JPH0750206B2 - 位相格子 - Google Patents
位相格子Info
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- JPH0750206B2 JPH0750206B2 JP3870387A JP3870387A JPH0750206B2 JP H0750206 B2 JPH0750206 B2 JP H0750206B2 JP 3870387 A JP3870387 A JP 3870387A JP 3870387 A JP3870387 A JP 3870387A JP H0750206 B2 JPH0750206 B2 JP H0750206B2
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- phase grating
- refractive index
- modulation type
- grating
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/46—Systems using spatial filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
- G02B5/1871—Transmissive phase gratings
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、位相格子の側壁傾斜率と屈折率を制御する
ことによって、不要な回折光光の強度を著しく低減した
新規な位相格子に関する。
ことによって、不要な回折光光の強度を著しく低減した
新規な位相格子に関する。
近年、光ディスクプレーヤやコンパクトディスクプレー
ヤをはじめとするオプトエレレクトロニクス製品の急激
な発展に伴なって、レーザビームを所定の割合で分割す
るための位相格子（回折格子）が随所に使用されてい
る。
ヤをはじめとするオプトエレレクトロニクス製品の急激
な発展に伴なって、レーザビームを所定の割合で分割す
るための位相格子（回折格子）が随所に使用されてい
る。
しかし、従来の位相格子では必要な回折光（通常は矩形
波状位相格子を用いて零次と±１次の回折光を使用す
る。）以外に不要な高次の回折光が発生し、レーザ光の
利用効率を低下させると同時に迷光の主因となってい
る。この発明の目的は、従来の位相格子におけるこのよ
うな問題点を著しく改善し、所望の回折光のみを選択的
に増強することがきる位相格子を提供することにある。
波状位相格子を用いて零次と±１次の回折光を使用す
る。）以外に不要な高次の回折光が発生し、レーザ光の
利用効率を低下させると同時に迷光の主因となってい
る。この発明の目的は、従来の位相格子におけるこのよ
うな問題点を著しく改善し、所望の回折光のみを選択的
に増強することがきる位相格子を提供することにある。
一般に、位相格子は、格子の断面構造によって第２図に
示す矩形波状位相格子と第３図に示す三角波（ブレー
ズ）状位相格子とに大別される。従来多用されている位
相格子は形態変調型のものであり、第２図において凸部
ａの屈折率Naと凹部ｂの屈折率Nbとは等しく、また、第
３図において傾斜部１の屈折率N1と傾斜部２の屈折率N2
とが等しいのが通例である。溝の深さｄが０である場合
には平板であり、第２図においてNa≠Nb、第３図におい
てN1≠N2ならば平板状屈折率変調型の位相格子となる。
示す矩形波状位相格子と第３図に示す三角波（ブレー
ズ）状位相格子とに大別される。従来多用されている位
相格子は形態変調型のものであり、第２図において凸部
ａの屈折率Naと凹部ｂの屈折率Nbとは等しく、また、第
３図において傾斜部１の屈折率N1と傾斜部２の屈折率N2
とが等しいのが通例である。溝の深さｄが０である場合
には平板であり、第２図においてNa≠Nb、第３図におい
てN1≠N2ならば平板状屈折率変調型の位相格子となる。
さらに、第２図においてNa≠Nb、第３図においてN1≠N2
とすることにより、それぞれ矩形波状屈折率変調型位相
格子と三角波（ブレーズ）状屈折率変調型位相格子とに
なる。
とすることにより、それぞれ矩形波状屈折率変調型位相
格子と三角波（ブレーズ）状屈折率変調型位相格子とに
なる。
ところで、これらの位相格子はいずれも第１図に示す台
形波状位相格子の特殊例とみみなされるが、台形波状屈
折率変調型位相格子の公知例は未だ見当らない。本発明
者はこの台形波状屈折率変調型位相格子の傾斜率と屈折
率に着目して、不要な回折光を極小化することによって
