JPH07294228A - 樹脂タブレットの検査選別方法及びその装置 - Google Patents
樹脂タブレットの検査選別方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH07294228A JPH07294228A JP11441394A JP11441394A JPH07294228A JP H07294228 A JPH07294228 A JP H07294228A JP 11441394 A JP11441394 A JP 11441394A JP 11441394 A JP11441394 A JP 11441394A JP H07294228 A JPH07294228 A JP H07294228A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin tablet
- resin
- inspection
- tablet
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9508—Capsules; Tablets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 円柱状の樹脂タブレットＲにレーザー光線
(L) を照射することにより形成される投影面10の変化で
該樹脂タブレットＲの重量不足を検査し、良品(S)と不
良品Ｔに選別する。 【構成】 本発明に係る検査選別装置(1・40)において、
インロード機構部(A・E)から検査される樹脂タブレット
Ｒを検査機構部(B) の回転支持手段(6) に供給すると共
に、該樹脂タブレットＲを回転させながら、該樹脂タブ
レットＲに平行光線Ｌを有するレーザー光線を照射し、
該レーザー光線を受光する受光器7aに投影面10及び受光
面11（受光量）を形成すると共に、該受光量を検査し、
アンロード機構部(C) にて検査済樹脂タブレットＲを良
品(S) と不良品Ｔに選別する。
(L) を照射することにより形成される投影面10の変化で
該樹脂タブレットＲの重量不足を検査し、良品(S)と不
良品Ｔに選別する。 【構成】 本発明に係る検査選別装置(1・40)において、
インロード機構部(A・E)から検査される樹脂タブレット
Ｒを検査機構部(B) の回転支持手段(6) に供給すると共
に、該樹脂タブレットＲを回転させながら、該樹脂タブ
レットＲに平行光線Ｌを有するレーザー光線を照射し、
該レーザー光線を受光する受光器7aに投影面10及び受光
面11（受光量）を形成すると共に、該受光量を検査し、
アンロード機構部(C) にて検査済樹脂タブレットＲを良
品(S) と不良品Ｔに選別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子部品、例えば、
半導体等を封止成形するときに用いられる樹脂タブレッ
トの検査選別装置とその方法に係り、特に、該樹脂タブ
レットがその重量規格値に対して充足（合格）している
か、或は、不足（不合格）しているかを検知・検出（以
下、検査と略称する）して、その良品（合格品）と不良
品（不合格品）とを自動的に選別するものに関する。
半導体等を封止成形するときに用いられる樹脂タブレッ
トの検査選別装置とその方法に係り、特に、該樹脂タブ
レットがその重量規格値に対して充足（合格）している
か、或は、不足（不合格）しているかを検知・検出（以
下、検査と略称する）して、その良品（合格品）と不良
品（不合格品）とを自動的に選別するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、リードフレームに装着した電
子部品を樹脂封止成形するには、所定重量（重量規格
値）の粉末状樹脂材料を一定の形状、例えば、円柱状に
固形化した樹脂タブレットが用いられ、通常、上記円柱
状樹脂タブレットの両端面における両各円の直径及び高
さは、該各円柱状樹脂タブレット間において、同じ直径
及び同じ高さである。この樹脂タブレットにおいては、
例えば、樹脂タブレットメーカーから樹脂タブレットを
輸送するときの振動や衝撃等により欠け等の欠損部が生
じ易い傾向にある。また、上記欠損部が形成されると、
該樹脂タブレットに重量不足が生じる。即ち、上記した
重量不足の樹脂タブレット（不良品）を用いて封止成形
すると、成形されたパッケージ部分に未充填部が形成さ
れ易く、製品としての外観を損なうと共に、その品質性
及び信頼性等に重大な問題が発生している。しかしなが
ら、樹脂タブレットメーカーで樹脂タブレット重量等が
品質管理されていること等から、樹脂封止成形工程の前
工程として樹脂タブレットの検査・選別工程を実施して
いないのが現状である。
子部品を樹脂封止成形するには、所定重量（重量規格
値）の粉末状樹脂材料を一定の形状、例えば、円柱状に
固形化した樹脂タブレットが用いられ、通常、上記円柱
状樹脂タブレットの両端面における両各円の直径及び高
さは、該各円柱状樹脂タブレット間において、同じ直径
及び同じ高さである。この樹脂タブレットにおいては、
例えば、樹脂タブレットメーカーから樹脂タブレットを
輸送するときの振動や衝撃等により欠け等の欠損部が生
じ易い傾向にある。また、上記欠損部が形成されると、
該樹脂タブレットに重量不足が生じる。即ち、上記した
重量不足の樹脂タブレット（不良品）を用いて封止成形
すると、成形されたパッケージ部分に未充填部が形成さ
れ易く、製品としての外観を損なうと共に、その品質性
