JPH07302727A - Manufacture of ceramic electronic component - Google Patents

Manufacture of ceramic electronic component

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JPH07302727A
JPH07302727A JP9496494A JP9496494A JPH07302727A JP H07302727 A JPH07302727 A JP H07302727A JP 9496494 A JP9496494 A JP 9496494A JP 9496494 A JP9496494 A JP 9496494A JP H07302727 A JPH07302727 A JP H07302727A
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boric acid
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copper
ceramic electronic
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邦彦 浜田
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Abstract

PURPOSE:To form a dense outer electrode while ensuring excellent metallic junction between inner electrodes and an outer electrode, by applying boric acid to the part on the outer surface of a component main body on which part the inner electrodes are exposed. CONSTITUTION:A component main body 12 constituted of ceramic laminate is prepared. Inner electrodes 13 and 14 containing base metal are formed in the component main body 12. End edges of the inner electrodes 13 and 14 are exposed on the outer surface of the component main body 12. Boric acids applied to the part of the outer surface of the component main body on which part at least the inner electrodes 13 and 14 are exposed. Conductive paste 18 turning to an outer electrode is applied to the end surfaces 15 and 16 of the component main body 12. The conductive paste 18 is applied so as to cover the boric acid 17 covering the outer surface of the component main body 12. The conductive paste 18 is baked, and the outer electrode is formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、内部電極が卑金属を
含み、この内部電極に外部電極が電気的に接続される構
造を有するセラミック電子部品の製造方法に関するもの
で、内部電極と外部電極との間での良好な金属的接合を
確保するための改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic electronic component having a structure in which an internal electrode contains a base metal and the external electrode is electrically connected to the internal electrode. It relates to an improvement to ensure a good metallic bond between the two.

【0002】[0002]

【従来の技術】この発明にとって興味あるセラミック電
子部品として、たとえば積層セラミックコンデンサがあ
る。図5は、従来の積層セラミックコンデンサ1を示す
断面図である。積層セラミックコンデンサ1は、セラミ
ックの積層体からなる部品本体2を備える。部品本体2
の内部には、内部電極3および4がそれぞれ形成され
る。内部電極3および4のそれぞれの端縁は、部品本体
2の外表面、より特定的には端面5おび6に露出され
る。そして、これら内部電極3および4のそれぞれの端
縁に電気的に接続されるように、外部電極7および8が
部品本体2の端面5および6上に形成される。
2. Description of the Related Art A ceramic electronic component of interest to the present invention is, for example, a monolithic ceramic capacitor. FIG. 5 is a sectional view showing a conventional monolithic ceramic capacitor 1. The monolithic ceramic capacitor 1 includes a component body 2 made of a ceramic laminate. Parts body 2
Internal electrodes 3 and 4 are respectively formed inside the. The respective edges of the internal electrodes 3 and 4 are exposed on the outer surface of the component body 2, more specifically on the end faces 5 and 6. Then, external electrodes 7 and 8 are formed on the end surfaces 5 and 6 of the component body 2 so as to be electrically connected to the respective edges of the internal electrodes 3 and 4.

【0003】上述したような積層セラミックコンデンサ
1を製造する場合、内部電極3および4が形成された部
品本体2がまず用意され、次いで、部品本体2の端面5
および6上に、外部電極7および8となる導電性ペース
トが付与され、そして、この導電性ペーストが500〜
900℃で焼成されることにより、内部電極3および4
との間で金属的接合が図られた外部電極7および8が形
成される。
When manufacturing the monolithic ceramic capacitor 1 as described above, the component body 2 having the internal electrodes 3 and 4 is first prepared, and then the end surface 5 of the component body 2 is prepared.
A conductive paste to be the external electrodes 7 and 8 is provided on the electrodes 6 and 6, and the conductive paste is
By being fired at 900 ° C., the internal electrodes 3 and 4
External electrodes 7 and 8 are formed with a metallic connection between the external electrodes 7 and 8.

