JPH0750155A - ▲ｔｍｎｍｏ▼空洞を有するマイクロ波放電装置 - Google Patents
▲ｔｍｎｍｏ▼空洞を有するマイクロ波放電装置Info
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- JPH0750155A JPH0750155A JP5052677A JP5267793A JPH0750155A JP H0750155 A JPH0750155 A JP H0750155A JP 5052677 A JP5052677 A JP 5052677A JP 5267793 A JP5267793 A JP 5267793A JP H0750155 A JPH0750155 A JP H0750155A
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- cavities
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 Ｎ及びＭをゼロでない整数として、ＴＭNMO
空胴を使用して長尺状の放電を励起させる。 【構成】 空胴のスロット５などのマイクロ波結合手段
からの直接的な結合を減少させるために、ＴＭ210 空胴
１を使用する放電装置内におけるゼロ位置に導電性物体
を位置させる。複数個のＴＭ110 空胴を結合し、且つ単
一の放電管２をこれら全ての空胴を貫通して延在させ
る。
空胴を使用して長尺状の放電を励起させる。 【構成】 空胴のスロット５などのマイクロ波結合手段
からの直接的な結合を減少させるために、ＴＭ210 空胴
１を使用する放電装置内におけるゼロ位置に導電性物体
を位置させる。複数個のＴＭ110 空胴を結合し、且つ単
一の放電管２をこれら全ての空胴を貫通して延在させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波放電を発生
させ且つ維持させる装置に関するものである。
させ且つ維持させる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波放電はマイクロ波パワー光源
として好適に使用されている。本発明は、特に光源とし
て適したものである。第一の例においては、光源は例え
ば紫外線領域、可視光領域、又は赤外線領域のかなりの
部分などの広い範囲にわたる非干渉性光学的ラジエーシ
ョンの供給源とすることが可能である。第二の例におい
ては、光源は、レーザとすることが可能である。レーザ
は一つ又は複数個の離散的波長において可干渉性ラジエ
ーションを発生することが可能である。
として好適に使用されている。本発明は、特に光源とし
て適したものである。第一の例においては、光源は例え
ば紫外線領域、可視光領域、又は赤外線領域のかなりの
部分などの広い範囲にわたる非干渉性光学的ラジエーシ
ョンの供給源とすることが可能である。第二の例におい
ては、光源は、レーザとすることが可能である。レーザ
は一つ又は複数個の離散的波長において可干渉性ラジエ
ーションを発生することが可能である。
【０００３】マイクロ波ランプは、通常、少なくとも実
質的に開放したメッシュである壁表面で形成された空胴
を有している。放電被包体が該空胴内に設けられてい
る。該空胴へマイクロ波パワーを伝達する手段は、例え
ば、導波路及びスロットとを有している。該伝達手段を
介して空胴へマグネトロンが接続されている。数百乃至
数千ワットの程度のマイクロ波エネルギが空胴へ結合さ
れる。該被包体は放電媒体を収容しており、該媒体は、
典型的には、水銀と希ガスとを有している。
質的に開放したメッシュである壁表面で形成された空胴
を有している。放電被包体が該空胴内に設けられてい
る。該空胴へマイクロ波パワーを伝達する手段は、例え
ば、導波路及びスロットとを有している。該伝達手段を
介して空胴へマグネトロンが接続されている。数百乃至
数千ワットの程度のマイクロ波エネルギが空胴へ結合さ
れる。該被包体は放電媒体を収容しており、該媒体は、
典型的には、水銀と希ガスとを有している。
【０００４】レーザはランプとは異なったタイプの放電
装置であるが、レーザは、又、マイクロ波駆動型放電を
使用して構成することが可能である。長尺状の放電管
を、該管をマイクロ波エネルギーで充填する手段に関連
して配設する。レーザにより発生される光を偏光させる
ために該管にその端部においてブリュースタ窓を設ける
ことが可能である。完全に反射性のミラー、及び部分的
に反射性のミラーが、通常、該管の端部に面して位置決
めされ、光学的共振器を形成する。
装置であるが、レーザは、又、マイクロ波駆動型放電を
使用して構成することが可能である。長尺状の放電管
を、該管をマイクロ波エネルギーで充填する手段に関連
して配設する。レーザにより発生される光を偏光させる
ために該管にその端部においてブリュースタ窓を設ける
ことが可能である。完全に反射性のミラー、及び部分的
に反射性のミラーが、通常、該管の端部に面して位置決
めされ、光学的共振器を形成する。
【０００５】本発明が特に有用であるマイクロ波ランプ
及びレーザの場合、長尺状即ち直線状の放電を励起させ
ることが望ましい。
及びレーザの場合、長尺状即ち直線状の放電を励起させ
ることが望ましい。
【０００６】Ｓｔｅｐｈａｎ Ｏｆｆｅｒｍａｎｎｓ著
のジャーナル・オブ・アプライドフィジックス６７
（１）、１９９０年１月１日、１１５−１２３頁の文献
は、電界が長尺状の放電被包体と平行である空胴を使用
することについて記載している。この文献に記載される
空胴は直円筒ＴＭ010 である。産業上のマイクロ波ラン
プにおいて使用されるＩＳＭバンドである２．４５ＧＨ
ｚの周波数で動作すべく最適化された場合には、この空
胴は３．６インチの直径を有する。空胴の軸上に被包体
即ちバルブが位置されるので、それは空胴壁に位置され
る結合手段の１．６インチ以内に配設される。産業上有
用なパワーレベルである数百乃至数千ワットにおいて、
結合手段が被包体に近接していることは、結合手段から
放電被包体への直接的結合を発生させる傾向となる。こ
のような直接的結合は一様なものではなく、むしろスロ
ットの最も近くにおいて最も強力である。
のジャーナル・オブ・アプライドフィジックス６７
（１）、１９９０年１月１日、１１５−１２３頁の文献
は、電界が長尺状の放電被包体と平行である空胴を使用
することについて記載している。この文献に記載される
空胴は直円筒ＴＭ010 である。産業上のマイクロ波ラン
プにおいて使用されるＩＳＭバンドである２．４５ＧＨ
ｚの周波数で動作すべく最適化された場合には、この空
