JPH07297537A - Reflow equipment - Google Patents
Reflow equipmentInfo
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- JPH07297537A JPH07297537A JP8153194A JP8153194A JPH07297537A JP H07297537 A JPH07297537 A JP H07297537A JP 8153194 A JP8153194 A JP 8153194A JP 8153194 A JP8153194 A JP 8153194A JP H07297537 A JPH07297537 A JP H07297537A
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
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- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品が搭載された
基板をコンベアにより搬送しながら、基板に熱風を吹き
当てて電子部品を基板にハンダ付けしたり、基板上に印
刷または搭載されたハンダを溶融してハンダバンプを形
成するためのリフロー装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is applied to soldering an electronic component to a substrate by blowing hot air onto the substrate while the substrate on which the electronic component is mounted is conveyed by a conveyor, or printed or mounted on the substrate. The present invention relates to a reflow device for melting solder to form solder bumps.
【0002】[0002]
【従来の技術】電子部品を基板にハンダ付けするリフロ
ー装置は、一般に、ヒータとファンが内蔵された本体ボ
ックスの入口から出口へ向ってコンベアにより基板を搬
送しながら、基板に熱風を吹き当ててハンダを加熱溶融
させ、電子部品を基板にハンダ付けするようになってい
る(例えば特開平2−263570号公報)。このよう
なコンベア方式のリフロー装置は、基板をラインを搬送
しながら自動的にまた大量にハンダ付けできる長所を有
しており、現在電子部品実装ラインの主要設備として広
く実施されている。2. Description of the Related Art In general, a reflow device for soldering electronic components to a board is designed to blow hot air onto the board while carrying the board from a entrance of a main body box having a heater and a fan to an exit thereof by a conveyor. The solder is heated and melted, and the electronic component is soldered to the substrate (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2-263570). Such a conveyor-type reflow apparatus has an advantage of being able to automatically and in large quantities solder a substrate while it is being conveyed through the line, and is currently widely used as a main facility for electronic component mounting lines.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】リフロー装置の上流側
には電子部品を基板に搭載する電子部品実装装置などの
他の設備があり、リフロー装置にはこれらの他の設備か
ら不均一な時間間隔でランダムに基板が送られてくる。
このためリフロー装置の本体ボックス内をコンベアによ
って搬送される基板の枚数は一定ではなく、また基板と
基板の間隔も一定ではない。このように本体ボックス内
の基板の枚数や搬送密度が一定しないことから、基板に
奪われる本体ボックス内の熱量はばらつき、また基板に
吹き付けられる熱風の流れも変化する。このため従来の
リフロー装置では、基板の温度プロファイルがばらつ
き、ハンダの溶融状態もばらついて、すべての基板につ
いて均一なハンダ付けができないという問題点があっ
た。There are other facilities such as an electronic component mounting device for mounting electronic components on a substrate on the upstream side of the reflow device, and the reflow device has an uneven time interval from these other facilities. The board is sent randomly.
Therefore, the number of substrates conveyed by the conveyor in the main body box of the reflow device is not constant, and the distance between the substrates is not constant. Since the number of substrates in the main body box and the transfer density are not constant in this way, the amount of heat in the main body box taken by the substrates varies, and the flow of hot air blown to the substrates also changes. Therefore, the conventional reflow apparatus has a problem that the temperature profile of the substrate varies and the molten state of the solder also varies, and uniform soldering cannot be performed on all the substrates.