【0004】ところで、積層セラミックコンデンサ1に
おいて、そのコストダウンを図るため、内部電極3およ
び4にニッケル等の卑金属を使用し、外部電極7および
8にたとえば銅を使用したものがある。このように、内
部電極3および4に含まれる金属または外部電極7およ
び8に含まれる金属の少なくとも一方が酸化されやすい
場合、外部電極7および8のための導電性ペーストを焼
成する工程において、このような酸化が生じ、その結
果、内部電極3および4と外部電極7および8との金属
的接合が阻害されることがある。したがって、従来、こ
のような酸化を防ぐため、外部電極7および8のための
導電性ペーストを焼成するとき、その焼成雰囲気の酸素
濃度を、たとえば20ppm以下というように、低く設
定されていた。
In order to reduce the cost of the monolithic ceramic capacitor 1, there is a monolithic ceramic capacitor 1 in which a base metal such as nickel is used for the internal electrodes 3 and 4 and copper is used for the external electrodes 7 and 8. Thus, when at least one of the metal contained in the internal electrodes 3 and 4 or the metal contained in the external electrodes 7 and 8 is easily oxidized, in the step of firing the conductive paste for the external electrodes 7 and 8, Such oxidation may occur, and as a result, the metallic contact between the inner electrodes 3 and 4 and the outer electrodes 7 and 8 may be hindered. Therefore, conventionally, in order to prevent such oxidation, when the conductive paste for the external electrodes 7 and 8 is fired, the oxygen concentration in the firing atmosphere has been set low, for example, 20 ppm or less.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、低い酸素濃度の下で焼成を行なうと、外部電
極7および8のための導電性ペーストに含まれるバイン
ダ等の有機物の燃焼が不完全であったり、導電性ペース
トに含まれる銅のような金属とガラスとのぬれ性が悪く
なり、導電性ペースト中の金属の焼結が進まなかったり
して、外部電極7および8がポーラスになってしまう傾
向がある。
However, as described above, when firing is performed under a low oxygen concentration, the combustion of organic substances such as the binder contained in the conductive paste for the external electrodes 7 and 8 is incomplete. Or, the wettability between the metal such as copper contained in the conductive paste and the glass becomes poor, and the sintering of the metal in the conductive paste does not proceed, so that the external electrodes 7 and 8 become porous. There is a tendency to end up.

【0006】それゆえに、この発明の目的は、卑金属を
使用した内部電極を備えるセラミック電子部品におい
て、内部電極と外部電極との良好な金属的接合を確保し
ながら、緻密な外部電極を形成し得るための方法を提供
しようとすることである。
Therefore, it is an object of the present invention to form a fine external electrode in a ceramic electronic component provided with an internal electrode using a base metal while ensuring good metallic bonding between the internal electrode and the external electrode. Is to try to provide a way to.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は、セラミック
からなる部品本体と、部品本体の内部に形成されるとと
もに、その端縁が部品本体の外表面に露出され、かつ卑
金属を含む、内部電極と、内部電極の端縁に電気的に接
続されるように部品本体の外表面上に形成される外部電
極とを備える、セラミック電子部品の製造方法に向けら
れるものであって、上述した技術的課題を解決するた
め、次のような工程を備えることを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to a component body made of ceramic, and an internal electrode which is formed inside the component body and whose edges are exposed on the outer surface of the component body and which contains a base metal. And an external electrode formed on an outer surface of a component body so as to be electrically connected to an edge of the internal electrode, the method is directed to a method for manufacturing a ceramic electronic component, which In order to solve the problem, it is characterized by including the following steps.

【0008】すなわち、まず、内部電極が形成された部
品本体が用意される。次いで、注目すべきは、この部品
本体の外表面上であって、少なくとも内部電極が露出す
る部分に、ホウ酸が付与される。そして、このホウ酸が
付与された部品本体の外表面上に、外部電極となる導電
性ペーストが付与され、焼成される。
That is, first, a component body having internal electrodes is prepared. Next, it should be noted that boric acid is applied on the outer surface of the component body, at least in the portion where the internal electrodes are exposed. Then, on the outer surface of the component body to which the boric acid has been applied, a conductive paste to be an external electrode is applied and fired.

