JPH07304560A - 粘着シートからのワークの剥離方法 - Google Patents
粘着シートからのワークの剥離方法Info
- Publication number
- JPH07304560A JPH07304560A JP12304894A JP12304894A JPH07304560A JP H07304560 A JPH07304560 A JP H07304560A JP 12304894 A JP12304894 A JP 12304894A JP 12304894 A JP12304894 A JP 12304894A JP H07304560 A JPH07304560 A JP H07304560A
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- Japan
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- sheet
- sensitive adhesive
- mask
- work
- pressure sensitive
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Abstract
(57)【要約】
【目的】加熱時間が短く、粘着シートからワークを容易
に剥離できる剥離方法を提供すること。 【構成】粘着シートの表面には加熱すると粘着力が低下
する粘着層が設けられ、この粘着層に良品と不良品とが
粘着されている。このシートを裏返しにし、その裏面に
マスクを載置し、その上から近赤外線を照射する。近赤
外線は電磁波による分子の共振摩擦のため、熱がシート
の内部に急速に透過し、シートの粘着力低下が急速かつ
確実に起こり、通常の熱伝導による剥離方法に比べて作
業時間を短縮できる。
に剥離できる剥離方法を提供すること。 【構成】粘着シートの表面には加熱すると粘着力が低下
する粘着層が設けられ、この粘着層に良品と不良品とが
粘着されている。このシートを裏返しにし、その裏面に
マスクを載置し、その上から近赤外線を照射する。近赤
外線は電磁波による分子の共振摩擦のため、熱がシート
の内部に急速に透過し、シートの粘着力低下が急速かつ
確実に起こり、通常の熱伝導による剥離方法に比べて作
業時間を短縮できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面に加熱すると粘着
力が低下する粘着層を設けた粘着シートから、粘着層に
粘着されたワークを効率よく剥離できる剥離方法に関す
るものである。
力が低下する粘着層を設けた粘着シートから、粘着層に
粘着されたワークを効率よく剥離できる剥離方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ダイシング装置によってセラミッ
クスウエーハから多数のチップをカットする際、発泡剥
離シートと呼ばれる粘着シートが用いられている。この
シートの片面には、加熱することにより粘着力が低下す
る粘着層が設けられており、この粘着面上にウエーハを
貼り付け、粘着シートの下面（非粘着面）をダイシング
テーブル上に吸着保持する。この状態で、ダイヤモンド
ブレード等を用いてウエーハをダイシングすることによ
り、チップ状にカットする。カット後、発泡剥離シート
をドライヤーやコテで加熱し、カット時に発生した不良
品（耳）をピンセットで１個ずつ取り除く。その後、シ
ートを裏返してドライヤーで再加熱し、良品をシートか
ら落下させて取り出すようになっている。上記のような
ドライヤーやコテを用いて局部的に加熱する方法のほ
か、シートをホットプレートやオーブン等を用いて全面
加熱する方法もある。この場合には、良品と不良品を一
緒にシートから剥離させ、その後で良品のみを選別す
る。
クスウエーハから多数のチップをカットする際、発泡剥
離シートと呼ばれる粘着シートが用いられている。この
シートの片面には、加熱することにより粘着力が低下す
る粘着層が設けられており、この粘着面上にウエーハを
貼り付け、粘着シートの下面（非粘着面）をダイシング
テーブル上に吸着保持する。この状態で、ダイヤモンド
ブレード等を用いてウエーハをダイシングすることによ
り、チップ状にカットする。カット後、発泡剥離シート
をドライヤーやコテで加熱し、カット時に発生した不良
品（耳）をピンセットで１個ずつ取り除く。その後、シ
ートを裏返してドライヤーで再加熱し、良品をシートか
