JPH07329308A - インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法 - Google Patents

インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法

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JPH07329308A
JPH07329308A JP7171421A JP17142195A JPH07329308A JP H07329308 A JPH07329308 A JP H07329308A JP 7171421 A JP7171421 A JP 7171421A JP 17142195 A JP17142195 A JP 17142195A JP H07329308 A JPH07329308 A JP H07329308A
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Donald J Hayes
ドナルド・ジェイ・ヘイズ
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Abstract

(57)【要約】 【目的】インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配
列を製作する。 【構成】一連の長手方向延長略平行な溝１８をプリント
ヘッドの本体部に作る方法。本体部は、不活性材料から
作られた下位本体部１２及び活性材料から作られた中間
本体部１６、第１方向に極性付けられた活性材料から作
られた下位本体部１２及び第２対向方向に極性付けられ
た活性材料から作られた中間本体部１６、第１方向に極
性付けられた活性材料から作られた下位本体部１２、絶
縁スペーサ部分１４及び第２対向方向に極性付けられた
活性材料から作られた中間本体部又は活性材料から作ら
れた単一本体部とを備える。中に溝１８を形成した後に
導電材料の層２６は、溝形成ステップ間に露出した内側
面５６に堆積させられる。プリントヘッドが単一活性本
体部を備えるならば、下位本体部に作られた溝５４は、
下位本体部の第２内側面６８を露出させるために深くさ
せられる。その後不活性上位本体部３０の下面は、活性
中間本体部の上面に取付けられて作動側壁配列３８を作
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
トヘッド用の作動側壁配列を製作する方法に関し、特
に、側壁作動器毎に極性付け方向に適応させた単一又は
２重溝形成ステップを用いたインクジェットプリントヘ
ッド用の作動側壁配列を製作する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリンタは永久記録を人間の読みやすい
様式で出力する手段を形成する。代表的に印刷技術は、
衝撃印刷又は非衝撃印刷として分類されてもよい。衝撃
印刷においてイメージは、紙シートの表面の近くに置か
れたインクリボンを打つことによって形成される。衝撃
印刷技術は、形成活字印刷又はマトリックス印刷として
更に特徴づけられてもよい。形成活字印刷において、リ
ボンを打ってイメージを生成する要素が所望の文字の浮
き彫りしたミラー像からなる。マトリックス印刷におい
て文字は、用意された１つ又は複数のワイヤでリボンを
打つことによって生成された一連の密接に間隔置かれた
ドットとして形成される。ここで文字は、リボンに対す
る用意された１つ又は複数のワイヤを打つことによって
生成した一連の密接に間隔置かれたドットとして形成さ
れる。用意されたワイヤを選択的に打つことによって、
ドットのマトリックスによって代表されるいかなる文字
も生成することができる。
【０００３】非衝撃印刷は、しばしばグラフィックス及
び階調イメージを印刷するための良好な適合性と同様に
より早い印刷速度を形成する傾向の観点から考慮して衝
撃印刷より好ましい。非衝撃印刷技術は、マトリック
ス、静電気及び電子写真的形式の印刷技術を含む。マト
リックス型印刷においてワイヤは電気パルスによって選
択的に加熱され、これによって発生した熱がマークを紙
シート通常大抵特殊処理紙に現われさせる。静電気型印
刷において、印刷要素及び導電紙間の電気アークが紙シ
ート上の不透明皮膜を除去して、対照色の下層を露出さ
せる。最後に電子写真的印刷において、写真導電材料は
レーザのような光源を用いて選択的に充電される。粉末
状のトナーは、荷電領域に引付けられて、紙シートと接
触配置した時に紙シートの表面に移動する。その後、ト
ナーは、加熱されて紙シートに溶かし込まれる。
【０００４】非衝撃印刷の他の型式は、通常インクジェ
ット印刷として分類される。インクジェット印刷システ
ムは、イメージを生成するためにインクの小さい滴の放
出を使う。これらのデバイスは、滴がデジタル的に記憶
されたイメージデータによって指示された位置に印刷さ
れてもよいように、高度に再生成的及び制御できる滴を
生成する。一般に、商業上利用可能な殆どのインクジェ
ット印刷システムは、滴が連続的にプリントヘッドから
放出されて、生成されるべき所望のイメージに依存して
紙シート方向又は逸れて指向される『連続ジェット』型
インクジェット印刷システム或は、生成されるべきイメ
ージに関する特殊コマンドに応答して滴がプリントヘッ
ドから放出される『デマンド式』型インクジェット印刷
システムとして分類されてもよい。
【０００５】連続ジェット型インクジェットプリンタに
おいて、ポンプはポンプ圧がインクに連続流から放出さ
れることを強いるノズル組立体にインクを供給する。ノ
ズル組立体は、電圧によって連続的に駆動されて、そこ
から放出されるインクの連続流がインクの複数の均一滴
に分断させる圧力振動を創造するピエゾ結晶を含む。こ
れら滴は、放出オリフィスに近接して確立された静電界
の存在によって静電荷を得る。高電圧偏向板を用いて、
選択された静電荷電滴の弾道が紙シート上の所望のスポ
ットに当てる制御をすることができる。また、高電圧偏
向板は、未選択された静電荷電滴を紙シートから離れて
再生目的の貯蔵容器に偏向することができる。滴の小寸
法及び正確な弾道制御によって、連続ジェット型インク
ジェット印刷システムの品質は、形成活字衝撃印刷シス
テムのそれに接近することができる。しかしながら、連
続ジェット型インクジェット印刷システムに対する１つ
の欠点は、僅か或は全く印字が要求されていない時にで
も流体を噴出しなければならないことである。この要求
はインクを劣化させ、印刷システムの信頼性を減少させ
る。
【０００６】この欠点によって、滴が電気機械的に誘導
された圧力波によってプリントヘッドから放出される印
刷システムに関心が増加された。この型の印刷システム
において、流体における体積変化が直接又は間接的に流
体に結合された圧電材料への電圧パルスの印加によって
誘導される。この体積変化は、圧力／速度トランジェン
