JPH07306106A - 差圧検出装置 - Google Patents
差圧検出装置Info
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- JPH07306106A JPH07306106A JP6095993A JP9599394A JPH07306106A JP H07306106 A JPH07306106 A JP H07306106A JP 6095993 A JP6095993 A JP 6095993A JP 9599394 A JP9599394 A JP 9599394A JP H07306106 A JPH07306106 A JP H07306106A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Abstract
(57)【要約】
【目的】小形化，軽量化，低コスト化を図り、また封入
液との接触部の溶接箇所が外気に触れない構造にする。 【構成】ゲージ圧検出装置10としての第１実施例では、
本体11が円柱状で、左側の外周面から軸線と直角に座グ
リ穴11a があけられ、ここに差圧検出部１および副体15
が挿設され、下端面には波形が加工され、相対して設け
られるシールダイヤフラム12が測定圧を受圧する。副体
15は円板状で、軸線方向に貫通する穴15a があけられ、
左側面に大気圧受圧用のシールダイヤフラム16が設けら
れる。カバー17は測定圧導入用の穴17a をもつ部材で、
本体11の下端面側に固着され、カバー18は、円弧状に湾
曲された板状部材で、本体11との間に通気性つまり隙間
をもたせてネジ固定され、上部ケース19には、内部に増
幅器や演算回路、指示計などが内蔵される。
液との接触部の溶接箇所が外気に触れない構造にする。 【構成】ゲージ圧検出装置10としての第１実施例では、
本体11が円柱状で、左側の外周面から軸線と直角に座グ
リ穴11a があけられ、ここに差圧検出部１および副体15
が挿設され、下端面には波形が加工され、相対して設け
られるシールダイヤフラム12が測定圧を受圧する。副体
15は円板状で、軸線方向に貫通する穴15a があけられ、
左側面に大気圧受圧用のシールダイヤフラム16が設けら
れる。カバー17は測定圧導入用の穴17a をもつ部材で、
本体11の下端面側に固着され、カバー18は、円弧状に湾
曲された板状部材で、本体11との間に通気性つまり隙間
をもたせてネジ固定され、上部ケース19には、内部に増
幅器や演算回路、指示計などが内蔵される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、小形化，軽量化，低
コスト化を図り、また封入液との接触部の溶接箇所が外
気に触れない構造にして、外気が腐食性であっても溶接
箇所が腐食されないように改善した差圧検出装置に関す
る。
コスト化を図り、また封入液との接触部の溶接箇所が外
気に触れない構造にして、外気が腐食性であっても溶接
箇所が腐食されないように改善した差圧検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一従来例について、その断面図の図３を
参照しながら説明する。本体41には、その左右の各側に
カバー45がＯリング46を介して、図示してない取付ネジ
によって固定され、また本体41の上部に上部ケース47が
溶接される。本体41は、左右に平行な各端面を有し、左
側の端面に２段に座グリされた有底の穴41a が、右側の
端面に穴41b が同軸にあけられる。本体41の穴部には、
静電容量式の差圧検出部1 が挿設され、これからのリー
ド部2 が上方に上部ケース47の内部まで引き出される。
上部ケース47には、増幅器や各種演算回路、指示計など
が内蔵される。また、本体41の座グリ部には副体43が挿
設される。この副体43の左端面にシールダイヤフラム44
が設けられるとともに、軸線に沿って穴43a があけられ
る。本体41の内部空間には、圧力伝達用液が封入され、
その封入用穴がボール23と押止ネジ24によって封止され
る。右と左の各カバー45には、図示してない圧力導入用
穴があけられ、そこから測定差圧に係る一方, 他方の各
圧力が導入される。この各圧力はシールダイヤフラム4
2,44 および封入液を介して差圧検出部1 に伝達され、
ここで差圧に対応する静電容量変化に変換される。この
静電容量変化は、周知の技術によって上部ケース47の増
幅器や演算回路を介して電流に変換され、現場指示され
るとともに、遠隔箇所に伝送される。
参照しながら説明する。本体41には、その左右の各側に
カバー45がＯリング46を介して、図示してない取付ネジ
によって固定され、また本体41の上部に上部ケース47が
溶接される。本体41は、左右に平行な各端面を有し、左
側の端面に２段に座グリされた有底の穴41a が、右側の
端面に穴41b が同軸にあけられる。本体41の穴部には、
静電容量式の差圧検出部1 が挿設され、これからのリー
ド部2 が上方に上部ケース47の内部まで引き出される。
上部ケース47には、増幅器や各種演算回路、指示計など
が内蔵される。また、本体41の座グリ部には副体43が挿
設される。この副体43の左端面にシールダイヤフラム44
が設けられるとともに、軸線に沿って穴43a があけられ
る。本体41の内部空間には、圧力伝達用液が封入され、
その封入用穴がボール23と押止ネジ24によって封止され
る。右と左の各カバー45には、図示してない圧力導入用
穴があけられ、そこから測定差圧に係る一方, 他方の各
圧力が導入される。この各圧力はシールダイヤフラム4
2,44 および封入液を介して差圧検出部1 に伝達され、
ここで差圧に対応する静電容量変化に変換される。この
静電容量変化は、周知の技術によって上部ケース47の増
幅器や演算回路を介して電流に変換され、現場指示され
るとともに、遠隔箇所に伝送される。
【０００３】別の従来例について、その断面図の図４を
参照しながら説明する。図において、この別の従来例は
大別すると、検出部50と保護部60とからなり、これらは
各導圧管51を介して連結される。検出部50は、測定すべ
き差圧を静電容量式に電気信号に変換して出力し、保護
