JPH07325042A - Inspection apparatus - Google Patents

Inspection apparatus

Info

Publication number
JPH07325042A
JPH07325042A JP6143892A JP14389294A JPH07325042A JP H07325042 A JPH07325042 A JP H07325042A JP 6143892 A JP6143892 A JP 6143892A JP 14389294 A JP14389294 A JP 14389294A JP H07325042 A JPH07325042 A JP H07325042A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
screen
inspection object
inspection
imaging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6143892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Inomata
政寛 猪俣
Satoru Matsushita
悟 松下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Keyence Corp
Original Assignee
Keyence Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Keyence Corp filed Critical Keyence Corp
Priority to JP6143892A priority Critical patent/JPH07325042A/en
Publication of JPH07325042A publication Critical patent/JPH07325042A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Analysis (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an inspection apparatus at low cost by which the transportation direction instructed on a screen and the transportation direction of an object to be inspected on the screen are made the same independently of the image taking direction. CONSTITUTION:A control part 20 instructs an image taking direction of an image taking head of an image taking part from a driving part 23 and changes the transportation direction instructed by a shift key of an operation part 22 to an actual transportation direction of an object to be inspected. The driving part 23 transports the object to be inspected relatively to the image taking head along the actual transportation direction obtained by the control part 20. Consequently, the object to be inspected is made to move on a screen in the transportation direction instructed by the shift key of the operation part 22 while the image on the screen of a monitor apparatus 21 being observed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物を任意の方
向から撮像して画面上で検査するための検査装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for picking up an image of an object to be inspected from an arbitrary direction and inspecting it on a screen.

【0002】[0002]

【従来の技術】種々の電子部品を用いて電子機器を構成
する場合には、パターン配線が形成されたプリント基板
上に電子部品を配置した後、電子部品のリード線をプリ
ント基板上のパターン配線に半田付けする。そして、電
子部品の装着後、各電子部品のリード線とプリント基板
のパターン配線との半田付け状態、リード線の曲がり具
合等を検査する必要があるが、最近の電子部品およびパ
ターン配線の微細化に伴って、肉眼だけでは十分な検査
を行うことが困難な場合が多い。
2. Description of the Related Art When an electronic device is constructed by using various electronic parts, after the electronic parts are arranged on a printed circuit board on which pattern wiring is formed, the lead wires of the electronic parts are patterned on the printed circuit board. Solder to. After mounting the electronic components, it is necessary to inspect the soldering state of the lead wires of each electronic component and the pattern wiring of the printed circuit board, the bending degree of the lead wires, and the like. Therefore, it is often difficult to perform a sufficient examination with the naked eye.

【0003】このような場合、電子部品が装着されたプ
リント基板を撮像し、画面上の拡大された画像に基づい
て検査を行うことができる検査装置が開発されている。
このような検査装置では、検査対象物を撮像装置に対し
て左右方向(以下、X方向と呼ぶ)および前後方向(以
下、Y方向と呼ぶ)に移動することによって、検査対象
物の任意の検査点を画面上で拡大して観察し、検査する
ことができる。
In such a case, an inspection device has been developed which is capable of taking an image of a printed circuit board on which electronic components are mounted and performing an inspection based on an enlarged image on the screen.
In such an inspection device, an arbitrary inspection of the inspection target is performed by moving the inspection target in the left-right direction (hereinafter referred to as the X direction) and the front-back direction (hereinafter referred to as the Y direction) with respect to the imaging device. The dots can be magnified and viewed on the screen for inspection.

【0004】最近では、検査対象物の複数の検査点を記
憶させることにより検査手順をプログラムすることがで
きる検査装置が開発されている。これにより、検査員が
検査対象物を検査点に移動させる作業が自動化される。
Recently, an inspection apparatus has been developed which can program an inspection procedure by storing a plurality of inspection points of an inspection object. As a result, the work of the inspector moving the inspection object to the inspection point is automated.

【0005】また、検査対象物を一方向からだけではな
く、任意の方向から撮像することができる検査装置も開
発されている。この種の検査装置では、図15の(a)
に示すように、支持テーブル9上の検査対象物10を斜
め45°の上方に設置された撮像用ヘッド6により撮像
し、撮像用ヘッド6を水平面内で回転させることによ
り、図15の(b)に示すように、検査対象物10を前
方30F、左方向30L、後方30Bおよび右方向30
Rのように任意の方向から撮像することができる。
Further, an inspection apparatus has been developed which can take an image of an object to be inspected not only from one direction but also from any direction. In this type of inspection device, FIG.
As shown in FIG. 15B, the inspection target 10 on the support table 9 is imaged by the imaging head 6 installed obliquely above 45 °, and the imaging head 6 is rotated in a horizontal plane, thereby ), The inspection object 10 is moved forward 30F, left 30L, rear 30B and right 30.
An image can be taken from any direction like R.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】通常、検査プログラム
を作成するプログラム作成者は、任意の方向から検査対
象物10を観察しながら検査対象物10を撮像用ヘッド
6に相対的にX方向またはY方向に移動させ、検査対象
物10の複数の検査点を順次検査プログラムとして検査
装置に記憶させる。検査対象物10が小さい場合または
検査対象物10を直接見ることが困難な場合には、プロ
グラム作成者は、画面に映し出された画像を見ながら検
査対象物10をX方向またはY方向に移動させることに
なる。
Usually, a program creator who creates an inspection program observes the inspection object 10 from an arbitrary direction and moves the inspection object 10 relative to the imaging head 6 in the X direction or Y direction. The inspection object 10 is sequentially stored in the inspection device as an inspection program. When the inspection object 10 is small or when it is difficult to directly see the inspection object 10, the program creator moves the inspection object 10 in the X direction or the Y direction while watching the image displayed on the screen. It will be.

【0007】しかしながら、検査対象物10の撮像方向
によって画面上の画像の向きが異なるため、検査対象物
10の画面上の方向と検査対象物10の実際の移動方向
との関係が撮像方向によって異なることになる。
However, since the orientation of the image on the screen differs depending on the imaging direction of the inspection object 10, the relationship between the on-screen direction of the inspection object 10 and the actual moving direction of the inspection object 10 differs depending on the imaging direction. It will be.

