JPH07302560A - 画像形成装置 - Google Patents
画像形成装置Info
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- JPH07302560A JPH07302560A JP6119705A JP11970594A JPH07302560A JP H07302560 A JPH07302560 A JP H07302560A JP 6119705 A JP6119705 A JP 6119705A JP 11970594 A JP11970594 A JP 11970594A JP H07302560 A JPH07302560 A JP H07302560A
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- JP
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- electron
- image forming
- forming apparatus
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/8625—Spacing members
Landscapes
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子放出素子を電子源として用いた画像形成
装置における、パネルの真空排気効率を向上させる。 【構成】 複数の電子放出素子５を搭載した背面板１
と、電子放出素子５から放出される電子を受ける蛍光体
を搭載した前面板２と、平板状のスペーサ４を備えた画
像形成装置において、スペーサ４をその長手方向（ｘ方
向）に間欠的に複数設けたことを特徴とする。 【効果】 真空排気時におけるパネル内のガスの流れが
スムーズになる。
装置における、パネルの真空排気効率を向上させる。 【構成】 複数の電子放出素子５を搭載した背面板１
と、電子放出素子５から放出される電子を受ける蛍光体
を搭載した前面板２と、平板状のスペーサ４を備えた画
像形成装置において、スペーサ４をその長手方向（ｘ方
向）に間欠的に複数設けたことを特徴とする。 【効果】 真空排気時におけるパネル内のガスの流れが
スムーズになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子放出素子、特に表
面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置や記録装置
等の画像形成装置に関する。
面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置や記録装置
等の画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子放出素子として熱電子源と冷
陰極電子源の２種類が知られている。冷陰極電子源には
電界放出型、金属／絶縁層／金属型や表面伝導型の電子
放出素子等が有る。
陰極電子源の２種類が知られている。冷陰極電子源には
電界放出型、金属／絶縁層／金属型や表面伝導型の電子
放出素子等が有る。
【０００３】電界放出型の例としては、Ｗ．Ｐ． Ｄｙ
ｋｅ ＆ Ｗ．Ｗ． Ｄｏｌａｎ，“Ｆｉｅｌｄ Ｅｍ
ｉｓｓｉｏｎ”， Ａｄｖａｎｃｅ ｉｎ Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｎ Ｐｈｙｓｉｃｓ， ８，８９（１９５６）や
Ｃ．Ａ． Ｓｐｉｎｄｔ，“Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｏ
ｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｆｉｅｌ
ｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａａｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔｈ
ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ ｃｏｎｅｓ”， Ｊ．Ａｐｐ
ｌ． Ｐｈｙｓ．， ４７，５２４８（１９７６）等が
知られている。
ｋｅ ＆ Ｗ．Ｗ． Ｄｏｌａｎ，“Ｆｉｅｌｄ Ｅｍ
ｉｓｓｉｏｎ”， Ａｄｖａｎｃｅ ｉｎ Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｎ Ｐｈｙｓｉｃｓ， ８，８９（１９５６）や
Ｃ．Ａ． Ｓｐｉｎｄｔ，“Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｏ
ｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｆｉｅｌ
ｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａａｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔｈ
ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ ｃｏｎｅｓ”， Ｊ．Ａｐｐ
ｌ． Ｐｈｙｓ．， ４７，５２４８（１９７６）等が
知られている。
【０００４】また、金属／絶縁層／金属型の例として
は、Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ，“Ｔｈｅ ｔｕｎｎｅｌ−ｅｍ
ｉｓｓｉｏｎ ａｍｐｌｉｆｉｅｒ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．
Ｐｈｙｓ．，３２，６４６（１９６１）等が知られてい
る。
は、Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ，“Ｔｈｅ ｔｕｎｎｅｌ−ｅｍ
ｉｓｓｉｏｎ ａｍｐｌｉｆｉｅｒ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．
Ｐｈｙｓ．，３２，６４６（１９６１）等が知られてい
