JPH074383A - 複合分子ポンプ - Google Patents
複合分子ポンプInfo
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- JPH074383A JPH074383A JP17102693A JP17102693A JPH074383A JP H074383 A JPH074383 A JP H074383A JP 17102693 A JP17102693 A JP 17102693A JP 17102693 A JP17102693 A JP 17102693A JP H074383 A JPH074383 A JP H074383A
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- rotor
- composite
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複合分子ポンプの排気速度及び圧縮比を向上
すると共に、小型軽量化を実現する。 【構成】 ターボ分子ポンプ部２のロータ４ａを金属製
とすると共にネジ溝ポンプ部３の円筒ロータ６及び該円
筒ロータ６と前記ターボ分子ポンプ部２のロータ４ａと
を接合する支板５を繊維強化複合材料により形成する。
すると共に、小型軽量化を実現する。 【構成】 ターボ分子ポンプ部２のロータ４ａを金属製
とすると共にネジ溝ポンプ部３の円筒ロータ６及び該円
筒ロータ６と前記ターボ分子ポンプ部２のロータ４ａと
を接合する支板５を繊維強化複合材料により形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は粒子加速器、核融合実験
等の実験研究装置、電子顕微鏡、表面分析計等の分析計
測装置及び半導体製造真空装置等の工業真空装置におい
て、中真空から高真空及び超高真空にわたる圧力範囲で
有用な複合分子ポンプに関する。
等の実験研究装置、電子顕微鏡、表面分析計等の分析計
測装置及び半導体製造真空装置等の工業真空装置におい
て、中真空から高真空及び超高真空にわたる圧力範囲で
有用な複合分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の複合分子ポンプとして、図
１０の如く吸気口ａと排気口ｂとを有する筐体ｃ内に、
該吸気口ａ側からターボ分子ポンプ部ｄ及び円筒形ネジ
溝ポンプ部ｅを順次配設したものが知られている。尚、
ｆはこれらターボ分子ポンプ部ｄ及びネジ溝ポンプ部ｅ
のロータｇの回転軸、ｈは該軸ｆを回転させるモータを
示す。
１０の如く吸気口ａと排気口ｂとを有する筐体ｃ内に、
該吸気口ａ側からターボ分子ポンプ部ｄ及び円筒形ネジ
溝ポンプ部ｅを順次配設したものが知られている。尚、
ｆはこれらターボ分子ポンプ部ｄ及びネジ溝ポンプ部ｅ
のロータｇの回転軸、ｈは該軸ｆを回転させるモータを
示す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の複合分子ポ
ンプによれば、該円筒形ネジ溝ポンプ部ｅのロータ或い
はステータはアルミ合金製であり、複合分子ポンプの回
転数の高速化は、円筒形ネジ溝ポンプ部ｅのロータの強
度で制限され、この部分の直径は小型機の場合はターボ
分子ポンプ部ｄのロータの先端径と同一にできるが、中
型機あるいは大型機では、該ターボ分子ポンプ部ｄのロ
ータの先端径より小さくせざるを得ない欠点を有してい
た。
ンプによれば、該円筒形ネジ溝ポンプ部ｅのロータ或い
はステータはアルミ合金製であり、複合分子ポンプの回
転数の高速化は、円筒形ネジ溝ポンプ部ｅのロータの強
度で制限され、この部分の直径は小型機の場合はターボ
分子ポンプ部ｄのロータの先端径と同一にできるが、中
型機あるいは大型機では、該ターボ分子ポンプ部ｄのロ
ータの先端径より小さくせざるを得ない欠点を有してい
た。
【０００４】又、前記複合分子ポンプのネジ溝ポンプ部
ｅのロータに繊維強化複合材料製の円筒を使用したもの
があるが、この場合には該円筒をターボ分子ポンプ部ｄ
の回転軸に固着されたアルミ合金製の支持円板の外周に
直接嵌入固着されている。
ｅのロータに繊維強化複合材料製の円筒を使用したもの
があるが、この場合には該円筒をターボ分子ポンプ部ｄ
の回転軸に固着されたアルミ合金製の支持円板の外周に
直接嵌入固着されている。
【０００５】従って該複合分子ポンプの回転数は、繊維
強化複合材料製の円筒を支持しているアルミ合金製の支
持円板の許容応力により限定され、密度に比して高い強
靭性を有する繊維強化複合材料を使用した効果を十分に
発揮することができない問題点を有していた。
強化複合材料製の円筒を支持しているアルミ合金製の支
持円板の許容応力により限定され、密度に比して高い強
靭性を有する繊維強化複合材料を使用した効果を十分に
発揮することができない問題点を有していた。
【０００６】又、該アルミ合金製の支持円板と繊維強化
複合材料製の円筒との熱膨張係数の差及び遠心力による