【0008】図15の(b)に示した前方30Fから検
査対象物10を撮像した場合の画面の状態を図16の
(a)に示し、左方向30Lから検査対象物10を撮像
した場合の画面の状態を図16の(b)に示す。
The state of the screen when the inspection object 10 is imaged from the front 30F shown in FIG. 15B is shown in FIG. 16A, and when the inspection object 10 is imaged from the left direction 30L. The state of the screen is shown in FIG.

【0009】図16の(a)に示すように、検査対象物
10を前方から撮像した場合には、丸印が左上に位置す
るように検査対象物10が画面210に映し出されるの
に対し、図16の(b)に示すように、検査対象物10
を左方向から撮像した場合には、丸印が左下に位置する
ように検査対象物10が画面210に映し出される。
As shown in FIG. 16A, when the inspection object 10 is imaged from the front, the inspection object 10 is displayed on the screen 210 so that the circle mark is located at the upper left, whereas As shown in FIG. 16B, the inspection object 10
When the image is captured from the left, the inspection object 10 is displayed on the screen 210 so that the circle mark is located at the lower left.

【0010】図16の(a)に示す画面210を見なが
ら操作盤の左シフトキーLまたは右シフトキーRを押す
と、検査対象物10はX方向に移動し、画面210上で
も検査対象物10は左右に移動する。また、操作盤の上
シフトキーUまたは下シフトキーDを押すと、検査対象
物10はY方向に移動し、画面210上で検査対象物1
0は上下方向に移動する。これに対して、図16の
(b)に示す画面210を見ながら左シフトキーLまた
は右シフトキーRを押すと、検査対象物10はX方向に
移動し、画面210上で検査対象物10は上下方向に移
動する。また、上シフトキーUまたは下シフトキーDを
押すと、検査対象物10はY方向に移動し、画面210
上で検査対象物10は左右方向に移動する。
When the left shift key L or the right shift key R of the operation panel is pressed while looking at the screen 210 shown in FIG. 16 (a), the inspection object 10 moves in the X direction, and the inspection object 10 is also displayed on the screen 210. Move left and right. When the upper shift key U or the lower shift key D on the operation panel is pressed, the inspection object 10 moves in the Y direction, and the inspection object 1 is displayed on the screen 210.
0 moves up and down. On the other hand, when the left shift key L or the right shift key R is pressed while looking at the screen 210 shown in FIG. 16B, the inspection object 10 moves in the X direction, and the inspection object 10 moves up and down on the screen 210. Move in the direction. When the up shift key U or the down shift key D is pressed, the inspection object 10 moves in the Y direction and the screen 210
The inspection object 10 moves to the left and right above.

【0011】このように、操作盤のシフトキーにより指
示する方向と画面上の検査対象物の移動方向との関係が
撮像方向によって異なる。そのため、プログラム作成者
が画面を見ながら検査対象物を移動させる作業が非常に
困難となる。
As described above, the relationship between the direction designated by the shift key on the operation panel and the moving direction of the inspection object on the screen differs depending on the imaging direction. Therefore, it becomes very difficult for the program creator to move the inspection object while looking at the screen.

【0012】そこで、撮像用ヘッド自体を撮像方向に応
じて回転させることも考えられるが、この場合、撮像用
ヘッドの回転のために大掛かりな回転機構および制御装
置が必要となる。それにより、検査装置が高価になると
いう問題があった。
Therefore, it is conceivable to rotate the image pickup head itself according to the image pickup direction, but in this case, a large-scale rotation mechanism and a control device are required for the rotation of the image pickup head. Therefore, there is a problem that the inspection device becomes expensive.

【0013】それゆえに、本発明の目的は、撮像方向の
いかんにかかわらず画面上で指示した移動方向と画面上
での検査対象物の移動方向とが一致する検査装置を安価
なコストで提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to provide an inspection apparatus at a low cost, in which the moving direction instructed on the screen and the moving direction of the inspection object match on the screen regardless of the imaging direction. That is.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本明細書中において、検
査対象物の移動とは、撮像手段に対する相対的な移動を
意味し、検査対象物自体を移動させる場合および撮像手
段を移動させることにより検査対象物を撮像手段に対し
て相対的に移動させる場合の両方を含む。
In the present specification, the movement of the inspection object means a relative movement with respect to the image pickup means, and when moving the inspection object itself or by moving the image pickup means. This includes both cases where the inspection object is moved relative to the imaging means.

【0015】(1)第1の発明 第1の発明に係る検査装置は、撮像手段、表示手段、方
向指示手段、移動方向変換手段および移動手段を備え
る。
(1) First Invention An inspection apparatus according to the first invention comprises an image pickup means, a display means, a direction indicating means, a moving direction converting means and a moving means.

【0016】撮像手段は、検査対象物を任意の方向から
撮像する。表示手段は、撮像手段により撮像された検査
対象物の画像を画面に表示する。方向指示手段は、表示
手段の画面上における検査対象物の移動方向を指示す
る。移動方向変換手段は、表示手段の画面上の検査対象
物が方向指示手段により指示された方向に移動するよう
に、撮像手段の撮像方向に基づいて方向指示手段により
指示された移動方向を検査対象物の実際の移動方向に変
換する。移動手段は、移動方向変換手段により得られた
移動方向に沿って検査対象物を撮像手段に対して相対的
に移動させる。
The image pickup means picks up an image of the inspection object from any direction. The display means displays the image of the inspection object imaged by the imaging means on the screen. The direction indicating means indicates the moving direction of the inspection target on the screen of the display means. The moving direction converting means sets the moving direction instructed by the direction instructing means based on the imaging direction of the imaging means so that the inspection object on the screen of the display means moves in the direction instructed by the direction instructing means. Convert to the actual moving direction of the object. The moving means moves the inspection object relative to the imaging means along the moving direction obtained by the moving direction converting means.

【0017】(2)第2の発明 第2の発明に係る検査装置は、第1の発明に係る検査装
置の構成において、移動方向変換手段が、方向指示手段
により指示された移動方向および撮像手段の撮像方向を
それぞれ基準方向からの角度で表わし、それぞれの角度
の和に関する三角関数により検査対象物の実際の移動方
向を算出することを特徴とする。
(2) Second invention In the inspection apparatus according to the second invention, in the configuration of the inspection apparatus according to the first invention, the movement direction conversion means has the movement direction and the imaging means instructed by the direction instruction means. Each of the imaging directions is represented by an angle from the reference direction, and the actual moving direction of the inspection object is calculated by a trigonometric function relating to the sum of the respective angles.

