプログラムシーケンサに試験温度，運転モードなどを
入力（プログラミング）した上で試験装置に起動指令を
与える。
【００１０】これにより、プログラムシーケンサがプロ
グラム内容を次々に実行し、被試験体を収容した試験用
ブースの内部を清浄化するとともに、空調機の運転制御
によりその空間温度を時間経過とともに順次変化させ、
同時に被試験体についても恒温温度設定を時間経過とと
に様々に変更しながら試験用ブース，被試験体に対する
温度変化の推移を自動的に記録する。そして、所定の試
験時間が経過すると自動的に試験用ブース，被試験体の
運転を停止する。
グラム内容を次々に実行し、被試験体を収容した試験用
ブースの内部を清浄化するとともに、空調機の運転制御
によりその空間温度を時間経過とともに順次変化させ、
同時に被試験体についても恒温温度設定を時間経過とと
に様々に変更しながら試験用ブース，被試験体に対する
温度変化の推移を自動的に記録する。そして、所定の試
験時間が経過すると自動的に試験用ブース，被試験体の
運転を停止する。
【００１１】つまり、重量物である被試験体のクリーン
ルーム機器は製作現場に置いたまま軽量で移動し易い可
搬式の試験用ブースを製作現場に搬入して被試験体を収
容することができ、かつこの位置で試験用ブースに装備
した自動運転制御盤に起動指令を与えれば、あらかじめ
設定した運転モードにしたがって必要な試験項目を全て
自動的に遂行できる。
ルーム機器は製作現場に置いたまま軽量で移動し易い可
搬式の試験用ブースを製作現場に搬入して被試験体を収
容することができ、かつこの位置で試験用ブースに装備
した自動運転制御盤に起動指令を与えれば、あらかじめ
設定した運転モードにしたがって必要な試験項目を全て
自動的に遂行できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。まず、図１において、９は周囲を帯電防止ビニー
ルのカーテン１０で覆い、底部四隅にキャスタ１１を取
付けてなる可搬式の試験用サーマルブースであり、該ブ
ース９の天井にはファンフィルタユニット１２を装備
し、後部には空調機１３，および自動運転制御盤１４を
搭載している。ここで、空調機１３は冷凍機１３ａ，ヒ
ータ１３ｂを内蔵して前記ファンフィルタユニット１２
に導風管１５を介して接続されており、かつ吸込側には
外気導入口１３ｃ，およびブース内と連通する吸込口１
３ｄが開口している。そして、図４に示したサーマルク
リーンチャンバーを被試験体として試験を行う際には、
前記した試験用サーマルブース９をサーマルクリーンチ
ャンバーの製作現場まで運び込み、ブース内に被試験体
１６を収容する。
する。まず、図１において、９は周囲を帯電防止ビニー
ルのカーテン１０で覆い、底部四隅にキャスタ１１を取
付けてなる可搬式の試験用サーマルブースであり、該ブ
ース９の天井にはファンフィルタユニット１２を装備
し、後部には空調機１３，および自動運転制御盤１４を
搭載している。ここで、空調機１３は冷凍機１３ａ，ヒ
ータ１３ｂを内蔵して前記ファンフィルタユニット１２
に導風管１５を介して接続されており、かつ吸込側には
外気導入口１３ｃ，およびブース内と連通する吸込口１
３ｄが開口している。そして、図４に示したサーマルク
リーンチャンバーを被試験体として試験を行う際には、
前記した試験用サーマルブース９をサーマルクリーンチ
ャンバーの製作現場まで運び込み、ブース内に被試験体
１６を収容する。
【００１３】また、試験用サーマルブース９に装備した
前記の自動運転制御盤１４は、図２で示すように電源盤
１７，プログラムシーケンサ１８，温度記録計１９など
を備えている。なお、２０ａ，２０ｂは試験用ブース９
の内部空間，被試験体１６の作業空間の温度を検出する
温度センサである。そして、プログラムシーケンサ１８
にはあらかじめ運転モード，温度設定，試験時間など入
力しておき、電源盤１７に起動指令を与えると、プログ
ラムシーケンサ１８はプログラムの内容を次々に実行し
て試験用サーマルブース９に装備したファンフィルタユ
ニット１２，空調機１３、および被試験体１６を自動的
に運転制御するとともに、その温度変化の推移を温度記
録計１９が記録し、所定の時間が経過すると運転を自動
的に停止して試験を終了する。なお、被試験体（サーマ
ルクリーンチャンバー）の恒温機能は、試験によって得
た温度の記録データを検討して評価する。
前記の自動運転制御盤１４は、図２で示すように電源盤
１７，プログラムシーケンサ１８，温度記録計１９など
を備えている。なお、２０ａ，２０ｂは試験用ブース９
の内部空間，被試験体１６の作業空間の温度を検出する
温度センサである。そして、プログラムシーケンサ１８
にはあらかじめ運転モード，温度設定，試験時間など入
力しておき、電源盤１７に起動指令を与えると、プログ
ラムシーケンサ１８はプログラムの内容を次々に実行し
て試験用サーマルブース９に装備したファンフィルタユ
ニット１２，空調機１３、および被試験体１６を自動的
に運転制御するとともに、その温度変化の推移を温度記
録計１９が記録し、所定の時間が経過すると運転を自動
的に停止して試験を終了する。なお、被試験体（サーマ
ルクリーンチャンバー）の恒温機能は、試験によって得
た温度の記録データを検討して評価する。
【００１４】図３は前記試験を行う運転制御フローチャ
ートの一例を表したものであり、当初に試験員が起動指
令を与えると電源がＯＮとなり、以降はプログラムシー
ケンサがあらかじめ入力されたプログラム内容を実行
し、試験用サーマルブースの設定温度が時間（T1〜T6)
の経過とともに様々な温度に変更されるとともに、同時
に被試験体の恒温設定温度も様々な温度に変更される。
ートの一例を表したものであり、当初に試験員が起動指
令を与えると電源がＯＮとなり、以降はプログラムシー
ケンサがあらかじめ入力されたプログラム内容を実行
し、試験用サーマルブースの設定温度が時間（T1〜T6)
の経過とともに様々な温度に変更されるとともに、同時