伸びの差により、該支持円板と円筒との接合個所が剥離
する恐れがあり、信頼性に劣る問題点を有していた。
複合材料製の円筒との熱膨張係数の差及び遠心力による
伸びの差により、該支持円板と円筒との接合個所が剥離
する恐れがあり、信頼性に劣る問題点を有していた。
【０００７】本発明は上記の問題点を解決し、ロータの
回転数を高くし、周速を上昇させてポンプの排気速度及
び圧縮比を向上すると共に、小型軽量化を実現した複合
分子ポンプを提供することを目的とする。
回転数を高くし、周速を上昇させてポンプの排気速度及
び圧縮比を向上すると共に、小型軽量化を実現した複合
分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部と
からなる複合分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプ
部のロータを金属製とすると共に、該ネジ溝ポンプ部の
円筒ロータ及び該円筒ロータと前記ターボ分子ポンプ部
のロータとを接合する支板を繊維強化複合材料により形
成したことを特徴とする。
め、本発明は、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部と
からなる複合分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプ
部のロータを金属製とすると共に、該ネジ溝ポンプ部の
円筒ロータ及び該円筒ロータと前記ターボ分子ポンプ部
のロータとを接合する支板を繊維強化複合材料により形
成したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】分子流状態で吸気口に流入した気体は、ターボ
分子ポンプ部の高速回転する多数の動翼及び静翼により
移送圧縮され続いてネジ溝ポンプ部で粘性流状態まで圧
縮され排気口より排気される。
分子ポンプ部の高速回転する多数の動翼及び静翼により
移送圧縮され続いてネジ溝ポンプ部で粘性流状態まで圧
縮され排気口より排気される。
【００１０】そして繊維強化複合材料で製作しロータ径
が大きく、且つ支持部が強靭になったネジ溝ポンプ部の
円筒ロータとすることにより、該ロータの周速が高くで
き排気速度及び圧縮比を向上して到達圧力及び高流量性
能を高め小型軽量化を実現することができる。
が大きく、且つ支持部が強靭になったネジ溝ポンプ部の
円筒ロータとすることにより、該ロータの周速が高くで
き排気速度及び圧縮比を向上して到達圧力及び高流量性
能を高め小型軽量化を実現することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の第１実施例を第１図により説
明する。
明する。
【００１２】１は筐体を示し、該筐体１内には上部にタ
ーボ分子ポンプ部２と、その下方に円筒形のネジ溝ポン
プ部３が設けられており、該ターボ分子ポンプ部２は、
回転軸４に固設されたアルミ合金製のロータ４ａに多数
の動翼２ａと、前記筐体１の内周面に突設された多数の
静翼２ｂとの組合せからなる。
ーボ分子ポンプ部２と、その下方に円筒形のネジ溝ポン
プ部３が設けられており、該ターボ分子ポンプ部２は、
回転軸４に固設されたアルミ合金製のロータ４ａに多数
の動翼２ａと、前記筐体１の内周面に突設された多数の
静翼２ｂとの組合せからなる。
【００１３】又前記ネジ溝ポンプ部３は前記ターボ分子
ポンプ部２のロータ４ａの下端部に圧入接着された炭素
繊維強化プラスチック材（以下ＣＦＲＰとする）からな
る円環状の支板５と、該支板５の外側に例えば接着剤等
を用いて圧入固着されたＣＦＲＰ材からなる円筒ロータ
６と、該円筒ロータ６の外周及び内周と小間隙を有して
対向し、ネジ溝７ａ、７ａが刻設されたステータ７とか
らなり、該ステータ７は前記筐体１の内面に固定される
と共に、透孔７ｂが形成され、該透孔７ｂの下端は排気
口８に連通されている。
ポンプ部２のロータ４ａの下端部に圧入接着された炭素
繊維強化プラスチック材（以下ＣＦＲＰとする）からな
る円環状の支板５と、該支板５の外側に例えば接着剤等
を用いて圧入固着されたＣＦＲＰ材からなる円筒ロータ
６と、該円筒ロータ６の外周及び内周と小間隙を有して
対向し、ネジ溝７ａ、７ａが刻設されたステータ７とか
らなり、該ステータ７は前記筐体１の内面に固定される
と共に、透孔７ｂが形成され、該透孔７ｂの下端は排気
口８に連通されている。
【００１４】又前記回転軸４の中間部にはモータ筐体１
ａ内に設けたインダクションモータ等の高周波モータ９
のロータ９ａが固定されると共に、該軸４は磁気軸受で
支承され上部及び下部に保護軸受１０、１０が設けられ
ている。
ａ内に設けたインダクションモータ等の高周波モータ９
のロータ９ａが固定されると共に、該軸４は磁気軸受で
支承され上部及び下部に保護軸受１０、１０が設けられ
ている。
【００１５】尚、１１は吸気口を示す。又、磁気軸受を
用いる方が高速化に対して有利であるが、球軸受により
