JPH07333517A - ステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム - Google Patents
ステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システムInfo
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- JPH07333517A JPH07333517A JP15034594A JP15034594A JPH07333517A JP H07333517 A JPH07333517 A JP H07333517A JP 15034594 A JP15034594 A JP 15034594A JP 15034594 A JP15034594 A JP 15034594A JP H07333517 A JPH07333517 A JP H07333517A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来の顕微鏡は、対象を拡大すればするほ
ど、対象組織の一部を明確に観察できる。しかし、微細
な組織が長く連続する場合、連続の有様は分からない。
さらにまた、ミクロな構造の試料の全体に対する関係が
分からない。ミクロな構造物のマクロなものに対する関
係を明らかにすることのできる顕微鏡システムを提供す
ることが目的である。 【構成】 顕微鏡の試料台の動きをそのままに、或いは
拡大してプロッタまたは試料台と共に動くペンによって
記録紙の上に描く。顕微鏡で対象組織を拡大してその組
織を発見し、これを追跡するように試料台を動かす。こ
の動きを記録するので、特定の微小組織の連続する有様
を記録することができる。
ど、対象組織の一部を明確に観察できる。しかし、微細
な組織が長く連続する場合、連続の有様は分からない。
さらにまた、ミクロな構造の試料の全体に対する関係が
分からない。ミクロな構造物のマクロなものに対する関
係を明らかにすることのできる顕微鏡システムを提供す
ることが目的である。 【構成】 顕微鏡の試料台の動きをそのままに、或いは
拡大してプロッタまたは試料台と共に動くペンによって
記録紙の上に描く。顕微鏡で対象組織を拡大してその組
織を発見し、これを追跡するように試料台を動かす。こ
の動きを記録するので、特定の微小組織の連続する有様
を記録することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体、金属、セラ
ミックス、鉱物などの顕微鏡観察、あるいは動物、植物
などの顕微鏡観察に関する改良である。特に試料の表面
で一次元的に連続する微細構造の分布や、試料の全体に
おいて特定の点がどこに存在するのかを明確にできるよ
うにした改良に関する。
ミックス、鉱物などの顕微鏡観察、あるいは動物、植物
などの顕微鏡観察に関する改良である。特に試料の表面
で一次元的に連続する微細構造の分布や、試料の全体に
おいて特定の点がどこに存在するのかを明確にできるよ
うにした改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の顕微鏡は、一定倍率の視野像を肉
眼で観察し、またはモニタ（デスプレイ）に出力させる
だけの機能しか有していない。１００倍、あるいは４０
０倍に拡大して試料表面の特定の一部を観察すると、視
野にある構造を拡大して明瞭に見ることはできる。しか
し視野を横切って連続する微細構造の連続の有様を知る
ことができない。また試料の全体において、現に観察し
ている点の相対的な位置が分からない。つまり全体と部
分の関係が一目で分からない。
眼で観察し、またはモニタ（デスプレイ）に出力させる
だけの機能しか有していない。１００倍、あるいは４０
０倍に拡大して試料表面の特定の一部を観察すると、視
野にある構造を拡大して明瞭に見ることはできる。しか
し視野を横切って連続する微細構造の連続の有様を知る
ことができない。また試料の全体において、現に観察し
ている点の相対的な位置が分からない。つまり全体と部
分の関係が一目で分からない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の顕微鏡は、数倍
から数千倍の拡大観察は容易である。しかし、ミクロな
組織のマクロな分布が分かりにくい。たとえば線上に連
続する微細な組織を端から端まで辿って行き連続性を詳
しく調べることは難しい。つまり１００倍に拡大しない
と識別できない組織があるとする。これが例えば直線的