及び信頼性等に重大な問題が発生している。しかしなが
ら、樹脂タブレットメーカーで樹脂タブレット重量等が
品質管理されていること等から、樹脂封止成形工程の前
工程として樹脂タブレットの検査・選別工程を実施して
いないのが現状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、重量
不足の樹脂タブレットに起因して製品に外観、品質性及
び信頼性等の問題が発生しているので、樹脂タブレット
の重量を自動的且つ高精度に検査すると共に、その良品
・不良品を自動的に選別することができる樹脂タブレッ
トの検査選別装置及びその検査・選別方法の開発が待望
されていた。即ち、本発明の発明者は、樹脂タブレット
が所定重量の樹脂材料粉末を押圧すると共に円柱状に固
形化して製造されること、更に、樹脂タブレットの重量
不足は該樹脂タブレットに欠け等の欠損部が形成される
ことにより生ずること等に着目し、レーザー光線等の検
査光にて上記欠損部を光学的に検査すると共に樹脂タブ
レットの良品・不良品を選別して本発明を完成した。
不足の樹脂タブレットに起因して製品に外観、品質性及
び信頼性等の問題が発生しているので、樹脂タブレット
の重量を自動的且つ高精度に検査すると共に、その良品
・不良品を自動的に選別することができる樹脂タブレッ
トの検査選別装置及びその検査・選別方法の開発が待望
されていた。即ち、本発明の発明者は、樹脂タブレット
が所定重量の樹脂材料粉末を押圧すると共に円柱状に固
形化して製造されること、更に、樹脂タブレットの重量
不足は該樹脂タブレットに欠け等の欠損部が形成される
ことにより生ずること等に着目し、レーザー光線等の検
査光にて上記欠損部を光学的に検査すると共に樹脂タブ
レットの良品・不良品を選別して本発明を完成した。
【０００４】従って、本発明は、樹脂タブレットの重量
不足を自動的且つ高精度に検査すると共に、その良品・
不良品を自動的に選別することができる樹脂タブレット
の検査選別装置及びその方法を提供することを目的とす
る。
不足を自動的且つ高精度に検査すると共に、その良品・
不良品を自動的に選別することができる樹脂タブレット
の検査選別装置及びその方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るための本発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法
は、樹脂タブレットの検査選別方法であって、円柱状の
樹脂タブレットを、該樹脂タブレットの軸心を回転軸心
として回転させながら上記回転樹脂タブレットに検査光
を照射し、上記検査光の受光器における受光量を検査す
ることにより、上記した樹脂タブレットを良品と不良品
に選別することを特徴とする。
るための本発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法
は、樹脂タブレットの検査選別方法であって、円柱状の
樹脂タブレットを、該樹脂タブレットの軸心を回転軸心
として回転させながら上記回転樹脂タブレットに検査光
を照射し、上記検査光の受光器における受光量を検査す
ることにより、上記した樹脂タブレットを良品と不良品
に選別することを特徴とする。
【０００６】また、上記技術的課題を解決するための本
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光を、回転する樹脂タブレットの全体に照射するこ
とを特徴とする。
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光を、回転する樹脂タブレットの全体に照射するこ
とを特徴とする。
【０００７】また、上記技術的課題を解決するための本
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光を、回転する樹脂タブレットの周側面における一
部分のみに照射することを特徴とする。
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光を、回転する樹脂タブレットの周側面における一
部分のみに照射することを特徴とする。
【０００８】また、上記技術的課題を解決するための本
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光の照射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対し
て90度の角度に設定したことを特徴とする。
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光の照射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対し
て90度の角度に設定したことを特徴とする。
【０００９】また、上記技術的課題を解決するための本
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光の照射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対し
て所要の傾斜角度に設定したことを特徴とする。
発明に係る樹脂タブレットの検査選別方法は、上記した
検査光の照射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対し
て所要の傾斜角度に設定したことを特徴とする。
【００１０】また、上記技術的課題を解決するための本
