JPH0730744B2 - 容積移送式真空ポンプ - Google Patents
容積移送式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0730744B2 JPH0730744B2 JP2290584A JP29058490A JPH0730744B2 JP H0730744 B2 JPH0730744 B2 JP H0730744B2 JP 2290584 A JP2290584 A JP 2290584A JP 29058490 A JP29058490 A JP 29058490A JP H0730744 B2 JPH0730744 B2 JP H0730744B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pump
- stator
- flow rate
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Details And Applications Of Rotary Liquid Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、ステータと該ステータ内で所定の漏洩間隙を
もって回転するロータとを含む容積移送式真空ポンプ又
は低真空ポンプに係わる。
もって回転するロータとを含む容積移送式真空ポンプ又
は低真空ポンプに係わる。
発明の背景 容積移送式真空ポンプは、大気圧に逆らって排気を行い
ながら0.001ミリバール〜0.0001ミリバールの圧力を発
生させることができる。この種のポンプの圧力Ｐ（ミリ
バール）の関数としてm3/時で表わされる体積流量Ｓの
曲線特性は、そのポンプのロータとステータとの間に存
在する間隙に依存する。第１図は体積流量Ｓを圧力Ｐの
関数として示している。各曲線は所与の間隙に対応し、
この間隙は矢印ｊ方向で曲線毎に増加している。
ながら0.001ミリバール〜0.0001ミリバールの圧力を発
生させることができる。この種のポンプの圧力Ｐ（ミリ
バール）の関数としてm3/時で表わされる体積流量Ｓの
曲線特性は、そのポンプのロータとステータとの間に存
在する間隙に依存する。第１図は体積流量Ｓを圧力Ｐの
関数として示している。各曲線は所与の間隙に対応し、
この間隙は矢印ｊ方向で曲線毎に増加している。
周知のように、真空ポンプを製造する場合は、２つの相
反する目標をバランス良く達成するように考慮しながら
ロータ及びステータ間の間隙の値を選択する。例えばス
テータとロータとの間の膨張差に起因する焼付けを防止
するためには、前記間隙を大きくしなければならない。
これに対し、ポンプの特性を改善するためには、第１図
の特性曲線からも明らかなように、前記間隙をできるだ
け小さくしなければならない。
反する目標をバランス良く達成するように考慮しながら
ロータ及びステータ間の間隙の値を選択する。例えばス
テータとロータとの間の膨張差に起因する焼付けを防止
するためには、前記間隙を大きくしなければならない。
これに対し、ポンプの特性を改善するためには、第１図
の特性曲線からも明らかなように、前記間隙をできるだ
け小さくしなければならない。
ロータ及びステータ間の間隙を最小限にしながら焼付け
を起こさないポンプを実現するというのは、ポンプ製造
業者に課せられた永遠の問題である。
を起こさないポンプを実現するというのは、ポンプ製造
業者に課せられた永遠の問題である。
本出願人の仏国特許出願第89 11302号は、ロータ及び／
又はステータの壁の一部分を弾性的に変形し得るように
するか、又はロータをステータに対して相対移動させ得
るようにして、ポンピング中に前記間隙を変化させるこ
とができるようにしたポンプを提案している。
又はステータの壁の一部分を弾性的に変形し得るように
するか、又はロータをステータに対して相対移動させ得
るようにして、ポンピング中に前記間隙を変化させるこ
とができるようにしたポンプを提案している。
このようなポンプは前記問題を解決することはできる
が、ポンプに幾つかの機械的修正を施さなければならな
いためコストが高くなる。
が、ポンプに幾つかの機械的修正を施さなければならな
いためコストが高くなる。
本発明の目的は、ポンプの機械的修正を必要とせずに最
適のポンピング効率が得られる真空ポンプを提供するこ
とにある。
適のポンピング効率が得られる真空ポンプを提供するこ
とにある。
この目的は、ポンピングされるガスより大きい分子質量
のガスをロータとステータとの間の間隙に注入する手段
をポンプに備えることによって達成される。
のガスをロータとステータとの間の間隙に注入する手段
をポンプに備えることによって達成される。
欧州特許EP 0 320 956号には、窒化ケイ素の製造中に発
生する塩化アンモニウムの分圧を低下させるべく、例え
ば窒素のような不活性ガスをポンプの作動チャンバ内に
注入するようにした容積移送式真空ポンプが開示されて
いる。このポンプの高圧部分では塩化アンモニウムがス
