JPH07335727A - Positioning structure of device storage tray of ic test handler - Google Patents
Positioning structure of device storage tray of ic test handlerInfo
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- JPH07335727A JPH07335727A JP14395394A JP14395394A JPH07335727A JP H07335727 A JPH07335727 A JP H07335727A JP 14395394 A JP14395394 A JP 14395394A JP 14395394 A JP14395394 A JP 14395394A JP H07335727 A JPH07335727 A JP H07335727A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテストハンドラ
装置において、デバイスを多数収容するトレイを用い
て、このトレイから１個あるいは複数個のデバイスを吸
着あるいは開放する構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure in an IC test handler device, which uses a tray for accommodating a large number of devices and adsorbs or releases one or a plurality of devices from the tray.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来技術のＩＣテストハンドラ装置のデ
バイスを吸着あるいは開放する構造を図３と図４を参照
して説明する。本装置の構成は、図３に示すように、ト
レイ５０と、セット・プレート５４と、上下駆動手段５
２と、透過センサ８１と、吸着装置９０と、上下移動手
段９３と、ｘ軸／ｙ軸移動手段９４とで構成している。
吸着装置９０は、複数の吸着部９２とゴムパッド９１と
で構成している。ＩＣテストハンドラは、デバイス６０
をトレイから吸着して順次取り出されて他に供給され
て、デバイスの電気的試験を実施した後排出されて出て
くる。そして、この供給側機構と収納側機構は、通常は
独立して設ける場合が多く、両者の構造は、同様の機構
となっている。2. Description of the Related Art A structure for adsorbing or releasing a device of a conventional IC test handler device will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 3, the structure of this device is such that the tray 50, the set plate 54, and the vertical drive means 5 are provided.
2, a transmission sensor 81, a suction device 90, a vertical movement means 93, and an x-axis / y-axis movement means 94.
The suction device 90 includes a plurality of suction portions 92 and a rubber pad 91. The IC test handler is the device 60
Are adsorbed from the tray, sequentially taken out, supplied to others, and electrically discharged from the device after being electrically tested. In many cases, the supply side mechanism and the storage side mechanism are usually provided independently of each other, and the structures of both are similar.
【０００３】第１に、デバイス供給側の場合の動作を説
明する。トレイ５０は、図５に示す例のように、多数個
のデバイスを収容するくぼみ状の収容ポケット５０ａを
形成したものである。トレイ５０上には、デバイス６０
が格納されている。このトレイ５０は、図３に示すよう
に、他の搬送装置により予めセット・プレート５４上の
所定位置に配置されている。First, the operation on the device supply side will be described. As in the example shown in FIG. 5, the tray 50 has a recessed storage pocket 50a for storing a large number of devices. On the tray 50, the device 60
Is stored. As shown in FIG. 3, the tray 50 is previously placed at a predetermined position on the set plate 54 by another transport device.
【０００４】セット・プレート５４は、上記トレイ５０
を乗せる台であり、パルスモータ等の上下駆動手段５２
により、上下に移動でき任意の位置で停止できる構造に
なっている。透過センサ８１は、このセット・プレート
５４の上端で停止させる位置センサである。まず、上下
駆動手段５２を駆動開始して、セット・プレート５４を
上昇させる。やがて、透過センサ８１がトレイ５０の上
端位置を検出すると、この検出信号を受けて、上下駆動
手段５２を止める。これによりセット・プレート５４
は、所望の高さに停止する。The set plate 54 is the tray 50.
And a vertical drive means 52 such as a pulse motor.
With this, the structure is such that it can be moved up and down and stopped at any position. The transmission sensor 81 is a position sensor that stops at the upper end of the set plate 54. First, the vertical drive means 52 is started to drive and the set plate 54 is raised. Eventually, when the transmission sensor 81 detects the upper end position of the tray 50, it receives the detection signal and stops the vertical drive means 52. This allows the set plate 54
Stops at the desired height.