る。
【０００５】更に、表面伝導型の例としては、Ｍ．Ｉ．
Ｅｌｉｎｓｏｎ， ＲａｄｉｏＥｎｇ． Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｎ Ｐｈｙｓ．， １０，１２９０（１９６５）等
がある。
Ｅｌｉｎｓｏｎ， ＲａｄｉｏＥｎｇ． Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｎ Ｐｈｙｓ．， １０，１２９０（１９６５）等
がある。
【０００６】上記表面伝導型の電子放出素子は、基板上
に形成された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流す
ことにより、電子放出が生ずる現象を利用するものであ
る。
に形成された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流す
ことにより、電子放出が生ずる現象を利用するものであ
る。
【０００７】この表面伝導型電子放出素子としては、前
記エリンソン等によるＳｎＯ2 薄膜を用いたもの、Ａｕ
薄膜によるもの［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ Ｓ
ｏｌｉｄ Ｆｉｌｍｓ”， ９，３１７（１９７
２）］、Ｉｎ2 Ｏ3 ／ＳｎＯ2 薄膜によるもの［Ｍ．Ｈ
ａｒｔｗｅｌｌ ａｎｄ Ｃ．Ｇ． Ｆｏｎｓｔａｄ：
“ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．ＥＤ Ｃｏｎｆ．”， ５１
９（１９７５）］、カーボン薄膜によるもの［荒木久
他：真空、第２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］等
が報告されている。
記エリンソン等によるＳｎＯ2 薄膜を用いたもの、Ａｕ
薄膜によるもの［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ Ｓ
ｏｌｉｄ Ｆｉｌｍｓ”， ９，３１７（１９７
２）］、Ｉｎ2 Ｏ3 ／ＳｎＯ2 薄膜によるもの［Ｍ．Ｈ
ａｒｔｗｅｌｌ ａｎｄ Ｃ．Ｇ． Ｆｏｎｓｔａｄ：
“ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．ＥＤ Ｃｏｎｆ．”， ５１
９（１９７５）］、カーボン薄膜によるもの［荒木久
他：真空、第２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］等
が報告されている。
【０００８】図６は上述の表面伝導型電子放出素子から
放出される電子の放射特性を測定する特性評価装置を示
した断面図である。図６において、４１は絶縁性基板、
４４及び４５は素子電極、４２は電子放出部、４３は電
子放出部４２を含む薄膜であり、これらにより電子放出
素子を構成している。また、４６はガラス基板、４７は
透明導電膜からなるアノード電極、４８は電子照射によ
り可視光を発する蛍光膜、４９は電子放出素子に電圧を
印加するための電源、５０はアノード電極４７に電圧を
印加するための高圧電源である。素子電極４４，４５に
電源４９を接続し、電子放出素子の上方に高圧電源５０
を接続したアノード電極４７を配置している。アノード
電極４７及び蛍光膜４８を有するガラス基板４６と該電
子放出素子は真空装置５１内に設置されている。
放出される電子の放射特性を測定する特性評価装置を示
した断面図である。図６において、４１は絶縁性基板、
４４及び４５は素子電極、４２は電子放出部、４３は電
子放出部４２を含む薄膜であり、これらにより電子放出
素子を構成している。また、４６はガラス基板、４７は
透明導電膜からなるアノード電極、４８は電子照射によ
り可視光を発する蛍光膜、４９は電子放出素子に電圧を
印加するための電源、５０はアノード電極４７に電圧を
印加するための高圧電源である。素子電極４４，４５に
電源４９を接続し、電子放出素子の上方に高圧電源５０
を接続したアノード電極４７を配置している。アノード
電極４７及び蛍光膜４８を有するガラス基板４６と該電
子放出素子は真空装置５１内に設置されている。
【０００９】上述の特性評価装置において、素子電極４
４，４５間に電圧を印加して電子放出部４２より電子を
放出させ、アノード電極４７に数百Ｖから数千Ｖの電圧
を印加すると、放出電子ｅ- は、絶縁性基板４１の面に
対する電子放出部４２からの法線（図中の１点鎖線）に
対して、電子放出素子に印加した電圧の正極側（図中で
は素子電極４５側）にずれて飛翔し（以後これを「偏
向」と呼ぶ）、図中の矢印付点線の軌跡をとる。このこ
とは、電子ビームの照射による蛍光膜４８上の発光部中
心が、電子放出部４２の法線上からずれていることから
確認できる。尚、電子ビームが偏向する方向を偏向方向
とし、偏向方向に平行な軸を偏向軸とする。
４，４５間に電圧を印加して電子放出部４２より電子を
放出させ、アノード電極４７に数百Ｖから数千Ｖの電圧
を印加すると、放出電子ｅ- は、絶縁性基板４１の面に
対する電子放出部４２からの法線（図中の１点鎖線）に
対して、電子放出素子に印加した電圧の正極側（図中で
は素子電極４５側）にずれて飛翔し（以後これを「偏
向」と呼ぶ）、図中の矢印付点線の軌跡をとる。このこ
とは、電子ビームの照射による蛍光膜４８上の発光部中
心が、電子放出部４２の法線上からずれていることから
確認できる。尚、電子ビームが偏向する方向を偏向方向
とし、偏向方向に平行な軸を偏向軸とする。
【００１０】上述の電子放射特性は、絶縁性基板４１に
平行な面内での電位分布が、電子放出部４２に対して非
対称になることによるものと考えられ、特に、表面伝導
型電子放出素子に固有の特性である。但し、前述の電界
放出型電子放出素子や金属／絶縁層／金属型電子放出素
子でも、構成によってはこの特性を示す。
平行な面内での電位分布が、電子放出部４２に対して非
対称になることによるものと考えられ、特に、表面伝導
型電子放出素子に固有の特性である。但し、前述の電界
放出型電子放出素子や金属／絶縁層／金属型電子放出素
子でも、構成によってはこの特性を示す。