【0009】外部電極となる導電性ペーストに含まれる
金属は、内部電極に含まれる卑金属と合金化等による金
属的接合を達成し得るものであれば、どのような金属で
あってもよい。内部電極に含まれる卑金属および外部電
極に含まれる金属の組合わせとしては、たとえば、前者
がニッケルで後者が銅、前者および後者がともにニッケ
ル、前者および後者がともに銅、前者が銅で後者が銀、
といった組合わせがある。
The metal contained in the conductive paste to be the external electrode may be any metal as long as it can achieve metallic bonding with the base metal contained in the internal electrode by alloying or the like. As a combination of the base metal contained in the internal electrode and the metal contained in the external electrode, for example, the former is nickel and the latter is copper, the former and the latter are both nickel, the former and the latter are both copper, the former is copper and the latter is silver. ,
There is such a combination.

【0010】[0010]

【作用】この発明において用いられるホウ酸(H3 BO
3 )は、約300℃に加熱されたとき、脱水反応により
酸化ホウ素(B2 3 )を生成し、溶融状態となる。こ
の溶融した酸化ホウ素は、金属酸化物に沿ってぬれる性
質があり、金属酸化物を溶解する。そのため、酸化物が
除去された金属表面は、溶融状態の酸化ホウ素によって
薄く覆われる。この酸化ホウ素は、金属のそれ以上の酸
化を防止する。
The boric acid (H 3 BO used in the present invention
3), when heated to about 300 ° C., to produce boron oxide (B 2 O 3) by dehydration reaction, the molten state. The molten boron oxide has a property of wetting along with the metal oxide and dissolves the metal oxide. Therefore, the metal surface from which the oxide is removed is thinly covered with the molten boron oxide. This boron oxide prevents further oxidation of the metal.

【0011】他方、上述のように酸化ホウ素の薄い膜が
介在していても、内部電極に含まれる卑金属と外部電極
に含まれる金属粒子の一部とが接触すると、これらが相
互拡散し、それに応じて、酸化ホウ素の膜を押し退けな
がら、これら金属が焼結し、内部電極と外部電極との間
での良好な金属的接合が達成される。
On the other hand, even if the thin film of boron oxide is interposed as described above, when the base metal contained in the internal electrode and a part of the metal particles contained in the external electrode come into contact with each other, they diffuse into each other, and Correspondingly, these metals sinter, displacing the boron oxide film, and a good metallic bond between the inner and outer electrodes is achieved.

【0012】また、上述のように約300℃で溶融した
酸化ホウ素は、金属の表面を覆い、それによって金属の
酸化を防止するため、外部電極のための導電性ペースト
を焼成する工程において、焼成雰囲気の酸素濃度を比較
的高くすることができる。このように、酸素濃度を高く
することにより、導電性ペーストに含まれるガラスと金
属とのぬれ性が良好になり、金属の焼結が円滑に進み、
緻密な外部電極を得ることができる。上述した焼成雰囲
気の酸素濃度は、好ましくは、50ppm以上に選ば
れ、より好ましくは、100ppm以上に選ばれ、さら
に好ましくは、200ppm以上に選ばれる。
Further, as described above, the boron oxide melted at about 300 ° C. covers the surface of the metal, thereby preventing the metal from being oxidized, so that the conductive paste for the external electrode is baked in the step of baking. The oxygen concentration in the atmosphere can be made relatively high. In this way, by increasing the oxygen concentration, the wettability between the glass and the metal contained in the conductive paste becomes good, and the sintering of the metal proceeds smoothly,
A dense external electrode can be obtained. The oxygen concentration in the above-mentioned firing atmosphere is preferably 50 ppm or more, more preferably 100 ppm or more, and further preferably 200 ppm or more.

【0013】[0013]