胴は３．６インチの直径を有する。空胴の軸上に被包体
即ちバルブが位置されるので、それは空胴壁に位置され
る結合手段の１．６インチ以内に配設される。産業上有
用なパワーレベルである数百乃至数千ワットにおいて、
結合手段が被包体に近接していることは、結合手段から
放電被包体への直接的結合を発生させる傾向となる。こ
のような直接的結合は一様なものではなく、むしろスロ
ットの最も近くにおいて最も強力である。
【０００７】特定のモードで動作する特定の空胴内にお
いてある電界分布を予測するためにマイクロ波工学の原
理を使用することが可能である。実際的には、空胴内に
おいて測定された実際の電界が予測された電界分布に従
って説明することのできない成分を有していることが判
明している。さらに、本発明者等は、この電界の異常成
分を結合手段から直接的なラジエーション（放射）電磁
界に起因するものとした。この現象の厳しさは、バルブ
と結合手段との間の距離に逆の関係を有するように思わ
れる。要するに、比較的共振性の空胴を使用するマイク
ロ波放電装置においては、結合手段（例えば、スロッ
ト）が、空胴内の振動モードに結合し、次いでバルブに
結合するというのではなく、直接的にバルブに結合する
という問題がある。スロットからの直接的な結合はスロ
ットの最も近くにおいて放電強度においてシャープなピ
ークを発生させる。
いてある電界分布を予測するためにマイクロ波工学の原
理を使用することが可能である。実際的には、空胴内に
おいて測定された実際の電界が予測された電界分布に従
って説明することのできない成分を有していることが判
明している。さらに、本発明者等は、この電界の異常成
分を結合手段から直接的なラジエーション（放射）電磁
界に起因するものとした。この現象の厳しさは、バルブ
と結合手段との間の距離に逆の関係を有するように思わ
れる。要するに、比較的共振性の空胴を使用するマイク
ロ波放電装置においては、結合手段（例えば、スロッ
ト）が、空胴内の振動モードに結合し、次いでバルブに
結合するというのではなく、直接的にバルブに結合する
という問題がある。スロットからの直接的な結合はスロ
ットの最も近くにおいて放電強度においてシャープなピ
ークを発生させる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、Ｎ及び
Ｍをゼロでない整数として、ＴＭNM0 空胴を使用して長
尺状の放電を励起させる。好適には、Ｎ及びＭは１又は
２の程度である。空胴は少なくともほぼ箱型形状であ
る。本発明の好適実施形態によれば、該放電は長尺状の
容器乃至は被包体内に収容されており、該被包体は好適
には最大の位置において電界方向に位置決めされる。
Ｍをゼロでない整数として、ＴＭNM0 空胴を使用して長
尺状の放電を励起させる。好適には、Ｎ及びＭは１又は
２の程度である。空胴は少なくともほぼ箱型形状であ
る。本発明の好適実施形態によれば、該放電は長尺状の
容器乃至は被包体内に収容されており、該被包体は好適
には最大の位置において電界方向に位置決めされる。
【０００９】より高次のモードの空胴と対比してＴＭ
110 モードの空胴は、それが最も小型であるという利点
を有している。寸法が小型であることは、小さな空間内
に装着可能なランプを製造することを容易とさせる。例
えば、紫外線ランプを必要とする枚葉紙印刷機は、ラン
プを収容する空間は小さなものである。
110 モードの空胴は、それが最も小型であるという利点
を有している。寸法が小型であることは、小さな空間内
に装着可能なランプを製造することを容易とさせる。例
えば、紫外線ランプを必要とする枚葉紙印刷機は、ラン
プを収容する空間は小さなものである。
【００１０】ＴＭNM0 空胴は、電界が単一の方向であ
り、且つこの方向における任意の線に沿って、電界強度
が一様であるという利点を有している。従って、電界の
方向に直線状のバルブを位置決めする場合には、該バル
ブに作用する電界はバルブの全長に沿って方向及び大き
さが一様である。本発明者等は、このような一様な励起
構成を有するマイクロ波無電極ランプが存在することは
不知である。このような励起構成において、電磁界が放
電により良好に結合するものと考えられる。
り、且つこの方向における任意の線に沿って、電界強度
が一様であるという利点を有している。従って、電界の
方向に直線状のバルブを位置決めする場合には、該バル
ブに作用する電界はバルブの全長に沿って方向及び大き
さが一様である。本発明者等は、このような一様な励起
構成を有するマイクロ波無電極ランプが存在することは
不知である。このような励起構成において、電磁界が放
電により良好に結合するものと考えられる。
【００１１】ＴＭ210 モード空胴は、それが２倍の大き
さを有しており、従って結合手段を放電被包体から更に
遠くに位置させることが可能であるという点において利
点を有している。別の利点としては、ＴＭ210 モード
は、空胴の中心において電界ゼロを有するという点であ
る。ゼロの位置においてスロットと直接対向して小さな
導電性のプレートを配置させることが可能である。該プ
レートはスロットにより同時的に駆動されるＴＭ210 振
動に影響を与えることなしに、該スロットからの直接的
なラジエーション（放射）電磁界を短絡させる機能を有
する。
さを有しており、従って結合手段を放電被包体から更に
遠くに位置させることが可能であるという点において利
点を有している。別の利点としては、ＴＭ210 モード
は、空胴の中心において電界ゼロを有するという点であ
る。ゼロの位置においてスロットと直接対向して小さな
導電性のプレートを配置させることが可能である。該プ
レートはスロットにより同時的に駆動されるＴＭ210 振
動に影響を与えることなしに、該スロットからの直接的
なラジエーション（放射）電磁界を短絡させる機能を有
する。
【００１２】本発明の別の側面によれば、複数個のＴＭ
110 空胴を結合させて、これら複数個の空胴の電界を共
直線的とさせる。この構成の利点は、偶発的な高次モー
ド動作を発生させる可能性のある空胴を使用することな
しに、長尺状の放電管を励起させることが可能であると
いうことである。本発明の利点は、放電が一層一様に励
起されるということである。本発明の更に別の利点は、
結合手段（例えばスロット）からの直接的な結合が減少
されるということである。
110 空胴を結合させて、これら複数個の空胴の電界を共
直線的とさせる。この構成の利点は、偶発的な高次モー
ド動作を発生させる可能性のある空胴を使用することな
しに、長尺状の放電管を励起させることが可能であると
いうことである。本発明の利点は、放電が一層一様に励
