JPH07306089A - 光センサの構造 - Google Patents

光センサの構造

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Publication number
JPH07306089A
JPH07306089A JP6120699A JP12069994A JPH07306089A JP H07306089 A JPH07306089 A JP H07306089A JP 6120699 A JP6120699 A JP 6120699A JP 12069994 A JP12069994 A JP 12069994A JP H07306089 A JPH07306089 A JP H07306089A
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JP
Japan
Prior art keywords
measured
receiving surface
light
phosphor
light receiving
Prior art date
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Pending
Application number
JP6120699A
Other languages
English (en)
Inventor
Motonori Imamura
元規 今村
Yasuo Fujita
康夫 藤田
Naoharu Niki
尚治 仁木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP6120699A priority Critical patent/JPH07306089A/ja
Publication of JPH07306089A publication Critical patent/JPH07306089A/ja
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 被測定ビームを目視できる手段を設けて、短
時間で容易に、かつ確実に光センサ10の受光面12
を、光軸中心に位置合わせできるようにする。 【構成】 スライドカバー14を閉じた状態で、受光面
12と対応するスライドカバー14の上面位置に、被測
定ビームを受けて可視光線に変換して発光する蛍光物質
を形成した蛍光体16を設けた手段。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、非可視光線である被
測定ビーム30を、光センサに当てて測定する場合に、
事前に被測定ビームの照射位置や形状を目視で確認でき
る構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光パワーメータの構成例は、図4
(a)、(b)、(c)に示すように、本体20と光セ
ンサ10とケーブル22で構成している。本体20に
は、レベル表示器24と操作スイッチ26があり、光セ
ンサ10には、受光面12とスライドカバー14とセン
サケース19があり、受光面12のフォト・ダイオード
で光電変換した信号をケーブル22で本体20に供給し
ている。従来、光のパワーレベルを測定する場合は、受
光面12の保護用スライドカバー14を開けて被測定ビ
ーム30を受光面12に直接当てて、本体のレベル表示
器24の指示値が最大となる照射位置を見出してから測
定を開始している。照射位置は、次の説明例に示すよう
にして、最良位置を求めている。
【0003】パワーレベルの最大となる位置を探す場
合、被測定ビーム30が変動するビームであれば、必要
により一定パワーレベル状態のビームに変更して印加す
る。これは、レベル表示器24で最大値の指示値が判断
できるようにしておく為で、予めこの状態にしておいて
以下の要領で測定する。一回測定すれば良い測定例の場
合では、本体20の操作スイッチ26でMAXホールド
状態に設定した後、光センサ10を手に持って前後左右
に移動させて、一度は受光面12に被測定ビーム30を
通過させる。この結果、最大の測定値Pmaxが保持され
て表示される。これによってパワーレベルは測定でき
る。
【0004】一方、光センサ10を固定スタンド等で固
定してパワーレベルを繰り返し測定する測定例の場合で
は、上記同様にMAXホールド状態で測定した最大値P
maxをまず求める。次に、光センサ10を、固定スタン
ドに半固定状態にしておき、MAXホールド状態を解除
して、この最大値Pmaxとなる位置を前後左右に移動さ
せて探し、探した位置に光センサ10を固定する。その
後に本来の被測定ビーム30を印加して測定を実施す
る。しかし、この方法では、正しいパワーレベルが測定
されない場合がある。また、ビーム位置合わせに時間が
