JPH0739031B2 - Heat treatment equipment - Google Patents

Heat treatment equipment

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JPH0739031B2
JPH0739031B2 JP3141449A JP14144991A JPH0739031B2 JP H0739031 B2 JPH0739031 B2 JP H0739031B2 JP 3141449 A JP3141449 A JP 3141449A JP 14144991 A JP14144991 A JP 14144991A JP H0739031 B2 JPH0739031 B2 JP H0739031B2
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基 家田
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、熱処理装置に関し、特
に、熱処理装置本体内を連続的に移動する被処理物に熱
処理を施す熱処理装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment apparatus, and more particularly to a heat treatment apparatus for subjecting an object to be continuously moved in a heat treatment apparatus body to heat treatment.

【0002】[0002]

【従来技術】熱処理装置の(例えば半田リフロー)の従
来例を図3〜図7に示す。
2. Description of the Related Art A conventional example of a heat treatment apparatus (for example, solder reflow) is shown in FIGS.

【0003】図3(a)は、熱処理装置の概略側面図で
ある。図3(b)は、図3(a)及び後述の図3(c)
に示す熱処理装置の、装置内温度分布を概略的に表すグ
ラフである。図3(c)は熱処理装置の概略平面図であ
る。
FIG. 3A is a schematic side view of the heat treatment apparatus. FIG. 3B shows FIG. 3A and FIG. 3C described later.
3 is a graph schematically showing the temperature distribution inside the heat treatment apparatus shown in FIG. FIG. 3C is a schematic plan view of the heat treatment apparatus.

【0004】また、図4は、図3のIV−IV線断面図であ
る。
FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.

【0005】図5(a)〜(c)は、熱処理装置本体内
を貫通するガイドのみを示し、その彎曲の様子を表した
概念図である。
FIGS. 5 (a) to 5 (c) are conceptual views showing only a guide penetrating the inside of the main body of the heat treatment apparatus and showing the curved state thereof.

【0006】更に、図6はプリント基板の例を示す部分
平面図であり、図7は、プリント基板をローラーチェー
ン等の被処理物支持手段に載せた例を示す。
Further, FIG. 6 is a partial plan view showing an example of a printed circuit board, and FIG. 7 shows an example in which the printed circuit board is placed on an object support means such as a roller chain.

【0007】図6及び図7に示すプリント基板17に電子
部品18をはんだ付けするための、半田リフロー等の熱処
理装置においては、プリント基板17上に電子部品18を載
せ、ペースト状半田(直径15〜50μmφの半田粒子をフ
ラックスペーストに1/2 分散させたもの。)を付着した
被処理物2を、図3及び図4に示す熱処理装置本体3中
で連続的に搬送するための被処理物支持手段である搬送
用チェーン7と、これを支持するためのガイド4が備わ
っている。搬送用チェーン7は、熱処理装置架台10上に
載置された搬送用プーリー8及び駆動用プーリー9によ
って動作する。なお、搬送チェーン7は、他の無軌道機
構部品であることもある。図6及び図7において、19は
プリント配線、20は半田(ペースト半田又はクリーム半
田)、21はプリント基板上に貫通した孔を表す。
In a heat treatment apparatus such as solder reflow for soldering the electronic component 18 to the printed board 17 shown in FIGS. 6 and 7, the electronic component 18 is placed on the printed board 17 and paste-like solder (diameter 15 An object to be continuously conveyed in the heat treatment apparatus main body 3 shown in FIGS. 3 and 4, the object 2 to which the solder particles having a particle size of 50 μmφ are dispersed 1/2 in the flux paste. A transport chain 7 as a support means and a guide 4 for supporting this are provided. The transport chain 7 is operated by a transport pulley 8 and a drive pulley 9 placed on a heat treatment apparatus mount 10. The transport chain 7 may be another trackless mechanism component. 6 and 7, 19 is a printed wiring, 20 is a solder (paste solder or cream solder), and 21 is a hole penetrating the printed circuit board.