【0004】そこで本発明は、本体ボックス内をコンベ
アで搬送される基板の枚数や、基板と基板の間隔を管理
して、すべての基板について均一にハンダ付けができる
リフロー装置を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a reflow apparatus capable of uniformly soldering all substrates by controlling the number of substrates conveyed by a conveyor in the main body box and the distance between the substrates. And
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ヒ
ータが内蔵された本体ボックスと、この本体ボックスの
入口から出口へ基板を搬送するコンベアと、この本体ボ
ックスの内部を搬送中の基板の枚数を検知する検知手段
と、入口よりも上流位置にあって本体ボックスへの基板
の搬送を阻止する第1のストッパと、この第1のストッ
パよりも上流位置にあってこの第1のストッパへの基板
の搬送を阻止する第2のストッパと、枚数が設定枚数以
下の場合は第1のストッパによる基板の搬送阻止状態を
解除してこの基板を本体ボックスへ向って搬送するとと
もに、この基板がこの第1のストッパを通過したなら
ば、この第1のストッパを再度基板の搬送阻止状態に復
帰させ、また第2のストッパによる基板の搬送阻止状態
を解除してこの基板を第1のストッパへ向って搬送する
ように制御する制御部とからリフロー装置を構成したも
のである。To this end, the present invention is directed to a main body box having a built-in heater, a conveyer for conveying a substrate from an inlet to an outlet of the main body box, and a substrate being conveyed inside the main body box. Means for detecting the number of sheets of paper, a first stopper located upstream of the entrance to prevent the substrate from being transferred to the main body box, and a first stopper located upstream of the first stopper. A second stopper that prevents the transfer of substrates to the substrate, and when the number of substrates is less than or equal to the set number, the transfer prevention state of the substrates by the first stopper is released and the substrate is transferred toward the main body box. When the first substrate has passed through the first stopper, the first stopper is returned to the substrate transport blocking state again, and the substrate transport blocking state by the second stopper is released to release the substrate. It is obtained by constituting the reflow apparatus and a control unit for controlling to convey toward the first stopper.
【0006】[0006]
【作用】上記構成によれば、本体ボックス内の基板の枚
数を設定枚数以下にして、すべての基板を均一にリフロ
ー処理できる。According to the above construction, the number of substrates in the main body box can be reduced to the set number or less, and all the substrates can be uniformly reflowed.
【0007】[0007]
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図1は本発明の一実施例のリフロー装置の断
面図、図2は同リフロー装置に備えられた搬入コンベア
の平面図、図3および図4は同リフロー装置の動作のフ
ローチャートである。図1において、1は本体ボックス
であり、その内部にはヒータ2とファン3が複数個内蔵
されている。4はファン3の駆動用モータである。本体
ボックス1の左面には入口5が開口されており、また右
面には出口6が開口されている。7は本体ボックス1内
に配設されたコンベアであって、基板8を入口5から出
口6へ向って搬送する。9はこのリフロー装置の上流に
設けられた電子部品実装装置によって基板8に搭載され
た電子部品である。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a reflow apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a carry-in conveyor provided in the reflow apparatus, and FIGS. 3 and 4 are flowcharts of the operation of the reflow apparatus. In FIG. 1, reference numeral 1 is a main body box in which a plurality of heaters 2 and fans 3 are incorporated. 4 is a motor for driving the fan 3. An inlet 5 is opened on the left side of the body box 1, and an outlet 6 is opened on the right side. Reference numeral 7 is a conveyor arranged in the main body box 1 and conveys the substrate 8 from the inlet 5 to the outlet 6. Reference numeral 9 denotes an electronic component mounted on the substrate 8 by an electronic component mounting device provided upstream of the reflow device.
【0008】11はコンベア7の上流に設けられた搬入
コンベアである。図1および図2において、搬入コンベ
ア11はベルトコンベアであり、この搬入コンベア11
に沿うように一対のガイドレール12A,12Bが設け
られている。ガイドレール12A,12Bは基板8の搬
送を案内する。入口5よりも上流位置の搬入コンベア1
1上には第1のストッパとしての第1のシリンダ13が
設けられている。図1に示すように、第1のシリンダ1
3のロッド14が下方に突出すると、基板8の搬送を阻
止し、またロッド14が上方へ退去すると基板8の搬送
阻止状態は解除され、基板8は本体ボックス1へ向って
搬送される。15は第1のシリンダ13を取り付けるブ
ラケットである。Reference numeral 11 is a carry-in conveyor provided upstream of the conveyor 7. 1 and 2, the carry-in conveyor 11 is a belt conveyor, and the carry-in conveyor 11
A pair of guide rails 12A and 12B are provided so as to follow. The guide rails 12A and 12B guide the transfer of the substrate 8. Carry-in conveyor 1 upstream of the entrance 5
A first cylinder 13 serving as a first stopper is provided on the unit 1. As shown in FIG. 1, the first cylinder 1
When the rod 14 of No. 3 protrudes downward, the conveyance of the substrate 8 is blocked, and when the rod 14 retreats upward, the conveyance-blocked state of the substrate 8 is released, and the substrate 8 is conveyed toward the main body box 1. Reference numeral 15 is a bracket to which the first cylinder 13 is attached.