【発明の効果】したがって、この発明によれば、部品本
体の外表面上であって、少なくとも内部電極が露出する
部分に付与されたホウ酸が、外部電極のための導電性ペ
ーストの焼成において及ぼされる熱により、溶融状態の
酸化ホウ素となり、この酸化ホウ素が、金属酸化物を溶
解して除去するとともに、金属表面を薄く覆って金属の
酸化を防止しながらも、内部電極に含まれる卑金属と外
部電極に含まれる金属との相互拡散を許容するので、内
部電極と外部電極との間での良好な金属的接合を確保し
ながら、比較的高い酸素濃度による焼成を適用できるの
で、緻密な外部電極を得ることができる。その結果、耐
湿性等に優れたセラミック電子部品を得ることができ
る。
Therefore, according to the present invention, the boric acid applied to at least the portion where the internal electrodes are exposed on the outer surface of the component body affects the firing of the conductive paste for the external electrodes. Due to the heat generated, it becomes molten boron oxide, which dissolves and removes the metal oxide, and at the same time covers the metal surface thinly to prevent oxidation of the metal, while at the same time eliminating the base metal contained in the internal electrode and the external Since it allows mutual diffusion with the metal contained in the electrodes, firing with a relatively high oxygen concentration can be applied while ensuring a good metallic bond between the internal electrode and the external electrode. Can be obtained. As a result, it is possible to obtain a ceramic electronic component having excellent moisture resistance and the like.

【0014】この発明が積層セラミックコンデンサの製
造方法に適用されたときには、得られた積層セラミック
コンデンサの静電容量の低下および等価直列抵抗の増大
を防止することができる。
When the present invention is applied to a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, it is possible to prevent a decrease in electrostatic capacity and an increase in equivalent series resistance of the obtained monolithic ceramic capacitor.

【0015】この発明において、好ましくは、ホウ酸は
部品本体の外表面全域に付与される。これによれば、外
部電極のための導電性ペーストの焼成を終えたとき、部
品本体の外表面が酸化ホウ素の膜で覆われる。この酸化
ホウ素の膜は、残留応力や半田付け時または使用時の熱
応力により、セラミックからなる部品本体にクラックが
入ることを有利に防止する。
In the present invention, boric acid is preferably applied to the entire outer surface of the component body. According to this, when the firing of the conductive paste for the external electrodes is completed, the outer surface of the component body is covered with the film of boron oxide. This film of boron oxide advantageously prevents cracks from being formed in the component body made of ceramic due to residual stress or thermal stress during soldering or during use.

【0016】[0016]

【実施例】図1ないし図4は、この発明の一実施例によ
るセラミック電子部品の製造方法に含まれる代表的な工
程を断面図で示している。この実施例は、特に、図4に
示すような積層セラミックコンデンサ11の製造方法に
向けられている。
1 to 4 are sectional views showing typical steps included in a method of manufacturing a ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention. This embodiment is particularly directed to a method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor 11 as shown in FIG.

【0017】まず、図1に示すように、セラミックの積
層体からなる部品本体12が用意される。この部品本体
12の内部には、卑金属を含む内部電極13および14
が形成されている。内部電極13および14のそれぞれ
の端縁は、部品本体12の外表面に露出される。より具
体的には、内部電極13の各端縁は、部品本体12の一
方の端面15に露出され、内部電極14の各端縁は、部
品本体12の他方の端面16に露出されている。
First, as shown in FIG. 1, a component body 12 made of a ceramic laminate is prepared. Inside the component body 12, internal electrodes 13 and 14 containing a base metal are provided.
Are formed. The respective edges of the internal electrodes 13 and 14 are exposed on the outer surface of the component body 12. More specifically, each edge of the internal electrode 13 is exposed on one end surface 15 of the component body 12, and each edge of the internal electrode 14 is exposed on the other end surface 16 of the component body 12.