【００１１】上述したような電子放出素子は、１０-6Ｔ
ｏｒｒ程度以上の真空中で動作させることから、該電子
放出素子を用いた画像形成装置を形成する場合、耐大気
圧構造が必要となる。特に、大面積の背面板（図６の絶
縁性基板４１に対応）及び前面板（図６のガラス基板４
６に対応）を用いて大気圧支持を行う平面型画像形成装
置の場合、各基板の板厚が非常に厚くなってしまうた
め、重量、コスト等の点で実用性が乏しくなってしま
う。これを回避するため、耐大気圧のためのスペーサを
背面板と前面板の間に支柱として配置し、耐大気圧構造
とすることで、該画像形成装置の軽量化が可能である。
また、上記スペーサはパネル間隔を一定に保つ目的で使
用される場合もある。
ｏｒｒ程度以上の真空中で動作させることから、該電子
放出素子を用いた画像形成装置を形成する場合、耐大気
圧構造が必要となる。特に、大面積の背面板（図６の絶
縁性基板４１に対応）及び前面板（図６のガラス基板４
６に対応）を用いて大気圧支持を行う平面型画像形成装
置の場合、各基板の板厚が非常に厚くなってしまうた
め、重量、コスト等の点で実用性が乏しくなってしま
う。これを回避するため、耐大気圧のためのスペーサを
背面板と前面板の間に支柱として配置し、耐大気圧構造
とすることで、該画像形成装置の軽量化が可能である。
また、上記スペーサはパネル間隔を一定に保つ目的で使
用される場合もある。
【００１２】上記のスペーサは、各基板面に対する垂直
な圧力に耐えるように構成されるので、通常、各基板と
スペーサは所定の面積をもって接している。
な圧力に耐えるように構成されるので、通常、各基板と
スペーサは所定の面積をもって接している。
【００１３】図７に上述の電子放出素子を用いた従来の
画像形成装置の概略的な構成を示す。図７において、６
１は複数の電子放出素子（不図示）を搭載した背面板、
６２は蛍光体（不図示）を搭載し背面板６１に対向配置
されている前面板、６３は背面板６１と前面板６２の周
囲を接続する側面板、６４はスペーサである。このよう
に従来は、細長い板状のものをスペーサ６４として用
い、あたかもパネル内部を複数の領域に分けてしまうよ
うに配置されていた。
画像形成装置の概略的な構成を示す。図７において、６
１は複数の電子放出素子（不図示）を搭載した背面板、
６２は蛍光体（不図示）を搭載し背面板６１に対向配置
されている前面板、６３は背面板６１と前面板６２の周
囲を接続する側面板、６４はスペーサである。このよう
に従来は、細長い板状のものをスペーサ６４として用
い、あたかもパネル内部を複数の領域に分けてしまうよ
うに配置されていた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】上述の画像形成装置を
作製するには、装置（パネル）内部を上述のように約１
０-6Ｔｏｒｒまで真空排気する必要がある。しかしなが
ら、図７に示したような従来の画像形成装置において
は、以下に代表されるいくつかの問題が有った。
作製するには、装置（パネル）内部を上述のように約１
０-6Ｔｏｒｒまで真空排気する必要がある。しかしなが
ら、図７に示したような従来の画像形成装置において
は、以下に代表されるいくつかの問題が有った。
【００１５】１つ目の問題点は、真空排気中に、パネル
の構成部材の内表面に付着した有機物質等からガスが放
出されるため、真空にさらされるスペーサの表面積が大
きい従来の装置では、スペーサ表面から放出されるガス
が多くなり、真空排気速度が低下する。また、構成部材
の表面の脱ガスを完全に行うことは難しく、真空排気ポ
ンプなどの真空排気系を切り離した（この過程を「封
止」と呼ぶ）後においても構成部材の表面からのガス放
出が起こるので、スペーサ等の表面積が大きいと、封止
後に時間の経過と共にパネル内部の真空度が悪くなる。
の構成部材の内表面に付着した有機物質等からガスが放
出されるため、真空にさらされるスペーサの表面積が大
きい従来の装置では、スペーサ表面から放出されるガス
が多くなり、真空排気速度が低下する。また、構成部材
の表面の脱ガスを完全に行うことは難しく、真空排気ポ
ンプなどの真空排気系を切り離した（この過程を「封
止」と呼ぶ）後においても構成部材の表面からのガス放
出が起こるので、スペーサ等の表面積が大きいと、封止
後に時間の経過と共にパネル内部の真空度が悪くなる。
【００１６】もう１つの問題点は、従来の装置ではパネ
ル内部を複数の空間に分割してしまうような構造（房状
構造）にスペーサを配置しているため、気体分子の流れ
が悪く、真空排気に要する時間が長くなり、真空排気効
率が悪化する。
ル内部を複数の空間に分割してしまうような構造（房状
構造）にスペーサを配置しているため、気体分子の流れ
が悪く、真空排気に要する時間が長くなり、真空排気効
率が悪化する。
【００１７】本発明の目的は、電子放出素子を用いた画
像形成装置において、パネルの真空排気における排気効
率を向上することにある。
像形成装置において、パネルの真空排気における排気効
率を向上することにある。
【００１８】本発明の他の目的は、電子放出素子を用い
た画像形成装置において、該電子放出素子からの放出電
子の飛翔軌道を妨げることのないパネル構造を実現する
ことにある。
た画像形成装置において、該電子放出素子からの放出電
子の飛翔軌道を妨げることのないパネル構造を実現する
ことにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するために成された本発明は、複数の電子放出素子を搭
載した背面板と、該背面板に対向配置され電子放出素子
から放出される電子を受ける被照射部材を搭載した前面
板と、該背面板と該前面板の間に配置された平板状のス
ペーサを備える画像形成装置において、上記スペーサ
は、その長手方向に間欠的に複数設けられていることを
特徴とする画像形成装置にある。
するために成された本発明は、複数の電子放出素子を搭
載した背面板と、該背面板に対向配置され電子放出素子
から放出される電子を受ける被照射部材を搭載した前面
板と、該背面板と該前面板の間に配置された平板状のス
ペーサを備える画像形成装置において、上記スペーサ
は、その長手方向に間欠的に複数設けられていることを