にあるいは螺旋状に数ｃｍの長さで続いているとする。
この場合１００倍に拡大して組織を見付け、組織のある
部分を局所的に観察することができる。しかし１００倍
に拡大してしまうと、視野が１ｍｍ程度しかない。組織
が連続する数ｃｍの範囲が一度に視野に入らないから連
続状態が分からない。倍率を下げると組織が連続してい
る範囲を視野内に入れることができる筈である。しかし
そうするとその組織が見えない。
から数千倍の拡大観察は容易である。しかし、ミクロな
組織のマクロな分布が分かりにくい。たとえば線上に連
続する微細な組織を端から端まで辿って行き連続性を詳
しく調べることは難しい。つまり１００倍に拡大しない
と識別できない組織があるとする。これが例えば直線的
にあるいは螺旋状に数ｃｍの長さで続いているとする。
この場合１００倍に拡大して組織を見付け、組織のある
部分を局所的に観察することができる。しかし１００倍
に拡大してしまうと、視野が１ｍｍ程度しかない。組織
が連続する数ｃｍの範囲が一度に視野に入らないから連
続状態が分からない。倍率を下げると組織が連続してい
る範囲を視野内に入れることができる筈である。しかし
そうするとその組織が見えない。
【０００４】さらにミクロな組織とマクロな組織の相関
が分かりにくい。ある特定の微小組織が試料の全体のど
こにあるのかということが分からない。高倍率にしなけ
れば分からない組織があるとする。これが試料の全体の
どこにあるのかが問題である場合がある。試料の全体が
視野の中に入るように倍率を下げると、その微小組織が
分からない。このように倍率と視野が相反的であるか
ら、従来の顕微鏡観察では部分が全体のどこにあるのか
が分からない。つまり従来の顕微鏡観察は、ミクロな組
織のマクロな構造に対する関係がはっきりしないという
欠点がある。ミクロとマクロの相克である。本来顕微鏡
はミクロな観察に好適であるが、マクロな観察には不適
である。ミクロなものが、全体の中でどのような関係を
占めるのかというようなことは、もともと顕微鏡観察に
は不向きなことなのである。本発明は、ミクロな組織の
マクロな構造に対する関係を明らかにする方法を提供す
ることを目的とする。
が分かりにくい。ある特定の微小組織が試料の全体のど
こにあるのかということが分からない。高倍率にしなけ
れば分からない組織があるとする。これが試料の全体の
どこにあるのかが問題である場合がある。試料の全体が
視野の中に入るように倍率を下げると、その微小組織が
分からない。このように倍率と視野が相反的であるか
ら、従来の顕微鏡観察では部分が全体のどこにあるのか
が分からない。つまり従来の顕微鏡観察は、ミクロな組
織のマクロな構造に対する関係がはっきりしないという
欠点がある。ミクロとマクロの相克である。本来顕微鏡
はミクロな観察に好適であるが、マクロな観察には不適
である。ミクロなものが、全体の中でどのような関係を
占めるのかというようなことは、もともと顕微鏡観察に
は不向きなことなのである。本発明は、ミクロな組織の
マクロな構造に対する関係を明らかにする方法を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡システム
は、ＸＹＺ三次元方向に動き得る試料台と、レンズを有
しＺ方向に動き得る鏡筒と、鏡筒をＺ方向に動き得るよ
うに支持するスタンドと、試料台のＸＹ方向の位置を検
出するＸＹ検出機構と、試料台のＸＹ座標を記録するＸ
Ｙ記録機構とを含み、試料台の二次元的な変位を連続的
に記録できるようにしたものである。
は、ＸＹＺ三次元方向に動き得る試料台と、レンズを有
しＺ方向に動き得る鏡筒と、鏡筒をＺ方向に動き得るよ
うに支持するスタンドと、試料台のＸＹ方向の位置を検
出するＸＹ検出機構と、試料台のＸＹ座標を記録するＸ
Ｙ記録機構とを含み、試料台の二次元的な変位を連続的
に記録できるようにしたものである。
【０００６】試料台を二次元的に動かすのは、手動でも
自動でも良い。手動の場合は、試料台の二次元的な動き
を検出するためにエンコ−ダを設けるか、あるいは直接
に試料台にア−ムを取り付ける。ア−ムの場合はその先
端にペン、鉛筆など筆記具を付け、記録紙の上を走行さ
せる。エンコ−ダによりＸ方向、Ｙ方向の動きを検出す
る場合は、Ｘ方向Ｙ方向の動きを等倍、或いは拡大して
ＸＹプロッタに出力し、試料台のＸＹ平面での動きを等
倍、拡大して記録する。試料台を自動的に動かす場合
は、例えばステッピングモ−タを利用する。この場合は
パルスを与えてモ−タを動かすので、この信号から試料