【０００５】トレイ５０の上部にある吸着装置９０は、
複数の吸着部９２を有して同時に複数のデバイスを吸着
して他に搬送するものであり、上下移動手段９３と、ｘ
軸／ｙ軸移動手段により移動できる装置である。各吸着
部９２は、操作空圧源９５からの個別のチューブ配管に
より接続されていて、ゴムパッド９１に供給している。
このゴムパッド９１により、デバイス６０は、吸着ある
いは開放される。吸着装置９０のｘ軸／ｙ軸移動手段に
より所望のデバイス６０上に移動させた後、吸着装置９
０の上下移動手段９３を駆動して下降させ、ゴムパッド
９１をデバイス６０に接触させる。この移動距離は、固
定距離である。その後、所望の吸着部９２の操作空圧源
９５を真空状態に駆動してデバイス６０を吸着して保持
させた後、上側に上昇させた後、ｘ軸／ｙ軸移動手段９
４を駆動して他の場所へデバイス６０を搬送する。The suction device 90 at the top of the tray 50 is
It has a plurality of suction portions 92 and simultaneously suctions a plurality of devices and conveys them to another, and a vertical moving means 93, x
It is a device that can be moved by means of axis / y-axis moving means. Each suction portion 92 is connected to the rubber pad 91 by an individual tube pipe from the operation air pressure source 95.
The device 60 is adsorbed or released by the rubber pad 91. After being moved onto the desired device 60 by the x-axis / y-axis moving means of the suction device 90, the suction device 9
The vertical moving means 93 of 0 is driven and lowered to bring the rubber pad 91 into contact with the device 60. This moving distance is a fixed distance. After that, the operating air pressure source 95 of the desired suction unit 92 is driven to a vacuum state to suck and hold the device 60, and then the device 60 is moved upward, and then the x-axis / y-axis moving means 9 is moved.
4 to drive the device 60 to another place.
【０００６】トレイ５０の材質は、主に樹脂成形品で形
成している。この為、トレイ５０は、経時変化、温度変
化等により、反りや湾曲等の変形するものがある。この
ようなトレイでは、上記の透過センサ８１による位置決
めにおいて、セット・プレート５４の停止位置に変動を
もたらす場合がある。つまり、セット・プレート５４上
に置かれたトレイ５０が、図４に示すような、反りによ
る浮き４１が生じている場合では、透過センサ８１は、
トレイ５０の最も上端位置を検出して停止する。この為
に、本来の所望の高さよりも浮き４１の高さだけずれた
下の位置４２で停止してしまう。この結果、デバイス６
０をゴムパッドで吸着しようとしても、場所によりゴム
パッド９１ｂのように、デバイス６０との間に隙が生じ
てしまい、これが原因で吸着出来ない不具合現象が発生
してしまう。この結果、搬送不良が生じ装置が停止し
て、いわゆるジャムの発生となってしまう。この為、事
前に、トレイ５０の反りの量を目視検査して、必要以上
の反りのあるトレイは排除する等の検査をする必要な場
合もある。The material of the tray 50 is mainly a resin molded product. Therefore, the tray 50 may be deformed, such as warped or curved, due to changes over time, changes in temperature, or the like. In such a tray, the stop position of the set plate 54 may be varied in the positioning by the transmission sensor 81. That is, in the case where the tray 50 placed on the set plate 54 has the floating 41 due to the warpage as shown in FIG.
The uppermost position of the tray 50 is detected and stopped. For this reason, it stops at the lower position 42 which is displaced from the originally desired height by the height of the float 41. As a result, the device 6
Even if 0 is to be adsorbed by the rubber pad, a gap is generated between the device 60 and the device 60 depending on the location, and this causes a phenomenon in which it cannot be adsorbed. As a result, conveyance failure occurs, the apparatus stops, and so-called jam occurs. Therefore, it may be necessary in advance to visually inspect the amount of the warp of the tray 50, and to eliminate the tray having the warp more than necessary.
