JPH07325043A - Inspection apparatus - Google Patents

Inspection apparatus

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JPH07325043A
JPH07325043A JP6143893A JP14389394A JPH07325043A JP H07325043 A JPH07325043 A JP H07325043A JP 6143893 A JP6143893 A JP 6143893A JP 14389394 A JP14389394 A JP 14389394A JP H07325043 A JPH07325043 A JP H07325043A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image pickup
inspection
image taking
imaging
pickup position
Prior art date
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Pending
Application number
JP6143893A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Matsushita
悟 松下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Keyence Corp
Original Assignee
Keyence Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Keyence Corp filed Critical Keyence Corp
Priority to JP6143893A priority Critical patent/JPH07325043A/en
Publication of JPH07325043A publication Critical patent/JPH07325043A/en
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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  • Image Analysis (AREA)

Abstract

PURPOSE:To carry out positioning work of an inspection point precisely and efficiently by computing a next image taking position based on the shift distance of the previous image taking position. CONSTITUTION:A programmer and an inspector give various kinds of commands to a control part through keys of an operation part 22. Based on the various kinds of the commands from the operation part 22, a control part 20 controls operation of each part and at the same time carries out computation for repeat operation and equally dividing operation. A memory part 24 stores the inspection point (the image taking position) instructed by the programmer as an inspection program and at the same time stores the image taking position given from the control part 20. A driving part 23 controls the image taking position and the image taking direction of an image taking part 25 based on an instruction from the control part 20. The image taking part 25 takes images of an object to be inspected and gives obtained image data to a monitor apparatus 21. Since the next image taking position is calculated based on the shifted distance of the previous image taking position, the positioning of the next image taking position can be carried out automatically.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は検査対象物を撮像して画
面上で検査するための検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device for picking up an image of an inspection object and inspecting it on a screen.

【0002】[0002]

【従来の技術】種々の電子部品を用いて電子機器を構成
する場合には、パターン配線が形成されたプリント基板
上に電子部品を配置した後、電子部品のリード線をプリ
ント基板上のパターン配線に半田付けする。そして、電
子部品の装着後、各電子部品のリード線とプリント基板
のパターン配線との半田付け状態、リード線の曲がり具
合等を検査する必要があるが、最近の電子部品およびパ
ターン配線の微細化に伴って、肉眼だけでは十分な検査
を行うことが困難な場合が多い。
2. Description of the Related Art When an electronic device is constructed by using various electronic parts, after the electronic parts are arranged on a printed circuit board on which pattern wiring is formed, the lead wires of the electronic parts are patterned on the printed circuit board. Solder to. After mounting the electronic components, it is necessary to inspect the soldering state of the lead wires of each electronic component and the pattern wiring of the printed circuit board, the bending degree of the lead wires, and the like. Therefore, it is often difficult to perform a sufficient examination with the naked eye.

【0003】このような場合、電子部品が装着されたプ
リント基板を撮像し、画面上の拡大された画像に基づい
て検査を行うことができる検査装置が開発されている。
この検査装置では、撮像装置を検査対象物に対して左右
方向(以下、X方向と呼ぶ)および前後方向(以下、Y
方向と呼ぶ)に相対的に移動させながら検査対象物の任
意の箇所を画面上で拡大して観察し、検査することがで
きる。
In such a case, an inspection device has been developed which is capable of taking an image of a printed circuit board on which electronic components are mounted and performing an inspection based on an enlarged image on the screen.
In this inspection apparatus, the imaging device is arranged in the left-right direction (hereinafter, referred to as X direction) and the front-back direction (hereinafter, Y direction) with respect to the inspection object.
It is possible to magnify and observe an arbitrary portion of the inspection object on the screen while moving it relative to the direction).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】最近では、検査対象物
の複数の検査点を予め記憶させることにより検査手順を
プログラムすることができる検査装置が開発されてい
る。検査プログラムの作成者は、検査対象物を画面上で
観察しながら撮像装置をX方向またはY方向に移動させ
て検査点を順次検査プログラムとして検査装置に記憶さ
せる。検査の際にはその検査プログラムが実行され、検
査対象物の予め定められた検査点に撮像装置が自動的に
移動し、検査点の画像が順次画面上に映し出される。こ
れにより、検査員による検査点の位置決め作業が自動化
される。
Recently, an inspection apparatus has been developed which can program an inspection procedure by storing a plurality of inspection points of an inspection object in advance. The creator of the inspection program moves the imaging device in the X direction or the Y direction while observing the inspection object on the screen, and sequentially stores the inspection points in the inspection device as the inspection program. At the time of inspection, the inspection program is executed, the imaging device automatically moves to a predetermined inspection point of the inspection object, and images of the inspection point are sequentially displayed on the screen. As a result, the work of positioning the inspection points by the inspector is automated.