【0008】図3及び図4に示す被処理物2は、両端を
長さ数ミリ以内(この例では3mm以内)の搬送用チェー
ンのピン5で支持され、熱処理装置本体3の内部を移動
する。図4に示す搬送用チェーン7及びこれを支持する
ためのガイド4は、ピン5によって被処理物2の両側縁
部を支えるために対向して2本配置され、これらの一方
又は両方は、被処理物2の寸法が異なるときにも支持が
可能なように可動式となっている。(即ち、図示しない
ハンドル等を用いて図4の仮想線のように移動でき
る。)
The object 2 shown in FIGS. 3 and 4 is supported at both ends by pins 5 of a conveying chain having a length within a few millimeters (in this example, within 3 mm) and moves inside the heat treatment apparatus main body 3. . Two conveying chains 7 and guides 4 for supporting the conveying chains 7 shown in FIG. 4 are arranged facing each other so as to support both side edges of the object to be processed 2 by a pin 5, and one or both of them are It is movable so that it can be supported even when the size of the processed material 2 is different. (That is, it can be moved like a virtual line in FIG. 4 by using a handle or the like not shown.)

【0009】図3に示すように、ガイド4は複数の炉内
加熱用ヒーター6を有する熱処理装置本体3を貫通して
配置され、ガイド4に支持された搬送用チェーン7は、
被処理物2を載せて熱処理装置本体3の内部を移動す
る。炉内加熱用ヒータ6は、熱風ヒーター(空気又は窒
素ガス使用)及び遠赤外ヒーターが併用されている。
As shown in FIG. 3, the guide 4 is arranged so as to penetrate the heat treatment apparatus main body 3 having a plurality of heaters 6 for heating the inside of the furnace, and the carrier chain 7 supported by the guide 4 is
The object 2 to be processed is placed and moved inside the heat treatment apparatus main body 3. As the heater 6 for heating the inside of the furnace, a hot air heater (using air or nitrogen gas) and a far infrared heater are used together.

【0010】図3(b)は被処理物2の、熱処理装置本
体3の内部を移動する際の温度分布の1例である。この
グラフにおいて、被処理物2は炉内に入ると直ぐに昇温
され、一定の温度(例えば150 〜170 ℃)に保たれなが
ら一定の距離を移動し、次に更に昇温されて最高温度
(Tmax)に達する。Tmaxは、プリント基板17に
搭載された電子部品18の耐熱温度以下で、しかもはんだ
付けの可能な温度(例えば215 〜220 ℃)に制御され
る。Tmaxに達した後、被処理物2の温度は下降す
る。被処理物2の炉内通過時間は、例えば3〜4分であ
る。図3(c)に示すA1 、A2 、B1 及びB2 は、T
max部におけるガイド4の内側面(A1 、A2 )及び
外側面(B1 、B2 )を表す。
FIG. 3B shows an example of the temperature distribution of the object to be processed 2 as it moves inside the heat treatment apparatus body 3. In this graph, the object to be treated 2 is heated immediately upon entering the furnace, moves a fixed distance while being maintained at a constant temperature (for example, 150 to 170 ° C.), and is further heated to the maximum temperature ( Tmax) is reached. Tmax is controlled to a temperature equal to or lower than the heat resistant temperature of the electronic component 18 mounted on the printed board 17, and at a solderable temperature (for example, 215 to 220 ° C.). After reaching Tmax, the temperature of the object to be processed 2 decreases. The passage time of the object 2 to be processed in the furnace is, for example, 3 to 4 minutes. A 1 , A 2 , B 1 and B 2 shown in FIG.
The inner side surface (A 1 , A 2 ) and the outer side surface (B 1 , B 2 ) of the guide 4 in the max portion are shown.

【0011】ところで、上記の熱処理装置には以下の問
題点があった。 a)被処理物2の幅に合わせるために、ガイト4の一方
又は両方を移動調節した場合。具体的には、図4におい
て,ガイド4を例えば仮想線の位置へ移動し、又は例え
ば仮想線の位置から実線の位置へ移動したため、両方の
ガイドの間隔Dが変化した場合。 b)被処理物2(プリント基板17等)が多種に及ぶた
め、それらの熱容量が一定でない場合。
However, the above heat treatment apparatus has the following problems. a) When one or both of the guides 4 are moved and adjusted to match the width of the object to be processed 2. Specifically, in FIG. 4, when the guide 4 is moved to, for example, the position of the virtual line or moved from the position of the virtual line to the position of the solid line, the distance D between the two guides changes. b) When the heat capacities of the objects to be processed 2 (printed circuit board 17 etc.) vary widely and are not constant.