起されるということである。本発明の更に別の利点は、
結合手段（例えばスロット）からの直接的な結合が減少
されるということである。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の１実施例に基づいて構成され
たマイクロ波駆動型無電極ランプを示している。空胴位
置は、横長の箱型形状をしており、且つＴＭ110 モード
のマイクロ波振動をサポートすべく寸法とされている。
通常、各寸法は異なっており且つほぼ次式で近似され
る。
たマイクロ波駆動型無電極ランプを示している。空胴位
置は、横長の箱型形状をしており、且つＴＭ110 モード
のマイクロ波振動をサポートすべく寸法とされている。
通常、各寸法は異なっており且つほぼ次式で近似され
る。
【００１４】２πＦ／ｃ＝｛（Ｍπ／ａ）2 ＋（Ｎπ／
ｂ）2 ＋（Ｐπ／ｄ）2 ｝1/2 上式において、Ｍ，Ｎ，Ｐはモード次数添字を表わして
おり、ＴＭ110 モードの場合には、それぞれ、１，１，
０である。周波数ｆはマイクロ波周波数であり、それは
典型的には、２．４５ＧＨｚである。パラメータａ，
ｂ，ｄは空胴の内側寸法を表わしてしている。試行錯誤
的な計算により、異なったパラメータＡ，Ｂ，Ｄを選択
し、正しい周波数におけるＴＭ110 モードをサポートす
る近似的な寸法を見出すことが可能である。
ｂ）2 ＋（Ｐπ／ｄ）2 ｝1/2 上式において、Ｍ，Ｎ，Ｐはモード次数添字を表わして
おり、ＴＭ110 モードの場合には、それぞれ、１，１，
０である。周波数ｆはマイクロ波周波数であり、それは
典型的には、２．４５ＧＨｚである。パラメータａ，
ｂ，ｄは空胴の内側寸法を表わしてしている。試行錯誤
的な計算により、異なったパラメータＡ，Ｂ，Ｄを選択
し、正しい周波数におけるＴＭ110 モードをサポートす
る近似的な寸法を見出すことが可能である。
【００１５】電界線は直線的であるので、電界線に平行
な空胴の寸法は、ＴＭ110 モードをサポートする周波数
に影響を与えることなしに変化させることが可能であ
る。該寸法は変化させることが可能であり、従って異な
った適用に対し異なったバルブ寸法を受付けるために選
択することが可能である。
な空胴の寸法は、ＴＭ110 モードをサポートする周波数
に影響を与えることなしに変化させることが可能であ
る。該寸法は変化させることが可能であり、従って異な
った適用に対し異なったバルブ寸法を受付けるために選
択することが可能である。
【００１６】放電バルブ２が発光すると、特に、より高
い圧力ランプ型のバルブの場合には、それは導体として
作用する。バルブ２は空胴１内のピーク電界強度の位置
に配置させることが最良である。バルブ２が存在するこ
とは空胴１内の電界を変化させる。このことは、電界方
向に対して垂直な空胴の二つの寸法のうちの少なくとも
一つの寸法の方程式により予測される値から多少変化さ
せることを必要とする。適切な変化された値を決定する
場合に、好適には導波路に対向する壁である一つの壁
を、その周辺部周りにスプリングフィンガーガスケット
を据え付け、空胴の隣接する壁を接触させることにより
移動自在とさせる。移動自在の壁の位置は、ランプが好
適に始動し且つ稼動するように選択される。正確な位置
は、始動条件と稼動条件との間の妥協である。製造され
るランプは、実験的に見出される位置に固定される壁を
有している。
い圧力ランプ型のバルブの場合には、それは導体として
作用する。バルブ２は空胴１内のピーク電界強度の位置
に配置させることが最良である。バルブ２が存在するこ
とは空胴１内の電界を変化させる。このことは、電界方
向に対して垂直な空胴の二つの寸法のうちの少なくとも
一つの寸法の方程式により予測される値から多少変化さ
せることを必要とする。適切な変化された値を決定する
場合に、好適には導波路に対向する壁である一つの壁
を、その周辺部周りにスプリングフィンガーガスケット
を据え付け、空胴の隣接する壁を接触させることにより
移動自在とさせる。移動自在の壁の位置は、ランプが好
適に始動し且つ稼動するように選択される。正確な位置
は、始動条件と稼動条件との間の妥協である。製造され
るランプは、実験的に見出される位置に固定される壁を
有している。
【００１７】８．６インチ×５．０インチ×３．４イン
チの寸法は良好に動作することが判明した。電界とバル
ブとを空胴の最も長い寸法に沿って整合させた。空胴の
高さは小さく、そのことは、例えば枚葉紙印刷機により
提供される空間などの高さの低い空間内に装着せねばな
らないランプなどの適用に対して最適なランプを提供す
る。
チの寸法は良好に動作することが判明した。電界とバル
ブとを空胴の最も長い寸法に沿って整合させた。空胴の
高さは小さく、そのことは、例えば枚葉紙印刷機により
提供される空間などの高さの低い空間内に装着せねばな
らないランプなどの適用に対して最適なランプを提供す
る。
【００１８】下部の大きな壁の中心領域は織込ワイヤー
メッシュ３で構成されている。例えば、横糸及び縦糸が
１インチあたり２０本の割合で０．０３０インチのワイ
ヤを織込むと８０％を超えた開放面積が得られる。この
メッシュは、マイクロ波ラジエーションを閉じ込めなが
ら光学的ラジエーション即ち光が透過することを可能と
する。
メッシュ３で構成されている。例えば、横糸及び縦糸が
１インチあたり２０本の割合で０．０３０インチのワイ
ヤを織込むと８０％を超えた開放面積が得られる。この
メッシュは、マイクロ波ラジエーションを閉じ込めなが
ら光学的ラジエーション即ち光が透過することを可能と
する。
【００１９】導波路４は空胴１に連結されており、従っ
て導波路の幅広側部の一方において、それは空胴１の幅
狭側部の一方と連結している。導波路４は、好適には、
ＷＲ３４０であり且つＴＥ10モードで動作される。この
導波路４は３．４インチ幅とすることが可能であり、且
つ幅方向において空胴４の幅狭の側部とマッチする。少
なくとも１個の結合用アイリス、例えばスロット５が、
導波路４と空胴との間に形成されている。好適には、二
つの結合用スロット５を導波路４内の信号に関して１波
長分離した状態で刻設し且つ空胴１に対して対称的に位
置決めさせる。このような構成は、スロット５からのラ
ジエーション即ち放射に起因する電界内のピークを更に
減少させる傾向を有している。
て導波路の幅広側部の一方において、それは空胴１の幅
狭側部の一方と連結している。導波路４は、好適には、
ＷＲ３４０であり且つＴＥ10モードで動作される。この
導波路４は３．４インチ幅とすることが可能であり、且
つ幅方向において空胴４の幅狭の側部とマッチする。少
