JPH0743184A - 質量流量計 - Google Patents
質量流量計Info
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- JPH0743184A JPH0743184A JP5203563A JP20356393A JPH0743184A JP H0743184 A JPH0743184 A JP H0743184A JP 5203563 A JP5203563 A JP 5203563A JP 20356393 A JP20356393 A JP 20356393A JP H0743184 A JPH0743184 A JP H0743184A
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- fluid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定流体の温度変化の影響を受けず、流体の
流量変化に対する応答速度が早く、しかも微小流量の測
定が可能な質量流量計を提供する。 【構成】被測定流体を流過させる導管１の外側に流体の
温度を検出する２つの温度検出素子３、４を設け、また
同素子よりも下流側の導管外側に、温度に応じて抵抗値
が変化する自己過熱型の２つの抵抗体５、６を配設し、
同抵抗体と前記温度検出素子とを１つずつ対にし、この
対を、温度検出素子と抵抗体との間の温度差が一定とな
るよう抵抗体に印加する電圧を制御する２つの定温度差
制御回路７、８にそれぞれ接続し、各定温度差制御回路
がそれぞれ抵抗体に印加する電圧の差を求める減算回路
１１に各定温度差制御回路を接続した。
流量変化に対する応答速度が早く、しかも微小流量の測
定が可能な質量流量計を提供する。 【構成】被測定流体を流過させる導管１の外側に流体の
温度を検出する２つの温度検出素子３、４を設け、また
同素子よりも下流側の導管外側に、温度に応じて抵抗値
が変化する自己過熱型の２つの抵抗体５、６を配設し、
同抵抗体と前記温度検出素子とを１つずつ対にし、この
対を、温度検出素子と抵抗体との間の温度差が一定とな
るよう抵抗体に印加する電圧を制御する２つの定温度差
制御回路７、８にそれぞれ接続し、各定温度差制御回路
がそれぞれ抵抗体に印加する電圧の差を求める減算回路
１１に各定温度差制御回路を接続した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は導管中を流過する流体の
質量流量を測定する質量流量計に関する。
質量流量を測定する質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に示す質量流量計は被測定流体が流
れる導管４１の外側に１対の自己過熱型の電気抵抗体４
２、４３を巻き、この抵抗体４２、４３をブリッヂ回路
の１辺としてブリッヂ回路に定電流源４４から一定電流
を供給し、ブリッヂ回路に印加される電圧の電位差から
質量流量を測定するものとしてある。
れる導管４１の外側に１対の自己過熱型の電気抵抗体４
２、４３を巻き、この抵抗体４２、４３をブリッヂ回路
の１辺としてブリッヂ回路に定電流源４４から一定電流
を供給し、ブリッヂ回路に印加される電圧の電位差から
質量流量を測定するものとしてある。
【０００３】図５に示す質量流量計は被測定流体が流過
する導管５１の内部に、流体の温度を検出する温度検出
素子５２と自己過熱型の電気抵抗体５３を設け、定温度
差制御回路５４により前記温度検出素子５２と抵抗体５
３の温度差を一定に保ち、抵抗体５３に供給されるエネ
ルギーから導管内を流過する流体の質量流量を測定する
ものとしてある。
する導管５１の内部に、流体の温度を検出する温度検出
素子５２と自己過熱型の電気抵抗体５３を設け、定温度