【0005】例えば、図9に示すような検査対象物10
の検査プログラムを作成する場合を考える。図9の検査
対象物10は30ピンのICである。ここでは、撮像装
置による一回の撮像範囲を3ピン半であるとする。
For example, an inspection object 10 as shown in FIG.
Consider the case of creating an inspection program. The inspection object 10 in FIG. 9 is a 30-pin IC. Here, it is assumed that a single imaging range of the imaging device is three and a half pins.

【0006】この場合、まず図9の(a)に示すよう
に、撮像装置を撮像位置Aに移動させ、撮像位置Aを1
回目の検査点として検査プログラムに書き込む。次に、
図9の(b)に示すように、撮像装置を撮像位置Bに移
動させ、撮像位置Bを2回目の検査点として検査プログ
ラムに書き込む。さらに、図9の(c)に示すように、
撮像装置を撮像位置Cに移動させ、撮像位置Cを3回目
の検査点として検査プログラムに書き込む。図9の検査
対象物は片側に15本のピンを有するので、両側のピン
の検査のために10回の位置決め作業を行って10点の
検査点を検査プログラムに書き込む必要がある。したが
って、検査プログラムの作成に時間がかかるという問題
があった。
In this case, first, as shown in FIG. 9A, the image pickup device is moved to the image pickup position A, and the image pickup position A is set to 1.
Write in the inspection program as the second inspection point. next,
As shown in FIG. 9B, the imaging device is moved to the imaging position B, and the imaging position B is written in the inspection program as the second inspection point. Furthermore, as shown in (c) of FIG.
The imaging device is moved to the imaging position C, and the imaging position C is written in the inspection program as the third inspection point. Since the inspection object of FIG. 9 has 15 pins on one side, it is necessary to perform 10 positioning operations to inspect the pins on both sides and write 10 inspection points in the inspection program. Therefore, there is a problem that it takes time to create the inspection program.

【0007】また、ICのピンは何れも同じ形状をして
おり、画面上にはほとんど同じ画像が映し出されるの
で、撮像装置の移動中にどのピンを見ているかが分から
なくなることが多い。そのため、検査対象物の一部分を
とばして検査点を設定してしまうという問題があった。
Further, since all pins of the IC have the same shape and almost the same image is displayed on the screen, it is often difficult to know which pin is being viewed while the image pickup apparatus is moving. Therefore, there is a problem that a part of the inspection object is skipped and an inspection point is set.

【0008】それゆえに、本発明の目的は、正確にかつ
効率よく検査点の位置決め作業を行うことができる検査
装置を提供することである。
Therefore, it is an object of the present invention to provide an inspection apparatus which can accurately and efficiently perform an inspection point positioning operation.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

(1)第1の発明 第1の発明に係る検査装置は、検査対象物を撮像する撮
像手段と、撮像手段による検査対象物の撮像位置を移動
させる移動手段と、移動手段による前回の撮像位置の移
動距離に基づいて次の撮像位置を算出する演算手段とを
備える。
(1) 1st invention The inspection apparatus which concerns on 1st invention WHEREIN: The imaging means which images an inspection target object, the moving means which moves the imaging position of the inspection object by an imaging means, and the last imaging position by a moving means. And a calculation unit that calculates the next imaging position based on the moving distance of the.

【0010】(2)第2の発明 第2の発明に係る検査装置は、第1の発明に係る検査装
置の構成において、演算手段が、現在の撮像位置から前
回の移動距離と同じ距離だけ移動した位置を次の撮像位
置として算出することを特徴とする。
(2) Second Invention In the inspection apparatus according to the second invention, in the configuration of the inspection apparatus according to the first invention, the calculating means moves from the current imaging position by the same distance as the previous moving distance. The calculated position is calculated as the next imaging position.

【0011】(3)第3の発明 第3の発明に係る検査装置は、検査対象物を撮像する撮
像手段と、撮像手段による検査対象物の撮像位置を移動
させる移動手段と、撮像手段による第1の撮像位置およ
び第2の撮像位置に基づいて中間の撮像位置を算出する
演算手段とを備える。
(3) Third Aspect of the Invention An inspection apparatus according to a third aspect of the present invention comprises image pickup means for picking up an image of an inspection object, moving means for moving an image pickup position of the inspection object by the image pickup means, and image pickup means. And an arithmetic means for calculating an intermediate image pickup position based on the first image pickup position and the second image pickup position.