ら落下させて取り出すようになっている。上記のような
ドライヤーやコテを用いて局部的に加熱する方法のほ
か、シートをホットプレートやオーブン等を用いて全面
加熱する方法もある。この場合には、良品と不良品を一
緒にシートから剥離させ、その後で良品のみを選別す
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の方法
はいずれも熱伝導を利用した加熱方法であるため、加熱
時間が長く、またシートの特性上、均一な発泡が得られ
ない。その結果、加熱後でもシートに一部のチップが残
り、このチップを剥離する作業に手間取るという欠点が
あった。また、シートの良品部分のみ加熱することは難
しく、そのため不良品と良品との選別、あるいは不良品
の除去に多大の時間を要する欠点があった。そこで、本
発明の目的は、加熱時間が短くて済み、かつシートの粘
着力を均一に低下させることが可能な粘着シートからの
ワークの剥離方法を提供することにある。また、他の目
的は、シートの良品部のみ粘着力を低下させることがで
きる粘着シートからのワークの剥離方法を提供すること
にある。
はいずれも熱伝導を利用した加熱方法であるため、加熱
時間が長く、またシートの特性上、均一な発泡が得られ
ない。その結果、加熱後でもシートに一部のチップが残
り、このチップを剥離する作業に手間取るという欠点が
あった。また、シートの良品部分のみ加熱することは難
しく、そのため不良品と良品との選別、あるいは不良品
の除去に多大の時間を要する欠点があった。そこで、本
発明の目的は、加熱時間が短くて済み、かつシートの粘
着力を均一に低下させることが可能な粘着シートからの
ワークの剥離方法を提供することにある。また、他の目
的は、シートの良品部のみ粘着力を低下させることがで
きる粘着シートからのワークの剥離方法を提供すること
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１の発明は、加熱すると粘着力が低下する粘着層
を表面に設けた粘着シートから、上記粘着層に粘着され
たワークを剥離する方法であって、上記粘着シートに対
して裏面側から近赤外線を照射することにより、上記粘
着層の粘着力を低下させることを特徴とする。また、第
２の発明は、第１の発明において、上記ワークは互いに
分離された良品部と不良品部とからなり、上記粘着シー
トの裏面側に良品部に対応する開口穴を備えたマスクを
配置する工程と、上記マスクの開口穴を介して近赤外線
を粘着シートの裏面側に照射することにより、粘着シー
トの良品部に対応した粘着層の粘着力を低下させる工程
とを備えるものである。
め、第１の発明は、加熱すると粘着力が低下する粘着層
を表面に設けた粘着シートから、上記粘着層に粘着され
たワークを剥離する方法であって、上記粘着シートに対
して裏面側から近赤外線を照射することにより、上記粘
着層の粘着力を低下させることを特徴とする。また、第
２の発明は、第１の発明において、上記ワークは互いに
分離された良品部と不良品部とからなり、上記粘着シー
トの裏面側に良品部に対応する開口穴を備えたマスクを
配置する工程と、上記マスクの開口穴を介して近赤外線
を粘着シートの裏面側に照射することにより、粘着シー
トの良品部に対応した粘着層の粘着力を低下させる工程
とを備えるものである。
【０００５】
【作用】第１の発明において、近赤外線による加熱で
は、電磁波による分子の共振摩擦のため、熱がシートの
内部に急速に透過・吸収される。そのため、シートの粘
着力低下が急速かつ確実に起こり、通常の熱伝導による
剥離方法に比べて加熱時間を短くできる。しかも、近赤
外線が照射された部位は均一に加熱されるので、剥離力
低下のむらが生じることなく、ワークの取出が容易とな
る。また、第２の発明ではマスクを用いて近赤外線の照
射範囲を規定できるので、ワークが良品部と不良品部と
からなる場合、良品部のみの粘着力を容易に低下させる
ことができる。そのため、良品部に対する不良品部の混
入率を下げることができる。また、従来のようにシート
からまず不要品を除去した後、良品を取り出す２段階の
除去作業を行う必要がなく、全面加熱法のように後で良
品と不要品とを選別する必要もない。つまり、１回の処
理で良品のみをシートから取り出すことができる。本発
明では、例えば１５μｍ以下の波長範囲の近赤外線を使
用できるが、シートに対する透過，吸収性を高めるた
め、５〜１０μｍの波長範囲が望ましい。