差制御回路５４により前記温度検出素子５２と抵抗体５
３の温度差を一定に保ち、抵抗体５３に供給されるエネ
ルギーから導管内を流過する流体の質量流量を測定する
ものとしてある。
【０００４】ところが、前者は導管４１および抵抗体４
２、４３の温度変化を利用して流量の測定を行うので、
応答速度を上げるためには導管４１の径を小なるものと
し、かつ抵抗体４２、４３を小さくする必要がある。し
かし、これには限界があり、高速応答が必要な用途には
適さない。
２、４３の温度変化を利用して流量の測定を行うので、
応答速度を上げるためには導管４１の径を小なるものと
し、かつ抵抗体４２、４３を小さくする必要がある。し
かし、これには限界があり、高速応答が必要な用途には
適さない。
【０００５】また、後者は導管５１内に温度検出素子５
２と抵抗体５３を設けているので、導管５１の径を小な
るものとするには限界があり、微小流量の測定には適さ
ない。
２と抵抗体５３を設けているので、導管５１の径を小な
るものとするには限界があり、微小流量の測定には適さ
ない。
【０００６】
【発明が解決しょうとする課題】本発明は被測定流体の
温度変化の影響を受けず、流体の流量変化に対する応答
速度が早く、しかも微小流量の測定が可能な質量流量計
を提供することを目的としている。
温度変化の影響を受けず、流体の流量変化に対する応答
速度が早く、しかも微小流量の測定が可能な質量流量計
を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の質量流量計は被測定流体を流過させる導管
の外側に流体の温度を検出する２つの温度検出素子を設
け、また同素子よりも下流側の導管外側に、温度に応じ
て抵抗値が変化する自己過熱型の２つの抵抗体を配設
し、同抵抗体と前記温度検出素子とを１つずつ対にし、
この対を、温度検出素子と抵抗体との間の温度差が一定
となるよう抵抗体に印加する電圧を制御する２つの定温
度差制御回路にそれぞれ接続し、各定温度差制御回路が
それぞれ抵抗体に印加する電圧の差を求める減算回路に
各定温度差制御回路を接続したものとしてある。
に、本発明の質量流量計は被測定流体を流過させる導管
の外側に流体の温度を検出する２つの温度検出素子を設
け、また同素子よりも下流側の導管外側に、温度に応じ
て抵抗値が変化する自己過熱型の２つの抵抗体を配設
し、同抵抗体と前記温度検出素子とを１つずつ対にし、
この対を、温度検出素子と抵抗体との間の温度差が一定
となるよう抵抗体に印加する電圧を制御する２つの定温
度差制御回路にそれぞれ接続し、各定温度差制御回路が
それぞれ抵抗体に印加する電圧の差を求める減算回路に
各定温度差制御回路を接続したものとしてある。
【０００８】
【作用】導管内における流体の温度が２つの温度検出素
子によって検出され、２つの定温度差制御回路がそれぞ
れ抵抗体に印加する電圧を制御することにより、前記温
度検出素子と抵抗体との温度差を一定に保つ。
子によって検出され、２つの定温度差制御回路がそれぞ
れ抵抗体に印加する電圧を制御することにより、前記温
度検出素子と抵抗体との温度差を一定に保つ。
【０００９】被測定流体が導管内を流れると、導管の外
側に設けられた２つの抵抗体のうち、上流側の抵抗体が
流体に熱を奪われ、この抵抗体が接続された定温度差制
御回路は抵抗体に印加する電圧を大ならしめることによ
り、抵抗体の温度を維持するように制御する。
側に設けられた２つの抵抗体のうち、上流側の抵抗体が
流体に熱を奪われ、この抵抗体が接続された定温度差制
御回路は抵抗体に印加する電圧を大ならしめることによ
り、抵抗体の温度を維持するように制御する。
【００１０】一方、下流側の抵抗体には上流側の抵抗体
で暖められた流体が流れてくるので、上流側の抵抗体に
