JPH07325176A

JPH07325176A - ステージ装置

Info

Publication number: JPH07325176A
Application number: JP6140738A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Hara; 英明原
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1994-06-01
Filing date: 1994-06-01
Publication date: 1995-12-12

Abstract

(57)【要約】【目的】制御対象物を速く且つ正確に位置制御するこ
とができるステージ装置を得る。【構成】互いに相対移動する第１部分と第２部分とを
備えたステージ装置において、前記第１部分と第２部分
との間に磁束発生手段と導電体とからなる制動力発生手
段を備え、この制動力発生手段による電磁誘導作用によ
って前記第１部分と第２部分との相対速度に比例した制
動力を前記第１部分と第２部分とに付与するステージ装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造装置
などに用いられるステージ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は、従来の一般的なステージ装置の
概略構成模式図である。図３に示すように、従来のステ
ージ装置は、Ｘ軸ステージ１、Ｙ軸ステージ２、Ｘ軸用
駆動モータ３、Ｙ軸用駆動モータ４、Ｘ軸用レーザ干渉
計５、Ｙ軸用レーザ干渉計６、制御コントローラ７、ベ
ース８、固定ミラー１１ａ，１１ｂより主に構成されて
いる。

【０００３】Ｘ軸ステージ１は、上面にウエハホルダ１
５によって保持されたウエハ１４を載置しつつ、Ｙ軸ス
テージ２上に配設され、Ｘ軸用駆動モータ３の駆動に伴
って回転する送りねじ９によってＹ軸ステージ２の上面
に設けられたガイドレール１２ａ，１２ｂに沿ってＸ軸
方向に移動可能になっている。尚、前記送りねじ９は、
このＸ軸ステージ１に設けられためねじ部と螺合して、
該Ｘ軸ステージ１をＸ軸方向に移動させている。

【０００４】Ｙ軸ステージ２は、ベース８上に配設さ
れ、Ｙ軸用駆動モータ４及び送りねじ１０の回転駆動に
伴って、前記ベース８の上面に設けられたガイドレール
１３ａ，１３ｂに沿って軸方向に移動可能になってい
る。尚、前記送りねじ１０は、前記送りねじ９と同様
に、Ｙ軸ステージ２に設けられためねじ部と螺合して、
該Ｙ軸ステージ１をＹ軸方向に移動させている。

【０００５】前記Ｘ軸用駆動モータ３及びＹ軸用駆動モ
ータ４は、制御コントローラ７から送出される作動命令
及び作動条件等によって駆動されるようになっている。
また、前記制御コントローラ７から送出される作動命令
及び作動条件等は、Ｘ軸用レーザ干渉計５及びＹ軸用レ
ーザ干渉計６によって検出されている。

【０００６】Ｘ軸用レーザ干渉計５及びＹ軸用レーザ干
渉計６は、Ｘ軸ステージ１の端部に設けられた固定ミラ
ー１１ａ及び１１ｂにレーザビームを照射して、その反
射光を受光して照射したレーザビームとの光路差を検出
して、前記Ｘ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２の位置を
検出している。

【０００７】即ち、Ｘ軸用レーザ干渉計５及びＹ軸用レ
ーザ干渉計６によってＸ軸ステージ１及びＹ軸ステージ
２の位置が検出され、これらの位置を位置情報信号とし
て制御コントローラ７に送り、この制御コントローラ７
は送られた位置情報信号に基づいて、前記Ｘ軸用駆動モ
ータ３及びＹ軸用駆動モータ４に駆動命令を与え、Ｘ軸
用駆動モータ３及びＹ軸用駆動モータ４はこの駆動命令
に伴って駆動し、Ｘ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２を
相対移動させつつ、所望の目標位置に移動させている。

【０００８】従来の一般的なステージ装置は、上記のよ
うな構成になっており、Ｘ軸ステージ１上に載置された
ウエハ１４にレジストを塗布してマスキングをして、露
光・現像等の所謂フォト・リソ加工などをするために使
用されている。

【０００９】また、図４は、リニアモータを使用した従
来の一般的なステージ装置の概略構成模式図である。図
４に示すように、リニアモータを使用した従来のステー
ジ装置は、定盤３１、駆動装置３２、可動ガイド３３、
テーブル３４とから主に構成されている。