部60は詳しくは後述するが、導入圧力に対して検出部50
を保護する。この検出部50の構成は周知のとおりである
から、説明は省略する。さて、保護部60は主として、左
右の各本体61、保護ダイヤフラム65、左右の各シールダ
イヤフラム64、Ｏリング66および圧力導入用カバー67か
らなる。保護ダイヤフラム65を挟んで、左右にそれぞれ
各本体61が配設され、それぞれの外周ないし周縁部で互
いに接合される。
参照しながら説明する。図において、この別の従来例は
大別すると、検出部50と保護部60とからなり、これらは
各導圧管51を介して連結される。検出部50は、測定すべ
き差圧を静電容量式に電気信号に変換して出力し、保護
部60は詳しくは後述するが、導入圧力に対して検出部50
を保護する。この検出部50の構成は周知のとおりである
から、説明は省略する。さて、保護部60は主として、左
右の各本体61、保護ダイヤフラム65、左右の各シールダ
イヤフラム64、Ｏリング66および圧力導入用カバー67か
らなる。保護ダイヤフラム65を挟んで、左右にそれぞれ
各本体61が配設され、それぞれの外周ないし周縁部で互
いに接合される。
【０００４】また、各本体61には、それぞれ同じ凹部63
および孔62が形成される。さらに詳しくは、右側の本体
61で代表して述べると、次のとおりである。凹部63は本
体61の左側面にこれと同軸の擂鉢状に形成され、孔62の
一つは本体61をその軸線に沿って貫通し、別のものは一
方では凹部63中心近傍に開口し、他方では導圧管51を貫
通し検出部50の図示してない導圧空間に連通する。本体
61の右側面は断面が波形に形成され、この波形とほぼ同
じ形状のシールダイヤフラム64が、本体61の右側面との
間に空間をもってその周縁で固着される。本体61の右側
面の周縁部にＯリング66を介してカバー67が取り付けら
れる。以上のことは、左側についても実質的に同様であ
る。そして、各本体61の内部空間には、それぞれ圧力伝
達用液体としてのシリコーンオイル（封入液）が充填さ
れる。
および孔62が形成される。さらに詳しくは、右側の本体
61で代表して述べると、次のとおりである。凹部63は本
体61の左側面にこれと同軸の擂鉢状に形成され、孔62の
一つは本体61をその軸線に沿って貫通し、別のものは一
方では凹部63中心近傍に開口し、他方では導圧管51を貫
通し検出部50の図示してない導圧空間に連通する。本体
61の右側面は断面が波形に形成され、この波形とほぼ同
じ形状のシールダイヤフラム64が、本体61の右側面との
間に空間をもってその周縁で固着される。本体61の右側
面の周縁部にＯリング66を介してカバー67が取り付けら
れる。以上のことは、左側についても実質的に同様であ
る。そして、各本体61の内部空間には、それぞれ圧力伝
達用液体としてのシリコーンオイル（封入液）が充填さ
れる。
【０００５】この従来例の作用は次のとおりである。差
圧流量計、たとえばオリフィスの両側の各導入圧力（静
圧を含む）が、それぞれ各シールダイヤフラム64で受圧
されると、その各導入圧力は、それぞれシールダイヤフ
ラム64に接する空間，孔62，凹部63をへて検出部50の対
応する導圧空間に伝達される。なお、各シールダイヤフ
ラム64はそのバネ定数が極めて小さく（軟らく）、検出
部50の図示してない検出用ダイヤフラムはそのバネ定数
が極めて大きく（剛く）、保護ダイヤフラム65はそのバ
ネ定数が前記の二つの中間値をとる。検出部50では、各
導入圧力に基づく差圧が周知の静電容量式によって電気
信号に変換され出力される。以上は正常な圧力導入操作
がおこなわれた場合である。
圧流量計、たとえばオリフィスの両側の各導入圧力（静
圧を含む）が、それぞれ各シールダイヤフラム64で受圧
されると、その各導入圧力は、それぞれシールダイヤフ
ラム64に接する空間，孔62，凹部63をへて検出部50の対
応する導圧空間に伝達される。なお、各シールダイヤフ
ラム64はそのバネ定数が極めて小さく（軟らく）、検出
部50の図示してない検出用ダイヤフラムはそのバネ定数
が極めて大きく（剛く）、保護ダイヤフラム65はそのバ
ネ定数が前記の二つの中間値をとる。検出部50では、各
導入圧力に基づく差圧が周知の静電容量式によって電気
信号に変換され出力される。以上は正常な圧力導入操作
がおこなわれた場合である。
【０００６】ところが、誤操作によって右側のシールダ
イヤフラム64だけが受圧したとすると、もし保護部60が
なければ、検出部50は大きい片圧を受けて破壊されるお
それがある。オリフィスの両側の各圧力の導入に誤操作
があって、たとえ一方の圧力だけがシールダイヤフラム
で受圧されたとしても、保護部60は次に述べるような動
作によって検出部50を保護する。いま、右側のシールダ
イヤフラム64だけが受圧したとすると、この圧力は、封
入液を介して右側の孔62, 凹部63から、一方では保護ダ
イヤフラム65を介して左側の凹部63, 孔62を経て伝達さ
れ、左側のシールダイヤフラム64を膨らませ、他方では
右側の孔62を経て検出部20の右側の導圧空間に伝達され
る。しかし、この伝達圧力は、右側のシールダイヤフラ
ム64が対向する本体61の右側の波形表面と当接すること
によって、ある値以下に制限されるから、検出部50が破
壊されるおそれはなく、保護機能が働いたことになる。
イヤフラム64だけが受圧したとすると、もし保護部60が
なければ、検出部50は大きい片圧を受けて破壊されるお
それがある。オリフィスの両側の各圧力の導入に誤操作
があって、たとえ一方の圧力だけがシールダイヤフラム
で受圧されたとしても、保護部60は次に述べるような動
作によって検出部50を保護する。いま、右側のシールダ
イヤフラム64だけが受圧したとすると、この圧力は、封
入液を介して右側の孔62, 凹部63から、一方では保護ダ
イヤフラム65を介して左側の凹部63, 孔62を経て伝達さ
れ、左側のシールダイヤフラム64を膨らませ、他方では
右側の孔62を経て検出部20の右側の導圧空間に伝達され
る。しかし、この伝達圧力は、右側のシールダイヤフラ
ム64が対向する本体61の右側の波形表面と当接すること
によって、ある値以下に制限されるから、検出部50が破