テータ及びロータの壁に堆積するため、窒素を注入して
塩化アンモニウムの分圧を低下させ、それによって塩化
アンモニウムの堆積を防止するのである。
生する塩化アンモニウムの分圧を低下させるべく、例え
ば窒素のような不活性ガスをポンプの作動チャンバ内に
注入するようにした容積移送式真空ポンプが開示されて
いる。このポンプの高圧部分では塩化アンモニウムがス
テータ及びロータの壁に堆積するため、窒素を注入して
塩化アンモニウムの分圧を低下させ、それによって塩化
アンモニウムの堆積を防止するのである。
この場合の注入ガス、特に窒素は、ポンピングされるガ
スより小さい分子質量を有する。
スより小さい分子質量を有する。
発明の概要 本発明は、ステータ内で所与の間隙をもって回転するロ
ータを含む容積移送式真空ポンプであって、所与の分子
質量のガス又はガス混合物をポンピングするのに使用さ
れ、ポンピングされるガス又はガス混合物より大きい分
子質量を有するガスを前記間隙に注入する手段を備えた
容積移送式真空ポンプを提供する。
ータを含む容積移送式真空ポンプであって、所与の分子
質量のガス又はガス混合物をポンピングするのに使用さ
れ、ポンピングされるガス又はガス混合物より大きい分
子質量を有するガスを前記間隙に注入する手段を備えた
容積移送式真空ポンプを提供する。
好ましい実施例の１つでは、前記注入手段が、ステータ
を貫通してロータ及びステータ間の間隙に連通する少な
くとも１つの注入口を含み、この注入口が流量調整可能
なガス源に接続される。
を貫通してロータ及びステータ間の間隙に連通する少な
くとも１つの注入口を含み、この注入口が流量調整可能
なガス源に接続される。
一変形例では、前記注入手段がステータの複数のオリフ
ィス、ステータの壁に設けられた１つ以上のスロット、
又はステータの多孔質部分を含み、これらの開口部が流
量調整可能なガス源に接続される。
ィス、ステータの壁に設けられた１つ以上のスロット、
又はステータの多孔質部分を含み、これらの開口部が流
量調整可能なガス源に接続される。
特定実施例の１つでは、ポンプが複数の段を有し、その
うち少なくとも１つの段が前記注入手段を含む。
うち少なくとも１つの段が前記注入手段を含む。
注入ガスの流量は、ポンピングされるガスの３倍〜15倍
にするのが好ましい。
にするのが好ましい。
以下、添付図面に基づき非限定的実施例を挙げて本発明
をより詳細に説明する。
をより詳細に説明する。
実施例 第１図は既に説明した通りである。
ここでは特定タイプのポンプ、即ち多段式ルーツポンプ
を例にとって本発明を説明するが、本発明はこれに限定
されず、あらゆるタイプの容積式ポンプ、例えばベーン
ポンプ、円筒形もしくは円錐形の螺旋溝（切欠き）ポン
プ、スクリューポンプ等に適用し得る。
を例にとって本発明を説明するが、本発明はこれに限定
されず、あらゆるタイプの容積式ポンプ、例えばベーン
ポンプ、円筒形もしくは円錐形の螺旋溝（切欠き）ポン
プ、スクリューポンプ等に適用し得る。
第２図は３つの段10、20及び30を有する多段式ルーツポ
ンプを簡単に示している。前記段はいずれもステータ1
1、21及び31と、ロータ対12−13、22−23及び32−33と
を含む。符号４は段10の吸気口であり、符号14は段10の
排気口及び段20の吸気口を示し、符号24は段20の排気口
及び段30の吸気口を表し、符号34は段30の排気口を示
す。
ンプを簡単に示している。前記段はいずれもステータ1
1、21及び31と、ロータ対12−13、22−23及び32−33と
を含む。符号４は段10の吸気口であり、符号14は段10の
排気口及び段20の吸気口を示し、符号24は段20の排気口
及び段30の吸気口を表し、符号34は段30の排気口を示
す。
本発明では、前記ポンプの第３段を示す第３図から明ら
かなように、その段のロータとステータとの間の間隙35
にガスを直接注入するための注入手段を備える。注入ガ
スはポンピングされるガスより大きい分子質量を有す
る。この注入は、例えば、ステータを貫通して流量調整
可能な補助ガス源（図示せず）に接続された注入口40を
介して行われる。
かなように、その段のロータとステータとの間の間隙35
にガスを直接注入するための注入手段を備える。注入ガ
スはポンピングされるガスより大きい分子質量を有す
る。この注入は、例えば、ステータを貫通して流量調整
可能な補助ガス源（図示せず）に接続された注入口40を
介して行われる。
勿論、他の任意のガス注入手段、例えばステータの壁を
貫通する複数のオリフィス、ステータの壁に設けたスロ
ット、ステータの壁の多孔質部分等を使用してもよい。
一具体例として、分子質量４のヘリウムをポンピングす
る場合には、分子質量28の窒素を注入し得る。この注入
ガスは、ポンピングされるガスの数倍に等しい流量、例
えばポンピングされるガスの３〜15倍の流量で注入する
と有利である。
貫通する複数のオリフィス、ステータの壁に設けたスロ
ット、ステータの壁の多孔質部分等を使用してもよい。
一具体例として、分子質量４のヘリウムをポンピングす