は、電磁波による分子の共振摩擦のため、熱がシートの
内部に急速に透過・吸収される。そのため、シートの粘
着力低下が急速かつ確実に起こり、通常の熱伝導による
剥離方法に比べて加熱時間を短くできる。しかも、近赤
外線が照射された部位は均一に加熱されるので、剥離力
低下のむらが生じることなく、ワークの取出が容易とな
る。また、第２の発明ではマスクを用いて近赤外線の照
射範囲を規定できるので、ワークが良品部と不良品部と
からなる場合、良品部のみの粘着力を容易に低下させる
ことができる。そのため、良品部に対する不良品部の混
入率を下げることができる。また、従来のようにシート
からまず不要品を除去した後、良品を取り出す２段階の
除去作業を行う必要がなく、全面加熱法のように後で良
品と不要品とを選別する必要もない。つまり、１回の処
理で良品のみをシートから取り出すことができる。本発
明では、例えば１５μｍ以下の波長範囲の近赤外線を使
用できるが、シートに対する透過，吸収性を高めるた
め、５〜１０μｍの波長範囲が望ましい。
【０００６】
【実施例】図１は本発明にかかる粘着シートの一例であ
る発泡剥離シート１上にセラミックスウエーハ５を貼り
付けた状態を示す。発泡剥離シート１は、図２のように
ＰＥＴフィルムなどの合成樹脂フィルムよりなる基材フ
ィルム２の表面に、加熱により粘着力が低下する発泡剥
離性の粘着層３を形成したものである。この粘着層３と
しては、例えばアクリル系粘着剤、イソブタン系発泡剤
などを用いることができる。シート１の対角位置の角部
近傍には位置決め穴１ａが形成されている。上記ウエー
ハ５は例えば圧電セラミック板よりなり、発泡剥離シー
ト１の粘着層３上に貼着されている。ウエーハ５はダイ
シング装置などにより縦横にカットされており、良品６
と不良品７とに分離されている。なお、ウエーハ５は１
枚に限らず、複数枚をシート１に貼着してもよい。
る発泡剥離シート１上にセラミックスウエーハ５を貼り
付けた状態を示す。発泡剥離シート１は、図２のように
ＰＥＴフィルムなどの合成樹脂フィルムよりなる基材フ
ィルム２の表面に、加熱により粘着力が低下する発泡剥
離性の粘着層３を形成したものである。この粘着層３と
しては、例えばアクリル系粘着剤、イソブタン系発泡剤
などを用いることができる。シート１の対角位置の角部
近傍には位置決め穴１ａが形成されている。上記ウエー
ハ５は例えば圧電セラミック板よりなり、発泡剥離シー
ト１の粘着層３上に貼着されている。ウエーハ５はダイ
シング装置などにより縦横にカットされており、良品６
と不良品７とに分離されている。なお、ウエーハ５は１
枚に限らず、複数枚をシート１に貼着してもよい。
【０００７】図３はシート１から良品６を分離する加熱
分離装置８を示す。この加熱剥離装置８は、近赤外線を
下方に向かって照射する近赤外線ヒータ１０と、可動テ
ーブル１１と、シート１と同一形状のマスク治具１２と
を備えている。可動テーブル１１はヒータ１０の下方位
置（近赤外線照射位置）と治具１２のセット位置との間
を水平移動可能であり、上面にマスク治具１２を載置す
る平坦な載置面１１ａを有している。マスク治具１２は
上記シート１の表裏面を挟むものであり、金属板，セラ
ミック板，樹脂板などの近赤外線を透過・吸収しない材
料で形成され、好ましくは、アルミニウムのような近赤
外線を反射する材料が望ましい。マスク治具１２は、図
４のようにマスク１３とベース１４とで構成されてお
り、マスク１３にはシート１の良品６と対応する複数の
開口穴１３ａが形成されている。また、マスク１３とベ
ース１４の対角位置の角部近傍には、上記シート１の位
置決め穴１ａと対応する位置決め穴１３ｂ，１４ａが形
成されている。なお、ベース１４の上面には、良品６へ
の熱ストレスを和らげ、かつ良品６のシート１からの剥
離を容易にするため、例えばシリコンゴム層などを設け
てもよい。また、可動テーブル１１の上面には、上記シ
ート１およびマスク治具１２に形成された位置決め穴１
ａ，１３ｂ，１４ａと係合する位置決めピン１１ｂが形
成されている。
分離装置８を示す。この加熱剥離装置８は、近赤外線を
下方に向かって照射する近赤外線ヒータ１０と、可動テ
ーブル１１と、シート１と同一形状のマスク治具１２と
を備えている。可動テーブル１１はヒータ１０の下方位
置（近赤外線照射位置）と治具１２のセット位置との間
を水平移動可能であり、上面にマスク治具１２を載置す
る平坦な載置面１１ａを有している。マスク治具１２は