台のＸＹ平面での動きを知ることができる。これを信号
として採用し、ＸＹプロッタに与える。すると試料台の
二次元変位が記録紙の上に記録される。
自動でも良い。手動の場合は、試料台の二次元的な動き
を検出するためにエンコ−ダを設けるか、あるいは直接
に試料台にア−ムを取り付ける。ア−ムの場合はその先
端にペン、鉛筆など筆記具を付け、記録紙の上を走行さ
せる。エンコ−ダによりＸ方向、Ｙ方向の動きを検出す
る場合は、Ｘ方向Ｙ方向の動きを等倍、或いは拡大して
ＸＹプロッタに出力し、試料台のＸＹ平面での動きを等
倍、拡大して記録する。試料台を自動的に動かす場合
は、例えばステッピングモ−タを利用する。この場合は
パルスを与えてモ−タを動かすので、この信号から試料
台のＸＹ平面での動きを知ることができる。これを信号
として採用し、ＸＹプロッタに与える。すると試料台の
二次元変位が記録紙の上に記録される。
【０００７】このように試料台の動きを記録できるよう
な装置を備えることにより、連続する微小組織を広い範
囲に渡って辿ることができる。適当な倍率にして顕微鏡
で試料を観察し、特定の微小組織Ｓを見い出す。微小組
織Ｓが視野の中央に来るように試料台を動かす。この状
態で記録を開始する。微小組織Ｓが一次元的に連続して
いるので、連続する方向に試料台を少しずつ、自動また
は手動により動かす。組織Ｓを追跡しつつ試料台を動か
して行き、組織の終点まで辿る。この間、ＸＹプロッタ
などの二次元記録機構に、試料台の動きが等倍または拡
大して記録されてゆく。
な装置を備えることにより、連続する微小組織を広い範
囲に渡って辿ることができる。適当な倍率にして顕微鏡
で試料を観察し、特定の微小組織Ｓを見い出す。微小組
織Ｓが視野の中央に来るように試料台を動かす。この状
態で記録を開始する。微小組織Ｓが一次元的に連続して
いるので、連続する方向に試料台を少しずつ、自動また
は手動により動かす。組織Ｓを追跡しつつ試料台を動か
して行き、組織の終点まで辿る。この間、ＸＹプロッタ
などの二次元記録機構に、試料台の動きが等倍または拡
大して記録されてゆく。
【０００８】組織Ｓの追跡の後、又は前に試料の輪郭を
同じ手法で同じ二次元記録機構に書き込む。つまり顕微
鏡により試料の輪郭を観察し、輪郭線が視野中心にくる
ようにする。そして輪郭線が常に視野中心にあるように
試料台を動かす。すると記録紙の上に、試料全体の輪郭
をプロットすることができる。試料輪郭の記録は組織の
追跡の前にしても良いし後にしても良い。輪郭線を見る
場合と、微小組織を見る場合で、顕微鏡の最適倍率が違
うこともある。この場合は両者で倍率を変えても差し支
えない。輪郭線も組織線も視野の中心に来るように試料
台を動かすのであるから、倍率が違っていても、狂いが
発生しない。
同じ手法で同じ二次元記録機構に書き込む。つまり顕微
鏡により試料の輪郭を観察し、輪郭線が視野中心にくる
ようにする。そして輪郭線が常に視野中心にあるように
試料台を動かす。すると記録紙の上に、試料全体の輪郭
をプロットすることができる。試料輪郭の記録は組織の
追跡の前にしても良いし後にしても良い。輪郭線を見る
場合と、微小組織を見る場合で、顕微鏡の最適倍率が違
うこともある。この場合は両者で倍率を変えても差し支
えない。輪郭線も組織線も視野の中心に来るように試料
台を動かすのであるから、倍率が違っていても、狂いが
発生しない。
【０００９】本発明は、結局、試料台の二次元的な動き
を、等倍或いは拡大して記録するものである。記録紙の
上にプロットすると、電子的な記憶媒体を必要としな
い。しかし試料台の位置を指定するために、二次元座標
を定義することにより、試料台のＸ座標、Ｙ座標を時間
ｔの関数Ｘ（ｔ）、Ｙ（ｔ）として検出し、記憶させる
ことができる。これをコンピュ−タのメモリに記憶さ
せ、デイスプレイに表示させることもできる。こうする
と時間的な制約をまぬがれることができる。組織追跡
と、組織線の書出のタイミングを分離することができ
る。組織線の座標、試料輪郭線の座標を記憶させると、
さらにデ−タの加工ができるという利点もある。
を、等倍或いは拡大して記録するものである。記録紙の
上にプロットすると、電子的な記憶媒体を必要としな
い。しかし試料台の位置を指定するために、二次元座標
を定義することにより、試料台のＸ座標、Ｙ座標を時間
ｔの関数Ｘ（ｔ）、Ｙ（ｔ）として検出し、記憶させる
ことができる。これをコンピュ−タのメモリに記憶さ
せ、デイスプレイに表示させることもできる。こうする
と時間的な制約をまぬがれることができる。組織追跡
と、組織線の書出のタイミングを分離することができ