【００１０】駆動装置３２は、リニアモータ３２ａ、可
動体３２ｂとから構成されており、固定ガイド３５を介
して定盤３１上両端に対向して固定されている。また、
可動ガイド３３は、リニアモータ３３ａを備えており、
前記駆動装置３２の可動体３２ｂに取り付けられた空気
軸受３６ａを介して駆動装置３２と接続されている。ま
た、テーブル３４は、該テーブル３４の下面に配設され
た可動体（図示せず）と前記可動ガイド３３に配設され
たリニアモータ３３ａと係合することにより、前記可動
ガイド３３上に係止されている。尚、前記テーブル３４
の下面には、前記可動ガイド３３を挟むように空気軸受
３６ｂが設けられている。

【００１１】上記のように構成された従来のリニアモー
タを使用したステージ装置おいては、駆動装置３２の可
動体３２ｂがＹ軸方向に移動することにより、可動ガイ
ド３３及びテーブル３４がＹ軸方向に移動し、また、テ
ーブル３４を可動ガイド３３上でＸ軸方向に移動させる
ことにより、所望の目標位置へ移動している。尚、これ
らの操作は、図示しない操作装置によって行っている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のステージ装置においては、Ｘ軸ステージ１及びＹ軸
ステージ２を所望の目標位置まで移動させる際に、送り
ねじ９，１０に弾性変形が生じ、前記Ｘ軸ステージ１及
びＹ軸ステージ２を正確に目標位置で停止・制御するこ
とに時間がかかるという問題点があった。

【００１３】これは、制御コントローラ７で制御可能な
範囲は、Ｘ軸用駆動モータ３及びＹ軸用駆動モータ４ま
でであるため、制御対象であるＸ軸ステージ１及びＹ軸
ステージ２が所望の目標位置に到達したときに、制御コ
ントローラ７がＸ軸用駆動モータ３及びＹ軸用駆動モー
タ４の駆動停止するように制御命令を与えても、Ｘ軸ス
テージ１及びＹ軸ステージ２に生じる慣性モーメントの
影響を受けるため、前記送りねじ９，１０は弾性変形を
生じるからである。

【００１４】また、一般的に、慣性モーメントによって
Ｘ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２が目標位置を通過し
た場合には、レーザ干渉計５，６及び制御コントローラ
７によって目標位置に戻るように駆動モータ３，４に制
御命令が与えられるが、このときに生じる制御系（位置
制御性、速度制御性）の共振及び送りねじ９，１０の弾
性変形によってステージ可動系に比較的周波数の高い固
有振動が発生し、従来のステージ装置では、このような
振動を効果的に抑制することができなかったため、前記
Ｘ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２の正確な位置決めが
安定するまでに時間がかかるという問題点が生じてい
た。尚、この問題点は、リニアモータを使用したステー
ジ装置の場合も同様であった。

【００１５】本発明は、上記課題を鑑みて成されたもの
であり、制御対象物を速く且つ正確に位置制御すること
ができるステージ装置を得ることを目的とする。

【００１６】また、本発明の別の目的は、作動中に発生
するステージ可動系の振動に有効な減衰を与え、安定し
た位置決め制御を実現することができるステージ装置を
得ることである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係るステージ装置は、上記目的を達成するために、互い
に相対移動する第１部分と第２部分とを備えたステージ
装置において、前記第１部分と第２部分との間に電磁誘
導作用によって相対速度に比例した制動力を発生する制
動力発生手段を備えたことを特徴とするものである。

【００１８】また、請求項２に記載の発明に係るステー
ジ装置では、請求項１に記載のステージ装置において、
前記制動力発生手段は、前記第１部分と第２部分のいず
れか一方に配設された磁束発生手段と、前記第１部分と
第２部分のいずれか他方に配設された導電体とを含むこ
とを特徴とするものである。

【００１９】また、請求項３に記載の発明に係るステー
ジ装置は、上記目的を達成するために、支持体に対して
予め定められた方向に移動可能なテーブルを備えたステ
ージ装置において、前記支持体とテーブルとのいずれか
一方に配設された磁束発生手段と、前記支持体とテーブ
ルとのいずれか他方に配設された導電体とを備え、前記
支持体とテーブルとの相対速度に応じて前記磁束発生手
段と前記導電体との間の電磁誘導作用により前記テーブ
ルに制動力を生ぜしめるようにしたことを特徴とするも
のである。