軸４を支承してもかまわない。
用いる方が高速化に対して有利であるが、球軸受により
軸４を支承してもかまわない。
【００１６】次に上記実施例の作動を説明する。
【００１７】高周波モータ９の駆動により吸気口１１か
ら流入する気体は分子流あるいはそれに近い中間流状態
にあり、その気体分子はターボ分子ポンプ部２の回転す
る動翼２ａと筐体１から突設した静翼２ｂとの作用によ
り、下方向に運動量が与えられ、該動翼２ａの高速回転
と共に圧縮移動する。
ら流入する気体は分子流あるいはそれに近い中間流状態
にあり、その気体分子はターボ分子ポンプ部２の回転す
る動翼２ａと筐体１から突設した静翼２ｂとの作用によ
り、下方向に運動量が与えられ、該動翼２ａの高速回転
と共に圧縮移動する。
【００１８】圧縮移動された気体はネジ溝ポンプ部３に
おいて、回転する円筒ロータ６と、小間隙を有して形成
されたステータ７に沿って流れるに従って深さが浅くな
るネジ溝７ａ、７ａとに導かれて圧縮され、透孔７ｂを
経て排気口８から排出される。
おいて、回転する円筒ロータ６と、小間隙を有して形成
されたステータ７に沿って流れるに従って深さが浅くな
るネジ溝７ａ、７ａとに導かれて圧縮され、透孔７ｂを
経て排気口８から排出される。
【００１９】このとき該円筒ロータ６が同材質のＣＦＲ
Ｐからなる支板５により強靭に支持され、且つ該ロータ
６の径が大きく、且つＣＦＲＰにより形成されているた
め、回転数を高くして高周速を実現し、排気速度及び圧
縮比を向上することができ複合分子ポンプを小型軽量に
形成できる。
Ｐからなる支板５により強靭に支持され、且つ該ロータ
６の径が大きく、且つＣＦＲＰにより形成されているた
め、回転数を高くして高周速を実現し、排気速度及び圧
縮比を向上することができ複合分子ポンプを小型軽量に
形成できる。
【００２０】又熱膨張や遠心力による該円筒ロータ６と
支板５との剥離等も抑止される。
支板５との剥離等も抑止される。
【００２１】図２は前記支板５におけるＣＦＲＰの繊維
配向の一例を示し、繊維を一方向に配列したシート或い
は織布を用いてこれを構成する繊維が内周方向を等分割
するようにして積層し擬似等方に形成したものであり、
半径方向に対して強い靭性を発揮する特徴を有する。
配向の一例を示し、繊維を一方向に配列したシート或い
は織布を用いてこれを構成する繊維が内周方向を等分割
するようにして積層し擬似等方に形成したものであり、
半径方向に対して強い靭性を発揮する特徴を有する。
【００２２】又図３はＣＦＲＰの繊維配向を周方向と半
径方向とに交叉状に形成したものであり、半径方向及び
円周方向に対して強い靭性を発揮する特徴を有する。
径方向とに交叉状に形成したものであり、半径方向及び
円周方向に対して強い靭性を発揮する特徴を有する。
【００２３】該支板は平板状を基本とするが、例えば円
筒ロータとの変形追従性を目的とした円錐状、或いは固
着面積を大きくすることを目的とした支板の内外側に立
上り側壁を設けた形状等も有効である。
筒ロータとの変形追従性を目的とした円錐状、或いは固
着面積を大きくすることを目的とした支板の内外側に立
上り側壁を設けた形状等も有効である。
【００２４】図４は本発明の第２実施例を示し、該実施
例においては前記ネジ溝ポンプ部３に第１円筒ロータ１
２ａと、第２円筒ロータ１２ｂとをＣＦＲＰにより形成
すると共に、それら円筒ロータ１２ａ、１２ｂをそれぞ
れＣＦＲＰからなる支板１３ａ、１３ｂにより前記ター
ボ分子ポンプ部２のロータ４ａに嵌入固着したものであ
り、該第１及び第２円筒ロータ１２ａ、１２ｂによりネ
ジ溝の有効長が増大され、同一外形寸法の複合分子ポン
プにおける圧縮性能が大巾に向上できる特徴を有する。
例においては前記ネジ溝ポンプ部３に第１円筒ロータ１
２ａと、第２円筒ロータ１２ｂとをＣＦＲＰにより形成
すると共に、それら円筒ロータ１２ａ、１２ｂをそれぞ
れＣＦＲＰからなる支板１３ａ、１３ｂにより前記ター
ボ分子ポンプ部２のロータ４ａに嵌入固着したものであ
り、該第１及び第２円筒ロータ１２ａ、１２ｂによりネ
ジ溝の有効長が増大され、同一外形寸法の複合分子ポン
プにおける圧縮性能が大巾に向上できる特徴を有する。
【００２５】図５及び図６は本発明の第３実施例を示
し、該実施例においては前記ネジ溝ポンプ部３の円筒ロ
ータ１４の下端部の外周或いは内周に炭素繊維を円周方
向に巻いたＣＦＲＰの補強円筒１５を圧入接着したもの
であり、該補強円筒１５が円周方向に巻かれた炭素繊維
により、周方向を強化したものとなり、該補強円筒１５
の嵌入により前記円筒ロータ１４の真円度が向上し、高
速回転化及び対向するステータとの隙間の極小化を実現
することができる特徴を有する。
し、該実施例においては前記ネジ溝ポンプ部３の円筒ロ
ータ１４の下端部の外周或いは内周に炭素繊維を円周方
向に巻いたＣＦＲＰの補強円筒１５を圧入接着したもの
であり、該補強円筒１５が円周方向に巻かれた炭素繊維
により、周方向を強化したものとなり、該補強円筒１５
の嵌入により前記円筒ロータ１４の真円度が向上し、高