発明に係る樹脂タブレットの検査選別装置は、検査され
る樹脂タブレットを整列するパーツフィ−ダから成る整
列手段と、上記整列手段から検査機構部の回転支持手段
に供給する供給手段とから構成されるインロード機構部
と、上記した供給手段にて供給された樹脂タブレットを
支持すると共に回転させる回転支持手段と、上記回転支
持手段における樹脂タブレットに検査光を照射する投光
部及び上記検査光を受光する受光部とから構成される検
査機構部と、上記検査機構部での検査済樹脂タブレット
を上記回転支持手段から搬出して選別する選別手段と、
上記選別手段にて該検査済樹脂タブレットを良品と不良
品に選別収容する各収容ユニットとから構成されるアン
ロード機構部とを備えたことを特徴とする。
発明に係る樹脂タブレットの検査選別装置は、検査され
る樹脂タブレットを整列するパーツフィ−ダから成る整
列手段と、上記整列手段から検査機構部の回転支持手段
に供給する供給手段とから構成されるインロード機構部
と、上記した供給手段にて供給された樹脂タブレットを
支持すると共に回転させる回転支持手段と、上記回転支
持手段における樹脂タブレットに検査光を照射する投光
部及び上記検査光を受光する受光部とから構成される検
査機構部と、上記検査機構部での検査済樹脂タブレット
を上記回転支持手段から搬出して選別する選別手段と、
上記選別手段にて該検査済樹脂タブレットを良品と不良
品に選別収容する各収容ユニットとから構成されるアン
ロード機構部とを備えたことを特徴とする。
【００１１】また、上記技術的課題を解決するための本
発明に係る樹脂タブレットの検査選別装置は、上記した
インロード機構部が、検査される樹脂タブレットを収容
する供給カセットと、上記樹脂タブレットを上記供給カ
セットから検査機構部の回転支持手段に供給する供給手
段とから構成されることを特徴とする。
発明に係る樹脂タブレットの検査選別装置は、上記した
インロード機構部が、検査される樹脂タブレットを収容
する供給カセットと、上記樹脂タブレットを上記供給カ
セットから検査機構部の回転支持手段に供給する供給手
段とから構成されることを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明によれば、円柱状の樹脂タブレットを、
該樹脂タブレットの軸心を回転軸心として回転させなが
ら上記回転樹脂タブレットに検査光を照射し、上記検査
光の受光器における受光量を検査する構成であるので、
該樹脂タブレットに存在する欠け等の欠損部を光学的に
認識して該樹脂タブレットの重量不足を判定できると共
に、上記した樹脂タブレットを良品と不良品に選別する
ことができる。
該樹脂タブレットの軸心を回転軸心として回転させなが
ら上記回転樹脂タブレットに検査光を照射し、上記検査
光の受光器における受光量を検査する構成であるので、
該樹脂タブレットに存在する欠け等の欠損部を光学的に
認識して該樹脂タブレットの重量不足を判定できると共
に、上記した樹脂タブレットを良品と不良品に選別する
ことができる。
【００１３】また、本発明によれば、上記した検査光
を、回転する樹脂タブレットの全体に照射する構成であ
るので、該樹脂タブレットの欠損部を光学的に認識して
該樹脂タブレットを良品と不良品に選別することができ
る。また、上記した検査光を、回転する樹脂タブレット
の周側面における一部分のみに照射する構成であるの
で、該樹脂タブレットの欠損部を光学的に認識して該樹
脂タブレットを良品と不良品に選別することができる。
を、回転する樹脂タブレットの全体に照射する構成であ
るので、該樹脂タブレットの欠損部を光学的に認識して
該樹脂タブレットを良品と不良品に選別することができ
る。また、上記した検査光を、回転する樹脂タブレット
の周側面における一部分のみに照射する構成であるの
で、該樹脂タブレットの欠損部を光学的に認識して該樹
脂タブレットを良品と不良品に選別することができる。
【００１４】また、本発明によれば、上記した検査光の
照射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対して90度の
角度に設定する構成であるので、該樹脂タブレットの欠
損部を光学的に認識して該樹脂タブレットを良品と不良
品に選別することができる。また、上記した検査光の照
射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対して所要の傾
斜角度に設定する構成であるので、該樹脂タブレットの
両端面における円の周縁に発生する欠損部を光学的に認
識して該樹脂タブレットを良品と不良品に選別すること
ができる。
照射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対して90度の
角度に設定する構成であるので、該樹脂タブレットの欠
損部を光学的に認識して該樹脂タブレットを良品と不良
品に選別することができる。また、上記した検査光の照
射角度を、樹脂タブレットの回転軸心に対して所要の傾
斜角度に設定する構成であるので、該樹脂タブレットの
両端面における円の周縁に発生する欠損部を光学的に認
識して該樹脂タブレットを良品と不良品に選別すること
ができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例図に基づいて詳細に説
明する。まず、図１を用いて、本発明に係る検査選別装
置について説明する。即ち、図１に示す検査選別装置１
は、検査される樹脂タブレットＲを整列・供給するイン