壊されるおそれはなく、保護機能が働いたことになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】一従来例には、本体41
の左右に圧力導入用のカバー45を配置した構造をとるか
ら、縦方向と同時に横方向に寸法をとって、どうしても
大形になり、さらには重量が増し、コストも増大すると
いう欠点がある。別の従来例には、片圧に対する保護機
能をもつ保護部60と、その上部に設置される検出部50と
からなる構成であるから、一従来例と同様に大形にな
り、重量が増し、結果としてコストも増大するという欠
点がある。さらにその他に、封入液との接触部の溶接箇
所、具体的には保護ダイヤフラム65の外周部と、左右の
各本体61の端面外周部との溶接箇所が外気に触れる構造
になるため、外気が腐食性であると、溶接箇所が腐食さ
れるという欠点である。
の左右に圧力導入用のカバー45を配置した構造をとるか
ら、縦方向と同時に横方向に寸法をとって、どうしても
大形になり、さらには重量が増し、コストも増大すると
いう欠点がある。別の従来例には、片圧に対する保護機
能をもつ保護部60と、その上部に設置される検出部50と
からなる構成であるから、一従来例と同様に大形にな
り、重量が増し、結果としてコストも増大するという欠
点がある。さらにその他に、封入液との接触部の溶接箇
所、具体的には保護ダイヤフラム65の外周部と、左右の
各本体61の端面外周部との溶接箇所が外気に触れる構造
になるため、外気が腐食性であると、溶接箇所が腐食さ
れるという欠点である。
【０００８】この発明が解決しようとする課題は、従来
の技術がもつ以上の問題点を解消して、小形化，軽量
化，低コスト化を図り、また封入液との接触部の溶接箇
所が外気に触れない構造にして、外気が腐食性であって
も溶接箇所が腐食されないようにした差圧検出装置を提
供することにある。
の技術がもつ以上の問題点を解消して、小形化，軽量
化，低コスト化を図り、また封入液との接触部の溶接箇
所が外気に触れない構造にして、外気が腐食性であって
も溶接箇所が腐食されないようにした差圧検出装置を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、円柱状体で
あって、その外周面から軸線と直角にあけられた座グリ
部付き有底穴に差圧検出部が挿設され、一方の端面に測
定差圧に係る一方の導入圧を受ける第１のシールダイヤ
フラムが設けられ、その受圧導入圧を差圧検出部に伝達
するための穴を有する本体と；有底穴の座グリ部に挿設
される円板状体であって、その外側端面に他方の導入圧
を受ける第２のシールダイヤフラムが設けられ、その受
圧導入圧を差圧検出部に伝達するための穴を有する副体
と；本体の一方の端面側に設けられ、第１シールダイヤ
フラムに対する一方の導入圧用の穴を有するカバーと；
本体の外周面に設けられ、第２シールダイヤフラムに対
する他方の導入圧用の穴を有するカバーと；を備え、本
体と副体との内部空間に圧力伝達用の液体が封入され、
差圧検出部のリード部が本体の他方の端面から導出され
る。また、とくに測定差圧に係る他方の導入圧が大気圧
であり、この他方の導入圧側のカバーが、本体外周面に
通気性をもたせて設けられる板状部材であるようにする
ことができる。
あって、その外周面から軸線と直角にあけられた座グリ
部付き有底穴に差圧検出部が挿設され、一方の端面に測
定差圧に係る一方の導入圧を受ける第１のシールダイヤ
フラムが設けられ、その受圧導入圧を差圧検出部に伝達
するための穴を有する本体と；有底穴の座グリ部に挿設
される円板状体であって、その外側端面に他方の導入圧
を受ける第２のシールダイヤフラムが設けられ、その受
圧導入圧を差圧検出部に伝達するための穴を有する副体
と；本体の一方の端面側に設けられ、第１シールダイヤ
フラムに対する一方の導入圧用の穴を有するカバーと；
本体の外周面に設けられ、第２シールダイヤフラムに対
する他方の導入圧用の穴を有するカバーと；を備え、本
体と副体との内部空間に圧力伝達用の液体が封入され、
差圧検出部のリード部が本体の他方の端面から導出され
る。また、とくに測定差圧に係る他方の導入圧が大気圧
であり、この他方の導入圧側のカバーが、本体外周面に
通気性をもたせて設けられる板状部材であるようにする
ことができる。
【００１０】また、この発明は、平行な端面を有し、そ
の一方の端面に測定差圧に係る一方の導入圧を受ける第
１のシールダイヤフラムが設けられ、他方の端面にあけ
られた２段の座グリ部付き有底穴に差圧検出部が挿設さ
れる本体と；この本体の１段目の小径座グリ部に挿設さ
れ、保護ダイヤフラムおよびその各側に配された空間を
有する円板状隔膜ユニットと；本体の２段目の大径座グ
リ部に挿設される円板状体で、その外側端面に他方の導
入圧を受ける第２のシールダイヤフラムが設けられ、そ
の他方の導入圧を隔膜ユニットの片側の空間に伝達する
ための穴を有する副体と；本体の一方の端面側に設けら
れ、第１シールダイヤフラムに対する一方の導入圧用の
穴を有するカバーと；本体の他方の端面側に設けられ、
副体の第２シールダイヤフラムに対する他方の導入圧用
の穴を有するカバーと；を備え、本体と副体と隔膜ユニ
ットの内部空間に封入された圧力伝達用の液体を介し
て、差圧に係る一方，他方の各導入圧が、差圧検出部と
隔膜ユニットの各空間とに伝達され、差圧検出部のリー
ド部が本体の外周面から導出される。
の一方の端面に測定差圧に係る一方の導入圧を受ける第
１のシールダイヤフラムが設けられ、他方の端面にあけ
られた２段の座グリ部付き有底穴に差圧検出部が挿設さ
れる本体と；この本体の１段目の小径座グリ部に挿設さ
れ、保護ダイヤフラムおよびその各側に配された空間を
有する円板状隔膜ユニットと；本体の２段目の大径座グ
リ部に挿設される円板状体で、その外側端面に他方の導
入圧を受ける第２のシールダイヤフラムが設けられ、そ
の他方の導入圧を隔膜ユニットの片側の空間に伝達する
ための穴を有する副体と；本体の一方の端面側に設けら
れ、第１シールダイヤフラムに対する一方の導入圧用の
穴を有するカバーと；本体の他方の端面側に設けられ、
副体の第２シールダイヤフラムに対する他方の導入圧用
の穴を有するカバーと；を備え、本体と副体と隔膜ユニ