【0018】(3)第3の発明 第3の発明に係る検査装置は、撮像手段、画像回転手段
および表示手段を備える。撮像手段は、検査対象物を任
意の方向から撮像する。画像回転手段は、撮像手段によ
り撮像された検査対象物の画像を撮像手段の撮像方向に
基づいて回転させる。表示手段は、画像回転手段により
回転された画像を画面に表示する。
(3) Third Invention An inspection apparatus according to the third invention comprises an image pickup means, an image rotation means and a display means. The imaging means images the inspection object from an arbitrary direction. The image rotation means rotates the image of the inspection object imaged by the imaging means based on the imaging direction of the imaging means. The display means displays the image rotated by the image rotation means on the screen.

【0019】(4)第4の発明 第4の発明に係る検査装置は、第3の発明に係る検査装
置の構成において、画像回転手段が、撮像手段の撮像方
向を基準方向からの角度で表わし、撮像手段により得ら
れた画像を前記角度だけ回転させることを特徴とする。
(4) Fourth Invention In the inspection apparatus according to the fourth invention, in the configuration of the inspection apparatus according to the third invention, the image rotation means represents the image pickup direction of the image pickup means by an angle from the reference direction. The image obtained by the image pickup means is rotated by the angle.

【0020】[0020]

【作用】第1および第2の発明に係る検査装置において
は、表示手段の画面上で検査対象物の移動方向を指示す
ると、画面上で指示された移動方向が撮像方向に基づい
て検査対象物の実際の移動方向に変換され、変換された
移動方向に沿って検査対象物が撮像手段に対して相対的
に移動する。それにより、操作者が画面を見ながら指示
した移動方向と画面上での検査対象物の移動方向とが撮
像方向のいかんにかかわらず一致する。したがって、検
査点となる撮像位置の移動が容易になる。
In the inspection apparatus according to the first and second aspects of the invention, when the moving direction of the inspection object is instructed on the screen of the display means, the moving direction instructed on the screen is based on the imaging direction. Is converted to the actual movement direction of the object, and the inspection target object moves relatively to the imaging means along the converted movement direction. As a result, the moving direction instructed by the operator while looking at the screen matches the moving direction of the inspection target on the screen regardless of the imaging direction. Therefore, it becomes easy to move the imaging position that is the inspection point.

【0021】第3および第4の発明に係る検査装置にお
いては、撮像手段により撮像された検査対象物の画像が
撮像方向に基づいて回転され、回転された画像が画面に
表示される。それにより、撮像方向のいかんにかかわら
ず検査対象物が一定の向きで画面上に表示されるので、
操作者が画面を見ながら指示した移動方向と画面上での
検査対象物の移動方向とが一致する。したがって、検査
点となる撮像位置の移動が容易になる。
In the inspection apparatus according to the third and fourth aspects of the invention, the image of the inspection object imaged by the image pickup means is rotated based on the image pickup direction, and the rotated image is displayed on the screen. As a result, the inspection object is displayed on the screen in a fixed orientation regardless of the imaging direction.
The moving direction designated by the operator while looking at the screen matches the moving direction of the inspection target on the screen. Therefore, it becomes easy to move the imaging position that is the inspection point.

【0022】[0022]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。図1は本発明の一実施例における検査
装置の構成を示すブロック図である。図1の検査装置
は、制御部20、モニタ装置21、操作部22、駆動部
23、記憶部24および撮像部25を含む。プログラム
作成者および検査員は操作部22の各種キーを用いて制
御部20に各種指令を与えることができる。制御部20
は、操作部22からの各種指令に基づいてモニタ装置2
1、駆動部23、記憶部24および撮像部25の動作を
制御するとともに、移動方向変換のための演算を行う。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. The inspection device in FIG. 1 includes a control unit 20, a monitor device 21, an operation unit 22, a drive unit 23, a storage unit 24, and an imaging unit 25. The program creator and the inspector can give various commands to the control unit 20 by using various keys of the operation unit 22. Control unit 20
Is based on various commands from the operation unit 22.
1, the operation of the drive unit 23, the storage unit 24, and the imaging unit 25 is controlled, and calculation for moving direction conversion is performed.

【0023】記憶部24は、プログラム作成者により作
成された検査プログラムを記憶するとともに、制御部2
0から与えられた演算結果を記憶する。駆動部23は、
制御部20からの指示により撮像部25の撮像位置およ
び撮像方向を制御する。撮像部25は、制御部20から
の制御信号に応答して検査対象物の撮像を行い、撮像に
より得られた画像データをモニタ装置21に与える。モ
ニタ装置21は、撮像部25から与えられた画像データ
を画像として画面に表示する。
The storage unit 24 stores the inspection program created by the program creator, and also controls the control unit 2.
The calculation result given from 0 is stored. The drive unit 23 is
The image pickup position and the image pickup direction of the image pickup unit 25 are controlled by an instruction from the control unit 20. The image capturing unit 25 captures an image of the inspection target in response to the control signal from the control unit 20, and provides the monitor device 21 with the image data obtained by the image capturing. The monitor device 21 displays the image data supplied from the image pickup unit 25 as an image on the screen.