【0012】上記の場合には、熱処理装置本体3の内部
の熱的条件が経時的に変化して炉内温度がIV−IV線方向
で不均一になる。この結果、ステンレススチール等の金
属で構成されているガイド4は、図5の(b)又は
(c)に示すような熱膨張変形を起こし、被処理物支持
用のピン5が数mm以下の僅かな長さであることから、被
処理物2が搬送チェーン7から落下したり、或は圧縮さ
れて変形してしまうことがある。
In the above case, the thermal conditions inside the heat treatment apparatus main body 3 change with time, and the temperature inside the furnace becomes non-uniform in the IV-IV line direction. As a result, the guide 4 made of metal such as stainless steel undergoes thermal expansion deformation as shown in FIG. 5B or 5C, and the pin 5 for supporting the object to be processed is several mm or less. Due to the short length, the workpiece 2 may fall from the transport chain 7 or may be compressed and deformed.

【0013】図5において、TA1 、TA2 、TB1
びTB2 は夫々、図4に示したガイド4のA1 、A2
1 及びB2 の温度を示す。ガイド4の内側面及び外側
面に温度差が無いとき、即ちTA1 =TB1 、TA2
TB2 のときには、図5(a)に示すようにガイド4は
彎曲しない。
In FIG. 5, TA 1 , TA 2 , TB 1 and TB 2 are A 1 , A 2 and A 2 of the guide 4 shown in FIG. 4, respectively.
The temperatures of B 1 and B 2 are shown. When there is no temperature difference between the inner surface and the outer surface of the guide 4, that is, TA 1 = TB 1 , TA 2 =
At TB 2 , the guide 4 does not bend as shown in FIG.

【0014】しかし、前記の理由で、ガイドを移動させ
たときに温度条件が変わり、ガイド側面温度が不均一に
なったときには、図5(b)のようにガイド内側面温度
が外側面温度よりも高くなって(即ちTA1 >TB1
TA2 >TB2 となって)彎曲が生じガイド4の間隔が
挟まったり、或は、図5(c)のようにガイド外側面温
度が内側面温度よりも高くなって(即ちTA1 <T
1 、TA2 <TB2 となって)ガイド4の間隔が開い
てしまうという問題があった。
However, for the above reason, when the temperature condition changes when the guide is moved and the side temperature of the guide becomes non-uniform, the inside temperature of the guide is higher than the outside temperature as shown in FIG. 5B. Also becomes higher (ie TA 1 > TB 1 ,
TA 2> TB 2 and turned in) or caught the interval curvature occurs guide 4, or the guide outer surface temperature as shown in FIG. 5 (c) is higher than the inner surface temperature (i.e. TA 1 <T
There was a problem that the distance between the guides 4 was increased (B 1 , TA 2 <TB 2 ).

【0015】上記問題を解決するためには、従来はガイ
ド4に頑丈な部材を使用するか、或は、炉内加熱用ヒー
ター6の配置を変えるか、又はファンを備え付ける等し
て炉内均熱を図り、ガイド4の彎曲を防止しようとして
いた。しかし、各種被処理物2毎の位置関係が変わった
とき、最適条件を逐一決定することは困難であるため、
結局不十分なまま運転されていたのが現状である。
In order to solve the above-mentioned problem, conventionally, a strong member is used for the guide 4, or the heater 6 for heating the furnace is changed in arrangement, or a fan is provided so that the inside of the furnace is leveled. I was trying to prevent heat from bending the guide 4 with heat. However, since it is difficult to determine the optimum conditions one by one when the positional relationship of each of the various processed objects 2 changes,
After all, it was the current situation that the car was driven insufficiently.

【0016】[0016]

【発明の目的】本発明の目的は、熱処理装置本体内が均
一温度であっても、ガイドの位置条件が変わるときの不
均一な温度のために生ずるガイドの彎曲、及び彎曲を原
因として発生する被処理物の落下及び変形を防ぐ手段を
構じた、熱処理装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is caused by the bending and bending of the guide caused by the non-uniform temperature when the position condition of the guide changes even if the temperature inside the heat treatment apparatus main body is uniform. It is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus having means for preventing the object to be processed from falling and deforming.