比して温度低下が少なく、定温度差制御回路が下流側の
抵抗体に印加する電圧は上流側のものに比して小なるも
のとされる。
で暖められた流体が流れてくるので、上流側の抵抗体に
比して温度低下が少なく、定温度差制御回路が下流側の
抵抗体に印加する電圧は上流側のものに比して小なるも
のとされる。
【００１１】２つの温度差制御回路が各抵抗体に印加す
る電圧は、減算回路において減算され、この差から被測
定流体の質量流量が検出される。
る電圧は、減算回路において減算され、この差から被測
定流体の質量流量が検出される。
【００１２】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。図１は本発明に係る質量流量計の第１実施例
を示す回路図である。被測定流体を流す導管１には、導
管１を介して流体の温度を検出するセンサ部２を設けて
ある。このセンサ部における導管１には、導管上流側の
温度を検出する温度検出素子３、４を設けてあり、また
導管の下流側には温度係数の大なる自己過熱型の２つの
電気抵抗体５、６を流体の流れ方向に沿って前後に巻き
付けてある。
説明する。図１は本発明に係る質量流量計の第１実施例
を示す回路図である。被測定流体を流す導管１には、導
管１を介して流体の温度を検出するセンサ部２を設けて
ある。このセンサ部における導管１には、導管上流側の
温度を検出する温度検出素子３、４を設けてあり、また
導管の下流側には温度係数の大なる自己過熱型の２つの
電気抵抗体５、６を流体の流れ方向に沿って前後に巻き
付けてある。
【００１３】なお、２つの温度検出素子３、４には電気
抵抗値、温度係数ともに同一のものを使用し、また両者
は検出される温度が同じになるよう、互いに近接させて
設けるようにする。
抵抗値、温度係数ともに同一のものを使用し、また両者
は検出される温度が同じになるよう、互いに近接させて
設けるようにする。
【００１４】温度検出素子３と抵抗体５および温度検出
素子４と抵抗体６はそれぞれ定温度差制御回路７、８に
接続してある。
素子４と抵抗体６はそれぞれ定温度差制御回路７、８に
接続してある。
【００１５】定温度差制御回路７は温度検出素子３、抵
抗体５および抵抗Ｒ1 、Ｒ2 よりなるブリッヂ回路と制
御回路９とで構成され、温度検出素子３と抵抗体５の抵
抗値の比を一定に保つことにより両者間の温度差を一定
に制御するものとしてあり、同じく、定温度差制御回路
８は温度検出素子４、抵抗体６および抵抗Ｒ3 、Ｒ4よ
りなるブリッヂ回路と制御回路１０とで構成され、温度
検出素子４と抵抗体６の抵抗値の比を一定に保つことに
より両者間の温度差を一定に制御するものとしてある。
なお、抵抗Ｒ1 とＲ2 およびＲ3 とＲ4 にはそれぞれ同
一抵抗値のものを使用する。
抗体５および抵抗Ｒ1 、Ｒ2 よりなるブリッヂ回路と制
御回路９とで構成され、温度検出素子３と抵抗体５の抵
抗値の比を一定に保つことにより両者間の温度差を一定
に制御するものとしてあり、同じく、定温度差制御回路
８は温度検出素子４、抵抗体６および抵抗Ｒ3 、Ｒ4よ
りなるブリッヂ回路と制御回路１０とで構成され、温度
検出素子４と抵抗体６の抵抗値の比を一定に保つことに
より両者間の温度差を一定に制御するものとしてある。
なお、抵抗Ｒ1 とＲ2 およびＲ3 とＲ4 にはそれぞれ同
一抵抗値のものを使用する。
【００１６】定温度差制御回路７、８の出力端はともに
減算回路１１に接続してあって、この減算回路１１は定
温度差制御回路７、８がそれぞれ抵抗体５、６に印加し
た電圧の差を各定温度差制御回路のブリッヂに印加され
る電圧の差から求めるものとしてある。
減算回路１１に接続してあって、この減算回路１１は定
温度差制御回路７、８がそれぞれ抵抗体５、６に印加し
た電圧の差を各定温度差制御回路のブリッヂに印加され