なくとも１個の結合用アイリス、例えばスロット５が、
導波路４と空胴との間に形成されている。好適には、二
つの結合用スロット５を導波路４内の信号に関して１波
長分離した状態で刻設し且つ空胴１に対して対称的に位
置決めさせる。このような構成は、スロット５からのラ
ジエーション即ち放射に起因する電界内のピークを更に
減少させる傾向を有している。
【００２０】導波路の幅は空胴の高さとマッチすべく選
択されているので、スロット５が１波長分離されるよう
に導波路内の信号の波長を調節するために、幅を調節す
る以外の別の態様が見出されねばならない。導波路内の
リッジがこの目的を達成する。リッジ型導波路内のマイ
クロ波信号はリッジの寸法と共に変化することが知られ
ている。
択されているので、スロット５が１波長分離されるよう
に導波路内の信号の波長を調節するために、幅を調節す
る以外の別の態様が見出されねばならない。導波路内の
リッジがこの目的を達成する。リッジ型導波路内のマイ
クロ波信号はリッジの寸法と共に変化することが知られ
ている。
【００２１】図４は１９６６マイクロ波エンジニアのハ
ンドブック及びバイヤーガイド（Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ
Ｅｎｇｉｎｅｅｒ’ｓ Ｈａｎｄｂｏｏｋ Ａｎｄ Ｂ
ｕｙｅｒｓ Ｇｕｉｄｅ）からとったチャートである。
このチャートは、リッジの寸法と波長との間の関係を示
している。次式は、自由空間波長λ及びカットオフ波長
λc を使用して表わした導波路内の信号の波長λg を表
わしている。
ンドブック及びバイヤーガイド（Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ
Ｅｎｇｉｎｅｅｒ’ｓ Ｈａｎｄｂｏｏｋ Ａｎｄ Ｂ
ｕｙｅｒｓ Ｇｕｉｄｅ）からとったチャートである。
このチャートは、リッジの寸法と波長との間の関係を示
している。次式は、自由空間波長λ及びカットオフ波長
λc を使用して表わした導波路内の信号の波長λg を表
わしている。
【００２２】λg ＝λ／ＳＱＲＴ｛１−（λ／λc ）
2 ｝ 尚、ＳＱＲＴは平方根を表わしている。
2 ｝ 尚、ＳＱＲＴは平方根を表わしている。
【００２３】このチャート及び式を使用して、スロット
間に１波長間隔を与えるべくリッジの寸法を選択するこ
とが可能である。図１に示した実施例に対する寸法は１
／２インチの幅で５／８インチの高さである。尚、１イ
ンチは２．５４ｃｍである。尚、この点に関してリッジ
型導波路を取扱ったＮ． Ｍａｒｃｕｖｉｔｚ著導波路
ハンドブック（Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｈａｎｄｂｏｏ
ｋ）、８．６章、１９５１年、マクグローヒル出版社を
参照するといい。
間に１波長間隔を与えるべくリッジの寸法を選択するこ
とが可能である。図１に示した実施例に対する寸法は１
／２インチの幅で５／８インチの高さである。尚、１イ
ンチは２．５４ｃｍである。尚、この点に関してリッジ
型導波路を取扱ったＮ． Ｍａｒｃｕｖｉｔｚ著導波路
ハンドブック（Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｈａｎｄｂｏｏ
ｋ）、８．６章、１９５１年、マクグローヒル出版社を
参照するといい。
【００２４】導波路４は側部に取付ける必要はない。ラ
ンプの幅を最小とするために、導波路４は上部に取付け
ることが可能であるが、この場合には高さが増加され
る。同様に、導波路４は端部に取付けることも可能であ
る。
ンプの幅を最小とするために、導波路４は上部に取付け
ることが可能であるが、この場合には高さが増加され
る。同様に、導波路４は端部に取付けることも可能であ
る。
【００２５】マグネトロン６が、空胴１から離れた導波
路４の端部に取付けられている。マグネトロン６は２．
４５ＧＨｚの周波数でエネルギを本ランプへ供給する。
マグネトロン６のパワーは、好適には、５００ワット乃
至３０００ワットの範囲内である。
路４の端部に取付けられている。マグネトロン６は２．
４５ＧＨｚの周波数でエネルギを本ランプへ供給する。
マグネトロン６のパワーは、好適には、５００ワット乃
至３０００ワットの範囲内である。
【００２６】一方、可撓性の同軸ケーブルを介してマイ
クロ波パワーを本ランプへ供給することも可能である。
同軸ケーブルを使用する利点は、特定の産業上の据付け
の場合に最適な位置とするためにマイクロ波パワー供給
源をランプから離れた位置に位置させることを可能とす
ることである。同軸ケーブルを空胴に結合させるために
プローブ又はループ型の結合装置を使用することが可能
である。
クロ波パワーを本ランプへ供給することも可能である。
同軸ケーブルを使用する利点は、特定の産業上の据付け
の場合に最適な位置とするためにマイクロ波パワー供給
源をランプから離れた位置に位置させることを可能とす
ることである。同軸ケーブルを空胴に結合させるために
プローブ又はループ型の結合装置を使用することが可能
である。
【００２７】放電被包体には両端を閉塞した石英管であ
り、且つ本明細書の従来技術に関する記載部分において
説明した如き充填物を収容している。被包体には小さな
先端部７を有しており、それは被包体２を支持するのに
有用である。被包体２は空胴壁に設けた小さな孔（不図
示）に先端部７を挿入させることにより支持させること
が可能である。この被包体は空胴１の中心に位置されて
いる。
り、且つ本明細書の従来技術に関する記載部分において
説明した如き充填物を収容している。被包体には小さな
先端部７を有しており、それは被包体２を支持するのに
有用である。被包体２は空胴壁に設けた小さな孔（不図
示）に先端部７を挿入させることにより支持させること
が可能である。この被包体は空胴１の中心に位置されて
いる。
【００２８】二部構成の反射器８，８′は、バルブ２か
ら射出されたラジエーション（放射）、即ち光を捕捉し
且つ所定の方向に指向させるように位置されている。反
射器部分８，８′は、例えば石英又はパイレックスなど
の誘電体物質から構成されており、従って、それらは空
胴１内のマイクロ波振動と干渉することはない。
ら射出されたラジエーション（放射）、即ち光を捕捉し
且つ所定の方向に指向させるように位置されている。反
射器部分８，８′は、例えば石英又はパイレックスなど
の誘電体物質から構成されており、従って、それらは空
胴１内のマイクロ波振動と干渉することはない。
【００２９】反射器部分８，８′は、それらの第一焦点
がバルブの位置と一致するように、楕円形状の円筒の一