速回転化及び対向するステータとの隙間の極小化を実現
することができる特徴を有する。
【００２６】尚、本発明の実施例においては、ネジ溝ポ
ンプ部の円筒ロータと支板とをそれぞれ別個に形成した
が、該円筒ロータと支板とを一体化することもできる。
ンプ部の円筒ロータと支板とをそれぞれ別個に形成した
が、該円筒ロータと支板とを一体化することもできる。
【００２７】ここで繊維強化複合材料のうちＣＦＲＰ
は、後述するように比強度、比弾性にすぐれた特性を有
するため好適な材料である。以下ＣＦＲＰを例にその効
果を詳述する。
は、後述するように比強度、比弾性にすぐれた特性を有
するため好適な材料である。以下ＣＦＲＰを例にその効
果を詳述する。
【００２８】ＣＦＲＰは金属材料と異なり極端な異方性
を示す材料で、例えば強度、弾性率（ポアソン比）は図
７、図８に示す如く、繊維方向と繊維直角方向で大きな
開きがあるのが特徴である。
を示す材料で、例えば強度、弾性率（ポアソン比）は図
７、図８に示す如く、繊維方向と繊維直角方向で大きな
開きがあるのが特徴である。
【００２９】回転体としては当然比強度：γB ［材料強
度を密度で除した値］及び比弾性率：γE ［材料弾性率
を密度で除した値］が高ければ高い程有利で、高速回転
も可能となる。ＣＦＲＰ材の密度は約１．６g/cm3 であ
り、繊維方向を円周方向とすれば比弾性率は鉄、アルミ
合金と比べ約４．４倍である。
度を密度で除した値］及び比弾性率：γE ［材料弾性率
を密度で除した値］が高ければ高い程有利で、高速回転
も可能となる。ＣＦＲＰ材の密度は約１．６g/cm3 であ
り、繊維方向を円周方向とすれば比弾性率は鉄、アルミ
合金と比べ約４．４倍である。
【００３０】したがって回転体としての用途の場合、繊
維方向を円周方向に配列することが有利となる。
維方向を円周方向に配列することが有利となる。
【００３１】今、ＣＦＲＰの熱膨張係数αも図９に示す
如く異方性を示し、円周方向のＣＦＲＰの熱膨張係数α
は≒０となる。
如く異方性を示し、円周方向のＣＦＲＰの熱膨張係数α
は≒０となる。
【００３２】金属材料として軽量化の見地からロータに
アルミ合金を選定した場合、アルミ合金の熱膨張係数は
２３．８×１０-6／℃程度であり、アルミ合金ロータと
ＣＦＲＰ支板を嵌合する際には回転時の遠心力による各
部位の変位及び使用温度条件を考慮する必要がある。
アルミ合金を選定した場合、アルミ合金の熱膨張係数は
２３．８×１０-6／℃程度であり、アルミ合金ロータと
ＣＦＲＰ支板を嵌合する際には回転時の遠心力による各
部位の変位及び使用温度条件を考慮する必要がある。
【００３３】複合分子ポンプ使用時は百数十度となるこ
とが知られており、両者の隙間が最も小さくなるのは、
使用時（回転応力が負荷され、かつ高温となった状態）
であり、両者の隙間が最も大きくなるのは、常温状態で
定格回転数時（回転応力のみが負荷された状態）又は搬
送時（温度のみが低くなった状態）である。
とが知られており、両者の隙間が最も小さくなるのは、
使用時（回転応力が負荷され、かつ高温となった状態）
であり、両者の隙間が最も大きくなるのは、常温状態で
定格回転数時（回転応力のみが負荷された状態）又は搬
送時（温度のみが低くなった状態）である。
【００３４】上記、両者間の最大隙間δmax と最小隙間
δmin に対し、組立時の隙間δは
δmin に対し、組立時の隙間δは
【００３５】δmin ∠δ∠δmax
【００３６】であり、δmax を零よりも小さくすれば、
如何なる状態でも嵌合面に隙間は生じないため、製品の
信頼性を考えると設計の必須条件であり、かつ、嵌合面
間を摩擦力だけではなく両者に接着剤を塗布し、これを
圧入接着することにより更に信頼性の高い製品が提供で
きる。
如何なる状態でも嵌合面に隙間は生じないため、製品の
信頼性を考えると設計の必須条件であり、かつ、嵌合面
間を摩擦力だけではなく両者に接着剤を塗布し、これを
圧入接着することにより更に信頼性の高い製品が提供で
きる。
【００３７】設計によってはδmin が相当に大きな値と
なることがあり、支板は圧縮力に耐えうる構造として円
周方向に均質な物性を有し、かつ、半径方向の強度も大
きい、図３に示す円周方向及び半径方向に糸を配列した
織組織（円形クロス）或いは、図２に示す直交クロスを
円周に対し一定角度で積層した擬似等方性組織が好適で
ある。
なることがあり、支板は圧縮力に耐えうる構造として円
周方向に均質な物性を有し、かつ、半径方向の強度も大
きい、図３に示す円周方向及び半径方向に糸を配列した
織組織（円形クロス）或いは、図２に示す直交クロスを
円周に対し一定角度で積層した擬似等方性組織が好適で
ある。
【００３８】また、円筒材料としても円周方向だけでな
く、軸方向にも力を分担するように繊維を配向させ複合
積層とすることが、支板により円筒に生ずる曲げ応力の
対策として有効である。
く、軸方向にも力を分担するように繊維を配向させ複合
積層とすることが、支板により円筒に生ずる曲げ応力の