【0024】図2は図1の検査装置の主として撮像部の
構成を示す概略斜視図である。図2において、Xテーブ
ル1は、X方向に移動可能に検査装置本体(図示せず)
に取り付けられている。Xテーブル1の下部には駆動軸
2aを回転および上下動させるための駆動機構2が取り
付けられている。駆動軸2aの下端には支持部材3が取
り付けられ、支持部材3の下端部には円弧状のアーム部
材4が支持部材3に対し摺動自在に装着されている。ア
ーム部材4の一方の側面には固定部材5が取り付けら
れ、固定部材5には筒状の撮像用ヘッド6が装着されて
いる。撮像用ヘッド6にはレンズおよびCCDカメラが
内蔵されている。また、支持部材3の側部には振動吸収
用ダンパ7が取り付けられている。
FIG. 2 is a schematic perspective view mainly showing the structure of the image pickup section of the inspection apparatus of FIG. In FIG. 2, the X table 1 is movable in the X direction, and the inspection device main body (not shown).
Is attached to. A drive mechanism 2 for rotating and vertically moving the drive shaft 2a is attached to a lower portion of the X table 1. A support member 3 is attached to the lower end of the drive shaft 2 a, and an arcuate arm member 4 is slidably attached to the support member 3 at the lower end of the support member 3. A fixing member 5 is attached to one side surface of the arm member 4, and a cylindrical imaging head 6 is attached to the fixing member 5. The imaging head 6 has a lens and a CCD camera built therein. Further, a vibration absorbing damper 7 is attached to a side portion of the support member 3.

【0025】支持部材3の下方にはYテーブル8がY方
向に移動可能に検査装置本体(図示せず)に取り付けら
れている。Yテーブル8の上部には傾き調整機構を有す
る支持テーブル9が取り付けられている。支持テーブル
9上には電子部品が装着されたプリント基板等の検査対
象物10が載置される。
Below the support member 3, a Y table 8 is attached to an inspection apparatus body (not shown) so as to be movable in the Y direction. A support table 9 having a tilt adjusting mechanism is attached to the upper portion of the Y table 8. An inspection object 10 such as a printed circuit board on which electronic components are mounted is placed on the support table 9.

【0026】支持テーブル9の両側でかつ支持テーブル
9の上面よりも下方の位置には、例えば白色蛍光灯から
なる2つの照明器11が配設されている。そして、支持
部材3から2つの照明器11までを包囲するように、測
定ケース12が設置される。図においては、測定ケース
12は便宜上破線で示される。測定ケース12の前面部
121は上下にスライド可能となっており、前面部12
1を上方にスライドさせることにより測定ケース12の
前面から検査対象物10を交換することができる。ま
た、測定ケース12の上面部122の中央部に溝123
が形成されており、この溝123内で駆動軸2aがX方
向に移動可能となっている。
Two illuminators 11 made of, for example, white fluorescent lamps are arranged on both sides of the support table 9 and below the upper surface of the support table 9. Then, the measurement case 12 is installed so as to surround the support member 3 and the two illuminators 11. In the figure, the measurement case 12 is shown by a broken line for convenience. The front part 121 of the measurement case 12 is slidable up and down.
By sliding 1 upward, the inspection object 10 can be replaced from the front surface of the measurement case 12. In addition, a groove 123 is formed in the center of the upper surface 122 of the measurement case 12.
Is formed, and the drive shaft 2a is movable in the X direction in the groove 123.

【0027】測定ケース12の内面には拡散塗料として
白色塗料が塗布されている。それにより、照明器11か
ら放射された光が測定ケース12の内面で拡散され、拡
散光が検査対象物10の表面に照射される。
A white paint is applied to the inner surface of the measuring case 12 as a diffusion paint. Thereby, the light emitted from the illuminator 11 is diffused on the inner surface of the measurement case 12, and the surface of the inspection object 10 is irradiated with the diffused light.

【0028】Xテーブル1を移動させるための駆動用モ
ータ(図示せず)、Yテーブル8を移動させるための駆
動用モータ(図示せず)、駆動機構2、撮像用ヘッド6
に内蔵されるCCDカメラおよび2つの照明器11は、
ケーブル15を介してコントローラ13に接続されてい
る。
A drive motor (not shown) for moving the X table 1, a drive motor (not shown) for moving the Y table 8, a drive mechanism 2, an imaging head 6
The CCD camera and the two illuminators 11 built in the
It is connected to the controller 13 via a cable 15.

【0029】コントローラ13は、図1に示した制御部
20、駆動部23、記憶部24および電源回路を内蔵し
ている。コントローラ13には、操作部22により各種
指令が与えられる。プログラム作成者または検査員が操
作部22のキーを操作することにより、照明器11のオ
ン・オフ、Xテーブル1の移動、Yテーブル8の移動、
撮像用ヘッド6による撮像、および駆動軸2aの回転お
よび上下動を指令することができる。コントローラ13
には、図1のモニタ装置21が接続され、撮像用ヘッド
6により得られた画像がモニタ装置21に表示される。
The controller 13 contains the control unit 20, the drive unit 23, the storage unit 24 and the power supply circuit shown in FIG. Various commands are given to the controller 13 by the operation unit 22. By operating the keys of the operation unit 22 by the program creator or the inspector, the illuminator 11 is turned on / off, the X table 1 is moved, the Y table 8 is moved,
It is possible to instruct the imaging by the imaging head 6 and the rotation and vertical movement of the drive shaft 2a. Controller 13
1 is connected to the monitor device 21, and the image obtained by the imaging head 6 is displayed on the monitor device 21.

【0030】次に、図3〜図6を参照しながら制御部2
0の移動方向変換動作を説明する。本実施例では、図3
に示すように、検査対象物10を中心として、左方向に
x軸の正方向をとり、前方(手前)にy軸の正方向をと
り、上方にz軸の正方向をとる。そして、撮像用ヘッド
6の撮像方向をy軸を基準とした時計回りの角度φで表
す。
Next, referring to FIGS. 3 to 6, the control unit 2
The movement direction conversion operation of 0 will be described. In this embodiment, FIG.
As shown in FIG. 3, centering on the inspection object 10, the positive direction of the x-axis is taken to the left, the positive direction of the y-axis is taken forward (front), and the positive direction of the z-axis is taken upward. The imaging direction of the imaging head 6 is represented by a clockwise angle φ with the y axis as a reference.

【0031】図4に示すように、検査対象物10の前方
30Fから撮像した場合にはφ=0°となり、左方向3
0Lから撮像した場合にはφ=90°となる。後方30
Bから撮像した場合にはφ=180°となり、右方向3
0Rから撮像した場合にはφ=270°となる。
As shown in FIG. 4, when an image is taken from the front 30F of the inspection object 10, φ = 0 °, and the leftward direction 3
When imaged from 0L, φ = 90 °. Backward 30
When the image is taken from B, φ = 180 °, which is 3 to the right.
When imaged from 0R, φ = 270 °.