特徴とする画像形成装置にある。
【００２０】上記本発明は、その特徴として、前記電子
放出素子から放出される電子は、前記背面板の面内方向
に速度成分を有し、前記スペーサの長手方向が該速度成
分の方向と略同一であること、前記長手方向に間欠的に
設けられている複数のスペーサからなるスペーサ列を複
数列有すること、相隣接する前記スペーサ列において、
前記スペーサは互いに前記長手方向に関してずれて配置
されていること、前記複数のスペーサは、同一の形状で
あること、前記複数のスペーサは、複数種類の形状を有
すること、前記スペーサ列と同方向に配列した複数の電
子放出素子からなる素子列を複数列有し、該スペーサ列
の一列と該素子列の一列が交互に配列していること、前
記スペーサ列と同方向に配列した複数の電子放出素子か
らなる素子列を複数列有し、該スペーサ列の一列と該素
子列の複数列が交互に配列していること、前記電子放出
素子は、表面伝導型電子放出素子であることをも含む。
放出素子から放出される電子は、前記背面板の面内方向
に速度成分を有し、前記スペーサの長手方向が該速度成
分の方向と略同一であること、前記長手方向に間欠的に
設けられている複数のスペーサからなるスペーサ列を複
数列有すること、相隣接する前記スペーサ列において、
前記スペーサは互いに前記長手方向に関してずれて配置
されていること、前記複数のスペーサは、同一の形状で
あること、前記複数のスペーサは、複数種類の形状を有
すること、前記スペーサ列と同方向に配列した複数の電
子放出素子からなる素子列を複数列有し、該スペーサ列
の一列と該素子列の一列が交互に配列していること、前
記スペーサ列と同方向に配列した複数の電子放出素子か
らなる素子列を複数列有し、該スペーサ列の一列と該素
子列の複数列が交互に配列していること、前記電子放出
素子は、表面伝導型電子放出素子であることをも含む。
【００２１】以下、本発明を詳細に説明する。
【００２２】図１は、本発明の一実施態様を示す画像形
成装置の部分切り欠き斜視図である。
成装置の部分切り欠き斜視図である。
【００２３】図１において、１は背面板、２は前面板、
３は外囲器、４は長手方向をｘ軸方向とほぼ平行に設置
された平板状スペーサ、５は背面板１上に形成された電
子放出素子である。前面板２の背面板１と相対する面に
は、被照射部材であるところの蛍光体が配置されるが、
図中には示していない。
３は外囲器、４は長手方向をｘ軸方向とほぼ平行に設置
された平板状スペーサ、５は背面板１上に形成された電
子放出素子である。前面板２の背面板１と相対する面に
は、被照射部材であるところの蛍光体が配置されるが、
図中には示していない。
【００２４】本発明では、スペーサ４をその長手方向
（図１中のｘ方向）に、間欠的に、即ち或る間隔を置い
て複数設けている。このため、装置内部は前述したよう
な房状構造とはならず、真空排気効率が低下することは
ない。但し、真空容器としての耐大気圧構造は必要であ
るので、背面板１及び前面板２と複数のスペーサ４は所
定の面積以上をもって接するように、スペーサの形状，
個数及びスペーサ間隔が設定される。
（図１中のｘ方向）に、間欠的に、即ち或る間隔を置い
て複数設けている。このため、装置内部は前述したよう
な房状構造とはならず、真空排気効率が低下することは
ない。但し、真空容器としての耐大気圧構造は必要であ
るので、背面板１及び前面板２と複数のスペーサ４は所
定の面積以上をもって接するように、スペーサの形状，
個数及びスペーサ間隔が設定される。
【００２５】また、図１においては、電子放出素子５か
ら放出される電子は、ｘ方向とｚ方向に速度成分を有
し、ｙ方向の速度成分はほとんど含まない。電子放出素
子５から放出される電子ビームは、放出当初はｘ方向も
しくは−ｘ方向に速度の主成分を持っている。即ち、本
例ではｘ方向が偏向方向である。そして、背面板１と前
面板２間に印加される加速電圧によって、電子ビームは
＋ｚ方向に加速され、最終的には前面板２の内面上に配
置された蛍光体（不図示）に衝突し、発光することによ
って画像を形成する。
ら放出される電子は、ｘ方向とｚ方向に速度成分を有
し、ｙ方向の速度成分はほとんど含まない。電子放出素
子５から放出される電子ビームは、放出当初はｘ方向も
しくは−ｘ方向に速度の主成分を持っている。即ち、本
例ではｘ方向が偏向方向である。そして、背面板１と前
面板２間に印加される加速電圧によって、電子ビームは
＋ｚ方向に加速され、最終的には前面板２の内面上に配
置された蛍光体（不図示）に衝突し、発光することによ
って画像を形成する。
【００２６】図１に示したように、スペーサ４の長手方
向を、電子放出素子５から放出される電子が有する背面
板１の面内方向の速度成分の方向（ｘ方向）とほぼ同一
にすることにより、加速電圧によって軌道を変えていく
電子ビームは、スペーサ４に衝突することなく飛翔す
る。このため、前述したような発光効率の低下や、素子
破壊を防止することができる。
向を、電子放出素子５から放出される電子が有する背面
板１の面内方向の速度成分の方向（ｘ方向）とほぼ同一
にすることにより、加速電圧によって軌道を変えていく
電子ビームは、スペーサ４に衝突することなく飛翔す
る。このため、前述したような発光効率の低下や、素子
破壊を防止することができる。
【００２７】本発明では、スペーサ４を、前面板２上に
配置される蛍光体ターゲット間の隙間（例えば、所謂ブ
ラックストライプ）に一致させ、また、背面板１上では
電子放出素子５が占有していない部分に設置するのが好
ましい。
配置される蛍光体ターゲット間の隙間（例えば、所謂ブ
ラックストライプ）に一致させ、また、背面板１上では
電子放出素子５が占有していない部分に設置するのが好
ましい。
【００２８】また、図１においては、電子放出素子５及
びスペーサ４をある程度省略して示しており、これらの
数は本発明において何等制限されるものではない。
びスペーサ４をある程度省略して示しており、これらの
数は本発明において何等制限されるものではない。
【００２９】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。
る。
【００３０】［実施例１］図２は、本発明の第１の実施