ロード機構部Ａと、該インロード機構部Ａから供給され
た樹脂タブレットＲをレーザー光線（検査光）を用いて
検査する検査機構部Ｂと、検査済の樹脂タブレットＲを
該検査機構部Ｂから搬出して良品と不良品に選別するア
ンロード機構部Ｃとから構成されている。
明する。まず、図１を用いて、本発明に係る検査選別装
置について説明する。即ち、図１に示す検査選別装置１
は、検査される樹脂タブレットＲを整列・供給するイン
ロード機構部Ａと、該インロード機構部Ａから供給され
た樹脂タブレットＲをレーザー光線（検査光）を用いて
検査する検査機構部Ｂと、検査済の樹脂タブレットＲを
該検査機構部Ｂから搬出して良品と不良品に選別するア
ンロード機構部Ｃとから構成されている。
【００１６】上記したインロード機構部Ａは、検査され
る樹脂タブレットＲを整列する整列手段３（図例では、
パーツフィーダ3aを例示）と、該整列手段３にて整列し
た該樹脂タブレットＲを上記検査機構部Ｂに供給する真
空吸着パッド等から成る適宜な供給手段４とから構成さ
れる。また、上記した検査機構部Ｂは、レーザー光線を
照射する投光部５と、上記供給手段４により供給セット
された樹脂タブレットＲを支持すると共に回転させる適
宜な回転支持手段６と、上記投光部５からのレーザー光
線を受光して検査すると共に、上記アンロード機構部Ｃ
に検査結果を検査信号Ｄにて送信する受光部７とから構
成されている。即ち、上記投光部５の投光器5a（光源）
からレーザー光線を発光し、光学変換システム5bにて該
レーザー光線の各光路(L) を互いに平行に変換する（以
下、平行光線Ｌと云う）と共に、樹脂タブレットＲに対
して所定の照射角度( θ) を設定することができる。ま
た、上記した受光部７にはレーザー光線を受光する受光
器7aが配設されている。また、上記したアンロード機構
部Ｃは、上記した受光部７からの検査信号Ｄを受信する
と共に、検査済の樹脂タブレットＲを上記した回転支持
手段６から搬出・選別する適宜な選別手段８と、検査さ
れた樹脂タブレットＲを収容する収容ユニット９、即
ち、良品の樹脂タブレットを収容する収容ユニット9a及
び不良品の樹脂タブレットを収容する収容ユニット9bと
から構成される。
る樹脂タブレットＲを整列する整列手段３（図例では、
パーツフィーダ3aを例示）と、該整列手段３にて整列し
た該樹脂タブレットＲを上記検査機構部Ｂに供給する真
空吸着パッド等から成る適宜な供給手段４とから構成さ
れる。また、上記した検査機構部Ｂは、レーザー光線を
照射する投光部５と、上記供給手段４により供給セット
された樹脂タブレットＲを支持すると共に回転させる適
宜な回転支持手段６と、上記投光部５からのレーザー光
線を受光して検査すると共に、上記アンロード機構部Ｃ
に検査結果を検査信号Ｄにて送信する受光部７とから構
成されている。即ち、上記投光部５の投光器5a（光源）
からレーザー光線を発光し、光学変換システム5bにて該
レーザー光線の各光路(L) を互いに平行に変換する（以
下、平行光線Ｌと云う）と共に、樹脂タブレットＲに対
して所定の照射角度( θ) を設定することができる。ま
た、上記した受光部７にはレーザー光線を受光する受光
器7aが配設されている。また、上記したアンロード機構
部Ｃは、上記した受光部７からの検査信号Ｄを受信する
と共に、検査済の樹脂タブレットＲを上記した回転支持
手段６から搬出・選別する適宜な選別手段８と、検査さ
れた樹脂タブレットＲを収容する収容ユニット９、即
ち、良品の樹脂タブレットを収容する収容ユニット9a及
び不良品の樹脂タブレットを収容する収容ユニット9bと
から構成される。
【００１７】従って、上記インロード機構部Ａから上記
検査機構部Ｂに供給された樹脂タブレットＲは良品Ｓと
判定されると、上記選別手段８にて該検査済樹脂タブレ
ットＲを上記収容ユニット9aに収容され、また、不良品
Ｔ(U) と判定されると、上記収容ユニット9bに収容され
る。また、検査後、上記した良品の樹脂タブレットは、
樹脂封止成形工程に移送され使用される。
検査機構部Ｂに供給された樹脂タブレットＲは良品Ｓと
判定されると、上記選別手段８にて該検査済樹脂タブレ
ットＲを上記収容ユニット9aに収容され、また、不良品
Ｔ(U) と判定されると、上記収容ユニット9bに収容され
る。また、検査後、上記した良品の樹脂タブレットは、
樹脂封止成形工程に移送され使用される。
【００１８】次に、図２及び図３を用いて、良品及び不
良品の樹脂タブレットＲについて説明する。図２は、良
品の円柱状樹脂タブレットＳ(R) であって、該樹脂タブ
レットＳの両端面には夫々円(20・20) があり、該両円(2
0・20) 間には周側面21がある。また、図３は、不良品の
樹脂タブレットＴ(R) であって、該樹脂タブレットＴの
円20の周縁に欠け等の欠損部22（図例では斜線で示す）
が存在すると共に、上記周側面21にも欠損部23が存在し
ている。即ち、上記不良品Ｔは、上記欠損部(22・23) の
分だけ、上記良品Ｓに較べ重量が少ないので、上記欠損
部(22・23) を検査すれば、樹脂タブレットの良品・不良
品を選別することができる。
良品の樹脂タブレットＲについて説明する。図２は、良
品の円柱状樹脂タブレットＳ(R) であって、該樹脂タブ
レットＳの両端面には夫々円(20・20) があり、該両円(2
0・20) 間には周側面21がある。また、図３は、不良品の
樹脂タブレットＴ(R) であって、該樹脂タブレットＴの
円20の周縁に欠け等の欠損部22（図例では斜線で示す）