必要な回折光を選択的に増強する条件を研究してきた。
形波状位相格子の特殊例とみみなされるが、台形波状屈
折率変調型位相格子の公知例は未だ見当らない。本発明
者はこの台形波状屈折率変調型位相格子の傾斜率と屈折
率に着目して、不要な回折光を極小化することによって
必要な回折光を選択的に増強する条件を研究してきた。
台形波状屈折率変調型位相格子の格子面に対して垂直に
入射する光波のｍ（＝0,±1,±2,……）次回折効率ηｍ
は、第１図に示す要素格子の幅ｌａ,lｂ,l1,l2、格子の
厚さＤ、溝の深さd,要素格子の屈折率Ｎａ,Nｂ,N1,N2,
周囲（通常は空気）の屈折率N0および光波の波長λの関
数で表わされる。この関数は煩雑であるが、第１図にお
いてｌａ＝ｌｂ＝ｌｆ,l1＝l2＝ltおよびＮａ＝N1＝N2
＝Ｎ＊の関係が成立する場合の対称台形波状屈折率変調
型位相格子の０次と±１次の回折効率は、それぞれ次の
（１）式と（２）式によって示すように、比較的簡明な
関数で与えられると共に本発明の本質を損わない。
入射する光波のｍ（＝0,±1,±2,……）次回折効率ηｍ
は、第１図に示す要素格子の幅ｌａ,lｂ,l1,l2、格子の
厚さＤ、溝の深さd,要素格子の屈折率Ｎａ,Nｂ,N1,N2,
周囲（通常は空気）の屈折率N0および光波の波長λの関
数で表わされる。この関数は煩雑であるが、第１図にお
いてｌａ＝ｌｂ＝ｌｆ,l1＝l2＝ltおよびＮａ＝N1＝N2
＝Ｎ＊の関係が成立する場合の対称台形波状屈折率変調
型位相格子の０次と±１次の回折効率は、それぞれ次の
（１）式と（２）式によって示すように、比較的簡明な
関数で与えられると共に本発明の本質を損わない。
η０＝｛（１−α）cosδａ｝２ ＋（α／δ）（１−α）sinδ ・｛cos（２δｂ）＋cosδ｝ ＋｛（α／δ）sinδ｝２ ……（１） η１＝η-1 ＝｛（2/π）cosγsinδａ｝２ ＋（2/π）（α／ξ）cosγ ・｛sin（２δｂ）＋sinδ｝ ・（γcosγsinδ−δcosδsinγ）＋（1/2）｛α／
ξ）（γsinγ ・cosδ−δsinδcosγ）｝２ ……（２） ここでα＝ｌｔ／（ｌｆ＋lt）格子の側壁傾斜率を示
し、γ＝πα/2、ξ＝（γ−δ）・（γ−δ）、δ＝π
（d/λ）（Ｎ＊−μNo）、δａ＝π（D/λ）｛（Ｎ＊−
Nb＋（d/D）（Ｎｂ−μNo）｝、δｂ＝π（D/λ）（１
−d/D）（Ｎ＊−Nb）＋δ/2、μ＝〔１−｛ｍλ／（No
l）｝２〕−1/2、ｌ＝２（ｌｆ＋ｌｔ）の関係がある。
ξ）（γsinγ ・cosδ−δsinδcosγ）｝２ ……（２） ここでα＝ｌｔ／（ｌｆ＋lt）格子の側壁傾斜率を示
し、γ＝πα/2、ξ＝（γ−δ）・（γ−δ）、δ＝π
（d/λ）（Ｎ＊−μNo）、δａ＝π（D/λ）｛（Ｎ＊−
Nb＋（d/D）（Ｎｂ−μNo）｝、δｂ＝π（D/λ）（１
−d/D）（Ｎ＊−Nb）＋δ/2、μ＝〔１−｛ｍλ／（No
l）｝２〕−1/2、ｌ＝２（ｌｆ＋ｌｔ）の関係がある。
上記（１）式と（２）式は、α＝０の場合には対称矩形
波状屈折率変調型位相格子の回折効率、α＝１の場合に
は対称三角波状位相格子の回折効率、Ｎ＊＝Nbの場合に
は屈折率が変調されていない対称台形波状位相格子の回
折効率、またｄ＝０の場合には平板状屈折率変調型位相
格子の回折効率を与える。
波状屈折率変調型位相格子の回折効率、α＝１の場合に
は対称三角波状位相格子の回折効率、Ｎ＊＝Nbの場合に
は屈折率が変調されていない対称台形波状位相格子の回
折効率、またｄ＝０の場合には平板状屈折率変調型位相
格子の回折効率を与える。
対称台形波状屈折率変調型位相格子において、例えば０
次と±１次の回折光を ηｏ＝φη１ ＝φη-1 すなわち η1/（η０＋η１）＝1/（１＋φ） ……（４） の条件で使用する際に、|m|＞１の高次回折光の総強度 は、α＝０の場合には また、α＝１の場合にはφ＝（8/π２）（ζ／δ）2tan
2δとζ＝π2/4−δ２の関係が成立し、 となる。
次と±１次の回折光を ηｏ＝φη１ ＝φη-1 すなわち η1/（η０＋η１）＝1/（１＋φ） ……（４） の条件で使用する際に、|m|＞１の高次回折光の総強度 は、α＝０の場合には また、α＝１の場合にはφ＝（8/π２）（ζ／δ）2tan
2δとζ＝π2/4−δ２の関係が成立し、 となる。
従って、いずれの場合にも はφのみの関数である。０＜α＜１の台形波状屈折率変
調型位相格子 を上記（５）式または（６）式で与えられる値よりも小
さく、且つ極小化できるαの最適値が０と１の間の存在
することを、実施例に関する項で具体的に説明する。
調型位相格子 を上記（５）式または（６）式で与えられる値よりも小