に被試験体の恒温設定温度も様々な温度に変更される。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の試験装置に
よれば、次記の効果を奏する。 （１）従来では重量物であるクリーンルーム機器の製品
を製作現場から試験用のクリーンルームまで運搬してい
たのに対し、本発明では軽量な可搬式の試験用ブースを
製作現場に移動し、この位置で清浄空間を確保しながら
試験を行うことができる。これにより、運搬作業に要す
る労力を大幅を軽減できるほか、工場内に試験専用のク
リーンルームを構築する必要がないので省スペースの効
果も得られる。
よれば、次記の効果を奏する。 （１）従来では重量物であるクリーンルーム機器の製品
を製作現場から試験用のクリーンルームまで運搬してい
たのに対し、本発明では軽量な可搬式の試験用ブースを
製作現場に移動し、この位置で清浄空間を確保しながら
試験を行うことができる。これにより、運搬作業に要す
る労力を大幅を軽減できるほか、工場内に試験専用のク
リーンルームを構築する必要がないので省スペースの効
果も得られる。
【００１６】（２）試験は当初に試験員が起動指令を与
えるだけで、あらかじめ入力しておいたプログラムにし
たがって被試験体の温度試験に必要な運転制御，温度記
録を全て自動的に遂行でき、これにより大幅な省人力化
が図れる。 （３）この結果、搬入時間，試験時間，および人的労力
を含めて試験に要するコストを大幅を節約できる
えるだけで、あらかじめ入力しておいたプログラムにし
たがって被試験体の温度試験に必要な運転制御，温度記
録を全て自動的に遂行でき、これにより大幅な省人力化
が図れる。 （３）この結果、搬入時間，試験時間，および人的労力
を含めて試験に要するコストを大幅を節約できる
【図１】本発明の実施例による試験装置の構成図
【図２】図１の運転制御系統図
【図３】試験装置の自動運転制御のフローチャートを表
す図
す図
【図４】被試験体であるサーマルクリーンチャンバーの
一般的な構成図
一般的な構成図
９ 試験用サーマルブース １０ ビニールカーテン １１ キャスタ １２ ファンフィルタユニット １３ 空調機 １４ 自動運転制御盤 １６ 被試験体（サーマルクリーンチャンバー） １７ 電源盤 １８ プログラムシーケンサ １９ 温度記録計 ２０ａ，２０ｂ 温度センサ
Claims (3)
- 【請求項１】サーマルクリーンチャンバーなどの恒温機
能を有するクリーンルーム機器を被試験体としてその恒
温機能評価を行う試験装置であって、被試験体を収容す
る可搬式の試験用ブースにファンフィルタユニット，空
調機を搭載し、さらに試験用ブース，被試験体に対する
試験温度，運転モードの設定、起動／停止、および温度
測定，記録を行う自動運転制御盤を付設して構成したこ
とを特徴とするクリーンルーム機器の試験装置。 - 【請求項２】請求項１記載の試験装置において、自動運
転制御盤が電源盤，プログラムシーケンサ，および温度
記録計を含むものであることを特徴とするクリーンルー
ム機器の試験装置。 - 【請求項３】請求項１記載の試験装置において、試験用
ブースの底部に移動用のキャスタを取付け、かつブース
の周面を帯電防止ビニール製のカーテンで覆ったことを
特徴とするクリーンルーム機器の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19658493A JPH0755652A (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | クリーンルーム機器の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19658493A JPH0755652A (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | クリーンルーム機器の試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755652A true JPH0755652A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16360174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19658493A Pending JPH0755652A (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | クリーンルーム機器の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755652A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6899555B2 (en) | 2003-02-19 | 2005-05-31 | Hosiden Corporation | Card connector |
| US7962305B2 (en) * | 2005-01-18 | 2011-06-14 | Paul Tiegs | Remote witness testing system |
-
1993
- 1993-08-09 JP JP19658493A patent/JPH0755652A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6899555B2 (en) | 2003-02-19 | 2005-05-31 | Hosiden Corporation | Card connector |
| US7962305B2 (en) * | 2005-01-18 | 2011-06-14 | Paul Tiegs | Remote witness testing system |
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