部として形成し且つ位置決めさせることが可能である。
従って、バルブから発生された光学的ラジエーション、
即ち光は、第二焦点に対応する線の上にフォーカスされ
る。本ランプは、第二焦点が処理されるべき物質が通過
される位置に対応するように位置決めされる。その処理
されるべき物質としては、例えば紫外線でキュア即ち硬
化可能なインクを担持するウェブ又はシートなどがあ
る。
がバルブの位置と一致するように、楕円形状の円筒の一
部として形成し且つ位置決めさせることが可能である。
従って、バルブから発生された光学的ラジエーション、
即ち光は、第二焦点に対応する線の上にフォーカスされ
る。本ランプは、第二焦点が処理されるべき物質が通過
される位置に対応するように位置決めされる。その処理
されるべき物質としては、例えば紫外線でキュア即ち硬
化可能なインクを担持するウェブ又はシートなどがあ
る。
【００３０】反射を向上させるために、反射器８，８′
は、好適には、バルブに面した表面上に反射性コーティ
ングが設けられている。例えば、このようなコーティン
グは、二酸化シリコンと二酸化ハフニウムの交互の１／
４光学的厚さの層からなる誘電干渉積層体とすることが
可能である。この干渉積層体は、好適には、主に紫外線
を反射し且つ赤外線を透過させるように構成される。
は、好適には、バルブに面した表面上に反射性コーティ
ングが設けられている。例えば、このようなコーティン
グは、二酸化シリコンと二酸化ハフニウムの交互の１／
４光学的厚さの層からなる誘電干渉積層体とすることが
可能である。この干渉積層体は、好適には、主に紫外線
を反射し且つ赤外線を透過させるように構成される。
【００３１】高さの低いプレナム９が、バルブ２の位置
の上方で空胴１の上部に設けられている。空胴壁を介し
てプレナムから空胴１内へ一つ又はそれ以上の列のオリ
フィス１０が設けられている。加圧空気がプレナム９へ
供給され且つオリフィス１０を介して流れる。空気の流
れが反射器８，８′の間の間隔を介して通過しバルブ２
に吹付けられる。
の上方で空胴１の上部に設けられている。空胴壁を介し
てプレナムから空胴１内へ一つ又はそれ以上の列のオリ
フィス１０が設けられている。加圧空気がプレナム９へ
供給され且つオリフィス１０を介して流れる。空気の流
れが反射器８，８′の間の間隔を介して通過しバルブ２
に吹付けられる。
【００３２】固体の導電性物質及び内部誘電体リフレク
タから構成されるマイクロ波空胴の代りに、実質的に完
全にメッシュと外部の反射器とから構成される空胴を使
用することも可能である。両方の構成とも、マイクロ波
空胴の形状を、反射器の形状と独立的に制御することを
可能とする。
タから構成されるマイクロ波空胴の代りに、実質的に完
全にメッシュと外部の反射器とから構成される空胴を使
用することも可能である。両方の構成とも、マイクロ波
空胴の形状を、反射器の形状と独立的に制御することを
可能とする。
【００３３】図２はマイクロ波駆動型レーザを示してい
る。空胴１１はＴＭ210 モードをサポートすべく寸法形
成されている。上記式を使用し且つ第一実施例に関連し
て説明した如く可動壁で実験を行うことにより適切な寸
法を決定することが可能である。
る。空胴１１はＴＭ210 モードをサポートすべく寸法形
成されている。上記式を使用し且つ第一実施例に関連し
て説明した如く可動壁で実験を行うことにより適切な寸
法を決定することが可能である。
【００３４】特定の具体的構成として以下の如きものが
良好に動作することが判明した。空胴１１は長さが８．
７５インチで幅が３．４インチで高さが６．８インチの
箱型に構成する。２．５インチ×０．５インチの大きさ
のスロット１２を底部壁（３．４インチ×８．７５イン
チ壁）に位置させる。スロット１２は該壁に関して中心
に位置させ且つその２．５インチの長さ部分を該壁の
３．４インチ幅の部分に平行に整合させる。空胴１１内
の電界を空胴１１の長さ（８．７５インチ）の方向に平
行な方向に閉込める。この具体的場合にはレーザ放電管
１３である放電被包体１３を空胴の長さ方向と平行に位
置させ、且つ幅方向に沿って中間に位置させ、且つ電界
強度における最大の位置である空胴１１の底部壁上方
５．１インチに位置させる。金属プレート１４を空胴の
中心に位置させる。該プレートの機能については以下に
説明する。
良好に動作することが判明した。空胴１１は長さが８．
７５インチで幅が３．４インチで高さが６．８インチの
箱型に構成する。２．５インチ×０．５インチの大きさ
のスロット１２を底部壁（３．４インチ×８．７５イン
チ壁）に位置させる。スロット１２は該壁に関して中心
に位置させ且つその２．５インチの長さ部分を該壁の
３．４インチ幅の部分に平行に整合させる。空胴１１内
の電界を空胴１１の長さ（８．７５インチ）の方向に平
行な方向に閉込める。この具体的場合にはレーザ放電管
１３である放電被包体１３を空胴の長さ方向と平行に位
置させ、且つ幅方向に沿って中間に位置させ、且つ電界
強度における最大の位置である空胴１１の底部壁上方
５．１インチに位置させる。金属プレート１４を空胴の
中心に位置させる。該プレートの機能については以下に
説明する。
【００３５】図示した如く、該金属プレートは空胴の壁
に接触していない。それは、空胴の側部壁から突出した
対向するテフロンボタン２９により空中に支持されてい
る。別の実施例においては、該プレートを壁に接触させ
ることが可能である。金属プレートはゼロ位置に位置さ
れるので、それが空胴の壁と接触することがマイクロ波
振動を乱すことはないと考えられる。
に接触していない。それは、空胴の側部壁から突出した
対向するテフロンボタン２９により空中に支持されてい
る。別の実施例においては、該プレートを壁に接触させ
ることが可能である。金属プレートはゼロ位置に位置さ
れるので、それが空胴の壁と接触することがマイクロ波
振動を乱すことはないと考えられる。
【００３６】２．４５ＧＨｚの周波数でスロット１２を
介してマイクロ波エネルギーを結合させると、上述した
幾何学的形状のものは所望のＴＭ210 マイクロ波モード
をサポートする。ＴＭ210 モードは、フィールド方向に
垂直な一つの軸に沿って、電界中に二つの反対の最大値
が存在しておりその間にゼロが存在するという点におい
てＴＭ110 と異なっており、一方、ＴＭ110 の場合に
は、フィールド方向に垂直ないずれの軸に沿っても電界
中において中心に一つの最大値が存在するに過ぎない。
介してマイクロ波エネルギーを結合させると、上述した
幾何学的形状のものは所望のＴＭ210 マイクロ波モード
をサポートする。ＴＭ210 モードは、フィールド方向に