トを流体に発生させ、従ってそこから滴を放出させる。
インクジェット印刷システムのこれらの型は、滴が所望
される時にだけ電圧が印加されるので、『デマンド式』
型インクジェット印刷システムとして参照される。
【０００７】典型的デマンド式インクジェット印刷シス
テムは、カイザー氏等の米国特許第３，９４６，３９８
号で開示される。カイザー氏等において、２つの横断方
向に膨張できる圧電板から作られた圧力板は、インク搬
送圧力室の上位の壁として用いられる。この圧力板は、
圧電板を交差して電圧を印加することによって圧力室内
方に曲がり、従って圧力室内で流体置換体積変化を起こ
している。他の典型的デマンド式インクジェット印刷シ
ステムは、Ｚｏｌｔａｎ氏の米国特許第３，８５７，０
４５号の参照によって理解される。ゾルタン特許におい
て、管状の圧電トランジューサはインク搬送チャンネル
を囲んでいる。このトランジューサが電圧パルスの印加
によって励起した時に、インク搬送チャンネルが圧縮さ
れて、インク滴がチャンネルから放出される。しかしな
がら、これらのシステムで達成されたかなり低チャンネ
ル密度は、同システムの特徴である圧電トランジューサ
及び協働のインク搬送チャンネルのかなり複雑な配列と
同様に、これらのシステムに時間を浪費させ、製造を高
価にさせる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】インクジェットプリン
トヘッド特に圧電作動器を持っているインクジェットプ
リントヘッドのインク搬送チャンネル即ち『ジェット』
毎の製造原価を製作コストを減少させるために、配列を
備えた個々のチャンネルは隣接チャンネル間の間隔がか
なり狭いように配列されたチャンネル配列を持つインク
ジェットプリントヘッドを生産することが長い間要求さ
れていた。例えば、隣接のチャンネルが約４及び８ミル
間隔で配置されたチャンネル配列を持つインクジェット
プリントヘッドを構築することが非常に望ましい。この
ようなインクジェットプリントヘッドは、従って『高密
度』インクジェットプリントヘッドとして定義される。
インク搬送チャンネル毎の製造原価の削減に加えて、高
チャンネル密度を有するインクジェットプリントヘッド
の製造に起因する他の利点は、プリンタ速度の増加であ
る。しかしながら、提案された高密度インクジェットプ
リントヘッド中のチャンネル間の非常に隣接した間隔が
長い間そのようなプリントヘッドの製造での主な問題で
あった。
【０００９】圧電作動器及びチャンネル間の減少した間
隔を持つインクジェットプリントヘッドを製作する多く
の試みは、平行なチャンネル配列及びチャンネル作動用
の剪断モード圧電トランジューサを有するインクジェッ
トプリントヘッドの製造に集中した。例えば、フィッシ
ュベック氏等の米国特許第４，５８４，５９０号及び第
４，８２５，２２７号は、平行なチャンネル配列インク
ジェットプリントヘッド用の剪断モード圧電トランジュ
ーサを開示している。これらフィッシュベック氏等の両
特許において、一連の開口端付き平行インク圧力室は、
それらの屋根に沿って圧電材料のシートで覆われてい
る。圧電材料のシートの対向側には、正電極が圧力へや
を分離する垂直壁に配置され、負電極がそれ自身へやに
亙って配置されるように、電極が形成されている。電界
が電極間を交差して印加される時には、電界と直交する
方向に極性付けされた圧電材料がインク圧力室を圧縮す
るために剪断モード構築で歪められる。しかしながら、
これらの構築において圧電材料の多くは不活発である。
更に、圧電要素の変形の範囲は、狭い傾向があり、それ
によって作動器によってインクに印加され得る圧力パル
スを最小にする。
【００１０】平行なチャンネル配列を持ち、インク搬送
チャンネルの側壁を構成するために圧電材料を用いたイ
ンクジェットプリントヘッドは、ニルセン氏の米国特許
第４，５３６，０９７号の参照によって理解される。ニ
ルセン特許において、インクジェットチャンネルマトリ
ックスは、互いに平行に間隔置かれた関係で配置されて
第１及び第２板で対向側が覆われた圧電材料の一連のス
トリップによって形成される。１つの板は、導電材料か
ら造られて、圧電材料のストリップの全てのために共有
された電極を形成する。ストリップの他の側には、電気
接点が圧電材料のストリップのチャンネル定義ペアに電
気的に接続するために使われる。電圧がチャンネルを定
義する２つの圧電材料のストリップに印加される時に
は、ストリップがより狭くより高くなって、チャンネル
の囲まれた断面領域が拡大して、インクがチャンネルに
引き込まれる。電圧が印加されない時には、ストリップ
が元の形状に戻って、従ってチャンネルの容積を減少さ
せて、インクをそこから放出させる。
【００１１】また、平行なインク搬送チャンネルを持
ち、チャンネルの垂直壁のために剪断モード作動器を形
成するために圧電材料を用いたインクジェットプリント
ヘッドが開示された。例えば、バートキ氏等の米国特許
第４，８７９，５６８号及びマイケリス氏等の第４，８
８７，１００号は、圧電材料が配列を形成する各チャン
ネルの全長に沿った垂直壁として用いられたインクジェ
ットプリントヘッドチャンネル配列を各々開示してい
る。これらの構築において、垂直チャンネル壁は、相互
に次に取付けられた圧電材料の２つの対向的に極性付け
られた断片から造られて、上面及び底壁間で挟まれて、
インクチャンネルを形成している。電極は垂直チャンネ
ル壁の全高さに沿って形成される。圧電材料の断片の極
性付け方向に直角な電界が垂直壁の対向側に形成された
一対の電極間で発生した時には、圧電材料の対向的に極
性付けられた断片の両方がインクチャンネルを収縮させ
るために第１方向に歪めさせられる。
【００１２】上記参照の圧電側壁作動器構築用に電極が
バートキ氏等及びマイケリス氏等で形成されたプロセス
は、活性材料が側壁の全体の高さのために用いられたと
いう事実によって単純化される。全側壁が活性材料で形
成されず、又はその上に堆積させられた電極を持たない
限り、バートキ氏等、マイケリス氏等及び幾分特別のテ
ンプル氏の米国特許第５，０１６，０２８号の、電極が
側壁に沿って形成されるべき推薦プロセスが幾分複雑に
なる。このような構成において、チャンネル配列は、電
極堆積（蒸着）が各側壁の一部分に沿ってのみ実行され
るように、電極堆積金属蒸気ビームに適応させられるべ
きであることは推奨される。
【００１３】
【課題を解決するための手段】部分的又は全部活性な側
壁作動器を持つチャンネル配列を製造する従来の方法に
関連した上記の制限及び不利の多くを排除し、或は少く
ともかなり減少させるインクジェットプリントヘッドの
ために作動側壁配列を製造する改善された方法を提供す
るために望ましいことは、前述のことから容易に理解す
ることができる。それゆえにインクジェットプリントヘ
ッドの製造のそのような改善された方法を提供すること
が本発明の目的である。
【００１４】１つの実施例において、本発明は、インク
ジェットプリントヘッドのために、各々が活性材料から
