JPH0735575B2 - 帯状物連続真空蒸着処理装置 - Google Patents
帯状物連続真空蒸着処理装置Info
- Publication number
- JPH0735575B2 JPH0735575B2 JP16470086A JP16470086A JPH0735575B2 JP H0735575 B2 JPH0735575 B2 JP H0735575B2 JP 16470086 A JP16470086 A JP 16470086A JP 16470086 A JP16470086 A JP 16470086A JP H0735575 B2 JPH0735575 B2 JP H0735575B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- chamber
- vapor deposition
- strip
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、金属ストリップ等の帯状物の表面に高真空室
中でイオンプレーティング等の物理的蒸着法によって金
属、セラミックスその他の薄い被膜を連続的にコーテイ
ングするための帯状物連続真空蒸着処理装置に関するも
のである。
中でイオンプレーティング等の物理的蒸着法によって金
属、セラミックスその他の薄い被膜を連続的にコーテイ
ングするための帯状物連続真空蒸着処理装置に関するも
のである。
（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にA
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装置とし
て、第４図に示すような形式のものが既知である。この
図示の形式の連続真空蒸着処理装置は、真空蒸着処理を
行なうための高真空に維持される真空室１と、この真空
室１の入口1aおよび出口1bにそれぞれ通じる入側および
出側シール用差圧室２および３とを具え、これら両シー
ル用差圧室2,3は真空室１に近い程高真空度に調圧され
た複数個の区分室によりそれぞれ構成され、金属ストリ
ップ等の帯状物４を入口1aから出口1bを経て連続的に真
空室１内に通過させて蒸着処理を行っている際に、真空
室１内を高真空室に維持するための真空封止を確保する
よう構成されている。
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装置とし
て、第４図に示すような形式のものが既知である。この
図示の形式の連続真空蒸着処理装置は、真空蒸着処理を
行なうための高真空に維持される真空室１と、この真空
室１の入口1aおよび出口1bにそれぞれ通じる入側および
出側シール用差圧室２および３とを具え、これら両シー
ル用差圧室2,3は真空室１に近い程高真空度に調圧され
た複数個の区分室によりそれぞれ構成され、金属ストリ
ップ等の帯状物４を入口1aから出口1bを経て連続的に真
空室１内に通過させて蒸着処理を行っている際に、真空
室１内を高真空室に維持するための真空封止を確保する
よう構成されている。
真空室１内には、蒸着すべき金属等を溶融状態に保持す
る蒸着ポットのような蒸発源５がコーテイングユニット
として設けられている。
る蒸着ポットのような蒸発源５がコーテイングユニット
として設けられている。
入側差圧室２の入口側および出側差圧室３の出口側に
は、それぞれコイル巻戻機６および巻取機７が設けら
れ、これにより、巻戻機６によってコイルから巻戻した
帯状物４を入側差圧室２の入口開口８から真空室１を経
て出側差圧室３の出口開口９に連続的に通し、真空室１
で蒸発源５から蒸発した金属蒸気を帯状物の表面に蒸着
させ、出側差圧室３の出口開口９から出た帯状物４を巻
取機７によってコイル状に巻き取るよう構成されてい
る。
は、それぞれコイル巻戻機６および巻取機７が設けら
れ、これにより、巻戻機６によってコイルから巻戻した
帯状物４を入側差圧室２の入口開口８から真空室１を経
て出側差圧室３の出口開口９に連続的に通し、真空室１
で蒸発源５から蒸発した金属蒸気を帯状物の表面に蒸着
させ、出側差圧室３の出口開口９から出た帯状物４を巻
取機７によってコイル状に巻き取るよう構成されてい
る。
入側差圧室２の複数個の区分室の内部圧力は、真空室１
内の真空度を所定値に維持するように、大気圧に近い入
側端の区分室から順次の区分室の内部の真空度を高め、
他方、出側差圧室３の複数個の区分室の内部圧力は真空
室１内の所定の真空度から順次出側端に向けて低めてい
って出側端の区分室では大気圧近くになっている。
内の真空度を所定値に維持するように、大気圧に近い入
側端の区分室から順次の区分室の内部の真空度を高め、
他方、出側差圧室３の複数個の区分室の内部圧力は真空
室１内の所定の真空度から順次出側端に向けて低めてい
って出側端の区分室では大気圧近くになっている。
（発明が解決しようとする問題点） このような連続真空蒸着処理装置では、真空室１内に設