上記シート１の表裏面を挟むものであり、金属板，セラ
ミック板，樹脂板などの近赤外線を透過・吸収しない材
料で形成され、好ましくは、アルミニウムのような近赤
外線を反射する材料が望ましい。マスク治具１２は、図
４のようにマスク１３とベース１４とで構成されてお
り、マスク１３にはシート１の良品６と対応する複数の
開口穴１３ａが形成されている。また、マスク１３とベ
ース１４の対角位置の角部近傍には、上記シート１の位
置決め穴１ａと対応する位置決め穴１３ｂ，１４ａが形
成されている。なお、ベース１４の上面には、良品６へ
の熱ストレスを和らげ、かつ良品６のシート１からの剥
離を容易にするため、例えばシリコンゴム層などを設け
てもよい。また、可動テーブル１１の上面には、上記シ
ート１およびマスク治具１２に形成された位置決め穴１
ａ，１３ｂ，１４ａと係合する位置決めピン１１ｂが形
成されている。
【０００８】次に、上記加熱分離装置８を用いてシート
１から良品６を分離する方法を図５にしたがって説明す
る。まず、ベース１４上にシート１をその表面（ウエー
ハ貼着面）を下側にして載置し、さらにシート１上にマ
スク１３を載置する。この時、各位置決め穴１ａ，１３
ｂ，１４ａが一致するように載置すれば、マスク１３の
開口穴１３ａとシート１に貼着された良品６とが正確に
対応する。次に、可動テーブル１１をセット位置へ移動
させる。そして、シート１の上下面を挟んだマスク治具
１２を、その位置決め穴１ａ，１３ｂ，１４ａが位置決
めピン１１ｂと係合するように可動テーブル１１上に載
置する。これにより、マスク治具１２が可動テーブル１
１に対して位置決めされるとともに、マスク治具１２と
シート１との横ずれが防止される。次に、可動テーブル
１１を近赤外線ヒータ１０の下方位置へ移動させ、図５
（ａ）のように近赤外線をマスク治具１２の上から照射
する。このため、近赤外線はマスク１３の開口穴１２ａ
を介してシート１の裏面側へ照射される。近赤外線の熱
は電磁波による分子の共振摩擦によりシート１の内部を
透過し、シート１の粘着層３を急速に発泡させる。マス
ク１３の開口穴１３ａは良品６部分に対応しているの
で、シート１の良品６に対応する部分の粘着層３のみが
発泡する。なお、加熱温度は、発泡剥離シート１の粘着
層３が発泡し、その粘着力がほぼ消失する温度に設定さ
れる。発泡剥離シート１に加えられた熱は粘着層３を発
泡させた後、良品６部分を介してベース１４へと伝達さ
れる。そのため、不良品７部分へ熱が拡散することがな
く、不良品７部分に対応する粘着層は発泡せず、粘着力
は低下しない。近赤外線照射後、可動テーブル１１をセ
ット位置まで移動させ、マスク治具１２を可動テーブル
１１から取り出す。そして、図５（ｂ）のようにマスク
治具１２のマスク１３をベース１４から外し、さらにシ
ート１をベース１４から持ち上げる。この時、不良品７
はシート１に依然として粘着しているので、不良品７は
シート１とともにベース１４から持ち上げられ、ベース
１４上には良品６のみが残ることになる。以上のように
して、シート１から良品６のみを容易にかつストレスを
与えることなく分離できる。
１から良品６を分離する方法を図５にしたがって説明す
る。まず、ベース１４上にシート１をその表面（ウエー
ハ貼着面）を下側にして載置し、さらにシート１上にマ
スク１３を載置する。この時、各位置決め穴１ａ，１３
ｂ，１４ａが一致するように載置すれば、マスク１３の
開口穴１３ａとシート１に貼着された良品６とが正確に
対応する。次に、可動テーブル１１をセット位置へ移動
させる。そして、シート１の上下面を挟んだマスク治具
１２を、その位置決め穴１ａ，１３ｂ，１４ａが位置決
めピン１１ｂと係合するように可動テーブル１１上に載
置する。これにより、マスク治具１２が可動テーブル１
１に対して位置決めされるとともに、マスク治具１２と
シート１との横ずれが防止される。次に、可動テーブル
１１を近赤外線ヒータ１０の下方位置へ移動させ、図５
（ａ）のように近赤外線をマスク治具１２の上から照射
する。このため、近赤外線はマスク１３の開口穴１２ａ
を介してシート１の裏面側へ照射される。近赤外線の熱
は電磁波による分子の共振摩擦によりシート１の内部を
透過し、シート１の粘着層３を急速に発泡させる。マス
ク１３の開口穴１３ａは良品６部分に対応しているの
で、シート１の良品６に対応する部分の粘着層３のみが
発泡する。なお、加熱温度は、発泡剥離シート１の粘着