【0018】次に、図2における拡大した部分に示すよ
うに、部品本体12の外表面上であって、少なくとも内
部電極13および14が露出する部分に、ホウ酸17が
付与される。この実施例では、部品本体12の外表面全
域にホウ酸17が付与されている。ホウ酸17を付与す
るため、たとえば、ホウ酸を水、アルコールまたはケト
ンに溶解した溶液を用意し、その中に部品本体12を浸
漬し、その後、部品本体12を引上げてから乾燥するこ
とが行なわれる。上述したホウ酸を溶解する溶液は、不
飽和、飽和、または過飽和のいずれの溶液であってもよ
い。このような付与方法に代えて、部品本体12の外表
面をたとえば水によりぬらし、粉末が付着しやすい状態
としてから、この部品本体12をホウ酸粉末と接触させ
ることによって、部品本体12の外表面上にホウ酸17
を付与するようにしてもよい。このように、部品本体1
2の外表面上に付与されたホウ酸17は、粉末状態であ
り、たとえば、厚み5μm程度の層をなしている。な
お、このホウ酸17の厚みは、10μm以下であること
が実用的で、5μm以下にすることがより好ましい。
Next, as shown in the enlarged portion of FIG. 2, boric acid 17 is applied to the outer surface of the component body 12 and at least the portions where the internal electrodes 13 and 14 are exposed. In this embodiment, boric acid 17 is applied to the entire outer surface of the component body 12. In order to provide boric acid 17, for example, a solution of boric acid in water, alcohol or ketone is prepared, the component body 12 is dipped therein, and then the component body 12 is pulled up and dried. Be done. The above boric acid-dissolving solution may be unsaturated, saturated, or supersaturated. Instead of such an application method, the outer surface of the component body 12 is wetted with, for example, water so that the powder easily adheres, and then the component body 12 is brought into contact with boric acid powder to obtain the outer surface of the component body 12. Boric acid 17 on top
May be given. In this way, the component body 1
The boric acid 17 applied to the outer surface of No. 2 is in a powder state and forms a layer having a thickness of about 5 μm, for example. The thickness of boric acid 17 is practically 10 μm or less, and more preferably 5 μm or less.

【0019】次に、図3に示すように、部品本体12の
端面15および16上に、外部電極となる導電性ペース
ト18が付与される。導電性ペースト18は、図3にお
ける拡大した部分によく示されているように、部品本体
12の外表面を覆うホウ酸17をさらに覆うように付与
されている。
Next, as shown in FIG. 3, a conductive paste 18 serving as an external electrode is applied onto the end surfaces 15 and 16 of the component body 12. The conductive paste 18 is applied so as to further cover the boric acid 17 that covers the outer surface of the component body 12, as is often shown in the enlarged portion of FIG.

【0020】次に、上述した導電性ペースト18が焼成
され、それによって、図4に示すように、外部電極19
および20が形成される。また、ホウ酸17は、加熱脱
水され、ガラス状の酸化ホウ素膜21を、部品本体12
の外表面上に形成する。このようにして、積層セラミッ
クコンデンサ11が得られる。
Next, the above-mentioned conductive paste 18 is fired, and as a result, as shown in FIG.
And 20 are formed. In addition, the boric acid 17 is heated and dehydrated, and the glassy boron oxide film 21 is removed from the component body 12
On the outer surface of the. In this way, the monolithic ceramic capacitor 11 is obtained.

【0021】次に、上述した実施例に基づいて行なった
実験例について説明する。この実験例では、内部電極に
ニッケルを使用し、外部電極に銅を使用した積層セラミ
ックコンデンサが製造される。
Next, an example of an experiment carried out based on the above-mentioned embodiment will be described. In this experimental example, a multilayer ceramic capacitor in which nickel is used for the internal electrodes and copper is used for the external electrodes is manufactured.

【0022】まず、ホウ酸1gを100ccのアセトン
に溶解した溶液に、3.2mm×1.6mm×0.8m
mの大きさの部品本体を500個入れ、この溶液を5分
間攪拌した。次いで、部品本体を溶液から取出し、常温
(25℃)で10分間乾燥させた。この段階で、部品本
体の外表面を顕微鏡で1000倍に拡大して観察する
と、ホウ酸の白い粉末が確認された。
First, a solution prepared by dissolving 1 g of boric acid in 100 cc of acetone was 3.2 mm × 1.6 mm × 0.8 m.
500 parts main bodies each having a size of m were put and the solution was stirred for 5 minutes. Then, the component body was taken out of the solution and dried at room temperature (25 ° C.) for 10 minutes. At this stage, when the outer surface of the component body was magnified 1000 times with a microscope and observed, white powder of boric acid was confirmed.