置されている蒸発源の取替、蒸発物の補充を頻繁に行な
う必要があり、また、真空室内に設置されているコーテ
イングユニットその他の蒸着用機器等に蒸発源５から蒸
発した金属等の蒸気が付着し、この結果としてこれらの
機器が正常に作動しなくなるために真空室内に入って清
掃する必要があり、さらに、真空室内の上述した機器の
メンテナンスも必要である。
置されている蒸発源の取替、蒸発物の補充を頻繁に行な
う必要があり、また、真空室内に設置されているコーテ
イングユニットその他の蒸着用機器等に蒸発源５から蒸
発した金属等の蒸気が付着し、この結果としてこれらの
機器が正常に作動しなくなるために真空室内に入って清
掃する必要があり、さらに、真空室内の上述した機器の
メンテナンスも必要である。
しかしながら、上述したような構成の従来の連続真空蒸
着処理装置では、上記の各作業を行なうため、高真空の
真空室を解放して大気雰囲気にしており、この結果、真
空室内の帯状物は製品にならず、製品歩留りが低下する
問題や、各種作業終了後に室内をもとの真空度にするた
めに長時間を要し、これがため設備の稼動率が低下する
という問題があった。
着処理装置では、上記の各作業を行なうため、高真空の
真空室を解放して大気雰囲気にしており、この結果、真
空室内の帯状物は製品にならず、製品歩留りが低下する
問題や、各種作業終了後に室内をもとの真空度にするた
めに長時間を要し、これがため設備の稼動率が低下する
という問題があった。
本発明は上述した問題を解決し、上述した各種作業を行
なうことによって生じる製品歩留りおよび設備の稼動率
の低下を少なくするよう改善した連続真空蒸着処理装置
を提供しようとするものである。
なうことによって生じる製品歩留りおよび設備の稼動率
の低下を少なくするよう改善した連続真空蒸着処理装置
を提供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、第１図に示すように、高真空に排気さ
れる真空室１と、この真空室内に高真空を維持しながら
真空蒸着処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気中から真
空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から
導出し得るよう真空室１の入側および出側に連続して設
けられたシール用差圧室2,3とを具える連続真空蒸着処
理装置において、少なくともコーテイングユニットであ
る蒸発源５およびその真上に位置する帯状物部分4aを包
囲する蒸着室10が設けられ、この蒸着室10への帯状物４
の入口11および出口12に開閉可能の密閉装置13,14がそ
れぞれ設けられ、外部から蒸着室10内に直接に出入し得
る密閉扉付点検口15が設けられていることを特徴とす
る。
れる真空室１と、この真空室内に高真空を維持しながら
真空蒸着処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気中から真
空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から
導出し得るよう真空室１の入側および出側に連続して設
けられたシール用差圧室2,3とを具える連続真空蒸着処
理装置において、少なくともコーテイングユニットであ
る蒸発源５およびその真上に位置する帯状物部分4aを包
囲する蒸着室10が設けられ、この蒸着室10への帯状物４
の入口11および出口12に開閉可能の密閉装置13,14がそ
れぞれ設けられ、外部から蒸着室10内に直接に出入し得
る密閉扉付点検口15が設けられていることを特徴とす
る。
（作用） 上述の構成を具える本発明による帯状物連続真空蒸着処
理装置は、帯状物４の送りを停止した状態において、蒸
着室10の入口11および出口12の密閉装置13,14を閉止
し、点検口15を開放して蒸着室10内を大気に通じさせる
ことにより、装置の他の部分、例えば、真空室１、入側
および出側シール用差圧室内の真空度を低下させること
なく、蒸発源５の蒸発物の補充、蒸発源５その他のコー
テイングユニットの清掃、補修または交換を行なうこと
ができ、それらの作業完了時、点検口15を密閉し、蒸着
室10の入口11および出口12の密閉装置13,14を開放し
て、例えば、高真空度に維持されている真空室１に通じ
させ図示せざる真空装置により急速に所定の真空度に回
復させることができる。
理装置は、帯状物４の送りを停止した状態において、蒸
着室10の入口11および出口12の密閉装置13,14を閉止
し、点検口15を開放して蒸着室10内を大気に通じさせる
ことにより、装置の他の部分、例えば、真空室１、入側
および出側シール用差圧室内の真空度を低下させること
なく、蒸発源５の蒸発物の補充、蒸発源５その他のコー
テイングユニットの清掃、補修または交換を行なうこと
ができ、それらの作業完了時、点検口15を密閉し、蒸着
室10の入口11および出口12の密閉装置13,14を開放し