【００２０】

【作用】請求項１に記載の発明によるステージ装置は、
互いに相対移動する第１部分と第２部分との間に配設さ
れた制動力発生手段を備えており、この制動力発生手段
は、前記第１部分と第２部分とを電磁誘導作用によっ
て、相対速度に比例した制動力を加える。

【００２１】つまり、制動力発生手段による電磁誘導作
用によって、相対移動する第１部分と第２部分との移動
を阻止しようとする力が前記第１部分と第２部分に生じ
る。この阻止力は第１部分と第２部分との相対速度に比
例した大きさをもち、従って、制御対象物の位置決め時
間を短縮することが可能になる。

【００２２】請求項２に記載の発明によるステージ装置
では、請求項１に記載のステージ装置において、前記制
動力発生手段は、磁束発生手段と、導電体とから構成さ
れており、この磁束発生手段と導電体とは、それぞれ前
記第１部分と第２部分とのいずれか一方あるいは他方に
所定の間隙を開けて配設され、第１部分と第２部分とが
相対移動したときは、この磁束発生手段と導電体とによ
って相互間に電磁誘導作用による制動力が発生する。

【００２３】つまり、所定の間隙を開けて前記第１部分
と第２部分のいずれか一方あるいは他方に配設された磁
束発生手段と導電体により、前記第１部分と第２部分と
が相対移動すると、前記磁束発生手段からの磁束によっ
て導電体内に移動速度に比例した渦電流が流れ、この渦
電流によって生じる反発磁界の作用により、第１部分と
第２部分との間には前記相対移動を阻止する方向の制動
力が生じ、この制動力は相対移動速度に比例した大きさ
となる。

【００２４】この電磁誘導作用による力は、相対移動す
る前記第１部分と第２部分との間の制動力として作用す
るものであり、これはまたステージ可動系による第１部
分と第２部分との間の停止への固有振動を早期に減衰さ
せる作用をも果たすことになる。

【００２５】従って、前記第１部分と第２部分の相対速
度に応じた制動力によって振動系が収束するため、安定
した停止位置制御を実現することが可能になる。尚、磁
束発生手段は直流又は交流磁束を生じる、例えば永久磁
石又は電磁石であり、導電体は磁束発生手段から生じる
磁束との鎖交によって渦電流を生じるものであれば、金
属（銅、アルミニウム、鉄、それらの合金など）または
非金属の導電体、あるいは磁性体でも良い。

【００２６】図５と共に本発明に係るステージ装置の基
本原理の概念を説明する。図５において、４１は第１部
分、４２は第２部分、４３は磁束発生手段、４４は導電
体、４５はガイドレールである。尚、図５に示す本発明
に係るステージ装置では、第１部分４１に磁束発生手段
４３が配設され、第２部分４２に導電体４４が配設され
ているが、第１部分４１に導電体４４を配設し、第２部
分４２に磁束発生手段４３を配設してもよい。

【００２７】即ち、前記第１部分４１と第２部分４２が
相対移動することにより、磁束発生手段４３と導電体４
４とが所定の間隙を介して対向すると、磁束発生手段４
３からの磁束４６が導電体４４と鎖交する。尚、図４に
おいて、前記第１部分４１と第２部分４２との相対移動
方向は、紙面の表裏方向である。

【００２８】この状態で、前記第１部分４１と第２部分
４２とが相対移動すると、磁束４６内で移動する導電体
４４内に電磁誘導作用によって移動速度に比例した大き
さの渦電流４７が引き起こされる。尚、渦電流の向きは
相対移動の方向に応じて定まり、渦電流の発生によって
生じる磁界はもとの磁界に対して反発する向きである。

【００２９】この結果、相対移動する第１部分４１と第
２部分４２との間に速度に比例した制動力が発生する。
この制動力の大きさは第１部分と第２部分との相対速度
に比例しており、従って、第１部分と第２部分との間の
サーボ制御系による位置決めの制御に対して系を安定さ
せる作用を果たす。