る。組織線の座標、試料輪郭線の座標を記憶させると、
さらにデ−タの加工ができるという利点もある。
【００１０】
【作用】本発明の機構を図１と図２の例によって説明す
る。図１の例において、このシステムは、顕微鏡１、カ
ラ−モニタ２、ＸＹプロッタ３、コンピュ−タ４などを
含む。顕微鏡１には、ＣＣＤカメラ５が取り付けてあ
る。また顕微鏡１にはステッピングモ−タ６が取り付け
てあり、これによって試料台７が平面方向（Ｘ方向、Ｙ
方向）に動くようになっている。試料台７には試料８
が、試料固定治具９によって固定してある。試料台７
は、手動ネジ１５によってもＸ方向、Ｙ方向に移動させ
ることができる。
る。図１の例において、このシステムは、顕微鏡１、カ
ラ−モニタ２、ＸＹプロッタ３、コンピュ−タ４などを
含む。顕微鏡１には、ＣＣＤカメラ５が取り付けてあ
る。また顕微鏡１にはステッピングモ−タ６が取り付け
てあり、これによって試料台７が平面方向（Ｘ方向、Ｙ
方向）に動くようになっている。試料台７には試料８
が、試料固定治具９によって固定してある。試料台７
は、手動ネジ１５によってもＸ方向、Ｙ方向に移動させ
ることができる。
【００１１】顕微鏡１は通常の光学顕微鏡である。鏡筒
１１の上方には接眼レンズ１２と先述のＣＣＤカメラ５
がある。下方には対物レンズ１３が設けられる。鏡筒を
上下に変位させることにより焦点を合わせることができ
る。試料台８の水平方向の動きは、ケ−ブル２４によっ
て、コンピュ−タ４に伝達される。カメラ５の画像信号
はケ−ブル２２によりカラ−モニタ２に伝達され、ここ
に画像として映し出される。コンピュ−タ４では、試料
台７の二次元的な動きを等倍、或いは拡大し、ケ−ブル
２３を経て、ＸＹプロッタ３に出力する。この例では、
試料台の動きをそのまま記録するのではなく、一旦コン
ピュ−タを通すので、拡大することができる。
１１の上方には接眼レンズ１２と先述のＣＣＤカメラ５
がある。下方には対物レンズ１３が設けられる。鏡筒を
上下に変位させることにより焦点を合わせることができ
る。試料台８の水平方向の動きは、ケ−ブル２４によっ
て、コンピュ−タ４に伝達される。カメラ５の画像信号
はケ−ブル２２によりカラ−モニタ２に伝達され、ここ
に画像として映し出される。コンピュ−タ４では、試料
台７の二次元的な動きを等倍、或いは拡大し、ケ−ブル
２３を経て、ＸＹプロッタ３に出力する。この例では、
試料台の動きをそのまま記録するのではなく、一旦コン
ピュ−タを通すので、拡大することができる。
【００１２】図４は図１の装置の作用を説明するもので
ある。顕微鏡の試料台の上に試料が固定され、この表面
にある微細な連続する組織を観察している。視野は狭
い。倍率に反比例して視野が狭くなる。ステッピングモ
−タなどのＸ駆動検出機構、Ｙ駆動検出機構によりＸ方
向、Ｙ方向に試料台を動かす。Ｘ方向の動き、Ｙ方向の
動きがコンピュ−タに入力される。これが拡大等倍され
て、ＸＹプロッタに与えられる。これはＸＹ方向に自在
に動き得るペンにより記録紙の上に入力された座標点を
描いて行く機械である。プロッタはＸ駆動検出機構、Ｙ
駆動検出機構を備えている。始めに又は後で、試料輪郭
線を描く。連続する微小な組織を顕微鏡で観察しなが
ら、試料台を動かして組織を追跡してゆく。これによっ
て、記録紙の上に組織の存在点を連続して描画してゆく
ことができる。これはコンピュ−タを介するので、任意
の倍率で描画することができる。
ある。顕微鏡の試料台の上に試料が固定され、この表面
にある微細な連続する組織を観察している。視野は狭
い。倍率に反比例して視野が狭くなる。ステッピングモ
−タなどのＸ駆動検出機構、Ｙ駆動検出機構によりＸ方
向、Ｙ方向に試料台を動かす。Ｘ方向の動き、Ｙ方向の
動きがコンピュ−タに入力される。これが拡大等倍され
て、ＸＹプロッタに与えられる。これはＸＹ方向に自在
に動き得るペンにより記録紙の上に入力された座標点を
描いて行く機械である。プロッタはＸ駆動検出機構、Ｙ
駆動検出機構を備えている。始めに又は後で、試料輪郭
線を描く。連続する微小な組織を顕微鏡で観察しなが
ら、試料台を動かして組織を追跡してゆく。これによっ
て、記録紙の上に組織の存在点を連続して描画してゆく
ことができる。これはコンピュ−タを介するので、任意
の倍率で描画することができる。
【００１３】図２はより簡略化された例を示す。カメラ
５の画像をモニタ２に映し出す点は同じであるが、これ
はコンピュ−タを介しないで、試料台の動きを記録紙に
直接にプロットするものである。顕微鏡１の側方に平た