【0023】次に、各部品本体に外部電極となる銅を含
む導電性ペーストを塗布した。その後、この導電性ペー
ストを、最高温度750℃で焼成し、目的とする積層セ
ラミックコンデンサを得た。なお、この焼成工程におい
て、焼成雰囲気の酸素濃度を、20ppmとした場合
と、200ppmとした場合とについて、それぞれ実験
を行なった。また、比較例として、ホウ酸を付与しない
場合についても同様の実験を行なった。
Next, a conductive paste containing copper to be external electrodes was applied to each component body. Then, this conductive paste was fired at a maximum temperature of 750 ° C. to obtain a target monolithic ceramic capacitor. In this firing step, an experiment was performed for each of the cases where the oxygen concentration in the firing atmosphere was 20 ppm and 200 ppm. Also, as a comparative example, the same experiment was performed in the case where boric acid was not added.

【0024】このようにして得られた各試料としての積
層セラミックコンデンサの静電容量および外部電極の焼
結度を評価した。その結果が、以下の表1に示されてい
る。表1において、静電容量は、試料個数20の平均値
であり、その単位はnFである。また、焼結度は、外部
電極の断面をSEMで観察することにより評価したもの
で、10μmを超える穴が形成されているとき、「ポー
ラス」と判定した。
The capacitance and the degree of sintering of the external electrodes of the thus-obtained multilayer ceramic capacitor as each sample were evaluated. The results are shown in Table 1 below. In Table 1, the capacitance is an average value of 20 samples and its unit is nF. The degree of sintering was evaluated by observing the cross section of the external electrode with an SEM, and when a hole exceeding 10 μm was formed, it was determined to be “porous”.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】上記表1に示すように、酸素濃度を200
ppmとしたとき、ホウ酸の付与の有無にかかわらず、
緻密な外部電極が得られるが、ホウ酸を付与しない場
合、静電容量が大幅に低下している。これは、内部電極
が酸化されたためである。これに対して、ホウ酸を付与
した場合、ほぼ設計通りの静電容量が得られている。
As shown in Table 1 above, the oxygen concentration was adjusted to 200
When ppm is given, regardless of whether boric acid is added or not,
Although a dense external electrode can be obtained, when boric acid is not added, the capacitance is significantly reduced. This is because the internal electrodes were oxidized. On the other hand, when boric acid is applied, the capacitance almost as designed is obtained.

【0027】他方、酸素濃度を20ppmとした場合に
は、静電容量については高い値が維持されるが、外部電
極は、ホウ酸付与の有無にかかわらず、ポーラスな状態
となった。そして、このようにポーラスな外部電極を備
える各試料は、温度70℃および相対湿度90〜95%
の雰囲気下で定格電圧を印加する耐湿負荷試験におい
て、いずれも不良の結果を示した。
On the other hand, when the oxygen concentration was set to 20 ppm, the electrostatic capacitance remained high, but the external electrodes were in a porous state regardless of whether boric acid was applied or not. Each sample provided with such a porous external electrode has a temperature of 70 ° C. and a relative humidity of 90 to 95%.
In the humidity resistance load test in which the rated voltage is applied under the atmosphere, the results of all of them were bad.

【0028】なお、ホウ酸が、どのような原理に基づい
て、上述した実験例のように、その効果を発揮するかに
ついて調査するため、次のような実験を行なった。ま
ず、銅板を用意し、その上にホウ酸の粉末を置き、銅板
を加熱した。この加熱に従って、銅板が約300℃に達
したとき、ホウ酸は、酸化ホウ素となり溶融した。この
溶融した酸化ホウ素は、銅板の表面に存在する銅の酸化
物に沿って銅板をぬらし、銅の酸化物は、溶融状態の酸
化ホウ素に溶解した。したがって、溶融状態の酸化ホウ
素の膜の下方には、金属銅が存在していた。同様の現象
が、ニッケル板についても確認された。したがって、上
述した実験例において、導電性ペーストが焼成されると
き、ホウ酸から得られた溶融状態の酸化ホウ素が、外部
電極に含まれる銅および内部電極に含まれるニッケルの
双方の表面を薄く覆い、この状態で、ニッケルと銅とが
一部において接触すると、相互拡散を生じ、酸化ホウ素
の膜を押し退けならが、銅が焼結される。そして、この
ような焼成工程では、酸化ホウ素の膜が銅およびニッケ
ルのそれ以上の酸化を防止しているので、たとえば20
0ppmといった高い酸素濃度であっても、銅およびニ
ッケルが酸化することがなく、また、このような高い酸
素濃度により、導電性ペーストに含まれるガラスと銅と
のぬれ性が向上し、緻密な外部電極が得られることにな
る。
The following experiment was conducted in order to investigate what principle boric acid exerts its effect as in the above-described experimental example. First, a copper plate was prepared, a boric acid powder was placed thereon, and the copper plate was heated. According to this heating, when the copper plate reached about 300 ° C., boric acid became boron oxide and melted. The molten boron oxide wets the copper plate along the copper oxide existing on the surface of the copper plate, and the copper oxide is dissolved in the molten boron oxide. Therefore, metallic copper was present below the molten boron oxide film. The same phenomenon was confirmed for the nickel plate. Therefore, in the above-described experimental example, when the conductive paste is fired, the molten boron oxide obtained from boric acid thinly covers both the surfaces of copper contained in the external electrode and nickel contained in the internal electrode. In this state, when nickel and copper partially contact with each other, mutual diffusion occurs, and copper is sintered even if the film of boron oxide is pushed away. In such a firing step, the boron oxide film prevents further oxidation of copper and nickel.
Even if the oxygen concentration is as high as 0 ppm, copper and nickel do not oxidize, and such a high oxygen concentration improves the wettability between the glass contained in the conductive paste and the copper, resulting in a dense external surface. The electrodes will be obtained.