【0032】図5に操作部22におけるシフトキーを示
す。ここで、シフトキーにより指示される移動方向を角
度αで表す。下シフトキーDはα=0°に対応し、左シ
フトキーLはα=90°に対応し、上シフトキーUはα
=180°に対応し、右シフトキーRはα=270°に
対応している。また、撮像用ヘッド6と検査対象物10
との間の相対的な移動距離dはシフトキーを押している
時間に対応している。
FIG. 5 shows shift keys in the operation unit 22. Here, the moving direction designated by the shift key is represented by an angle α. The down shift key D corresponds to α = 0 °, the left shift key L corresponds to α = 90 °, and the up shift key U corresponds to α.
= 180 °, and the right shift key R corresponds to α = 270 °. Further, the imaging head 6 and the inspection object 10
The relative movement distance d between and corresponds to the time when the shift key is pressed.

【0033】図6に制御部20の移動方向変換動作の手
順を示す。プログラム作成者は、モニタ装置21の画面
を見ながら検査対象物10の移動方向を操作部22のシ
フトキーを用いて指示する。
FIG. 6 shows the procedure of the movement direction changing operation of the control unit 20. The program creator uses the shift key of the operation unit 22 to instruct the moving direction of the inspection object 10 while looking at the screen of the monitor device 21.

【0034】まず、制御部20は、駆動部23から撮像
用ヘッド6の角度φを入力する(ステップS1)。ま
た、制御部20は、操作部22からのキー入力を受け、
移動方向を示す角度αおよび移動距離dを求める(ステ
ップS2)。そして、制御部20は、次式によりX方向
の移動量xおよびY方向の移動量yを算出する(ステッ
プS3)。
First, the control unit 20 inputs the angle φ of the imaging head 6 from the drive unit 23 (step S1). Further, the control unit 20 receives a key input from the operation unit 22,
An angle α indicating the moving direction and a moving distance d are obtained (step S2). Then, the control unit 20 calculates the movement amount x in the X direction and the movement amount y in the Y direction by the following expressions (step S3).

【0035】x=dsin(φ+α) …(1) y=dcos(φ+α) …(2) さらに、制御部20は、式(1),(2)により算出し
た移動量x,yを駆動部23に出力する(ステップS
4)。
X = dsin (φ + α) (1) y = dcos (φ + α) (2) Further, the control unit 20 sets the movement amounts x and y calculated by the equations (1) and (2) to the driving unit 23. Output to (step S
4).

【0036】駆動部23は、図2のXテーブル1および
Yテーブル8を移動させることにより検査対象物10を
撮像用ヘッド6に対して相対的にX方向およびY方向に
それぞれ移動量xおよび移動量yだけ移動させる。
The drive unit 23 moves the X table 1 and the Y table 8 in FIG. 2 to move the inspection object 10 relative to the imaging head 6 in the X direction and the Y direction, respectively, by the movement amount x and the movement amount. Move by the amount y.

【0037】図7に検査対象物10を前方から撮像した
場合(φ=0°)におけるモニタ装置の画面の状態を示
す。この状態で、下シフトキーDを押すと(α=0
°)、式(1),(2)よりx=0,y=dとなり、画
面210上で検査対象物10が下方へ移動する。左シフ
トキーLを押すと(α=90°)、式(1),(2)よ
りx=d,y=0となり、画面210上で検査対象物1
0が左方向に移動する。上シフトキーUを押すと(α=
180°)、式(1),(2)よりx=0,y=−dと
なり、画面210上で検査対象物10が上方へ移動す
る。右シフトキーRを押すと(α=270°)、式
(1),(2)よりx=−d,y=0となり、画面21
0上で検査対象物10が右方向へ移動する。
FIG. 7 shows the state of the screen of the monitor device when the inspection object 10 is imaged from the front (φ = 0 °). In this state, press the down shift key D (α = 0
), X = 0 and y = d from the equations (1) and (2), and the inspection object 10 moves downward on the screen 210. When the left shift key L is pressed (α = 90 °), x = d, y = 0 from the equations (1) and (2), and the inspection object 1 is displayed on the screen 210.
0 moves to the left. Pressing the upper shift key U (α =
180 °), x = 0 and y = −d from the expressions (1) and (2), and the inspection object 10 moves upward on the screen 210. When the right shift key R is pressed (α = 270 °), x = −d, y = 0 from the equations (1) and (2), and the screen 21
The inspection object 10 moves to the right on 0.

【0038】図8に検査対象物10を左方向から撮像し
た場合(φ=90°)におけるモニタ装置の画面の状態
を示す。この状態で、下シフトキーDを押すと(α=0
°)、式(1),(2)よりx=d,y=0となり、画
面210上で検査対象物10が下方へ移動する。左シフ
トキーLを押すと(α=90°)、式(1),(2)よ
りx=0,y=−dとなり、画面210上で検査対象物
10が左方向へ移動する。上シフトキーUを押すと(α
=180°)、式(1),(2)よりx=−d、y=0
となり、画面210上で検査対象物10が上方へ移動す
る。右シフトキーRを押すと(α=270°)、式
(1),(2)よりx=0,y=dとなり、画面210
上で検査対象物10が右方向へ移動する。
FIG. 8 shows the state of the screen of the monitor device when the inspection object 10 is imaged from the left direction (φ = 90 °). In this state, press the down shift key D (α = 0
), X = d, y = 0 from the equations (1) and (2), and the inspection object 10 moves downward on the screen 210. When the left shift key L is pressed (α = 90 °), x = 0 and y = -d are obtained from the equations (1) and (2), and the inspection object 10 moves leftward on the screen 210. Pressing the upper shift key U ((α
= 180 °), and from the formulas (1) and (2), x = −d, y = 0.
Then, the inspection object 10 moves upward on the screen 210. When the right shift key R is pressed (α = 270 °), x = 0 and y = d are obtained from the equations (1) and (2), and the screen 210
The inspection object 10 moves to the right above.