【０００７】また、反りのない正常なトレイ５０の場合
でも、まれにトレイ自体が、持ち上がってしまう場合が
ある。つまり、トレイ上にデバイスがない空の状態で吸
着しようとした場合には、複数のゴムパッド９１による
吸着力により、トレイ５０全体が持ち上がってしまう場
合がある。この持ち上げの結果、トレイ５０の位置が移
動してしまったり、他のトレイ上に置かれていたデバイ
スが振動等でトレイ上から跳びはねたりしてしまう。こ
のデバイスの不慮の位置ずれ等による吸着ミスや搬送不
具合が発生する為、好ましくない。Further, even in the case of a normal tray 50 having no warp, the tray itself may occasionally be lifted up. That is, when an attempt is made to suck the tray 50 in an empty state with no device, the entire tray 50 may be lifted by the suction force of the plurality of rubber pads 91. As a result of this lifting, the position of the tray 50 is moved, or a device placed on another tray jumps from the tray due to vibration or the like. This is not preferable because an accidental misalignment or the like may cause a suction error or a conveyance error.
【０００８】第２に、電気試験を完了したデバイス６０
を収納する収納側の場合の動作を説明する。空のトレイ
５０は、上記説明と同様にして所望の位置で停止してい
る。ゴムパッド９１で吸着状態で搬送されてきたデバイ
ス６０は、ｘ軸／ｙ軸移動手段９４で、所定の空き収容
位置の上にくる。次に、上下移動手段９３を駆動して吸
着装置９０を下降させる。吸着状態のデバイス６０は、
トレイ５０との間で、少し隙を持たせた位置で停止した
後、吸着を解除して自然落下によりトレイ５０の各収容
ポケット５０ａに収容する。ここで、前記同様にトレイ
の反りにより、セット・プレート５４の停止位置が低い
状態にあるとする。この状態では、落下収容の高さが高
くなってしまう為に、安定して落下収容できない場合が
生じる。つまり、傾いてしまったり、ポケット５０ａ内
から外れてはみ出してしまったりの不具合が発生する。Second, the device 60 that has completed the electrical test.
The operation of the storage side for storing the will be described. The empty tray 50 is stopped at the desired position in the same manner as described above. The device 60 conveyed by the rubber pad 91 in an adsorbed state is brought to a predetermined empty accommodation position by the x-axis / y-axis moving means 94. Next, the vertical moving means 93 is driven to lower the suction device 90. The device 60 in the adsorption state is
After stopping at a position with a small gap with the tray 50, the suction is released and the tray 50 is accommodated in each accommodation pocket 50a of the tray 50 by natural fall. Here, it is assumed that the stop position of the set plate 54 is in a low state due to the warp of the tray as described above. In this state, the height of the drop accommodating becomes high, which may cause a case where the drop accommodating cannot be stably performed. That is, problems such as tilting or protruding out of the pocket 50a occur.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、反
りや湾曲変形したトレイ５０では、浮き４１の高さだけ
セット・プレート５４の停止位置がずれる為に、デバイ
ス供給側の場合では、ゴムパッド９１との隙が発生して
安定した吸着が出来ない不具合が発生し易くなる。ま
た、デバイス６０を収納する収納側の場合では、落下収
容の高さが高くなる為に、所定のポケット５０ａ内に安
定して収容できない不具合が発生し易くなる。これらの
結果、ジャムの発生となって、ＩＣテストハンドラが停
止してしまったり、トラブルを招いたり、稼働率が低下
してしまう等の難点があった。また、ＩＣテストハンド
ラは、昼夜連続運転や、無人運転等で使用される場合が
多く、このような不安定要因は極力無くすることが、強
く要求されている。As described above, in the tray 50 that is warped or curved and deformed, the stop position of the set plate 54 is displaced by the height of the float 41. Therefore, in the case of the device supply side, the rubber pad is used. A gap with 91 is likely to occur, and a problem that stable adsorption cannot be performed easily occurs. Further, in the case of the storage side for storing the device 60, since the height of the drop storage becomes high, a problem that the device 60 cannot be stably stored in the predetermined pocket 50a easily occurs. As a result, there is a problem that a jam occurs, the IC test handler stops, causes trouble, and lowers the operating rate. In addition, the IC test handler is often used for continuous operation day and night, unmanned operation, and the like, and it is strongly required to eliminate such an instability factor as much as possible.