【0009】図1および図2において、第1のシリンダ
13よりも上流位置には、第2のストッパとしての第2
のシリンダ16が設けられている。この第2のシリンダ
16は一方のガイドレール12Aの側部に水平な姿勢で
取り付けられており、そのロッド17が突出すると、第
1のシリンダ13によって搬送が阻止された2枚目の基
板8はその側面をこのロッド17に押されて他方のガイ
ドレール12Bに押し付けられ、搬送が阻止される。ま
たロッド17が引き込むと、基板8は搬送阻止状態を解
除されて第1のシリンダ13へ向って搬送される。In FIGS. 1 and 2, a second stopper serving as a second stopper is provided at a position upstream of the first cylinder 13.
Cylinder 16 is provided. The second cylinder 16 is attached to the side portion of the one guide rail 12A in a horizontal posture, and when the rod 17 of the second cylinder 16 projects, the second substrate 8 whose conveyance is blocked by the first cylinder 13 The side surface of the guide rail 12B is pushed by the rod 17 and is pressed against the other guide rail 12B, and the conveyance is blocked. Further, when the rod 17 is retracted, the substrate 8 is released from the transport-inhibited state and is transported toward the first cylinder 13.
【0010】図1において、本体ボックス1の入口5に
は第1のセンサ18が設けられている。この第1のセン
サ18は、本体ボックス1内に搬入される基板8を検出
する。また出口6には第2のセンサ19が設けられてい
る。この第2のセンサ19は出口6から搬出される基板
8を検出する。第1のシリンダ13と第2のシリンダ1
6の間には第3のセンサ20が設けられている。この第
3のセンサ20は、第1のストッパ13が基板8を停止
させているか否かを検出する。21は制御部であって、
第1のセンサ18、第2のセンサ19、第3のセンサ2
0から送られた信号を受け、第1のシリンダ13、第2
のシリンダ16などを制御する。In FIG. 1, a first sensor 18 is provided at the entrance 5 of the main body box 1. The first sensor 18 detects the substrate 8 carried into the main body box 1. A second sensor 19 is provided at the outlet 6. The second sensor 19 detects the substrate 8 carried out from the outlet 6. First cylinder 13 and second cylinder 1
A third sensor 20 is provided between 6 and 6. The third sensor 20 detects whether or not the first stopper 13 stops the substrate 8. 21 is a control unit,
First sensor 18, second sensor 19, third sensor 2
The first cylinder 13, the second cylinder
It controls the cylinder 16 and the like.
【0011】図1において、22は第1のメモリであっ
て、本体ボックス1内に存在が許容される基板8の最大
枚数Nmaxが記憶されている。23は第2のメモリで
あって、第1のセンサ18に検出された基板8の枚数N
1、すなわち入口5から本体ボックス1内に入った基板
8の枚数N1を逐一記憶する。25は第3のメモリであ
って、第2のセンサ19に検出された基板8の枚数N
2、すなわち出口6から送り出された基板8の枚数N2
を逐一記憶する。25は最小インターバルTminを記
憶する第4のメモリである。最小インターバルTmin
とは、これ以上短い時間間隔で基板8が本体ボックス1
の内部へ送り込まれると、本体ボックス1の内部で基板
8同士が接近しすぎるのを回避するために設定された時
間であって、コンベア7の搬送速度や基板8の寸法など
に基づいて設定される。制御部21は、第1のメモリ2
2、第2のメモリ23、第3のメモリ24、第4のメモ
リ25などに格納されたデータを読取りながら、第1の
シリンダ13や第2のシリンダ16などを制御する。2
6はタイマーであり、現在時間を制御部21に入力す
る。27は制御部21の操作部であり、オペレータが操
作する。In FIG. 1, reference numeral 22 denotes a first memory, which stores the maximum number Nmax of substrates 8 allowed to exist in the main body box 1. Reference numeral 23 denotes a second memory, which is the number N of substrates 8 detected by the first sensor 18.