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。
【００３１】図２において、６はスペーサ４をｘ軸方向
に複数並べたスペーサ列、７は電子放出素子５をｘ軸方
向に複数並べた電子放出素子列である。尚、本実施例に
おいて、電子放出素子５から放出される電子の偏向方向
はｘ軸方向である。
に複数並べたスペーサ列、７は電子放出素子５をｘ軸方
向に複数並べた電子放出素子列である。尚、本実施例に
おいて、電子放出素子５から放出される電子の偏向方向
はｘ軸方向である。
【００３２】本実施例に示すスペーサ４は全て同一の形
状を有するものであり、スペーサ４のｘ軸方向の長さを
Ａとし、スペーサ列６におけるスペーサ間の間隔をＢと
する。即ち、スペーサ列６は、長さＡのスペーサ４がｘ
軸方向に距離Ｂだけ間隔をおいて複数枚並べられて構成
されている。
状を有するものであり、スペーサ４のｘ軸方向の長さを
Ａとし、スペーサ列６におけるスペーサ間の間隔をＢと
する。即ち、スペーサ列６は、長さＡのスペーサ４がｘ
軸方向に距離Ｂだけ間隔をおいて複数枚並べられて構成
されている。
【００３３】そして、１つのスペーサ列６をｘ軸方向に
（Ａ＋Ｂ）／２だけ平行移動し、ｙ軸方向に例えば１０
素子分の距離Ｃだけ平行移動した位置に、もう一つのス
ペーサ列６’を配置する。この様なことを繰り返し、画
像形成装置内におけるスペーサの配列を決定し、画像形
成装置を作製した。
（Ａ＋Ｂ）／２だけ平行移動し、ｙ軸方向に例えば１０
素子分の距離Ｃだけ平行移動した位置に、もう一つのス
ペーサ列６’を配置する。この様なことを繰り返し、画
像形成装置内におけるスペーサの配列を決定し、画像形
成装置を作製した。
【００３４】具体的には、スペーサ４として長さＡ＝４
０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高さ３
ｍｍのガラス製スペーサを用い、ｘ軸方向にＢ＝４０ｍ
ｍ，ｙ軸方向にＣ＝１５ｍｍだけずらしながら、上述の
ように配置した。また、ガラス製の前面板及び背面板は
３００ｍｍ角の大きさで、厚さは３ｍｍである。
０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高さ３
ｍｍのガラス製スペーサを用い、ｘ軸方向にＢ＝４０ｍ
ｍ，ｙ軸方向にＣ＝１５ｍｍだけずらしながら、上述の
ように配置した。また、ガラス製の前面板及び背面板は
３００ｍｍ角の大きさで、厚さは３ｍｍである。
【００３５】本実施例では、画像形成装置内の真空排気
を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気圧構造
を兼ね備えた装置が得られた。
を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気圧構造
を兼ね備えた装置が得られた。
【００３６】［実施例２］図３は、本発明の第２の実施
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。図３において、図２と同一符号で示したものは、
同等部材を示している。本実施例においても、電子放出
素子５から放出される電子の偏向方向はｘ軸方向であ
る。
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。図３において、図２と同一符号で示したものは、
同等部材を示している。本実施例においても、電子放出
素子５から放出される電子の偏向方向はｘ軸方向であ
る。
【００３７】本実施例は実施例１の画像形成装置とほぼ
同様であるが、スペーサの配置間隔が異なる。
同様であるが、スペーサの配置間隔が異なる。
【００３８】具体的には、スペーサ４として長さＡ＝４
０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高さ３
ｍｍのガラス製スペーサを用い、ｘ軸方向にＢ＝３０ｍ
ｍ，ｙ軸方向にＣ＝２０ｍｍだけずらしながら、実施例
１と同様にして配置した。また、ガラス製の前面板及び
背面板は３００ｍｍ角の大きさで、厚さは３ｍｍであ
る。
０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高さ３
ｍｍのガラス製スペーサを用い、ｘ軸方向にＢ＝３０ｍ
ｍ，ｙ軸方向にＣ＝２０ｍｍだけずらしながら、実施例
１と同様にして配置した。また、ガラス製の前面板及び
背面板は３００ｍｍ角の大きさで、厚さは３ｍｍであ
る。
【００３９】本実施例においても、画像形成装置内の真
空排気を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気
圧構造を兼ね備えた装置が得られた。
空排気を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気
圧構造を兼ね備えた装置が得られた。
【００４０】［実施例３］図４は、本発明の第３の実施
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。本実施例においても、電子放出素子５から放出さ
れる電子の偏向方向はｘ軸方向である。
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。本実施例においても、電子放出素子５から放出さ
れる電子の偏向方向はｘ軸方向である。
【００４１】本実施例の特徴は、形状の異なる２種類の
スペーサで、それぞれ異なるスペーサ列を構成し、それ
らを互い違いに配置させたことである。その他の点につ
いては実施例１と同様である。
スペーサで、それぞれ異なるスペーサ列を構成し、それ
らを互い違いに配置させたことである。その他の点につ
いては実施例１と同様である。
【００４２】図４において、形状の異なるスペーサ４ａ
とスペーサ４ｂが、それぞれスペーサ列６ａとスペーサ
列６ｂを構成している。スペーサ４ａのｘ軸方向の長さ
をＡ１、スペーサ６ｂのｘ軸方向の長さをＡ２とする。
また、スペーサ列６ａにおけるスペーサ間の間隔をＢ
１、スペーサ列６ｂにおけるスペーサ間の間隔をＢ２と
