JPH0737016U - 電気掃除機 - Google Patents
電気掃除機Info
- Publication number
- JPH0737016U JPH0737016U JP7268993U JP7268993U JPH0737016U JP H0737016 U JPH0737016 U JP H0737016U JP 7268993 U JP7268993 U JP 7268993U JP 7268993 U JP7268993 U JP 7268993U JP H0737016 U JPH0737016 U JP H0737016U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- vacuum cleaner
- pipe
- intake
- tip portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Nozzles For Electric Vacuum Cleaners (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 窪みや角の部分に溜まっているゴミを、撒き
散らすことなく効果的に吸い取ることができる電気掃除
機を提供する。 【構成】 ファン４、その駆動用のモータ６、集塵フィ
ルタ８、吸気口１０および排気口１２を有する本体部２
の排気口１２に、その排気の一部を取り込む排気管１６
を接続し、この排気管１６の先端部１６ａを、吸気管１
４の先端部１４ａ内に挿入している。
散らすことなく効果的に吸い取ることができる電気掃除
機を提供する。 【構成】 ファン４、その駆動用のモータ６、集塵フィ
ルタ８、吸気口１０および排気口１２を有する本体部２
の排気口１２に、その排気の一部を取り込む排気管１６
を接続し、この排気管１６の先端部１６ａを、吸気管１
４の先端部１４ａ内に挿入している。
Description
【０００１】
この考案は、例えばイオン注入装置内、その他の半導体製造装置内、更には半 導体製造工場におけるクリーンルーム内に溜まっているゴミを吸い取る電気掃除 機に関する。
【０００２】
この種の電気掃除機の従来例を図２に示す。この電気掃除機は、ファン４、そ の駆動用のモータ６、集塵フィルタ８、吸気口１０および排気口１２を有する本 体部２と、この本体部２の吸気口１０に接続された吸気管１４とを備えている。
【０００３】
従来は、このような電気掃除機を用いて、前述したイオン注入装置内等に溜ま っているゴミを吸い取っていたが、イオン注入装置等においては、窪みや角の部 分が比較的多く、そのような部分に吸気管１４の先端部１４ａを単に近づけて吸 引しても、そこに溜まっているゴミをうまく吸い取ることができないという問題 があった。
【０００４】 一般的に、窪みや角の部分に溜まっているゴミを除去するには、そこに空気を 吹き付ける方法が有効であるが、単にそのようにすると、溜まっていたゴミを撒 き散らすことになり、かえって掃除が難しくなる。特にイオン注入装置等におい ては、撒き散らしたゴミが残っていると、半導体基板へのパーティクル付着等の 原因になる。また、イオン注入装置（より具体的にはそのイオン源）等において は、ヒ素等の有毒元素を利用する場合もあるから、人体に対する安全上も好まし くない。
【０００５】 そこでこの考案は、窪みや角の部分に溜まっているゴミを、撒き散らすことな く効果的に吸い取ることができる電気掃除機を提供することを主たる目的とする 。
【０００６】
上記目的を達成するため、この考案の電気掃除機は、前記本体部の排気口に、 その排気の一部を取り込む排気管を接続し、この排気管の先端部を、前記吸気管 の先端部内に挿入していることを特徴とする。
【０００７】
このような電気掃除機によれば、吸気管の先端部内に挿入した排気管の先端部 から空気を吹き出しながら、吸気管の先端部から空気を吸い込むことができる。 従って、窪みや角の部分に溜まっているゴミは、排気管から吹き付けられる空気 によって巻き上げられて吸い取りやすくされると同時に、吸気管の先端部内に吸 い込まれる。その結果、窪みや角の部分に溜まっているゴミを、撒き散らすこと なく効果的に吸い取ることができる。
【０００８】
図１は、この考案の一実施例に係る電気掃除機を示す概略断面図である。図２ の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従 来例との相違点を主に説明する。
【０００９】 この実施例においては、前述したような本体部２の排気口１２に、その排気の 一部を取り込む排気管１６を接続し、この排気管１６の先端部１６ａを、前述し た吸気管１４の先端部１４ａ内に挿入している。
【００１０】 その場合、排気管１６の先端部１６ａは、図示例のように吸気管１４の先端部 １４ａより幾分内側にあっても良いし、ほぼ揃っていても良いし、幾分外側に出 ていても良い。