【0039】図9に検査対象物10を後方から撮像した
場合(φ=180°)におけるモニタ装置の画面の状態
を示す。この場合も同様に、下シフトキーDを押すと
(α=0°)、画面210上で検査対象物10が下方へ
移動し、左シフトキーLを押すと(α=90°)、画面
210上で検査対象物10が左方向へ移動する。上シフ
トキーUを押すと(α=180°)、画面210上で検
査対象物10が上方へ移動し、右シフトキーRを押すと
(α=270°)、画面210上で検査対象物10が右
方向へ移動する。
FIG. 9 shows the state of the screen of the monitor device when the inspection object 10 is imaged from the rear (φ = 180 °). In this case as well, when the down shift key D is pressed (α = 0 °), the inspection object 10 moves downward on the screen 210, and when the left shift key L is pressed (α = 90 °), the screen 210 is displayed. The inspection object 10 moves to the left. When the up shift key U is pressed (α = 180 °), the inspection object 10 moves upward on the screen 210, and when the right shift key R is pressed (α = 270 °), the inspection object 10 moves right on the screen 210. Move in the direction.

【0040】図10に検査対象物10を右方向から撮像
した場合(φ=270°)におけるモニタ装置の画面の
状態を示す。この場合も同様に、下シフトキーUを押す
と(α=0°)、画面210上で検査対象物10が下方
へ移動し、左シフトキーLを押すと(α=90°)、画
面210上で検査対象物10が左方向へ移動する。上シ
フトキーUを押すと(α=180°)、画面210上で
検査対象物10が上方へ移動し、右シフトキーRを押す
と(α=270°)、画面210上で検査対象物10が
右方向へ移動する。
FIG. 10 shows the state of the screen of the monitor device when the inspection object 10 is imaged from the right direction (φ = 270 °). Also in this case, when the down shift key U is pressed (α = 0 °), the inspection object 10 moves downward on the screen 210, and when the left shift key L is pressed (α = 90 °), the screen 210 is displayed. The inspection object 10 moves to the left. When the up shift key U is pressed (α = 180 °), the inspection object 10 moves upward on the screen 210, and when the right shift key R is pressed (α = 270 °), the inspection object 10 moves right on the screen 210. Move in the direction.

【0041】このように、上記実施例では、操作部22
のシフトキーにより指示した移動方向と画面210上で
検査対象物10が移動する方向とが一致している。した
がって、プログラム作成者は画面210上の画像を見な
がらシフトキーを操作することにより容易に複数の検査
点を検査プログラムとして記憶部24に記憶させること
ができる。
As described above, in the above embodiment, the operation unit 22
The moving direction instructed by the shift key and the moving direction of the inspection object 10 on the screen 210 match. Therefore, the program creator can easily store a plurality of inspection points in the storage unit 24 as an inspection program by operating the shift key while looking at the image on the screen 210.

【0042】画面210上で斜め方向に検査対象物10
を移動させる場合には、下シフトキーDおよび上シフト
キーUのいずれか一方と左シフトキーLおよび右シフト
キーRのいずれかに一方とを同時に押せばよい。
The inspection object 10 is obliquely displayed on the screen 210.
To move, either the down shift key D or the up shift key U and the left shift key L or the right shift key R may be pressed at the same time.

【0043】なお、上記実施例では、撮像用ヘッド6の
撮像方向を示す角度φを図3に示すように設定し、操作
部22の各シフトキーに割り当てる角度αを図5に示す
ように設定したが、角度φおよび角度αはどの方向を基
準として設定してもよく、また、時計回りおよび反時計
回りのいずれの向きに角度をとってもよく、角度φおよ
び角度αのとり方に応じて、式(1),(2)を決定す
ればよい。
In the above embodiment, the angle φ indicating the image pickup direction of the image pickup head 6 is set as shown in FIG. 3, and the angle α assigned to each shift key of the operation unit 22 is set as shown in FIG. However, the angle φ and the angle α may be set with any direction as a reference, and the angle may be set in any of the clockwise direction and the counterclockwise direction, and the formula ( It is sufficient to determine 1) and (2).

【0044】図11は、本発明の他の実施例における検
査装置の構成を示すブロック図である。図11の検査装
置においては、撮像部25が撮像により得られた画像デ
ータを制御部20に与え、制御部20はその画像データ
を撮像部25の撮像方向に基づいて回転し、回転された
画像データをモニタ装置21に与える。他の部分の構成
および動作は図1の検査装置の対応する部分の構成およ
び動作と同様である。
FIG. 11 is a block diagram showing the structure of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention. In the inspection apparatus of FIG. 11, the image pickup unit 25 gives the image data obtained by the image pickup to the control unit 20, the control unit 20 rotates the image data based on the image pickup direction of the image pickup unit 25, and the rotated image. The data is given to the monitor device 21. The configurations and operations of the other parts are similar to those of the corresponding parts of the inspection apparatus in FIG.

【0045】次に、図12および図13を参照しながら
制御部20の画像回転動作を説明する。本実施例では、
図12に示すように、検査対象物10を中心として、前
方(手前)にy軸の正の方向をとり、左方向にx軸の正
の方向をとり、上方にz軸の正の方向をとる。そして、
撮像用ヘッド6の撮像方向をy軸を基準とした時計回り
の角度βで表す。
Next, the image rotation operation of the controller 20 will be described with reference to FIGS. 12 and 13. In this embodiment,
As shown in FIG. 12, with the inspection object 10 as the center, the positive direction of the y-axis is set forward (front side), the positive direction of the x-axis is set leftward, and the positive direction of the z-axis is set upward. To take. And
The imaging direction of the imaging head 6 is represented by a clockwise angle β with respect to the y axis.

【0046】図13に制御部20の画像回転動作の手順
を示す。まず、制御部20は、駆動部23から撮像用ヘ
ッド6の角度βを入力する(ステップS11)。また、
制御部20は、撮像用ヘッド6から画像データを入力す
る(ステップS12)。
FIG. 13 shows the procedure of the image rotation operation of the control unit 20. First, the control unit 20 inputs the angle β of the imaging head 6 from the drive unit 23 (step S11). Also,
The control unit 20 inputs image data from the imaging head 6 (step S12).

【0047】次に、制御部20は、入力された画像デー
タを角度βだけ回転させる(ステップS13)。そし
て、制御部20は、回転された画像データをモニタ装置
21に出力する(ステップS14)。モニタ装置21
は、制御部20から与えられた画像データを画像として
画面に表示する。
Next, the control unit 20 rotates the input image data by the angle β (step S13). Then, the control unit 20 outputs the rotated image data to the monitor device 21 (step S14). Monitor device 21
Displays the image data given from the control unit 20 as an image on the screen.