い記録紙台２９を設置する。これに記録紙３０を張りつ
ける。試料台７の端にア−ム２８が固定される。ア−ム
２８の先端にペン２７が設けられる。ペン２７が記録紙
３０に接触し、記録紙３０の上にインクによって線を描
くことができる。
５の画像をモニタ２に映し出す点は同じであるが、これ
はコンピュ−タを介しないで、試料台の動きを記録紙に
直接にプロットするものである。顕微鏡１の側方に平た
い記録紙台２９を設置する。これに記録紙３０を張りつ
ける。試料台７の端にア−ム２８が固定される。ア−ム
２８の先端にペン２７が設けられる。ペン２７が記録紙
３０に接触し、記録紙３０の上にインクによって線を描
くことができる。
【００１４】試料８を試料台７に、試料固定治具９によ
って固定する。試料の像が、モニタ２に映し出される。
基準スケ−ル１０がモニタ２の画面に表れる。試料の微
小組織が、画像の中心に来るようにモニタを見ながら、
試料台をモ−タ又は手動によって移動させる。試料台に
ア−ムが取り付けてあり、ア−ムの先端にペンがあるの
で、試料台の移動量、方位に等しく、ペンが記録紙の上
を滑り、試料台の移動経路を記録紙の上に描いて行くよ
うになる。
って固定する。試料の像が、モニタ２に映し出される。
基準スケ−ル１０がモニタ２の画面に表れる。試料の微
小組織が、画像の中心に来るようにモニタを見ながら、
試料台をモ−タ又は手動によって移動させる。試料台に
ア−ムが取り付けてあり、ア−ムの先端にペンがあるの
で、試料台の移動量、方位に等しく、ペンが記録紙の上
を滑り、試料台の移動経路を記録紙の上に描いて行くよ
うになる。
【００１５】図５はこの関係を示す。試料台がＸ方向、
Ｙ方向に移動自在であり、これが動くと、ア−ムの運動
により記録紙に組織線が描かれて行く。この場合は、組
織が試料中（Ｘ、Ｙ）の位置にあれば、試料台を（−
Ｘ、−Ｙ）に動かすことによって初めてその点が視野中
心に来る。このため等倍であるが、できた描画は、試料
を１８０度回転したものになる。等倍であるが、倍率が
−１と表現することができる。
Ｙ方向に移動自在であり、これが動くと、ア−ムの運動
により記録紙に組織線が描かれて行く。この場合は、組
織が試料中（Ｘ、Ｙ）の位置にあれば、試料台を（−
Ｘ、−Ｙ）に動かすことによって初めてその点が視野中
心に来る。このため等倍であるが、できた描画は、試料
を１８０度回転したものになる。等倍であるが、倍率が
−１と表現することができる。
【００１６】本発明は、試料台の動きを検出し、これを
記録紙の上に連続して書き込むことができるようにして
いる。顕微鏡視野の中心に対象となる組織線や輪郭線が
来るように試料台を動かすことにより、試料全体での微
小組織の連続の様子を知ることができる。本発明は次の
ような場合に有効である。
記録紙の上に連続して書き込むことができるようにして
いる。顕微鏡視野の中心に対象となる組織線や輪郭線が
来るように試料台を動かすことにより、試料全体での微
小組織の連続の様子を知ることができる。本発明は次の
ような場合に有効である。
【００１７】１：高倍率で観察した微細組織や構造の試
料全体における位置の把握。 ２：ミクロな組織のマクロな分布や形状の把握。 ３：異なる微細組織同志の空間的関係の解析。
料全体における位置の把握。 ２：ミクロな組織のマクロな分布や形状の把握。 ３：異なる微細組織同志の空間的関係の解析。
【００１８】
［半導体の結晶欠陥の解析に応用］化合物半導体（例え
ばＧａＡｓ結晶）ではリネ−ジと呼ばれる結晶欠陥があ
る。図３にＧａＡｓの結晶の概略の形状を示す。ＬＥＣ
法により引き上げたＧａＡｓ結晶は外周に水平の線状の
縞が入る。これは固液界面の痕跡である。ストリエ−シ
ョンと呼ばれる。一般にリネ−ジはストリエ−ションに
対して一定の角度の方向に伝搬すると言われている。リ
ネ−ジの集積点は多結晶化が起こり単結晶でなくなる。
高品質結晶を成長させるには、このような欠陥が発生し
ないようにしなければならない。
ばＧａＡｓ結晶）ではリネ−ジと呼ばれる結晶欠陥があ
る。図３にＧａＡｓの結晶の概略の形状を示す。ＬＥＣ
法により引き上げたＧａＡｓ結晶は外周に水平の線状の
縞が入る。これは固液界面の痕跡である。ストリエ−シ
ョンと呼ばれる。一般にリネ−ジはストリエ−ションに
対して一定の角度の方向に伝搬すると言われている。リ
ネ−ジの集積点は多結晶化が起こり単結晶でなくなる。
高品質結晶を成長させるには、このような欠陥が発生し
ないようにしなければならない。
【００１９】しかしリネ−ジの発生、伝搬の機構は未だ
よく分かってはいない。低転位結晶開発のためには、こ