する。即ち、スペーサ列６ａは、長さＡ１のスペーサ４
ａがｘ軸方向に距離Ｂ１だけ間隔をおいて複数枚並べら
れて構成され、スペーサ列６ｂは、長さＡ２のスペーサ
４ｂがｘ軸方向に距離Ｂ２だけ間隔をおいて複数枚並べ
られて構成されている。そして、ｙ軸方向に例えば１０
素子分の距離Ｃをおいてスペーサ列６ａとスペーサ列６
ｂを交互に配置した。
とスペーサ４ｂが、それぞれスペーサ列６ａとスペーサ
列６ｂを構成している。スペーサ４ａのｘ軸方向の長さ
をＡ１、スペーサ６ｂのｘ軸方向の長さをＡ２とする。
また、スペーサ列６ａにおけるスペーサ間の間隔をＢ
１、スペーサ列６ｂにおけるスペーサ間の間隔をＢ２と
する。即ち、スペーサ列６ａは、長さＡ１のスペーサ４
ａがｘ軸方向に距離Ｂ１だけ間隔をおいて複数枚並べら
れて構成され、スペーサ列６ｂは、長さＡ２のスペーサ
４ｂがｘ軸方向に距離Ｂ２だけ間隔をおいて複数枚並べ
られて構成されている。そして、ｙ軸方向に例えば１０
素子分の距離Ｃをおいてスペーサ列６ａとスペーサ列６
ｂを交互に配置した。
【００４３】具体的には、スペーサ４ａとして長さＡ１
＝４０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高
さ３ｍｍのガラス製スペーサを、スペーサ４ｂとして長
さＡ２＝１０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方
向の高さ３ｍｍのガラス製スペーサを用い、スペーサ４
ａをｘ軸方向にＢ１＝４０ｍｍ、スペーサ４ｂをｘ軸方
向にＢ２＝７０ｍｍの距離をおいて並べ、ｙ軸方向に互
いにＣ＝２０ｍｍだけずらし、上述のようにして配置し
た。また、ガラス製の前面板及び背面板は３００ｍｍ角
の大きさで、厚さは３ｍｍである。
＝４０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高
さ３ｍｍのガラス製スペーサを、スペーサ４ｂとして長
さＡ２＝１０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方
向の高さ３ｍｍのガラス製スペーサを用い、スペーサ４
ａをｘ軸方向にＢ１＝４０ｍｍ、スペーサ４ｂをｘ軸方
向にＢ２＝７０ｍｍの距離をおいて並べ、ｙ軸方向に互
いにＣ＝２０ｍｍだけずらし、上述のようにして配置し
た。また、ガラス製の前面板及び背面板は３００ｍｍ角
の大きさで、厚さは３ｍｍである。
【００４４】本実施例においても、画像形成装置内の真
空排気を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気
圧構造を兼ね備えた装置が得られた。
空排気を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気
圧構造を兼ね備えた装置が得られた。
【００４５】［実施例４］図５は、本発明の第４の実施
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。図５において、図２と同一符号で示したものは、
同等部材を示している。本実施例においても、電子放出
素子５から放出される電子の偏向方向はｘ軸方向であ
る。
例を詳細に説明する図であり、画像形成装置において、
前面板を取り除いた状態の拡大平面（ｘ−ｙ平面）図で
ある。図５において、図２と同一符号で示したものは、
同等部材を示している。本実施例においても、電子放出
素子５から放出される電子の偏向方向はｘ軸方向であ
る。
【００４６】本実施例の特徴は、同一形状のスペーサ４
でスペーサ列６を構成し、各スペーサ列６において、ス
ペーサ４のｘ軸方向の位置が同じになるように配置され
たことである。
でスペーサ列６を構成し、各スペーサ列６において、ス
ペーサ４のｘ軸方向の位置が同じになるように配置され
たことである。
【００４７】本実施例に示すスペーサ４のｘ軸方向の長
さをＡとし、スペーサ列６におけるスペーサ間の間隔を
Ｂとする。即ち、スペーサ列６は、長さＡのスペーサ４
がｘ軸方向に距離Ｂだけ間隔をおいて複数枚並べられて
構成されている。そして、スペーサ列６をｙ軸方向に例
えば１０素子分の距離Ｃだけ平行移動した位置に、もう
一つのスペーサ列６を配置する。この様なことを繰り返
し、画像形成装置内におけるスペーサの配列を決定し、
画像形成装置を作製した。
さをＡとし、スペーサ列６におけるスペーサ間の間隔を
Ｂとする。即ち、スペーサ列６は、長さＡのスペーサ４
がｘ軸方向に距離Ｂだけ間隔をおいて複数枚並べられて
構成されている。そして、スペーサ列６をｙ軸方向に例
えば１０素子分の距離Ｃだけ平行移動した位置に、もう
一つのスペーサ列６を配置する。この様なことを繰り返
し、画像形成装置内におけるスペーサの配列を決定し、
画像形成装置を作製した。
【００４８】具体的には、スペーサ４として長さＡ＝５
０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高さ３
ｍｍのガラス製スペーサを用い、ｘ軸方向にＢ＝４０ｍ
ｍ，ｙ軸方向にＣ＝１５ｍｍだけずらしながら、上述の
ように配置した。また、ガラス製の前面板及び背面板は
３００ｍｍ角の大きさで、厚さは３ｍｍである。
０ｍｍ，ｙ軸方向の厚さ０．２ｍｍ，ｚ軸方向の高さ３
ｍｍのガラス製スペーサを用い、ｘ軸方向にＢ＝４０ｍ
ｍ，ｙ軸方向にＣ＝１５ｍｍだけずらしながら、上述の
ように配置した。また、ガラス製の前面板及び背面板は
３００ｍｍ角の大きさで、厚さは３ｍｍである。
【００４９】本実施例においても、画像形成装置内の真
空排気を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気
圧構造を兼ね備えた装置が得られた。
空排気を効率良く行うことができ、且つ、十分な耐大気
圧構造を兼ね備えた装置が得られた。
【００５０】尚、各実施例において、スペーサは低融点
ガラス（フリットガラス）により前面板又は／及び背面
板と固定した。
ガラス（フリットガラス）により前面板又は／及び背面
板と固定した。
【００５１】また、画像形成装置の強度を更に高める場
合には、距離Ｃを短くし、例えば電子放出素子列７とス
ペーサ列６を交互に配列してもよい。