【0029】次に、図4に示した酸化ホウ素膜21のク
ラック防止効果を確認するため、前述した実験例によっ
て得られた各試料を、室温から溶融半田中に浸漬し、約
325℃の温度差による熱衝撃を加えた。そして、部品
本体の断面を研磨し、クラックの入った試料の数を求め
たところ、酸化ホウ素膜を備えるものについては、試料
数100のうち、3個の試料においてクラックが発生し
ていたのに対し、酸化ホウ素膜が形成されない試料につ
いては、試料数100中、20個の試料においてクラッ
クが発生していた。
Next, in order to confirm the crack prevention effect of the boron oxide film 21 shown in FIG. 4, each sample obtained by the above-mentioned experimental example is immersed in molten solder from room temperature, and the temperature is about 325 ° C. A thermal shock due to the difference was applied. Then, the cross section of the component body was polished and the number of cracked samples was determined. As for the sample having the boron oxide film, cracks occurred in 3 of 100 samples. On the other hand, with respect to the samples in which the boron oxide film was not formed, cracks occurred in 20 of 100 samples.

【0030】以上、この発明を積層セラミックコンデン
サに関連して説明したが、この発明は、積層セラミック
コンデンサに限らず、たとえば、積層インダクタ、積層
バリスタ、多層回路基板等の他の積層セラミック電子部
品に対しても、あるいは積層構造を備えないセラミック
電子部品に対しても、部品本体の内部に内部電極が形成
されるものであれば、どのようなセラミック電子部品に
対しても適用することができる。
Although the present invention has been described with reference to a monolithic ceramic capacitor, the present invention is not limited to a monolithic ceramic capacitor, but may be applied to other monolithic ceramic electronic components such as a monolithic inductor, a monolithic varistor and a multi-layer circuit board. The present invention can also be applied to any ceramic electronic component that has internal electrodes formed inside the component body, even if it is a ceramic electronic component that does not have a laminated structure.

【0031】また、このようなセラミック電子部品にお
いて、内部電極に含まれる卑金属および外部電極に含ま
れる金属の組合わせは、上述した実施例のように、ニッ
ケルおよび銅の組合わせに限らず、ニッケルおよびニッ
ケル、銅および銅、ならびに、銅および銀の各組合わせ
のいずれであってもよい。
Further, in such a ceramic electronic component, the combination of the base metal contained in the internal electrode and the metal contained in the external electrode is not limited to the combination of nickel and copper as in the above-described embodiments, but nickel is not limited. And nickel, copper and copper, and each combination of copper and silver.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例による積層セラミックコン
デンサの製造方法に含まれる第1の工程において用意さ
れる、内部電極13および14が形成された部品本体1
2を示す断面図である。
FIG. 1 is a component body 1 having internal electrodes 13 and 14 prepared in a first step included in a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows 2.

