JPH0751697B2 - 感圧接着性シート - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、紫外線照射によつて接着力を低減させること
ができる感圧接着性シートに関する。

（従来の技術） 一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至つている。

例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウエハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なつてダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフイルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウエハーを載置し、ダ
イシングフイルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフイルムからピツクアツプ、即ち、剥離
して取り上げる。従つて、シリコンウエハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
イルムがシリコンウエハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフイルムからピツク
アツプするに際しては、ダイシングフイルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウエハーのダイシングに際して
は、ダイシングフイルムは100〜500g/25mm程度又はこれ
以上の接着力を有し、一方、ダイスのピツクアツプに際
しては、ダイシングフイルムは約20〜50g/25mm程度又は
これ以下の接着力を有することが望ましいといわれてい
る。

しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じ
て、その接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及びか
かる特性を備えた感圧接着性シートは、未だ知られてい
ない。

他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性モノマー光重合開始剤及びその他
の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られてお
り、これは無溶剤型、一液型の接着剤であり、速硬化性
であつて、加熱を要しない等の点ですぐれているが、こ
の接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に所
要の接着力を発現させるために行なわれる。

（発明の目的） 本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着剤を得るために鋭意研
究した結果、予期しないことに、飽和共重合ポリエステ
ル樹脂と紫外線架橋性アクリル酸エステルとを主成分と
して含有する混合物からなる感圧接着剤組成物が、これ
に紫外線を照射するとき、その接着力が著しく低減する
ことを見出して、本発明に至つたものである。

従つて、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができる感圧接着性シートを提
供することを目的とする。

（発明の構成） 本発明による紫外線照射によつて接着力を低減し得る感
圧接着シートは、紫外線を透過させ得る基材シート上
に、 （ａ） 飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部に対し
て、 （ｂ） 紫外線架橋性アクリル酸エステル15〜200重量
部、及び （ｃ） 粘着付与剤10〜200重量部と共に、 （ｄ） 重合開始剤 を含む感圧接着剤の層が形成されていることを特徴とす
る。

先ず、本発明において用いる飽和共重合ポリエステル樹
脂は、例えば、「工業材料」第25巻第11号第101〜106頁
に記載されているように、通常、異なる２種以上の飽和
２価カルボン酸と飽和２価アルコールとを重縮合させて
得られるガラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であ
り、通常、飽和２価カルボン酸として、芳香族２価カル
ボン酸と脂肪族２価カルボン酸とが併用され、飽和２価
アルコールとして脂肪族又は脂環式２価アルコール、即
ち、グリコールが用いられる。特に、本発明において
は、芳香族２価カルボン酸／脂肪族２価カルボン酸モル
比が80/20乃至20/80、好ましくは70/30乃至50/50である
飽和２価カルボン酸混合物とグリコールとを等モルにて
重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル樹脂が好
ましく用いられる。本発明においては、芳香族２価カル
ボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボン酸とし
てセバシン酸、アジピン酸、グリコールとしてエチレン
グリコール、1,4−ブタンジオール、プロピレングリコ
ール等を用いて得られる飽和共重合ポリエステル樹脂が
好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽和共重合ポ
リエステル樹脂の製造においては、カルボン酸成分とし
て３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価以上の多価ア
ルコールが一部併用されてもよい。

本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸エステル
は、紫外線の照射によつて架橋するオリゴマー又はモノ
マーとしてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルをいい、分子内に少なくとも２つのアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有する。具体的には、かかるオ
リゴマーとしては、例えばオリゴエステルアクリレート
等を、また、モノマーとしては、例えば、1,6−ヘキサ
ンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパント
リアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリ
レート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等
の多価アルコールとアクリル酸のエステル、或いは1,6
−ヘキサンジオールジメタクリレート、トリメチロール
プロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタン
テトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
メタクリレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエ
ステル等を挙げることができる。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は、前記飽和共
重合ポリエステル樹脂100重量部について、上記紫外線
架橋性アクリル酸エステルを15〜200重量部、好ましく
は50〜150重量部の範囲にて含有する。飽和共重合ポリ
エステル樹脂100重量部について、上記紫外線架橋性ア
クリル酸エステルが15重量部よりも少ないときは、得ら
れる接着剤組成物に紫外線を照射しても、その接着力は
実質的に変化せず、一方、200重量部を越えるときは、
紫外線照射によつて、その接着力を低減させることはで
きるが、例えば、シリコンウエハーのダイシング後のダ
イスのピツクアツプ時に、ダイスに接着剤が残留するこ
とがあり、好ましくないからである。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は粘着付与剤を
含有し、ここに、粘着付与剤としては、特に制限され
ず、従来より一般に粘着剤と呼ばれている感圧接着剤組
成物の製造において用いられているものが適宜に用いら
れる。このような粘着付与剤として、例えば、キシレン
樹脂、ロジンや重合ロジン、水添ロジン、ロジンエステ
ル等のロジン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフエノー
ル樹脂、ロジンフエノール樹脂等のテルペン系樹脂、脂
肪族系、芳香族系及び脂環式系石油樹脂、クマロン樹
脂、スチレン系樹脂、アルキルフエノール樹脂等を挙げ
ることができる。

