JPH0730678Y2 - 真空蒸着装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） 本考案は真空蒸着装置において、真空蒸着用ドームに回
転力を伝達する動力伝達系を改良して、動力による正規
の回転のほか手動によるドームの回転も容易に出来るよ
うにしたものである。

（従来の技術） 真空蒸着装置における真空蒸着用ドームの回転方式とし
て、蒸着膜厚を均一にするため、ドームを自転させなが
ら被蒸着物の回りを公転させるプラネタリー方式が有効
であることが知られている。このプラネタリー方式は真
空室の大きさに比較し、単ドームの自転方式よりも、被
蒸着物が多く装着できる特徴があり、この利点を生かし
て、小形の装置から大形の装置まで各種のものが使用さ
れている。

（考案が解決しようとする課題） このような真空蒸着装置において、装置が大形になる
と、それに比例して真空蒸着用ドームを回転させるリン
グギヤも大形のものとなり、真空蒸着用ドームの装着、
取り出し時に真空室の前側の扉を開けて正面前側から行
なわざるを得ない。このため、作業者が手動でリングギ
ヤを回してドームを前側まで移動させてから取り出さな
ければならない。ところが、真空蒸着用ドームの動力伝
達系は機構上、モータの回転を減速してからこのドーム
を駆動されるのが一般的であり、このため手動でリング
ギヤを回すとかなり重いものである。この場合、モータ
を駆動してリングギヤを回転させて真空蒸着用ドームを
前側に移動させることも考えられるがしかし、安全上、
真空室の扉を開けた場合、インターロックが作用してモ
ータが回転できないようになっている場合が多い。この
ため、他の安全なドーム移動方法が求められている。

また、真空室内で使用される軸受けは潤滑油が蒸発し、
また蒸着物質が侵入するので、短期間でベアリングが損
傷することがあるが、このような保守点検においても手
動でリングギヤを回転させることは有効な方法である。
しかし、この場合も、前述のとおり、駆動装置の減速比
の関係上、リングギヤの回転が重いので、手動で回転さ
せることが困難で、損傷の発見が遅れがちになり、蒸着
中に回転トラブルを生じ、被蒸着物が不良品になること
がある。

そこで、本考案の課題は真空蒸着用ドームの動力伝達系
において、蒸着作業を行なうときは動力によって正規の
回転を行なうとともに、所望に応じリングギやを把持し
てドームを容易に回転できるようにすることである。

〔考案の構成〕

（課題を解決するための手段） 本考案は、モータの回転力をリングギアを介して真空蒸
着用ドームに伝達して真空蒸着用ドームを回転させる動
力伝達系を有する真空蒸着装置において、上記動力伝達
系は上記モータと上記リングギアとの間に一方向に回転
力を伝達し反対方向に空転する一方向回転クラッチを具
備したことを特徴とするものである。

（作用） 一方向回転クラッチはたとえば自転車のギヤなどに見ら
れるように、回転力を一方向に伝達するが反対方向には
空転するものである。このような一方向回転クラッチを
真空蒸着用ドームを回転させる動力伝達系に組込めば、
モータ駆動によってドームを一方向に回転させることが
でき、また、モータ停止中でも手動によってドームを容
易に回転させることができる。

（実施例） 本考案の詳細を図示の実施例によって説明する。（１）
は真空室、（２）はこの真空室（１）内に装着された蒸
発部、（３），（３）は真空室（１）内に配設されて蒸
発部（２）に対向する複数の真空蒸着用ドーム、（４）
はこの真空蒸着用ドーム（３），（３）を吊持する回転
支持枠、（５）はこの回転支持枠（４）に一体的に結合
して回転させるリングギヤ、（６）は回転支持枠（４）
の下方に対設されて真空蒸着用ドーム（３），（３）を
支持してその回転を案内するガイドレール、（７）は真
空室（１）外に設けたモータ、（８）はこのモータ
（７）に接続した減速ギヤ、（９）は真空室（１）の壁
面を気密に貫通し、減速ギヤ（８）とリングギヤ（５）
との間に介在してその回転力を伝達する真空軸受けであ
る。

上記真空軸受け（９）は第２図に拡大して示すように、
真空室（１）の壁面（11）を気密に貫通する筒形の軸受
けホルダ（91）内をベアリング（92），（92）に支持さ
れて回転軸（93）を貫通し、この回転軸（93）と軸受け
ホルダ（91）内面との間にＯリング（94），（94）を介
在させて気密を保持しながら自由に回転するようになっ
ている。そうして、回転軸（93）の外端部には一方向回
転クラッチ（96）を介して減速ギヤ（８）の受けギヤ
（81）を装着してモータ（６）に直結した小径の駆動ギ
ヤ（82）に噛み合わせてあり、かつ回転軸（93）の内端
部には伝達ギヤ（95）を装着して、直接または間接にリ
ングギヤ（５）を駆動している。そうして、本考案にお
いて、減速ギヤ（８）、真空軸受け（９）、リングギヤ
（５）を総称して動力伝達系とする。