【0012】(4)第4の発明 第4の発明に係る検査装置は、第3の発明に係る検査装
置の構成において、演算手段が、第1の撮像位置と第2
の撮像位置との間を与えられた数に等分した位置を中間
の撮像位置として算出することを特徴とする。
(4) Fourth Invention In the inspection apparatus according to the fourth invention, in the configuration of the inspection apparatus according to the third invention, the calculating means includes the first imaging position and the second imaging position.
It is characterized in that a position obtained by equally dividing the distance from the image pickup position of 1 to a given number is calculated as an intermediate image pickup position.

【0013】[0013]

【作用】第1および第2の発明に係る検査装置において
は、前回の移動距離に基づいて次の撮像位置が算出され
るので、次の撮像位置の位置決め作業が自動的に行われ
る。
In the inspection apparatus according to the first and second aspects of the present invention, since the next image pickup position is calculated based on the previous moving distance, the positioning work of the next image pickup position is automatically performed.

【0014】特に、第2の発明に係る検査装置において
は、現在の位置から前回の移動距離と同じ距離だけ移動
した位置が次の撮像位置となるので、最初に撮像位置を
所定の距離だけ移動させるだけで、以後、撮像位置を同
じ距離ずつ順に自動的に移動させることができる。した
がって、検査対象物の検査点の位置決め作業を正確にか
つ効率よく行うことができる。
In particular, in the inspection apparatus according to the second aspect of the present invention, since the position moved by the same distance as the previous moving distance from the current position becomes the next image pickup position, the image pickup position is first moved by the predetermined distance. After that, the image pickup positions can be automatically moved sequentially by the same distance. Therefore, the work of positioning the inspection point of the inspection object can be performed accurately and efficiently.

【0015】第3および第4の発明に係る検査装置にお
いては、第1の撮像位置および第2の撮像位置に基づい
て中間の撮像位置が算出されるので、複数の撮像位置の
位置決め作業が自動的に行われる。
In the inspection apparatus according to the third and fourth aspects of the invention, since the intermediate image pickup position is calculated based on the first image pickup position and the second image pickup position, the positioning work of the plurality of image pickup positions is automatically performed. Is done in a regular manner.

【0016】特に、第4の発明に係る検査装置において
は、第1の撮像位置および第2の撮像位置を定めるだけ
でそれらの等分点が中間の撮像位置となるので、複数の
検査点の位置決め作業を正確にかつ効率よく行うことが
できる。
In particular, in the inspection apparatus according to the fourth aspect of the invention, the equidistant points of the first and second image pickup positions are set to intermediate image pickup positions only by defining the first image pickup position and the second image pickup position. The positioning work can be performed accurately and efficiently.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。図1は本発明の一実施例における検査
装置の構成を示すブロック図である。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【0018】図1の検査装置は、制御部20、モニタ装
置21、操作部22、駆動部23、記憶部24および撮
像部25を含む。プログラム作成者および検査員は操作
部22の各種キーを用いて制御部20に各種指令を与え
ることができる。制御部20は、操作部22からの各種
指令に基づいてモニタ装置21、駆動部23、記憶部2
4および撮像部25の動作を制御するとともに、後述す
るリピート動作および等分割動作のための演算および制
御を行う。
The inspection apparatus of FIG. 1 includes a control unit 20, a monitor device 21, an operation unit 22, a drive unit 23, a storage unit 24 and an image pickup unit 25. The program creator and the inspector can give various commands to the control unit 20 by using various keys of the operation unit 22. The control unit 20 uses the monitor unit 21, the drive unit 23, and the storage unit 2 based on various commands from the operation unit 22.
4 and the operation of the image pickup unit 25, as well as calculation and control for a repeat operation and an even division operation described later.

【0019】記憶部24は、プログラム作成者により指
定された検査点(撮像位置)を検査プログラムとして記
憶するとともに、制御部20から与えられた撮像位置を
記憶する。駆動部23は、制御部20からの指示により
撮像部25の撮像位置および撮像方向を制御する。撮像
部25は、制御部20からの制御信号に応答して検査対
象物の撮像を行い、撮像により得られた画像データをモ
ニタ装置21に与える。モニタ装置21は、撮像部25
から与えられた画像データを画像として画面に表示す
る。
The storage unit 24 stores the inspection point (imaging position) designated by the program creator as an inspection program, and also stores the imaging position given by the control unit 20. The drive unit 23 controls the image pickup position and the image pickup direction of the image pickup unit 25 according to an instruction from the control unit 20. The image capturing unit 25 captures an image of the inspection target in response to the control signal from the control unit 20, and provides the monitor device 21 with the image data obtained by the image capturing. The monitor device 21 includes an imaging unit 25.
The image data given by is displayed on the screen as an image.