【００１０】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、トレイ５０の反りや湾曲変形があっても、正常に吸
着／開放が行える構造にして、不具合の発生を低減し、
ジャムの発生を極力無くすることを目的とする。Therefore, the problem to be solved by the present invention is to reduce the occurrence of defects by making the structure capable of normal suction / release even if the tray 50 is warped or bent.
The purpose is to minimize the occurrence of jams.
【００１１】[0011]
【課題を解決する為の手段】第１図は、本発明による第
１の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、セット・プレート５４とトレイ
・アジャスト１１ａとでトレイ５０をはさんで、上下駆
動手段５２の駆動力によりトレイ５０の反りを矯正する
構造としたトレイ・アジャスト１１ａを設ける構造手段
としている。これにより、トレイ５０の反りの有無に関
係なく、正確に位置決めできる。あるいは、複数のゴム
パッド９１による吸着力により、トレイ５０全体が持ち
上がってしまう不具合を解消できる構造となる。FIG. 1 shows a first solution according to the present invention. In order to solve the above problems, the structure of the present invention has a structure in which the tray 50 is sandwiched between the set plate 54 and the tray adjust 11a, and the warp of the tray 50 is corrected by the driving force of the vertical drive means 52. The structural means is provided with the tray adjust 11a. As a result, accurate positioning can be performed regardless of whether or not the tray 50 is warped. Alternatively, the structure in which the problem that the entire tray 50 is lifted up due to the suction force of the plurality of rubber pads 91 can be solved.
【００１２】第２図は、本発明による第２の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、セット・プレート５４とトレイ・アジャスト１１
ａとでトレイ５０をはさんで、上下駆動手段５２の駆動
力によりトレイ５０の反りを矯正する構造としたトレイ
・アジャスト１１ａを設ける構造手段とし、これに追加
して、トレイ・アジャスト１１ａとトレイ５０の縁と接
する位置に位置決め用テーパ２１形状を設ける構造手段
としている。これにより、トレイ５０は、トレイ・アジ
ャスト１１ｂによってｘ方向ｙ方向が修正移動されて一
層正しい位置状態に位置決めできる構造となる。FIG. 2 shows a second solution according to the present invention. In order to solve the above-mentioned problems, in the configuration of the present invention, the set plate 54 and the tray adjust 11
The tray 50 is sandwiched by a and the tray adjuster 11a having a structure in which the warp of the tray 50 is corrected by the driving force of the vertical drive means 52 is provided. The structure is provided with a positioning taper 21 shape at a position in contact with the edge of 50. As a result, the tray 50 has a structure in which the tray adjust 11b corrects and moves the x direction and the y direction so that the tray 50 can be positioned in a more correct position.
【００１３】[0013]
【作用】トレイ・アジャスト１１ａと、セット・プレー
ト５４とで、トレイ５０の周縁を押さえることで、トレ
イ５０の反りを矯正状態に維持する作用がある。実施例
２のトレイ・アジャスト１１ｂの内側をテーパ２１形状
した場合は、トレイ５０のｘ方向ｙ方向の位置を修正移
動させる作用がある。The tray adjuster 11a and the set plate 54 hold the peripheral edge of the tray 50 to maintain the warp of the tray 50 in a straightened state. In the case where the inside of the tray adjust 11b of the second embodiment is formed into the taper 21 shape, there is an effect of correcting and moving the position of the tray 50 in the x direction and the y direction.