さく、且つ極小化できるαの最適値が０と１の間の存在
することを、実施例に関する項で具体的に説明する。
〔台形波状屈折率変調型位相格子の作製方法〕 先ず、メチルメタクリレート、エチルメタクリートなど
のアルキルメタクリレート類と、アリルメタクリレー
ト、クロチルメタクリレートなどのメタクリル酸の不飽
和エステル類から成る共重合体を合成する。次いで、こ
の共重合体にベンゾフェノン、３−ベンゾイルベンゾフ
ェノンなどの芳香族ケトン類を加えて所定濃度のベンゼ
ン溶液またはトルエン溶液を調製し、ポリメチルメタク
リレート、ポリカーボネートなどから成る透明なプラス
チック基板上にこの溶液をスピンコートして、感光性透
明膜を形成する。位相格子のパターンを有するフォトマ
スクを介して、超高圧水銀灯の紫外線を感光性透明膜に
照射すると、露光量に比例して芳香族ケトン類がメタク
リル酸の不飽和エステル成分と結合する。この時、フォ
トマスクを感光性透明膜の表面から所定距離だけ離して
装着すると、フォトマスクの裏面から紫外線が広がりな
がら出射するので、感光性透明膜内において紫外線の強
度は台形波状に分布する。このような露光方法はプロキ
シミティ露光と呼ばれている。最後に、試料を減圧加熱
すると、未反応の芳香族ケトン類が昇華して遮光部の膜
厚が減少する。その結果、露光部に台形波状の凸構造が
生成すると同時に、凸部の屈折率が芳香族ケトン中のπ
電子の効果によって凹部の屈折率より高くなり、台形波
状屈折率変調型位相格子が作製される。プロキシミティ
露光の代りに、紫外線吸収剤と用いて紫外線の透過量に
台形波状の分布を付与したフォトマスクを感光性透明膜
上に密着させて露光することによっても、台形波状屈折
率変調型位相格子を作製できる。
のアルキルメタクリレート類と、アリルメタクリレー
ト、クロチルメタクリレートなどのメタクリル酸の不飽
和エステル類から成る共重合体を合成する。次いで、こ
の共重合体にベンゾフェノン、３−ベンゾイルベンゾフ
ェノンなどの芳香族ケトン類を加えて所定濃度のベンゼ
ン溶液またはトルエン溶液を調製し、ポリメチルメタク
リレート、ポリカーボネートなどから成る透明なプラス
チック基板上にこの溶液をスピンコートして、感光性透
明膜を形成する。位相格子のパターンを有するフォトマ
スクを介して、超高圧水銀灯の紫外線を感光性透明膜に
照射すると、露光量に比例して芳香族ケトン類がメタク
リル酸の不飽和エステル成分と結合する。この時、フォ
トマスクを感光性透明膜の表面から所定距離だけ離して
装着すると、フォトマスクの裏面から紫外線が広がりな
がら出射するので、感光性透明膜内において紫外線の強
度は台形波状に分布する。このような露光方法はプロキ
シミティ露光と呼ばれている。最後に、試料を減圧加熱
すると、未反応の芳香族ケトン類が昇華して遮光部の膜
厚が減少する。その結果、露光部に台形波状の凸構造が
生成すると同時に、凸部の屈折率が芳香族ケトン中のπ
電子の効果によって凹部の屈折率より高くなり、台形波
状屈折率変調型位相格子が作製される。プロキシミティ
露光の代りに、紫外線吸収剤と用いて紫外線の透過量に
台形波状の分布を付与したフォトマスクを感光性透明膜
上に密着させて露光することによっても、台形波状屈折
率変調型位相格子を作製できる。
例えば、コンパクトディスプレーヤの３ビーム型光ピッ
クアップでは、単一のレーザ光源を用いて光ディスクの
信号面におけるレーザビームの合焦、ピット信号の読み
取り、トラッキングなどを実施するためのビーム分割素
子が必要である。この機能を担う素子として、０次と±
１次の回折光の強度比が約５対１になるように格子形態
を設計し、真空蒸着とフォトリソグラフィを併用して作
製した無機ガラス系の矩形波状位相格子（形態変調型）
が多用されている。そこで、（３）式においてφ＝５と
おくと、（４）式からη1/（η０＋η１）＝0.1667が得
られると共に、α＝０の場合には（５）式から となり、α＝１の場合には（６）式から となるので、従来の矩形波状位相格子では回折光の6.26
％、また三角波状位相格子では回折光の98.83％が迷光
となって失なわれることがわる。
クアップでは、単一のレーザ光源を用いて光ディスクの
信号面におけるレーザビームの合焦、ピット信号の読み
取り、トラッキングなどを実施するためのビーム分割素
子が必要である。この機能を担う素子として、０次と±
１次の回折光の強度比が約５対１になるように格子形態
を設計し、真空蒸着とフォトリソグラフィを併用して作
製した無機ガラス系の矩形波状位相格子（形態変調型）
が多用されている。そこで、（３）式においてφ＝５と