かかり不便である。また、光センサ10は、光軸に対し
て垂直になっているか否かは不確定の場合があり、パワ
ーレベルの測定値は、低い指示値となる場合もありう
る。また、この方法では、被測定ビームの形状が光セン
サ10の有効検出範囲よりも広がっているのか否かの判
断も難しい。また、隣接した位置に2つのビームが存在
する場合では、何れのビームを測定しているの分から
ず、誤って測定してしまう場合もある。また、被測定ビ
ーム30のパワーレベルが時間的に変わる光線、即ちパ
ルス光線や、時間的に変動する光線や、低周波で変調さ
れた光線の場合では、被測定ビームの光軸合わせは、一
層困難な場合がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、ビ
ーム位置の確認手段がない為、正しい状態でパワーレベ
ルが測定されない場合が生じたり、時間的に変わる変調
された光線では、ビーム位置合わせが困難な場合があ
り、また、ビーム位置合わせに時間がかかり、測定誤差
要因となってしまい実用上の不便である。そこで、本発
明が解決しようとする課題は、被測定ビーム30を目視
できる手段を設けて、短時間で容易に、かつ確実に光セ
ンサ10の受光面12を、光軸中心に位置合わせできる
ようにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、スライドカバー14を閉じた状
態で、受光面12と対応するスライドカバー14の上面
位置に、被測定ビーム30を受けて可視光線に変換して
発光する蛍光物質を形成した蛍光体16を設けた手段と
している。これにより、目に見えない被測定ビーム30
のビーム位置合わせを実現する光センサ10の構造とし
ている。また、上記蛍光体16面に、直下の受光面12
の中心点が分かるようにクロス中心線16bあるいは環
状円16cの印を形成した光センサの構造がある。ま
た、上記蛍光体16面に、直下の受光面12の直下の受
光面12の受光領域が分かるように受光面12の輪郭と
同一輪郭線16aの印を形成した光センサの構造があ
る。
【0007】
【作用】蛍光体16は、被測定ビーム30を受けて、可
視光に変換して発光する作用がある。受光面12をスラ
イドカバー14を閉じた状態において、クロス中心線1
6b又は環状円16cの印は、受光面12の中心点と一
致する為、ビーム位置合わせが正確にできる作用をも
つ。蛍光体16による発光を目視で確認しながらビーム
位置合わせができる為、パワーレベルの変動のある状態
の被測定ビーム30でもビーム位置合わせができる作用
がある。蛍光体16の発光する形状から、被測定ビーム
のビーム形状32も目視確認出来る機能が得られる。
【0008】
【実施例】構成は、図1に示すように、従来の光センサ
10の受光面12のスライドカバー14の上面に蛍光体
16を形成した構造としている。ここで、スライドカバ
ー14は、従来と同様の受光面12を保護する保護カバ
ーである。蛍光体16は、受光面12を保護する状態、
即ちスライドカバー14を閉じた状態において、受光面
12の上を覆う状態となる。この蛍光体16は、目に見
えない被測定ビーム30、例えば紫外線やX線等を受け
て、可視光に変換して発光する蛍光物質、例えばIRフ
ォスファー等で形成しておく。そして、この蛍光体16
の面積は、受光面12より広く形成する。また、この蛍
光体16上には、被測定ビームが受光面12の中心であ
るかを分かり易くするために、図2に示すように受光面
12の中心が分かるようにクロス中心線16b又は環状
円16cの印を形成する。また、受光面12の有効範囲
が分かるように、受光面12の輪郭と同一外形の輪郭線
16aの印を形成している。
【0009】このように形成された光センサ10をスラ
イドカバー14を閉じた状態で被測定ビーム30を蛍光
体16に当てる。すると、被測定ビーム30のビーム形
状が蛍光体16により発光する為、測定者は、容易に被
測定ビーム30の有無とそのビーム形状とその位置を目
視で容易に確認できることとなる。測定者は、これによ
ってビーム形状32を蛍光体16のクロス中心線16b
の中心点に目視確認しながら光センサ10を移動させる
ことで、短時間で最良な照射位置が正しく求まり、位置
合わせは完了する。その後、スライドカバー14を開け
ることで、光パワーの測定が実施できることとなる。
【0010】また、蛍光体16のビーム形状32をチェ
ックすることもできる。例えば、このビーム形状32
が、蛍光体16の輪郭線16a、即ち光センサ10の有
効検出範囲からはみ出ていれば、全光パワーでないこと
が判断できる。これから、必要によりビーム形状32が
集光されている適切な光軸上に移動変更させて測定する
ことも判断可能となる。また、被測定ビームのパワーレ
ベルが時間的に変わる変調光線においても、被測定ビー