が存在すると共に、上記周側面21にも欠損部23が存在し
ている。即ち、上記不良品Ｔは、上記欠損部(22・23) の
分だけ、上記良品Ｓに較べ重量が少ないので、上記欠損
部(22・23) を検査すれば、樹脂タブレットの良品・不良
品を選別することができる。
【００１９】次に、図４〜図９を用いて、検査される樹
脂タブレットＲの検査原理及び方法を説明する。図４
は、レーザー光線の照射範囲を示している。図５は、レ
ーザー光線の照射角度を示している。図６は、不良品の
検査原理を示している。図７は、良品の検査原理を示し
ている。図８の(1)(2)及び(3) は、図６に対応して不良
品を検査するときの受光量の変化を示している。また、
図８の(2) は良品を検査するときの受光量を示してい
る。図９は、他の実施例を示している。なお、図中にお
いて、Ｍ−Ｎ線は検査される樹脂タブレットＲの両円(2
0・20)の中心を結ぶ線であると共に該樹脂タブレットＲ
の軸心であり、該軸心を回転軸心として該樹脂タブレッ
トＲは回転する。従って、上記した周側面21及び上記し
た欠損部(22・23) は上記した円20の周縁に沿って回転移
動することになる。
脂タブレットＲの検査原理及び方法を説明する。図４
は、レーザー光線の照射範囲を示している。図５は、レ
ーザー光線の照射角度を示している。図６は、不良品の
検査原理を示している。図７は、良品の検査原理を示し
ている。図８の(1)(2)及び(3) は、図６に対応して不良
品を検査するときの受光量の変化を示している。また、
図８の(2) は良品を検査するときの受光量を示してい
る。図９は、他の実施例を示している。なお、図中にお
いて、Ｍ−Ｎ線は検査される樹脂タブレットＲの両円(2
0・20)の中心を結ぶ線であると共に該樹脂タブレットＲ
の軸心であり、該軸心を回転軸心として該樹脂タブレッ
トＲは回転する。従って、上記した周側面21及び上記し
た欠損部(22・23) は上記した円20の周縁に沿って回転移
動することになる。
【００２０】即ち、図４は、上記した投光部５（即ち、
光学変換システム5b）側から検査される樹脂タブレット
Ｒの周側面21を見た図であって、該樹脂タブレットＲに
対するレーザー光線の照射範囲30を示すと共に、該照射
範囲30は、回転する樹脂タブレットＲの全体にレーザー
光線を照射して設定される。また、図５は、図４におい
てＦ方向から検査される樹脂タブレットＲを見た図であ
って、上記樹脂タブレットＲに対するレーザー光線の照
射角度θを示すと共に、該樹脂タブレットＲのＭ−Ｎ回
転軸心と平行光線Ｌとで形成される照射角度θは90度
（直角）に設定される。また、図４に示すように、上記
した欠損部(22・23) は樹脂タブレットＲ(T) の周側面21
に存在するので、該樹脂タブレットＲが回転するにした
がい、該欠損部(22・23) の形状が、上記した周側面21に
おける外形線（輪郭）31の部分に現れたり消えたりする
ことになる。従って、レーザー光線の照射範囲及び照射
角度を上記構成のように設定して上記樹脂タブレットＲ
に上記平行光線Ｌを照射するので、上記受光器7a面上に
該樹脂タブレットＲの全体（の輪郭）を投影することが
できる。即ち、上記欠損部(22・23) の形状を含む形状が
上記受光器7a面上に投影されることになり、該欠損部(2
2・23) が光学的に認識されることになる。従って、上記
欠損部(22・23) の有無を検査することにより、良品・不
良品を選別することができる。なお、図４は、図５にお
いてＧ方向から上記樹脂タブレットＲを見た図である。
光学変換システム5b）側から検査される樹脂タブレット
Ｒの周側面21を見た図であって、該樹脂タブレットＲに
対するレーザー光線の照射範囲30を示すと共に、該照射
範囲30は、回転する樹脂タブレットＲの全体にレーザー
光線を照射して設定される。また、図５は、図４におい
てＦ方向から検査される樹脂タブレットＲを見た図であ
って、上記樹脂タブレットＲに対するレーザー光線の照
射角度θを示すと共に、該樹脂タブレットＲのＭ−Ｎ回
転軸心と平行光線Ｌとで形成される照射角度θは90度
（直角）に設定される。また、図４に示すように、上記
した欠損部(22・23) は樹脂タブレットＲ(T) の周側面21
に存在するので、該樹脂タブレットＲが回転するにした
がい、該欠損部(22・23) の形状が、上記した周側面21に
おける外形線（輪郭）31の部分に現れたり消えたりする
ことになる。従って、レーザー光線の照射範囲及び照射
角度を上記構成のように設定して上記樹脂タブレットＲ
に上記平行光線Ｌを照射するので、上記受光器7a面上に
該樹脂タブレットＲの全体（の輪郭）を投影することが
できる。即ち、上記欠損部(22・23) の形状を含む形状が
上記受光器7a面上に投影されることになり、該欠損部(2
2・23) が光学的に認識されることになる。従って、上記
欠損部(22・23) の有無を検査することにより、良品・不
良品を選別することができる。なお、図４は、図５にお
いてＧ方向から上記樹脂タブレットＲを見た図である。
【００２１】また、図６及び図７は、図４及び図５にお
いてＨ方向から見た図であって、図６は、図３に示す不
良品の樹脂タブレットＴ(R) の検査原理を示し、図７
は、図２示す良品の樹脂タブレットＳ(R) を検査原理を
示している。また、図６及び図７に示す樹脂タブレット
Ｒ(S・T) は、Ｍ−Ｎ回転軸心に対して直角に切断した断
面で示され、特に、図６においては、上記欠損部22(23)
を含む断面で示されている。また、図８は、平行光線Ｌ