おくと、（４）式からη1/（η０＋η１）＝0.1667が得
られると共に、α＝０の場合には（５）式から となり、α＝１の場合には（６）式から となるので、従来の矩形波状位相格子では回折光の6.26
％、また三角波状位相格子では回折光の98.83％が迷光
となって失なわれることがわる。
実用的な条件として、N0＝1.00、Ｎｂ＝1.50、D/λ＝1.
00およびλ＝0.78μｍの場合における回折効率｛η1/
（η０＋η１）および と側壁傾斜率（α）の関係を第４図から第８図に示す。
第４図と第５図は、それぞれＮ＊＝1.50および1.55の時
の回折効率と側壁傾斜率の関係のd/Dによる変化を示
す。これらの図から、d/DとＮ＊の特定領域内でのみη1
/（η０＋η１）の曲線上にφ＝５を満足する点が存在
し、この点はαが増大すると右方向へ移動すること、φ
＝５に対応する の値は、αが０に近い領域ではαが増大すると減少する
のに対してαが１に近い領域ではα１と共に増大し、０
＜α＜１の領域に極小値を有すること、従って|m|＞１
の高次回折光の総強度を極小化するにはd/D、Ｎ＊およ
びαの全ての最適化が必要であり、矩形波状位相格子と
三角波状位相格子のいずれよりも台形波状屈折率変調型
位相格子が有利であることなどが示唆される。このよう
な現象を更に詳しく観測するために、d/D＝0.30,0.40お
よび0.50の時の回折効率と側壁傾斜率の関係のＮ＊によ
る変化を、それぞれ第６図，第７図および第８図に示
す。これらの図から、φ＝５である場合にはd/D＝0.4
0、Ｎ＊≠1.53およびα＝0.50の時に、|m|＞１の高次回
折光の総強度は極小値 を取り、従来の矩形波状位相格子の値 の約1/5まで低下することがわかる。
00およびλ＝0.78μｍの場合における回折効率｛η1/
（η０＋η１）および と側壁傾斜率（α）の関係を第４図から第８図に示す。
第４図と第５図は、それぞれＮ＊＝1.50および1.55の時
の回折効率と側壁傾斜率の関係のd/Dによる変化を示
す。これらの図から、d/DとＮ＊の特定領域内でのみη1
/（η０＋η１）の曲線上にφ＝５を満足する点が存在
し、この点はαが増大すると右方向へ移動すること、φ
＝５に対応する の値は、αが０に近い領域ではαが増大すると減少する
のに対してαが１に近い領域ではα１と共に増大し、０
＜α＜１の領域に極小値を有すること、従って|m|＞１
の高次回折光の総強度を極小化するにはd/D、Ｎ＊およ
びαの全ての最適化が必要であり、矩形波状位相格子と
三角波状位相格子のいずれよりも台形波状屈折率変調型
位相格子が有利であることなどが示唆される。このよう
な現象を更に詳しく観測するために、d/D＝0.30,0.40お
よび0.50の時の回折効率と側壁傾斜率の関係のＮ＊によ
る変化を、それぞれ第６図，第７図および第８図に示
す。これらの図から、φ＝５である場合にはd/D＝0.4
0、Ｎ＊≠1.53およびα＝0.50の時に、|m|＞１の高次回
折光の総強度は極小値 を取り、従来の矩形波状位相格子の値 の約1/5まで低下することがわかる。
この台形波状屈折率変調型位相格子を以下の手順で作製
した。
した。
先ず、メチルメタクリレートとクロチルメタクリレート
の等モル共重合体を合成した。この共重合体中のクロチ
ルメタクリート成分と等モルのベンゾフェノンを加えて
４重量％ベンゼン溶液を調製し、厚さ1mmのポリメチル
メタクリレート基板上にこの溶液をスピンコートして、
感光性透明膜を形成した。次いで、出力500Wの超高圧水
銀灯から発生した紫外線を用いて感光性透明膜を３分間
プロキシミティ露光することにより、ベンゾフェノンを
クロチルメタクリレート成分に結合させた。最後に、0.
2mmHg、100℃の条件で試料を１時間減圧加熱して未反応
のベンゾフェノンを昇華させ、台形波状屈折率変調型位
相格子を作製した。
の等モル共重合体を合成した。この共重合体中のクロチ
ルメタクリート成分と等モルのベンゾフェノンを加えて
４重量％ベンゼン溶液を調製し、厚さ1mmのポリメチル
メタクリレート基板上にこの溶液をスピンコートして、
感光性透明膜を形成した。次いで、出力500Wの超高圧水
銀灯から発生した紫外線を用いて感光性透明膜を３分間
プロキシミティ露光することにより、ベンゾフェノンを
クロチルメタクリレート成分に結合させた。最後に、0.
2mmHg、100℃の条件で試料を１時間減圧加熱して未反応
のベンゾフェノンを昇華させ、台形波状屈折率変調型位
相格子を作製した。
触針式表面粗さ計、干渉顕微鏡、レーザダイオード、フ
ォトダイオードなどを用いて、格子の断面形態、屈折