ットの内部空間に封入された圧力伝達用の液体を介し
て、差圧に係る一方，他方の各導入圧が、差圧検出部と
隔膜ユニットの各空間とに伝達され、差圧検出部のリー
ド部が本体の外周面から導出される。
【００１１】
【作用】この発明では、測定差圧に係る一方の導入圧
が、本体の一方の端面側のカバーの導入穴を通して第１
シールダイヤフラムで受圧され、封入液を介して差圧検
出部に伝達される。他方の導入圧が、本体の外周面側の
カバーの導入穴を通して第２シールダイヤフラムで受圧
され、封入液を介して差圧検出部に伝達される。
が、本体の一方の端面側のカバーの導入穴を通して第１
シールダイヤフラムで受圧され、封入液を介して差圧検
出部に伝達される。他方の導入圧が、本体の外周面側の
カバーの導入穴を通して第２シールダイヤフラムで受圧
され、封入液を介して差圧検出部に伝達される。
【００１２】また、この発明では、測定差圧に係る一方
の導入圧が、本体の一方の端面側のカバーの導入穴を通
して第１シールダイヤフラムで受圧され、封入液を介し
て隔膜ユニットの一方の空間と、差圧検出部とにそれぞ
れ伝達される。他方の導入圧が本体の他方の端面側のカ
バーの導入穴を通して第２シールダイヤフラムで受圧さ
れ、封入液を介して隔膜ユニットの他方の空間と、差圧
検出部とにそれぞれ伝達される。誤操作などに起因し
て、測定差圧に係るいずれかの導入圧だけが大きい片圧
として作用したときには、隔膜ユニットの保護ダイヤフ
ラムに基づく周知の保護機能によって、差圧検出部には
過大圧がかからないようにされ、差圧検出部が大きい片
圧から保護される。さらに、封入液と接触する部分の溶
接箇所が、構造的に全て本体の内部に位置するようにし
て外気に触れないようにすることができる。
の導入圧が、本体の一方の端面側のカバーの導入穴を通
して第１シールダイヤフラムで受圧され、封入液を介し
て隔膜ユニットの一方の空間と、差圧検出部とにそれぞ
れ伝達される。他方の導入圧が本体の他方の端面側のカ
バーの導入穴を通して第２シールダイヤフラムで受圧さ
れ、封入液を介して隔膜ユニットの他方の空間と、差圧
検出部とにそれぞれ伝達される。誤操作などに起因し
て、測定差圧に係るいずれかの導入圧だけが大きい片圧
として作用したときには、隔膜ユニットの保護ダイヤフ
ラムに基づく周知の保護機能によって、差圧検出部には
過大圧がかからないようにされ、差圧検出部が大きい片
圧から保護される。さらに、封入液と接触する部分の溶
接箇所が、構造的に全て本体の内部に位置するようにし
て外気に触れないようにすることができる。
【００１３】
【実施例】この発明に係る差圧検出装置の実施例につい
て、以下に図を参照しながら説明する。第１実施例は一
従来例に対応するもので、ゲージ圧検出装置10として構
成され、図１の断面図に示される構造をとる。図におい
て、このゲージ圧検出装置10は主として、差圧検出部1
を内蔵する本体11と、副体15と、カバー17と、上部ケー
ス19とからなる。本体11は円柱状をなし、左側の外周面
から軸線と直角に座グリ穴11a があけられ、下端面から
座グリ穴11a に通じる穴11b があけられ、右側の外周面
から軸線と直角に、座グリ穴11a の底面と、座グリ面と
に通じる符号を付けてない二つの穴があけられる。この
二つの穴は、圧力伝達用の液体であるシリコーンオイル
を内部空間に充填するためのもので、充填後にボール13
と押止ネジ14によって封止される。本体11の下端面は、
ここに設けられるシールダイヤフラム12とわずかな隙間
をもち、これに対応する波形が加工される。このシール
ダイヤフラム12は、後述するように測定圧を受圧する。
て、以下に図を参照しながら説明する。第１実施例は一
従来例に対応するもので、ゲージ圧検出装置10として構
成され、図１の断面図に示される構造をとる。図におい
て、このゲージ圧検出装置10は主として、差圧検出部1
を内蔵する本体11と、副体15と、カバー17と、上部ケー
ス19とからなる。本体11は円柱状をなし、左側の外周面
から軸線と直角に座グリ穴11a があけられ、下端面から
座グリ穴11a に通じる穴11b があけられ、右側の外周面
から軸線と直角に、座グリ穴11a の底面と、座グリ面と
に通じる符号を付けてない二つの穴があけられる。この
二つの穴は、圧力伝達用の液体であるシリコーンオイル
を内部空間に充填するためのもので、充填後にボール13
と押止ネジ14によって封止される。本体11の下端面は、
ここに設けられるシールダイヤフラム12とわずかな隙間
をもち、これに対応する波形が加工される。このシール
ダイヤフラム12は、後述するように測定圧を受圧する。
【００１４】副体15は円板状をなし、軸線方向に貫通す
る穴15a があけられる。副体15の左側面は、ここに設け
られる大気圧受圧用のシールダイヤフラム16と隙間をも
ち、これに対応する波形が加工される。本体11の座グリ
穴11a の穴部分に差圧検出部1 が、また座グリ部に副体
15が挿設される。差圧検出部1 からのリード部2 が、本
体11の上端面から上方に引き出される。本体11に、差圧
検出部1 と副体15とを固着した後に、本体11と副体15と
の内部空間にシリコーンオイルが充填され、充填後に先
に述べたようにボール13と押止ネジ14によって封止され
る。
る穴15a があけられる。副体15の左側面は、ここに設け
られる大気圧受圧用のシールダイヤフラム16と隙間をも
ち、これに対応する波形が加工される。本体11の座グリ
穴11a の穴部分に差圧検出部1 が、また座グリ部に副体
15が挿設される。差圧検出部1 からのリード部2 が、本
体11の上端面から上方に引き出される。本体11に、差圧
検出部1 と副体15とを固着した後に、本体11と副体15と
の内部空間にシリコーンオイルが充填され、充填後に先
に述べたようにボール13と押止ネジ14によって封止され
る。
【００１５】カバー17は、測定圧導入用の穴17a が軸線
方向に貫通してあけられたフランジ付き円板状の部材
で、本体11の下端面側に、その周縁部で溶接によって固
着される。上部ケース19は、内部に増幅器や演算回路、
指示計などが内蔵される筒状部材で、本体11の上端面側
に、その周縁部で溶接によって固着される。カバー18