る電圧の差から求めるものとしてある。
【００１７】このように構成した質量流量計において
は、温度検出素子３、４と抵抗体５、６とがそれぞれ一
定の温度差になるよう定温度差制御回路７、８から抵抗
体５、６に与えられるエネルギが制御され、定温度差制
御回路７のブリッヂに印加される電圧Ｅ1 が抵抗体５に
与えられるエネルギの関数として、同じく定温度差制御
回路８のブリッヂに印加される電圧Ｅ2 が抵抗体６に与
えられるエネルギの関数として、ともに減算回路１１へ
出力され、減算回路１１においては前記電圧Ｅ1からＥ2
が減算され、電圧Ｅ0 として出力される。導管１を流
れる比測定流体の質量流量はこの出力電圧Ｅ0 の関数と
して求められる。
は、温度検出素子３、４と抵抗体５、６とがそれぞれ一
定の温度差になるよう定温度差制御回路７、８から抵抗
体５、６に与えられるエネルギが制御され、定温度差制
御回路７のブリッヂに印加される電圧Ｅ1 が抵抗体５に
与えられるエネルギの関数として、同じく定温度差制御
回路８のブリッヂに印加される電圧Ｅ2 が抵抗体６に与
えられるエネルギの関数として、ともに減算回路１１へ
出力され、減算回路１１においては前記電圧Ｅ1からＥ2
が減算され、電圧Ｅ0 として出力される。導管１を流
れる比測定流体の質量流量はこの出力電圧Ｅ0 の関数と
して求められる。
【００１８】たとえば、導管１を流れる被測定流体の流
量が０の場合、抵抗体５と６は同じ温度を保持するよう
に制御され、ために定温度差制御回路７、８がそれぞれ
のブリッヂに印加される電圧Ｅ1 とＥ2 は等しく、減算
回路１１からの出力電圧Ｅ0は０となる。
量が０の場合、抵抗体５と６は同じ温度を保持するよう
に制御され、ために定温度差制御回路７、８がそれぞれ
のブリッヂに印加される電圧Ｅ1 とＥ2 は等しく、減算
回路１１からの出力電圧Ｅ0は０となる。
【００１９】被測定流体が導管１を流れると、上流側の
抵抗体５は流体によって冷やされ、ために抵抗体５の抵
抗値は小さくなろうとするが、定温度差制御回路７はブ
リッヂに印加される電圧Ｅ1 を大ならしめることによ
り、温度検出素子３と抵抗体５の温度差を一定にするよ
う制御する。
抵抗体５は流体によって冷やされ、ために抵抗体５の抵
抗値は小さくなろうとするが、定温度差制御回路７はブ
リッヂに印加される電圧Ｅ1 を大ならしめることによ
り、温度検出素子３と抵抗体５の温度差を一定にするよ
う制御する。
【００２０】一方、下流側の抵抗体６には上流側の抵抗
体５によって暖められた流体が流れて来るので、定温度
差制御回路８はブリッヂに印加される電圧Ｅ2 を小なら
しめて、温度検出素子４と抵抗体６の温度差を一定にす
るよう制御する。
体５によって暖められた流体が流れて来るので、定温度
差制御回路８はブリッヂに印加される電圧Ｅ2 を小なら
しめて、温度検出素子４と抵抗体６の温度差を一定にす
るよう制御する。
【００２１】すなわち、被測定流体の流量が大きくなる
と、定温度差制御回路７がブリッヂに印加する電圧Ｅ1
が大きくなる反面、低温度差制御回路８がブリッヂに印
加する電圧Ｅ2 は小さくなって両者の差が開き、減算回
路１１の出力Ｅ0 は大なるものとなる。
と、定温度差制御回路７がブリッヂに印加する電圧Ｅ1
が大きくなる反面、低温度差制御回路８がブリッヂに印
加する電圧Ｅ2 は小さくなって両者の差が開き、減算回
路１１の出力Ｅ0 は大なるものとなる。
【００２２】また、被測定流体の温度が高くなった場合
には、温度検出素子３の温度が上昇し、その抵抗値は大
きくなる。これにより、定温度差制御回路７の制御回路
９は抵抗体５に印加する電圧を増加させ、抵抗体５の抵
抗値が大きい状態、すなわち抵抗体５の温度が高くなっ
た状態で一定となるよう制御し、定温度差制御回路７が
ブリッヂに印加する電圧Ｅ1 は流体の温度上昇前に比し