【００３０】また、従来装置において生じていた駆動力
伝達機構（送りねじ９，１０）の弾性変形等によってテ
ーブル可動系に発生する停止時の比較的周波数の高い振
動も抑制することが可能になり、制御対象物であるテー
ブルを正確に且つ安定して停止位置決め制御することが
可能になる。

【００３１】請求項３に記載の発明によるステージ装置
は、支持体と、テーブルと、磁束発生手段と、導電体と
から主に構成されている。テーブルは、支持体に対して
予め定められた方向に移動可能であり、テーブルには磁
束発生手段と導電体のうちの一方が、前記支持体にはい
ずれか他方が配設されている。

【００３２】ここで、前記支持体とテーブルとが相対移
動すると、この相対移動の速度に応じて前記磁束発生手
段と前記導電体との間の電磁誘導作用によりテーブルに
制動力が生じる。

【００３３】

【実施例】図１は、本発明の一実施例に係るステージ装
置の概略構成模式図である。図１に示す本実施例に係る
ステージ装置と図３において説明した従来のステージ装
置との相違点は、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２との
下面に電磁石（磁束発生手段）２１が備えられるととも
に、Ｙ軸ステージ２とベース８との上面に薄い鉄板（導
電体）２２が備えられ、更に前記電磁石２１を励磁する
ための励磁回路２３が備えられている点である。尚、前
記電磁石２１及び鉄板２２は、それそれ互いに対向した
位置に配設してある。また、従来例と同一部分について
は、同一符号を付し説明を省略する。

【００３４】上記のように構成された本実施例に係るス
テージ装置においては、励磁回路２３の作動により電磁
石２１が励磁され、この電磁石２１から磁束が発生し、
該電磁石２１と対向した鉄板２２と鎖交する。

【００３５】そして、Ｘ軸ステージ１及びＹ軸ステージ
２を所望の目標位置に移動させるため、従来装置と同様
に、Ｘ軸用レーザ干渉計５及びＹ軸用レーザ干渉計６に
よってＸ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２の現在位置を
検出し、これらの位置を位置情報信号として制御コント
ローラ７に送り、制御コントローラ７は送られた位置情
報信号に基づいて、Ｘ軸用駆動モータ３及びＹ軸用駆動
モータ４に駆動命令を与え、Ｘ軸用駆動モータ３及びＹ
軸用駆動モータ４は与えられた駆動命令に伴って回転駆
動させ、前記ステージ１，２をステージ２あるいはベー
ス８に対して相対移動させると、前記電磁石２１から発
生した磁束内で、該電磁石２１と対向した鉄板２２内に
電磁誘導作用による渦電流が発生する。尚、このとき発
生する渦電流の大きさは、ステージ１，２の移動速度に
比例した大きさである。

【００３６】その後更に、前記Ｘ軸ステージ１又はＹ軸
ステージ２を所望の目標位置に向けてステージ２あるい
はベース８に対して相対移動させると、前記渦電流は、
前記電磁石２１と鉄板２２の間に新たな磁束を発生す
る。

【００３７】この新たな磁束は、反発磁界の作用による
前記ステージ１，２を阻止する方向の制動力を発生する
ため、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２あるいはＹ軸ス
テージ２とベース８との間の位置決め制御を速く、かつ
安定して実現することができる。尚、このとき発生する
制動力の大きさは、前記ステージ１，２の移動速度の大
きさに比例した制動力である。

【００３８】また、前記制動力は、従来装置において生
じていた送りねじ９，１０の弾性変形等によってテーブ
ル可動系に発生する停止時の比較的周波数の高い固有振
動も抑制する作用を奏するため、前記テーブル１，２を
正確に且つ安定して停止位置決め制御することができ
る。

【００３９】ここで、図１に示すＸ軸ステージ１を図５
に示すステージ装置に対応させて更に説明する。尚、図
５に示す第１部分４１を図１に示すＸ軸ステージ１とし
て、また、図５に示す第２部分４２をＹ軸ステージ２と
して説明する。

【００４０】先ず、図１において、励磁回路２３を作動
させると、上述したように、電磁石２１が励磁され、こ
の電磁石２１から磁束が発生し、該電磁石２１と対向し
た鉄板２２と鎖交する。これは、図５における磁束発生
手段４３から紙面の下方向に発生する磁束４６に相当す
る。従って、この場合、図１に示すＸ軸ステージ１の電
磁石２１からは、−Ｚ軸方向に磁束が発生している。