作られた第１部分と不活性材料から作られた第２部分と
を持つ一連の側壁作動器を備えた作動側壁配列を製造す
る方法を持っている。まず、不活性材料から作られた下
位本体部、活性材料から作られた中間本体部及び不活性
材料から作られた上位本体部は形成される。この活性中
間本体部は、上面及び底面を含み、これらの上面及び底
面に一般に直角である第１方向に極性付けられる。作動
側壁配列を造るためには、活性中間本体部の下面が不活
性下位本体部の上面に取付けられ、活性中間及び不活性
下位本体部の内側面が例えば鋸引きプロセスを使って、
活性中間本体部及び不活性下位本体部の部分を通して延
長した一連の略平行な長手方向に延長溝を作ることによ
って露出させられる。導電材料の層は、活性中間及び不
活性下位本体部の内側面に堆積させられる。その後不活
性上位本体部の下面は、活性中間本体部の上面に絶縁的
に取り付けられて作動側壁配列を作る。
【００１５】本発明の１つの面において、溝は、これら
が活性中間本体部の高さに一般に等しい距離分、不活性
下位本体部に延長するように作られる。発明の他の面に
おいて、溝は、活性中間本体部及び不活性下位本体部の
選択部分を除去して、一連の略平行な長手方向延長側壁
作動器を作り、各作動器が第１及び第２内側面を持つ不
活性下位壁部分と、第１及び第２内側面及び上面を持つ
活性上位壁部分とを持つことによって作られる。この様
に作られた各側壁作動器は、不活性下位本体部の選択部
分の除去間に露出させられた不活性下位本体部の内側面
によって隣接の側壁作動器から分離される。発明の更な
る面において、導電材料の層は、活性上位壁部分の上面
と、活性上位及び不活性下位壁部分の内側面を金属化す
ることによって、活性中間及び不活性下位本体部の内部
表面に堆積させられる。その後活性上位壁部分の上面が
脱金属化される。発明の更に他の面において、下位本体
部の内側面も金属化される。
【００１６】これの代りの実施例において、本発明は、
インクジェットプリントヘッド用に、一連の側壁作動器
を備え各々が対向の方向に極性付けられた活性材料の各
断片から作られた第１及び第２部分を持つ作動側壁配列
の製造方法を持っている。この製造方法は、活性材料か
ら作られた下位本体部が既に用いた不活性材料と置換す
る点が発明の前述の実施例と異なる。作動側壁配列を造
るために、活性中間本体部の下面は、下位本体部がそれ
の上面に直角な第１方向に極性付けられ、中間本体部が
第１方向に正反対でそれの下面に直角な第２方向に極性
付けられるように活性下位本体部の上面に取付けられ
る。発明の前述の方法に従って製造を完了した後に、各
々が第１方向に極性付けられた活性下位側壁部分と、第
１方向と反対側の第２方向に極性付けられた活性上位側
壁部分とを持つ一連の側壁を備えた作動側壁配列が生産
される。
【００１７】発明のこの代わりの実施例の変形例におい
て、絶縁材料のブロックが各側壁の低位及び活性上位側
壁部分を分離するために一連のスペーサを作るために用
いられる。絶縁材料のブロックの下面は、それの上面に
直角な第１方向に予め極性付けられた活性下位本体部の
上面に取付けられる。その後活性中間本体部の下面は、
絶縁スペーサ材料の上面に取付けられる。その後中間本
体部、スペーサ材料及び下位本体部の部分を通して延長
した一連の略平行な長手方向に延長溝が作られる。発明
の前述の方法に従って製造を完了した後に、一連の側壁
を備え各々が絶縁スペーサによって分離され、対向の方
向に極性付けられた上位及び低位活性側壁部分を備えた
作動側壁配列が生産される。
【００１８】他の実施例において、本発明は、インクジ
ェットプリントヘッド用の一連の側壁作動器を備えた作
動側壁配列の製造方法を持っている。上面及び底面を持
ち、これら上面及び底面に一般に直角である第１方向に
極性付けられた活性圧電材料から作られた下位本体部が
形成される。その後上面から下位本体部への特定距離延
長した一連の略平行な長手方向に延長溝が作られる。前
述の溝は、形成ステップ間に露出された下位本体部の第
１内側面によって定義される。導電材料の層は、下位本
体部の第１の内側面に堆積させられる。その後下位本体
部で作られた溝は、下位本体部の第２内側面を露出させ
るために深くなる。その後不活性上位本体部の下面は、
活性中間本体部の上面に取付けられて作動側壁配列を作
る。それの１つの面において、導電材料の層は、上位壁
部分の上面及び内側面に導電材料の層を堆積させ、次に
上位壁部分の上面に堆積させられた導電材料の層の部分
を除去することによる下位本体部の内側面に堆積させら
れる。
【００１９】本発明は、添付図面を参照することによっ
て、良好に理解され、その多数の目的、特徴及び利点が
当該技術者によって明らかになる。
【００２０】
【実施例】今図１（ａ）〜３（ａ）を参照すると、本発
明の教示に従うインクジェットプリントヘッド用の作動
側壁配列３８を構成する第１の方法が今より詳細に記述
される。特に図１（ａ）において、圧電材料の一般に長
方形のブロック１０が今示されている。このブロック１
０は、矢印１７方向に極性付けられた活性圧電材料から
作られる活性中間本体部１６を粘着層１４によって絶縁
的に取付けられた未極性付け圧電材料又はセラミックの
ような他の不活性材料から作られた不活性下位本体部１
２を含む。好ましくは、活性中間本体部１６は、ジルコ
ン酸チタン酸鉛即ち『ＰＺＴ』を用いて形成される。し
かしながら、他の活性圧電材料が発明の範囲から逸脱し
ないでここの使用に好適であることは明確に理解される
べきである。不活性下位本体部１２及び活性中間本体部
１６の厳密な長さ、幅及び高さは、製作されるべき作動
側壁配列のサイズに依存して変化する。しかしながら、
不活性下位本体部１２及び活性中間本体部１６は類似し
た長さ及び幅を持つべきであり、不活性下位本体部１２
が活性中間本体部１６より少なくとも２倍の厚みを持つ
べきであることが予想される。
【００２１】次に図１（ｂ）を参照して、その後物質の
除去プロセスは、ブロック１０で一連の略平行な長手方
向に延長溝１８を作るために用いられる。溝１８は、物
質除去プロセス間に全て露出させられた側面３１ａ及び
３１ｂと底表面３２によって定義される。各溝１８は、
活性中間本体部１６及び不活性下位本体部１２の部分を
通して延長し、溝１８の形成間に生産され上面３４を持
っている長手方向延長側壁２０によって隣接の溝１８か
ら分離される。各側壁２０は、下位本体部１２の元来部
分と一体形成された不活性下位壁部分２２と、中間本体
部１４を元来分けた活性上位壁部分２４とを備えてい
る。溝１８が下位本体部１２に延長してもよい範囲が本
発明の範囲から逸脱しないで変えられてもよいが、溝１
８は、中間本体部１６の厚さに一般に等しい距離下位本
体部１２に延長して作られるべきであることが予想され
る。溝１８は、種々の現在利用可能な機械加工技術のい
ずれかを用いて作られてもよい。例えば高精度鋸引きプ
ロセスは、溝１８を作ることにふさわしい。さらに図１