【図2】図1に示した第1の工程の後に実施される第2
の工程において、ホウ酸17が外表面上に付与された部
品本体12を示す一部拡大断面図である。
FIG. 2 is a second process performed after the first process shown in FIG.
It is a partially expanded sectional view which shows the component main body 12 in which the boric acid 17 was provided on the outer surface in the process of.

【図3】図2に示した第2の工程の後に実施される第3
の工程において、ホウ酸17が付与された部品本体12
の外表面上に導電性ペースト18が付与された状態を示
す一部拡大断面図である。
FIG. 3 is a third process performed after the second process shown in FIG.
In the process of, the component body 12 to which boric acid 17 is added
FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which a conductive paste 18 is applied on the outer surface of the.

【図4】図3に示した第3の工程において付与された導
電性ペースト18を焼成して外部電極19および20が
形成された積層セラミックコンデンサ11を示す断面図
である。
4 is a cross-sectional view showing a monolithic ceramic capacitor 11 in which external electrodes 19 and 20 are formed by firing the conductive paste 18 applied in the third step shown in FIG.

【図5】従来の積層セラミックコンデンサ11を示す断
面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a conventional monolithic ceramic capacitor 11.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 積層セラミックコンデンサ 12 部品本体 13,14 内部電極 15,16 端面 17 ホウ酸 18 導電性ペースト 19,20 外部電極 21 酸化ホウ素膜 11 Multilayer Ceramic Capacitor 12 Component Body 13,14 Internal Electrode 15,16 End Face 17 Boric Acid 18 Conductive Paste 19,20 External Electrode 21 Boron Oxide Film

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックからなる部品本体と、前記部
品本体の内部に形成されるとともに、その端縁が前記部
品本体の外表面に露出され、かつ卑金属を含む、内部電
極と、前記内部電極の端縁に電気的に接続されるように
前記部品本体の外表面上に形成される外部電極とを備え
る、セラミック電子部品の製造方法であって、 前記内部電極が形成された前記部品本体を用意し、 前記部品本体の外表面上であって、少なくとも前記内部
電極が露出する部分に、ホウ酸を付与し、 前記ホウ酸が付与された前記部品本体の外表面上に、前
記外部電極となる導電性ペーストを付与し、 前記導電性ペーストを焼成する、各工程を備える、セラ
ミック電子部品の製造方法。
1. A component body made of ceramic, an internal electrode formed inside the component body, the edge of which is exposed on the outer surface of the component body and containing a base metal; A method of manufacturing a ceramic electronic component, comprising: an external electrode formed on an outer surface of the component body so as to be electrically connected to an edge thereof, wherein the component body having the internal electrode is prepared. Then, on the outer surface of the component body, at least a portion where the internal electrode is exposed is provided with boric acid, and the boric acid is provided on the outer surface of the component body to be the external electrode. A method of manufacturing a ceramic electronic component, comprising: each step of applying a conductive paste and firing the conductive paste.
【請求項2】 前記内部電極に含まれる卑金属および前
記外部電極に含まれる金属の組合わせは、それぞれ、ニ
ッケルおよび銅、ニッケルおよびニッケル、銅および
銅、ならびに、銅および銀のいずれかに選ばれる、請求
項1に記載のセラミック電子部品の製造方法。
2. The combination of the base metal contained in the internal electrode and the metal contained in the external electrode is selected from nickel and copper, nickel and nickel, copper and copper, and copper and silver, respectively. A method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 1.
【請求項3】 前記導電性ペーストを焼成する工程にお
いて、焼成雰囲気の酸素濃度が50ppm以上に選ばれ
る、請求項1または2に記載のセラミック電子部品の製
造方法。
3. The method for producing a ceramic electronic component according to claim 1, wherein, in the step of firing the conductive paste, the oxygen concentration in the firing atmosphere is selected to be 50 ppm or higher.
【請求項4】 前記ホウ酸を付与する工程において、前
記ホウ酸は前記部品本体の外表面全域に付与される、請
求項1ないし3のいずれかに記載のセラミック電子部品
の製造方法。
4. The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 1, wherein, in the step of applying boric acid, the boric acid is applied to the entire outer surface of the component body.
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