れらの欠陥の解析が重要である。ところがストリエ−シ
ョンやリネ−ジは細長く連続する欠陥である。幅が約１
０μｍの程度であるが、長さは数ｃｍに及ぶ。顕微鏡を
使わなければ見えない。しかし局所的な顕微鏡観察だけ
ではリネ−ジの本質が分からない。これらの欠陥を観察
するには、顕微鏡により長さ数ｃｍに渡って欠陥を辿り
ながら追跡してゆく必要がある。そこで以下のような顕
微鏡システムを試作してストリエ−ションとリネ−ジの
形状をトレ−スした。
よく分かってはいない。低転位結晶開発のためには、こ
れらの欠陥の解析が重要である。ところがストリエ−シ
ョンやリネ−ジは細長く連続する欠陥である。幅が約１
０μｍの程度であるが、長さは数ｃｍに及ぶ。顕微鏡を
使わなければ見えない。しかし局所的な顕微鏡観察だけ
ではリネ−ジの本質が分からない。これらの欠陥を観察
するには、顕微鏡により長さ数ｃｍに渡って欠陥を辿り
ながら追跡してゆく必要がある。そこで以下のような顕
微鏡システムを試作してストリエ−ションとリネ−ジの
形状をトレ−スした。
【００２０】［顕微鏡システムの試作とストリエ−ショ
ン］まずノルマルスキ−顕微鏡の視野像をＣＣＤカメラ
でカラ−モニタ上で画面に出力し、モニタ中心部の付属
のスケ−ラ機能で基準のマスを出力する。また試料台に
ア−ムを固定し（ア−ムは弾力性を持ったものとす
る）、先端にプロッタ用ペンを取り付ける。ペンの直下
に別のスタンド（できれば上下左右に可動なもの）でプ
ロッタ−用紙を固定する。
ン］まずノルマルスキ−顕微鏡の視野像をＣＣＤカメラ
でカラ−モニタ上で画面に出力し、モニタ中心部の付属
のスケ−ラ機能で基準のマスを出力する。また試料台に
ア−ムを固定し（ア−ムは弾力性を持ったものとす
る）、先端にプロッタ用ペンを取り付ける。ペンの直下
に別のスタンド（できれば上下左右に可動なもの）でプ
ロッタ−用紙を固定する。
【００２１】トレ−ス開始前にモニタに出力したマスの
中に、追ってゆくストリエ−ションを合わせる。ピント
を調整した位置でペン先が固定した用紙の位置にくる様
に用紙位置を調整する。これで準備完了である。図２は
この様態を示している。顕微鏡視野において、ストリエ
−ションがマスからはみ出ないように試料台を動かす。
すると試料台に固定したペンが固定した用紙にストリエ
−ション形状を記録してゆく。この操作を繰り返すこと
により、複数のストリエ−ションを短時間にプロット出
力できる。なおトレ−スの前に試料の外形をストリエ−
ションのトレ−スと同じ方法で記録しておく必要があ
る。これは、試料台の動きをそのまま記録してゆくの
で、等倍で描画してゆくことになる。この作業を実際に
行なった結果、操作は簡単で、モニタ観察のための目の
疲れも少なく、短時間で高精度のトレ−スが可能である
ことが確認できた。
中に、追ってゆくストリエ−ションを合わせる。ピント
を調整した位置でペン先が固定した用紙の位置にくる様
に用紙位置を調整する。これで準備完了である。図２は
この様態を示している。顕微鏡視野において、ストリエ
−ションがマスからはみ出ないように試料台を動かす。
すると試料台に固定したペンが固定した用紙にストリエ
−ション形状を記録してゆく。この操作を繰り返すこと
により、複数のストリエ−ションを短時間にプロット出
力できる。なおトレ−スの前に試料の外形をストリエ−
ションのトレ−スと同じ方法で記録しておく必要があ
る。これは、試料台の動きをそのまま記録してゆくの
で、等倍で描画してゆくことになる。この作業を実際に
行なった結果、操作は簡単で、モニタ観察のための目の
疲れも少なく、短時間で高精度のトレ−スが可能である
ことが確認できた。
【００２２】
【発明の効果】本発明の顕微鏡システムにより、従来よ
く分からなかった微細な構造の試料中におけるマクロな
分布が的確に把握できる。試料におけるマクロな形状の
解析が可能になる。微細な構造同志の関係の解析が効率
的に行なえる。とくに半導体の結晶欠陥の解析に応用す
ると効果的である。
く分からなかった微細な構造の試料中におけるマクロな
分布が的確に把握できる。試料におけるマクロな形状の
解析が可能になる。微細な構造同志の関係の解析が効率
的に行なえる。とくに半導体の結晶欠陥の解析に応用す
ると効果的である。
【図１】本発明の実施例に係る、コンピュ−タを利用し
たステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム。
たステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム。