率、回折効率などを測定し、いずれも設計値とよく一致
することを確認した。
ォトダイオードなどを用いて、格子の断面形態、屈折
率、回折効率などを測定し、いずれも設計値とよく一致
することを確認した。
以上説明したように、本発明による台形波状屈折率変調
型位相格子では回折光の強度を回折次数によって選択的
に制御できるため、不要光が少なく光の利用効率が高い
光学系の構成に役立つ。例えば、従来の矩形波状位相格
子に比べて、高次の回折光に由来する迷光が著しく少な
い状態で０次と±１次の回折光を活用できるので、高品
位の３ビーム型光ピックアップを作製できる。このよう
な台形波状屈折率変調型相格子は、CCDカメラの光学的
ローパスフィルタのように、特定次数の回折光のみを使
用するための光学素子としても有用である。。
型位相格子では回折光の強度を回折次数によって選択的
に制御できるため、不要光が少なく光の利用効率が高い
光学系の構成に役立つ。例えば、従来の矩形波状位相格
子に比べて、高次の回折光に由来する迷光が著しく少な
い状態で０次と±１次の回折光を活用できるので、高品
位の３ビーム型光ピックアップを作製できる。このよう
な台形波状屈折率変調型相格子は、CCDカメラの光学的
ローパスフィルタのように、特定次数の回折光のみを使
用するための光学素子としても有用である。。
第１図は、この発明の実施例を示す台形波状屈折率変調
型相格子の断面図、 第２図は、矩形波状屈折率変調型相格子の断面図、 第３図は、三角波状屈折率変調型相格子の断面図、 第４図は、第１図に示す台形波状変調型位相格子におい
て、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,N＊＝Ｎａ＝N1＝N2＝
1.50,Nｂ＝1.50,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折
効率と側壁率αの関係のd/Dの変化を示すグラフ、 第５図は、第１図に示す台形波状変調型位相格子におい
て、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,N＊＝Ｎａ＝N1＝N2＝
1.55,Nｂ＝1.50,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折
効率と側壁率αの関係のd/Dの変化を示すグラフ、 第６図は、第１図に示す台形波状屈折率変調型相格子に
おいて、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,Nｂ＝1.50,d/D＝
0.30,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折効率と側壁
傾斜率αの関係のＮ＊（＝Ｎａ＝N1＝N2）による変化を
示すグラフ、 第７図は、第１図に示す台形波状屈折率変調型相格子に
おいて、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,Nｂ＝1.50,d/D＝
0.40,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折効率と側壁
傾斜率αの関係のＮ＊（＝Ｎａ＝N1＝N2）による変化を
示すグラフ、 第８図は、第１図に示す台形波状屈折率変調型相格子に
おいて、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,Nｂ＝1.50,d/D＝
0.50,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折効率と側壁
傾斜率αの関係のＮ＊（＝Ｎａ＝N1＝N2）による変化を
示すグラフである。
型相格子の断面図、 第２図は、矩形波状屈折率変調型相格子の断面図、 第３図は、三角波状屈折率変調型相格子の断面図、 第４図は、第１図に示す台形波状変調型位相格子におい
て、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,N＊＝Ｎａ＝N1＝N2＝
1.50,Nｂ＝1.50,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折
効率と側壁率αの関係のd/Dの変化を示すグラフ、 第５図は、第１図に示す台形波状変調型位相格子におい
て、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,N＊＝Ｎａ＝N1＝N2＝
1.55,Nｂ＝1.50,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折