粘着付与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部
について、通常、10〜200重量部の範囲で用いられる。
粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着力又は
粘着力が不十分であり、他方、多すぎるときは、得られ
る接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着力の低下幅
が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイシングフイ
ルムに適用した場合、シリコンウエハーのダイシング後
のダイスのピツクアツプ時に、ダイスに粘着付与剤が残
留することがあり、好ましくないからである。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に重合開
始剤又は光増感剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を
含有する。重合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸
エステルの紫外線照射による架橋を促進するために用い
られる。このような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋
重合の技術分野においてよく知られており、本発明にお
いては、従来より一般に知られている重合開始剤を用い
ることができる。かかる重合開始剤の具体例として、例
えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベ
ンゾイン、ベンジル、ベンゾフエノン等の芳香族オキシ
ケトン類や芳香族ケトン類を挙げることができるが、こ
れらに限定されるものではない。

熱重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
が紫外線照射によらず、例えば、熱によつて重合するこ
とを防止するために、必要に応じて添加されるもので、
かかる重合禁止剤としても、従来より知られている通常
の重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁
止剤としては、例えば、ピクリン酸、フエノール、ハイ
ドロキノン、ハイドルキノンモノメチルエーテル等を用
いることができる。

上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル100重量部について１〜20重量部、
重合禁止剤は必要に応じて0.1〜１重量部の範囲で用い
られる。

更に、本発明による感圧接着剤組成物は、必要に応じ
て、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテン、鉱
油、ラノリン等の可塑剤や、また、充填剤、老化防止剤
等を適宜に含有していてもよい。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は、上記した配
合量にて飽和共重合ポリエステル樹脂、粘着付与剤、紫
外線架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤、必要に応
じてこれらに加えて重合禁止剤その他の添加剤をこれら
を溶解する適宜の有機溶剤、例えば、芳香族炭化水素、
ケトン類、又はこれらの混合物に溶解することによつて
得ることができる。溶剤としては、例えば、具体的には
トルエンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく
用いられるがしかし、これに限定されるものではない。
また、接着剤組成物における飽和共重合ポリエステル樹
脂の含有量は、用途等に応じて適宜に選ばれるが、通
常、10〜50重量％の範囲であるが、これに限定されるも
のではない。

通常、飽和共重合ポリエステル樹脂及び粘着付与剤は溶
液の形態にて入手することができるので、本発明による
感圧接着剤組成物は、例えば、飽和共重合ポリエステル
樹脂溶液と粘着付与剤溶液とを混合し、これに前記紫外
線架橋性アクリル酸エステルや重合開始剤、その他の必
要な添加剤を添加混合することによつて、容易に調製す
ることができる。

本発明による感圧接着性シートは、紫外線を透過させ得
る基材シート上に上記したような飽和共重合ポリエステ
ル樹脂、紫外線架橋性アクリル酸エステル及び重合開始
剤とを主成分として含有する感圧接着剤の層が形成され
ている。従つて、例えば、上述したような本発明による
感圧性接着剤組成物の溶液を基材シート上に塗布し、乾
燥することによつて得ることができる。

上記基材シートとしては、紫外線を透過し得る限りは、
特に制限されることなく、種々のシートを用いることが
できるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフイン、ア
セチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアミ
ド、ポリエステル、ポリカーボネート等からなる樹脂シ
ートが好適に用いられる。