1, that is, the number N1 of the substrates 8 that have entered the main body box 1 from the inlet 5 is stored one by one. Reference numeral 25 denotes a third memory, which is the number N of substrates 8 detected by the second sensor 19.
2, that is, the number N2 of substrates 8 sent from the exit 6.
Memorize every one. A fourth memory 25 stores the minimum interval Tmin. Minimum interval Tmin
Means that the substrate 8 is the main body box 1 at a shorter time interval.
When it is sent to the inside of the main body box 1, it is a time set in order to prevent the boards 8 from coming too close to each other inside the main body box 1, and is set based on the conveyance speed of the conveyor 7 and the size of the board 8. It The control unit 21 uses the first memory 2
2, while controlling the first cylinder 13, the second cylinder 16, and the like while reading the data stored in the second memory 23, the third memory 24, the fourth memory 25, and the like. Two
Reference numeral 6 is a timer, which inputs the current time into the control unit 21. Reference numeral 27 denotes an operation unit of the control unit 21, which is operated by the operator.
【0012】このリフロー装置は上記のような構成より
成り、次に図3および図4のフローチャートを参照しな
がら動作を説明する。まず、運転開始時には、第2のメ
モリ23の枚数N1および第3のメモリ24の枚数N2
は”0”にリセットされている(ステップ1)。また第
1のシリンダ13は”閉”、第2のシリンダ16は”
開”である(ステップ2)。なお”閉”は、ロッド1
4,17が突出して基板8の搬送を阻止している状態で
あり、また”開”はロッド14,17が引き込んで基板
8の搬送が許容される状態である。This reflow apparatus has the above-mentioned structure, and its operation will be described with reference to the flow charts of FIGS. 3 and 4. First, at the start of operation, the number N1 of the second memory 23 and the number N2 of the third memory 24 are
Has been reset to "0" (step 1). The first cylinder 13 is "closed" and the second cylinder 16 is "closed".
"Open" (step 2). "Closed" means rod 1
4, 17 is a state in which the substrate 8 is prevented from being conveyed, and "open" is a state in which the rods 14 and 17 are retracted to allow the substrate 8 to be conveyed.
【0013】さて、ステップ3でタイマー26をスター
トさせる。そして第3のセンサ20が”ON”であって
基板8を検出すれば(ステップ4)、本体ボックス1内
の基板8の枚数をN=N1−N2として演算し(ステッ
プ5)、この枚数Nが最大枚数Nmax以下であるかど
うかを判定する(ステップ6)。またタイマー26の時
間Tが最小インターバルTmin以上であるか否かを判
定する(ステップ7)。ステップ6およびステップ7で
何れもYESであれば、本体ボックス1内に基板8を搬
入しても差しつかえない。Now, in step 3, the timer 26 is started. If the third sensor 20 is "ON" and the board 8 is detected (step 4), the number of boards 8 in the main body box 1 is calculated as N = N1-N2 (step 5), and the number N is calculated. Is determined to be less than or equal to the maximum number Nmax (step 6). Further, it is determined whether the time T of the timer 26 is equal to or longer than the minimum interval Tmin (step 7). If both steps 6 and 7 are YES, the substrate 8 can be carried into the main body box 1 without any problem.
【0014】そこで第1のシリンダ13は”開”、第2
のシリンダ16は”閉”となり(ステップ8)、それま
で第1のシリンダ13で搬送を阻止されていた基板8は
本体ボックス1へ向って搬送が開始される。なおこのと
きは、第2のシリンダ16を”閉”にしておくことによ
り、誤って2枚の基板8が連続して本体ボックス1へ搬
送されないようにする。またこのように基板8が1枚、
本体ボックス1へ向って搬送されたならば、タイマー2
6はリセットされる(ステップ9)。なお運転開始時は
本体ボックス1の内部には基板8は存在しないのでN1
=0,N2=0であり、またT≧Tminであるので、
本体ボックス1内へ基板8が搬送される。Thereupon, the first cylinder 13 is "open" and the second
The cylinder 16 is closed (step 8), and the substrate 8 which has been blocked by the first cylinder 13 until then is started to be transferred to the main body box 1. At this time, the second cylinder 16 is "closed" so that the two substrates 8 are not mistakenly continuously transferred to the main body box 1. Also, in this way, one substrate 8
If it is transported to the main box 1, the timer 2
6 is reset (step 9). At the start of operation, the substrate 8 does not exist inside the main body box 1, so N1
= 0, N2 = 0, and T ≧ Tmin,
The substrate 8 is transferred into the main body box 1.