【0020】図2は図1の検査装置の主として撮像部の
構成を示す概略斜視図である。図2において、Xテーブ
ル1は、X方向に移動可能に検査装置本体(図示せず)
に取り付けられている。Xテーブル1の下部には駆動軸
2aを回転および上下動させるための駆動機構2が取り
付けられている。駆動軸2aの下端には支持部材3が取
り付けられ、支持部材3の下端部には円弧状のアーム部
材4が支持部材3に対し摺動自在に装着されている。ア
ーム部材4の一方の側面には固定部材5が取り付けら
れ、固定部材5には筒状の撮像用ヘッド6が装着されて
いる。撮像用ヘッド6にはレンズおよびCCDカメラが
内蔵されている。また、支持部材3の側部には振動吸収
用ダンパ7が取り付けられている。
FIG. 2 is a schematic perspective view mainly showing the structure of the image pickup section of the inspection apparatus of FIG. In FIG. 2, the X table 1 is movable in the X direction, and the inspection device main body (not shown).
Is attached to. A drive mechanism 2 for rotating and vertically moving the drive shaft 2a is attached to a lower portion of the X table 1. A support member 3 is attached to the lower end of the drive shaft 2 a, and an arcuate arm member 4 is slidably attached to the support member 3 at the lower end of the support member 3. A fixing member 5 is attached to one side surface of the arm member 4, and a cylindrical imaging head 6 is attached to the fixing member 5. The imaging head 6 has a lens and a CCD camera built therein. Further, a vibration absorbing damper 7 is attached to a side portion of the support member 3.

【0021】支持部材3の下方にはYテーブル8がY方
向に移動可能に検査装置本体(図示せず)に取り付けら
れている。Yテーブル8の上部には傾き調整機構を有す
る支持テーブル9が取り付けられている。支持テーブル
9上には電子部品が装着されたプリント基板等の検査対
象物10が載置される。
Below the support member 3, a Y table 8 is attached to an inspection apparatus body (not shown) so as to be movable in the Y direction. A support table 9 having a tilt adjusting mechanism is attached to the upper portion of the Y table 8. An inspection object 10 such as a printed circuit board on which electronic components are mounted is placed on the support table 9.

【0022】支持テーブル9の両側でかつ支持テーブル
9の上面よりも下方の位置には、例えば白色蛍光灯から
なる2つの照明器11が配設されている。そして、支持
部材3から2つの照明器11までを包囲するように、測
定ケース12が設置される。図においては、測定ケース
12は便宜上破線で示される。測定ケース12の前面部
121は上下にスライド可能となっており、前面部12
1を上方にスライドさせることにより測定ケース12の
前面から検査対象物10を交換することができる。ま
た、測定ケース12の上面部122の中央部に溝123
が形成されており、この溝123内で駆動軸2aがX方
向に移動可能となっている。
Two illuminators 11 made of, for example, white fluorescent lamps are arranged on both sides of the support table 9 and below the upper surface of the support table 9. Then, the measurement case 12 is installed so as to surround the support member 3 and the two illuminators 11. In the figure, the measurement case 12 is shown by a broken line for convenience. The front part 121 of the measurement case 12 is slidable up and down.
By sliding 1 upward, the inspection object 10 can be replaced from the front surface of the measurement case 12. In addition, a groove 123 is formed in the center of the upper surface 122 of the measurement case 12.
Is formed, and the drive shaft 2a is movable in the X direction in the groove 123.

【0023】測定ケース12の内面には拡散塗料として
白色塗料が塗布されている。それにより、照明器11か
ら放射された光が測定ケース12の内面で拡散され、拡
散光が検査対象物10の表面に照射される。
A white paint is applied to the inner surface of the measuring case 12 as a diffusion paint. Thereby, the light emitted from the illuminator 11 is diffused on the inner surface of the measurement case 12, and the surface of the inspection object 10 is irradiated with the diffused light.

【0024】Xテーブル1を移動させるための駆動用モ
ータ(図示せず)、Yテーブル8を移動させるための駆
動用モータ(図示せず)、駆動機構2、撮像用ヘッド6
に内蔵されるCCDカメラおよび2つの照明器11は、
ケーブル15を介してコントローラ13に接続されてい
る。
A drive motor (not shown) for moving the X table 1, a drive motor (not shown) for moving the Y table 8, a drive mechanism 2, an imaging head 6
The CCD camera and the two illuminators 11 built in the
It is connected to the controller 13 via a cable 15.