【0017】[0017]

【発明の構成】即ち、本発明は、熱処理装置本体と;こ
の熱処理装置本体内を貫通するガイドと;このガイドに
案内され、前記熱処理装置本体内を移動する被処理物支
持手段とを有する熱処理装置において、前記ガイドの所
定部分を加熱するための加熱手段と、前記ガイドの長手
方向に垂直な断面における両側面の温度を検出する複数
温度検出手段と、これら温度検出手段による温度検出
結果に基いて前記加熱手段を作動させることにより、前
記ガイドの前記断面における両側面間の温度差を小さく
するように温度制御する温度制御手段とを有することを
特徴とする熱処理装置を提供するものである。
That is, the present invention is a heat treatment having a heat treatment apparatus main body; a guide penetrating the heat treatment apparatus main body; and an object support means which is guided by the guide and moves in the heat treatment apparatus main body. In the device, a heating means for heating a predetermined portion of the guide, and a length of the guide.
Multiple to detect the temperature of both sides in the cross section perpendicular to the direction
A temperature detecting means, this by actuating the heating means based on a temperature detection result of these temperature detection means, the temperature control for temperature control so as to reduce the temperature difference between both sides in the cross section of the guide The present invention provides a heat treatment apparatus characterized by having means.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.

【0019】図1及び図2は、本発明を表す概略図であ
る。
1 and 2 are schematic diagrams showing the present invention.

【0020】図1は、図3におけるIV−IV線の位置、即
ち、温度がTmax(例えば230 ℃)である位置の断面
の一部を概略的に表した図である。熱処理装置本体3は
図示省略し、被処理物支持手段は一方のみ示している
が、他方の側も同様としてある。ここにおいて、Tma
xに耐え得るコントロールヒーター11をガイド4の外側
側面上の点1 に付設する。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a part of the cross section at the position of line IV-IV in FIG. 3, that is, at the position where the temperature is Tmax (for example, 230 ° C.). Although the heat treatment apparatus main body 3 is not shown in the figure and only one object support means is shown, the other side is also the same. Where Tma
A control heater 11 capable of withstanding x is attached to a point B 1 on the outer side surface of the guide 4.

【0021】コントロールヒーター11の結線方法につい
て述べると、ガイド4の両側面の1 及びB1 で示す位
夫々温度検出素子12及び13を取付け、両者からの出
力が互いに打消されるように配線する。
The connection method of the control heater 11 will be described. The positions indicated by A 1 and B 1 on both sides of the guide 4 are described.
Attached respectively temperature detecting element 12 and 13 to location, wiring so that the output from both is canceled each other.

【0022】温度検出素子12、13として例えば熱電対を
採用する場合には、図1に示すように+−、−+のよう
に直列に結線する。また、サーミスタのような抵抗素子
32、33を採用する場合にも、図2に示すようにブリッジ
結線を行う。
When, for example, thermocouples are used as the temperature detecting elements 12 and 13, they are connected in series as +-and-+ as shown in FIG. Also, a resistance element such as a thermistor
Even when 32 and 33 are adopted, bridge connection is performed as shown in FIG.

【0023】常温時における0点調整は、例えば熱電対
を使用する場合は図1に示す電圧偏差設定器14を接続し
常温時出力を0に設定する。また抵抗素子を用いる場合
は、図2(a)に示す可変抵抗VRを調節することで常
温時出力を0とすることができるが(但し、R1
2 )、更に電圧偏差設定器も併用してよい。なお、図
2(b)は、抵抗素子を用いる場合の抵抗ブリッジの回
路図である。上記以外の方式の温度計を採用する場合
も、温度差の検出方法は同様に行う。
To adjust the zero point at room temperature, for example, when a thermocouple is used, the voltage deviation setter 14 shown in FIG. 1 is connected and the output at room temperature is set to zero. When a resistance element is used, the output at room temperature can be set to 0 by adjusting the variable resistance VR shown in FIG. 2A (however, R 1 =
R 2 ), and also a voltage deviation setter may be used together. Note that FIG. 2B is a circuit diagram of a resistance bridge when a resistance element is used. Even when a thermometer of a method other than the above is adopted, the method of detecting the temperature difference is similarly performed.