は、本体11の左側の外周面に沿って円弧状に湾曲された
板状部材で、本体11との間に通気性つまり隙間をもたせ
てネジ固定される。ここで、大気圧側のカバー18に代え
て、本体11に対して密封的に固着される形式のカバーに
すると、一般的な差圧検出が可能な他方の導入圧用にな
る。
方向に貫通してあけられたフランジ付き円板状の部材
で、本体11の下端面側に、その周縁部で溶接によって固
着される。上部ケース19は、内部に増幅器や演算回路、
指示計などが内蔵される筒状部材で、本体11の上端面側
に、その周縁部で溶接によって固着される。カバー18
は、本体11の左側の外周面に沿って円弧状に湾曲された
板状部材で、本体11との間に通気性つまり隙間をもたせ
てネジ固定される。ここで、大気圧側のカバー18に代え
て、本体11に対して密封的に固着される形式のカバーに
すると、一般的な差圧検出が可能な他方の導入圧用にな
る。
【００１６】測定圧は、カバー17の穴17a から導入さ
れ、シールダイヤフラム12で受圧されて、シリコーンオ
イルを介して穴11b をへて差圧検出部1 の対応する側に
伝達される。基準圧としての大気圧は、カバー17と本体
11の外周面との隙間を通して副体15のシールダイヤフラ
ム16で受圧され、シリコーンオイルを介して穴15a をへ
て差圧検出部1 の対応する側に伝達される。差圧検出部
1 は、ここでは静電容量式で、測定圧と大気圧との差
圧、つまりゲージ圧をこれに応じた静電容量変化に変換
し、リード部2 を介して出力する。この静電容量変化
は、図示してない増幅器や演算回路によってゲージ圧に
応じた電流に変換され、図示してない指示計によって現
場指示されるとともに、遠方に伝送される。
れ、シールダイヤフラム12で受圧されて、シリコーンオ
イルを介して穴11b をへて差圧検出部1 の対応する側に
伝達される。基準圧としての大気圧は、カバー17と本体
11の外周面との隙間を通して副体15のシールダイヤフラ
ム16で受圧され、シリコーンオイルを介して穴15a をへ
て差圧検出部1 の対応する側に伝達される。差圧検出部
1 は、ここでは静電容量式で、測定圧と大気圧との差
圧、つまりゲージ圧をこれに応じた静電容量変化に変換
し、リード部2 を介して出力する。この静電容量変化
は、図示してない増幅器や演算回路によってゲージ圧に
応じた電流に変換され、図示してない指示計によって現
場指示されるとともに、遠方に伝送される。
【００１７】第２実施例は別の従来例に対応するもの
で、差圧検出装置20として構成され、図２の断面図に示
される構造をとる。図において、この差圧検出装置20は
主として、差圧検出部1 および隔膜ユニット27を内蔵す
る本体21と、副体25と、左右両側の各カバー28と、上部
ケース30とからなる。本体21は左右両側に平行な端面を
もつ円柱状をなし、左側の端面から２段の座グリ部をも
つ有底の座グリ穴21a があけられる。本体21の右端面
は、ここに設けられるシールダイヤフラム22と隙間をも
ち、これに対応する波形が加工される。このシールダイ
ヤフラム22は、測定差圧に係る一方の導入圧を受圧す
る。本体21の右端面と座グリ穴21a の１段目の小径座グ
リ面とに開口するように貫通する穴21b が、また座グリ
穴21a の２段目の大径座グリ面から差圧検出部1 に通じ
る穴21c があけられる。また、穴21b に本体21の外周面
の下部から、符号を付けてない穴があけられ、この穴は
圧力伝達用の液体であるシリコーンオイルを内部空間に
充填するためのもので、充填後にボール23と押止ネジ24
によって封止される。
で、差圧検出装置20として構成され、図２の断面図に示
される構造をとる。図において、この差圧検出装置20は
主として、差圧検出部1 および隔膜ユニット27を内蔵す
る本体21と、副体25と、左右両側の各カバー28と、上部
ケース30とからなる。本体21は左右両側に平行な端面を
もつ円柱状をなし、左側の端面から２段の座グリ部をも
つ有底の座グリ穴21a があけられる。本体21の右端面
は、ここに設けられるシールダイヤフラム22と隙間をも
ち、これに対応する波形が加工される。このシールダイ
ヤフラム22は、測定差圧に係る一方の導入圧を受圧す
る。本体21の右端面と座グリ穴21a の１段目の小径座グ
リ面とに開口するように貫通する穴21b が、また座グリ
穴21a の２段目の大径座グリ面から差圧検出部1 に通じ
る穴21c があけられる。また、穴21b に本体21の外周面
の下部から、符号を付けてない穴があけられ、この穴は
圧力伝達用の液体であるシリコーンオイルを内部空間に
充填するためのもので、充填後にボール23と押止ネジ24
によって封止される。
【００１８】隔膜ユニット27は円板状をなし、部分的な
破断図で示すように、円板状の保護ダイヤフラム27a
と、その左右両側に配された符号を付けてない円錐状空
間と、この空間に連通する穴とを有する。この隔膜ユニ
ット27は、座グリ穴21a の１段目の座グリ部に挿設さ
れ、機能的には従来例における保護部60に相当する。す
なわち、保護ダイヤフラム27a は従来例における保護ダ
イヤフラム65に、円錐状空間は同じくその凹部63に相当
する。
破断図で示すように、円板状の保護ダイヤフラム27a
と、その左右両側に配された符号を付けてない円錐状空
間と、この空間に連通する穴とを有する。この隔膜ユニ
ット27は、座グリ穴21a の１段目の座グリ部に挿設さ
れ、機能的には従来例における保護部60に相当する。す
なわち、保護ダイヤフラム27a は従来例における保護ダ
イヤフラム65に、円錐状空間は同じくその凹部63に相当
する。
【００１９】本体21の座グリ穴21a の穴部分に差圧検出
部1 が挿設され、差圧検出部1 からのリード部2 が、本
体21の外周面の上部から上方に引き出される。副体25は
円板状をなし、軸線方向に貫通する穴25a があけられ
る。副体25の左側面は、ここに設けられる、測定差圧に
係る他方の導入圧受圧用のシールダイヤフラム26と隙間
をもち、これに対応する波形が加工される。副体25は、
座グリ穴21a の１段目の座グリ部に挿入され溶接によっ
て固着され、穴25a は隔膜ユニット27の左側の円錐状空
間に連通する。本体21に、差圧検出部1 、隔膜ユニット