【0015】次に、ステップ10において第1のセンサ
18がONからOFFに切り替ったならば(すなわち基
板8が第1のセンサ18の下方を通過して本体ボックス
1内に送り込まれたことが確認されたならば)、第1の
シリンダ13は”閉”となり、また第2のシリンダ16
は”開”となって、それまで第2のシリンダ16で搬送
が阻止されていた基板8を第1のシリンダ13へ搬送
し、そのロッド14で搬送を阻止して、そのまま待機す
る(ステップ11)。次に本体ボックス1内の基板8の
枚数N1を1枚カウントアップする(ステップ12)。
次にステップ13において、第2のセンサ19がONか
らOFFに切り替ったならば(すなわち基板8が本体ボ
ックス1から搬出されたことが確認されたならば)、そ
の枚数N2を1枚カウントアップする(ステップ1
4)。そしてステップ14からステップ4に戻り、上述
した動作が繰り返される。なおステップ4,6,7でN
Oの場合は、何れもステップ10へ移行し、またステッ
プ10でNOならばステップ13へ移行し、またステッ
プ13でNOならばステップ4へ移行し、上記動作が繰
り返される。Next, in step 10, if the first sensor 18 is switched from ON to OFF (that is, the substrate 8 has passed below the first sensor 18 and has been fed into the main body box 1). If confirmed), the first cylinder 13 is "closed" and the second cylinder 16
Becomes "open", the substrate 8 which has been blocked by the second cylinder 16 until then is transported to the first cylinder 13, the transport is blocked by the rod 14, and the substrate stands by (step 11). ). Next, the number N1 of the substrates 8 in the main body box 1 is counted up by 1 (step 12).
Next, in step 13, if the second sensor 19 is switched from ON to OFF (that is, if it is confirmed that the substrate 8 has been carried out from the main body box 1), the number N2 is counted up by one. Yes (Step 1
4). Then, the process returns from step 14 to step 4, and the above-described operation is repeated. In Steps 4, 6 and 7, N
In the case of O, the process proceeds to step 10, if NO in step 10, the process proceeds to step 13, and if NO in step 13, the process proceeds to step 4, and the above operation is repeated.
【0016】またステップ4においてNOであれば、ス
テップ10へ移行する。またステップ6においてNOで
あれば、ステップ10へ移行し、N≦Nmaxとなるま
でステップ10以下の動作が繰り返されることにより、
本体ボックス1内に最大枚数Nmax以上の基板8が送
り込まれないようにする。またステップ7においてNO
の場合も、ステップ10へ移行し、T≧Tminになる
まで待機することにより、基板8と基板8の間隔D(図
1)が異常に小さくなって本体ボックス1内の基板8の
密度が極端に高くなるのを防止する。If NO in step 4, the process proceeds to step 10. On the other hand, if NO in step 6, the process proceeds to step 10 and the operations in step 10 and subsequent steps are repeated until N ≦ Nmax,
The maximum number Nmax of substrates 8 should not be fed into the main body box 1. Also, in step 7, NO
Also in the case of, the process proceeds to step 10 and waits until T ≧ Tmin, whereby the distance D between the substrates 8 (FIG. 1) becomes abnormally small, and the density of the substrates 8 in the main body box 1 becomes extremely small. Prevent it from getting too high.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、本
体ボックス内の基板の枚数や基板と基板の間隔を管理す
ることが可能となり、したがって本体ボックス内の基板
の枚数や間隔を適正に保ちながら、すべての基板を所望
の温度プロファイルになるように加熱して、均質で高品
質のハンダ付けが実現できる。As described above, according to the present invention, it is possible to control the number of boards in the main body box and the distance between the boards, and thus the number of boards and the distance in the main body box can be properly controlled. While maintaining this, all the substrates can be heated to have a desired temperature profile, and uniform and high quality soldering can be realized.