【0024】上記の温度検出法によって、Tmaxにお
けるガイド4の内側面及び外側面の温度差を検出し、こ
の温度差による偏差信号を0±ΔVの電圧偏差設定器14
を介して炉温制御とは別設置のPID(比例、積分、微
分動作)コントローラー15の入力とする。PIDコント
ローラーの出力はコントロールヒーター11の電力調節回
路16の入力とし、自動温度制御回路を構成する。
By the temperature detection method described above, the temperature difference between the inner surface and the outer surface of the guide 4 at Tmax is detected, and the deviation signal due to this temperature difference is used as the voltage deviation setter 14 of 0 ± ΔV.
Via PID (Proportional, Integral, Derivative operation) controller 15 installed separately from the furnace temperature control. The output of the PID controller is used as the input of the power adjustment circuit 16 of the control heater 11 to form an automatic temperature control circuit.

【0025】上記の例にあっては、A1 点及びB1 点並
びに図示省略したA2 点及びB2 点(図3(c)、図4
参照)の温度を検出し、温度TA1 と温度TB1 との
差、温度TA2 とTB2 との差(図5参照)を無くすか
又は僅かにするように、コントロールヒーター11を作動
させている。従って、図5(b)又は同図(c)に示す
ようなガイド両側面間の温度差による熱膨張の差に起因
するガイド彎曲が防止され、常に同図(a)のような直
線状を維持することができる。その結果、プリント基板
はローラーチェーンから外れて落下したり、ローラーチ
ェーンに押されて変形するようなことがない。また、コ
ントロールヒーター11の作動はPID制御によっている
ので、上記の温度制御は高精度になされ、信頼性が高
い。
In the above example, points A 1 and B 1 and points A 2 and B 2 (not shown) are shown (FIG. 3 (c), FIG. 4).
(See FIG. 5) and operate the control heater 11 so as to eliminate or reduce the difference between the temperature TA 1 and the temperature TB 1 and the difference between the temperature TA 2 and the TB 2 (see FIG. 5). There is. Accordingly, and FIG. 5 (b) or guide curved due to the difference in thermal expansion due to the temperature difference between FIG. (C) to indicate such guide both side surfaces is prevented, always a straight line shape as in FIG (a) Can be maintained. As a result, the printed circuit board is prevented from falling off the roller chain and being deformed by being pushed by the roller chain. Further, since the operation of the control heater 11 is based on the PID control, the temperature control described above is performed with high accuracy and is highly reliable.

【0026】本発明は、上記以外にも色々変形すること
ができる。
The present invention can be variously modified other than the above.

【0027】一般的に熱処理装置本体3の内部温度は、
中心部が一番高く、中心部から外れる程低くなる。この
ため、前記実施例に示した如く、ガイド4の外側面にコ
ントロールヒーター11を取り付ける場合が多いが、逆に
ガイド4の内側面に付設することも可能である。
Generally, the internal temperature of the heat treatment apparatus body 3 is
The center is the highest, and the lower the distance from the center, the lower the height. For this reason, as shown in the above embodiment, the control heater 11 is often attached to the outer side surface of the guide 4, but conversely, it can be attached to the inner side surface of the guide 4.

【0028】また、コントロールヒーター11をガイド4
の内側面及び外側面の両面に付設することも可能である
が、この場合には、温度差制御のみでなく、ガイド4の
温度がTmaxを超えないように制御する必要がある。
Further, the control heater 11 is guided to the guide 4
It is also possible to attach them to both the inner side surface and the outer side surface, but in this case, not only the temperature difference control but also the control so that the temperature of the guide 4 does not exceed Tmax is required.