垂直な一つの軸に沿って、電界中に二つの反対の最大値
が存在しておりその間にゼロが存在するという点におい
てＴＭ110 と異なっており、一方、ＴＭ110 の場合に
は、フィールド方向に垂直ないずれの軸に沿っても電界
中において中心に一つの最大値が存在するに過ぎない。
【００３７】プレート１４がＴＭ210 パターンの電界の
ゼロ位置に位置されているので、そのモードにおけるそ
のマイクロ波振動に与える影響は最小である。然しなが
ら、プレート１４はスロット１２からの直接的なラジエ
ーション即ち放射を短絡させるという重要な機能を担っ
ている。レーザ放電管１３に影響を与えるスロット１２
からの直接的なラジエーションは、プレート１４を設け
ることにより最小とされている。プレート１４の最適な
寸法は実験的に決定される。図２に示した特定の実施例
においては、１．２５インチ×２．５インチ×１．３４
インチの寸法を有するプレート１４を空胴１１内に配設
し、その２．５インチの長さ部分をスロットと平行とさ
せ、且つ底部壁と平行とさせている。
ゼロ位置に位置されているので、そのモードにおけるそ
のマイクロ波振動に与える影響は最小である。然しなが
ら、プレート１４はスロット１２からの直接的なラジエ
ーション即ち放射を短絡させるという重要な機能を担っ
ている。レーザ放電管１３に影響を与えるスロット１２
からの直接的なラジエーションは、プレート１４を設け
ることにより最小とされている。プレート１４の最適な
寸法は実験的に決定される。図２に示した特定の実施例
においては、１．２５インチ×２．５インチ×１．３４
インチの寸法を有するプレート１４を空胴１１内に配設
し、その２．５インチの長さ部分をスロットと平行とさ
せ、且つ底部壁と平行とさせている。
【００３８】導波路１５が、スロット１２が設けられて
いるその中心を短い距離にわたり通過するまで空胴１１
の底部壁に沿って延在している。導波路の反対側の端部
は空胴１１の底部壁を越えて延在している。２．４５Ｇ
Ｈｚの周波数で５００乃至３０００ワットのパワーを発
生するマグネトロン１６が、空胴１１を越えて延在する
端部側において、導波路１５の底部へ接続されている。
いるその中心を短い距離にわたり通過するまで空胴１１
の底部壁に沿って延在している。導波路の反対側の端部
は空胴１１の底部壁を越えて延在している。２．４５Ｇ
Ｈｚの周波数で５００乃至３０００ワットのパワーを発
生するマグネトロン１６が、空胴１１を越えて延在する
端部側において、導波路１５の底部へ接続されている。
【００３９】レーザ放電管１３は充分に長く、従ってそ
れは端部壁（３．４インチ×６．８インチの寸法の壁）
内の孔を貫通して空胴１１の外部に延在している。レー
ザー放電管は種々の公知のレーザ媒体のうちのいずれか
を有することが可能であり、その選択は発生すべき光の
波長の選択に依存している。例えばヘリウム−ネオン又
は二酸化炭素などの種々の公知の媒体を使用することが
可能である。
れは端部壁（３．４インチ×６．８インチの寸法の壁）
内の孔を貫通して空胴１１の外部に延在している。レー
ザー放電管は種々の公知のレーザ媒体のうちのいずれか
を有することが可能であり、その選択は発生すべき光の
波長の選択に依存している。例えばヘリウム−ネオン又
は二酸化炭素などの種々の公知の媒体を使用することが
可能である。
【００４０】空胴１１の外側からレーザ放電管１３の端
部に面して対向するミラー１７，１７′が配設されてい
る。一方のミラーは完全に反射性であるが、他方のミラ
ーは部分的に反射性である。
部に面して対向するミラー１７，１７′が配設されてい
る。一方のミラーは完全に反射性であるが、他方のミラ
ーは部分的に反射性である。
【００４１】ＴＭ110 モードは表面的には空胴の長さと
は独立的である。即ち、該モードに悪影響を与えること
なしに電界の方向に無限に空胴を延ばすことが可能であ
るものと推測されるかもしれない。然しながら、その長
さが増加されて１メートルの長さに達すると、空胴の寸
法が他の偶発的なモードをサポートする蓋然性が増加す
る。空胴は１メートル程度の比較的長いものとすること
が可能であるが、１メートルの長さの放電管を励起させ
るためには、空胴内のモード不整合形態での機能障害が
発生する場合がある。
は独立的である。即ち、該モードに悪影響を与えること
なしに電界の方向に無限に空胴を延ばすことが可能であ
るものと推測されるかもしれない。然しながら、その長
さが増加されて１メートルの長さに達すると、空胴の寸
法が他の偶発的なモードをサポートする蓋然性が増加す
る。空胴は１メートル程度の比較的長いものとすること
が可能であるが、１メートルの長さの放電管を励起させ
るためには、空胴内のモード不整合形態での機能障害が
発生する場合がある。
【００４２】図３は、上述した問題に対処する実施例を
示している。単一のレーザ放電管２５を励起させるため
に４つの空胴２１乃至２４が結合されている。各空胴２
１乃至２４は、図１に関して説明した空胴と同一の寸法
を有している。これらの空胴は端部壁（５．０インチ×
３．４インチの寸法の壁）において結合されている。こ
の一組の空胴の端部壁の中心を貫通して同軸孔が穿設さ
れている。これらの孔を貫通して１メートルの長さのレ
ーザ放電管２５を位置決めさせ且つこの一組の空胴の外
側に多少延在させる。
示している。単一のレーザ放電管２５を励起させるため
に４つの空胴２１乃至２４が結合されている。各空胴２
１乃至２４は、図１に関して説明した空胴と同一の寸法
を有している。これらの空胴は端部壁（５．０インチ×
３．４インチの寸法の壁）において結合されている。こ
の一組の空胴の端部壁の中心を貫通して同軸孔が穿設さ
れている。これらの孔を貫通して１メートルの長さのレ
ーザ放電管２５を位置決めさせ且つこの一組の空胴の外
側に多少延在させる。
【００４３】この一組の空胴２１乃至２４の４つの空胴
全てへマイクロ波パワーを供給するために単一の導波路
２６が使用されている。導波路２６は、第一の空胴の端
部を超えた位置から延在しており、且つこれらの空胴２
１乃至２４の底部に沿って延在している。各空胴の中心
部と導波路との間に結合用スロットが設けられている。
この結合用スロットの寸法は上述した実施例に関して説
明したスロットの程度のものであるが、各相次ぐスロッ
トに到達するマイクロ波信号が減衰することを回避する
ために、各相次ぐスロットの長さは、マグネトロンに近
い隣接したスロットと比較して大きくされている。スロ
ットの全てを０．５インチ幅のものとすることが可能で
あり、一方スロットの長さを１．５インチ、１．６６イ
ンチ、１．８３インチ及び２．０インチとさせることが
可能である。