る場合には、分子質量28の窒素を注入し得る。この注入
ガスは、ポンピングされるガスの数倍に等しい流量、例
えばポンピングされるガスの３〜15倍の流量で注入する
と有利である。
注入されたガスは一種の分子シールを形成して、ポンピ
ングされるガスの分子が排気口から吸気口方向に流動す
るのを防止するため、ポンピング効率が向上する。
ングされるガスの分子が排気口から吸気口方向に流動す
るのを防止するため、ポンピング効率が向上する。
ポンピング特性は変えることができ、特にポンプの作動
点は、注入ガスの流量及び／又は分子質量を調整するだ
けで、ポンプの間隙を変えたかのように第１図の所与の
曲線から別の曲線に移すことができる。
点は、注入ガスの流量及び／又は分子質量を調整するだ
けで、ポンプの間隙を変えたかのように第１図の所与の
曲線から別の曲線に移すことができる。
注入はポンプの１つ以上の段、例えば少なくとも２つの
段で行うようにし得る。
段で行うようにし得る。
本発明はあらゆるタイプの容積移送式真空ポンプに適用
できる。
できる。
第１図はポンプの様々な間隙に対応する体積流量Ｓを圧
力Ｐの関数として示す曲線グラフ、第２図は多段式ルー
ツポンプの簡単な原理説明図、第３図は本発明を適用し
たルーツポンプの段の１つを示す軸線方向断面図であ
る。 31……ステータ、32,33……ロータ、35……間隙、40…
…注入口。
力Ｐの関数として示す曲線グラフ、第２図は多段式ルー
ツポンプの簡単な原理説明図、第３図は本発明を適用し
たルーツポンプの段の１つを示す軸線方向断面図であ
る。 31……ステータ、32,33……ロータ、35……間隙、40…
…注入口。
Claims (6)
- 【請求項１】ステータ内で所与の間隙をもって回転する
ロータを含む容積移送式真空ポンプであって、所与の分
子質量のガス又はガス混合物をポンピングするのに使用
され、ポンピングされるガス又はガス混合物を分子質量
より大きい分子質量を有するガスを前記間隙に注入する
手段を備えている容積移送式真空ポンプ。 - 【請求項２】注入手段が、ステータを貫通してロータ及
びステータ間の間隙に連通する少なくとも１つの注入口
を含み、この注入口が流量調整可能なガス源に接続され
ている請求項１に記載のポンプ。 - 【請求項３】注入手段が、ステータを貫通し外部で流量
調整可能なガス源に接続された１つ以上のスロットを含
む請求項１に記載のポンプ。 - 【請求項４】注入手段が、流量調整可能なガス源に接続
されたステータ壁面の多孔質部分を含む請求項１に記載
のポンプ。 - 【請求項５】複数の段を有し、そのうちの少なくとも１
つが注入手段を備えている請求項１に記載のポンプ。 - 【請求項６】注入ガスの流量が、ポンピングされるガス
の流量の３倍〜15倍である請求項１に記載のポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8914354 | 1989-11-02 | ||
| FR8914354A FR2653831A1 (fr) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | Pompe volumetrique. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03160185A JPH03160185A (ja) | 1991-07-10 |
| JPH0730744B2 true JPH0730744B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=9387014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2290584A Expired - Lifetime JPH0730744B2 (ja) | 1989-11-02 | 1990-10-26 | 容積移送式真空ポンプ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0426078B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0730744B2 (ja) |
| AT (1) | ATE92159T1 (ja) |
| DE (1) | DE69002439T2 (ja) |
| ES (1) | ES2042175T3 (ja) |
| FR (1) | FR2653831A1 (ja) |
| RU (1) | RU1831588C (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2691382B1 (fr) * | 1992-05-22 | 1994-09-09 | Cit Alcatel | Installation de pompage pour pomper une enceinte contenant des gaz mélangés à des particules solides ou susceptibles de générer des particules ou condensats solides. |