て大なるものとされる。
には、温度検出素子３の温度が上昇し、その抵抗値は大
きくなる。これにより、定温度差制御回路７の制御回路
９は抵抗体５に印加する電圧を増加させ、抵抗体５の抵
抗値が大きい状態、すなわち抵抗体５の温度が高くなっ
た状態で一定となるよう制御し、定温度差制御回路７が
ブリッヂに印加する電圧Ｅ1 は流体の温度上昇前に比し
て大なるものとされる。
【００２３】同じく、定温度差制御回路８においても、
被測定流体の温度が高くなると抵抗体６の温度は高い値
で一定に制御され、定温度差制御回路８がブリッヂに印
加する電圧Ｅ2 は流体の温度上昇前に比して大なるもの
とされる。
被測定流体の温度が高くなると抵抗体６の温度は高い値
で一定に制御され、定温度差制御回路８がブリッヂに印
加する電圧Ｅ2 は流体の温度上昇前に比して大なるもの
とされる。
【００２４】したがって、被測定流体の温度が高くなっ
ても温度検出素子３、４と抵抗体５、６の温度差は一定
に維持され、電圧Ｅ1 とＥ2 の差電圧たる出力Ｅ0 は変
動しない。また同様に、被測定流体の温度が低くなった
場合は電圧Ｅ1 とＥ2 がともに小なるものとなり、この
場合であっても出力Ｅ0 は変動しない。これにより、被
測定流体の温度変化の影響を受けない正確な質量流量の
測定がなされる。
ても温度検出素子３、４と抵抗体５、６の温度差は一定
に維持され、電圧Ｅ1 とＥ2 の差電圧たる出力Ｅ0 は変
動しない。また同様に、被測定流体の温度が低くなった
場合は電圧Ｅ1 とＥ2 がともに小なるものとなり、この
場合であっても出力Ｅ0 は変動しない。これにより、被
測定流体の温度変化の影響を受けない正確な質量流量の
測定がなされる。
【００２５】図２は他の実施例を示すもので、温度検出
素子３、４の温度係数と抵抗体５、６の温度係数とが異
なる場合であっても正確な流量測定ができるようにした
ものである。
素子３、４の温度係数と抵抗体５、６の温度係数とが異
なる場合であっても正確な流量測定ができるようにした
ものである。
【００２６】この実施例に係る質量流量計は、定温度差
制御回路１２の抵抗Ｒ2 と温度検出素子３の結合点Ｐ1
と制御回路９との間に増幅器１４を設け、同じく定温度
差制御回路１３の抵抗Ｒ4 と温度検出素子４の結合点Ｐ
2 と制御回路１０との間に増幅器１５を設けたものとし
てある。なお、増幅器１４と１５は同じ増幅率のものを
使用する。
制御回路１２の抵抗Ｒ2 と温度検出素子３の結合点Ｐ1
と制御回路９との間に増幅器１４を設け、同じく定温度
差制御回路１３の抵抗Ｒ4 と温度検出素子４の結合点Ｐ
2 と制御回路１０との間に増幅器１５を設けたものとし
てある。なお、増幅器１４と１５は同じ増幅率のものを
使用する。
【００２７】温度検出素子３、４の温度係数が抵抗体
５、６の温度係数よりも小さい場合には、増幅器１４、
１５の増幅率を１より大なるものにしておく。この場
合、被測定流体の温度が高くなると、温度検出素子３、
４と抵抗体５、６の温度係数が同じである場合に比して
温度検出素子５、６の抵抗値は小さくなるが、増幅器１
４、１５の増幅率を１より大なるものとしてあるので、
制御回路９、１０の入力は温度検出素子３、４と抵抗体
５、６との間の温度係数の差に影響されないものとする
ことができる。
５、６の温度係数よりも小さい場合には、増幅器１４、
１５の増幅率を１より大なるものにしておく。この場
合、被測定流体の温度が高くなると、温度検出素子３、
４と抵抗体５、６の温度係数が同じである場合に比して
温度検出素子５、６の抵抗値は小さくなるが、増幅器１
４、１５の増幅率を１より大なるものとしてあるので、
制御回路９、１０の入力は温度検出素子３、４と抵抗体
５、６との間の温度係数の差に影響されないものとする
ことができる。