全てへマイクロ波パワーを供給するために単一の導波路
２６が使用されている。導波路２６は、第一の空胴の端
部を超えた位置から延在しており、且つこれらの空胴２
１乃至２４の底部に沿って延在している。各空胴の中心
部と導波路との間に結合用スロットが設けられている。
この結合用スロットの寸法は上述した実施例に関して説
明したスロットの程度のものであるが、各相次ぐスロッ
トに到達するマイクロ波信号が減衰することを回避する
ために、各相次ぐスロットの長さは、マグネトロンに近
い隣接したスロットと比較して大きくされている。スロ
ットの全てを０．５インチ幅のものとすることが可能で
あり、一方スロットの長さを１．５インチ、１．６６イ
ンチ、１．８３インチ及び２．０インチとさせることが
可能である。
【００４４】マグネトロン２７はこの一組の空胴の端部
を超えて延在する導波路へ接続されている。図２に関し
て説明した如く、放電管の端部にブリュースタ窓を設け
且つ放電管の周りにレーザミラーが配設されている。
を超えて延在する導波路へ接続されている。図２に関し
て説明した如く、放電管の端部にブリュースタ窓を設け
且つ放電管の周りにレーザミラーが配設されている。
【００４５】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図１】 ＴＭ110 空胴を使用するマイクロ波駆動型ラ
ンプを示した概略図。
ンプを示した概略図。
【図２】 ＴＭ210 空胴を使用するマイクロ波駆動型レ
ーザを示した概略図。
ーザを示した概略図。
【図３】 四個のＴＭ110 空胴を結合させた空胴を有す
るマイクロ波駆動型レーザを示した概略図。
るマイクロ波駆動型レーザを示した概略図。
【図４】 リッジ付導波路に関してリッジ幅とカットオ
フ波長との関係を示したチャート。
フ波長との関係を示したチャート。
１ 空胴 ２ 放電バルブ ３ メッシュ ４ 導波路 ５ 結合用スロット ７ 先端部 ８，８′ 反射器部分 ９ プレナム １２ スロット １３ 放電管 １４ 金属プレート
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年６月２２日
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 ▲ＴＭＮＭＯ▼空洞を有するマイク
ロ波放電装置
ロ波放電装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モハメッド カマラヒ アメリカ合衆国， メリーランド 20850, ロックビル， カレッジ パークウエイ 866， ナンバー 102 (72)発明者 ブライアン ターナー アメリカ合衆国， メリーランド 21773, マイヤーズビル， ダウン コート 9087 (72)発明者 マイケル ジイ． ユーリー アメリカ合衆国， メリーランド 20817, ベセスダ， イースト ハルバート ロ ード 6518
Claims (16)
- 【請求項１】 マイクロ波駆動型無電極ランプにおい
て、放電被包体が設けられており、その壁に位置させた
マイクロ波結合手段を具備するマイクロ波空胴が設けら
れており、所定の周波数でマイクロ波パワーを発生する
手段が設けられており、前記マイクロ波パワーを前記結
合手段へ転送する手段が設けられており、前記空胴は前
記所定周波数において特定モードのマイクロ波振動を支
持すべき寸法形状を有しており、前記モードは前記空胴
の内部空間内において電界強度がゼロを有する電界を形
成し、前記ゼロの位置に導電性本体が位置されており、
且つ前記放電被包体及び前記マイクロ波結合手段が前記
導電性本体の反対側に位置されていることを特徴とする
ランプ装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記モードがＴＭ
210 モードであり且つ前記空胴が箱型形状であることを
特徴とするランプ装置。 - 【請求項３】 請求項２において、前記結合手段が結合
用スロットであり、且つ前記導電性本体が前記結合用ス
ロットの面に平行な面内に位置された平坦な金属部材で
あることを特徴とするランプ装置。 - 【請求項４】 請求項１において、前記導電性本体が前
記結合手段に対向して位置されていることを特徴とする
ランプ装置。 - 【請求項５】 請求項４において、前記導電性本体が前
記結合用スロットに対向して位置されていることを特徴
とするランプ装置。 - 【請求項６】 マイクロ波駆動型無電極放電装置におい
て、長尺状の放電被包体が設けられており、複数個の直
線的な空胴が設けられており、各空胴はその長手軸方向
に向けられた電界を有すると共に前記電界の方向に垂直
な端部壁を有しており、前記複数個の空胴は端部同士を
接続して連結されており、従って夫々の空胴内の電界が
同一の方向に向いており、前記複数個の空胴の各端部壁
を貫通して一連の孔が穿設されており、前記長尺状の放
電被包体が前記孔を貫通して位置決めされており前記複
数個の空胴の長さ全体にわたって延在していることを特
徴とする装置。 - 【請求項７】 請求項６において、前記複数個の空胴の
各々がＴＭ110 空胴であることを特徴とする装置。 - 【請求項８】 請求項６において、前記長尺状の放電被
包体がレーザ放電管であることを特徴とする装置。 - 【請求項９】 請求項７において、前記複数個の空胴の
各々がＴＭ110 空胴であることを特徴とする装置。 - 【請求項１０】 マイクロ波駆動型ランプにおいて、Ｔ
ＭNM0 モードにほぼ適合する寸法及び形状を有する空胴
が設けられており、尚Ｍ及びＮはゼロでない整数であ
り、前記モードで動作すべく選択された周波数において
のマイクロ波パワー供給源が設けられており、前記供給
源から前記空胴へマイクロ波パワーを伝達させる手段が
設けられており、前記空胴内に放電被包体が位置されて
いることを特徴とするランプ。 - 【請求項１１】 請求項１０において、前記放電被包体
が長尺状の形状を有しており且つ前記空胴内の電界の方
向であって且つ電界が最大となる位置において前記空胴
内に配設されていることを特徴とするランプ。 - 【請求項１２】 請求項１１において、前記供給源から
前記空胴へマイクロ波パワーを伝達させる手段が、導波
管と結合用アイリスとを有しており、且つ前記マイクロ
波パワーの供給源が、前記空胴から離隔した端部におい
て前記導波管に接続されているマグネトロンを有するこ
とを特徴とするランプ。 - 【請求項１３】 請求項１０において、前記モードがＴ
Ｍ110 又はＴＭ210であることを特徴とするランプ。 - 【請求項１４】 マイクロ波駆動型ランプにおいて、Ｔ
