JPH0755045A - 弁アクチュエータ - Google Patents
弁アクチュエータInfo
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- JPH0755045A JPH0755045A JP5218999A JP21899993A JPH0755045A JP H0755045 A JPH0755045 A JP H0755045A JP 5218999 A JP5218999 A JP 5218999A JP 21899993 A JP21899993 A JP 21899993A JP H0755045 A JPH0755045 A JP H0755045A
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- Japan
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- piston
- pressure
- valve
- diameter portion
- chamber
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1225—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston with a plurality of pistons
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弁の操作力軽減を図ると共に、弁アクチュエ
ータの小型化を達成する。 【構成】 加圧チャンバ２４内に圧力流体を供給して第
２のピストン６を移動させると、第１のピストン５も増
圧チャンバ１８及び非圧縮性流体１９を介して付勢手段
１０に抗して移動せしめられ、これによって第１のピス
トン５は弁操作棒８を介して弁を開放する。この場合、
第１のピストン５の受圧面積は、第２のピストン６の小
径部１５の受圧面積よりも大きいので、結局第１のピス
トン５の受圧面には、圧力流体によって加圧される第２
のピストン６の大径部１６の受圧面よりも大きな力が作
用することになる。
ータの小型化を達成する。 【構成】 加圧チャンバ２４内に圧力流体を供給して第
２のピストン６を移動させると、第１のピストン５も増
圧チャンバ１８及び非圧縮性流体１９を介して付勢手段
１０に抗して移動せしめられ、これによって第１のピス
トン５は弁操作棒８を介して弁を開放する。この場合、
第１のピストン５の受圧面積は、第２のピストン６の小
径部１５の受圧面積よりも大きいので、結局第１のピス
トン５の受圧面には、圧力流体によって加圧される第２
のピストン６の大径部１６の受圧面よりも大きな力が作
用することになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高圧気体の流れのコン
トロールに用いられる弁アクチュエータに関する。
トロールに用いられる弁アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体工場、化学工場等で高圧気
体を保存するための弁アクチュエータの需要が高まって
いる。
体を保存するための弁アクチュエータの需要が高まって
いる。
【０００３】一般に、弁アクチュエータとしては手動の
ものが多いが、このものは弁操作に多大な労力を費やし
ていた。
ものが多いが、このものは弁操作に多大な労力を費やし
ていた。
【０００４】この労力軽減のために、圧縮空気を利用し
た弁アクチュエータが提案されている。これは、ハウジ
ング内にピストンを摺動可能とし、ピストンを付勢手段
により付勢し、一方、ピストン底面には、弁を開閉操作
する弁棒が当接しているものである。
た弁アクチュエータが提案されている。これは、ハウジ
ング内にピストンを摺動可能とし、ピストンを付勢手段
により付勢し、一方、ピストン底面には、弁を開閉操作
する弁棒が当接しているものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の圧縮空気を利用した弁アクチュエータにあっては、
高圧気体に漏れを生じさせないように弁を閉位置に保持
させるには、付勢力のかなり高い付勢手段が必要であっ
た。
来の圧縮空気を利用した弁アクチュエータにあっては、
高圧気体に漏れを生じさせないように弁を閉位置に保持
させるには、付勢力のかなり高い付勢手段が必要であっ