【0048】図14にモニタ装置21の画面の状態を示
す。(a)は検査対象物10を前方から撮像した場合
(β=0°)における画面210の状態を示し、(b)
は検査対象物10を左方向から撮像した場合(β=90
°)における画面210の状態を示し、(c)は検査対
象物10を後方から撮像した場合(β=180°)にお
ける画面210の状態を示し、(d)は検査対象物10
を右方向から撮像した場合(β=270°)における画
面210の状態を示す。
FIG. 14 shows the state of the screen of the monitor device 21. (A) shows the state of the screen 210 when the inspection object 10 is imaged from the front (β = 0 °), (b)
When the inspection object 10 is imaged from the left direction (β = 90
(C) shows the state of the screen 210, (c) shows the state of the screen 210 when the inspection object 10 is imaged from the rear (β = 180 °), and (d) shows the inspection object 10
The state of the screen 210 when the image is captured from the right direction (β = 270 °) is shown.

【0049】図14に示すように、検査対象物をいずれ
の方向から撮像しても、画面210上で検査対象物10
は同じ向きに表示される。したがって、プログラム作成
者は、画面210上の画像を見ながら操作部22のシフ
トキーを操作することにより、検査プログラムを容易に
作成することができる。
As shown in FIG. 14, no matter which direction the inspection target is imaged, the inspection target 10 is displayed on the screen 210.
Are displayed in the same direction. Therefore, the program creator can easily create the inspection program by operating the shift key of the operation unit 22 while looking at the image on the screen 210.

【0050】なお、図1および図11の実施例では、操
作部22のシフトキーを押すことにより画面上での検査
対象物10の移動方向を指示するようにしているが、操
作部22のシフトキーを押すことにより画面上での検査
対象物10の撮像位置、すなわち撮像用ヘッド6の移動
方向を指示するように構成してもよい。
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 11, the shift key of the operation section 22 is pressed to instruct the moving direction of the inspection object 10 on the screen. It may be configured to instruct the imaging position of the inspection object 10 on the screen by pressing, that is, the moving direction of the imaging head 6.

【0051】[0051]

【発明の効果】第1および第2の発明によれば、画面上
で指示された移動方向が撮像方向に基づいて検査対象物
の実際の移動方向に変換されるので、撮像方向のいかん
にかかわらず画面上で指示した移動方向と画面上での検
査対象物の移動方向とが一致する。したがって、操作者
は、画面を見ながら撮像位置を容易に移動することがで
きる。しかも、大掛かりな機構および制御が必要ないの
で、検査装置のコストが安くなる。
According to the first and second aspects of the present invention, the moving direction instructed on the screen is converted into the actual moving direction of the inspection object based on the imaging direction. Therefore, regardless of the imaging direction. First, the moving direction instructed on the screen and the moving direction of the inspection object on the screen match. Therefore, the operator can easily move the imaging position while looking at the screen. Moreover, the cost of the inspection apparatus is reduced because a large-scale mechanism and control are not required.

【0052】第3および第4の発明によれば、撮像方向
に基づいて画像データが回転されるので、撮像方向のい
かんにかかわらず画面上に検査対象物が一定の向きで表
示される。したがって、操作者は、画面を見ながら検査
対象物の撮像位置を容易に移動することができる。しか
も、大掛かりな機構および制御が必要ないので、検査装
置のコストが安くなる。
According to the third and fourth aspects of the invention, since the image data is rotated based on the image pickup direction, the inspection object is displayed in a fixed direction on the screen regardless of the image pickup direction. Therefore, the operator can easily move the imaging position of the inspection object while looking at the screen. Moreover, the cost of the inspection apparatus is reduced because a large-scale mechanism and control are not required.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例による検査装置の構成を示す
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an inspection device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の検査装置の主として撮像部の構成を示す
概略斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view mainly showing a configuration of an image pickup section of the inspection device of FIG.

【図3】撮像用ヘッドの撮像方向を表わす角度φを示す
図である。
FIG. 3 is a diagram showing an angle φ representing an imaging direction of an imaging head.

【図4】撮像用ヘッドによる検査対象物の撮像方向を示
す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing an imaging direction of an inspection target object by an imaging head.

【図5】操作部の各シフトキーと角度αとの対応関係を
示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a correspondence relationship between each shift key of the operation unit and an angle α.

【図6】図1の制御部の移動方向変換動作を示すフロー
チャートである。
FIG. 6 is a flowchart showing a movement direction conversion operation of the control unit in FIG.

【図7】検査対象物を前方から撮像した場合におけるモ
ニタ装置の画面の状態を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a state of a screen of a monitor device when an image of an inspection object is picked up from the front.

【図8】検査対象物を左方向から撮像した場合における
モニタ装置の画面の状態を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a state of the screen of the monitor device when the inspection target is imaged from the left direction.

【図9】検査対象物を後方から撮像した場合におけるモ
ニタ装置の画面の状態を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a state of a screen of the monitor device when an image of an inspection object is picked up from the rear.

【図10】検査対象物を右方向から撮像した場合におけ
るモニタ装置の画面の状態を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a state of a screen of the monitor device when the inspection target is imaged from the right direction.

【図11】本発明の他の実施例による検査装置の構成を
示すブロック図である。
FIG. 11 is a block diagram showing a configuration of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図12】撮像用ヘッドの撮像方向を表わす角βを示す
図である。
FIG. 12 is a diagram showing an angle β representing the imaging direction of the imaging head.

【図13】図11の制御部の画像回転動作を示すフロー
チャートである。
13 is a flowchart showing an image rotating operation of the control unit in FIG.

【図14】図11の実施例において検査対象物をそれぞ
れ前方、左方向、後方および右方向から撮像した場合に
おけるモニタ装置の画面の状態を示す図である。
14 is a diagram showing the state of the screen of the monitor device when the inspection object is imaged from the front, left, rear, and right directions in the embodiment of FIG. 11, respectively.