【0025】コントローラ13は、図1に示した制御部
20、駆動部23、記憶部24および電源回路を内蔵し
ている。コントローラ13には、操作部22により各種
指令が与えられる。プログラム作成者または検査員が操
作部22のキーを操作することにより、照明器11のオ
ン・オフ、Xテーブル1の移動、Yテーブル8の移動、
撮像用ヘッド6による撮像、および駆動軸2aの回転お
よび上下動を指令することができる。コントローラ13
には、図1のモニタ装置21が接続され、撮像用ヘッド
6により得られた画像がモニタ装置21に表示される。
The controller 13 contains the control unit 20, the drive unit 23, the storage unit 24 and the power supply circuit shown in FIG. Various commands are given to the controller 13 by the operation unit 22. By operating the keys of the operation unit 22 by the program creator or the inspector, the illuminator 11 is turned on / off, the X table 1 is moved, the Y table 8 is moved,
It is possible to instruct the imaging by the imaging head 6 and the rotation and vertical movement of the drive shaft 2a. Controller 13
1 is connected to the monitor device 21, and the image obtained by the imaging head 6 is displayed on the monitor device 21.

【0026】図3は操作部22の主要なキーを示す図で
ある。図3に示すように、操作部22は、撮像方向を左
方向に回転させるための左回転キーRL、右方向に回転
させるための右回転キーRR、撮像用ヘッド6による撮
像位置を画面上で左方向に移動させるための左シフトキ
ーL、右方向に移動させるための右シフトキーR、上方
に移動させるための上シフトキーUおよび下方に移動さ
せるための下シフトキーDを有する。さらに、操作部2
2は、制御部20をティーチングモードに設定するため
のティーチングモードキーTC、リピート動作を指令す
るためのリピートキーRP、等分割動作を指令するため
の等分割キーDV、キー入力をクリアするためのクリア
キーCL、スクロール動作を指令するためのスクロール
キーSC、およびキー入力を確定するためのリターンキ
ーRTを有する。
FIG. 3 is a diagram showing the main keys of the operation unit 22. As shown in FIG. 3, the operation unit 22 displays on the screen the left rotation key RL for rotating the imaging direction to the left, the right rotation key RR for rotating the imaging direction to the right, and the imaging position of the imaging head 6 on the screen. It has a left shift key L for moving to the left, a right shift key R for moving to the right, an upper shift key U for moving up, and a lower shift key D for moving down. Further, the operation unit 2
Reference numeral 2 denotes a teaching mode key TC for setting the control unit 20 in a teaching mode, a repeat key RP for instructing a repeat operation, an equal division key DV for instructing an equal division operation, and a key input for clearing a key input. It has a clear key CL, a scroll key SC for instructing a scroll operation, and a return key RT for confirming a key input.

【0027】次に、図4のフローチャートを参照しなが
ら図1の検査装置のリピート動作を説明する。まず、プ
ログラム作成者が操作部22のティーチングモードキー
TCを押すと、この検査装置は検査プログラムの作成状
態に設定される(ステップS1)。なお、検査プログラ
ムの作成後にこのティーチングモードキーTCを再度押
すと、ティーチングモードが解除され、この検査装置は
検査モードに設定される。
Next, the repeat operation of the inspection apparatus of FIG. 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, when the program creator presses the teaching mode key TC of the operation unit 22, the inspection apparatus is set to the inspection program creation state (step S1). When the teaching mode key TC is pressed again after creating the inspection program, the teaching mode is released and the inspection device is set to the inspection mode.

【0028】ティーチングモードにおいて、プログラム
作成者が操作部22のシフトキーL,R,U,Dにより
撮像用ヘッド6を第1の撮像位置P1 に移動させた後
(ステップS2)、リターンキーRTを押すと(ステッ
プS3)、制御部20は第1の撮像位置P1 を記憶部2
4に格納する(ステップS4)。
In the teaching mode, the program creator uses the shift keys L, R, U, D of the operation unit 22 to move the image pickup head 6 to the first image pickup position P 1 (step S2), and then presses the return key RT. When pressed (step S3), the control unit 20 sets the first imaging position P 1 to the storage unit 2
4 (step S4).

【0029】次に、プログラム作成者が操作部22のシ
フトキーL,R,U,Dにより撮像用ヘッド6を第2の
撮像位置P2 に移動させた後(ステップS5)、リター
ンキーRTを押すと(ステップS6)、制御部20は第
2の撮像位置P2 を記憶部24に格納する(ステップS
7)。
Next, the program creator moves the image pickup head 6 to the second image pickup position P 2 by using the shift keys L, R, U, D of the operation section 22 (step S5), and then presses the return key RT. Then (step S6), the control unit 20 stores the second imaging position P 2 in the storage unit 24 (step S6).
7).