対策として有効である。
【００３９】この軸方向に力を分担する繊維配向角とし
ては、軸方向強度発現性から軸方向に対し４５°以下と
することが望ましい。
ては、軸方向強度発現性から軸方向に対し４５°以下と
することが望ましい。
【００４０】こうすることにより、ＣＦＲＰとアルミ合
金部の軸方向のポアソン比も更に近づけられ、ポアソン
比の差による回転時の応力低減も図れ、更に信頼性が高
められる。
金部の軸方向のポアソン比も更に近づけられ、ポアソン
比の差による回転時の応力低減も図れ、更に信頼性が高
められる。
【００４１】そこで図１のターボ分子ポンプ部２をアル
ミ合金製とし、支板部５を擬似等方性ＣＦＲＰとし、ネ
ジ溝ポンプ部３を９０°巻（円周巻）と３０°巻の組合
せ円筒とした場合について検討すると、各使用材料の基
本物性値は表１に示す通り、ポアソン比はほぼ合致し、
かつ嵌合部の圧入代は表２に示すそれぞれの変位から、
アルミ合金−支板間で約０．１mm、支板−円筒間ではほ
ぼ０mmとすることにより、いずれの場合でも締まり勝手
の信頼性が高い構造が提供可能で、本ロータを組込んだ
複合ターボ分子ポンプは、到達真空度１０-11 Torrをク
リヤーし性能上問題がないことを確認した。
ミ合金製とし、支板部５を擬似等方性ＣＦＲＰとし、ネ
ジ溝ポンプ部３を９０°巻（円周巻）と３０°巻の組合
せ円筒とした場合について検討すると、各使用材料の基
本物性値は表１に示す通り、ポアソン比はほぼ合致し、
かつ嵌合部の圧入代は表２に示すそれぞれの変位から、
アルミ合金−支板間で約０．１mm、支板−円筒間ではほ
ぼ０mmとすることにより、いずれの場合でも締まり勝手
の信頼性が高い構造が提供可能で、本ロータを組込んだ
複合ターボ分子ポンプは、到達真空度１０-11 Torrをク
リヤーし性能上問題がないことを確認した。
【００４２】
【表１】
【００４３】
【表２】
【００４４】
【発明の効果】上記のように本発明によればターボ分子
ポンプ部とネジ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプに
おいて、該ターボ分子ポンプ部のロータを金属製とする
と共に、ネジ溝ポンプ部の円筒ロータ及び両ポンプ部の
ロータ間を接合する支板をＣＦＲＰにより形成したの
で、該円筒ロータの回転数を高くし周速を上昇させてポ
ンプの排気速度及び圧縮比を向上すると共に、小型軽量
の複合分子ポンプを得ることができる効果を有する。
ポンプ部とネジ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプに
おいて、該ターボ分子ポンプ部のロータを金属製とする
と共に、ネジ溝ポンプ部の円筒ロータ及び両ポンプ部の
ロータ間を接合する支板をＣＦＲＰにより形成したの
で、該円筒ロータの回転数を高くし周速を上昇させてポ
ンプの排気速度及び圧縮比を向上すると共に、小型軽量
の複合分子ポンプを得ることができる効果を有する。
【図１】本発明の第１実施例の縦断面図である。
【図２】支板のＣＦＲＰの配向を示す平面図である。
【図３】支板のＣＦＲＰの配向を示す他の平面図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２実施例の一部截断面図である。
【図５】本発明の第３実施例の要部の拡大断面図であ
る。
る。
【図６】図５の補強円筒の正面図である。
【図７】繊維配向角度と強度との相関関係を示すグラフ
である。
である。
【図８】繊維配向角度と縦弾性率、ポアソン比との相関
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図９】繊維配向角度と熱膨張係数との相関関係を示す
グラフである。
グラフである。
【図１０】従来の複合分子ポンプの縦断面図である。
２ ターボ分子ポンプ部 ３ ネジ溝ポンプ部 4a ロータ ５ 支板 ６ 円筒ロータ 15 補強円筒
フロントページの続き (72)発明者 別所 久美 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 日 本複合材料株式会社内 (72)発明者 三上 正美 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 日 本複合材料株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部と
からなる複合分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプ
部のロータを金属製とすると共に、該ネジ溝ポンプ部の
円筒ロータ及び該円筒ロータと前記ターボ分子ポンプ部
のロータとを接合する支板を繊維強化複合材料により形
成したことを特徴とする複合分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記支板は円環状に形成され、該支板の
内側に前記ターボ分子ポンプ部のロータの下端部が圧入
