JPH0733579A - Production of fine single crystal powder - Google Patents

Production of fine single crystal powder

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JPH0733579A
JPH0733579A JP20188093A JP20188093A JPH0733579A JP H0733579 A JPH0733579 A JP H0733579A JP 20188093 A JP20188093 A JP 20188093A JP 20188093 A JP20188093 A JP 20188093A JP H0733579 A JPH0733579 A JP H0733579A
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JP
Japan
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compound
compounds
powder
single crystal
acid
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JP20188093A
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Japanese (ja)
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Kunio Saegusa
邦夫 三枝
Yutaka Suzuki
豊 鈴木
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a method for producing fine single crystal powder in which the fine single crystal of a perovskite structure having a uniform composition and grain diameter and a high crystallinity is synthesized at a lower temperature. CONSTITUTION:This method for producing fine single crystal powder is to mix respective oxides of X, M and G or compounds of the X, M and G convertible into the oxides thereof so as to provide <0.1mum diameter thereof, bake the resultant mixture, afford a dielectric composition expressed by the general formula wXMO3-(1-w)(XOy-aGOz) [X is one or two or more selected from Li, Na, K, Pb, Ba, Mg, Ca, Sr, La, Y and Bi; M is one or two or more selected from Al, Mn, Ti, Zr, Sn, Mg, Zn, Fe, Co, Ni, Nb, Ta and W; G is one or two or more selected from B, As, Sb, Si, Ge, Te and P; (y) and (z) denote the number of oxygen; (w) denotes the number of mol; (a) is a real number; 0.1<(w)<=0.95; 0.05<=(a)<=21, then dissolve and remove glassy components therefrom with an acid or an alkali and provide this fine single crystal powder.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、微細単結晶粉末の製造
方法に関するもので、特に各粒子が粒径の揃った単結晶
であるようなペロブスカイト構造の微細単結晶粉末の製
造方法に関するものである。本発明により得られる微細
単結晶粉末は、圧電コンポジットとして、アクチュエー
タ、感圧センサ等の圧電部品へ、また希土類イオンのド
ーピングによって蛍光体原料への応用等が挙げられる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a fine single crystal powder, and more particularly to a method for producing a fine single crystal powder having a perovskite structure in which each particle is a single crystal having a uniform grain size. is there. The fine single crystal powder obtained by the present invention can be applied as a piezoelectric composite to piezoelectric components such as actuators and pressure-sensitive sensors, and to phosphor materials by doping with rare earth ions.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、チタン酸バリウム、チタン酸
ジルコン酸鉛等の誘電体粉末は、その誘電特性、圧電特
性により磁器コンデンサーやフィルター等の材料として
利用されてきた。これら粉末は一般に酸化物、炭酸塩等
の粉末を高温で焼成することによる固相反応や、水溶液
中で溶液反応による共沈法等で0.5〜5μmの誘電体
粉末として製造されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, dielectric powders such as barium titanate and lead zirconate titanate have been used as materials for porcelain capacitors and filters due to their dielectric and piezoelectric characteristics. These powders are generally manufactured as a dielectric powder of 0.5 to 5 μm by a solid phase reaction by firing powders of oxides, carbonates and the like at a high temperature or a coprecipitation method by a solution reaction in an aqueous solution.

【0003】これらいずれの反応においても、得られる
粉末は一次粒子が凝集して形成されている2次粒子から
なっており、組成の均一性、結晶性に問題があった。こ
れを解決するために水熱合成法が提案されているが、そ
の方法は高温高圧を必要とし、設備費、生産性等からコ
ストが高くなる。そこで、他の方法として結晶化ガラス
を用いる方法も提案されている。
In any of these reactions, the powder obtained is composed of secondary particles formed by agglomeration of primary particles, and there is a problem in composition uniformity and crystallinity. A hydrothermal synthesis method has been proposed to solve this problem, but the method requires high temperature and high pressure, and the cost is high due to equipment cost, productivity, and the like. Therefore, as another method, a method using crystallized glass has been proposed.

【0004】この方法では、まずガラスを形成できるよ
うな組成に化合物を配合後、1400℃程度の高温で溶
融した後に急冷してガラスとし、次いでこれを600〜
800℃で熱処理することにより結晶化させて微細単結
晶を得るものである。この方法は、ガラス化しうる組成
が極めて限られ、また結晶相の割合を50%よりも多く
することは極めて困難であった。
In this method, the compound is first mixed in a composition capable of forming glass, melted at a high temperature of about 1400 ° C., and then rapidly cooled to form glass, which is then heated to 600-
A fine single crystal is obtained by crystallization by heat treatment at 800 ° C. In this method, the composition that can be vitrified is extremely limited, and it was extremely difficult to increase the proportion of the crystal phase to more than 50%.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の目的
は、組成が均一で結晶性が高く、粒径の揃ったペロブス
カイト構造の微細単結晶粉末を、より低温で合成できる
製造方法を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a manufacturing method capable of synthesizing a fine single crystal powder having a perovskite structure having a uniform composition, a high crystallinity, and a uniform grain size at a lower temperature. It is a thing.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】かかる事情に鑑み、本発
明者らはペロブスカイト構造の微細単結晶粉末について
鋭意検討を重ねた結果、その製造方法を見出し、本発明
を完成させたものである。
In view of such circumstances, the inventors of the present invention have made earnest studies on a fine single crystal powder having a perovskite structure, and as a result, have found a manufacturing method thereof and completed the present invention.

【0007】すなわち、本発明は下記に示すものであ
る。 1)Xの酸化物(XはLi、Na、K、Pb、Ba、M
g、Ca、Sr、La、Y、Biから選ばれた1種また
は2種以上)、Mの酸化物(MはAl、Mn、Ti、Z
r、Sn、Mg、Zn、Fe、Co、Ni、Nb、T
a、Wから選ばれた1種または2種以上)、Gの酸化物
(GはB、As、Sb、Si、Ge、Te、Pから選ば
れた1種または2種以上)またはこれらの酸化物に転換
し得るX化合物、M化合物、G化合物を用い、それぞれ
の酸化物または化合物の直径が0.1μm未満となるよ
うに混合し、焼成して一般式wXMO3 −(1−w)
(XOy−aGOz )(式中、y、zは酸素数を表し、
XがLi、Na、Kのときはy=0.5、XがPb、B
a、Mg、Ca、Srのときはy=1、XがLa、Y、
Biのときはy=1.5である。GがB、As、Sbの
ときはz=1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=
2、GがPのときはz=2.5である。wはモル数を表
し、aは実数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a
≦2である。)で表される誘電体組成物を得、これから
ガラス成分を酸またはアルカリで溶解除去することを特
徴とする微細単結晶粉末の製造方法。
That is, the present invention is as follows. 1) X oxide (X is Li, Na, K, Pb, Ba, M
One or more selected from g, Ca, Sr, La, Y and Bi) and an oxide of M (M is Al, Mn, Ti, Z).
r, Sn, Mg, Zn, Fe, Co, Ni, Nb, T
a, one or more selected from W), an oxide of G (G is one or more selected from B, As, Sb, Si, Ge, Te, P) or an oxidation thereof. X compounds, M compounds, and G compounds that can be converted into compounds are mixed so that the diameter of each oxide or compound is less than 0.1 μm, and the mixture is calcined to give the general formula wXMO 3- (1-w).
(XO y -aGO z) (wherein, y, z represents the number of oxygen atoms,
When X is Li, Na, K, y = 0.5, X is Pb, B
When a, Mg, Ca, and Sr, y = 1, X is La, Y,
In the case of Bi, y = 1.5. When G is B, As, Sb, z = 1.5, when G is Si, Ge, Te, z =
When 2, G is P, z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95, 0.05 ≦ a
≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.

【0008】2)有機溶媒に可溶なX化合物(XはL
i、Na、K、Pb、Ba、Mg、Ca、Sr、La、
Y、Biから選ばれた1種または2種以上)、M化合物
(MはAl、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、F
e、Co、Ni、Nb、Ta、Wから選ばれた1種また
は2種以上)、G化合物(GはB、As、Sb、Si、
Ge、Te、Pから選ばれた1種または2種以上)を用
い、それぞれの溶液を混合し、乾燥または加水分解して
それぞれの化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末と
し、次いで焼成して一般式wXMO3 −(1−w)(X
y −aGOz )(式中、y、zは酸素数を表し、Xが
Li、Na、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、
Mg、Ca、Srのときはy=1、XがLa、Y、Bi
のときはy=1.5である。GがB、As、Sbのとき
はz=1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、
GがPのときはz=2.5である。wはモル数を表し、
aは実数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2
である。)で表される誘電体組成物を得、これからガラ
ス成分を酸またはアルカリで溶解除去することを特徴と
する微細単結晶粉末の製造方法。
2) X compound soluble in an organic solvent (X is L
i, Na, K, Pb, Ba, Mg, Ca, Sr, La,
One or more selected from Y and Bi), M compound (M is Al, Mn, Ti, Zr, Sn, Mg, Zn, F)
e, Co, Ni, Nb, Ta, W, one or more selected from, and G compounds (G is B, As, Sb, Si,
Ge, Te, or P) selected from the above, each solution is mixed, dried or hydrolyzed to form a mixed powder having a diameter of each compound of less than 0.1 μm, and then calcined. General formula wXMO 3- (1-w) (X
O y -aGO z) (wherein, y, z represents the number of oxygen atoms, X is Li, Na, y = 0.5 When the K, X is Pb, Ba,
When Mg, Ca, Sr, y = 1, X is La, Y, Bi
Then y = 1.5. When G is B, As, Sb, z = 1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2,
When G is P, z = 2.5. w represents the number of moles,
a is a real number, 0.1 <w ≦ 0.95, 0.05 ≦ a ≦ 2
Is. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.

【0009】3)1次粒子の粒径が0.1μm未満のX
化合物(XはLi、Na、K、Pb、Ba、Mg、C
a、Sr、La、Y、Biから選ばれた1種または2種
以上)、M化合物(MはAl、Mn、Ti、Zr、S
n、Mg、Zn、Fe、Co、Ni、Nb、Ta、Wか
ら選ばれた1種または2種以上)、G化合物(GはB、
As、Sb、Si、Ge、Te、Pから選ばれた1種ま
たは2種以上)のコロイダルゾルを用い、それぞれのコ
ロイダルゾルを混合し、乾燥または共沈させてそれぞれ
の化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末とし、次い
で焼成して一般式wXMO3 −(1−w)(XOy −a
GOz )(式中、y、zは酸素数を表し、XがLi、N
a、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、Mg、C
a、Srのときはy=1、XがLa、Y、Biのときは
y=1.5である。GがB、As、Sbのときはz=
1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、GがP
のときはz=2.5である。wはモル数を表し、aは実
数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2であ
る。)で表される誘電体組成物を得、これからガラス成
分を酸またはアルカリで溶解除去することを特徴とする
微細単結晶粉末の製造方法。
3) X having a primary particle size of less than 0.1 μm
Compound (X is Li, Na, K, Pb, Ba, Mg, C
a, Sr, La, Y, one or more selected from Bi), M compound (M is Al, Mn, Ti, Zr, S)
n, Mg, Zn, Fe, Co, Ni, Nb, Ta, W, or a combination thereof, a G compound (G is B,
One or more colloidal sols selected from As, Sb, Si, Ge, Te, and P) are used, and each colloidal sol is mixed and dried or coprecipitated so that each compound has a diameter of 0. A mixed powder having a size of less than 1 μm is formed and then fired to obtain a powder having the general formula wXMO 3- (1-w) (XO y -a
GO z ) (In the formula, y and z represent oxygen numbers, and X represents Li and N.
a = K, y = 0.5, X = Pb, Ba, Mg, C
When a and Sr, y = 1, and when X is La, Y, and Bi, y = 1.5. When G is B, As, Sb, z =
1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2, G is P
Then z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95 and 0.05 ≦ a ≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.

【0010】4)水に可溶なX化合物(XはLi、N
a、K、Pb、Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y、B
iから選ばれた1種または2種以上)、M化合物(Mは
Al、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、C
o、Ni、Nb、Ta、Wから選ばれた1種または2種
以上)、G化合物(GはB、As、Sb、Si、Ge、
Te、Pから選ばれた1種または2種以上)を用い、そ
れぞれの溶液を混合し、乾燥または共沈させてそれぞれ
の化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末とし、次い
で焼成して一般式wXMO3 −(1−w)(XOy −a
GOz )(式中、y、zは酸素数を表し、XがLi、N
a、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、Mg、C
a、Srのときはy=1、XがLa、Y、Biのときは
y=1.5である。GがB、As、Sbのときはz=
1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、GがP
のときはz=2.5である。wはモル数を表し、aは実
数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2であ
る。)で表される誘電体組成物を得、これからガラス成
分を酸またはアルカリで溶解除去することを特徴とする
微細単結晶粉末の製造方法。
4) Water-soluble X compound (X is Li, N
a, K, Pb, Ba, Mg, Ca, Sr, La, Y, B
1 or more selected from i), M compound (M is Al, Mn, Ti, Zr, Sn, Mg, Zn, Fe, C)
one or more selected from o, Ni, Nb, Ta and W), G compound (G is B, As, Sb, Si, Ge,
(One or more selected from Te and P) are used, and the respective solutions are mixed, dried or co-precipitated to obtain a mixed powder having a diameter of each compound of less than 0.1 μm, and then fired to form a powder. Formula wXMO 3 − (1-w) (XO y −a
GO z ) (In the formula, y and z represent oxygen numbers, and X represents Li and N.
a = K, y = 0.5, X = Pb, Ba, Mg, C
When a and Sr, y = 1, and when X is La, Y, and Bi, y = 1.5. When G is B, As, Sb, z =
1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2, G is P
Then z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95 and 0.05 ≦ a ≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.