【0030】その後、プログラム作成者が操作部22の
リピートキーRPを押すと(ステップS8)、制御部2
0は、1つ前の撮像位置Pn-1 すなわち第2の撮像位置
2および2つ前の撮像位置Pn-2 すなわち第1の撮像
位置P1 を記憶部24から読み出す(ステップS9)。
そして、制御部20は、次式により2つ前の撮像位置P
n-2 から1つ前の撮像位置Pn-1 までの移動距離ΔPを
算出する(ステップS10)。
After that, when the program creator presses the repeat key RP of the operation unit 22 (step S8), the control unit 2
0 reads out the previous image pickup position P n−1, that is, the second image pickup position P 2 and the second image pickup position P n−2, that is, the first image pickup position P 1 from the storage unit 24 (step S9). .
Then, the control unit 20 uses the following equation to calculate the image pickup position P two before.
A moving distance ΔP from n−2 to the immediately preceding imaging position P n−1 is calculated (step S10).

【0031】ΔP=Pn-1 −Pn-2 さらに、制御部20は、次式により今回の撮像位置Pn
を算出し(ステップS11)、算出された今回の撮像位
置Pn を記憶部24に格納する(ステップS12)。
ΔP = P n−1 −P n−2 Further, the control unit 20 uses the following equation to obtain the current imaging position P n.
Is calculated (step S11), and the calculated current imaging position P n is stored in the storage unit 24 (step S12).

【0032】Pn =Pn-1 +ΔP 次に、制御部20は、撮像用ヘッド6を今回の撮像位置
n に移動するように駆動部23に指示し(ステップS
13)、駆動部23が撮像部25の撮像用ヘッド6を今
回の撮像位置Pn に移動させる。
P n = P n-1 + ΔP Next, the control unit 20 instructs the drive unit 23 to move the imaging head 6 to the current imaging position P n (step S
13), the drive unit 23 moves the imaging head 6 of the imaging unit 25 to the current imaging position P n .

【0033】さらにプログラム作成者が操作部22のリ
ピートキーRPを押すと(ステップS8)、ステップS
9〜ステップS13の処理を繰り返す。それにより、図
5に示すように、第1の撮像位置P1 から第2の撮像位
置P2までの移動距離ΔPずつ撮像位置P2 から撮像位
置P3 へ、撮像位置P3 から撮像位置P4 へリピートキ
ーRPを押すごとに撮像用ヘッド6が移動し、撮像位置
1 ,P2 ,P3 ,P4 が検査点として検査プログラム
に書き込まれる。
When the program creator further presses the repeat key RP of the operation unit 22 (step S8), step S8
The processing from 9 to step S13 is repeated. As a result, as shown in FIG. 5, the moving distance ΔP from the first image pickup position P 1 to the second image pickup position P 2 is increased from the image pickup position P 2 to the image pickup position P 3 , and from the image pickup position P 3 to the image pickup position P. Every time the repeat key RP is pressed to 4 , the imaging head 6 moves, and the imaging positions P 1 , P 2 , P 3 , P 4 are written in the inspection program as inspection points.

【0034】このリピート動作においては、図5に示し
たように、移動方向が斜め方向であっても、撮像位置が
最初の移動距離ΔPずつ自動的に移動する。上記のリピ
ート動作によれば、第1の撮像位置P1 と第2の撮像位
置P2 との間の移動距離ΔPを1画面分よりも小さくと
ることにより、検査対象物のピンのピッチが画面の寸法
と合わない場合でも、検査対象物の一部をとばすことな
く全体を撮像することができる。
In this repeat operation, as shown in FIG. 5, even if the moving direction is diagonal, the image pickup position automatically moves by the initial moving distance ΔP. According to the above-mentioned repeat operation, the movement distance ΔP between the first image pickup position P 1 and the second image pickup position P 2 is set to be smaller than one screen, so that the pin pitch of the inspection object is changed to the screen. Even if the size does not match the size of, the entire object can be imaged without skipping a part of the inspection object.

【0035】次に、図6のフローチャートを参照しなが
ら図1の検査装置の等分割動作を説明する。プログラム
作成者が操作部22のティーチングモードキーTCを押
すと、検査装置はティーチングモードに設定される(ス
テップS11)。プログラム作成者が操作部22のシフ
トキーL,R,U,Dにより撮像用ヘッド6を第1の撮
像位置P1 に移動させた後(ステップS12)、リター
ンキーRTを押すと(ステップ13)、制御部20は第
1の撮像位置P1 を記憶部24に格納する(ステップS
14)。
Next, the equal division operation of the inspection apparatus of FIG. 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. When the program creator presses the teaching mode key TC of the operation unit 22, the inspection device is set to the teaching mode (step S11). After the program creator moves the imaging head 6 to the first imaging position P 1 by using the shift keys L, R, U, D of the operation unit 22 (step S12), and presses the return key RT (step 13), The control unit 20 stores the first imaging position P 1 in the storage unit 24 (step S
14).