本発明による感圧接着シートへの紫外線の照射手段及び
照射方法は特に制限されず、紫外線硬化性樹脂塗料や紫
外線硬化性接着剤の技術分野において、従来より通常に
行なわれている手段及び方法によることができる。例え
ば、照射手段として、キセノンランプ、低圧、中圧、高
圧或いは超高圧水銀灯灯のような紫外線源を使用し、数
秒乃至数分、照射すればよい。

（発明の効果） 以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂シート上に、飽和共重合ポリ
エステル系粘着剤と粘着付与剤と紫外線架橋性アクリル
酸エステルとを主成分として含有する感圧接着剤組成物
の層が形成されており、ここに、上記感圧接着剤組成物
は、その理由は必ずしも明らかではないが、紫外線を照
射する前は強い接着力を有し、一方、紫外線の照射によ
つてその接着力が著しく低減するので、かかる感圧接着
性シートは、これを被着面に適用した後、上記基材樹脂
シート側から紫外線を照射することによつて、この感圧
接着性シートを被着面から容易に剥離することができ
る。

従つて、かかる感圧接着性シートは、前記したように、
シリコンウエハーのダイシング用フイルムとして好適に
用いることができる。

（実施例） 以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。

実施例１ 離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、12
0℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として10
μｍ厚みに形成した。ここに、飽和共重合ポリエステル
樹脂としては、テレフタル酸／セバシン酸モル比70/30
の飽和２価カルボン酸混合物とエチレングリコールとを
等モルにて重縮合させて得られるガラス転移点約10℃の
樹脂を用いた。次に、平均重合度1300のポリ塩化ビニル
100部、ジオクチルフタレート35部及び適宜量の安定剤
からなる塩化ビニル樹脂組成物から成形した厚み0.1mm
のシートを上記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて、本
発明による感圧接着性シートを得た。

離型紙を剥離して、そのままにて接着力を測定し、ま
た、別に塩化ビニル樹脂シート側から主波長365mμ、12
0W/cmにて紫外線を７秒間照射した後、接着力を測定し
た。結果を第１表に示す。また、比較のために、紫外線
架橋性アクリル酸エステルを含有しない感圧接着剤を用
いて、それぞれ上記と同様に感圧接着性シートを調製
し、紫外線照射前後の接着力を測定した。結果を表に示
す。

紫外線架橋性アクリル酸エステルを含有しない感圧接着
剤を用いて、感圧接着性シートとするとき、これに紫外
線を照射しても、接着力が実質的に低下しない。これに
対して、本発明の感圧接着性シートによれば、紫外線照
射による接着力の低下が顕著であり、適当な配合設計に
よつて、当初250〜800g/25mmの接着力を有せしめ、紫外
線照射後は数十g/25mm乃至約100g/25mm程度にまで接着
力を減少させることができるので、前述したように、シ
リコンウエハーのダイシングに好適に用いることができ
る。

尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即ち、上記
感圧接着性シートを幅25mm、長さ100mmに裁断して試験
片とし、これを披着体としてのステンレス板上に重ね、
3kgローラにて５回往復して押圧した後、シヨツパーに
て引張速度300mm/分にて180゜剥離試験を行なつた。

実施例２ 実施例１におけると同じ飽和共重合ポリエステル系樹脂
を用いて、離型紙上に第２表に示す配合の感圧接着剤を
塗布し、120℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形
分として10μｍ厚みに形成した。次に、厚み0.1mmの種
々の合成樹脂シートを上記感圧接着剤層を重ねて貼り合
わせて、本発明による感圧接着性シートを得た。

このようにして得た感圧接着性シートについて、実施例
１と同様にして、紫外線照射後の接着力を測定した。結
果を第２表に示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】紫外線を透過させ得る基材シート上に、 （ａ） 飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部に対し
   て、 （ｂ） 紫外線架橋性アクリル酸エステル15〜200重量
   部、及び （ｃ） 粘着付与剤10〜200重量部と共に、 （ｄ） 重量開始剤 を含む感圧接着剤の層が形成されていることを特徴とす
   る紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接着性シ
   ート。
2. 【請求項２】飽和共重合ポリエステル樹脂が芳香族２価
   カルボン酸と脂肪族２価カルボン酸とグリコールとの重
   縮合による共重合体であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の感圧接着性シート。