層３が発泡し、その粘着力がほぼ消失する温度に設定さ
れる。発泡剥離シート１に加えられた熱は粘着層３を発
泡させた後、良品６部分を介してベース１４へと伝達さ
れる。そのため、不良品７部分へ熱が拡散することがな
く、不良品７部分に対応する粘着層は発泡せず、粘着力
は低下しない。近赤外線照射後、可動テーブル１１をセ
ット位置まで移動させ、マスク治具１２を可動テーブル
１１から取り出す。そして、図５（ｂ）のようにマスク
治具１２のマスク１３をベース１４から外し、さらにシ
ート１をベース１４から持ち上げる。この時、不良品７
はシート１に依然として粘着しているので、不良品７は
シート１とともにベース１４から持ち上げられ、ベース
１４上には良品６のみが残ることになる。以上のように
して、シート１から良品６のみを容易にかつストレスを
与えることなく分離できる。
【０００９】本発明は上記実施例にのみ限定されるもの
ではない。例えば、実施例のようなマスクを用いる場
合、良品の粘着力を低下させる方法に代えて、不良品の
粘着力を低下させる方法を用いてもよい。この場合に
は、まずシートから不良品を剥離し、その後で良品をシ
ートから剥離すればよい。また、マスクを用いてシート
の良品部分の粘着力を低下させる方法のほかに、シート
全面に近赤外線を照射し、シートに貼着された良品およ
び不良品を一体に剥離するようにしてもよい。その後
で、チップの中から良品のみを選別してもよい。本発明
は実施例のようなセラミックスチップの剥離だけでな
く、他の材料チップ、例えばシリコンチップなどの良品
剥離にも適用できる。さらに、本発明のワークはセラミ
ックスチップやシリコンチップに限らない。
ではない。例えば、実施例のようなマスクを用いる場
合、良品の粘着力を低下させる方法に代えて、不良品の
粘着力を低下させる方法を用いてもよい。この場合に
は、まずシートから不良品を剥離し、その後で良品をシ
ートから剥離すればよい。また、マスクを用いてシート
の良品部分の粘着力を低下させる方法のほかに、シート
全面に近赤外線を照射し、シートに貼着された良品およ
び不良品を一体に剥離するようにしてもよい。その後
で、チップの中から良品のみを選別してもよい。本発明
は実施例のようなセラミックスチップの剥離だけでな
く、他の材料チップ、例えばシリコンチップなどの良品
剥離にも適用できる。さらに、本発明のワークはセラミ
ックスチップやシリコンチップに限らない。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、近赤外線を粘着シートの裏面側より照射するよ
うにしたので、近赤外線の熱は電磁波による分子の共振
摩擦によりシートの内部に透過・吸収され、シートの粘
着層を急速に加熱できる。そのため、短い作業時間でワ
ークを粘着シートから剥離できるとともに、剥離力のム
ラが発生せず、均一に剥離できる利点がある。また、ワ
ークが良品と不良品とからなる場合、粘着シートの裏面
側に良品部に対応する開口を備えたマスクを配置し、マ
スク側の開口を介して近赤外線を粘着シートの裏面側に
照射するようにすれば、粘着シートの良品部に対応した
粘着層の粘着力のみを低下させることができる。そのた
め、良品への不良品の混入率を下げることができるとと
もに、従来のような２段階の剥離工程や、全面加熱によ
る選別工程を省略でき、作業能率を一層向上させること
ができる。
よれば、近赤外線を粘着シートの裏面側より照射するよ
うにしたので、近赤外線の熱は電磁波による分子の共振
摩擦によりシートの内部に透過・吸収され、シートの粘
着層を急速に加熱できる。そのため、短い作業時間でワ
ークを粘着シートから剥離できるとともに、剥離力のム
ラが発生せず、均一に剥離できる利点がある。また、ワ
ークが良品と不良品とからなる場合、粘着シートの裏面
側に良品部に対応する開口を備えたマスクを配置し、マ
スク側の開口を介して近赤外線を粘着シートの裏面側に
照射するようにすれば、粘着シートの良品部に対応した
粘着層の粘着力のみを低下させることができる。そのた
め、良品への不良品の混入率を下げることができるとと
もに、従来のような２段階の剥離工程や、全面加熱によ
る選別工程を省略でき、作業能率を一層向上させること
ができる。
【図１】発泡剥離シートにウエーハを貼着した状態の平
面図である。
面図である。
【図２】発泡剥離シートの断面図である。
【図３】加熱分離装置の斜視図である。
【図４】マスク治具の斜視図である。