た。
【０００６】したがって、高いばね付勢力に打ち勝って
弁を開放するには、高圧の圧力流体をピストン底面に作
用させてピストンを移動させなければならず、このこと
は、弁操作のためにかなり高圧のガスを用意しなければ
ならないことを意味する。またピストンの受圧面積を大
きくして低圧ガスを利用することも考えられるが、アク
チュエータ本体の径が大きくなりスペース的にも使用に
供し得ない。
弁を開放するには、高圧の圧力流体をピストン底面に作
用させてピストンを移動させなければならず、このこと
は、弁操作のためにかなり高圧のガスを用意しなければ
ならないことを意味する。またピストンの受圧面積を大
きくして低圧ガスを利用することも考えられるが、アク
チュエータ本体の径が大きくなりスペース的にも使用に
供し得ない。
【０００７】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑み、弁の操作力軽減を図ると共に、小型の弁
アクチュエータを提供することを目的とする。
問題点に鑑み、弁の操作力軽減を図ると共に、小型の弁
アクチュエータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の弁アクチュエータは、筒状のハウジング内
に、付勢手段により付勢された第１のピストンと、該第
１のピストンに小径部側をもって対向する段付きの第２
のピストンとが備えられていて、第１のピストンには、
弁操作棒が一体的に結合されており、第１のピストンと
段付きの第２のピストンの小径部との間には、非圧縮性
流体で充填された増圧チャンバが設けられており、段付
きの第２のピストンの大径部側には、前記付勢手段に抗
して第１及び第２のピストンを移動させるための加圧チ
ャンバが設けられており、前記増圧チャンバに対する第
１のピストンの受圧面積が第２のピストンの小径部の受
圧面積よりも大きいことを特徴としている。
に、本発明の弁アクチュエータは、筒状のハウジング内
に、付勢手段により付勢された第１のピストンと、該第
１のピストンに小径部側をもって対向する段付きの第２
のピストンとが備えられていて、第１のピストンには、
弁操作棒が一体的に結合されており、第１のピストンと
段付きの第２のピストンの小径部との間には、非圧縮性
流体で充填された増圧チャンバが設けられており、段付
きの第２のピストンの大径部側には、前記付勢手段に抗
して第１及び第２のピストンを移動させるための加圧チ
ャンバが設けられており、前記増圧チャンバに対する第
１のピストンの受圧面積が第２のピストンの小径部の受
圧面積よりも大きいことを特徴としている。
【０００９】
【作用】加圧チャンバ内に圧力流体を供給して第２のピ
ストンを移動させると、第１のピストンも増圧チャンバ
を介して付勢手段に抗して移動せしめられ、これによっ
て第１のピストンは弁操作棒を介して弁を開放する。こ
の場合、増圧チャンバ内の非圧縮性流体の圧力は、パス
カルの原理によりどの位置においても一定であり、そし
て第１のピストンの受圧面積は、第２のピストンの小径
部の受圧面積よりも大きいので、結局第１のピストンの
受圧面には、圧力流体によって加圧される第２のピスト
ンの大径部の受圧面よりも大きな力が作用することにな
る。
ストンを移動させると、第１のピストンも増圧チャンバ
を介して付勢手段に抗して移動せしめられ、これによっ
て第１のピストンは弁操作棒を介して弁を開放する。こ
の場合、増圧チャンバ内の非圧縮性流体の圧力は、パス
カルの原理によりどの位置においても一定であり、そし
て第１のピストンの受圧面積は、第２のピストンの小径
部の受圧面積よりも大きいので、結局第１のピストンの
受圧面には、圧力流体によって加圧される第２のピスト
ンの大径部の受圧面よりも大きな力が作用することにな
る。
【００１０】これにより、付勢手段に抗して第１及び第
２のピストンを移動させるために加圧チャンバに供給す
べき圧力流体の圧力は、比較的小さくて済むので、ピス
トン操作力の軽減が図られると同時にアクチュエータを
小型化できる。
２のピストンを移動させるために加圧チャンバに供給す
べき圧力流体の圧力は、比較的小さくて済むので、ピス
トン操作力の軽減が図られると同時にアクチュエータを
小型化できる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１２】本発明の弁アクチュエータ１は、基本的な
構成要素として、底板２、筒体３及び蓋体４から成るハ