【0011】5)酸としてフッ酸、塩酸、硝酸、硫酸、
酢酸から選ばれた1種または2種以上の水溶液を用いる
ことを特徴とする上記1、2、3または4項記載の微細
単結晶粉末の製造方法。
5) Hydrofluoric acid, hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid as acids
The method for producing a fine single crystal powder as described in the above item 1, 2, 3 or 4, characterized in that an aqueous solution of one or more selected from acetic acid is used.

【0012】6)アルカリとして水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム、アンモニアから選ばれた1種または2種
以上の水溶液を用いることを特徴とする上記1、2、3
または4項記載の微細単結晶粉末の製造方法。
6) The above 1, 2, 3 characterized in that an aqueous solution of one or more selected from sodium hydroxide, potassium hydroxide and ammonia is used as the alkali.
Alternatively, the method for producing a fine single-crystal powder according to item 4.

【0013】以下、本発明を更に詳細に説明する。本発
明は、Xの酸化物〔XはPb、Ba、Li、Na、K、
Mg、Ca、Sr、La、Yから選ばれた1種または2
種以上(以下、Xと称する)〕、Mの酸化物〔MはT
i、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、Co、Ni、Nb
から選ばれた1種または2種以上(以下、Mと称す
る)〕、Gの酸化物〔GはB、As、Sb、Si、G
e、Te、Pから選ばれた1種または2種以上(以下、
Gと称する)〕またはこれらの酸化物に転換し得るX化
合物、M化合物、G化合物を用いて、一般式wXMO3
−(1−w)(XOy −aGOz )で表される誘電体組
成物を得、該誘電体組成物からガラス成分を酸またはア
ルカリで溶解除去することにより微細単結晶粉末を製造
する方法に関するものである。
The present invention will be described in more detail below. The present invention relates to an oxide of X [X is Pb, Ba, Li, Na, K,
1 or 2 selected from Mg, Ca, Sr, La and Y
Or more (hereinafter referred to as X)], an oxide of M [M is T
i, Zr, Sn, Mg, Zn, Fe, Co, Ni, Nb
One or more selected from the following (hereinafter referred to as M)], an oxide of G [G is B, As, Sb, Si, G
One or more selected from e, Te and P (hereinafter,
Referred to as G)] or X compounds can be converted to these oxides, M compound, using a G compound, general formula WXMO 3
-(1-w) (XO y -aGO z ), a method for producing a fine single crystal powder by dissolving and removing a glass component from the dielectric composition with an acid or an alkali. It is about.

【0014】ここで、y、zは酸素数を表し、XがL
i、Na、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、M
g、Ca、Srのときはy=1、XがLa、Y、Biの
ときはy=1.5である。GがB、As、Sbのときは
z=1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、G
がPのときはz=2.5である。wはモル数を表し、a
は実数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2で
ある。
Here, y and z represent oxygen numbers, and X represents L.
When i, Na, K, y = 0.5, X is Pb, Ba, M
When g, Ca, Sr, y = 1, and when X is La, Y, Bi, y = 1.5. When G is B, As, Sb, z = 1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2, G
When is P, z = 2.5. w represents the number of moles, a
Is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95 and 0.05 ≦ a ≦ 2.

【0015】wは誘電体結晶相の割合で、これが0.1
以下の場合は得られる微細単結晶粉末が少なすぎるし、
0.95を超えると微細単結晶粉末の生成が難しく、高
温が必要になる。また、微細単結晶粉末の粒径、生成温
度等を望ましいように制御するためには、wは上記の範
囲であればよい。yは電気的中性の要請から、Xを構成
する各イオンの価数にモル分率を乗じた合計価数の1/
2である。aはガラス相形成酸化物の元素基準のモル数
を表す。たとえば、ほう酸(B23 )の場合にはBO
1.5 を1モル、P2 5 の場合にはPO2.5 を1モル、
SiO2 の場合にはSiO2 を1モルとする。また、1
/aはガラス相中に存在する元素XのGに対するモル比
を表し、0.5から20倍のモル比が好ましく、更に好
ましくは1から9倍のモル比である。1/aが0.5よ
りも小さいと、結晶相中の化合物からのXの逃散が生じ
て結晶相量が減少し、20よりも多いと、余分なXOが
析出してやはり結晶相が減少する。
W is the ratio of the dielectric crystal phase, which is 0.1
In the following cases, too little fine single crystal powder is obtained,
If it exceeds 0.95, it is difficult to produce a fine single crystal powder, and high temperature is required. Further, w may be in the above range in order to desirably control the particle size of the fine single crystal powder, the generation temperature, and the like. y is 1 / of the total valence obtained by multiplying the valence of each ion composing X by the mole fraction from the request of electrical neutrality.
It is 2. a represents the number of moles of the glass phase forming oxide based on the element. For example, in the case of boric acid (B 2 O 3 ), BO
1.5 is 1 mol, in the case of P 2 O 5 , PO 2.5 is 1 mol,
In the case of the SiO 2 to the SiO 2 and 1 mol. Also, 1
/ A represents the molar ratio of the element X present in the glass phase to G, and the molar ratio is preferably 0.5 to 20 times, more preferably 1 to 9 times. When 1 / a is smaller than 0.5, X escapes from the compound in the crystal phase to reduce the amount of crystal phase, and when it is more than 20, excess XO is precipitated and the crystal phase is also reduced. To do.

【0016】本発明の実施において、出発物質としての
X、M、Gの各酸化物またはそれらの化合物の直径が
0.1μm未満となるような混合粉末を得る方法として
はCVD法、有機溶媒に可溶な化合物を用いる方法、シ
リカコロイド等のコロイダルゾルを用いる方法、水に可
溶な化合物を用いる方法等がある。
In the practice of the present invention, as a method of obtaining a mixed powder in which each oxide of X, M, G as a starting material or a compound thereof has a diameter of less than 0.1 μm, a CVD method or an organic solvent is used. There are a method using a soluble compound, a method using a colloidal sol such as silica colloid, and a method using a water-soluble compound.

【0017】CVD法の場合には、出発物質としてX化
合物は下記のものが挙げられる。 ・水素化リチウム、アルキルリチウム等のリチウム化合
物。 ・水素化ナトリウム、アルキルナトリウム等のナトリウ
ム化合物。 ・水素化カリウム、アルキルカリウム等のカリウム化合
物。 ・4エチル鉛、ビスジピバロイルメタナト鉛等の有機鉛
化合物、あるいは塩化鉛等のハロゲン化物の鉛化合物。 ・バリウムエトキシド、バリウムイソプロポキシド、ビ
スジピバロイルバリウム等の有機バリウム化合物、ある
いは塩化バリウム等のハロゲン化物のバリウム化合物。 ・マグネシウムエトキシド、マグネシウムイソプロポキ
シド、ビスジピバロイルマグネシウム等の有機マグネシ
ウム化合物、あるいは塩化マグネシウム等のハロゲン化
物のマグネシウム化合物。 ・カルシウムエトキシド、カルシウムイソプロポキシ
ド、ビスジピバロイルカルシウム等の有機カルシウム化
合物、あるいは塩化カルシウム等のハロゲン化物のカル
シウム化合物。 ・ストロンチウムエトキシド、ストロンチウムイソプロ
ポキシド、ビスジピバロイルストロンチウム等の有機ス
トロンチウム化合物、あるいは塩化ストロンチウム等の
ハロゲン化物のストロンチウム化合物。 ・ランタンエトキシド、ランタンアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルランタン等の有機ランタン化合
物、あるいは塩化ランタン等のハロゲン化物のランタン
化合物。 ・イットリウムエトキシド、イットリウムアセチルアセ
トナート、ビスジピバロイルイットリウム等の有機イッ
トリウム化合物、あるいは塩化イットリウム等のハロゲ
ン化物のイットリウム化合物。 ・ビスマスエトキシド、ビスマスアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルビスマス等の有機ビスマス化合
物、あるいは塩化ビスマス等のハロゲン化物のビスマス
化合物。
In the case of the CVD method, the X compounds as starting materials include the following. -Lithium compounds such as lithium hydride and alkyl lithium. -Sodium compounds such as sodium hydride and alkyl sodium. -Potassium compounds such as potassium hydride and alkyl potassium. -Organic lead compounds such as 4-ethyl lead and bis-dipivaloylmethanato lead, or lead compounds such as lead chloride such as lead chloride. -Organic barium compounds such as barium ethoxide, barium isopropoxide and bisdipivaloyl barium, or halide barium compounds such as barium chloride. -Organomagnesium compounds such as magnesium ethoxide, magnesium isopropoxide, and bisdipivaloyl magnesium, or halide magnesium compounds such as magnesium chloride. -Organic calcium compounds such as calcium ethoxide, calcium isopropoxide and bisdipivaloyl calcium, or halide calcium compounds such as calcium chloride. -Organic strontium compounds such as strontium ethoxide, strontium isopropoxide and bisdipivaloyl strontium, or halide strontium compounds such as strontium chloride. -Organic lanthanum compounds such as lanthanum ethoxide, lanthanum acetylacetonate and bisdipivaloyl lanthanum, or halide lanthanum compounds such as lanthanum chloride. -Organic yttrium compounds such as yttrium ethoxide, yttrium acetylacetonate and bis-dipivaloyl yttrium, or halide yttrium compounds such as yttrium chloride. -Organic bismuth compounds such as bismuth ethoxide, bismuth acetylacetonate and bisdipivaloylbismuth, or bismuth compounds of halides such as bismuth chloride.

【0018】CVD法の場合には、出発物質としてM化
合物は下記のものが挙げられる。 ・トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、
アルミニウムトリイソプロポキシドのようなアルミニウ
ム化合物、あるいは塩化アルミニウム等のハロゲ化物の
アルミニウム化合物。 ・マンガンアセチルアセトナートのようなマンガン化合
物。 ・チタニウムエトキシド、チタニウムイソプロポキシ
ド、チタニウムブトキシド、酢酸チタンのような有機チ
タニウム化合物、あるいは四塩化チタン等のハロゲン化
物のチタニウム化合物。 ・ジルコニウムエトキシド、ジルコニウムイソプロポキ
シド、ジルコニウムブトキシドのような有機ジルコニウ
ム化合物、あるいは四塩化ジルコニウム等のハロゲン化
物のジルコニウム化合物 ・テトラエチルスズ、テトラブチルスズ、スズエトキシ
ド、スズイソプロポキシド、スズブトキシドのような有
機スズ化合物。 ・マグネシウムエトキシド、マグネシウムイソプロポキ
シド、ビスジピバロイルマグネシウム等の有機マグネシ
ウム化合物、あるいは塩化マグネシウム等のハロゲン化
物のマグネシウム化合物。 ・亜鉛エトキシド、亜鉛アセチルアセトナート、ビスジ
ピバロイル亜鉛等の有機亜鉛化合物、あるいは塩化亜鉛
等のハロゲン化物の亜鉛化合物。 ・鉄エトキシド、鉄アセチルアセトナート、ビスジピバ
ロイル鉄等の有機鉄化合物、あるいは塩化鉄等のハロゲ
ン化物の鉄化合物。 ・コバルトエトキシド、コバルトアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルコバルト等の有機コバルト化合
物、あるいは塩化コバルト等のハロゲン化物のコバルト
化合物。 ・ニッケルエトキシド、ニッケルアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルニッケル等の有機ニッケル化合
物、あるいは塩化ニッケル等のハロゲン化物のニッケル
化合物。 ・ニオビウムエトキシド、ニオビウムアセチルアセトナ
ート、ビスジピバロイルニオビウム等の有機ニオビウム
化合物、あるいは塩化ニオビウム等のハロゲン化物のニ
オビウム化合物。 ・タンタルエトキシド、タンタルアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルタンタル等の有機タンタル化合
物、あるいは塩化タンタル等のハロゲン化物のタンタル
化合物。 ・タングステンエトキシド、タングステンアセチルアセ
トナート、ビスジピバロイルタングステン等の有機タン
グステン化合物、あるいは塩化タングステン等のハロゲ
ン化物のタングステン化合物。
In the case of the CVD method, the M compound as a starting material includes the following.・ Trimethyl aluminum, triethyl aluminum,
Aluminum compounds such as aluminum triisopropoxide, or halogenated aluminum compounds such as aluminum chloride. -Manganese compounds such as manganese acetylacetonate. -Organic titanium compounds such as titanium ethoxide, titanium isopropoxide, titanium butoxide, and titanium acetate, or halide titanium compounds such as titanium tetrachloride. Organic zirconium compounds such as zirconium ethoxide, zirconium isopropoxide, zirconium butoxide, or zirconium compounds of halides such as zirconium tetrachloride. Organic such as tetraethyltin, tetrabutyltin, tin ethoxide, tin isopropoxide, tin butoxide. Tin compounds. -Organomagnesium compounds such as magnesium ethoxide, magnesium isopropoxide, and bisdipivaloyl magnesium, or halide magnesium compounds such as magnesium chloride. -Organic zinc compounds such as zinc ethoxide, zinc acetylacetonate and bisdipivaloyl zinc, or halide zinc compounds such as zinc chloride. -Organic iron compounds such as iron ethoxide, iron acetylacetonate, and bisdipivaloyl iron, or halide iron compounds such as iron chloride. -Organic cobalt compounds such as cobalt ethoxide, cobalt acetylacetonate, and bisdipivaloyl cobalt, or halide cobalt compounds such as cobalt chloride. -Organic nickel compounds such as nickel ethoxide, nickel acetylacetonate and bisdipivaloyl nickel, or halide nickel compounds such as nickel chloride. -Organic niobium compounds such as niobium ethoxide, niobium acetylacetonate and bisdipivaloyl niobium, or halide niobium compounds such as niobium chloride. -Organic tantalum compounds such as tantalum ethoxide, tantalum acetylacetonate, and bisdipivaloyl tantalum, or halide tantalum compounds such as tantalum chloride. -Organic tungsten compounds such as tungsten ethoxide, tungsten acetylacetonate, and bisdipivaloyl tungsten, or halide tungsten compounds such as tungsten chloride.