接着されていると共に外側に前記ネジ溝ポンプ部の円筒
ロータの上端部が圧入接着されていることを特徴とする
請求項１に記載の複合分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記支板の繊維の配向を擬似等方配向又
は円形クロス配向としたことを特徴とする請求項１に記
載の複合分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記円筒ロータが、円周方向に配向した
繊維からなる層と、繊維の配向角が軸方向に対して４５
°以内とした繊維からなる層との、複合積層であること
を特徴とする請求項１に記載の複合分子ポンプ。 - 【請求項５】 前記ネジ溝ポンプ部の円筒ロータを二重
の円筒に形成し、該円筒をそれぞれ別個の支板により形
成したことを特徴とする請求項１に記載の複合分子ポン
プ。 - 【請求項６】 前記ネジ溝ポンプ部の円筒ロータの下端
部の内周又は外周に繊維が円周方向に配向した繊維強化
複合材料の補強円筒を圧入接着したことを特徴とする請
求項１に記載の複合分子ポンプ。 - 【請求項７】 繊維強化複合材料が炭素繊維強化プラス
チックスであることを特徴とする請求項１〜６に記載の
複合分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05171026A JP3098139B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 複合分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05171026A JP3098139B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 複合分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH074383A true JPH074383A (ja) | 1995-01-10 |
| JP3098139B2 JP3098139B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=15915715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05171026A Expired - Fee Related JP3098139B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 複合分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3098139B2 (ja) |
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| JP2012145043A (ja) * | 2011-01-12 | 2012-08-02 | Shimadzu Corp | 高真空ポンプ |
| WO2012172851A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプとそのロータ |
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| WO2014021160A1 (ja) | 2012-08-01 | 2014-02-06 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ用部品および真空ポンプ |
| JP2014134138A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| US20150063993A1 (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-05 | Shimadzu Corporation | Turbo-molecular pump |
| JPWO2013081019A1 (ja) * | 2011-11-30 | 2015-04-27 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| EP2775148A4 (en) * | 2011-10-31 | 2015-06-03 | Edwards Japan Ltd | STATIONARY ELEMENT AND VACUUM PUMP |
| EP2722528B1 (en) | 2011-06-16 | 2018-05-30 | Edwards Japan Limited | Rotor assembly and vacuum pump there with |