27および副体25が挿入され溶接によって固着された後
に、本体21と隔膜ユニット27と副体25との内部空間にシ
リコーンオイルが充填され、充填後に先に述べたように
ボール23と押止ネジ24によって封止される。
部1 が挿設され、差圧検出部1 からのリード部2 が、本
体21の外周面の上部から上方に引き出される。副体25は
円板状をなし、軸線方向に貫通する穴25a があけられ
る。副体25の左側面は、ここに設けられる、測定差圧に
係る他方の導入圧受圧用のシールダイヤフラム26と隙間
をもち、これに対応する波形が加工される。副体25は、
座グリ穴21a の１段目の座グリ部に挿入され溶接によっ
て固着され、穴25a は隔膜ユニット27の左側の円錐状空
間に連通する。本体21に、差圧検出部1 、隔膜ユニット
27および副体25が挿入され溶接によって固着された後
に、本体21と隔膜ユニット27と副体25との内部空間にシ
リコーンオイルが充填され、充填後に先に述べたように
ボール23と押止ネジ24によって封止される。
【００２０】右, 左各側のカバー28は、測定差圧に係る
一方, 他方の各導入圧用の紙面に直角にあけられた穴(
図示してない) をもち、各シールダイヤフラム22,26 を
覆う形で、それぞれＯリング29を介して密封的に本体21
に対し、図示してないネジによる締結によって固定され
る。上部ケース30は、内部に増幅器や演算回路、指示計
などが内蔵される筒状部材で、その周縁部で本体21の外
周面上部に溶接によって固着される。
一方, 他方の各導入圧用の紙面に直角にあけられた穴(
図示してない) をもち、各シールダイヤフラム22,26 を
覆う形で、それぞれＯリング29を介して密封的に本体21
に対し、図示してないネジによる締結によって固定され
る。上部ケース30は、内部に増幅器や演算回路、指示計
などが内蔵される筒状部材で、その周縁部で本体21の外
周面上部に溶接によって固着される。
【００２１】測定差圧に係る一方の導入圧が、本体21の
右側のカバー28の、図示してない導入穴をへてシールダ
イヤフラム22で受圧され、封入液を介して一つには隔膜
ユニット27の右側の空間に、もう一つには差圧検出部1
の対応する側に伝達される。他方の導入圧が本体21の左
側のカバー28の導入穴をへてシールダイヤフラム26で受
圧され、封入液を介して一つには隔膜ユニット27の左側
の空間に、もう一つには差圧検出部1 の対応する側に伝
達される。誤操作などに起因して、測定差圧に係るいず
れかの導入圧だけが大きい片圧として作用したときに
は、隔膜ユニット27の保護ダイヤフラム27a に基づく周
知の保護機能によって、差圧検出部1 には過大圧がかか
らないようにされ、差圧検出部1 が大きい片圧から保護
される。さらに、封入液と接触する部分の溶接箇所を、
構造的に全て本体21の内部に位置させるようにして外気
に触れないようにすることができる。
右側のカバー28の、図示してない導入穴をへてシールダ
イヤフラム22で受圧され、封入液を介して一つには隔膜
ユニット27の右側の空間に、もう一つには差圧検出部1
の対応する側に伝達される。他方の導入圧が本体21の左
側のカバー28の導入穴をへてシールダイヤフラム26で受
圧され、封入液を介して一つには隔膜ユニット27の左側
の空間に、もう一つには差圧検出部1 の対応する側に伝
達される。誤操作などに起因して、測定差圧に係るいず
れかの導入圧だけが大きい片圧として作用したときに
は、隔膜ユニット27の保護ダイヤフラム27a に基づく周
知の保護機能によって、差圧検出部1 には過大圧がかか
らないようにされ、差圧検出部1 が大きい片圧から保護
される。さらに、封入液と接触する部分の溶接箇所を、
構造的に全て本体21の内部に位置させるようにして外気
に触れないようにすることができる。
【００２２】
【発明の効果】この発明では、測定差圧に係る一方の導
入圧が、本体の一方の端面側のカバーの導入穴を通して
第１シールダイヤフラムで受圧され、封入液を介して差
圧検出部に伝達され、他方の導入圧が、本体の外周面側
のカバーの導入穴を通して第２シールダイヤフラムで受
圧され、封入液を介して差圧検出部に伝達される。した
がって、側方に突出する部分がなく、装置全体が円柱状
体として構成され、部品点数が少なくてすむから、小形
化，軽量化，低コスト化が図れ、かつ取扱性も良好であ
る。とくに、ゲージ圧検出用のとき、つまり他方の導入
圧が大気圧のときには、小形化，軽量化，低コスト化の
面でさらに顕著な効果が期待できる。
入圧が、本体の一方の端面側のカバーの導入穴を通して
第１シールダイヤフラムで受圧され、封入液を介して差
圧検出部に伝達され、他方の導入圧が、本体の外周面側
のカバーの導入穴を通して第２シールダイヤフラムで受
圧され、封入液を介して差圧検出部に伝達される。した
がって、側方に突出する部分がなく、装置全体が円柱状
体として構成され、部品点数が少なくてすむから、小形
化，軽量化，低コスト化が図れ、かつ取扱性も良好であ
る。とくに、ゲージ圧検出用のとき、つまり他方の導入
圧が大気圧のときには、小形化，軽量化，低コスト化の
面でさらに顕著な効果が期待できる。
【００２３】また、この発明では、測定差圧に係る一方
の導入圧が、隔膜ユニットの一方の空間と、差圧検出部
とにそれぞれ伝達され、他方の導入圧が隔膜ユニットの
他方の空間と、差圧検出部とにそれぞれ伝達される。し
たがって、誤操作などに起因して、測定差圧に係るいず
れかの導入圧だけが大きい片圧として作用したときに
は、隔膜ユニットによって、差圧検出部には過大圧がか
からないようにされて大きい片圧から保護され、装置の
信頼性向上が図れる。しかも、差圧検出部と隔膜ユニッ
トとが、本体に内蔵される形をとるから小形化が支援さ
れ、さらに、封入液と接触する部分の溶接箇所が、構造
的に全て本体の内部にあるようにして外気に触れないよ
うにすることができるから、外気が腐食性であっても溶
接箇所が腐食されることがなく、装置の耐腐食性の向上
が図れる。
の導入圧が、隔膜ユニットの一方の空間と、差圧検出部
とにそれぞれ伝達され、他方の導入圧が隔膜ユニットの
他方の空間と、差圧検出部とにそれぞれ伝達される。し
たがって、誤操作などに起因して、測定差圧に係るいず