【0019】CVD法の場合には、出発物質としてG化
合物は下記のものが挙げられる。 ・ボラン、トリエチルほう素、トリメチルほう素等のほ
う素化合物。 ・アルシン、トリエチル砒素、トリメチル砒素等の砒素
化合物。 ・トリエチルアンチモン、トリメチルアンチモン等のア
ンチモン化合物。 ・シラン、ジシラン、テトラメチルシラン、テトラエチ
ルシラン、四塩化珪素、テトラエトキシシラン、テトラ
メトキシシラン等の珪素化合物。 ・水素化ゲルマニウム、テトラメチルゲルマニウム、テ
トラエチルゲルマニウム、四塩化ゲルマニウム、テトラ
エトキシゲルマニウム、テトラメトキシゲルマニウム等
のゲルマニウム化合物。 ・水素化テルル、テトラメチルテルル、テトラエチルテ
ルル、四塩化テルル、テトラエトキシテルル、テトラメ
トキシテルル、等のテルル化合物。 ・オキシ塩化リン等のリン化合物。
In the case of the CVD method, the G compound as a starting material includes the following. Boron, triethylboron, trimethylboron and other boron compounds. -Arsenic compounds such as arsine, triethylarsenic, trimethylarsenic and the like. • Antimony compounds such as triethyl antimony and trimethyl antimony. -Silicon compounds such as silane, disilane, tetramethylsilane, tetraethylsilane, silicon tetrachloride, tetraethoxysilane, and tetramethoxysilane. -Germanium compounds such as germanium hydride, tetramethyl germanium, tetraethyl germanium, germanium tetrachloride, tetraethoxy germanium and tetramethoxy germanium. Tellurium compounds such as hydrogenated tellurium, tetramethyl tellurium, tetraethyl tellurium, tellurium tetrachloride, tetraethoxy tellurium, and tetramethoxy tellurium. -Phosphorus compounds such as phosphorus oxychloride.

【0020】これらの化合物をそれぞれの直径が0.1
μm未満となるように混合し、一般式wXMO3 −(1
−w)(XOy −aGOz )で表される組成物が得られ
るように反応器中で析出させる。ここで混合方法は通常
用いられるように、個別の気化装置で気化させた各化合
物を配管の途中で混合する方法が制御性がよいが、あら
かじめ全ての原料をほぼ蒸気圧の等しい化合物として混
合してから気化してもよい。
Each of these compounds has a diameter of 0.1.
mixed so as to be less than μm, and the general formula wXMO 3 − (1
-W) (XO y composition represented by -aGO z) is precipitate in the reactor so as to obtain. Here, as the mixing method, as is commonly used, the method of mixing each compound vaporized by an individual vaporizer in the middle of the pipe has good controllability, but all the raw materials are mixed in advance as compounds having almost the same vapor pressure. You may vaporize afterwards.

【0021】ガスの流量は生産速度に応じて、100c
c/分から10リットル/分の範囲で選ぶことができ
る。
The gas flow rate is 100c depending on the production rate.
It can be selected in the range of c / min to 10 liters / min.

【0022】反応器は耐食性があり、外気と遮断した条
件でガスが混合できるものであればどのようなものでも
用いることができる。
Any reactor can be used as long as it has a corrosion resistance and can mix the gas under the condition of being shielded from the outside air.

【0023】反応器壁あるいは基板は300〜900℃
に加熱してもよいが、加熱している場合は微細単結晶が
直接析出してくる。加熱してない場合は一般にアモルフ
ァス粉末となっているので、CVD装置から該粉末を取
り出した後に加熱して微細単結晶を析出させる。
The reactor wall or substrate is 300 to 900 ° C.
However, fine single crystals are directly deposited when heated. Since amorphous powder is generally used when it is not heated, the powder is taken out from the CVD apparatus and then heated to deposit a fine single crystal.

【0024】このようにして得られたX、M、Gの各化
合物の直径が0.1μm未満の混合粉末の焼成方法とし
ては電気抵抗加熱、プラズマ、高周波、レーザー等既知
の方法を用いることができる。焼成温度は製造方法によ
って異なるが、CVD法の場合は200〜900℃の範
囲でよい。
As a method for firing the mixed powder having the diameter of each compound of X, M, and G thus obtained and having a diameter of less than 0.1 μm, known methods such as electric resistance heating, plasma, high frequency, and laser can be used. it can. The firing temperature varies depending on the manufacturing method, but in the case of the CVD method, it may be in the range of 200 to 900 ° C.

【0025】焼成は空気中、不活性ガス中または還元雰
囲気中のいずれでもよい。微細単結晶粉末が還元され易
い場合は、酸素雰囲気中でも焼成することができる。
The firing may be carried out in air, an inert gas or a reducing atmosphere. When the fine single crystal powder is easily reduced, it can be fired in an oxygen atmosphere.

【0026】このようにして得られた粉末は、多数の析
出微細単結晶とガラス成分との混合物である。これから
微細単結晶のみを分離するためには水や希酸、希アルカ
リ等の水溶液にガラス成分を溶解させた後、ろ過、遠心
分離の手段を用いることができる。
The powder thus obtained is a mixture of a large number of precipitated fine single crystals and glass components. In order to separate only the fine single crystal from this, a means of filtering and centrifuging can be used after dissolving the glass component in an aqueous solution of water, dilute acid, dilute alkali or the like.

【0027】ここで用いられる酸としては硝酸、フッ
酸、塩酸、硫酸、酢酸等を挙げることができ、単独でも
混合しても用いることができる。アルカリとしてはアン
モニア水、苛性ソーダ、苛性カリ等が挙げられ、単独で
も混合しても用いることができる。これらは5〜50重
量%の濃度に希釈して用いられる。
Examples of the acid used here include nitric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, acetic acid and the like, and they can be used alone or in a mixture. Examples of the alkali include ammonia water, caustic soda, caustic potash, and the like, and they can be used alone or in combination. These are used after diluting to a concentration of 5 to 50% by weight.

【0028】有機溶媒に可溶な化合物を用いる方法にお
いては、X化合物としては下記のものが挙げられる。 ・エトキシリチウム、イソプロポキシリチウム、ブトキ
シリチウム、酢酸リチウム、リチウムアセチルアセトナ
ート等のリチウム化合物。 ・メトキシナトリウム、ジエトキシナトリウム、ジイソ
プロポキシナトリウム、ジブトキシナトリウム、酢酸ナ
トリウム、ナトリウムアセチルアセトナート等のナトリ
ウム化合物。 ・メトキシカリウム、エトキシカリウム、ジイソプロポ
キシカリウム、ブトキシカリウム、酢酸カリウム、カリ
ウムアセチルアセトナート等のカリウム化合物。 ・ジエトキシ鉛、ジイソプロポキシ鉛、ジメトキシエト
キシ鉛、鉛アセチルアセナート、蟻酸鉛、酢酸鉛等の鉛
化合物。 ・ジメトキシバリウム、ジエトキシバリウム、ジイソプ
ロポキシバリウム、ジブトキシバリウム、酢酸バリウ
ム、バリウムアセチルアセトナート等のバリウム化合
物。 ・ジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、
ジイソプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウ
ム等のマグネシウム化合物。 ・ジメトキシカルシウム、ジエトキシカルシウム、ジイ
ソプロポキシカルシウム、ジブトキシカルシウム等のカ
ルシウム化合物。 ・ジメトキシストロンチウム、ジエトキシストロンチウ
ム、ジイソプロポキシストロンチウム、ジブトキシスト
ロンチウム等のストロンチウム化合物。 ・トリメトキシランタン、トリエトキシランタン、トリ
イソプロポキシランタン、トリブトキシランタン、塩化
ランタン等のランタン化合物。 ・トリメトキシイットリウム、トリエトキシイットリウ
ム、トリイソプロポキシイットリウム、トリブトキシイ
ットリウム、塩化イットリウム等のイットリウム化合
物。 ・トリメトキシビスマス、トリエトキシビスマス、トリ
イソプロポキシビスマス、トリブトキシビスマス、塩化
ビスマス等のビスマス化合物。
In the method using a compound soluble in an organic solvent, the X compound includes the following. -Lithium compounds such as ethoxylithium, isopropoxylithium, butoxylithium, lithium acetate and lithium acetylacetonate. -Sodium compounds such as sodium methoxy, diethoxy sodium, sodium diisopropoxy, sodium dibutoxy, sodium acetate and sodium acetylacetonate. -Potassium compounds such as methoxy potassium, ethoxy potassium, diisopropoxy potassium, butoxy potassium, potassium acetate, potassium acetylacetonate and the like. -Lead compounds such as diethoxylead, diisopropoxylead, dimethoxyethoxylead, lead acetylacenate, lead formate and lead acetate. -Barium compounds such as dimethoxybarium, diethoxybarium, diisopropoxybarium, dibutoxybarium, barium acetate and barium acetylacetonate.・ Dimethoxy magnesium, diethoxy magnesium,
Magnesium compounds such as diisopropoxy magnesium and dibutoxy magnesium. -Calcium compounds such as dimethoxy calcium, diethoxy calcium, diisopropoxy calcium and dibutoxy calcium. -Strontium compounds such as dimethoxystrontium, diethoxystrontium, diisopropoxystrontium and dibutoxystrontium. Lanthanum compounds such as trimethoxylanthanum, triethoxylanthanum, triisopropoxylanthanum, tributoxylanthanum and lanthanum chloride. -Yttrium compounds such as trimethoxy yttrium, triethoxy yttrium, triisopropoxy yttrium, tributoxy yttrium and yttrium chloride. Bismuth compounds such as trimethoxybismuth, triethoxybismuth, triisopropoxybismuth, tributoxybismuth, bismuth chloride.