【0036】次に、プログラム作成者が操作部22のシ
フトキーL,R,U,Dにより撮像用ヘッド6を第2の
撮像位置P2 に移動させた後(ステップS15)、リタ
ーンキーRTを押すと(ステップS16)、制御部20
は第2の撮像位置P2 を記憶部24に格納する(ステッ
プS17)。
Next, the program creator moves the image pickup head 6 to the second image pickup position P 2 with the shift keys L, R, U, D of the operation section 22 (step S15), and then presses the return key RT. (Step S16), the control unit 20
Stores the second imaging position P 2 in the storage unit 24 (step S17).

【0037】次に、プログラム作成者が操作部22の等
分割キーDVを押すと(ステップS18)、制御部20
は、モニタ装置21によりプログラム作成者に分割数Q
の入力を促す(ステップS19)。プログラム作成者が
操作部22の数字キー(図示せず)により分割数Qを入
力すると(ステップS20)、制御部20は次式により
移動距離dを算出する(ステップS21)。
Next, when the program creator presses the equal division key DV of the operation unit 22 (step S18), the control unit 20
Indicates to the program creator the number of divisions Q by the monitor device 21.
Is prompted (step S19). When the program creator inputs the number of divisions Q with the numeric keys (not shown) of the operation unit 22 (step S20), the control unit 20 calculates the moving distance d by the following equation (step S21).

【0038】d=(P2 −P1 )/Q 次に、制御部20は次式により中間撮像位置P(i)を
算出する(ステップS22)。
D = (P 2 -P 1 ) / Q Next, the control section 20 calculates the intermediate image pickup position P (i) by the following equation (step S22).

【0039】P(i)=P1 +id ここで、Q=nの場合には、i=1,2,…,n−1で
ある。例えば、分割数Qが3の場合には、図7に示すよ
うに、第1の撮像位置P1 と第2の撮像位置P2 との間
を3等分した中間撮像位置P(1),P(2)が算出さ
れ、撮像位置P1 ,P(1),P(2),P2 が検査点
として検査プログラムに書き込まれる。
P (i) = P 1 + id Here, when Q = n, i = 1, 2, ..., N-1. For example, when the division number Q is 3, as shown in FIG. 7, an intermediate imaging position P (1), which is obtained by equally dividing the first imaging position P 1 and the second imaging position P 2 into three, P (2) is calculated, and the imaging positions P 1 , P (1), P (2), and P 2 are written in the inspection program as inspection points.

【0040】この等分割動作においても、図7に示した
ように、第1の撮像位置P1 と第2の撮像位置P2 とが
斜め方向にあっても、中間撮像位置が自動的に算出され
る。上記の等分割動作によれば、第1の撮像位置P1
第2の撮像位置P2 との間の距離を大きくとることによ
り、移動量の誤差が低減され、かつ繰り返し作業の回数
が減らされる。
Also in this equal division operation, as shown in FIG. 7, even if the first image pickup position P 1 and the second image pickup position P 2 are in the oblique direction, the intermediate image pickup position is automatically calculated. To be done. According to the above-described equal division operation, by increasing the distance between the first imaging position P 1 and the second imaging position P 2 , the error of the movement amount is reduced and the number of repetitive operations is reduced. Be done.

【0041】図1の検査装置は図8に示すように撮像位
置を左右および前後に1画面分スクロールするスクロー
ル動作を行うこともできる。プログラム作成者が操作部
22のスクロールキーSCおよび左シフトキーLを押す
と、撮像用ヘッド6が現在の撮像位置P0 から1画面分
左へシフトした位置PLに移動し、リターンキーRTを
押すと撮像位置PLが検査点として検査プログラムに書
き込まれる。同様に、スクロールキーSCおよび右シフ
トキーRを押すと撮像用ヘッド6が現在の撮像位置P0
から1画面分右へシフトした位置PRに移動し、スクロ
ールキーSCおよび上シフトキーUを押すと撮像用ヘッ
ド6が現在の撮像位置P0 から1画面分上へシフトした
位置PUに移動し、スクロールキーSCおよび下シフト
キーDを押すと撮像用ヘッド6が現在の撮像位置P0
ら1画面分下へシフトした位置PDに移動する。
As shown in FIG. 8, the inspection apparatus of FIG. 1 can also perform a scroll operation of scrolling the image pickup position left and right and front and back by one screen. When the program creator presses the scroll key SC and the left shift key L of the operation unit 22, the imaging head 6 moves to the position PL shifted left by one screen from the current imaging position P 0 and presses the return key RT. The imaging position PL is written in the inspection program as an inspection point. Similarly, when the scroll key SC and the right shift key R are pressed, the imaging head 6 is moved to the current imaging position P 0.
From the current imaging position P 0 to the position PU shifted up by one screen when the scroll key SC and the up shift key U are pressed, the image pickup head 6 moves to a position PU shifted up by one screen and scrolls. When the key SC and the down shift key D are pressed, the imaging head 6 moves to the position PD which is shifted down one screen from the current imaging position P 0 .