| WO2022176745A1 (ja) * | 2021-02-19 | 2022-08-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ用回転体 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0618061U (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-08 | エヌティエヌ株式会社 | 特殊車輌用サスペンションシート |
| US9759221B2 (en) | 2010-06-24 | 2017-09-12 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| JP6136416B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2017-05-31 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
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1993
- 1993-06-17 JP JP05171026A patent/JP3098139B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| EP2589814B1 (en) | 2010-07-02 | 2018-12-26 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| CN102933853B (zh) * | 2010-07-02 | 2015-11-25 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵 |
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| EP2722528B1 (en) | 2011-06-16 | 2018-05-30 | Edwards Japan Limited | Rotor assembly and vacuum pump there with |
| WO2012172851A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプとそのロータ |
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| US10190597B2 (en) | 2011-06-17 | 2019-01-29 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump and rotor thereof |
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| US9759233B2 (en) | 2011-10-31 | 2017-09-12 | Edwards Japan Limited | Stator member and vacuum pump |
| EP2775148A4 (en) * | 2011-10-31 | 2015-06-03 | Edwards Japan Ltd | STATIONARY ELEMENT AND VACUUM PUMP |
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| TWI586893B (zh) * | 2011-11-30 | 2017-06-11 | Edwards Japan Ltd | Vacuum pump |
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| US9835170B2 (en) | 2011-11-30 | 2017-12-05 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump with fiber-reinforced resin cylinder |
| WO2014021160A1 (ja) | 2012-08-01 | 2014-02-06 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ用部品および真空ポンプ |
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| WO2022176745A1 (ja) * | 2021-02-19 | 2022-08-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ用回転体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3098139B2 (ja) | 2000-10-16 |
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