【0029】有機溶媒に可溶な化合物を用いる方法にお
いては、M化合物としては下記のものが挙げられる。 ・トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、
アルミニウムトリイソプロポキシド等のアルミニウム化
合物、あるいは塩化アルミニウム等のハロゲン化物のア
ルミニウム化合物。 ・マンガンアセチルアセトナート等のマンガン化合物。 ・テトラメトキシチタニウム、テトラエトキシチタニウ
ム、テトライソプロポキシチタニウム、テトラブトキシ
チタニウム、四塩化チタン等のチタニウム化合物。 ・テトラメトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコ
ニウム、テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブ
トキシジルコニウム、四塩化ジルコニウム等のジルコニ
ウム化合物。 ・テトラメトキシスズ、テトラエトキシスズ、テトライ
ソプロポキシスズ、テトラブトキシスズ、テトラオクチ
ルスズ、スズアセチルアセトナート、四塩化スズ等のス
ズ化合物。 ・ジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、
ジイソプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウ
ム等のマグネシウム化合物。 ・ジメトキシ亜鉛、ジエトキシ亜鉛、ジイソプロポキシ
亜鉛、ジブトキシ亜鉛、亜鉛アセチルアセトナート、塩
化亜鉛等の亜鉛化合物。 ・テトラエトキシ鉄、テトライソプロポキシ鉄、テトラ
ブトキシ鉄、鉄アセチルアセトナート、塩化鉄等の鉄化
合物。 ・テトラエトキシコバルト、テトライソプロポキシコバ
ルト、テトラブトキシコバルト、コバルトアセチルアセ
トナート、塩化コバルト等のコバルト化合物。 ・テトラエトキシニッケル、テトライソプロポキシニッ
ケル、テトラブトキシニッケル、ニッケルアセチルアセ
トナート、塩化ニッケル等のニッケル化合物。 ・ペンタメトキシニオビウム、ペンタエトキシニオビウ
ム、ペンタイソプロポキシニオビウム、ペンタブトキシ
ニオビウム、塩化ニオビウム等のニオビウム化合物。 ・ペンタメトキシタンタル、ペンタエトキシタンタル、
ペンタイソプロポキシタンタル、ペンタブトキシタンタ
ル、塩化タンタル等のタンタル化合物。 ・ペンタメトキシタングステン、ペンタエトキシタング
ステン、ペンタイソプロポキシタングステン、ペンタブ
トキシタングステン、塩化タングステン等のタングステ
ン化合物。
In the method using a compound soluble in an organic solvent, the M compound includes the following.・ Trimethyl aluminum, triethyl aluminum,
Aluminum compounds such as aluminum triisopropoxide, or halide aluminum compounds such as aluminum chloride. -Manganese compounds such as manganese acetylacetonate. -Titanium compounds such as tetramethoxytitanium, tetraethoxytitanium, tetraisopropoxytitanium, tetrabutoxytitanium and titanium tetrachloride. -Zirconium compounds such as tetramethoxyzirconium, tetraethoxyzirconium, tetraisopropoxyzirconium, tetrabutoxyzirconium and zirconium tetrachloride. -Tin compounds such as tetramethoxytin, tetraethoxytin, tetraisopropoxytin, tetrabutoxytin, tetraoctyltin, tin acetylacetonate and tin tetrachloride.・ Dimethoxy magnesium, diethoxy magnesium,
Magnesium compounds such as diisopropoxy magnesium and dibutoxy magnesium. -Zinc compounds such as dimethoxyzinc, diethoxyzinc, diisopropoxyzinc, dibutoxyzinc, zinc acetylacetonate and zinc chloride. -Iron compounds such as tetraethoxy iron, tetraisopropoxy iron, tetrabutoxy iron, iron acetylacetonate, and iron chloride. -Cobalt compounds such as tetraethoxy cobalt, tetraisopropoxy cobalt, tetrabutoxy cobalt, cobalt acetylacetonate, and cobalt chloride. -Nickel compounds such as tetraethoxy nickel, tetraisopropoxy nickel, tetrabutoxy nickel, nickel acetylacetonate, and nickel chloride. -Niobium compounds such as pentamethoxy niobium, pentaethoxy niobium, pentaisopropoxy niobium, pentabtox niobium, niobium chloride.・ Pentamethoxytantalum, pentaethoxytantalum,
Tantalum compounds such as pentaisopropoxy tantalum, pentab toxtantalum and tantalum chloride. -Tungsten compounds such as pentamethoxytungsten, pentaethoxytungsten, pentaisopropoxytungsten, pentabtoxytungsten, and tungsten chloride.

【0030】有機溶媒に可溶な化合物を用いる方法にお
いては、G化合物としては下記のものが挙げられる。 ・ほう酸トリエチル、ほう酸トリメチル、トリメトキシ
エトキシほう素、ほう酸トリフェニル、ほう酸等のほう
素化合物。 ・砒酸トリエチル、砒酸トリメチル、トリメトキシエト
キシ砒素、砒酸トリフェニル等の砒素化合物。 ・アンチモン酸トリエチル、アンチモン酸トリメチル、
トリメトキシエトキシアンチモン、アンチモン酸トリフ
ェニル等のアンチモン化合物。 ・テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テト
ライソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、四塩
化珪素等の珪素化合物。 ・テトラメトキシゲルマニウム、テトラエトキシゲルマ
ニウム、テトライソプロポキシゲルマニウム、テトラブ
トキシゲルマニウム、四塩化ゲルマニウム等のゲルマニ
ウム化合物。 ・テトラメトキシテルル、テトラエトキシテルル、テト
ライソプロポキシテルル、テトラブトキシテルル、四塩
化テルル等のテルル化合物。 ・トリメトキシフォスフォニル、オキシ塩化リン等のリ
ン化合物。
In the method using a compound soluble in an organic solvent, the G compound includes the following. Boron compounds such as triethyl borate, trimethyl borate, trimethoxyethoxy boron, triphenyl borate and boric acid. Arsenic compounds such as triethyl arsenate, trimethyl arsenate, trimethoxyethoxy arsenic, triphenyl arsenate, etc.・ Triethyl antimonate, trimethyl antimonate,
Antimony compounds such as trimethoxyethoxy antimony and triphenyl antimonate. -A silicon compound such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetrabutoxysilane and silicon tetrachloride. -Germanium compounds such as tetramethoxy germanium, tetraethoxy germanium, tetraisopropoxy germanium, tetrabutoxy germanium and germanium tetrachloride. A tellurium compound such as tetramethoxy tellurium, tetraethoxy tellurium, tetraisopropoxy tellurium, tetrabutoxy tellurium, or tellurium tetrachloride. -Phosphorus compounds such as trimethoxyphosphonium and phosphorus oxychloride.

【0031】本発明を実施する際に用いられる有機溶媒
としては、前記リチウム化合物、ナトリウム化合物、カ
リウム化合物、鉛化合物、バリウム化合物、マグネシウ
ム化合物、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物、
ランタン化合物、イットリウム化合物、ビスマス化合
物、アルミニウム化合物、マンガン化合物、チタニウム
化合物、ジルコニウム化合物、スズ化合物、亜鉛化合
物、鉄化合物、コバルト化合物、ニッケル化合物、ニオ
ビウム化合物、タンタル化合物、タングステン化合物、
ほう素化合物、砒素化合物、アンチモン化合物、珪素化
合物、ゲルマニウム化合物、テルル化合物、リン化合物
等を溶解するものならばどのような有機溶媒を用いても
よいが、好ましくはメタノール、エタノール、プロパノ
ール、ブタノール、ペンタノール、メトキシエタノー
ル、エトキシエタノール等のアルコール類、ベンゼン、
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ペンタン、
ヘキサン、ヘプタン、オクタン等の脂肪族炭化水素類、
ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類、アセ
トン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン等のケトン
類、酢酸メチル、酢酸エチル、蟻酸エチル等のカルボン
酸エステル類、アセチルアセトン、ベンゾイルアセト
ン、ジベンゾイルアセトン等のβ−ジケトン類、ジメチ
ルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類等
が挙げられ、これらの有機溶媒を単独、あるいは2種以
上を併用することもできる。
As the organic solvent used in carrying out the present invention, the lithium compound, sodium compound, potassium compound, lead compound, barium compound, magnesium compound, calcium compound, strontium compound,
Lanthanum compounds, yttrium compounds, bismuth compounds, aluminum compounds, manganese compounds, titanium compounds, zirconium compounds, tin compounds, zinc compounds, iron compounds, cobalt compounds, nickel compounds, niobium compounds, tantalum compounds, tungsten compounds,
Any organic solvent may be used as long as it dissolves a boron compound, an arsenic compound, an antimony compound, a silicon compound, a germanium compound, a tellurium compound, a phosphorus compound, etc., but preferably methanol, ethanol, propanol, butanol, Alcohols such as pentanol, methoxyethanol, ethoxyethanol, benzene,
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, pentane,
Hexane, heptane, octane and other aliphatic hydrocarbons,
Ethers such as dioxane and tetrahydrofuran, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and diethyl ketone, carboxylic acid esters such as methyl acetate, ethyl acetate and ethyl formate, β-diketones such as acetylacetone, benzoylacetone and dibenzoylacetone, dimethyl Examples thereof include amides such as formamide and dimethylacetamide. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more kinds.

【0032】一般式wXMO3 −(1−w)(XOy
aGOz )で表される組成物を得るための化合物溶液の
調製方法としては、前記X化合物、M化合物、G化合物
を有機溶媒中に溶解して室温で混合するか、あるいは前
記各化合物を有機溶媒中で加熱下で反応させる方法が挙
げられる。
The general formula wXMO 3- (1-w) (XO y-
aGO z ), the compound solution for preparing the composition may be prepared by dissolving the X compound, the M compound and the G compound in an organic solvent and mixing them at room temperature. A method of reacting in a solvent under heating can be mentioned.

【0033】有機溶媒中で加熱するときの温度は化合物
の種類によって異なるが、60〜150℃の温度範囲で
あり、反応容器をジャケットで加熱する方法が標準的で
ある。
The temperature for heating in the organic solvent varies depending on the kind of the compound, but is in the temperature range of 60 to 150 ° C., and the method of heating the reaction vessel with a jacket is standard.

【0034】有機溶媒に可溶な化合物を用いる方法にお
いては、微細単結晶粉末形成用の溶液中の各化合物の濃
度は化合物の種類によっても異なるが、あまり希釈し過
ぎると溶媒が多量に必要になって経済的でなく、一般に
は酸化物に換算して5〜80重量%、好ましくは10〜
50重量%で適用される。
In the method using a compound soluble in an organic solvent, the concentration of each compound in the solution for forming a fine single crystal powder varies depending on the kind of compound, but if it is diluted too much, a large amount of solvent is required. It is not economical and is generally 5 to 80% by weight in terms of oxide, preferably 10 to
Applied at 50% by weight.

【0035】ここで用いられる微細単結晶粉末形成用の
溶液には安定化のためのカルボン酸(C6〜C20)、
グリコール、アミン等を添加することができる。また、
微細単結晶粉末形成用の溶液の作業性の向上のために、
例えばポリオールやエチルセルロース等の高分子物質、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、アセチルアセト
ン、グリセリンのような高沸点化合物、ノニオン系また
はアニオン系の界面活性剤等を添加することができる。
The solution for forming the fine single crystal powder used here includes a stabilizing carboxylic acid (C6 to C20),
Glycols, amines and the like can be added. Also,
In order to improve the workability of the solution for forming a fine single crystal powder,
For example, high molecular substances such as polyol and ethyl cellulose,
A high boiling point compound such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, acetylacetone and glycerin, a nonionic or anionic surfactant, and the like can be added.

【0036】このようにして得られた溶液を乾燥、また
は加水分解してX、M、Gの各化合物の直径が0.1μ
m未満の混合粉末を得ることができる。加水分解は、該
化合物溶液の溶液中に含まれる化合物のモル数の少なく
とも2倍以上の過剰量の水または水を含む溶液と反応さ
せるか、単に空気中に放置して空気中の水分と反応させ
てもよい。
The solution thus obtained is dried or hydrolyzed so that each compound of X, M and G has a diameter of 0.1 μm.
A mixed powder of less than m can be obtained. The hydrolysis is carried out by reacting with water or a solution containing water in excess of at least twice the number of moles of the compound contained in the solution of the compound, or by simply leaving it in the air to react with water in the air. You may let me.

【0037】ここで得られた粉末の乾燥方法としてはロ
ータリーエバポレーター、フレーカー、エアーバス等の
公知の方法を用いることができる。
As a method for drying the powder obtained here, a known method such as a rotary evaporator, a flaker and an air bath can be used.

【0038】焼成方法としては電気抵抗加熱、プラズ
マ、高周波、レーザー等の既知の方法を用いることがで
きる。ここで、焼成温度は化合物の種類により異なる
が、微細単結晶粉末の結晶化以上の温度にする必要があ
り、通常は400〜1200℃、好ましくは500〜1
000℃である。400℃未満では有機物が分解せず、
結晶化も進行しない。また、1200℃を超えると元素
の蒸発等による組成の変化がおこり、好ましくない。
As a firing method, known methods such as electric resistance heating, plasma, high frequency, laser and the like can be used. Here, the firing temperature varies depending on the kind of the compound, but it needs to be higher than the crystallization of the fine single crystal powder, and is usually 400 to 1200 ° C., preferably 500 to 1.
It is 000 ° C. Organic matter does not decompose below 400 ° C,
Crystallization does not proceed either. Further, if the temperature exceeds 1200 ° C., the composition is changed due to element evaporation and the like, which is not preferable.

【0039】焼成は空気中、不活性ガス中または還元雰
囲気中のいずれでもよい。微細単結晶粉末が還元され易
い場合は、酸素雰囲気中でも焼成することができる。
The calcination may be performed in air, an inert gas or a reducing atmosphere. When the fine single crystal powder is easily reduced, it can be fired in an oxygen atmosphere.

【0040】このようにして得られた粉末は、多数の析
出微細単結晶とガラス成分との混合物である。これから
微細単結晶のみを分離するためには水や希酸、希アルカ
リ等の水溶液にガラス成分を溶解させた後、ろ過、遠心
分離の手段を用いることができる。
The powder thus obtained is a mixture of a large number of precipitated fine single crystals and a glass component. In order to separate only the fine single crystal from this, a means of filtering and centrifuging can be used after dissolving the glass component in an aqueous solution of water, dilute acid, dilute alkali or the like.

【0041】ここで用いられる酸としては硝酸、フッ
酸、塩酸、硫酸、酢酸等を挙げることができ、単独でも
混合しても用いることができる。アルカリとしてはアン
モニア水、苛性ソーダ、苛性カリ等が挙げられ、単独で
も混合しても用いることができる。これらは5〜50重
量%の濃度に希釈して用いられる。
Examples of the acid used here include nitric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, acetic acid and the like, and they can be used alone or in a mixture. Examples of the alkali include ammonia water, caustic soda, caustic potash, and the like, and they can be used alone or in combination. These are used after diluting to a concentration of 5 to 50% by weight.