（ｂ）で目視できないが、溝１８がブロック１０の前端
面１０ａから後端面１０ｂに延長していることが明白に
理解されるべきである。
【００２２】次に図１（ｃ）を参照して、導電材料の層
２６は、上位壁部分２４の上面及び内側面３４、３１
ａ、下位壁部分２２の内側面３１ｂ及び下位壁部分２２
間に配置された底面３２に形成される。好ましくは、側
面３４、３１ａ、３１ｂ、３２に導電層２６を形成する
ステップが内側面３１ａ、３１ｂ、３２及び上面３４の
各々にニクロム金合金の層を堆積させることによって達
成される。しかしながら、前述の堆積（蒸着）プロセス
は導電材料の層が表面３１ａ、３１ｂ、３２、３４に印
加されてもよい一方法であり、多数の他の堆積技術及び
導電材料が導電材料層を作るために適当であることは、
明白に理解されるべきである。
【００２３】次に図２（ａ）を参照して、上位壁部分２
４の上面３４に作られた導電材料層２６のその部分は、
例えば前述の側面をマスクすることによって内側面３１
ａ、３１ｂ、３２に形成された導電材料層２６のその部
分を保護した後に、例えばエッチングプロセスを用いた
従来の脱金属化プロセスによって除去される。
【００２４】次に図２（ｂ）を参照して、不活性材料か
ら作られたトップ本体部３０は、非電導粘着材料の層３
６によって上位壁部分２４の上面３４に取付けられる。
図３（ａ）と同様に今図２（ｂ）で理解されるように、
今作動側壁配列３８は充分に組立られた。作動側壁配列
３８は、一連の略平行な長手方向延長チャンネル４０を
備えて、各々が（内側面３１ａを持つ活性上位壁部分２
４と内側面３１ｂを持つ不活性下位壁部分２２とからな
る）第１側壁作動器２０と、（再度、内側面３１ｂを持
つ不活性下位壁部分２２と内側面３１ａを持つ活性上位
壁部分２４とからなる）第２側壁作動器２０と、第１及
び第２側壁作動器２０を分離する不活性トップ本体部３
０の部分と、第１及び第２側壁作動器２０を分離した底
面３２を持つ活性下位本体部１２の部分とによって定義
される。
【００２５】作動側壁配列３８を電気的に接続するため
には、チャンネル４０の１つを定義している内側面３１
ａ及び３１ｂ及び底面３２に沿って作られた導電層２６
の各部分４２は、部分４２に正負電圧を選択的に印加す
ることができるドライブシステム（図示略）に電気的に
接続するべき個々のコンタクトとして用いられる。正電
圧が第１のコンタクト４２ａに印加され、負電圧が第２
のコンタクト４２ｂに印加される時には、極性付け方向
Ｐに直角な電界Ｅは、側壁作動器２０ａを交差して生成
され、従って側壁作動器２０ａをインク搬送チャンネル
４０ｂに偏向させ、これによって正の圧力パルスをそれ
で部分定義した第１インク搬送チャンネル４０ｂに印加
し、負の圧力パルスをそれで部分定義した第２のインク
搬送チャンネル４０ａに印加している。インク搬送チャ
ンネル４０への正負の圧力パルスの適当な印加によって
インクの滴は、チャンネルのフロントエンド（前端）か
ら放出されてもよい。
【００２６】しかしながら、図３（ａ）に示した作動側
壁配列３８に含まれるチャンネル数が全くの例であり、
作動側壁配列３８がどの数のチャンネルを含んでもよい
ことが充分予想されることは、明白に注目するべきであ
る。更に、それぞれチャンネル４０ｃ及び４０ｄとして
図３（ａ）で明示された作動側壁配列３８の各側の最外
チャンネルが不活性に留まるべきであることは、推薦さ
れる。最後に、示された作動側壁配列３８からインクジ
ェットプリントヘッドを完全に組み立てるためには、チ
ャンネル４０の後端４４が閉塞されるべきで、インクを
チャンネル４０に供給するための手段（図示略）が形成
されるべきである。
【００２７】次に図３（ｂ）を参照して、図２（ｂ）の
作動側壁配列３８の代りの構成が今より詳細に記述され
る。発明のこの実施例において、側壁作動器３８’は、
中間本体部１４のそれと反対方向に極性付けられた活性
圧電材料から作られた下位本体部１２’を含む。作動側
壁配列３８’を造るためには、活性下位本体部１２’が
ブロック１０の形成時に不活性下位本体部１２の代りに
形成される。材料のこの置換から離れて、作動側壁配列
３８’の構成は、図１（ａ）−図３（ａ）に関して既に
記述した技術と同一である。それで、前のように接着剤
の層１４は、活性下位本体部１２’に活性中間本体部１
６を絶縁的に取り付けるために使われる。活性下位本体
部１２’は方向Ｐ１に極性付けられ、活性中間本体部１
６が方向Ｐ２に極性付けられる。従って、側面３１ａ及
び３１ｂ及び底表面３２によって定義された一連の略平
行な長手方向に延長溝１８が作られる。しかしながらこ
の実施例において、各溝１８は、活性中間本体部１６及
び活性下位本体部１２’の部分を通して延長し、溝１８
の形成間に形成された長手方向延長側壁２０’によって
隣接の溝１８から分離される。かく形成された各側壁２
０’は、活性下位本体部１２’の元来部分と一体形成さ
れた活性下位壁部分２２’と、中間本体部１４を元来分
ける活性上位壁部分２４とを備えている。
【００２８】前記方法で構成を完了した後に、かく構成
された作動側壁配列３８’は、一連の略平行な長手方向
延長チャンネル４０を備えて、各々が（内側面３１ｂ’
を持つ活性下位壁部分２２’と内側面３１ａを持つ活性
上位壁部分２４とからなる）第１の側壁作動器２０’
と、（再度、内側面３１ｂを持つ活性下位壁部分２２と
内側面３１ａを持つ活性上位壁部分２４とからなる）第
２側壁作動器２０’と、第１及び第２側壁作動器２０’
を分離する不活性トップ本体部３０の部分と、第１及び
第２側壁作動器２０’を分離する底面３２’を持つ活性
下位本体部１２’の部分とによって定義される。
【００２９】作動側壁配列３８’が既に記載した方法で
電気的に接続した時には、チャンネル４０の１つを定義
している内側面３１ａ及び３１ｂ’及び底面３２’に沿
って作られた導電層２６の各部分４２は、部分４２に正
負電圧を選択的に印加することができるドライブシステ
ム（図示略）に電気的に接続するべき個々のコンタクト
として用いられる。正電圧が第１のコンタクト４２ａに
印加され、負電圧が第２のコンタクト４２ｂに印加され
る時には、側壁作動器部分２２’及び２４の極性付け方
向Ｐ１及びＰ２に各々直交した電界Ｅ１及びＥ２が生成
される。電界Ｅ１の印加が側壁作動器部分２２’をイン
ク搬送チャンネル４０ｂに偏位させ、電界Ｅ２の印加が
側壁作動器部分２４をインク搬送チャンネル４０ｂに偏
位させ、これによって正の圧力パルスをそれで部分定義
した第１インク搬送チャンネル４０ｂに印加し、負の圧
力パルスをそれで部分定義した第２のインク搬送チャン
ネル４０ａに印加している。インク搬送チャンネル４０
への正負の圧力パルスの適当な印加によってインクの滴
は、チャンネルの前端から放出されてもよい。
【００３０】次に図３（ｃ）を参照して、図３（ｂ）の
作動側壁配列３８’の変形は今より詳細に記述される。
発明のこの実施例において、側壁作動器３８”は、再度
中間本体部１６のそれと反対方向に極性付けられた活性