合には、距離Ｃを短くし、例えば電子放出素子列７とス
ペーサ列６を交互に配列してもよい。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電子放出素子を用いた画像形成装置において、パネル内
部を房状構造に区切ることがなく、且つスペーサの表面
積を小さくできるため、真空排気時におけるパネル内の
空気の流れがよりスムーズになると共に、スペーサ表面
から発生するガス量を少なくすることができる。これに
より、パネルの真空排気効率を向上することができ、画
像形成装置の製造が容易になる。
電子放出素子を用いた画像形成装置において、パネル内
部を房状構造に区切ることがなく、且つスペーサの表面
積を小さくできるため、真空排気時におけるパネル内の
空気の流れがよりスムーズになると共に、スペーサ表面
から発生するガス量を少なくすることができる。これに
より、パネルの真空排気効率を向上することができ、画
像形成装置の製造が容易になる。
【００５３】また、平板状スペーサの長手方向を、電子
放出素子から放出される電子の偏向方向に合わせること
により、電子ビームがスペーサに衝突することを防止で
きる。このため、発光効率の低下や、素子破壊を防止す
ることができる。
放出素子から放出される電子の偏向方向に合わせること
により、電子ビームがスペーサに衝突することを防止で
きる。このため、発光効率の低下や、素子破壊を防止す
ることができる。
【図１】本発明の一実施態様を示す画像形成装置の部分
切り欠き斜視図である。
切り欠き斜視図である。
【図２】実施例１にて示す画像形成装置の部分拡大水平
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
【図３】実施例２にて示す画像形成装置の部分拡大水平
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
【図４】実施例３にて示す画像形成装置の部分拡大水平
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
【図５】実施例４にて示す画像形成装置の部分拡大水平
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
（ｘ−ｙ平面）断面図である。
【図６】表面伝導型電子放出素子の特性評価装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図７】従来例の画像形成装置の部分切り欠き斜視図で
ある。
ある。
１ 背面板 ２ 前面板 ３ 外囲器 ４，４ａ，４ｂ スペーサ ５ 電子放出素子 ６，６’，６ａ，６ｂ スペーサ列 ７ 電子放出素子列 ４１ 絶縁性基板 ４２ 電子放出部 ４３ 電子放出部を含む薄膜 ４４，４５ 素子電極 ４６ ガラス基板 ４７ アノード電極 ４８ 蛍光膜 ４９ 電源 ５０ 高圧電源 ５１ 真空装置 ６１ 背面板 ６２ 前面板 ６３ 側面板 ６４ スペーサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多川 昌宏 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 中村 尚人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 光武 英明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 長田 芳幸 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (9)
- 【請求項１】 複数の電子放出素子を搭載した背面板
と、該背面板に対向配置され電子放出素子から放出され
る電子を受ける被照射部材を搭載した前面板と、該背面
板と該前面板の間に配置された平板状のスペーサを備え
る画像形成装置において、 上記スペーサは、その長手方向に間欠的に複数設けられ
ていることを特徴とする画像形成装置。 - 【請求項２】 前記電子放出素子から放出される電子
は、前記背面板の面内方向に速度成分を有し、前記スペ
ーサの長手方向が該速度成分の方向と略同一であること
を特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。 - 【請求項３】 前記長手方向に間欠的に設けられている
複数のスペーサからなるスペーサ列を複数列有すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の画像形成装置。 - 【請求項４】 相隣接する前記スペーサ列において、前
記スペーサは互いに前記長手方向に関してずれて配置さ
れていることを特徴とする請求項３に記載の画像形成装
置。 - 【請求項５】 前記複数のスペーサは、同一の形状であ
ることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載の画像
形成装置。 - 【請求項６】 前記複数のスペーサは、複数種類の形状
を有することを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載
の画像形成装置。 - 【請求項７】 前記スペーサ列と同方向に配列した複数
の電子放出素子からなる素子列を複数列有し、該スペー
サ列の一列と該素子列の一列が交互に配列していること
を特徴とする請求項３〜６いずれかに記載の画像形成装
置。 - 【請求項８】 前記スペーサ列と同方向に配列した複数
の電子放出素子からなる素子列を複数列有し、該スペー
サ列の一列と該素子列の複数列が交互に配列しているこ
とを特徴とする請求項３〜６いずれかに記載の画像形成
装置。 - 【請求項９】 前記電子放出素子は、表面伝導型電子放
出素子であることを特徴とする請求項１〜８いずれかに
記載の画像形成装置。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06119705A JP3091945B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 画像形成装置 |