【0042】一般式wXMO3 −(1−w)(XOy
aGOz )で表される組成物を得るために、コロイダル
ゾルを用いる方法においては、X化合物、M化合物、G
化合物のそれぞれのコロイダルゾルは、例えばそれぞれ
の化合物の塩化物、硝酸塩、硫酸塩、酢酸塩等水溶性塩
のアルカリによる沈澱、あるいはイオン交換等で調整さ
れる。また、シリカについては市販のシリカゾル(デュ
ポン社、日産化学工業社、触媒化成工業社等で製造)も
使用可能である。
The general formula wXMO 3- (1-w) (XO y-
aGO z ), a method using a colloidal sol to obtain a composition represented by X compound, M compound, G
The colloidal sol of each compound is prepared, for example, by precipitation of a water-soluble salt such as chloride, nitrate, sulfate, or acetate of each compound with an alkali, or ion exchange. Further, as silica, a commercially available silica sol (manufactured by DuPont, Nissan Chemical Co., Ltd., Catalyst Chemical Industries, etc.) can be used.

【0043】これらコロイダルゾルは一般式wXMO3
−(1−w)(XOy −aGOz )を満足するように混
合し、乾燥または共沈、ゲル化等してゲル粉末とし、得
られたX、M、Gの各化合物の直径が0.1μm未満の
ゲル粉末は必要に応じて粉砕される。
These colloidal sols have the general formula wXMO 3
- (1-w) (XO y -aGO z) were mixed so as to satisfy, drying or coprecipitated, gelled, etc. and gel powder, resulting X, M, the diameter of each compound G 0 Gel powders of less than 1 μm are crushed if necessary.

【0044】ゲル化の方法として、通常は乾燥が挙げら
れる。一般にゾルは分散媒がなくなった時点で反発力が
なくなり、ゲル化する。この方法は全てのゾルに対して
適用できる。また、pH調整や塩の添加により、クーロ
ン反発力を抑えてもゲル化する。酸性ゾルはアンモニア
や苛性ソーダ等の添加により中性〜アルカリ性領域でゲ
ル化し、アルカリ性ゾルは塩酸や硝酸等の酸を添加する
ことにより、中性〜酸性領域でゲル化する。塩化カリ、
塩化カルシウム、硝酸アルミニウム等の塩を加えること
により、コロイド水溶液の電解質濃度を高くするとクー
ロン反発力が遮蔽されて小さくなりゲル化する。イソプ
ロパノール、アセトン等の有機溶媒を添加してもゲル化
を起こすことができる。
Drying is usually mentioned as a gelation method. Generally, the sol loses its repulsive force when the dispersion medium is exhausted, and gels. This method can be applied to all sols. In addition, even if the Coulomb repulsion is suppressed by adjusting the pH or adding salt, gelation occurs. The acidic sol gels in the neutral to alkaline region by adding ammonia or caustic soda, and the alkaline sol gels in the neutral to acidic region by adding an acid such as hydrochloric acid or nitric acid. Potassium chloride,
When a salt such as calcium chloride or aluminum nitrate is added to increase the electrolyte concentration of the aqueous colloid solution, the Coulomb repulsion force is shielded and becomes smaller, resulting in gelation. Gelation can also occur by adding an organic solvent such as isopropanol or acetone.

【0045】ここで得られた粉末の乾燥方法としてはロ
ータリーエバポレーター、フレーカー、エアーバス等の
公知の方法を用いることができる。
As a method for drying the powder obtained here, a known method such as a rotary evaporator, a flaker and an air bath can be used.

【0046】焼成方法としては電気抵抗加熱、プラズ
マ、高周波、レーザー等の既知の方法を用いることがで
きる。ここで、焼成温度は化合物の種類により異なる
が、微細単結晶粉末の結晶化以上の温度にする必要があ
り、通常は400〜1200℃、好ましくは500〜1
000℃である。400℃未満では有機物が分解せず、
結晶化も進行しない。また、1200℃を超えると元素
の蒸発等による組成の変化がおこり、好ましくない。
As the firing method, known methods such as electric resistance heating, plasma, high frequency, laser, etc. can be used. Here, the firing temperature varies depending on the kind of the compound, but it needs to be higher than the crystallization of the fine single crystal powder, and is usually 400 to 1200 ° C., preferably 500 to 1.
It is 000 ° C. Organic matter does not decompose below 400 ° C,
Crystallization does not proceed either. Further, if the temperature exceeds 1200 ° C., the composition is changed due to element evaporation and the like, which is not preferable.

【0047】焼成は空気中、不活性ガス中または還元雰
囲気中のいずれでもよい。微細単結晶粉末が還元され易
い場合は、酸素雰囲気中でも焼成することができる。
The calcination may be carried out in air, an inert gas or a reducing atmosphere. When the fine single crystal powder is easily reduced, it can be fired in an oxygen atmosphere.

【0048】このようにして得られた粉末は、多数の析
出微細単結晶とガラス成分との混合物である。これから
微細単結晶のみを分離するためには水や希酸、希アルカ
リ等の水溶液でガラス成分を溶解させた後、ろ過、遠心
分離の手段を用いることができる。
The powder thus obtained is a mixture of a large number of precipitated fine single crystals and a glass component. In order to separate only the fine single crystal from this, a means of filtering and centrifuging can be used after dissolving the glass component with water or an aqueous solution of dilute acid, dilute alkali or the like.

【0049】ここで用いられる酸としては硝酸、フッ
酸、塩酸、硫酸、酢酸等を挙げることができ、単独でも
混合しても用いることができる。アルカリとしてはアン
モニア水、苛性ソーダ、苛性カリ等が挙げられ、単独で
も混合しても用いることができる。これらは5〜50重
量%の濃度に希釈して用いられる。
Examples of the acid used here include nitric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, acetic acid and the like, and they can be used alone or in a mixture. Examples of the alkali include ammonia water, caustic soda, caustic potash, and the like, and they can be used alone or in combination. These are used after diluting to a concentration of 5 to 50% by weight.

【0050】水に可溶な化合物を用いて混合し、必要に
応じて共沈させて混合物を得る方法において、X化合物
としては下記のものが挙げられる。 ・硝酸リチウム、酢酸リチウム、塩化リチウム等のリチ
ウム化合物。 ・硝酸ナトリウム、酢酸ナトリウム、塩化ナトリウム等
のナトリウム化合物。 ・硝酸カリウム、酢酸カリウム、塩化カリウム等のカリ
ウム化合物。 ・硝酸鉛、酢酸鉛、塩化鉛等の鉛化合物。 ・硝酸バリウム、酢酸バリウム、塩化バリウム等のバリ
ウム化合物。 ・硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、塩化マグネシ
ウム等のマグネシウム化合物。 ・硝酸カルシウム、酢酸カルシウム、塩化カルシウム等
のカルシウム化合物。 ・硝酸ストロンチウム、酢酸ストロンチウム、塩化スト
ロンチウム等のストロンチウム化合物。 ・硝酸ランタン、酢酸ランタン、塩化ランタン等のラン
タン化合物。 ・硝酸イットリウム、酢酸イットリウム、塩化イットリ
ウム等のイットリウム化合物。 ・硝酸ビスマス、酢酸ビスマス、塩化ビスマス等のビス
マス化合物。
In the method of mixing a water-soluble compound and optionally coprecipitating to obtain a mixture, the X compound includes the following. -Lithium compounds such as lithium nitrate, lithium acetate and lithium chloride. -Sodium compounds such as sodium nitrate, sodium acetate and sodium chloride. -Potassium compounds such as potassium nitrate, potassium acetate and potassium chloride. -Lead compounds such as lead nitrate, lead acetate and lead chloride. -Barium compounds such as barium nitrate, barium acetate and barium chloride. -Magnesium compounds such as magnesium nitrate, magnesium acetate, and magnesium chloride. -Calcium compounds such as calcium nitrate, calcium acetate and calcium chloride. -Strontium compounds such as strontium nitrate, strontium acetate, and strontium chloride. Lanthanum compounds such as lanthanum nitrate, lanthanum acetate, lanthanum chloride. -Yttrium compounds such as yttrium nitrate, yttrium acetate, and yttrium chloride. Bismuth compounds such as bismuth nitrate, bismuth acetate and bismuth chloride.

【0051】水に可溶なM化合物としては下記のものが
挙げられる。 ・硝酸アルミニウム、酢酸アルミニウム、塩化アルミニ
ウム、硫酸アルミニウム等のアルミニウム化合物。 ・硝酸マンガン、酢酸マンガン、塩化マンガン等のマン
ガン化合物。 ・硝酸チタニル、酢酸チタニル、四塩化チタニウム、硫
酸チタニル等のチタニウム化合物。 ・硝酸ジルコニル、酢酸ジルコニル、四塩化ジルコニウ
ム、硫酸ジルコニル等のジルコウム化合物。 ・硝酸スズ、酢酸スズ、四塩化スズ、ニ塩化スズ等のス
ズ化合物。 ・硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、塩化マグネシ
ウム等のマグネシウム化合物。 ・硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、塩化亜鉛、硫酸亜鉛等の亜鉛化
合物。 ・硝酸鉄、塩化鉄、硫酸鉄等の鉄化合物。 ・硝酸コバルト、酢酸コバルト、塩化コバルト、硫酸コ
バルト等のコバルト化合物。 ・硝酸ニッケル、酢酸ニッケル、塩化ニッケル、硫酸ニ
ッケル等のニッケル化合物。 ・硝酸ニオブ、酢酸ニオブ、塩化ニオブ、硫酸ニオブ等
のニオブ化合物。 ・硝酸タンタル、酢酸タンタル、塩化タンタル、硫酸タ
ンタル等のタンタル化合物。 ・硝酸タングステン、酢酸タングステン、塩化タングス
テン、硫酸タングステン等のタングステン化合物。
Examples of the water-soluble M compound include the following. -Aluminum compounds such as aluminum nitrate, aluminum acetate, aluminum chloride and aluminum sulfate. -Manganese compounds such as manganese nitrate, manganese acetate, and manganese chloride. -Titanium compounds such as titanyl nitrate, titanyl acetate, titanium tetrachloride, and titanyl sulfate. -Zirconium compounds such as zirconyl nitrate, zirconyl acetate, zirconium tetrachloride and zirconyl sulfate. -Tin compounds such as tin nitrate, tin acetate, tin tetrachloride and tin dichloride. -Magnesium compounds such as magnesium nitrate, magnesium acetate, and magnesium chloride. -Zinc compounds such as zinc nitrate, zinc acetate, zinc chloride and zinc sulfate. -Iron compounds such as iron nitrate, iron chloride, and iron sulfate. -Cobalt compounds such as cobalt nitrate, cobalt acetate, cobalt chloride, and cobalt sulfate. -Nickel compounds such as nickel nitrate, nickel acetate, nickel chloride, and nickel sulfate. -Niobium compounds such as niobium nitrate, niobium acetate, niobium chloride and niobium sulfate. -Tantalum compounds such as tantalum nitrate, tantalum acetate, tantalum chloride, and tantalum sulfate. -Tungsten compounds such as tungsten nitrate, tungsten acetate, tungsten chloride, and tungsten sulfate.

【0052】水に可溶なG化合物としては下記のものが
挙げられる。 ・ほう酸等のほう素化合物。 ・砒酸等の砒素化合物。 ・アンチモン酸、硝酸アンチモン、酢酸アンチモン、塩
化チモン、硫酸アンチモン等のアンチモン化合物。 ・四塩化珪素、珪酸等の珪素化合物。 ・四塩化ゲルマニウム、硝酸ゲルマニウム、酢酸ゲルマ
ニウム等のゲルマニウム化合物。 ・四塩化テルル、硝酸テルル等のテルル化合物。 ・燐酸等のリン化合物。
Examples of water-soluble G compounds include the following. -Boron compounds such as boric acid. -Arsenic compounds such as arsenic acid. -Antimony compounds such as antimonic acid, antimony nitrate, antimony acetate, thymon chloride, and antimony sulfate. -Silicon compounds such as silicon tetrachloride and silicic acid. -Germanium compounds such as germanium tetrachloride, germanium nitrate, and germanium acetate. • Tellurium compounds such as tellurium tetrachloride and tellurium nitrate. -A phosphorus compound such as phosphoric acid.

【0053】水に可溶な上記化合物を一般式wXMO3
−(1−w)(XOy −aGOz )を満足するように混
合し、pHを調整し、難溶性塩を生成させるようなアニ
オンを加えて沈澱物を得、これを乾燥してX、M、Gの
各化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末を得、必要
に応じて粉砕する。
The above water-soluble compound is represented by the general formula wXMO 3
- (1-w) (XO y -aGO z) were mixed so as to satisfy, to adjust the pH, to obtain a precipitate by adding an anion such as to produce a sparingly soluble salt, and drying the X, A mixed powder in which each compound of M and G has a diameter of less than 0.1 μm is obtained, and pulverized as necessary.