ウジングと、ハウジング内に摺動可能に収容された第１
及び第２のピストン５、６を備えている。
構成要素として、底板２、筒体３及び蓋体４から成るハ
ウジングと、ハウジング内に摺動可能に収容された第１
及び第２のピストン５、６を備えている。
【００１３】第１のピストン５は、弁体７を操作するた
めの弁操作棒８を一体的に有しており、この弁操作棒８
は、第２のピストン６を貫通して、弁ハウジング９内の
弁体７の上端面に当接している。また、第１のピストン
５は、ハウジングの蓋体４との間に縮設された付勢手段
としての圧縮ばね１０によって、弁体７を閉じる方向に
付勢されている。
めの弁操作棒８を一体的に有しており、この弁操作棒８
は、第２のピストン６を貫通して、弁ハウジング９内の
弁体７の上端面に当接している。また、第１のピストン
５は、ハウジングの蓋体４との間に縮設された付勢手段
としての圧縮ばね１０によって、弁体７を閉じる方向に
付勢されている。
【００１４】ハウジングの蓋体４は、例えば、螺合部１
１を介して筒体３に固着することができる。しかしこの
場合には、蓋体４の螺合に際して圧縮ばね１０に不都合
な回動トルクが作用しないように、蓋体４と第１のピス
トン５との間に回り止めピン１２を介装すべきである。
なお、１３は蓋体４内の空間１４を外気に連通するため
の通孔である。
１を介して筒体３に固着することができる。しかしこの
場合には、蓋体４の螺合に際して圧縮ばね１０に不都合
な回動トルクが作用しないように、蓋体４と第１のピス
トン５との間に回り止めピン１２を介装すべきである。
なお、１３は蓋体４内の空間１４を外気に連通するため
の通孔である。
【００１５】第１のピストン５の弁操作棒８によって貫
通される第２のピストン６は、小径部１５と大径部１６
を有する段付きピストンであって、筒体３の縮径部１７
内を摺動する小径部１５をもって第１のピストン５に対
向している。
通される第２のピストン６は、小径部１５と大径部１６
を有する段付きピストンであって、筒体３の縮径部１７
内を摺動する小径部１５をもって第１のピストン５に対
向している。
【００１６】筒体３と第１のピストン５と第２のピスト
ン６の小径部１５とによって包囲された空間は、増圧チ
ャンバ１８を構成していて、非圧縮性流体としてのダイ
クロンオイル１９によって満たされている。この場合、
図面から明らかなように、増圧チャンバ１８に臨む第１
のピストン５の受圧面積は第２のピストン６の小径部１
５の受圧面積よりも大きい。
ン６の小径部１５とによって包囲された空間は、増圧チ
ャンバ１８を構成していて、非圧縮性流体としてのダイ
クロンオイル１９によって満たされている。この場合、
図面から明らかなように、増圧チャンバ１８に臨む第１
のピストン５の受圧面積は第２のピストン６の小径部１
５の受圧面積よりも大きい。
【００１７】なお、ダイクロンオイル１９の充填・排出
及び増圧チャンバ１８の容量調整を容易に行うために、
第１のピストン５には、増圧チャンバ１８と反対側に向
かってハウジングの蓋体４を貫通して延びる小径部２０
が形成されていて、この小径部２０に、複数の通孔４０
を介して増圧チャンバ１８と連通する通路２１と、この
通路２１の出口側のねじ孔２２に螺合する調整密封ねじ
２３が設けられている。
及び増圧チャンバ１８の容量調整を容易に行うために、
第１のピストン５には、増圧チャンバ１８と反対側に向
かってハウジングの蓋体４を貫通して延びる小径部２０
が形成されていて、この小径部２０に、複数の通孔４０
を介して増圧チャンバ１８と連通する通路２１と、この
通路２１の出口側のねじ孔２２に螺合する調整密封ねじ
２３が設けられている。
【００１８】第２のピストン６の大径部１６は、ハウジ
ングの筒体３及び底板２と共働して加圧チャンバ２４を
構成している。この加圧チャンバ２４には、底板２の通
孔２５に接続されたコネクタ部材２６を介して圧縮空気
又は窒素ガス等を導入することができる。
ングの筒体３及び底板２と共働して加圧チャンバ２４を
構成している。この加圧チャンバ２４には、底板２の通
孔２５に接続されたコネクタ部材２６を介して圧縮空気
又は窒素ガス等を導入することができる。
【００１９】更にハウジングの底板２には、カップ状の
案内部材２７が固着されており、この案内部材２７の中
心を弁操作棒８が貫通して外側に突出している。また、
案内部材２７には弁操作棒８を取り囲むように凹部２８
が形成されていて、この凹部２８内に、第２のピストン