れかの導入圧だけが大きい片圧として作用したときに
は、隔膜ユニットによって、差圧検出部には過大圧がか
からないようにされて大きい片圧から保護され、装置の
信頼性向上が図れる。しかも、差圧検出部と隔膜ユニッ
トとが、本体に内蔵される形をとるから小形化が支援さ
れ、さらに、封入液と接触する部分の溶接箇所が、構造
的に全て本体の内部にあるようにして外気に触れないよ
うにすることができるから、外気が腐食性であっても溶
接箇所が腐食されることがなく、装置の耐腐食性の向上
が図れる。
【図１】この発明に係る第１実施例の断面図
【図２】同じくその第２実施例の断面図
【図３】一従来例の断面図
【図４】別の従来例の断面図
１ 差圧検出部 ２ リード部 １０ ゲージ圧検出装置 １１ 本体 １１ａ 座グリ穴 １１ｂ 穴 １２ シールダイヤフラム １３ ボール １４ 押止ネジ １５ 副体 １５ａ 穴 １６ シールダイヤフラム １７ カバー １７ａ 穴 １８ カバー １９ 上部ケース ２０ 差圧検出装置 ２１ 本体 ２１ａ 座グリ穴 ２１ｂ，２１ｃ 穴 ２２ シールダイヤフラム ２３ ボール ２４ 押止ネジ ２５ 副体 ２５ａ 穴 ２６ シールダイヤフラム ２７ 隔膜ユニット ２７ａ 保護ダイヤフラム ２８ カバー ２９ Ｏリング ３０ 上部ケース
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 誠治 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】円柱状体であって、その外周面から軸線と
直角にあけられた座グリ部付き有底穴に差圧検出部が挿
設され、一方の端面に測定差圧に係る一方の導入圧を受
ける第１のシールダイヤフラムが設けられ、その受圧導
入圧を差圧検出部に伝達するための穴を有する本体と；
有底穴の座グリ部に挿設される円板状体であって、その
外側端面に他方の導入圧を受ける第２のシールダイヤフ
ラムが設けられ、その受圧導入圧を差圧検出部に伝達す
るための穴を有する副体と；本体の一方の端面側に設け
られ、第１シールダイヤフラムに対する一方の導入圧用
の穴を有するカバーと；本体の外周面に設けられ、第２
シールダイヤフラムに対する他方の導入圧用の穴を有す
るカバーと；を備え、本体と副体との内部空間に圧力伝
達用の液体が封入され、差圧検出部のリード部が本体の
他方の端面から導出されることを特徴とする差圧検出装
置。 - 【請求項２】請求項１に記載の装置において、測定差圧
に係る他方の導入圧は、大気圧であり、この他方の導入
圧側のカバーは、本体外周面に通気性をもたせて設けら
れる板状部材であることを特徴とする差圧検出装置。 - 【請求項３】平行な端面を有し、その一方の端面に測定
差圧に係る一方の導入圧を受ける第１のシールダイヤフ
ラムが設けられ、他方の端面にあけられた２段の座グリ
部付き有底穴に差圧検出部が挿設される本体と；この本
体の１段目の小径座グリ部に挿設され、保護ダイヤフラ
ムおよびその各側に配された空間を有する円板状隔膜ユ
ニットと；本体の２段目の大径座グリ部に挿設される円
板状体で、その外側端面に他方の導入圧を受ける第２の
シールダイヤフラムが設けられ、その他方の導入圧を隔
膜ユニットの片側の空間に伝達するための穴を有する副
体と；本体の一方の端面側に設けられ、第１シールダイ
ヤフラムに対する一方の導入圧用の穴を有するカバー
と；本体の他方の端面側に設けられ、副体の第２シール
ダイヤフラムに対する他方の導入圧用の穴を有するカバ
ーと；を備え、本体と副体と隔膜ユニットの内部空間に
封入された圧力伝達用の液体を介して、差圧に係る一
方，他方の各導入圧が、差圧検出部と隔膜ユニットの各
空間とに伝達され、差圧検出部のリード部が本体の外周
面から導出されることを特徴とする差圧検出装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09599394A JP3166477B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 差圧検出装置 |
| US08/434,710 US5602338A (en) | 1994-05-10 | 1995-05-04 | Differential pressure detecting apparatus |
| EP99117784A EP0962753A1 (en) | 1994-05-10 | 1995-05-09 | Differential pressure detecting apparatus |
| BR9501970A BR9501970A (pt) | 1994-05-10 | 1995-05-09 | Aparelho para detecção de pressão diferencial |
| DE69522739T DE69522739D1 (de) | 1994-05-10 | 1995-05-09 | Differenzdruckwandler |
| EP95107021A EP0682239B1 (en) | 1994-05-10 | 1995-05-09 | Differential pressure detecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09599394A JP3166477B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 差圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306106A true JPH07306106A (ja) | 1995-11-21 |
| JP3166477B2 JP3166477B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=14152655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09599394A Expired - Fee Related JP3166477B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 差圧検出装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5602338A (ja) |