【0054】沈殿を生成させるためのpHは化合物によ
って異なるが、一般にpHは3以上で中性付近が好まし
い。Mg等のアルカリ土類金属イオンの場合はpHは1
1以上を必要とし、アルカリ金属イオンの場合はpHの
調整では沈殿しない。したがって、アルカリ土類金属イ
オンの場合は難溶性塩の形成が好ましく、シュウ酸、硫
酸、クエン酸等の添加により沈殿が生じる。アルカリ金
属イオンの場合は水を系から除くことによる溶解度の低
下により沈殿させる。
The pH for forming a precipitate varies depending on the compound, but generally, the pH is preferably 3 or more and around neutral. The pH is 1 for alkaline earth metal ions such as Mg.
One or more is required, and in the case of alkali metal ions, precipitation does not occur by adjusting the pH. Therefore, in the case of alkaline earth metal ions, the formation of a sparingly soluble salt is preferable, and the addition of oxalic acid, sulfuric acid, citric acid or the like causes precipitation. In the case of an alkali metal ion, precipitation is caused due to a decrease in solubility by removing water from the system.

【0055】ここで得られた粉末の乾燥方法としてはロ
ータリーエバポレーター、フレーカー、エアーバス等の
公知の方法を用いることができる。
As a method for drying the powder obtained here, a known method such as a rotary evaporator, a flaker and an air bath can be used.

【0056】焼成方法としては電気抵抗加熱、プラズ
マ、高周波、レーザー等の既知の方法を用いることがで
きる。ここで、焼成温度は金属化合物の種類により異な
るが、微細単結晶粉末の結晶化以上の温度にする必要が
あり、通常は400〜1200℃、好ましくは500〜
1000℃である。400℃未満では有機物が分解せ
ず、結晶化も進行しない。また、1200℃を超えると
元素の蒸発等による組成の変化がおこり、好ましくな
い。
As the firing method, known methods such as electric resistance heating, plasma, high frequency, laser and the like can be used. Here, the firing temperature varies depending on the kind of the metal compound, but it is necessary to set it to a temperature equal to or higher than the crystallization of the fine single crystal powder, and usually 400 to 1200 ° C, preferably 500 to
It is 1000 ° C. If the temperature is lower than 400 ° C., organic substances are not decomposed and crystallization does not proceed. Further, if the temperature exceeds 1200 ° C., the composition is changed due to element evaporation and the like, which is not preferable.

【0057】焼成は空気中、不活性ガス中または還元雰
囲気中のいずれでもよい。微細単結晶粉末が還元され易
い場合は、酸素雰囲気中でも焼成することができる。
The firing may be performed in air, an inert gas or a reducing atmosphere. When the fine single crystal powder is easily reduced, it can be fired in an oxygen atmosphere.

【0058】このようにして得られた粉末は、多数の析
出微細単結晶とガラス成分との混合物である。これから
微細単結晶のみを分離するためには水や希酸、希アルカ
リ等の水溶液でガラス成分を溶解させた後、ろ過、遠心
分離の手段を用いることができる。
The powder thus obtained is a mixture of a large number of precipitated fine single crystals and glass components. In order to separate only the fine single crystal from this, a means of filtering and centrifuging can be used after dissolving the glass component with water or an aqueous solution of dilute acid, dilute alkali or the like.

【0059】ここで用いられる酸としては硝酸、フッ
酸、塩酸、硫酸、酢酸等を挙げることができ、単独でも
混合しても用いることができる。アルカリとしてはアン
モニア水、苛性ソーダ、苛性カリ等が挙げられ、単独で
も混合しても用いることができる。これらは5〜50重
量%の濃度に希釈して用いられる。
Examples of the acid used here include nitric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, acetic acid and the like, and they can be used alone or in a mixture. Examples of the alkali include ammonia water, caustic soda, caustic potash, and the like, and they can be used alone or in combination. These are used after diluting to a concentration of 5 to 50% by weight.

【0060】[0060]

【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明は下記実施例により、何ら限定されるものではな
い。また、結晶相の確認は粉末X線回折、結晶形状は走
査形電子顕微鏡によって確認した。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The crystal phase was confirmed by powder X-ray diffraction, and the crystal shape was confirmed by a scanning electron microscope.

【0061】実施例1 鉛ジエトキシドとチタニウムテトライソプロポキシドと
トリメチルほう素とを、wPbTiO3 −(1−w)
(PbO−BO1.5 )に換算して 表1に示すような割
合に調合し、イソプロパノールートルエンの1:1(重
量比)混合溶媒中に溶解し、酸化物換算で15重量%の
微細単結晶粉末形成液を合成した。この液からロータリ
ーエバポレータで溶媒を除き、ついで130℃で30分
間乾燥してゲル粉末を得た。この粉末を800℃で1時
間保持して微細単結晶粉末を析出させた。これを更に4
0℃の1規定の硝酸中で洗浄後、ろ過して微細単結晶の
みを得た。結晶相の生成はX線回折により確認した。結
晶相ピーク高さ(110)で結晶相生成量と結晶性の目
安とした。
Example 1 Lead diethoxide, titanium tetraisopropoxide and trimethyl boron were added to wPbTiO 3- (1-w).
(PbO-BO 1.5 ) and mixed in a ratio as shown in Table 1, dissolved in a 1: 1 (weight ratio) mixed solvent of isopropanol-toluene, and 15% by weight in terms of oxide of a fine single crystal. A powder forming liquid was synthesized. The solvent was removed from this solution by a rotary evaporator, and then the solution was dried at 130 ° C. for 30 minutes to obtain a gel powder. This powder was kept at 800 ° C. for 1 hour to precipitate a fine single crystal powder. 4 more
After washing in 1N nitric acid at 0 ° C., filtration was performed to obtain only fine single crystals. Formation of a crystalline phase was confirmed by X-ray diffraction. The crystal phase peak height (110) was used as a measure of the crystal phase production amount and crystallinity.

【0062】[0062]

【表1】 [Table 1]

【0063】比較例1 実施例1において、wの割合が1の場合は結晶化が充分
でなく、単結晶粉末は得られなかった。結果を表1に示
す。
Comparative Example 1 In Example 1, when the ratio of w was 1, crystallization was not sufficient and a single crystal powder could not be obtained. The results are shown in Table 1.

【0064】比較例2 実施例1において、wの割合が0.05の場合は得られ
る結晶量が少なく、実用的ではなかった。
Comparative Example 2 In Example 1, when the ratio of w was 0.05, the amount of crystals obtained was too small to be practical.

【0065】実施例2 バリウム0.4モルをメトキシエタノール4モル中に2
5℃で混合反応させた後、120℃で2時間熟成した。
その後90℃に冷却し、チタニウムテトライソプロポキ
シド0.4モルを添加して更に120℃に加熱した後、
メトキシエタノールに溶解した水を0.6モル加えて加
水分解を行った(A液)。この液に、別に用意したバリ
ウムメトキシエトキシドとほう酸トリメチルおよびテト
ラエトキシシランを、Ba:B:Si=1:a:0.5
aとなるようにメトキシエタノールに溶解した液(B
液)を、A液に表2に示されるように混合した。液組成
は0.7BaTiO3 −0.3(BaO−aBO1.5
0.5aSiO2 )と表される。この液をロータリーエ
バポレーターで乾燥して粉末を得た。この粉末を800
℃で30分間空気中で焼成して粉末を得た。この粉末を
50℃の1N塩酸に10分間浸漬した後、遠心分離して
微細単結晶粉末をえた。この粉末の結晶性を実施例1と
同様の方法で測定した。結果を表2に示す。
Example 2 0.4 mol of barium was added to 2 mol of 4 mol of methoxyethanol.
After mixing and reacting at 5 ° C, the mixture was aged at 120 ° C for 2 hours.
After that, the mixture was cooled to 90 ° C., 0.4 mol of titanium tetraisopropoxide was added and further heated to 120 ° C.,
Hydrolysis was carried out by adding 0.6 mol of water dissolved in methoxyethanol (solution A). Separately prepared barium methoxyethoxide, trimethyl borate and tetraethoxysilane were added to this solution, and Ba: B: Si = 1: a: 0.5.
A solution (B
Solution) was mixed with Solution A as shown in Table 2. Liquid composition 0.7BaTiO 3 -0.3 (BaO-aBO 1.5 -
0.5aSiO 2 ). This liquid was dried with a rotary evaporator to obtain a powder. 800 this powder
The powder was obtained by baking in air at 30 ° C. for 30 minutes. This powder was immersed in 1N hydrochloric acid at 50 ° C. for 10 minutes and then centrifuged to obtain a fine single crystal powder. The crystallinity of this powder was measured by the same method as in Example 1. The results are shown in Table 2.

【0066】比較例3 aが3.3では、ガラス中にバリウムが溶解して結晶相
の割合が低下するため好ましくない。
Comparative Example 3 When a is 3.3, barium is dissolved in the glass to reduce the proportion of the crystal phase, which is not preferable.

【0067】比較例4 aが0.04では、ガラス成分が少なすぎて結晶化が十
分ではなかった。
Comparative Example 4 When a was 0.04, the crystallization was not sufficient because the glass component was too small.

【0068】[0068]

【表2】 [Table 2]

【0069】実施例3 ストロンチウムジイソプロポキシドとほう酸トリメチル
とテトラエトキシシランとチタニウムテトライソプロポ
キシドとを後述のモル比に調合し、イソプロパノールー
トルエンの1:1(重量比)混合溶媒中に溶解して酸化
物換算で15重量%の微細単結晶粉末形成用の溶液を合
成した。組成は0.8SrTiO3 −0.2(SrO−
0.5B2 3 −0.1SiO2 )で表されるものであ
った。この液を乾燥して粉末にした後、最終的に800
℃で1時間大気中で焼成した。次いで1N塩酸に10分
間浸漬した後、ろ過、洗浄して平均粒径が5.0μmの
微細単結晶粉末を得た。この粉末の結晶性を実施例1と
同様な方法で測定した。その結果、SrTiO3 の生成
が確認された。
Example 3 Strontium diisopropoxide, trimethyl borate, tetraethoxysilane and titanium tetraisopropoxide were mixed in a molar ratio described below and dissolved in a 1: 1 (weight ratio) isopropanol-toluene mixed solvent. Then, a solution for forming a fine single crystal powder of 15% by weight in terms of oxide was synthesized. The composition is 0.8 SrTiO 3 -0.2 (SrO-
0.5B were 2 O 3 represented by the -0.1SiO 2). After this liquid is dried and made into powder, it is finally 800
It was baked in the air at 0 ° C for 1 hour. Then, it was immersed in 1N hydrochloric acid for 10 minutes, filtered and washed to obtain a fine single crystal powder having an average particle size of 5.0 μm. The crystallinity of this powder was measured by the same method as in Example 1. As a result, formation of SrTiO 3 was confirmed.

【0070】実施例4 鉛ジエトキシドとジルコニウムイソプロポキシドとチタ
ニウムテトライソプロポキシドとテトラエトキシゲルマ
ニウムとを、0.7PbZr0.5 Ti0.5 3−0.3
(PbO−GeO2 )の組成になるように調合し、イソ
プロパノールートルエンの1:1(重量比)混合溶媒中
に溶解し、酸化物換算で15重量%の微細単結晶粉末形
成用の溶液を合成した。この液を乾燥して粉末を得た
後、700℃で30分間大気中で焼成し1N塩酸に10
分間浸漬した後、ろ過、洗浄して平均粒径が0.8μm
の微細単結晶粉末を得た。PZT結晶相の生成はX線に
より確認された。
Example 4 Lead diethoxide, zirconium isopropoxide, titanium tetraisopropoxide and tetraethoxy germanium were mixed with 0.7 PbZr 0.5 Ti 0.5 O 3 -0.3.
(PbO-GeO 2) were blended to obtain a composition of isopropanol over toluene 1: 1 (by weight) was dissolved in a mixed solvent of 15 wt% in terms of oxide solution for fine monocrystal powder form Synthesized. This liquid is dried to obtain a powder, which is then baked in the air at 700 ° C. for 30 minutes to obtain 1N hydrochloric acid,
After soaking for 1 minute, filtered and washed to obtain an average particle size of 0.8 μm
A fine single crystal powder of Formation of the PZT crystalline phase was confirmed by X-ray.

【0071】比較例5 粒径1μmの酸化鉛粉末0.5モル、粒径0.3μmの
酸化チタン粉末0.7モル、粒径1.1μmの炭酸スト
ロンチウム粉末0.5モル、粒径2μmのシリカ粉末
0.3モルをエタノール中でボールミル混合した後、乾
燥して粉末を得た。これを直径10mm、厚さ1mmの
ペレットに成形した後、800℃で焼成した。X線では
結晶相はわずかにしか認められず、走査電子顕微鏡では
結晶粒子は確認できなかった。
Comparative Example 5 0.5 mol of lead oxide powder having a particle size of 1 μm, 0.7 mol of titanium oxide powder having a particle size of 0.3 μm, 0.5 mol of strontium carbonate powder having a particle size of 1.1 μm, and 2 μm of particle size After 0.3 mol of silica powder was ball-milled in ethanol and dried, powder was obtained. This was molded into a pellet having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm, and then fired at 800 ° C. Only a few crystalline phases were observed by X-ray, and no crystalline particles could be confirmed by a scanning electron microscope.