６を第１のピストン５へ向けて常時付勢するための比較
的弱い圧縮ばね２９が備えられている。この圧縮ばね２
９によって増圧チャンバ１８は、第２のピストン６を介
して常に大気圧以上に加圧されているので、増圧チャン
バ１８内に外気が侵入する恐れはまったくなくなるとと
もに、増圧チャンバ１８の容積確保機能を有している。
案内部材２７が固着されており、この案内部材２７の中
心を弁操作棒８が貫通して外側に突出している。また、
案内部材２７には弁操作棒８を取り囲むように凹部２８
が形成されていて、この凹部２８内に、第２のピストン
６を第１のピストン５へ向けて常時付勢するための比較
的弱い圧縮ばね２９が備えられている。この圧縮ばね２
９によって増圧チャンバ１８は、第２のピストン６を介
して常に大気圧以上に加圧されているので、増圧チャン
バ１８内に外気が侵入する恐れはまったくなくなるとと
もに、増圧チャンバ１８の容積確保機能を有している。
【００２０】このような構成の弁アクチュエータ１は、
入口通路３０、出口通路３１及び弁室３２を有する弁ハ
ウジング９の弁室開口部３３に任意の方法で結合されて
いる。弁ハウジング９の弁室３２内には、圧縮ばね３４
によって開弁方向に付勢された弁体７が収容されてお
り、そして弁体７の上端面には、前述のように第１のピ
ストン５の弁操作棒８が当接している。
入口通路３０、出口通路３１及び弁室３２を有する弁ハ
ウジング９の弁室開口部３３に任意の方法で結合されて
いる。弁ハウジング９の弁室３２内には、圧縮ばね３４
によって開弁方向に付勢された弁体７が収容されてお
り、そして弁体７の上端面には、前述のように第１のピ
ストン５の弁操作棒８が当接している。
【００２１】以上の構成において、個々の結合部及び摺
動部には、密封を確保するための種種のＯリング（例え
ば３８）が備えられており、弁体７には、弁室３２内に
設けられた弁座３５を密封するための弁座インサート３
６が備えられている。
動部には、密封を確保するための種種のＯリング（例え
ば３８）が備えられており、弁体７には、弁室３２内に
設けられた弁座３５を密封するための弁座インサート３
６が備えられている。
【００２２】なお、第２のピストン６の大径部１６の上
側に位置する空間３７は、通路３９を介して大気と連通
している。
側に位置する空間３７は、通路３９を介して大気と連通
している。
【００２３】次に、作用について説明する。
【００２４】まず、加圧チャンバ２４に圧力流体が供給
されてない場合、第２のピストン６は、常時比較的弱い
圧縮ばね２９によって上方へ付勢されているので、増圧
チャンバ１８内のダイクロンオイル１９の圧力が上昇す
ると、この圧縮ばね２９に抗して第２のピストン６が下
方に移動し、圧力を吸収する。したがって、第１のピス
トン５の微動に伴う増圧チャンバ１８の体積が一定に確
保されるため、第１のピストン５は、ロック現象を起こ
すことなく強力な圧縮ばね１０の付勢力をほぼ完全に弁
操作棒８を介して弁体７に伝達することができ、それゆ
え、弁体７の弁座インサート３６は十分な力で弁座３５
に押し付けられる。こうして、入口通路３０と出口通路
３１は、弁体７によって完全に遮断される。
されてない場合、第２のピストン６は、常時比較的弱い
圧縮ばね２９によって上方へ付勢されているので、増圧
チャンバ１８内のダイクロンオイル１９の圧力が上昇す
ると、この圧縮ばね２９に抗して第２のピストン６が下
方に移動し、圧力を吸収する。したがって、第１のピス
トン５の微動に伴う増圧チャンバ１８の体積が一定に確
保されるため、第１のピストン５は、ロック現象を起こ
すことなく強力な圧縮ばね１０の付勢力をほぼ完全に弁
操作棒８を介して弁体７に伝達することができ、それゆ
え、弁体７の弁座インサート３６は十分な力で弁座３５
に押し付けられる。こうして、入口通路３０と出口通路
３１は、弁体７によって完全に遮断される。
【００２５】次に、加圧チャンバ２４内にコネクタ部材
２６を介して圧力流体を供給すると、圧力流体の圧力が
第２のピストン６の大径部１６に作用するために、第２
のピストン６は上昇して増圧チャンバ１８内のダイクロ
ンオイル１９を小径部１５でもって加圧する。この場
合、第１のピストン５の受圧面積は第２のピストン６の
小径部１５の受圧面積よりも大きいことから、パスカル
の原理により、第２のピストン６から第１のピストン５
へ、増幅された押上力が伝達されることになる。つま
り、第１のピストン５を強力な圧縮ばね１０に抗して押