【0029】更に、本発明は、連続処理のほか、バッチ
タイプの熱処理装置にも適用可能であり、被処理物がプ
リント基板以外であっても良いことは言うまでもない。
Furthermore, the present invention can be applied not only to continuous processing but also to a batch type heat treatment apparatus, and it goes without saying that the object to be processed may be other than a printed circuit board.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明は、ガイドの長手方向に垂直な断
面における両側面の温度を検出し、検出された各温度差
を小さくするように制御するので、上記の両側面間の温
度差に基く熱膨張の差による前記ガイドの変形が防止さ
れる。その結果、処理物は、前記ガイドに案内される
被処理物支持手段から外れたり、或はこの被処理物支持
手段に挟まれて変形したりせず、安全に移動して熱処理
が施される。
According to the present invention, the breaking of the guide is perpendicular to the longitudinal direction.
Since the temperatures of both sides of the surface are detected and the temperature differences are controlled so as to be small, the deformation of the guide due to the difference in thermal expansion due to the temperature difference between the both sides is prevented. As a result, the object to be treated is dislodged from the object to be treated support means guided in the guide, or not deformed or pinched to the object to be processed support means, a heat treatment and moved safely subjected It

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例の熱処理装置内最高温部におけ
る概略断面図及び熱電対使用時の回路図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a highest temperature part in a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention and a circuit diagram when a thermocouple is used.

【図2】本発明の実施例の温度/抵抗変化素子使用時の
回路図の一部である。
FIG. 2 is a part of a circuit diagram when a temperature / resistance change element according to an exemplary embodiment of the present invention is used.

【図3】従来例の熱処理装置側面及び平面の概略図並び
に温度分布図である。
FIG. 3 is a schematic view and a temperature distribution diagram of a side surface and a plane surface of a heat treatment apparatus of a conventional example.

【図4】従来例の熱処理装置本体の最高温部における概
略断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the highest temperature part of a conventional heat treatment apparatus body.

【図5】従来例のガイド彎曲の概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram of a guide curve of a conventional example.

【図6】プリント基板の一例を示す部分断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing an example of a printed circuit board.

【図7】搬送用チェーン端部に載荷されたプリント基板
の概略図である。
FIG. 7 is a schematic view of a printed circuit board loaded on the end of the transport chain.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 熱処理装置 2 被処理物 3 熱処理装置本体 4 支持用ガイド 5 (搬送用チェーン)ピン 6 炉内加熱用ヒーター 7 搬送用チェーン 8 搬送用プーリー 9 駆動プーリー 10 熱処理装置架台 11 コントロールヒーター 12、13、32、33 温度検出素子 14 電圧偏差設定器 15 PIDコントローラー 16 電力調節回路 17 プリント基板 18 電子部品 19 プリント配線 20 半田 21 プリント基板貫通孔 1 Heat Treatment Equipment 2 Heat Treatment Equipment 3 Heat Treatment Equipment Body 4 Support Guide 5 (Conveyor Chain) Pin 6 Furnace Heating Heater 7 Conveyor Chain 8 Conveyor Pulley 9 Drive Pulley 10 Heat Treater Stand 11 Control Heater 12, 13, 32, 33 Temperature detection element 14 Voltage deviation setter 15 PID controller 16 Power adjustment circuit 17 Printed circuit board 18 Electronic parts 19 Printed wiring 20 Solder 21 Printed board through hole

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 熱処理装置本体と;この熱処理装置本体
内を貫通するガイドと;このガイドに案内され、前記熱
処理装置本体内を移動する被処理物支持手段とを有する
熱処理装置において、前記ガイドの所定部分を加熱する
ための加熱手段と、前記ガイドの長手方向に垂直な断面
における両側面の温度を検出する複数の温度検出手段
と、これら温度検出手段による温度検出結果に基いて前
記加熱手段を作動させることにより、前記ガイドの前記
断面における両側面間の温度差を小さくするように温度
制御する温度制御手段とを有することを特徴とする熱処
理装置。
1. A heat treatment apparatus comprising: a heat treatment apparatus main body; a guide that penetrates through the heat treatment apparatus main body; and a workpiece support means that is guided by the guide and moves within the heat treatment apparatus main body. A heating means for heating a predetermined portion, and a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the guide.
By operating a plurality of temperature detection means for detecting the temperature of both sides, said heating means based on a temperature detection result of these temperature detection means in the guide of the
And a temperature control means for controlling the temperature so as to reduce the temperature difference between both side surfaces in the cross section .
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