【００１４】[0014]
（実施例１）本発明の実施例は、１個のトレイ５０を用
いた場合のデバイスを吸着／開放する構造例である。こ
れについて、図１を参照して説明する。本機構の構成
は、図１に示すように、トレイ５０と、セット・プレー
ト５４と、上下駆動手段５２と、トレイ・アジャスト１
１ａと、ストッパー１２である。図示していない他の、
吸着装置９０と、上下移動手段９３と、ｘ軸／ｙ軸移動
手段９４は、従来と同様である。本構成は、従来の構成
に対して、透過センサ８１を削除し、トレイ・アジャス
ト１１ａを追加した構成になっている。(Embodiment 1) An embodiment of the present invention is an example of a structure for adsorbing / releasing a device when one tray 50 is used. This will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the structure of this mechanism is such that the tray 50, the set plate 54, the vertical drive means 52, and the tray adjust 1
1a and a stopper 12. Other not shown,
The suction device 90, the up-and-down moving means 93, and the x-axis / y-axis moving means 94 are the same as the conventional ones. This configuration has a configuration in which the transmission sensor 81 is deleted and the tray adjuster 11a is added to the conventional configuration.
【００１５】改善された構造部分についての説明をす
る。トレイ５０上は、従来同様に、他の搬送装置により
予めセット・プレート５４上に配置されている。セット
・プレート５４は、上下駆動手段５２を駆動して上昇す
る。やがて、セット・プレート５４は、トレイ・アジャ
スト１１ａに突き当たって停止する。ここで、トレイ・
アジャスト１１ａの構造は、トレイ５０の周縁を押さえ
る形状に抜き孔が形成されていて構造物に固定された状
態にある。このトレイ・アジャスト１１ａの形状によ
り、トレイ５０は、セット・プレート５４とトレイ・ア
ジャスト１１ａにはさまれて、上下駆動手段５２の駆動
力により反りが矯正させた状態になって支持停止してい
る。この結果、トレイ５０の上端位置は、常に一定した
高さに固定され、かつ、トレイ５０は平坦状態に矯正さ
れる。以後は、この状態にあるトレイ５０から、デバイ
ス６０の吸着／開放動作を、安定に実施できることとな
る。また、トレイ・アジャスト１１ａによりトレイ５０
は固定支持されている為、トレイ上にデバイスがない空
の状態で吸着しようとした場合でも、吸着力により、ト
レイ５０全体が持ち上がるという不具合も解消される。The improved structure will be described. As in the conventional case, the tray 50 is previously placed on the set plate 54 by another carrying device. The set plate 54 drives the vertical drive means 52 to move up. Eventually, the set plate 54 hits the tray adjust 11a and stops. Where the tray
The structure of the adjuster 11a is in a state of being fixed to the structure by forming a punched hole in a shape that presses the peripheral edge of the tray 50. Due to the shape of the tray adjuster 11a, the tray 50 is sandwiched between the set plate 54 and the tray adjuster 11a, the warp is corrected by the driving force of the vertical drive means 52, and the support is stopped. . As a result, the upper end position of the tray 50 is always fixed at a constant height, and the tray 50 is straightened. After that, the suction / release operation of the device 60 can be stably performed from the tray 50 in this state. In addition, the tray adjust 11a allows the tray 50
Since the device is fixedly supported, the problem that the entire tray 50 is lifted by the suction force is solved even when an attempt is made to suck the device in an empty state with no device on the tray.
【００１６】ストッパー１２は、トレイ５０がない場合
に、セット・プレート５４の過度な上昇を止める保護用
である。The stopper 12 is for protection to prevent the set plate 54 from rising excessively when the tray 50 is not present.
【００１７】（実施例２）本発明の実施例は、１個のト
レイ５０を用いた場合で、トレイ５０の位置決め用テー
パ２１構造を設けた場合のデバイスを吸着／開放する構
造例である。これについて、図２を参照して説明する。
本機構の構成は、図２に示すように、トレイ５０と、セ
ット・プレート５４と、上下駆動手段５２と、トレイ・
アジャスト１１ｂである。図示していない他の構造は、
従来構造と同様である。これは、実施例１の構成に対し
て、トレイ５０の位置決め用テーパ部を設けた構造にな
っている。(Embodiment 2) The embodiment of the present invention is an example of a structure in which a single tray 50 is used and a device for adsorbing / releasing a device is provided in the case where a positioning taper 21 structure for the tray 50 is provided. This will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 2, the structure of this mechanism includes a tray 50, a set plate 54, a vertical drive means 52, and a tray
It is the adjust 11b. Other structures not shown are
It is similar to the conventional structure. This has a structure in which a positioning taper portion for the tray 50 is provided in addition to the configuration of the first embodiment.