【００４１】その後、図１に示すＸ軸ステージ１が所望
の目標位置に向かって、例えば＋Ｘ軸方向に移動した場
合（図５においては、紙面の表方向）、前記電磁石２１
から発生した磁束内で、該電磁石２１と対向した鉄板２
２内に電磁誘導作用による渦電流が前記Ｘ軸ステージ１
の移動速度に比例した大きさで発生する。即ち、図５に
示すように、渦電流４７が第１部分４１の移動速度に比
例した大きさで発生する。

【００４２】尚、このとき発生する渦電流の向きは、図
１におけるＹ軸方向（図５においては左右方向）であ
る。これは、図１において、Ｘ軸ステージ１が＋Ｘ軸方
向に移動し、またこのときに生じる磁束が−Ｚ軸方向で
あるため、フレミングの法則により、Ｙ軸方向に渦電流
が生じるのである。

【００４３】更に、前記Ｘ軸ステージ１を所望の目標位
置に向けて＋Ｘ軸方向に移動させると、前記渦電流は、
前記電磁石２１と鉄板２２の間に新たな磁束を発生す
る。この新たな磁束は、図５において上方向（図１にお
いて＋Ｚ軸方向）に発生するため、フレミングの法則に
より、前記Ｘステージ１の進行方向と逆方向（図１にお
いて−Ｘ軸方向、図５において紙面の裏方向）に力、即
ち制動力が生じる。尚、このとき発生する制動力の大き
さは、Ｘ軸ステージ１の移動速度の大きさに比例した制
動力である。

【００４４】従って、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２
との間の位置決め制御を安定して実現することができ
る。加えて、従来装置において生じていた送りねじ９の
弾性変形等によってテーブル可動系に発生する停止時の
比較的周波数の高い固有振動も抑制する作用を奏するた
め、前記Ｘ軸テーブル１を速く、正確に且つ安定して停
止位置決め制御することができる。

【００４５】尚、前記鉄板２２は、電磁石２１から生じ
る磁束との鎖交をによって渦電流を生じるものであれ
ば、金属（銅、アルミニウム、鉄、それらの合金など）
または非金属の導電体、あるいは磁性体でも良い。

【００４６】また、本実施例においては、前記電磁石２
１を対向する鉄板２２に沿って複数個点在して配置した
ように説明したが、このように鉄板２２に沿って複数個
電磁石２２を点在して配置する場合には、発生する磁力
の合力がステージ１，２の重心に作用するように配置す
ることが好ましい。また、前記電磁石２１の配置はこれ
に限定されるものではなく、前記ステージ１，２の重心
付近に強力な磁力を発生するものを一つ配置しても良
い。

【００４７】また、前記ステージ１，２にかかる制動力
は、使用するステージ装置（その加速度、質量等）に応
じて、前記励磁回路２３に電流量切り換え回路を接続し
て操作することにより、電流量を変えて、その大きさを
変えても良く、また、対向する電磁石２１と鉄板２２と
の相対距離によって変えても良い。

【００４８】更に、前述の制動力は、定速移動中であっ
てもステージ１，２に働くので、前記励磁回路２３に接
続された切り換え回路を用いてステージ１，２の加速及
び減速時のみ、制動力がステージ１，２に働くようにし
ても良い。すなわち、定速移動中は電流を流さず、加減
速時のみ、その大きさに対応する電流を前記励磁回路２
３に与えるようにすれば良い。このとき、ステージ１，
２の加速度によらず、常に一定電流を与えて一定の制動
力を与えるだけでも良い。この制動力はステージ１，２
の質量に応じたものにしておくと良い。

【００４９】更に、図１に示すステージ装置において
は、電磁石２１がＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２に配
設され、鉄板２２がＹ軸ステージ２とベース８に配設さ
れているが、Ｙ軸ステージ２とベース８に電磁石２１を
配設するとともに、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２に
鉄板２２を配設してもよい。