【0072】実施例5 塩化バリウム0.2モル、四塩化チタン0.2モル、ほ
う酸0.02モル、酸性シリカゾル0.003モルを混
合した水溶液500ミリリットルを、撹拌しながらアン
モニアでpH8に調整して沈澱を得た。この沈澱をろ
過、乾燥して得た粉末の1次粒子の粒径は18nmであ
った。この粉末を500℃で3時間焼成して得られた酸
化物粉末を乳鉢で磨砕後、プレス機で直径10mm、厚
み1mmのペレットに成形した。このペレットを大気中
900℃で30分間焼成した。次いで1N塩酸に10分
間浸漬した後、ろ過、洗浄して粒径が5〜10μmの微
細単結晶粉末を得た。また、このペレットの結晶性を実
施例1と同様の方法で測定した結果、X線回折により結
晶相の生成が確認された。
Example 5 500 ml of an aqueous solution prepared by mixing 0.2 mol of barium chloride, 0.2 mol of titanium tetrachloride, 0.02 mol of boric acid and 0.003 mol of acidic silica sol was adjusted to pH 8 with ammonia while stirring. To obtain a precipitate. The particle size of the primary particles of the powder obtained by filtering and drying this precipitate was 18 nm. The oxide powder obtained by firing this powder at 500 ° C. for 3 hours was ground in a mortar and then molded into pellets having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm by a pressing machine. The pellets were fired in the air at 900 ° C. for 30 minutes. Then, it was immersed in 1N hydrochloric acid for 10 minutes, then filtered and washed to obtain a fine single crystal powder having a particle size of 5 to 10 μm. The crystallinity of this pellet was measured by the same method as in Example 1, and as a result, the generation of a crystal phase was confirmed by X-ray diffraction.

【0073】比較例6 塩化バリウム0.16モル、塩化マグネシウム0.04
モル、四塩化チタン0.2モルを混合した水溶液500
mlを、撹拌しながらアンモニアでpH8に調整し、沈
澱を得た。この沈澱をろ過、乾燥して得た粉末の1次粒
子の粒径は18nmであった。この粉末を500℃で3
時間焼成して得られた酸化物粉末を乳鉢で磨砕後、プレ
ス機で直径10mm、厚み1mmのペレットに成形し
た。このペレットを大気中900℃で30分間焼成し
た。このペレットは、X線回折では結晶化していたが、
走査電子顕微鏡では単結晶粒子は認められなかった。
Comparative Example 6 0.16 mol of barium chloride and 0.04 of magnesium chloride
Aqueous solution 500 in which 0.1 mol of titanium tetrachloride and 0.2 mol of titanium tetrachloride
The ml was adjusted to pH 8 with ammonia with stirring and a precipitate was obtained. The particle size of the primary particles of the powder obtained by filtering and drying this precipitate was 18 nm. This powder at 500 ℃ 3
The oxide powder obtained by firing for a period of time was ground in a mortar and then formed into pellets having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm by a press. The pellets were fired in the air at 900 ° C. for 30 minutes. This pellet was crystallized by X-ray diffraction,
No single crystal particles were observed by a scanning electron microscope.

【0074】[0074]

【発明の効果】本発明によれば、従来の水熱合成法等で
得る方法に比較して方法が単純であると共に組成が均一
で、粒径の揃ったペロブスカイト構造の微細単結晶粉末
をより低温で合成でき、また、種々の組成の微細単結晶
粉末の製造が可能であり、その工業的価値は大である。
According to the present invention, a fine single crystal powder having a perovskite structure having a uniform composition and a uniform composition can be obtained more easily than the conventional method obtained by hydrothermal synthesis method. It can be synthesized at a low temperature and can produce fine single crystal powders of various compositions, and its industrial value is great.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1のw=0.8で観察された微細単結晶
粉末の粒子構造を示す。図面に代わる写真。(倍率50
0倍の走査電子顕微鏡写真)。
1 shows the particle structure of the fine single crystal powder observed at w = 0.8 in Example 1. FIG. A photo that replaces the drawing. (Magnification 50
0x scanning electron micrograph).

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成6年5月26日[Submission date] May 26, 1994

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0017[Correction target item name] 0017

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0017】CVD法の場合には、出発物質としてX化
合物は下記のものが挙げられる。・ア ルキルリチウム等のリチウム化合物。・ア ルキルナトリウム等のナトリウム化合物。・ア ルキルカリウム等のカリウム化合物。 ・4エチル鉛、ビスジピバロイルメタナト鉛等の有機鉛
化合物、あるいは塩化鉛等のハロゲン化物の鉛化合物。 ・バリウムエトキシド、バリウムイソプロポキシド、ビ
スジピバロイルバリウム等の有機バリウム化合物、ある
いは塩化バリウム等のハロゲン化物のバリウム化合物。 ・マグネシウムエトキシド、マグネシウムイソプロポキ
シド、ビスジピバロイルマグネシウム等の有機マグネシ
ウム化合物、あるいは塩化マグネシウム等のハロゲン化
物のマグネシウム化合物。 ・カルシウムエトキシド、カルシウムイソプロポキシ
ド、ビスジピバロイルカルシウム等の有機カルシウム化
合物、あるいは塩化カルシウム等のハロゲン化物のカル
シウム化合物。 ・ストロンチウムエトキシド、ストロンチウムイソプロ
ポキシド、ビスジピバロイルストロンチウム等の有機ス
トロンチウム化合物、あるいは塩化ストロンチウム等の
ハロゲン化物のストロンチウム化合物。 ・ランタンエトキシド、ランタンアセチルアセトナー
ト、トリスジピバロイルメタナートランタン等の有機ラ
ンタン化合物、あるいは塩化ランタン等のハロゲン化物
のランタン化合物。 ・イットリウムエトキシド、イットリウムアセチルアセ
トナート、トリスジピバロイルメタナートイットリウム
等の有機イットリウム化合物、あるいは塩化イットリウ
ム等のハロゲン化物のイットリウム化合物。 ・ビスマスエトキシド、ビスマスアセチルアセトナー
の有機ビスマス化合物、あるいは塩化ビスマス等のハ
ロゲン化物のビスマス化合物。
In the case of the CVD method, the X compounds as starting materials include the following. · A lithium compounds such as Rukirurichiumu. · A sodium compound such as Le kill sodium. · A potassium compounds such as Rukirukariumu. -Organic lead compounds such as 4-ethyl lead and bis-dipivaloylmethanato lead, or lead compounds such as lead chloride such as lead chloride. -Organic barium compounds such as barium ethoxide, barium isopropoxide and bisdipivaloyl barium, or halide barium compounds such as barium chloride. -Organomagnesium compounds such as magnesium ethoxide, magnesium isopropoxide, and bisdipivaloyl magnesium, or halide magnesium compounds such as magnesium chloride. -Organic calcium compounds such as calcium ethoxide, calcium isopropoxide and bisdipivaloyl calcium, or halide calcium compounds such as calcium chloride. -Organic strontium compounds such as strontium ethoxide, strontium isopropoxide and bisdipivaloyl strontium, or halide strontium compounds such as strontium chloride. Lantern ethoxide, lanthanum acetylacetonate, an organic lanthanum compound such as tri Sujipibaroiru Metanato lanthanum, or lanthanum compound halides lanthanum chloride. Yttrium ethoxide, yttrium acetylacetonate, an organic yttrium compounds such as tri Sujipibaroiru Metanato yttrium or yttrium compound halides yttrium chloride. Bismuth ethoxide, bismuth acetyl acetate toner DOO
Or an organic bismuth compound such as bismuth chloride, or a bismuth compound of a halide such as bismuth chloride.

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0018】CVD法の場合には、出発物質としてM化
合物は下記のものが挙げられる。 ・トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、
アルミニウムトリイソプロポキシドのようなアルミニウ
ム化合物、あるいは塩化アルミニウム等のハロゲ化物の
アルミニウム化合物。 ・マンガンアセチルアセトナートのようなマンガン化合
物。 ・チタニウムエトキシド、チタニウムイソプロポキシ
ド、チタニウムブトキシド、酢酸チタンのような有機チ
タニウム化合物、あるいは四塩化チタン等のハロゲン化
物のチタニウム化合物。 ・ジルコニウムエトキシド、ジルコニウムイソプロポキ
シド、ジルコニウムブトキシドのような有機ジルコニウ
ム化合物、あるいは四塩化ジルコニウム等のハロゲン化
物のジルコニウム化合物 ・テトラエチルスズ、テトラブチルスズ、スズエトキシ
ド、スズイソプロポキシド、スズブトキシドのような有
機スズ化合物。 ・マグネシウムエトキシド、マグネシウムイソプロポキ
シド、ビスジピバロイルマグネシウム等の有機マグネシ
ウム化合物、あるいは塩化マグネシウム等のハロゲン化
物のマグネシウム化合物。 ・亜鉛エトキシド、亜鉛アセチルアセトナート、ビスジ
ピバロイル亜鉛等の有機亜鉛化合物、あるいは塩化亜鉛
等のハロゲン化物の亜鉛化合物。 ・鉄エトキシド、鉄アセチルアセトナート、ビスジピバ
ロイル鉄等の有機鉄化合物、あるいは塩化鉄等のハロゲ
ン化物の鉄化合物。 ・コバルトエトキシド、コバルトアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルコバルト等の有機コバルト化合
物、あるいは塩化コバルト等のハロゲン化物のコバルト
化合物。 ・ニッケルエトキシド、ニッケルアセチルアセトナー
ト、ビスジピバロイルニッケル等の有機ニッケル化合
物、あるいは塩化ニッケル等のハロゲン化物のニッケル
化合物。 ・ニオビウムエトキシド、ニオビウムアセチルアセトナ
ト等の有機ニオビウム化合物、あるいは塩化ニオビウ
ム等のハロゲン化物のニオビウム化合物。 ・タンタルエトキシド、タンタルアセチルアセトナー
の有機タンタル化合物、あるいは塩化タンタル等のハ
ロゲン化物のタンタル化合物。 ・タングステンエトキシド、タングステンアセチルアセ
トナート、ビスジピバロイルタングステン等の有機タン
グステン化合物、あるいは塩化タングステン等のハロゲ
ン化物のタングステン化合物。
In the case of the CVD method, the M compound as a starting material includes the following.・ Trimethyl aluminum, triethyl aluminum,
Aluminum compounds such as aluminum triisopropoxide, or halogenated aluminum compounds such as aluminum chloride. -Manganese compounds such as manganese acetylacetonate. -Organic titanium compounds such as titanium ethoxide, titanium isopropoxide, titanium butoxide, and titanium acetate, or halide titanium compounds such as titanium tetrachloride. Organic zirconium compounds such as zirconium ethoxide, zirconium isopropoxide, zirconium butoxide, or zirconium compounds of halides such as zirconium tetrachloride. Organic such as tetraethyltin, tetrabutyltin, tin ethoxide, tin isopropoxide, tin butoxide. Tin compounds. -Organomagnesium compounds such as magnesium ethoxide, magnesium isopropoxide, and bisdipivaloyl magnesium, or halide magnesium compounds such as magnesium chloride. -Organic zinc compounds such as zinc ethoxide, zinc acetylacetonate and bisdipivaloyl zinc, or halide zinc compounds such as zinc chloride. -Organic iron compounds such as iron ethoxide, iron acetylacetonate, and bisdipivaloyl iron, or halide iron compounds such as iron chloride. -Organic cobalt compounds such as cobalt ethoxide, cobalt acetylacetonate, and bisdipivaloyl cobalt, or halide cobalt compounds such as cobalt chloride. -Organic nickel compounds such as nickel ethoxide, nickel acetylacetonate, and bisdipivaloyl nickel, or halide nickel compounds such as nickel chloride. -Organic niobium compounds such as niobium ethoxide and niobium acetylacetonate, or halide niobium compounds such as niobium chloride. Tantalum ethoxide, tantalum acetyl acetate toner DOO
Tantalum compounds such as organic tantalum compounds such as or tantalum chlorides such as tantalum chloride. -Organic tungsten compounds such as tungsten ethoxide, tungsten acetylacetonate, and bisdipivaloyl tungsten, or halide tungsten compounds such as tungsten chloride.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0029[Name of item to be corrected] 0029