効率と側壁率αの関係のd/Dの変化を示すグラフ、 第６図は、第１図に示す台形波状屈折率変調型相格子に
おいて、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,Nｂ＝1.50,d/D＝
0.30,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折効率と側壁
傾斜率αの関係のＮ＊（＝Ｎａ＝N1＝N2）による変化を
示すグラフ、 第７図は、第１図に示す台形波状屈折率変調型相格子に
おいて、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,Nｂ＝1.50,d/D＝
0.40,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折効率と側壁
傾斜率αの関係のＮ＊（＝Ｎａ＝N1＝N2）による変化を
示すグラフ、 第８図は、第１図に示す台形波状屈折率変調型相格子に
おいて、ｌａ＝ｌｂ,l1＝l2,N0＝1.00,Nｂ＝1.50,d/D＝
0.50,D/λ＝1.00,λ＝0.78μｍのときの回折効率と側壁
傾斜率αの関係のＮ＊（＝Ｎａ＝N1＝N2）による変化を
示すグラフである。
Claims (2)
- 【請求項１】周期的に厚さが変化している凹凸構造をも
つ薄膜層の凸部および凹部からなる格子要素の各々を屈
折率の異なる材料で構成し、かつ格子要素の凸部を形成
する側壁が傾斜していることを特徴とする位相格子。 - 【請求項２】格子要素の凸部を形成する材料の屈折率が
凹部を形成する材料の屈折率よりも高いことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の位相格子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3870387A JPH0750206B2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | 位相格子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3870387A JPH0750206B2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | 位相格子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63205605A JPS63205605A (ja) | 1988-08-25 |
| JPH0750206B2 true JPH0750206B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=12532672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3870387A Expired - Fee Related JPH0750206B2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | 位相格子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750206B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5283690A (en) * | 1989-04-04 | 1994-02-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical diffraction grating element |
| CN102317818A (zh) * | 2009-02-20 | 2012-01-11 | 凸版印刷株式会社 | 相位型衍射元件、其制造方法、及摄像装置 |
| JP6644310B2 (ja) * | 2015-10-13 | 2020-02-12 | 林テレンプ株式会社 | 光学的異方性素子、液晶配向膜、およびこれらに使用される液晶高分子膜ならびにその製造方法 |
-
1987
- 1987-02-21 JP JP3870387A patent/JPH0750206B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63205605A (ja) | 1988-08-25 |
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