上記真空蒸着用ドーム（３）には複数個の被蒸着物（図
示しない。）が装着され、アーム（33）によって支持枠
（４）に吊持されて、このアーム（33）を軸として自転
するとともにガイドレール（６）上を回転することによ
って蒸着物質を蒸発させる蒸発部（２）の周囲を公転す
る。

上記一方向回転クラッチ（96）はたとえば自転車の後輪
に見られるように、内輪と外輪とをベアリングを介して
同軸に嵌着し、内輪と外輪との間に特別なカムとスプリ
ングとを設けたもので、内輪を回転軸（93）の外面に摺
動不能に嵌着し、また、外輪は受けギヤ（81）内面に摺
動不能に嵌着してある。そして、外輪を所定の一方向に
回転すればカムが締着状態になって回転力が伝達されて
内輪が回転し、外輪を反対方向に回転すればカムが開放
状態になって外輪が空転し、内輪が回転しないようにな
っている。

つぎに、本実施例真空蒸着装置の作用を説明する。ま
ず、図示しない前側の扉を開き、リングギヤ（５）を手
動で所定方向に回転する。すると、この回転力が真空軸
受け（９）の回転軸（93）を介して一方向回転クラッチ
（96）の内輪に伝達され、これを所定方向に回転させ
る。すると、内輪の回転によって、外輪が相対的に反対
方向に回転したと同じになり、カムは解放状態になって
内輪が空転する。このように、真空軸受け（９）の回転
軸（93）が回転して減速ギヤ（８）が回転しないので、
リングギヤ（５）が手動によって容易に回転する。そこ
で、リングギヤ（５）を回転させてアーム（33）に被蒸
着物を装着した真空蒸着用ドーム（３）を順次装着す
る。ついで、蒸発部（２）に蒸着物質を供給し扉を閉塞
し、図示しない真空ポンプを作動して真空室（１）内を
真空にする。ついで、モータ（７）の駆動する。する
と、モータ（７）の回転力が減速ギヤ（８）を介して一
方向回転クラッチ（96）の外輪に伝達され、これを所定
方向に回転させる。すると、クラッチ（96）のカムが締
着状態になり、外輪の回転力を内輪に伝達して真空軸受
け（９）の回転軸（93）を正規方向に回転させる。そし
てこの回転力がリングギヤ（５）に伝達されてこのリン
グギヤ（５）に結合された回転支持枠（４）を所定方向
に回転させる。これによって、回転支持枠（４）に吊持
された真空蒸着用ドーム（３），（３）が所定方向に回
って蒸発部（２）の周囲を公転する。そこで、蒸発部
（２）に通電して蒸着物質を蒸発させてドーム（３）内
の図示しない被蒸着物に蒸着させる。

このように、本実施例真空蒸着装置は真空軸受け（９）
の回転軸（93）と減速ギヤ（８）の受けギヤ（81）との
間に一方向回転クラッチ（96）を介挿したので、モータ
停止中真空蒸着用ドーム（３）を手動で容易に回転させ
ることができ、また、真空蒸着装置の扉にインターロッ
クを設け、開扉中はモータ（７）の電源を自動的に遮断
してモータ（７）の回転を停止しても、真空蒸着装置用
ドーム（３）の手動回転が可能となり、蒸着物質の供給
や、真空蒸着用ドームの取り出し、取り付けが容易にで
きる。また、真空室（１）内で使用される各種軸受けは
蒸着物質の被着による激しい消耗に曝されるが、これも
容易にかつ安全に保守点検できる。このように、本考案
によって操作や保守点検の容易さと安全性の向上とを同
時に実現できた。

なお、本考案において、真空室や真空蒸着用ドームの具
体構造、さらに動力伝達系の具体的構成はどのようなも
のでもよく、さらに一方向回転クラッチは動力伝達系の
どの部位に介在させてもよい。さらに、本考案は真空蒸
着用ドームを自転または公転だけさせる動力伝達系を有
するものにも適用できるものである。

〔考案の効果〕

このように、本考案の真空蒸着装置は真空蒸着用ドーム
を回転させる動力伝達系のモータとリングギアとの間に
一方向回転クラッチを設けたので、真空蒸着用ドームを
モータ駆動によって所定方向に回転できるとともに、手
動によって上記ドームを上記所定方向とは反対方向に直
接回転させることができ、操作や保守点検の容易さと安
全性の向上とを同時に実現できた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の真空蒸着装置の一実施例の説明図、第
２図は同じく要部の拡大断面図である。 （１）……真空室、（２）……蒸発部 （３）……真空蒸着用ドーム、（31）……ドーム （４）……支持枠、（５）……リングギヤ （６）……ガイドレール、（７）……モータ （８）……減速ギヤ、（９）……真空軸受け （91）……軸受けホルダ、（92）……ベアリング （93）……回転軸、（94）……Ｏリング （96）……一方向回転クラッチ （４），（８），（９）……動力伝達系

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】モータの回転力をリングギアを介して真空
   蒸着用ドームに伝達して真空蒸着用ドームを回転させる
   動力伝達系を有する真空蒸着装置において、上記動力伝
   達系は上記モータと上記リングギアとの間に一方向に回
   転力を伝達し反対方向に空転する一方向回転クラッチを
   具備したことを特徴とする真空蒸着装置。