し上げるのに必要な、加圧チャンバ２４に供給すべき圧
力流体の圧力は、従来よりも小さな値で済むことにな
る。
２６を介して圧力流体を供給すると、圧力流体の圧力が
第２のピストン６の大径部１６に作用するために、第２
のピストン６は上昇して増圧チャンバ１８内のダイクロ
ンオイル１９を小径部１５でもって加圧する。この場
合、第１のピストン５の受圧面積は第２のピストン６の
小径部１５の受圧面積よりも大きいことから、パスカル
の原理により、第２のピストン６から第１のピストン５
へ、増幅された押上力が伝達されることになる。つま
り、第１のピストン５を強力な圧縮ばね１０に抗して押
し上げるのに必要な、加圧チャンバ２４に供給すべき圧
力流体の圧力は、従来よりも小さな値で済むことにな
る。
【００２６】第１のピストン５が弁操作棒８を伴って上
昇すると、弁体７も圧縮ばね３４の付勢力によって上昇
し、こうして弁座インサート３６が弁座３５から離され
ると、入口通路３０と出口通路３１が接続される。
昇すると、弁体７も圧縮ばね３４の付勢力によって上昇
し、こうして弁座インサート３６が弁座３５から離され
ると、入口通路３０と出口通路３１が接続される。
【００２７】弁体７を再び閉位置へ戻すには、加圧チャ
ンバ２４内の圧力流体をコネクタ部材２６を介して大気
もしくは低圧源へ解放すればよい。
ンバ２４内の圧力流体をコネクタ部材２６を介して大気
もしくは低圧源へ解放すればよい。
【００２８】以上、本発明の実施例を図面により説明し
てきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更
や追加等があっても本発明に含まれる。
てきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更
や追加等があっても本発明に含まれる。
【００２９】
【発明の効果】本発明の弁アクチュエータにおいては、
第１のピストンの受圧面積が、第２のピストンの小径部
の受圧面積よりも大きいので、第１のピストンの受圧面
には、圧力流体によって加圧される第２のピストンの大
径部の受圧面よりも大きな力が作用することになる。こ
れにより、強力な付勢手段に抗して第１及び第２のピス
トンを移動させ弁体を開放させるために、加圧チャンバ
内に供給すべき圧力流体の圧力は、従来と比べて小さく
て済むので、ピストン操作力の軽減が図られると同時に
アクチュエータを小型化できる。
第１のピストンの受圧面積が、第２のピストンの小径部
の受圧面積よりも大きいので、第１のピストンの受圧面
には、圧力流体によって加圧される第２のピストンの大
径部の受圧面よりも大きな力が作用することになる。こ
れにより、強力な付勢手段に抗して第１及び第２のピス
トンを移動させ弁体を開放させるために、加圧チャンバ
内に供給すべき圧力流体の圧力は、従来と比べて小さく
て済むので、ピストン操作力の軽減が図られると同時に
アクチュエータを小型化できる。
【００３０】
【図１】本発明の実施例の閉位置状態の縦断面図であ
る。
る。
【図２】同実施例の特に第１及び第２のピストンの構造
を明確に示す部分縦断面図である。
を明確に示す部分縦断面図である。
１ 弁アクチュエータ ２ 底板 ３ 筒体 ４ 蓋体 ５ 第１のピストン ６ 第２の
ピストン ７ 弁体 ８ 弁操作
棒 ９ 弁ハウジング １０ 圧縮ば
ね １１ 螺合部 １２ 回り
止めピン １３ 通孔 １４ 空間 １５ 小径部 １６ 大径
部 １７ 縮径部 １８ 増圧
チャンバ １９ ダイクロンオイル ２０ 小径
部 ２１ 通路 ２２ ねじ
孔 ２３ 調整密封ねじ ２４ 加圧
チャンバ ２５ 通孔 ２６ コネ
クタ部材 ２７ 案内部材 ２８ 凹部 ２９ 圧縮ばね ３０ 入口
通路 ３１ 出口通路 ３２ 弁室 ３３ 弁室開口部 ３４ 圧縮
ばね ３５ 弁座 ３６ 弁座
インサート ３７ 空間 ３８ Ｏリ
ング ３９ 通路 ４０ 通孔
ピストン ７ 弁体 ８ 弁操作
棒 ９ 弁ハウジング １０ 圧縮ば
ね １１ 螺合部 １２ 回り
止めピン １３ 通孔 １４ 空間 １５ 小径部 １６ 大径
部 １７ 縮径部 １８ 増圧
チャンバ １９ ダイクロンオイル ２０ 小径
部 ２１ 通路 ２２ ねじ
孔 ２３ 調整密封ねじ ２４ 加圧
チャンバ ２５ 通孔 ２６ コネ
クタ部材 ２７ 案内部材 ２８ 凹部 ２９ 圧縮ばね ３０ 入口
通路 ３１ 出口通路 ３２ 弁室 ３３ 弁室開口部 ３４ 圧縮
ばね ３５ 弁座 ３６ 弁座
インサート ３７ 空間 ３８ Ｏリ