【図1】本発明の一実施例のリフロー装置の断面図FIG. 1 is a sectional view of a reflow apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施例のリフロー装置に備えられた
搬入コンベアの平面図FIG. 2 is a plan view of a carry-in conveyor provided in the reflow apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施例のリフロー装置の動作のフロ
ーチャートFIG. 3 is a flowchart of the operation of the reflow device according to the embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施例のリフロー装置の動作のフロ
ーチャートFIG. 4 is a flowchart of the operation of the reflow device according to the embodiment of the present invention.
1 本体ボックス 2 ヒータ 3 ファン 5 入口 6 出口 7 コンベア 8 基板 13 第1のシリンダ(第1のストッパ) 16 第2のシリンダ(第2のストッパ) 18 第1のセンサ 19 第2のセンサ 21 制御部 1 Body Box 2 Heater 3 Fan 5 Inlet 6 Outlet 7 Conveyor 8 Substrate 13 First Cylinder (First Stopper) 16 Second Cylinder (Second Stopper) 18 First Sensor 19 Second Sensor 21 Control Section
Claims (2)
本体ボックスの入口から出口へ基板を搬送するコンベア
と、この本体ボックスの内部を搬送中の基板の枚数を検
知する検知手段と、前記入口よりも上流位置にあって前
記本体ボックスへの基板の搬送を阻止する第1のストッ
パと、この第1のストッパよりも上流位置にあってこの
第1のストッパへの基板の搬送を阻止する第2のストッ
パと、前記枚数が設定枚数以下の場合は前記第1のスト
ッパによる基板の搬送阻止状態を解除してこの基板を前
記本体ボックスへ向って搬送するとともに、この基板が
この第1のストッパを通過したならば、この第1のスト
ッパを再度基板の搬送阻止状態に復帰させ、また前記第
2のストッパによる基板の搬送阻止状態を解除してこの
基板を前記第1のストッパへ向って搬送するように制御
する制御部とを設けたことを特徴とするリフロー装置。1. A main body box having a built-in heater, a conveyer for conveying a substrate from an inlet to an outlet of the main body box, a detecting means for detecting the number of substrates being conveyed inside the main body box, and the inlet. A first stopper located upstream of the first stopper to prevent the transfer of the substrate to the main body box; and a first stopper located upstream of the first stopper to prevent the transfer of the substrate to the first stopper. 2 stoppers and when the number of sheets is less than or equal to the set number, the state in which the substrate is prevented from being conveyed by the first stopper is released and the substrate is conveyed toward the main body box. If the first substrate is passed through the first stopper, the first stopper is returned to the substrate transport blocking state again, and the substrate transport blocking state by the second stopper is released to move the substrate to the first block. Reflow apparatus characterized by comprising a control unit for controlling to convey toward the stopper.
本体ボックスの入口から出口へ基板を搬送するコンベア
と、前記入口よりも上流位置にあって前記本体ボックス
への基板の搬送を阻止する第1のストッパと、この第1
のストッパよりも上流位置にあってこの第1のストッパ
への基板の搬送を阻止する第2のストッパと、前記第1
のストッパと前記第2のストッパによる基板の搬送阻止
状態を一定時間毎に解除することにより基板を所定の間
隔で前記本体ボックスへ搬送するように制御する制御部
とを設けたことを特徴とするリフロー装置。2. A main body box having a built-in heater, a conveyer for conveying a substrate from an inlet of the main body box to an outlet, and a conveyer for preventing the conveyance of the substrate to the main body box at a position upstream of the inlet. 1 stopper and this 1st
A second stopper located upstream of the first stopper for preventing the transfer of the substrate to the first stopper;
And a control unit for controlling the transfer of the substrate to the main body box at a predetermined interval by releasing the transfer blocking state of the substrate by the second stopper at regular intervals. Reflow equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08153194A JP3152059B2 (en) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | Reflow equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08153194A JP3152059B2 (en) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | Reflow equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH07297537A true JPH07297537A (en) | 1995-11-10 |
JP3152059B2 JP3152059B2 (en) | 2001-04-03 |
Family
ID=13748906
Family Applications (1)
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