【００５０】また、前記電磁石２１に代えて永久磁石を
使用してもよい。この場合には、励磁する必要がないた
め、励磁回路２３を取り付けなくてもよい。

【００５１】図２は、本発明の第２の実施例に係るステ
ージ装置の概略構成模式図であり、従来のステージ装置
（図４参照）との相違点は、定盤３１上全面に薄い鉄板
３１ａを配設するとともに、テーブル３４の下面に可動
ガイド３３を挟むように電磁石３７を設けた点である。
尚、テーブル３４の下面に設けられてた空気軸受３６ｂ
は、該テーブル３４の四隅にのみ配設している。また、
従来例と同一部分については同一符号を付し説明を省略
する。

【００５２】また、第１の実施例との相違点は、鉄板３
１ａを定盤３１上の全面に設けている点である。第１の
実施例においては、ステージ装置そのものの構造がいわ
ゆる積層構造となっているため、各テーブル（Ｘ軸テー
ブル１，Ｙ軸テーブル２）は、予め定められた方向にし
か移動することができない。そのため、配設された電磁
石２１に対応する位置にのみ鉄板２２を設ければ良く、
そのため、配設する鉄板２２を１条にしていたが、この
第２の実施例においては、テーブル３４は、Ｘ軸，Ｙ軸
の２次元に移動可能であるため、定盤３１上全面に鉄板
３１ａが配設されている点が第１の実施例と異なってい
る。尚、テーブル３４の移動ストロークの範囲、すなわ
ち電磁石３７の移動範囲と同程度以上に鉄板３１ａを形
成しておけば良い。

【００５３】このように、リニアモータを使用したステ
ージ装置においても、定盤３１上全面に鉄板３１ａを設
けるとともに、テーブル３４に電磁石３７を配設し、テ
ーブル３４を所望の目標位置に移動させる際に、渦電流
を生じさせ、この渦電流によって新たな磁束を生じさせ
ることにより、制動力を生じさせ、第１の実施例と同様
の効果を得ることができる。

【００５４】尚、この第２の実施例においても、第１の
実施例において説明したように、電磁石３７の配置、電
磁石の変わりに永久磁石を用いても良いことは言うまで
もない。

【００５５】

【発明の効果】本発明は以上説明したとおり、制御対象
物を速く、正確に位置制御することができるという効果
がある。

【００５６】また、本発明においては、作動中に発生す
る制御不能な振動に有効な減衰を与え、安定した位置決
め制御を実行することができるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るステージ装置の概略構
成模式図である。

【図２】本発明の第２の実施例に係るステージ装置の概
略構成模式図である。

【図３】従来の一般的なステージ装置の概略構成模式図
である。

【図４】リニアモータを使用した従来の一般的なステー
ジ装置の概略構成模式図である。

【図５】本発明に係るステージ装置の基本原理の概念を
示す概略構成正面図である。

【符号の説明】

１：Ｘ軸ステージ２：Ｙ軸ステージ３：Ｘ軸用駆動モータ４：Ｙ軸用駆動モータ５：Ｘ軸用レーザ干渉計６：Ｙ軸用レーザ干渉計７：制御コントローラ８：ベース９：送りねじ１０：送りねじ１１ａ：固定ミラー１１ｂ：固定ミラー１４：ウエハ１５：ウエハホルダ２１：電磁石（磁束発生手段）２２：鉄板（導電体）２３：励磁回路３１：定盤３１：鉄板（導電体）３２：駆動装置３３：可動ガイド３４：テーブル３５：固定ガイド３７：電磁石（磁束発生手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】互いに相対移動する第１部分と第２部分
とを備えたステージ装置において、前記第１部分と第２部分との間に電磁誘導作用によって
相対速度に比例した制動力を発生する制動力発生手段を
備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】前記制動力発生手段は、前記第１部分と
第２部分のいずれか一方に配設された磁束発生手段と、
前記第１部分と第２部分のいずれか他方に配設された導
電体とを含むことを特徴とする請求項１に記載のステー
ジ装置。
【請求項３】支持体に対して予め定められた方向に移
動可能なテーブルを備えたステージ装置において、前記支持体とテーブルとのいずれか一方に配設された磁
束発生手段と、前記支持体とテーブルとのいずれか他方
に配設された導電体とを備え、前記支持体とテーブルとの相対速度に応じて前記磁束発
生手段と前記導電体との間の電磁誘導作用により前記テ
ーブルに制動力を生ぜしめるようにしたことを特徴とす
るステージ装置。