【0042】上記のスクロール動作によれば、検査対象
物の全体を重複することなく順次撮像することができ
る。
According to the scroll operation described above, the entire inspection object can be sequentially imaged without overlapping.

【0043】[0043]

【発明の効果】第1および第2の発明によれば、前回の
移動距離に基づいて次の撮像位置が自動的に算出される
ので、複数の検査点の位置決め作業を正確にかつ効率よ
く行うことが可能となる。
According to the first and second aspects of the present invention, since the next image pickup position is automatically calculated based on the previous moving distance, the positioning work of a plurality of inspection points can be performed accurately and efficiently. It becomes possible.

【0044】第3および第4の発明によれば、第1の撮
像位置および第2の撮像位置に基づいて中間の撮像位置
が算出されるので、複数の検査点の位置決め作業を正確
にかつ効率よく行うことが可能となる。
According to the third and fourth inventions, since the intermediate image pickup position is calculated based on the first image pickup position and the second image pickup position, the work of positioning a plurality of inspection points can be performed accurately and efficiently. It becomes possible to do well.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例における検査装置の構成を示
すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の検査装置の主として撮像部の構成を示す
概略斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view mainly showing a configuration of an image pickup section of the inspection device of FIG.

【図3】図1の検査装置の操作部の主なキーを示す図で
ある。
FIG. 3 is a diagram showing main keys of an operation unit of the inspection device in FIG.

【図4】図1の検査装置のリピート動作を説明するため
のフローチャートである。
4 is a flowchart for explaining a repeat operation of the inspection device of FIG.

【図5】リピート動作の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a repeat operation.

【図6】図1の検査装置の等分割動作を説明するための
フローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart for explaining an equal division operation of the inspection device of FIG.

【図7】等分割動作の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of an equal division operation.

【図8】図1の検査装置のスクロール動作を示す図であ
る。
8 is a diagram showing a scroll operation of the inspection device of FIG.

【図9】検査装置における検査点の位置決め作業を説明
するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining an inspection point positioning operation in the inspection apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 Xテーブル 6 撮像用ヘッド 8 Yテーブル 9 支持テーブル 10 検査対象物 20 制御部 21 モニタ装置 22 操作部 23 駆動部 24 記憶部 25 撮像部 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X table 6 Imaging head 8 Y table 9 Support table 10 Inspection object 20 Control part 21 Monitoring device 22 Operation part 23 Driving part 24 Storage part 25 Imaging part In addition, the same code | symbol shows each same or corresponding part.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査対象物を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段による検査対象物の撮像位置を移動させる
移動手段と、 前記移動手段による前回の撮像位置の移動距離に基づい
て次の撮像位置を算出する演算手段とを備えた検査装
置。
1. An image pickup means for picking up an image of an inspection object, a moving means for moving an image pickup position of the inspection object by the image pickup means, and a next image pickup position based on a moving distance of a previous image pickup position by the moving means. An inspection apparatus comprising: a calculation means for calculating
【請求項2】 前記演算手段は、現在の撮像位置から前
回の移動距離と同じ距離だけ移動した位置を次の撮像位
置として算出することを特徴とする請求項1記載の検査
装置。
2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the calculation unit calculates a position moved from the current image pickup position by the same distance as the previous movement distance as the next image pickup position.
【請求項3】 検査対象物を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段による検査対象物の第1の撮像位置および
第2の撮像位置に基づいて中間の撮像位置を算出する演
算手段とを備えた検査装置。
3. An image pickup means for picking up an image of an inspection object, and a calculation means for calculating an intermediate image pickup position based on a first image pickup position and a second image pickup position of the inspection object by the image pickup means. Inspection device.
【請求項4】 前記演算手段は、前記第1の撮像位置と
前記第2の撮像位置との間を与えられた数に等分した位
置を中間の撮像位置として算出することを特徴とする請
求項3記載の検査装置。
4. The calculation means calculates a position, which is equally divided into a given number, between the first image pickup position and the second image pickup position as an intermediate image pickup position. Item 3. The inspection device according to item 3.
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