【図２】本発明の実施例に係るステ−ジと同時に運動す
るペン付きア−ムを利用したステ−ジ座標記録機構を有
する顕微鏡システム。
るペン付きア−ムを利用したステ−ジ座標記録機構を有
する顕微鏡システム。
【図３】化合物半導体の微細構造であるストリエ−ショ
ンとリネ−ジの関係を示す図。
ンとリネ−ジの関係を示す図。
【図４】図１の構成において、試料中の組織線と、プロ
ッタに表される試料、組織線の描画の関係を示す説明
図。
ッタに表される試料、組織線の描画の関係を示す説明
図。
【図５】図２の構成において、試料中の組織線を辿った
場合に、ペンの先端によって描かれる試料輪郭、組織線
を示す概略図。
場合に、ペンの先端によって描かれる試料輪郭、組織線
を示す概略図。
１ 顕微鏡 ２ カラ−モニタ ３ ＸＹプロッタ ４ コンピュ−タ ５ ＣＣＤカメラ ６ ステッピングモ−タ ７ 試料台 ８ 試料 ９ 試料固定治具 １０ 基準スケ−ル １１ 鏡筒 １２ 接眼レンズ １３ 対物レンズ １４ 基台 １５ 手動ネジ ２２ ケ−ブル ２３ ケ−ブル ２７ ペン ２８ ア−ム
Claims (3)
- 【請求項１】 試料を固定しＸＹ方向に移動できる試料
台を有する顕微鏡と、試料台のＸ座標、Ｙ座標を検出す
るＸ検出機構、Ｙ検出機構と、ＸＹプロッタと、試料台
のＸ座標、Ｙ座標を拡大または等倍して、ＸＹプロッタ
に出力する機構とを含み、顕微鏡によって試料の特定の
組織を観察し、組織の連続する方向に試料台を手動また
はモ−タ駆動により移動させ、移動する試料台の二次元
座標を記録紙の上に描画してゆき、さらに、試料の輪郭
線を顕微鏡によって観察し輪郭線を辿るように試料台を
動かし、記録紙の上に試料の輪郭線を描画し、試料全体
における組織の位置関係を描出することを特徴とするス
テ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム。 - 【請求項２】 試料を固定しＸＹ方向に移動できる試料
台を有する顕微鏡と、試料台のＸ座標、Ｙ座標を検出す
るＸ検出機構、Ｙ検出機構と、試料台のＸ座標、Ｙ座標
を記憶する記憶機構と、ＸＹプロッタと、試料台のＸ座
標、Ｙ座標を拡大または等倍して、任意の時刻にＸＹプ
ロッタに出力する機構とを含み、顕微鏡によって試料の
特定の組織を観察し、組織の連続する方向に試料台を手
動またはモ−タ駆動により移動させ試料台の座標をつぎ
つぎと記憶させながら組織を端から端迄観察し、試料の
輪郭線も顕微鏡によって観察し輪郭線を辿るように試料
台を動かし試料台の位置座標をつぎつぎと記憶させなが
ら輪郭線の全体を辿り、任意の時刻に、組織を追って移
動した試料台の二次元座標を記録紙の上に描画すること
を特徴とするステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡シス
テム。 - 【請求項３】 試料を固定しＸＹ方向に移動できる試料
台を有する顕微鏡と、試料台に取り付けたア−ムと、ア
−ムの先端に取り付けた筆記具と、顕微鏡の側方に置い
た記録紙とを含み、顕微鏡によって試料の特定の組織を
観察し、視野中心に組織が位置するように、組織の連続
する方向に試料台を手動またはモ−タ駆動により移動さ
せると、前記筆記具が、記録紙の上に組織の連続線を描
画してゆくようにしてあり、顕微鏡によって試料の輪郭
線を観察し、輪郭線が視野の中心に来るように試料台を
動かすことにより、試料の輪郭線を記録紙に描画して行
くようにしたことを特徴とするステ−ジ座標記録機構を
有する顕微鏡システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15034594A JPH07333517A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | ステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15034594A JPH07333517A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | ステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07333517A true JPH07333517A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15494967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15034594A