【００２８】したがって、被測定流体の温度が変化して
も温度検出素子３、４と抵抗体５、６間の温度差は一定
に制御され、正確な質量流量の測定がなされる。
も温度検出素子３、４と抵抗体５、６間の温度差は一定
に制御され、正確な質量流量の測定がなされる。
【００２９】図３はさらにその他の実施例を示してお
り、この実施例のものは温度検出素子３、４の抵抗値が
抵抗体５、６の抵抗値に比して大きな値のものでない場
合であっても、また温度検出素子３、４の温度係数と抵
抗体５、６の温度係数が異なる場合であっても、正確な
流量測定を行えるものとしてある。
り、この実施例のものは温度検出素子３、４の抵抗値が
抵抗体５、６の抵抗値に比して大きな値のものでない場
合であっても、また温度検出素子３、４の温度係数と抵
抗体５、６の温度係数が異なる場合であっても、正確な
流量測定を行えるものとしてある。
【００３０】この実施例に係る質量流量計は、定温度差
制御回路１６、１７のブリッヂにおける抵抗Ｒ1 とＲ2
との間および抵抗Ｒ3 とＲ4 との間にそれぞれ抵抗Ｒ5
とＲ 6 、Ｒ7 とＲ8 を設け、これらの抵抗Ｒ5 とＲ6 お
よびＲ7 とＲ8 によって電圧Ｅ3 とＥ4 を分割するもの
としてある。
制御回路１６、１７のブリッヂにおける抵抗Ｒ1 とＲ2
との間および抵抗Ｒ3 とＲ4 との間にそれぞれ抵抗Ｒ5
とＲ 6 、Ｒ7 とＲ8 を設け、これらの抵抗Ｒ5 とＲ6 お
よびＲ7 とＲ8 によって電圧Ｅ3 とＥ4 を分割するもの
としてある。
【００３１】定温度差制御回路１６は、抵抗Ｒ5 とＲ6
によって電圧Ｅ1 を分割した電圧Ｅ3 を温度検出素子３
と抵抗体５に印加し、温度検出素子３と抵抗Ｒ1 の結合
点Ｑ1 の電圧は増幅器１４により増幅され、制御回路９
に入力される。
によって電圧Ｅ1 を分割した電圧Ｅ3 を温度検出素子３
と抵抗体５に印加し、温度検出素子３と抵抗Ｒ1 の結合
点Ｑ1 の電圧は増幅器１４により増幅され、制御回路９
に入力される。
【００３２】同様に、定温度差制御回路１７は、抵抗Ｒ
7 とＲ8 によって電圧Ｅ2 を分割した電圧Ｅ4 を温度検
出素子４と抵抗体６に印加し、温度検出素子４と抵抗Ｒ
2 の結合点Ｑ2 の電圧は増幅器１５により増幅され、制
御回路１０に入力される。
7 とＲ8 によって電圧Ｅ2 を分割した電圧Ｅ4 を温度検
出素子４と抵抗体６に印加し、温度検出素子４と抵抗Ｒ
2 の結合点Ｑ2 の電圧は増幅器１５により増幅され、制
御回路１０に入力される。
【００３３】なお、図中の符号１８、１９は電圧調整用
の制御回路を示している。
の制御回路を示している。
【００３４】かくすると、温度検出素子３、４に印加さ
れる電圧が調整されて、温度検出素子３、４の抵抗値が
抵抗体５、６の抵抗値に比して大きな値のものでない場
合であっても、また温度検出素子３、４の温度係数と抵
抗体５、６の温度係数が異なる場合であっても、正確な
流量測定を行うことができる。
れる電圧が調整されて、温度検出素子３、４の抵抗値が
抵抗体５、６の抵抗値に比して大きな値のものでない場
合であっても、また温度検出素子３、４の温度係数と抵
抗体５、６の温度係数が異なる場合であっても、正確な
流量測定を行うことができる。
【００３５】
【発明の効果】本発明に係る質量流量計は上述した構成
のものであるので、次の効果を奏し得る。 ａ．導管の外側に配設された抵抗体と流体との温度差を
一定に保つことにより流体の流量を測定するので、流体
の温度変化の影響を受けない正確な測定ができる。 ｂ．導管の外側に２つの抵抗体を配設し、この抵抗体に
与えられるエネルギの差から流量を求めるので、流量の
変化に対する応答速度が速い。 ｃ．温度検出素子と抵抗体をともに導管の外側に設けて
いるので、細い導管を使用することができ、微小流量の
測定にも適用できる。