が上記樹脂タブレットＴにて遮光されると共に、該受光
器7a面上に形成される該樹脂タブレットＴの形状に対応
する投影面10（格子模様で示す）と、平行光線Ｌが該受
光器7a面上に到達して形成される受光面11を示してい
る。
いてＨ方向から見た図であって、図６は、図３に示す不
良品の樹脂タブレットＴ(R) の検査原理を示し、図７
は、図２示す良品の樹脂タブレットＳ(R) を検査原理を
示している。また、図６及び図７に示す樹脂タブレット
Ｒ(S・T) は、Ｍ−Ｎ回転軸心に対して直角に切断した断
面で示され、特に、図６においては、上記欠損部22(23)
を含む断面で示されている。また、図８は、平行光線Ｌ
が上記樹脂タブレットＴにて遮光されると共に、該受光
器7a面上に形成される該樹脂タブレットＴの形状に対応
する投影面10（格子模様で示す）と、平行光線Ｌが該受
光器7a面上に到達して形成される受光面11を示してい
る。
【００２２】従って、まず、図６及び図８を用いて、検
査される樹脂タブレットＲが、図３に示す不良品の樹脂
タブレットＴである場合の検査原理を説明する。即ち、
図８(1) には、図６に示す樹脂タブレットＴ(R) の欠損
部22(23)の位置に対応する投影面10a 及び受光面11a が
形成され、上記投影面10a には上記平行光線Ｌにて上記
欠損部22(23)部分に対応する部分22a(23a)が投影され
る。また、図８(2) は、上記光学的変換システム5b側か
ら上記欠損部22(23)部分が見えない位置に配置された状
態において、上記した受光器7a面上に形成される投影面
10b （矩形状）及び受光面11b 示している。また、図８
(2) は、図８(1) とは反対側に、上記欠損部22(23)部分
に対応する部分22c(23c)を有する投影面10c 及び受光面
11c が示されている。従って、図８において、上記樹脂
タブレットＴが回転するにしたがい、上記投影面10の形
状は、(1) の形状から(2) の形状を経て(3) の形状に至
り、再び、(2)の形状を経て(1) の形状となる。即ち、
上記投影面10の面積が減少すると共に、上記受光面11の
面積は増加することになる。また、上記受光面11の面積
の増加（減少）にしたがい、上記受光器7a面上における
受光量は増加（減少）することになる。従って、上記受
光量（受光面の面積）の変化（増減）を検査して、樹脂
タブレットＲを不良品Ｔとして選別することができる。
なお、図６においては、上記投影面10は線で示され、そ
の線の長さは上記樹脂タブレットＴが回転するにしたが
い変化することになる。
査される樹脂タブレットＲが、図３に示す不良品の樹脂
タブレットＴである場合の検査原理を説明する。即ち、
図８(1) には、図６に示す樹脂タブレットＴ(R) の欠損
部22(23)の位置に対応する投影面10a 及び受光面11a が
形成され、上記投影面10a には上記平行光線Ｌにて上記
欠損部22(23)部分に対応する部分22a(23a)が投影され
る。また、図８(2) は、上記光学的変換システム5b側か
ら上記欠損部22(23)部分が見えない位置に配置された状
態において、上記した受光器7a面上に形成される投影面
10b （矩形状）及び受光面11b 示している。また、図８
(2) は、図８(1) とは反対側に、上記欠損部22(23)部分
に対応する部分22c(23c)を有する投影面10c 及び受光面
11c が示されている。従って、図８において、上記樹脂
タブレットＴが回転するにしたがい、上記投影面10の形
状は、(1) の形状から(2) の形状を経て(3) の形状に至
り、再び、(2)の形状を経て(1) の形状となる。即ち、
上記投影面10の面積が減少すると共に、上記受光面11の
面積は増加することになる。また、上記受光面11の面積
の増加（減少）にしたがい、上記受光器7a面上における
受光量は増加（減少）することになる。従って、上記受
光量（受光面の面積）の変化（増減）を検査して、樹脂
タブレットＲを不良品Ｔとして選別することができる。
なお、図６においては、上記投影面10は線で示され、そ
の線の長さは上記樹脂タブレットＴが回転するにしたが
い変化することになる。
【００２３】次に、図７及び図８(2) を用いて、検査さ
れる樹脂タブレットＲが、図２に示す良品の樹脂タブレ
ットＳである場合の検査原理を説明する。即ち、図８
(2) において、図７に示す樹脂タブレットＳ(R) に対応
する投影面12（矩形状）及び受光面13が示されると共
に、該樹脂タブレットＳが回転しても該投影面12の面積
及び受光面13の面積は変化することがない。即ち、受光
量は変化しない。従って、上記受光量が変化しないこと
を検査して、樹脂タブレットＲを良品Ｓとして選別する
ことができる。なお、図７においては、上記投影面12は
線で示され、その線の長さは上記樹脂タブレットＳが回
転しても変化することはない。
れる樹脂タブレットＲが、図２に示す良品の樹脂タブレ
ットＳである場合の検査原理を説明する。即ち、図８
(2) において、図７に示す樹脂タブレットＳ(R) に対応
する投影面12（矩形状）及び受光面13が示されると共
に、該樹脂タブレットＳが回転しても該投影面12の面積
及び受光面13の面積は変化することがない。即ち、受光
量は変化しない。従って、上記受光量が変化しないこと
を検査して、樹脂タブレットＲを良品Ｓとして選別する
ことができる。なお、図７においては、上記投影面12は
線で示され、その線の長さは上記樹脂タブレットＳが回
転しても変化することはない。