ＭNM0 モードにほぼ適合する寸法及び形状とした空胴が
設けられており、Ｍ及びＮはゼロでない整数であり、前
記モードで動作すべく選択された周波数においてのマイ
クロ波パワーを供給する供給源が設けられており、前記
供給源から前記空胴へマイクロ波パワーを伝達する手段
が設けられており、前記空胴内の電界の方向に向けて前
記空胴内に長尺状の放電被包体が設けられていることを
特徴とするランプ。 - 【請求項１５】 請求項１４において、前記空胴内に誘
電体反射器が設けられていることを特徴とするランプ。 - 【請求項１６】 請求項１４において、前記空胴が実質
的に完全にメッシュから構成されていることを特徴とす
るランプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/849,719 US5361274A (en) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | Microwave discharge device with TMNMO cavity |
| US849719 | 1992-03-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0750155A true JPH0750155A (ja) | 1995-02-21 |
| JP3163193B2 JP3163193B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=25306358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05267793A Expired - Fee Related JP3163193B2 (ja) | 1992-03-12 | 1993-03-12 | ▲ｔｍｎｍｏ▼空洞を有するマイクロ波放電装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5361274A (ja) |
| JP (1) | JP3163193B2 (ja) |
| DE (1) | DE4307946A1 (ja) |
Families Citing this family (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19507077C1 (de) * | 1995-01-25 | 1996-04-25 | Fraunhofer Ges Forschung | Plasmareaktor |
| DE19503205C1 (de) * | 1995-02-02 | 1996-07-11 | Muegge Electronic Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Plasma |
| US5594303A (en) * | 1995-03-09 | 1997-01-14 | Fusion Lighting, Inc. | Apparatus for exciting an electrodeless lamp with an increasing electric field intensity |
| US5684821A (en) * | 1995-05-24 | 1997-11-04 | Lite Jet, Inc. | Microwave excited laser with uniform gas discharge |
| US5961851A (en) * | 1996-04-02 | 1999-10-05 | Fusion Systems Corporation | Microwave plasma discharge device |
| US5786667A (en) * | 1996-08-09 | 1998-07-28 | Fusion Lighting, Inc. | Electrodeless lamp using separate microwave energy resonance modes for ignition and operation |
| WO1998018300A2 (en) * | 1996-10-18 | 1998-04-30 | Microwave Technologies Inc. | Rotating-wave electron beam accelerator |
| US5910710A (en) * | 1996-11-22 | 1999-06-08 | Fusion Lighting, Inc. | Method and apparatus for powering an electrodeless lamp with reduced radio frequency interference |
| US6118130A (en) * | 1998-11-18 | 2000-09-12 | Fusion Uv Systems, Inc. | Extendable focal length lamp |
| US6351070B1 (en) | 1999-12-28 | 2002-02-26 | Fusion Uv Systems, Inc. | Lamp with self-constricting plasma light source |
| US6737809B2 (en) | 2000-07-31 | 2004-05-18 | Luxim Corporation | Plasma lamp with dielectric waveguide |
| US7429818B2 (en) * | 2000-07-31 | 2008-09-30 | Luxim Corporation | Plasma lamp with bulb and lamp chamber |
| US6922021B2 (en) * | 2000-07-31 | 2005-07-26 | Luxim Corporation | Microwave energized plasma lamp with solid dielectric waveguide |
| US20040228411A1 (en) * | 2003-05-12 | 2004-11-18 | Sony Corporation | Method and system for decoder clock control in presence of jitter |
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