のものであるので、次の効果を奏し得る。 ａ．導管の外側に配設された抵抗体と流体との温度差を
一定に保つことにより流体の流量を測定するので、流体
の温度変化の影響を受けない正確な測定ができる。 ｂ．導管の外側に２つの抵抗体を配設し、この抵抗体に
与えられるエネルギの差から流量を求めるので、流量の
変化に対する応答速度が速い。 ｃ．温度検出素子と抵抗体をともに導管の外側に設けて
いるので、細い導管を使用することができ、微小流量の
測定にも適用できる。
【図１】本発明に係る質量流量計の実施例を示す回路
図。
図。
【図２】本発明に係る質量流量計の他の実施例を示す回
路図。
路図。
【図３】本発明に係る質量流量計のさらに他の実施例を
示す回路図。
示す回路図。
１ 導管 ２ センサ部 ３、４ 温度検出素子 ５、６ 抵抗体 ７、８、１２、１３、１６、１７ 温度差制御回路 ９、１０、１８、１９ 制御回路 １１ 減算回路 １４、１５ 増幅器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１月１０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る質量流量計の実施例を示す回路
図。
図。
【図２】本発明に係る質量流量計の他の実施例を示す回
路図。
路図。
【図３】本発明に係る質量流量計のさらに他の実施例を
示す回路図。
示す回路図。
【図４】従来の質量流量計の一例を示す回路図。
【図５】従来の質量流量計の他の例を示す回路図。
【符号の説明】 １ 導管 ２ センサ部 ３、４ 温度検出素子 ５、６ 抵抗体 ７、８、１２、１３、１６、１７ 温度差制御回路 ９、１０、１８、１９ 制御回路 １１ 減算回路 １４、１５ 増幅器
Claims (1)
- 【請求項１】被測定流体を流過させる導管の外側に流体
の温度を検出する２つの温度検出素子を設け、また同素
子よりも下流側の導管外側に、温度に応じて抵抗値が変
化する自己過熱型の２つの電気抵抗体を配設し、同抵抗
体と前記温度検出素子とを１つずつ対にし、この対を、
温度検出素子と抵抗体との間の温度差が一定となるよう
抵抗体に印加する電圧を制御する２つの定温度差制御回
路にそれぞれ接続し、各定温度差制御回路がそれぞれ抵
抗体に印加する電圧の差を求める減算回路に各定温度差
制御回路を接続してなる質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5203563A JPH0743184A (ja) | 1993-07-26 | 1993-07-26 | 質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5203563A JPH0743184A (ja) | 1993-07-26 | 1993-07-26 | 質量流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743184A true JPH0743184A (ja) | 1995-02-10 |
Family
ID=16476210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5203563A Pending JPH0743184A (ja) | 1993-07-26 | 1993-07-26 | 質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743184A (ja) |
-
1993
- 1993-07-26 JP JP5203563A patent/JPH0743184A/ja active Pending
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