【００２４】即ち、検査される樹脂タブレットＲの受光
量を検査すると共に、該受光量が変化しない場合は良品
Ｓと判定し、該受光量が変化する場合は不良品Ｔと判定
することになる。従って、樹脂タブレットＲの重量を自
動的且つ高精度に検査すると共に、その良品及び不良品
に選別し得て該樹脂タブレットの重量不足品を除去する
ことができる。また、図４に示すように、上記した樹脂
タブレットＲの欠損部(22・23) は上記した外形線31の部
分に現れるので、レーザー光線を、回転する樹脂タブレ
ットの周側面における一部分のみに照射する構成を採用
しても良い（図例においては照射範囲32で例示する）。
量を検査すると共に、該受光量が変化しない場合は良品
Ｓと判定し、該受光量が変化する場合は不良品Ｔと判定
することになる。従って、樹脂タブレットＲの重量を自
動的且つ高精度に検査すると共に、その良品及び不良品
に選別し得て該樹脂タブレットの重量不足品を除去する
ことができる。また、図４に示すように、上記した樹脂
タブレットＲの欠損部(22・23) は上記した外形線31の部
分に現れるので、レーザー光線を、回転する樹脂タブレ
ットの周側面における一部分のみに照射する構成を採用
しても良い（図例においては照射範囲32で例示する）。
【００２５】さて、上述したように、樹脂タブレットＲ
においては、振動や衝撃等により欠け等の欠損部が生じ
易い傾向にあるが、該欠損部は該樹脂タブレットＲにお
ける円の周縁に沿って形成されるのが圧倒的に大多数で
あると共に、該樹脂タブレットＲの周側面に発生する欠
損部はごく少数である。また、上記周側面に発生する欠
損部は軽微なものであるので、樹脂タブレットＲ重量の
検査に与える影響はきわめて少ない。従って、例えば、
図３に示す樹脂タブレットＲ(T) の円20の周縁に存在す
る欠損部22を光学的に検査すればよいことになる。
においては、振動や衝撃等により欠け等の欠損部が生じ
易い傾向にあるが、該欠損部は該樹脂タブレットＲにお
ける円の周縁に沿って形成されるのが圧倒的に大多数で
あると共に、該樹脂タブレットＲの周側面に発生する欠
損部はごく少数である。また、上記周側面に発生する欠
損部は軽微なものであるので、樹脂タブレットＲ重量の
検査に与える影響はきわめて少ない。従って、例えば、
図３に示す樹脂タブレットＲ(T) の円20の周縁に存在す
る欠損部22を光学的に検査すればよいことになる。
【００２６】次に、図９を用いて、検査される樹脂タブ
レットＲが上記円20の周縁に存在する欠損部22を有する
樹脂タブレットＵ（不良品）である場合の検査原理を説
明する。なお、上記した樹脂タブレットＵ(R) はＭ−Ｎ
回転軸心を含む断面で示される。即ち、図９において、
平行光線Ｌの照射角度θを、上記したＭ−Ｎ回転軸心に
対して所要の傾斜角度に設定して構成すると共に、該平
行光線Ｌを回転する樹脂タブレットＵに照射して上記欠
損部22が上記受光器7a面上に認識されるように構成す
る。従って、図９に示す欠損部22の位置（即ち、図例で
は、Ｍ−Ｎ回転軸心の下側位置に例示）において、該欠
損部22の形状は上記受光器7a面上に最も大きく投影さ
れ、また、図９において、上記した欠損部22が上記Ｍ−
Ｎ回転軸心の上側位置にあると投影されない。即ち、図
９に示す受光器7a面上において、上記樹脂タブレットＵ
の回転にしたがい、該樹脂タブレットＵの欠損部22の形
状が現れたり消えたりすることになり、上記受光器7a面
上に形成される投影面14の面積及び受光面15の面積は変
化することになる。従って、上記受光量が変化すること
検査して樹脂タブレットＲを不良品Ｕとして選別するこ
とができる。なお、図９に示す図例では、上記投影面14
は線で示され、上記欠損部22が投影されないときの線の
長さＪと、上記欠損部22が最大に投影されるときの線の
長さＫとの間で変化することを例示している。
レットＲが上記円20の周縁に存在する欠損部22を有する
樹脂タブレットＵ（不良品）である場合の検査原理を説
明する。なお、上記した樹脂タブレットＵ(R) はＭ−Ｎ
回転軸心を含む断面で示される。即ち、図９において、
平行光線Ｌの照射角度θを、上記したＭ−Ｎ回転軸心に
対して所要の傾斜角度に設定して構成すると共に、該平
行光線Ｌを回転する樹脂タブレットＵに照射して上記欠
損部22が上記受光器7a面上に認識されるように構成す
る。従って、図９に示す欠損部22の位置（即ち、図例で
は、Ｍ−Ｎ回転軸心の下側位置に例示）において、該欠
損部22の形状は上記受光器7a面上に最も大きく投影さ
れ、また、図９において、上記した欠損部22が上記Ｍ−
Ｎ回転軸心の上側位置にあると投影されない。即ち、図
９に示す受光器7a面上において、上記樹脂タブレットＵ
の回転にしたがい、該樹脂タブレットＵの欠損部22の形
状が現れたり消えたりすることになり、上記受光器7a面
上に形成される投影面14の面積及び受光面15の面積は変
化することになる。従って、上記受光量が変化すること
検査して樹脂タブレットＲを不良品Ｕとして選別するこ
とができる。なお、図９に示す図例では、上記投影面14
は線で示され、上記欠損部22が投影されないときの線の
長さＪと、上記欠損部22が最大に投影されるときの線の
長さＫとの間で変化することを例示している。
【００２７】また、検査される樹脂タブレットＲが良品
Ｓである場合には、上記受光器7a面上に形成される投影
面14の形状及び面積は変化しないので、上記受光量は変
化することはない（図９参照）。従って、本実施例にお
いて、上記受光量が変化しないことを検査して樹脂タブ