| EP (2) | EP0962753A1 (ja) |
| JP (1) | JP3166477B2 (ja) |
| BR (1) | BR9501970A (ja) |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014095558A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Fuji Electric Co Ltd | 接続パーツおよび差圧／圧力発信器 |
| KR20140126602A (ko) * | 2013-04-23 | 2014-10-31 | 한국단자공업 주식회사 | 압력센서 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6038961A (en) * | 1998-03-02 | 2000-03-21 | Rosemount Inc. | Flush mount remote seal |
| JP2002310836A (ja) * | 2001-04-12 | 2002-10-23 | Fuji Electric Co Ltd | 圧力センサ装置および圧力センサ収納容器 |
| DE102006057829A1 (de) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdruckaufnehmer |
| DE102006057828A1 (de) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdruckmeßaufnehmer |
| CN103344379B (zh) * | 2013-07-04 | 2016-01-20 | 普菲（北京）科技有限公司 | 机电一体化差压表 |
| CN105067182A (zh) * | 2015-04-15 | 2015-11-18 | 江苏德尔森传感器科技有限公司 | 高稳定性单晶硅压差传感器 |
| DE102017127138A1 (de) * | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckmessaufnehmer |
| CN109855787B (zh) * | 2019-03-06 | 2023-11-03 | 无锡昆仑富士仪表有限公司 | 一种直接安装型高压力变送器 |
| DE102021133183A1 (de) | 2021-12-15 | 2023-06-15 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Relativdruckmessaufnehmer zur Bestimmung eines ersten Drucks eines Mediums |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5740625A (en) * | 1980-08-23 | 1982-03-06 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Dynamic balancing type differential pressure transmitter |
| JPS59203936A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
-
1994
- 1994-05-10 JP JP09599394A patent/JP3166477B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-05-04 US US08/434,710 patent/US5602338A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-09 DE DE69522739T patent/DE69522739D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-09 EP EP99117784A patent/EP0962753A1/en not_active Withdrawn
- 1995-05-09 BR BR9501970A patent/BR9501970A/pt not_active Application Discontinuation
- 1995-05-09 EP EP95107021A patent/EP0682239B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014095558A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Fuji Electric Co Ltd | 接続パーツおよび差圧／圧力発信器 |
| KR20140126602A (ko) * | 2013-04-23 | 2014-10-31 | 한국단자공업 주식회사 | 압력센서 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69522739D1 (de) | 2001-10-25 |
| BR9501970A (pt) | 1995-12-12 |
| EP0682239A3 (en) | 1996-04-03 |
| EP0682239B1 (en) | 2001-09-19 |
| JP3166477B2 (ja) | 2001-05-14 |
| EP0682239A2 (en) | 1995-11-15 |
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| US5602338A (en) | 1997-02-11 |
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