て、例えば、高真空度に維持されている真空室１に通じ
させ図示せざる真空装置により急速に所定の真空度に回
復させることができる。
これがため、本発明によれば、蒸着室10の大気開放後に
おける再スタートまでの真空度の回復が極めて容易で短
時間で行なうことができるので、定期的蒸発物の補充お
よびコーテイングユニットの点検、補修等のメンテナン
スばかりでなく、操業途中でのコーテイングユニットの
トラブル時においてこれに直ちに対応して補修または交
換が可能である。したがって、設備の稼動率を著しく向
上させることができる。
おける再スタートまでの真空度の回復が極めて容易で短
時間で行なうことができるので、定期的蒸発物の補充お
よびコーテイングユニットの点検、補修等のメンテナン
スばかりでなく、操業途中でのコーテイングユニットの
トラブル時においてこれに直ちに対応して補修または交
換が可能である。したがって、設備の稼動率を著しく向
上させることができる。
また、蒸着室の大気開放によって影響を受ける帯状物の
長さが著しく短くなることによって、製品の歩留りをも
著しく向上させることができる。
長さが著しく短くなることによって、製品の歩留りをも
著しく向上させることができる。
（実施例） 第２図および第３図は本発明の一実施例を示す。図面に
示す例では、真空室１内にコーテイングユニットである
蒸発源５およびその真上に位置する帯状物部分4aを包囲
する小容積の蒸着室10が上下に分割された外匣部分10a,
10bで構成されて真空室１の下部を横切って設けられ、
この蒸着室10への帯状物４の入口11および出口12に開閉
可能の密閉装置13,14がそれぞれ設けられ、蒸着室10の
一方の側壁、すなわち真空室１の一方の側壁下部に点検
口15が設けられ、この点検口15は密閉扉16によって開閉
可能に密閉されている。
示す例では、真空室１内にコーテイングユニットである
蒸発源５およびその真上に位置する帯状物部分4aを包囲
する小容積の蒸着室10が上下に分割された外匣部分10a,
10bで構成されて真空室１の下部を横切って設けられ、
この蒸着室10への帯状物４の入口11および出口12に開閉
可能の密閉装置13,14がそれぞれ設けられ、蒸着室10の
一方の側壁、すなわち真空室１の一方の側壁下部に点検
口15が設けられ、この点検口15は密閉扉16によって開閉
可能に密閉されている。
入口11および出口12にそれぞれ設けられてる開閉可能の
密閉装置13,14は同じ構造とすることができ、したがっ
て一方の密閉装置13の構造につき詳細に説明する。
密閉装置13,14は同じ構造とすることができ、したがっ
て一方の密閉装置13の構造につき詳細に説明する。
図示の例では、水平方向に細長く開口する入口11を上下
から開閉する昇降扉17,18が蒸着室10（10aまたは10b）
の外壁に固着された案内部材19によって蒸着室外壁に沿
ってそれぞれ上下に摺動自在に設けられ、蒸着室外壁に
固着された上下シリンダー装置20,21が上下昇降扉17,18
をそれぞれ作動し得るよう連結されている。上下昇降扉
17,18の先端部には弾性シール材22,23がそれぞれ設けら
れ、これにより、蒸着室10に大気開放時に、上下昇降扉
17,18をシリンダー装置20,21によってそれぞれ下降およ
び上昇させて入口11を閉止する際に上下シリンダー装置
20,21によって弾性シール材22,23を帯状物４の上下面に
押しつけ、シール材22,23の弾性変形によって、帯状物
４の両側に間隙を残すことなく、完全に密閉することが
できるよう構成されている。
から開閉する昇降扉17,18が蒸着室10（10aまたは10b）
の外壁に固着された案内部材19によって蒸着室外壁に沿
ってそれぞれ上下に摺動自在に設けられ、蒸着室外壁に
固着された上下シリンダー装置20,21が上下昇降扉17,18
をそれぞれ作動し得るよう連結されている。上下昇降扉
17,18の先端部には弾性シール材22,23がそれぞれ設けら
れ、これにより、蒸着室10に大気開放時に、上下昇降扉
17,18をシリンダー装置20,21によってそれぞれ下降およ
び上昇させて入口11を閉止する際に上下シリンダー装置
20,21によって弾性シール材22,23を帯状物４の上下面に
押しつけ、シール材22,23の弾性変形によって、帯状物
４の両側に間隙を残すことなく、完全に密閉することが
できるよう構成されている。
（発明の効果） 本発明によれば、蒸着室10の大気開放後における再スタ
ートまでの真空度の回復が極めて容易で短時間で行なう
ことができるので、定期的蒸発物の補充およびコーテイ
ングユニットの点検、補修等のメンテナンスばかりでな
く、操業途中でのコーテイングユニットのトラブル時に
おいてこれに直ちに対応して補修または交換が可能であ
る。したがって、設備の稼動率を著しく向上させること
ができる。
ートまでの真空度の回復が極めて容易で短時間で行なう
ことができるので、定期的蒸発物の補充およびコーテイ