【００１８】トレイ５０の位置決めについて説明する。
トレイ・アジャスト１１ｂは、トレイ５０と接する内側
を、テーパ２１形状に形成してある。セット・プレート
５４上に置かれたトレイ５０は、上下駆動手段５２で上
昇しているときに、トレイ・アジャスト１１ｂの内側の
周縁のテーパ２１部分に当たり、これに押されるように
しながら上昇していく。この結果、トレイ５０は、トレ
イ・アジャスト１１ｂによってｘ方向ｙ方向が修正移動
されて正しい位置状態に移動されて位置決めされる。こ
れにより、吸着装置の吸着／開放位置関係のばらつきが
押さえられる為に、より一層安定した吸着搬送を実現で
きる。Positioning of the tray 50 will be described.
The tray adjust 11b is formed in a taper 21 shape on the inner side in contact with the tray 50. When the tray 50 placed on the set plate 54 is raised by the vertical drive means 52, the tray 50 hits the taper 21 portion on the inner peripheral edge of the tray adjust 11b, and is pushed up by the taper 21 portion. . As a result, the tray 50 is corrected and moved in the x direction and the y direction by the tray adjuster 11b to be moved to the correct position and positioned. As a result, variations in the suction / open position relationship of the suction device are suppressed, and thus more stable suction conveyance can be realized.
【００１９】上記実施例１、２では、１個のトレイ５０
を用いた場合の説明であったが、複数個のトレイ５０を
セット・プレート５４上に置く場合でも同様にして実施
できる。In the first and second embodiments, one tray 50 is used.
Although the description has been made in the case of using, the same operation can be performed when a plurality of trays 50 are placed on the set plate 54.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。ト
レイ・アジャスト１１ａは、トレイ５０の上昇を停止さ
せるので、従来のように透過センサ８１を設けて停止制
御する必要が無くなる効果がある。トレイ・アジャスト
１１ａと、セット・プレート５４と、上下駆動手段５２
の駆動力により、トレイ５０の周縁を押さえてトレイ５
０の反りが矯正させた状態に支持できる。この結果、ト
レイ５０の上端位置は、常に一定した高さに固定できる
効果が得られ、安定したデバイス６０の吸着／開放動作
が可能になり、ジャムの発生を一層軽減できる効果が得
られる。また、トレイ５０は固定支持される為、空の状
態で吸着した場合でも、トレイ５０全体が持ち上がると
いう不具合も解消できる。実施例２のトレイ・アジャス
ト１１ｂの内側をテーパ２１形状した場合は、トレイ５
０のｘ方向ｙ方向が修正移動されることで、一層正しい
位置決めが実現できる効果がある。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. Since the tray adjuster 11a stops the rising of the tray 50, there is an effect that it is not necessary to provide the transmission sensor 81 to perform stop control as in the conventional case. Tray adjust 11a, set plate 54, and vertical drive means 52
The driving force of the tray
The warp of 0 can be supported in a corrected state. As a result, the upper end position of the tray 50 can be fixed at a constant height at all times, the stable suction / release operation of the device 60 can be performed, and the occurrence of jam can be further reduced. Further, since the tray 50 is fixedly supported, even if the tray 50 is sucked in an empty state, the problem that the entire tray 50 is lifted can be solved. In the case where the inside of the tray adjust 11b of the second embodiment has a taper 21 shape, the tray 5
Correctly moving the x direction and the y direction of 0 has the effect of achieving more accurate positioning.
【００２１】[0021]
【図１】本発明の、１個のトレイ５０を用いた場合のデ
バイスを吸着／開放構造図である。FIG. 1 is a suction / release structure diagram of a device according to the present invention when one tray 50 is used.
【図２】本発明の、１個のトレイ５０を用いた場合のデ
バイスを吸着／開放構造図に、トレイ５０の位置決め用
テーパ２１部を設けた構造図である。FIG. 2 is a structural diagram in which a device for using one tray 50 of the present invention is a suction / release structure diagram and a positioning taper 21 portion of the tray 50 is provided.