Pending JPH07333517A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | ステ−ジ座標記録機構を有する顕微鏡システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07333517A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002037158A3 (en) * | 2000-11-03 | 2003-01-30 | Cytyc Corp | Cytological imaging systems and methods |
| WO2006134444A1 (en) * | 2005-06-13 | 2006-12-21 | Tripath Imaging, Inc. | System and method for re-locating an object in a sample on a slide with a microscope imaging device |
| US7369304B2 (en) | 1999-10-29 | 2008-05-06 | Cytyc Corporation | Cytological autofocusing imaging systems and methods |
| US8606343B2 (en) * | 1996-10-18 | 2013-12-10 | Lucid, Inc. | System and method for confocal imaging within dermal tissue |
| CN107314928A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-11-03 | 西安工业大学 | 高效重构材料三维组织形貌的装置及重构方法 |
-
1994
- 1994-06-07 JP JP15034594A patent/JPH07333517A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8606343B2 (en) * | 1996-10-18 | 2013-12-10 | Lucid, Inc. | System and method for confocal imaging within dermal tissue |
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| US7446935B2 (en) | 1999-10-29 | 2008-11-04 | Cytyc Corporation | Cytological imaging systems and methods |
| US7468836B2 (en) | 1999-10-29 | 2008-12-23 | Cytyc Corporation | Cytological imaging systems and methods |
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| US7940998B2 (en) | 2005-06-13 | 2011-05-10 | Tripath Imaging, Inc. | System and method for re-locating an object in a sample on a slide with a microscope imaging device |
| US8135236B2 (en) | 2005-06-13 | 2012-03-13 | Tri-Path Imaging, Inc. | System and method for re-locating an object in a sample on a slide with a microscope imaging device |
| CN107314928A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-11-03 | 西安工业大学 | 高效重构材料三维组织形貌的装置及重构方法 |
| CN107314928B (zh) * | 2017-08-21 | 2023-03-14 | 西安工业大学 | 高效重构材料三维组织形貌的装置及重构方法 |
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