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0029】有機溶媒に可溶な化合物を用いる方法にお
いては、M化合物としては下記のものが挙げられる。 ・トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、
アルミニウムトリイソプロポキシド等のアルミニウム化
合物、あるいは塩化アルミニウム等のハロゲン化物のア
ルミニウム化合物。 ・マンガンアセチルアセトナート等のマンガン化合物。 ・テトラメトキシチタニウム、テトラエトキシチタニウ
ム、テトライソプロポキシチタニウム、テトラブトキシ
チタニウム、四塩化チタン等のチタニウム化合物。 ・テトラメトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコ
ニウム、テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブ
トキシジルコニウム、四塩化ジルコニウム等のジルコニ
ウム化合物。 ・テトラメトキシスズ、テトラエトキシスズ、テトライ
ソプロポキシスズ、テトラブトキシスズ、テトラオクチ
ルスズ、スズアセチルアセトナート、四塩化スズ等のス
ズ化合物。 ・ジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、
ジイソプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウ
ム等のマグネシウム化合物。 ・ジメトキシ亜鉛、ジエトキシ亜鉛、ジイソプロポキシ
亜鉛、ジブトキシ亜鉛、亜鉛アセチルアセトナート、塩
化亜鉛等の亜鉛化合物。 ・トリエトキシ鉄、イソプロポキシ鉄、ブトキシ
鉄、鉄アセチルアセトナート、塩化鉄等の鉄化合物。 ・エトキシコバルト、イソプロポキシコバルト、
ブトキシコバルト、コバルトアセチルアセトナート、塩
化コバルト等のコバルト化合物。 ・エトキシニッケル、イソプロポキシニッケル、
ブトキシニッケル、ニッケルアセチルアセトナート、塩
化ニッケル等のニッケル化合物。 ・ペンタメトキシニオビウム、ペンタエトキシニオビウ
ム、ペンタイソプロポキシニオビウム、ペンタブトキシ
ニオビウム、塩化ニオビウム等のニオビウム化合物。 ・ペンタメトキシタンタル、ペンタエトキシタンタル、
ペンタイソプロポキシタンタル、ペンタブトキシタンタ
ル、塩化タンタル等のタンタル化合物。 ・ペンタメトキシタングステン、ペンタエトキシタング
ステン、ペンタイソプロポキシタングステン、ペンタブ
トキシタングステン、塩化タングステン等のタングステ
ン化合物。
In the method using a compound soluble in an organic solvent, the M compound includes the following.・ Trimethyl aluminum, triethyl aluminum,
Aluminum compounds such as aluminum triisopropoxide, or halide aluminum compounds such as aluminum chloride. -Manganese compounds such as manganese acetylacetonate. -Titanium compounds such as tetramethoxytitanium, tetraethoxytitanium, tetraisopropoxytitanium, tetrabutoxytitanium and titanium tetrachloride. -Zirconium compounds such as tetramethoxyzirconium, tetraethoxyzirconium, tetraisopropoxyzirconium, tetrabutoxyzirconium and zirconium tetrachloride. -Tin compounds such as tetramethoxytin, tetraethoxytin, tetraisopropoxytin, tetrabutoxytin, tetraoctyltin, tin acetylacetonate and tin tetrachloride.・ Dimethoxy magnesium, diethoxy magnesium,
Magnesium compounds such as diisopropoxy magnesium and dibutoxy magnesium. -Zinc compounds such as dimethoxyzinc, diethoxyzinc, diisopropoxyzinc, dibutoxyzinc, zinc acetylacetonate and zinc chloride. Triethoxy iron, di isopropoxy iron, di-butoxy, iron acetylacetonate, iron compounds iron chloride. · Diethoxy cobalt, diisopropoxy cobalt, di <br/> butoxy, cobalt acetylacetonate, cobalt compound cobalt chloride. · Diethoxy nickel, diisopropoxy nickel, di <br/> butoxy, nickel acetylacetonate, nickel compounds such as nickel chloride. -Niobium compounds such as pentamethoxy niobium, pentaethoxy niobium, pentaisopropoxy niobium, pentabtox niobium, niobium chloride.・ Pentamethoxytantalum, pentaethoxytantalum,
Tantalum compounds such as pentaisopropoxy tantalum, pentab toxtantalum and tantalum chloride. -Tungsten compounds such as pentamethoxytungsten, pentaethoxytungsten, pentaisopropoxytungsten, pentabtoxytungsten, and tungsten chloride.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C30B 29/22 Z 8216−4G H01B 3/00 D 9059−5G H01G 4/10 4/12 415 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location C30B 29/22 Z 8216-4G H01B 3/00 D 9059-5G H01G 4/10 4/12 415

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】Xの酸化物(XはLi、Na、K、Pb、
Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y、Biから選ばれた
1種または2種以上)、Mの酸化物(MはAl、Mn、
Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、Co、Ni、N
b、Ta、Wから選ばれた1種または2種以上)、Gの
酸化物(GはB、As、Sb、Si、Ge、Te、Pか
ら選ばれた1種または2種以上)またはこれらの酸化物
に転換し得るX化合物、M化合物、G化合物を用い、そ
れぞれの酸化物または化合物の直径が0.1μm未満と
なるように混合し、焼成して一般式wXMO3 −(1−
w)(XOy −aGOz )(式中、y、zは酸素数を表
し、XがLi、Na、Kのときはy=0.5、XがP
b、Ba、Mg、Ca、Srのときはy=1、XがL
a、Y、Biのときはy=1.5である。GがB、A
s、Sbのときはz=1.5、GがSi、Ge、Teの
ときはz=2、GがPのときはz=2.5である。wは
モル数を表し、aは実数で、0.1<w≦0.95、
0.05≦a≦2である。)で表される誘電体組成物を
得、これからガラス成分を酸またはアルカリで溶解除去
することを特徴とする微細単結晶粉末の製造方法。
1. An oxide of X (X is Li, Na, K, Pb,
One or more selected from Ba, Mg, Ca, Sr, La, Y and Bi) and an oxide of M (M is Al, Mn,
Ti, Zr, Sn, Mg, Zn, Fe, Co, Ni, N
b, Ta, W, one or more kinds selected from them, an oxide of G (G is one or more kinds selected from B, As, Sb, Si, Ge, Te, P) or these X compound, M compound, and G compound that can be converted into the oxide of formula (1) are mixed so that the diameter of each oxide or compound is less than 0.1 μm, and the mixture is fired to obtain the compound of the general formula wXMO 3- (1-
During w) (XO y -aGO z) ( wherein, y, z represents the number of oxygen atoms, X is Li, Na, y = 0.5 When the K, X is P
When b, Ba, Mg, Ca, Sr, y = 1, X is L
When a, Y and Bi, y = 1.5. G is B, A
When s and Sb, z = 1.5, when G is Si, Ge and Te, z = 2, and when G is P, z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95,
0.05 ≦ a ≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.
【請求項2】有機溶媒に可溶なX化合物(XはLi、N
a、K、Pb、Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y、B
iから選ばれた1種または2種以上)、M化合物(Mは
Al、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、C
o、Ni、Nb、Ta、Wから選ばれた1種または2種
以上)、G化合物(GはB、As、Sb、Si、Ge、
Te、Pから選ばれた1種または2種以上)を用い、そ
れぞれの溶液を混合し、乾燥または加水分解してそれぞ
れの化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末とし、次
いで焼成して一般式wXMO3 −(1−w)(XOy
aGOz )(式中、y、zは酸素数を表し、XがLi、
Na、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、Mg、
Ca、Srのときはy=1、XがLa、Y、Biのとき
はy=1.5である。GがB、As、Sbのときはz=
1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、GがP
のときはz=2.5である。wはモル数を表し、aは実
数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2であ
る。)で表される誘電体組成物を得、これからガラス成
分を酸またはアルカリで溶解除去することを特徴とする
微細単結晶粉末の製造方法。
2. An organic solvent-soluble X compound (X is Li, N
a, K, Pb, Ba, Mg, Ca, Sr, La, Y, B
1 or more selected from i), M compound (M is Al, Mn, Ti, Zr, Sn, Mg, Zn, Fe, C)
one or more selected from o, Ni, Nb, Ta and W), G compound (G is B, As, Sb, Si, Ge,
(One or more selected from Te and P) are used, and the respective solutions are mixed, dried or hydrolyzed to give a mixed powder having a diameter of each compound of less than 0.1 μm, and then calcined to obtain a powder. Formula wXMO 3 − (1-w) (XO y
aGO z ), where y and z are oxygen numbers, X is Li,
When Na and K, y = 0.5, X is Pb, Ba, Mg,
Y = 1 when Ca and Sr, and y = 1.5 when X is La, Y, and Bi. When G is B, As, Sb, z =
1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2, G is P
Then z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95 and 0.05 ≦ a ≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.
【請求項3】1次粒子の粒径が0.1μm未満のX化合
物(XはLi、Na、K、Pb、Ba、Mg、Ca、S
r、La、Y、Biから選ばれた1種または2種以
上)、M化合物(MはAl、Mn、Ti、Zr、Sn、
Mg、Zn、Fe、Co、Ni、Nb、Ta、Wから選
ばれた1種または2種以上)、G化合物(GはB、A
s、Sb、Si、Ge、Te、Pから選ばれた1種また
は2種以上)のコロイダルゾルを用い、それぞれのコロ
イダルゾルを混合し、乾燥または共沈させてそれぞれの
化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末とし、次いで
焼成して一般式wXMO3 −(1−w)(XOy −aG
z )(式中、y、zは酸素数を表し、XがLi、N
a、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、Mg、C
a、Srのときはy=1、XがLa、Y、Biのときは
y=1.5である。GがB、As、Sbのときはz=
1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、GがP
のときはz=2.5である。wはモル数を表し、aは実
数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2であ
る。)で表される誘電体組成物を得、これからガラス成
分を酸またはアルカリで溶解除去することを特徴とする
微細単結晶粉末の製造方法。
3. An X compound having a primary particle size of less than 0.1 μm (X is Li, Na, K, Pb, Ba, Mg, Ca, S).
one or more selected from r, La, Y and Bi), M compound (M is Al, Mn, Ti, Zr, Sn,
One or more selected from Mg, Zn, Fe, Co, Ni, Nb, Ta, W), G compound (G is B, A
s, Sb, Si, Ge, Te, P) (one or more selected from colloidal sols) are used, and the respective colloidal sols are mixed and dried or coprecipitated so that each compound has a diameter of 0. A mixed powder of less than 1 μm is formed and then fired to obtain a powder having the general formula wXMO 3- (1-w) (XO y -aG
O z ), where y and z are oxygen numbers, and X is Li and N
a = K, y = 0.5, X = Pb, Ba, Mg, C
When a and Sr, y = 1, and when X is La, Y, and Bi, y = 1.5. When G is B, As, Sb, z =
1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2, G is P
Then z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95 and 0.05 ≦ a ≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.
【請求項4】水に可溶なX化合物(XはLi、Na、
K、Pb、Ba、Mg、Ca、Sr、La、Y、Biか
ら選ばれた1種または2種以上)、M化合物(MはA
l、Mn、Ti、Zr、Sn、Mg、Zn、Fe、C
o、Ni、Nb、Ta、Wから選ばれた1種または2種
以上)、G化合物(GはB、As、Sb、Si、Ge、
Te、Pから選ばれた1種または2種以上)を用い、そ
れぞれの溶液を混合し、乾燥または共沈させてそれぞれ
の化合物の直径が0.1μm未満の混合粉末とし、次い
で焼成して一般式wXMO3 −(1−w)(XOy −a
GOz)(式中、y、zは酸素数を表し、XがLi、N
a、Kのときはy=0.5、XがPb、Ba、Mg、C
a、Srのときはy=1、XがLa、Y、Biのときは
y=1.5である。GがB、As、Sbのときはz=
1.5、GがSi、Ge、Teのときはz=2、GがP
のときはz=2.5である。wはモル数を表し、aは実
数で、0.1<w≦0.95、0.05≦a≦2であ
る。)で表される誘電体組成物を得、これからガラス成
分を酸またはアルカリで溶解除去することを特徴とする
微細単結晶粉末の製造方法。
4. A water-soluble X compound (X is Li, Na,
One or more selected from K, Pb, Ba, Mg, Ca, Sr, La, Y and Bi), M compound (M is A
l, Mn, Ti, Zr, Sn, Mg, Zn, Fe, C
one or more selected from o, Ni, Nb, Ta and W), G compound (G is B, As, Sb, Si, Ge,
(One or more selected from Te and P) are used, and the respective solutions are mixed, dried or co-precipitated to obtain a mixed powder having a diameter of each compound of less than 0.1 μm, and then fired to form a powder. Formula wXMO 3 − (1-w) (XO y −a
GO z ) (In the formula, y and z represent oxygen numbers, and X represents Li and N.
a = K, y = 0.5, X = Pb, Ba, Mg, C
When a and Sr, y = 1, and when X is La, Y, and Bi, y = 1.5. When G is B, As, Sb, z =
1.5, when G is Si, Ge, Te, z = 2, G is P
Then z = 2.5. w represents the number of moles, a is a real number, and 0.1 <w ≦ 0.95 and 0.05 ≦ a ≦ 2. ) Is obtained, and the glass component is dissolved and removed therefrom with an acid or an alkali, and a method for producing a fine single crystal powder.
【請求項5】酸としてフッ酸、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸
から選ばれた1種または2種以上の水溶液を用いること
を特徴とする請求項1、2、3または4記載の微細単結
晶粉末の製造方法。
5. A fine single crystal according to claim 1, 2, 3 or 4, characterized in that an aqueous solution of one or more selected from hydrofluoric acid, hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid and acetic acid is used as the acid. Powder manufacturing method.
【請求項6】アルカリとして水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、アンモニアから選ばれた1種または2種以上
の水溶液を用いることを特徴とする請求項1、2、3ま
たは4記載の微細単結晶粉末の製造方法。
6. The fine single crystal powder according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein an aqueous solution of one or more selected from sodium hydroxide, potassium hydroxide and ammonia is used as the alkali. Manufacturing method.
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Cited By (6)

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