ムの光軸合わせは、ビーム形状32が目視できることか
ら、容易に位置合わせができることとなる。これから、
ビーム位置合わせの為に、わざわざ一定のパワーレベル
を印加する必要が無くなり、利便性が向上する。
【0011】また、隣接した2つの被測定ビームの何れ
かを測定する場合においても、2つのビームの一方のみ
を蛍光体16の輪郭線16a内に入るように目視確認し
ながら移動調整することで、誤りなく容易に位置合わせ
して光パワーを測定することも可能となる。
【0012】上記実施例では、蛍光体16の面積を受光
面12より広い場合で説明していたが、受光面12より
小さい面積の蛍光体16の形成としても良い。この場合
では、光ビームが細い場合に適用できる。
【0013】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。被
測定ビーム30のビーム形状が蛍光体16により発光す
る為、測定者は、容易に被測定ビーム30の有無とその
ビーム形状とその位置を目視確認できる効果が得られ
る。被測定ビーム30のビーム形状が蛍光体16により
発光する為、測定者は、ビーム位置合わせのときに、被
測定ビーム30をわざわざ一定の光パワーレベルの状態
に変えて印加する必要が無い、即ち変調光線のままでも
ビーム位置合わせができる利点が得られる。蛍光体16
上に、受光面12の中心点が分かるようにクロス中心線
16b又は環状円16cの印を形成することにより、測
定者は、容易に受光面12の中心点にビーム位置合わせ
ができる効果が得られる。蛍光体16上に、受光面12
の有効範囲が分かるように、受光面12の輪郭と同一外
形の輪郭線16aの印を形成することにより、被測定ビ
ーム30のビームスポット面積が輪郭線16aより大き
い場合には、被測定ビーム30全体のパワーレベルが測
定できるのか否かが容易に判断できる利点が得られる。
これから、必要によりビーム形状32が集光されている
適切な光軸上に光センサ10を移動させる判断の可能と
なる。また、蛍光体16の発光する形状自体から、被測
定ビームのビーム形状32を目視確認出来る機能が得ら
れる。これらによって、使用者は、短時間に正確にビー
ム位置合わせが実施できる効果が得られる。
【0014】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光センサ10の構造図である。
【図2】本発明の蛍光体16上の印の2例を示す図であ
る。
【図3】本発明の被測定ビーム30と蛍光体16と受光
面12との位置関係を示す図である。
【図4】(a)従来の光センサ10の正面図である。 (b)従来の光センサ10の側面図である。 (c)従来の被測定ビーム30と受光面12との位置関
係を示す図である。
【符号の説明】
10 光センサ 12 受光面 14 スライドカバー 16 蛍光体 16b クロス中心線 16c 環状円 16a 輪郭線 19 センサケース 20 本体 22 ケーブル 24 レベル表示器 26 操作スイッチ 30 被測定ビーム 32 ビーム形状

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光センサ(10)に受光面(12)を保
    護するスライド式のスライドカバー(14)を有して、
    目に見えない被測定ビーム(30)を受けての受光面
    (12)のビーム位置合わせ構造において、 スライドカバー(14)を閉じた状態で、受光面(1
    2)に対応するスライドカバー(14)の上面位置に、
    被測定ビーム(30)を受けて可視光線に変換して発光
    する蛍光物質を形成した蛍光体(16)を設け、 以上を具備していることを特徴とした光センサの構造。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のスライドカバー(14)
    上に形成した蛍光体(16)に、直下の受光面(12)
    の中心点位置が分かるようにクロス中心線(16b)あ
    るいは環状円(16c)の印を形成し、 以上を具備していることを特徴とした光センサの構造。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のスライドカバー(14)
    上に形成した蛍光体(16)に、直下の受光面(12)
    の受光領域が分かるように受光面(12)の輪郭線(1
    6a)の印を形成し、 以上を具備していることを特徴とした光センサの構造。
JP6120699A 1994-05-10 1994-05-10 光センサの構造 Pending JPH07306089A (ja)

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20021203