【図５】発泡剥離シートから良品を剥離する方法を示す
説明図である。
説明図である。
１ 発泡剥離シート（粘着シート） ５ ウエーハ（ワーク） ６ 良品 ７ 不良品 １０ 近赤外線ヒータ １２ マスク治具 １３ マスク １３ａ 開口穴 １４ ベース
Claims (2)
- 【請求項１】加熱すると粘着力が低下する粘着層を表面
に設けた粘着シートから、上記粘着層に粘着されたワー
クを剥離する方法であって、 上記粘着シートに対して裏面側から近赤外線を照射する
ことにより、上記粘着層の粘着力を低下させることを特
徴とする剥離方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の剥離方法であって、 上記ワークは互いに分離された良品部と不良品部とから
なり、 上記粘着シートの裏面側に良品部に対応する開口穴を備
えたマスクを配置する工程と、 上記マスクの開口穴を介して近赤外線を粘着シートの裏
面側に照射することにより、粘着シートの良品部に対応
した粘着層の粘着力を低下させる工程とを含むことを特
徴とする剥離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304894A JP2949557B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 粘着シートからのワークの剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304894A JP2949557B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 粘着シートからのワークの剥離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07304560A true JPH07304560A (ja) | 1995-11-21 |
| JP2949557B2 JP2949557B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=14850922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12304894A Expired - Lifetime JP2949557B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 粘着シートからのワークの剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2949557B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG98407A1 (en) * | 1999-06-17 | 2003-09-19 | Lintec Corp | Method of detaching article fixed through pressure sensitive adhesive double coated sheet and detachment apparatus |
-
1994
- 1994-05-11 JP JP12304894A patent/JP2949557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG98407A1 (en) * | 1999-06-17 | 2003-09-19 | Lintec Corp | Method of detaching article fixed through pressure sensitive adhesive double coated sheet and detachment apparatus |
| US6627037B1 (en) | 1999-06-17 | 2003-09-30 | Lintec Corporation | Method of detaching article fixed through pressure sensitive adhesive double coated sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2949557B2 (ja) | 1999-09-13 |
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