圧電材料から作られた下位本体部１２’を含む。しかし
ながらこの実施例において、絶縁スペーサ部分３３は２
つに分けている。作動側壁配列３８”を造るために、活
性下位本体部１２’は再びブロック１０の形成時に不活
性下位本体部１２の代りに形成される。粘着剤１５の層
１５（図３（ｃ）で目視できる物質除去ステップ後に残
るその部分）は、その後活性下位本体部１２’の上面に
絶縁材料のブロックの下面を絶縁的に取り付けるために
使われる。次に、接着剤の層１４’（再度、図３（ｃ）
で目視できる物質除去ステップ後に残るその部分）は、
絶縁材料のブロックの上面に活性中間本体部１６の下面
を絶縁的に取り付けるために用いられる。その後、側面
３１ａ、３３ａ、３１ｂ’及び底面３２’によって定義
された一連の略平行な長手方向に延長溝１８が作られ
る。しかしながらこの実施例において、各溝１８は、活
性中間本体部１６、絶縁材料のブロック及び活性下位本
体部１２’の部分を通して延長し、溝１８の形成間に形
成された長手方向延長側壁２０”によって隣接の溝１８
から分離される。かく形成された各側壁２０”は、活性
下位本体部１２’の元来部分と一体形成された活性下位
壁部分２２’と、絶縁スペーサ部分３３と、中間本体部
１４を元来分ける活性上位壁部分２４とを備えている。
【００３１】前記方法で作動側壁配列３８”の構成を完
了した後に、かく構成された作動側壁配列３８”は、一
連の略平行な長手方向延長チャンネル４０を備えて、各
々が（内側面３１ｂ’を持つ活性下位壁部分２２’と、
内側面３３ａを持つ絶縁スペーサ部分３３と、内側面３
１ａを持つ活性上位壁部分２４とからなる）第１の側壁
作動器２０”と、（再度、内側面３１ｂ’を持つ活性下
位壁部分２２’と、内側面３３ａを持つ絶縁スペーサ部
分３３と、内側面３１ａを持つ活性上位壁部分２４とか
らなる）第２側壁作動器２０”と、第１及び第２側壁作
動器２０”を分離する不活性トップ本体部３０の部分
と、第１及び第２側壁作動器２０”を分離する底面３
２’を持つ活性下位本体部１２’の部分とによって定義
される。
【００３２】作動側壁配列３８”が既に記載した方法で
電気的に接続された時に、チャンネル４０の１つを定義
している内側面３１ａ、３３ａ及び３１ｂ’と底面３
２’に沿って作られた導電層２６の各部分４２は、部分
４２に正負電圧を選択的に印加することができるドライ
ブシステム（図示略）に電気的に接続するべき個々のコ
ンタクトとして用いられる。正電圧が第１のコンタクト
４２ａに印加され、負電圧が第２のコンタクト４２ｂに
印加される時には、各々が側壁作動器２２’及び２４の
極性付け方向Ｐ１及びＰ２に直交する電界Ｅ１及びＥ２
が生成される。電界Ｅ１の印加が側壁作動器部分２２’
をインク搬送チャンネル４０ｂに偏位させ、電界Ｅ２の
印加も側壁作動器部分２４をインク搬送チャンネル４０
ｂに偏位させて、正の圧力パルスをそれで部分定義した
第１インク搬送チャンネル４０ｂに印加し、負の圧力パ
ルスをそれで部分定義した第２のインク搬送チャンネル
４０ａに印加している。インク搬送チャンネル４０への
正負の圧力パルスの適当な印加によってインクの滴は、
チャンネルの前端から放出されてもよい。
【００３３】次に図４（ａ）〜５（ｃ）を参照して、本
発明の教示に従うインクジェットプリントヘッド用の作
動側壁配列を構成する第２の方法が今より詳細に記述さ
れる。特に、図４（ａ）において、矢印５２方向に極性
付けられた圧電材料好ましくはＰＺＴの通常長方形ブロ
ック５０が今見られる。次に図４（ｂ）を参照して、そ
の後物質除去プロセスは、極性付けられた圧電材料のブ
ロック５０を通して途中まで延長した一連の略平行な長
手方向に延長溝５４を作るために用いられる。各溝５４
は隣接の溝５４から上位壁部分６０によって分けられ
る。各上位壁部分６０は上面６２を含み、各溝５４は、
材料除去プロセス間に露出された上位壁部分６０の内側
面５６及び底面５８によって定義される。溝５４は、種
々の現在利用可能な機械加工技術のいずれかを用いて作
られてもよい。例えば高精度鋸引きプロセスは、溝５４
を作ることにふさわしい。さらに図２Ｂで目視できない
が、溝５４がブロック５０の前端面５０ａから後端面５
０ｂに延長していることが明白に理解されるべきであ
る。
【００３４】次に図２Ｃを参照して、導電材料の層６４
は、上位壁部分６０の上面６２、内側面５６及び底面５
８に形成される。好ましくは、表面６２、５６、５８に
導電層６４を形成するステップが内側面５６及び５８及
び上面６２の各々にニクロム金合金の層を堆積させるこ
とによって達成される。しかしながら、前述の堆積（蒸
着）プロセスは導電材料の層が表面６２、５６及び５８
に印加されてもよい一方法であり、多数の他の堆積技術
及び導電材料が導電材料層６４を作るために適当である
ことは、明白に理解されるべきである。
【００３５】次に図４（ｄ）を参照して、第２の物質除
去ステップがその後溝５４を下方に延長する（深くす
る）ために実行された。前のように溝５４は高精度鋸引
きプロセスを使って深くしてもよい。しかしながら、第
２の材料除去ステップにおいて、溝５４の拡張即ち追加
掘り下げ部分は第１材料除去ステップ間に形成された溝
５４の幅より僅かに狭く作られるべきであり、従って底
面５８に堆積した層６４の部分を除去しながら、側面５
６に堆積した導電材料の層６４の部分の除去を防止する
ことは注目するべきである。好ましくは、溝５４が内側
面６８及び上位壁部分６０のそれと略等しい高さを持つ
下位壁部分６６を形成するように更に掘り下げられるべ
きである。しかしながら、上位壁部分６０の高さと相対
する下位壁部分６６の高さが発明の範囲から逸脱しない
で劇的に変えられてもよいことは、明白に理解されるべ
きである。
【００３６】次に図５（ａ）を参照して、上位壁部分５
８の上面６２で作られた導電材料の層６４のその部分
は、従来の脱金属化プロセス例えば、側面５６に堆積し
た導電材料の層６４のその部分をマスクした後にエッチ
ングプロセスを使って除去される。最後に、図５（ｂ）
に示されるように、不活性材料から作られたトップ本体
部７０は、非電導粘着材料の層７２によって上位壁部分
６０の上面６２に取付けられる。図５（ｃ）と同様に今
図５（ｂ）で理解されるように、作動側壁配列７４は今
充分に組立られた。作動側壁配列７４は、一連の略平行
な長手方向延長チャンネル７６を備えて、各々が（不活
性下位壁部分６６と活性上位壁部分６０とからなる）第
１の側壁作動器７８と、（再度不活性下位壁部分６６と
活性上位壁部分６０とからなる）第２側壁作動器７８
と、第１及び第２側壁作動器７８を分離する不活性トッ
プ本体部７０の部分と、第１及び第２側壁作動器７０を
分離する活性圧電材料５０の未鋸引き部分とによって定
義される。第１及び第２チャンネル７６に各々対面する
第１及び第２内側面６０には、活性上位壁部分６０の上
位側面６２の脱金属化によって作られた一対の電気のコ
ンタクト８０−１、８０−２が形成される。
【００３７】作動側壁配列７８を電気的に接続するため