【００１１】 このような電気掃除機によれば、吸気管１４の先端部１４ａ内に挿入した排気 管１６の先端部１６ａから空気を吹き出しながら、吸気管１４の先端部１４ａか ら空気を吸い込むことができる。従って、イオン注入装置等における窪みや角の 部分に溜まっているゴミは、排気管１６から吹き付けられる空気によって巻き上 げられて吸い取りやすくされると同時に、吸気管１４の先端部１４ａ内に吸い込 まれる。
【００１２】 その結果、窪みや角の部分に溜まっているゴミを、撒き散らすことなく効果的 に吸い取ることができる。勿論、窪みや角の部分以外の清掃においても大きな効 果を発揮することができる。
【００１３】 特に、このような電気掃除機は、半導体基板へのパーティクル付着を厳格に防 止しなければならないと共に、ヒ素等の人体に有害な物質を用いることのあるイ オン注入装置、その他の半導体製造装置、更には半導体製造工場におけるクリー ンルーム等の清掃において大きな効果を発揮する。
【００１４】 上記の場合、排気管１６からの排気速度を、吸気管１４からの吸気速度より高 めた方が、窪みや角の部分に溜まっているゴミの吸い取りにより大きな効果を発 揮する場合があるので、その場合は、排気管１６の先端部１６ａの断面寸法を吸 気管１４の先端部１４ａの断面寸法よりもかなり小さくして排気速度を上げれば 良い。また、必要に応じて、排気管１６の途中に、排気速度を加速するブースタ 用のファンを設けても良い。更に必要に応じて、排気管１６の途中に、その先端 部１６ａからの排気速度を調整する絞り機構を設けても良い。
【００１５】
以上のようにこの考案によれば、吸気管の先端部内に挿入した排気管の先端部 から空気を吹き出しながら、吸気管の先端部から空気を吸い込むことができるの で、窪みや角の部分に溜まっているゴミを、撒き散らすことなく効果的に吸い取 ることができる。
【図１】この考案の一実施例に係る電気掃除機を示す概
略断面図である。
略断面図である。
【図２】従来の電気掃除機の一例を示す概略断面図であ
る。
る。
２ 本体部 ４ ファン ６ モータ ８ 集塵フィルタ １０ 吸気口 １２ 排気口 １４ 吸気管 １６ 排気管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/265
Claims (1)
- 【請求項１】 ファン、その駆動用のモータ、集塵フィ
ルタ、吸気口および排気口を有する本体部と、この本体
部の吸気口に接続された吸気管とを備える電気掃除機に
おいて、前記本体部の排気口に、その排気の一部を取り
込む排気管を接続し、この排気管の先端部を、前記吸気
管の先端部内に挿入していることを特徴とする電気掃除
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7268993U JPH0737016U (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 電気掃除機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7268993U JPH0737016U (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 電気掃除機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737016U true JPH0737016U (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=13496594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7268993U Pending JPH0737016U (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 電気掃除機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737016U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000044055A (ko) * | 1998-12-29 | 2000-07-15 | 전주범 | 공기분사장치를 지니는 진공청소기 |
| JP2002085295A (ja) * | 2000-09-16 | 2002-03-26 | Masayoshi Furuichi | 循環気流型、電気掃除機 |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP7268993U patent/JPH0737016U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000044055A (ko) * | 1998-12-29 | 2000-07-15 | 전주범 | 공기분사장치를 지니는 진공청소기 |
| JP2002085295A (ja) * | 2000-09-16 | 2002-03-26 | Masayoshi Furuichi | 循環気流型、電気掃除機 |
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