ング ３９ 通路 ４０ 通孔
Claims (5)
- 【請求項１】 筒状のハウジング内に、付勢手段により
付勢された第１のピストンと、該第１のピストンに小径
部側をもって対向する段付きの第２のピストンとが備え
られていて、第１のピストンには、弁操作棒が一体的に
結合されており、第１のピストンと段付きの第２のピス
トンの小径部との間には、非圧縮性流体で充填された増
圧チャンバが設けられており、段付きの第２のピストン
の大径部側には、前記付勢手段に抗して第１及び第２の
ピストンを移動させるための加圧チャンバが設けられて
おり、前記増圧チャンバに対する第１のピストンの受圧
面積が第２のピストンの小径部の受圧面積よりも大きい
ことを特徴とする弁アクチュエータ。 - 【請求項２】 第２のピストンは、圧縮ばねによって常
に第１のピストンに向かって付勢されている請求項１に
記載の弁アクチュエータ。 - 【請求項３】 第１のピストンの弁操作棒は、増圧チャ
ンバ及び第２のピストンを貫通して延びている請求項１
又は２に記載の弁アクチュエータ。 - 【請求項４】 第１のピストンには、増圧チャンバと反
対側に向かってハウジングの蓋体を貫通して延びる小径
部が形成されていて、この小径部に、増圧チャンバと連
通する通路手段が設けられている請求項１ないし３のい
ずれか１つに記載の弁アクチュエータ。 - 【請求項５】 前記ハウジングの蓋体は、筒状のハウジ
ングに螺合可能であって、該蓋体と第１のピストンとの
間には、回り止め手段が介装されている請求項４に記載
の弁アクチュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218999A JPH0755045A (ja) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | 弁アクチュエータ |
| KR1019940004893A KR950006291A (ko) | 1993-08-11 | 1994-03-12 | 밸브 액튜에이터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218999A JPH0755045A (ja) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | 弁アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755045A true JPH0755045A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16728684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5218999A Pending JPH0755045A (ja) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | 弁アクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755045A (ja) |
| KR (1) | KR950006291A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022039321A (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-10 | 株式会社東京ダイス | 減圧弁装置 |
-
1993
- 1993-08-11 JP JP5218999A patent/JPH0755045A/ja active Pending
-
1994
- 1994-03-12 KR KR1019940004893A patent/KR950006291A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022039321A (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-10 | 株式会社東京ダイス | 減圧弁装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950006291A (ko) | 1995-03-20 |
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