には、インク搬送チャンネル７６の各１つに対面する電
気のコンタクト８０−１、８０−２は、コンタクト８０
−１、８０−２に正負電圧を選択的に印加することがで
きるドライブシステム（図示略）の個別のリード線に電
気的に接続される。正電圧が選択された側壁作動器の一
側のコンタクト８０−２に印加され、負電圧が選択され
た側壁作動器の他の側のコンタクト８０−１に印加され
る時には、極性付け方向Ｐに直角な電界Ｅは、選択され
た側壁作動器の上位壁部分を交差して生成され、従って
側壁作動器をインク搬送チャンネル７６方向に偏向さ
せ、従って正の圧力パルスをそれで部分定義した第１イ
ンク搬送チャンネル７６ｂに印加し、負の圧力パルスを
それで部分定義した第２のインク搬送チャンネル７６ａ
に印加している。インク搬送チャンネル７６への正負の
圧力パルスの適当な印加によってインクの滴は、チャン
ネルの前端から放出されてもよい。発明の１つの面にお
いて、単一インク搬送チャンネル７６に直面するコンタ
クト８０−１及び８０−２がドライブシステムの単一リ
ード線に電気的に接続してもよいことがさらに予想され
る。この面において、選択されたチャンネル７６に側壁
作動器７８の両方を駆動するために、正電圧がチャンネ
ル７６に直面している電気のコンタクト８０−１及び８
０−２に印加され、一方選択されたチャンネル７６に直
面した側壁作動器７８の対向側の電気のコンタクト８０
−１、８０−２に負電圧が印加される。
【００３８】しかしながら前のように、図５（ｂ）に示
した作動側壁配列７４に含まれるチャンネル７６の数が
全くの例であり、作動側壁配列７４がどの数のチャンネ
ルを含んでもよいことが充分予想されることは、明白に
注目するべきである。更に、それぞれチャンネル７６ｃ
及び７６ｄとして図５（ｃ）で明示された作動側壁配列
７４の各側の最外チャンネルが不活性に留まるべきであ
ることは、推薦される。最後に、示された作動側壁配列
７４からインクジェットプリントヘッドを完全に組み立
てるためには、チャンネル７６の後端８２が閉塞される
べきで、インクをチャンネル７６に供給するための手段
（図示略）が形成されるべきである。
【００３９】
【発明の効果】それで、インクジェットプリントヘッド
用の作動側壁配列を製作する種々の方法がここに記述さ
れ示された。各開示方法は、先行技術によって教示され
たそれらの方法を簡単にする前述の配列を製作するかな
り単純で安価な方法を提供している。内部側壁に沿った
特定の位置での導電材料の明確な堆積を必要とするより
むしろ、２つの物質除去ステップ間の単一金属化ステッ
プの形成は、正確な堆積ステップの必要性なしで所望の
側壁作動器を形成する。しかしながら当該技術者は、特
に言わなくても多くの修正及び変形が本発明の概念から
殆ど逸脱しないでここに記載された技術で作られてもよ
いことが認められる。それ故に、ここに記載された発明
の型式が実施例のみで、発明の範囲に対する制限として
意味されないことは明確に理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の教示に従うインクジェットプ
リントヘッド用の作動側壁配列を製作する使用に好適な
圧電材料のブロックの斜視図であり、（ｂ）は形成ステ
ップが一連の溝を形成した後に図１（ａ）の１Ｂ−１Ｂ
線に部分拡大断面図であり、（ｃ）は金属化ステップ後
の図１（ｂ）の溝付きブロックの部分拡大断面図であ
る。
【図２】（ａ）は部分的脱金属化ステップ後の図１
（ｃ）の金属化された溝付きブロックの部分拡大断面図
であり、（ｂ）はカバーがそれに取付けられてインクジ
ェットプリントヘッド用の作動側壁配列の組立体を完了
した後の図２（ａ）の部分的脱金属化された溝付きブロ
ックの部分拡大断面図である。
【図３】（ａ）は図２（ｂ）のインクジェットプリント
ヘッド用の充分に組立られた作動側壁配列の斜視図であ
り、（ｂ）は活性下位本体部が一連の溝の形成前に不活
性下位本体部と置換された図２（ｂ）のインクジェット
プリントヘッド用の作動側壁配列の代替の構成の部分拡
大断面図であり、（ｃ）は絶縁スペーサが活性中間本体
部の取付前に活性下位本体部に取付けられる図３（ｂ）
のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列の変
形例の部分拡大断面図である。
【図４】（ａ）は本発明の教示によるインクジェットプ
リントヘッド用の作動側壁配列の製作に好適な極性付け
られた圧電材料のブロックの斜視図であり、（ｂ）は第
１形成ステップが一連の溝を形成した後の図４（ａ）の
２Ｂ−２Ｂ線部分拡大断面図であり、（ｃ）は金属化ス
テップ後の図４（ｂ）の溝付きブロックの部分拡大断面
図であり、（ｄ）は第２形成ステップが既に形成した一
連の溝を深くした後の図４（ｃ）の金属化された溝付き
ブロックの部分拡大断面図である。
【図５】（ａ）は部分的脱金属化ステップ後の図４
（ｄ）の金属化された溝付きブロックの部分拡大断面図
であり、（ｂ）はカバーがそれに取付けられてインクジ
ェットプリントヘッド用の作動側壁配列の組立を完了し
た後の図５（ａ）の部分的に脱金属化された溝付きブロ
ックの部分拡大断面図であり、（ｃ）は、図５（ｂ）の
インクジェットプリントヘッド用の充分に組立られた作
動側壁配列の斜視図である。
【符号の説明】
１２ 下位本体部 １４ 粘着層 １６ 中間本体部 １８ 溝 ２０ 側壁作動器 ２２ 下位壁部分 ２４ 上位壁部分 ２６ 導電層 ３０ 上位本体部 ３１ 内側面 ３２ 底面 ３８ 作動側壁配列

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】一連の側壁作動器を備え、各作動器が活性
    材料から形成された第１部分と、不活性材料から形成さ
    れた第２部分とを持つインクジェットプリントヘッド用
    の作動側壁配列を製作する方法において、 不活性材料から形成されて上面を持つ下位本体部と、底
    面及び上面を持ち前記底面及び上面に一般に直交する方
    向に極性付けられた活性圧電材料から形成された中間本
    体部と、不活性材料から形成され下面を持つ上位本体部
    とを形成し、 前記不活発な下位本体部の前記上面に前記活性中間本体
    部の前記下面を取り付け、 各々が前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の
    部分を通して延長し、前記活性中間本体部の極性付け方
    向と略平行に形成され、前記活性中間本体部及び前記不
    活性下位本体部の内側面を露出させた一連の略平行な長
    手方向に延長溝を形成し、 前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の前記内
    側面に導電材料の層を堆積させ、 前記活性中間本体部の前記上面に前記不活性上位本体部
    の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