【図３】従来の、ＩＣテストハンドラ装置のデバイスを
吸着あるいは開放する構造図である。FIG. 3 is a structural diagram for adsorbing or releasing a device of a conventional IC test handler device.
【図４】従来の、トレイ５０の反りによる吸着位置関係
を説明する側面図である。FIG. 4 is a side view illustrating a conventional suction positional relationship due to the warp of the tray 50.
【図５】トレイ５０の形状例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of the shape of a tray 50.
１ａ、１１ｂ トレイ・アジャスト １２ ストッパー ２１ テーパ ４１ 浮き ５０ トレイ ５０ａ ポケット ５２ 上下駆動手段 ５４ セット・プレート ６０ デバイス ８１ 透過センサ ９０ 吸着装置 ９１、９１ａ、９１ｂ ゴムパッド ９２ 吸着部 ９３ 上下移動手段 ９４ ｘ軸／ｙ軸移動手段 ９５ 操作空圧源 1a, 11b Tray adjust 12 Stopper 21 Taper 41 Float 50 Tray 50a Pocket 52 Vertical drive means 54 Set plate 60 Device 81 Permeation sensor 90 Adsorption device 91, 91a, 91b Rubber pad 92 Adsorption part 93 Vertical movement means 94 x axis / y Axis moving means 95 Operation pneumatic source
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ 7514−4Ｍ Ｈ０５Ｋ 13/02 Ａ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Internal reference number FI Technical indication H01L 21/66 G 7514-4M H05K 13/02 A
Claims (2)
イ（５０）を乗せるセット・プレート（５４）と、この
セット・プレート（５４）を駆動する上下駆動手段（５
２）を有し、デバイス（６０）を吸着あるいは開放する
吸着装置（９０）と、これを駆動する上下移動手段（９
３）を有するデバイス収納トレイの位置決め構造におい
て、 セット・プレート（５４）とトレイ・アジャスト（１１
ａ）とでトレイ（５０）をはさんで、上下駆動手段（５
２）の駆動力によりトレイ（５０）の反りを矯正支持す
るトレイ・アジャスト（１１ａ）を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストハンド
ラのデバイス収納トレイの位置決め構造。1. A set plate (54) on which a tray (50) accommodating a plurality of devices (60) is placed, and vertical drive means (5) for driving the set plate (54).
2) having an adsorption device (90) for adsorbing or releasing the device (60) and a vertical moving means (9) for driving the adsorption device (90).
In the device storage tray positioning structure having 3), a set plate (54) and a tray adjust (11
The tray (50) is sandwiched between a) and the vertical drive means (5).
A device adjusting tray positioning structure for an IC test handler, characterized in that a tray adjust (11a) for correcting and supporting the warp of the tray (50) by the driving force of 2) is provided, and the above is provided.
１ａ）において、 トレイ・アジャスト（１１ａ）の内周縁部に、トレイ
（５０）の外周縁と接する位置決め用テーパ（２１）形
状を形成したトレイ・アジャスト（１１ａ）を設けたこ
とを特徴としたＩＣテストハンドラのデバイス収納トレ
イの位置決め構造。2. The tray adjust (1) according to claim 1.
1a) is characterized in that a tray adjust (11a) having a positioning taper (21) shape in contact with the outer peripheral edge of the tray (50) is provided at the inner peripheral edge of the tray adjust (11a). Positioning structure for the device storage tray of the test handler.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14395394A JP3476911B2 (en) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Positioning structure of device storage tray for IC test handler |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07335727A true JPH07335727A (en) | 1995-12-22 |
| JP3476911B2 JP3476911B2 (en) | 2003-12-10 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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|---|---|
| JP (1) | JP3476911B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN108942998A (en) * | 2018-06-14 | 2018-12-07 | Tcl王牌电器(惠州)有限公司 | Sucker clamp device |
-
1994
- 1994-06-02 JP JP14395394A patent/JP3476911B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
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