| DE19819538C2 (de) | 1998-04-30 | 2000-02-17 | Rietschle Werner Gmbh & Co Kg | Druck-Saug-Pumpe |
| GB0719394D0 (en) * | 2007-10-04 | 2007-11-14 | Edwards Ltd | A multi stage clam shell vacuum pump |
| DE102010044918A1 (de) * | 2010-09-09 | 2012-03-15 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zur Bestimmung eines Arbeitsbereichs eines Hochvakuumpumpsystems |
| JP5627035B2 (ja) * | 2012-06-18 | 2014-11-19 | 株式会社ササクラ | 蒸発式空調装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5517236A (en) * | 1978-07-19 | 1980-02-06 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacturing method of mica plate for commutator segment |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB385192A (en) * | 1932-05-10 | 1932-12-22 | Otto Becker Junior | Improvements in and relating to rotary blowers |
| SE317154B (ja) * | 1959-01-15 | 1969-11-10 | Svenska Rotor Maskiner Ab | |
| JP2515831B2 (ja) * | 1987-12-18 | 1996-07-10 | 株式会社日立製作所 | スクリユ―真空ポンプ |
-
1989
- 1989-11-02 FR FR8914354A patent/FR2653831A1/fr active Pending
-
1990
- 1990-10-26 JP JP2290584A patent/JPH0730744B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-10-29 AT AT90120721T patent/ATE92159T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-10-29 ES ES199090120721T patent/ES2042175T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-10-29 DE DE90120721T patent/DE69002439T2/de not_active Revoked
- 1990-10-29 EP EP90120721A patent/EP0426078B1/fr not_active Revoked
- 1990-11-01 RU SU904831590A patent/RU1831588C/ru active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5517236A (en) * | 1978-07-19 | 1980-02-06 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacturing method of mica plate for commutator segment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2653831A1 (fr) | 1991-05-03 |
| ATE92159T1 (de) | 1993-08-15 |
| DE69002439D1 (de) | 1993-09-02 |
| ES2042175T3 (es) | 1993-12-01 |
| RU1831588C (ru) | 1993-07-30 |
| DE69002439T2 (de) | 1993-11-18 |
| EP0426078B1 (fr) | 1993-07-28 |
| JPH03160185A (ja) | 1991-07-10 |
| EP0426078A1 (fr) | 1991-05-08 |
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