    成するステップを備えた方法。
  2. 【請求項２】前記溝は、これらが前記活性中間本体部の
    高さに一般に等しい距離分、前記不活性下位本体部に延
    長するように形成される請求項１に記載のインクジェッ
    トプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。
  3. 【請求項３】前記活性中間本体部及び前記不活性下位本
    体部の部分を通して延長した一連の略平行な長手方向に
    延長溝を鋸引きするステップをさらに備えた請求項１に
    記載のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列
    を製作する方法。
  4. 【請求項４】一連の略平行な長手方向に延長溝を形成す
    るステップは、前記活性中間本体部及び前記不活性下位
    本体部の選択部分を除去して一連の略平行な長手方向延
    長側壁作動器を形成するステップを更に備え、各前記側
    壁作動器が第１及び第２内側面を持つ不活性下位壁部分
    と、第１及び第２内側面及び上面を持つ活性上位壁部分
    とを持ち、前記側壁作動器の各々は、前記不活性下位本
    体部の前記選択部分の除去間に露出した前記不活性下位
    本体部の内側面によって隣接の側壁作動器から分離され
    た請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド用の
    作動側壁配列を製作する方法。
  5. 【請求項５】前記活性中間本体部及び前記不活性下位本
    体部の前記内面に導電材料の層を堆積させるステップ
    は、 前記活性上位壁部分の前記上面と、前記活性上位壁部分
    の前記内側面と、前記不活性下位壁部分とを金属化し、 前記活性上位壁部分の前記上面を脱金属化するステップ
    を更に備えた請求項１に記載のインクジェットプリント
    ヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。
  6. 【請求項６】前記活性上位壁部分及び前記不活性下位壁
    部分の前記内側面を金属化するステップは前記下位本体
    部の前記内側面を金属化するステップを更に備えた請求
    項５に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動側
    壁配列を製作する方法。
  7. 【請求項７】前記上位及び下位側壁部分は、前記下位側
    壁部分の高さが前記上位側壁部分の高さと略等しいよう
    に形成される請求項６に記載のインクジェットプリント
    ヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。
  8. 【請求項８】不活性材料から形成されて上面を持つ下位
    本体部と、底面及び上面を持ち前記底面及び上面と一般
    に直交する方向に極性付けられた活性圧電材料から形成
    された中間本体部と、不活性材料から形成されて下面を
    持つ上位本体部とを形成し、 前記不活性下位本体部の前記上面に前記活性中間本体部
    の前記下面を取付け、 前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の選択部
    分を除去して一連の略平行な長手方向延長側壁作動器を
    形成し、各前記側壁作動器が第１及び第２内側面を持つ
    不活性下位壁部分と、第１及び第２内側面及び上面を持
    つ活性上位壁部分とを持ち、各々の前記側壁作動器は、
    前記不活性下位本体部の前記選択部分の除去間に露出し
    た前記不活性下位本体部の内側面によって隣接の側壁作
    動器から分離され、 前記活性壁部分の前記上面及び内側面、前記不活性下位
    壁部分の前記内側面及び前記不活性基礎部分の前記内側
    面に導電材料の層を堆積させ、 前記活性上位壁部分の前記上面を脱金属化し、 前記活性上位壁部分の前記上面に前記不活性上位本体部
    の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
    成するステップを備えたインクジェットプリントヘッド
    用の作動側壁配列を製作する方法。
  9. 【請求項９】前記上位及び下位側壁部分は、前記下位側
    壁部分の高さが前記上位側壁部分の高さと略等しいよう
    に形成される請求項８に記載のインクジェットプリント
    ヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。
  10. 【請求項１０】一連の側壁作動器を備え、各作動器が第
    １方向に極性付けられた第１活性材料から形成された第
    １部分と、第２方向に極性付けられた第２活性材料から
    形成された第２部分とを持つインクジェットプリントヘ
    ッド用の作動側壁配列を製作する方法において、 下位本体部、中間本体部及び上位本体部を形成し、前記
    下位本体部が上面を持ちこの上面に通常直交する第１方
    向に極性付けられた活性圧電材料から形成され、前記中
    間本体部が底面及び上面を持ち前記第１方向に反対で前
    記底面及び上面に通常直交する第２方向に極性付けられ
    た活性圧電材料から形成され、前記上位本体部が不活性
    材料から形成されて下面を持ち、 前記活性下位本体部の前記上面に前記活性中間本体部の
    前記下面を取付け、 前記活性中間本体部及び前記活性下位本体部の部分を通
    して延長した一連の略平行な長手方向に延長溝を形成
    し、前記溝は前記活性下位本体部の前記第１極性付け方
    向及び前記活性中間本体部の前記第２極性付け方向と略
    平行に形成され、前記溝は前記活性中間本体部及び前記
    活性下位本体部の内側面を露出させ、 前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の前記内
    側面に導電材料の層を堆積させ、 前記活性中間本体部の前記上面に前記不活性上位本体部
    の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
    成するステップを備えた方法。
  11. 【請求項１１】前記溝は、これらが前記活性中間本体部
    の高さに通常等しい距離分前記活性下位本体部に延長す
    るように形成される請求項１０に記載のインクジェット
    プリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。
  12. 【請求項１２】前記活性中間本体部及び前記活性下位本
    体部の部分を通して延長した、一連の略平行な長手方向
    に延長溝を鋸引きするステップをさらに備えた請求項１
    ０に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁
    配列を製作する方法。
  13. 【請求項１３】一連の略平行な長手方向に延長溝を形成
    するステップは、前記活性中間本体部及び前記活性下位
    本体部の選択部分を除去して一連の略平行な長手方向延
    長側壁作動器を形成するステップを更に備え、各前記側
    壁作動器が第１及び第２内側面を持つ活性下位壁部分
    と、第１及び第２内側面及び上面を持つ活性上位壁部分
    とを持ち、前記側壁作動器の各々は、前記活性下位本体
    部の前記選択部分の除去間に露出した前記活性下位本体
    部の内側面によって隣接の側壁作動器から分離された、
    請求項１０に記載のインクジェットプリントヘッド用の
    作動側壁配列を製作する方法。
  14. 【請求項１４】前記活性中間本体部及び前記活性下位本
    体部の前記内部表面に導電材料の層を堆積させるステッ
    プは、前記活性上位壁部分の前記上面と、前記活性上位
    及び不活性下位壁部分の前記内側面を金属化し、前記活
    性上位壁部分の前記上面を脱金属化するステップを更に
    備えた請求項１０に記載のインクジェットプリントヘッ
    ド用の作動側壁配列を製作する方法。
  15. 【請求項１５】前記活性上位壁部分及び前記活性下位壁
    部分の前記内側面を金属化するステップは、前記下位本
    体部の前記内側面を金属化するステップを更に備えた請
    求項１４に記載のインクジェットプリントヘッド用の作
    動側壁配列を製作する方法。
  16. 【請求項１６】前記上位側壁部分及び前記下位側壁部分
    は、前記下位側壁部分の高さが前記上位側壁部分の高さ
    とおよそ等しいように形成される請求項１５に記載のイ
    ンクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作す
    る方法。
  17. 【請求項１７】上面を持ちこの上面に通常直交する第１
    方向に極性付けられた活性圧電材料から形成された下位
    本体部と、底面及び上面を持ち絶縁材料から形成された
    スペーサ部分と、底面及び上面を持ち前記第１方向に反
    対で前記底面及び上面に通常直交する第２方向に極性付
    けられた活性圧電材料から形成された中間本体部と、不
    活性材料から形成されて下面を持つ上位本体部とを形成
    し、 前記活性下位本体部の前記上面に前記絶縁スペーサ部分
    の前記下面を取付け、 前記絶縁スペーサ部分の前記上面に前記活性中間本体部
    の前記下面を取付け、 前記活性中間本体部、前記絶縁スペーサ部分及び前記活
    性下位本体部の選択部分を除去して、一連の略平行な長
    手方向延長側壁作動器を形成し、各前記側壁作動器が第
    １及び第２内側面を持つ活性下位壁部分と、第１及び第
    ２内側面を持つ不活性スペーサ部分と、第１及び第２内
    側面及び上面を持つ活性上位壁部分とを持ち、各々の前
    記側壁作動器は、前記活性下位本体部の前記選択部分の
    除去間に露出させられた前記活性下位本体部の内側面に
    よって隣接の側壁作動器から分離され、 前記活性壁部分の前記上面及び内側面、前記絶縁スペー
    サ部分の前記内側面、前記活性下位壁部分の前記内側面
    及び前記活性基礎部分の前記内側面に導電材料の層を堆
    積させ、 前記活性上位壁部分の前記上面を脱金属化し、 前記活性上位壁部分の前記上面に前記不活性上位本体部
    の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
    成するステップを備えたインクジェットプリントヘッド
    用の作動側壁配列を製作する方法。
  18. 【請求項１８】上面及び底面を持ちこれらの上面及び底
    面に一般に直角である第１方向に極性付けられた活性圧
    電材料から形成された下位本体部を形成し、 前記上面から前記下位本体部に特定距離分延長した一連
    の略平行な長手方向に延長溝を形成し、 前記溝が前記形成ステップ間に露出させられた前記下位
    本体部の第１内側面を定義し、 前記下位本体部の前記第１内側面に導電材料の層を堆積
    させ、 前記下位本体部の第２内側面を露出させるために、前記
    下位本体部で形成された前記溝を深くし、 前記活性中間本体部の前記上面に前記不活性上位本体部
    の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
    成するステップを備えたインクジェットプリントヘッド
    用のための作動側壁配列を製作する方法。
  19. 【請求項１９】前記下位本体部の前記内側面に導電材料
    の層を堆積させるステップは、 前記上位壁部分の前記上面及び内側面に導電材料の層を
    堆積させ、 前記上位壁部分の前記上面に堆積させられた導電材料の
    一部分の前記層を除去するステップをさらに備えた請求
    項１８に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動
    側壁配列を製作する方法。
  20. 【請求項２０】上面及び底面を持ちこれらの上面及び底
    面に一般に直角である第１方向に極性付けられた活性圧
    電材料から形成された下位本体部を形成し、 前記活性下位本体部の第１の選択された部分を除去して
    一連の略平行な長手方向延長上位側壁部分を形成し、各
    前記上位側壁部分が第１及び第２内側面を持ち、 前記上位側壁部分の各前記第１及び第２内側面に導電材
    料の層を堆積させ、 前記活性下位本体部の第２の選択された部分を除去して
    一連の略平行な長手方向延長下位側壁部分を形成し、各
    々が第１及び第２内側面を持って前記上位側壁部分の対
    応するものと一体形成され、各々の前記下位側壁部分及
    び前記対応の上位側壁部分が共に一体形成されて前記作
    動側壁配列用の側壁作動器を定義し、前記上位壁部分の
    前記上面に前記不活性上位本体部の前記下面を絶縁的に
    取り付けて前記作動側壁配列を形成するステップを備え
    たインクジェットプリントヘッド用のための作動側壁配
    列を製作する方法。
  21. 【請求項２１】前記下位本体部の前記内側面に導電材料
    の層を堆積させるステップは、 前記上位壁部分の前記上面及び内側面に導電材料の層を
    堆積させ、 前記上位壁部分の前記上面に堆積させられた導電材料の
    一部分の前記層を除去するステップをさらに備えた請求
    項２０に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動
    側壁配列を製作する方法。
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