ングユニットの点検、補修等のメンテナンスばかりでな
く、操業途中でのコーテイングユニットのトラブル時に
おいてこれに直ちに対応して補修または交換が可能であ
る。したがって、設備の稼動率を著しく向上させること
ができる。
また、蒸着室の大気開放によって影響を受ける帯状物の
長さが著しく短くなることによって、製品の歩留りをも
著しく向上させることができる。
長さが著しく短くなることによって、製品の歩留りをも
著しく向上させることができる。
第１図は本発明による処理装置の全体の概略線図、 第２図は第１図のII−II線上で断面とした蒸着室の部分
の詳細を示す縦断面図、 第３図は第２図のIII−III線上の縦断面図、 第４図は従来の処理装置の全体の概略線図である。 １…真空室 ２…入側シール用差圧室 ３…出側シール用差圧室、４…帯状物 4a…帯状物部分 ５…コーテイングユニットの蒸発源 10…蒸着室、11…入口 12…出口、13,14…密閉装置 15…点検口、16…密閉扉 17,18…昇降扉、19…案内部材 20,21…シリンダー装置 22,23…弾性シール材
の詳細を示す縦断面図、 第３図は第２図のIII−III線上の縦断面図、 第４図は従来の処理装置の全体の概略線図である。 １…真空室 ２…入側シール用差圧室 ３…出側シール用差圧室、４…帯状物 4a…帯状物部分 ５…コーテイングユニットの蒸発源 10…蒸着室、11…入口 12…出口、13,14…密閉装置 15…点検口、16…密閉扉 17,18…昇降扉、19…案内部材 20,21…シリンダー装置 22,23…弾性シール材
Claims (1)
- 【請求項１】高真空に排気される真空室と、この真空室
内の高真空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物を
入側大気雰囲気中から真空室に導入するとともに出側大
気雰囲気中に真空室から導出し得るよう真空室の入側お
よび出側に連続して設けられたシール用差圧室とを具え
る帯状物連続真空蒸着処理装置において、 少なくともコーテイングユニットおよびこれにより被膜
が形成される帯状物部分を包囲する蒸着室が設けられ、
この蒸着室への帯状物の入口および出口に開閉可能の密
閉装置がそれぞれ設けられ、外部から蒸着室内に直接に
出入し得る密閉扉付点検口が設けられていることを特徴
とする帯状物連続真空蒸着処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16470086A JPH0735575B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 帯状物連続真空蒸着処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16470086A JPH0735575B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 帯状物連続真空蒸着処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320474A JPS6320474A (ja) | 1988-01-28 |
| JPH0735575B2 true JPH0735575B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=15798210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16470086A Expired - Lifetime JPH0735575B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 帯状物連続真空蒸着処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735575B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4809385B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2011-11-09 | 富士通テレコムネットワークス株式会社 | プリント基板 |
| CN114481081A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-05-13 | 上海子创镀膜技术有限公司 | 一种下沉式真空腔体 |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP16470086A patent/JPH0735575B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6320474A (ja) | 1988-01-28 |
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