| AU63179/94A AU673910B2 (en) | 1993-05-20 | 1994-05-17 | Image-forming apparatus |
| CA002123842A CA2123842C (en) | 1993-05-20 | 1994-05-18 | Image-forming apparatus |
| EP94107761A EP0631295B1 (en) | 1993-05-20 | 1994-05-19 | Image-forming apparatus |
| DE69413319T DE69413319T2 (de) | 1993-05-20 | 1994-05-19 | Bilderzeugungsgerät |
| KR1019940010880A KR0172635B1 (ko) | 1993-05-20 | 1994-05-19 | 화상 형성 장치 |
| AT94107761T ATE171305T1 (de) | 1993-05-20 | 1994-05-19 | Bilderzeugungsgerät |
| CN94107600A CN1066285C (zh) | 1993-05-20 | 1994-05-20 | 成像装置 |
| US08/813,971 US5821689A (en) | 1993-05-20 | 1997-02-28 | Image-forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06119705A JP3091945B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 画像形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302560A true JPH07302560A (ja) | 1995-11-14 |
| JP3091945B2 JP3091945B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=14768054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06119705A Expired - Fee Related JP3091945B2 (ja) | 1993-05-20 | 1994-05-10 | 画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3091945B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000002665A (ko) * | 1998-06-22 | 2000-01-15 | 김영남 | 전계방출표시소자 및 그의 실링방법 |
| US6541900B1 (en) | 1999-03-04 | 2003-04-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum envelope having specific supporting efficiency (η) and image display apparatus |
| US7088036B2 (en) | 2003-08-15 | 2006-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing image display device, image display device, and TV apparatus |
-
1994
- 1994-05-10 JP JP06119705A patent/JP3091945B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000002665A (ko) * | 1998-06-22 | 2000-01-15 | 김영남 | 전계방출표시소자 및 그의 실링방법 |
| US6541900B1 (en) | 1999-03-04 | 2003-04-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum envelope having specific supporting efficiency (η) and image display apparatus |
| US6929524B2 (en) | 1999-03-04 | 2005-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum envelope with spacer and image display apparatus |
| US7088036B2 (en) | 2003-08-15 | 2006-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing image display device, image display device, and TV apparatus |
| US7390235B2 (en) | 2003-08-15 | 2008-06-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing image display device, image display device, and TV apparatus |
| US7794299B2 (en) | 2003-08-15 | 2010-09-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing image display device, image display device, and TV apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3091945B2 (ja) | 2000-09-25 |
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