【図15】従来の検査装置の撮像用ヘッドによる検査対
象物の撮像方向を示す正面図および平面図である。
15A and 15B are a front view and a plan view showing an image pickup direction of an inspection object by an image pickup head of a conventional inspection apparatus.

【図16】従来の検査装置において検査対象物をそれぞ
れ前方および左方向から撮像した場合におけるモニタ装
置の画面の状態を示す図である。
FIG. 16 is a diagram showing a state of the screen of the monitor device when the inspection object is imaged from the front and the left direction in the conventional inspection device, respectively.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 撮像用ヘッド 9 支持テーブル 10 検査対象物 20 制御部 21 モニタ装置 22 操作部 23 駆動部 24 記憶部 25 撮像部 210 画面 L 左シフトキー R 右シフトキー U 上シフトキー D 下シフトキー なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 6 imaging head 9 support table 10 inspection object 20 control unit 21 monitor device 22 operation unit 23 drive unit 24 storage unit 25 imaging unit 210 screen L left shift key R right shift key U upper shift key D lower shift key Indicates the same or a corresponding portion.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査対象物を任意の方向から撮像する撮
像手段と、 前記撮像手段により撮像された検査対象物の画像を画面
に表示する表示手段と、 前記表示手段の画面上における検査対象物の移動方向を
指示する方向指示手段と、 前記表示手段の画面上の検査対象物が前記方向指示手段
により指示された方向に移動するように、前記撮像手段
の撮像方向に基づいて前記方向指示手段により指示され
た移動方向を前記検査対象物の実際の移動方向に変換す
る移動方向変換手段と、 前記移動方向変換手段により得られた移動方向に沿って
前記検査対象物を前記撮像手段に対して相対的に移動さ
せる移動手段とを備えた検査装置。
1. An image pickup means for picking up an image of an inspection object from an arbitrary direction, a display means for displaying an image of the inspection object imaged by the image pickup means on a screen, and an inspection object on the screen of the display means. Direction instructing means for instructing the moving direction of the object, and the direction instructing means based on the imaging direction of the imaging means so that the inspection object on the screen of the display means moves in the direction instructed by the direction instructing means Moving direction converting means for converting the moving direction designated by the moving direction into the actual moving direction of the inspection object, and the inspection object with respect to the imaging means along the moving direction obtained by the moving direction converting means. An inspection apparatus having a moving means for relatively moving.
【請求項2】 前記移動方向変換手段は、前記方向指示
手段により指示された移動方向および前記撮像手段の撮
像方向をそれぞれ基準方向からの角度で表わし、それぞ
れの角度の和に関する三角関数により前記検査対象物の
実際の移動方向を算出することを特徴とする請求項1記
載の検査装置。
2. The moving direction converting means represents the moving direction instructed by the direction instructing means and the imaging direction of the imaging means by an angle from a reference direction, and the inspection is performed by a trigonometric function relating to the sum of the respective angles. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the actual movement direction of the object is calculated.
【請求項3】 検査対象物を任意の方向から撮像する撮
像手段と、 前記撮像手段により撮像された検査対象物の画像を前記
撮像手段の撮像方向に基づいて回転させる画像回転手段
と、 前記画像回転手段により回転された画像を画面に表示す
る表示手段とを備えた検査装置。
3. An image pickup means for picking up an image of an inspection object from an arbitrary direction, an image rotating means for rotating an image of the inspection object picked up by the image pickup means based on an image pickup direction of the image pickup means, and the image. An inspection apparatus comprising: a display unit that displays an image rotated by a rotating unit on a screen.
【請求項4】 前記画像回転手段は、前記撮像手段の撮
像方向を基準方向からの角度で表わし、前記撮像手段に
より得られた画像を前記角度だけ回転させることを特徴
とする請求項3記載の検査装置。
4. The image rotating means represents the image capturing direction of the image capturing means by an angle from a reference direction, and rotates the image obtained by the image capturing means by the angle. Inspection device.
JP6143892A 1994-06-01 1994-06-01 Inspection apparatus Pending JPH07325042A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6143892A JPH07325042A (en) 1994-06-01 1994-06-01 Inspection apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6143892A JPH07325042A (en) 1994-06-01 1994-06-01 Inspection apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07325042A true JPH07325042A (en) 1995-12-12

Family

ID=15349476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6143892A Pending JPH07325042A (en) 1994-06-01 1994-06-01 Inspection apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07325042A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012088162A (en) * 2010-10-19 2012-05-10 Mitsutoyo Corp Image measuring device and drive controlling method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012088162A (en) * 2010-10-19 2012-05-10 Mitsutoyo Corp Image measuring device and drive controlling method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6362877B1 (en) Visual inspection supporting apparatus and printed circuit board inspecting apparatus, and methods of soldering inspection and correction using the apparatuses
KR100876255B1 (en) X line sight device
US7016465B2 (en) X-ray CT apparatus
JP2006276022A (en) Image measuring device
US7440606B2 (en) Defect detector and defect detection method
KR100531336B1 (en) Supporting apparatus for macroscopic inspection of industrial products
JPH07325042A (en) Inspection apparatus
JP2017146229A (en) Visual inspection device and visual inspection method
JP2010127703A (en) Determination method of verticality of imaging means
JP2003114201A (en) Fluoroscopic radiographic apparatus
JP4577214B2 (en) X-ray inspection equipment
JP4687853B2 (en) X-ray fluoroscopic equipment
JP2013074231A (en) Soldering inspection device
KR0129784B1 (en) Apparatus for fire extinguishing utilizing spray wvisual inspection supporting system for printed circuit board ater
JP4433182B2 (en) X-ray fluoroscope
JP2008051784A (en) Substrate inspection system
JP2003269929A (en) Device for inspecting defect
JP4577212B2 (en) X-ray inspection equipment
JP2944827B2 (en) Visual inspection system
JPH08243773A (en) Laser beam machine
JP2000183493A (en) Printed board inspection supporting apparatus and method for inspecting printed board
JP3552381B2 (en) Image measuring machine
JP2867704B2 (en) Visual inspection support apparatus and board inspection apparatus, and soldering inspection method and correction method using the same
JPH10200297A (en) Electronic part mounting machine
JPH06174446A (en) Inspection device for mounted component