レットＲを良品Ｓとして選別することができる。なお、
良品Ｓの場合、図９における投影面14の線の長さＪは変
化しない。従って、検査される樹脂タブレットＲの受光
量を検査すると共に、該受光量が変化しない場合は良品
Ｓと判定し、該受光量が変化する場合は不良品Ｕと判定
することになる。
Ｓである場合には、上記受光器7a面上に形成される投影
面14の形状及び面積は変化しないので、上記受光量は変
化することはない（図９参照）。従って、本実施例にお
いて、上記受光量が変化しないことを検査して樹脂タブ
レットＲを良品Ｓとして選別することができる。なお、
良品Ｓの場合、図９における投影面14の線の長さＪは変
化しない。従って、検査される樹脂タブレットＲの受光
量を検査すると共に、該受光量が変化しない場合は良品
Ｓと判定し、該受光量が変化する場合は不良品Ｕと判定
することになる。
【００２８】本発明は、上述した実施例のものに限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
【００２９】なお、上記した各実施例において、複数個
の樹脂タブレットＲを同時に検査選別する構成を採用し
てもよい。また、上記した各実施例では上記光学変換シ
ステム5bにてレーザー光線の各光路(L) を互いに夫々平
行となるように設定して構成されるが、レーザー光線の
各光路(L) が互いに平行でない構成を採用してもよい。
また、上記した実施例は、円錐台状の樹脂タブレットに
採用できる。
の樹脂タブレットＲを同時に検査選別する構成を採用し
てもよい。また、上記した各実施例では上記光学変換シ
ステム5bにてレーザー光線の各光路(L) を互いに夫々平
行となるように設定して構成されるが、レーザー光線の
各光路(L) が互いに平行でない構成を採用してもよい。
また、上記した実施例は、円錐台状の樹脂タブレットに
採用できる。
【００３０】また、図１に示すインロード機構部Ａの構
成に代えて、図10に示すインロード機構部Ｅの構成を採
用してもよい。即ち、図10に示す検査選別装置40におい
て、上記インロード機構部Ｅは、樹脂タブレットＲを整
列・収容して該装置40に装着される供給ユニット41と、
該供給ユニット41内の樹脂タブレットＲを上記した検査
機構部Ｂに供給セットする供給手段4aから構成され、他
の装置構成は図１に示す検査選別装置１と同じ構成であ
る。また、上記した検査選別装置(1・40)を樹脂封止成形
機に付設して構成すると共に、樹脂タブレットの検査選
別と樹脂封止成形を連続して行うことができる。
成に代えて、図10に示すインロード機構部Ｅの構成を採
用してもよい。即ち、図10に示す検査選別装置40におい
て、上記インロード機構部Ｅは、樹脂タブレットＲを整
列・収容して該装置40に装着される供給ユニット41と、
該供給ユニット41内の樹脂タブレットＲを上記した検査
機構部Ｂに供給セットする供給手段4aから構成され、他
の装置構成は図１に示す検査選別装置１と同じ構成であ
る。また、上記した検査選別装置(1・40)を樹脂封止成形
機に付設して構成すると共に、樹脂タブレットの検査選
別と樹脂封止成形を連続して行うことができる。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、樹脂タブレットの重量
不足を自動的且つ高精度に検査すると共に、その良品・
不良品を自動的に選別することができる樹脂タブレット
の検査選別装置及びその方法を提供できると云う優れた
実用的効果を奏する。
不足を自動的且つ高精度に検査すると共に、その良品・
不良品を自動的に選別することができる樹脂タブレット
の検査選別装置及びその方法を提供できると云う優れた
実用的効果を奏する。
【図１】本発明に係る検査選別装置であって、その平面
図である。
図である。
【図２】良品の樹脂タブレットの外観を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】不良品の樹脂タブレットの外観を示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】図１に対応してレーザー光線の照射範囲を示す
と共に、樹脂タブレットを光学変換システム側から見た
背面図である。
と共に、樹脂タブレットを光学変換システム側から見た
背面図である。
【図５】図４に対応してレーザー光線の照射角度を示す
と共に、樹脂タブレットをＦ方向から見た側面図であ
る。
と共に、樹脂タブレットをＦ方向から見た側面図であ
る。
【図６】図１に対応して、不良品の検査原理を説明する
図であって、Ｈ方向から見た断面図である。
図であって、Ｈ方向から見た断面図である。
【図７】図１に対応して、良品の検査原理を説明する図
であって、Ｈ方向から見た断面図である。
であって、Ｈ方向から見た断面図である。
【図８】図６に対応して受光器面上に形成される投影面
と受光面の変化を示す受光器の平面図である。
と受光面の変化を示す受光器の平面図である。
【図９】不良品の検査原理を説明する他の実施例の断面
図である。
図である。
【図10】他の実施例の検査選別装置であって、その平面
図である。
図である。
１ 検査選別装置 5a 投光器 5b 光学変換システム ６ 回転支持手段 7a 受光器 ８ 選別手段 10 投影面 11 受光面 20 円 21 周側面 22 欠損部 23 欠損部 30 照射範囲 Ａ インロード機構部 Ｂ 検査機構部 Ｃ アンロード機構部 Ｒ 樹脂タブレット Ｓ 良品 Ｔ 不良品 θ 照射角度 Ｌ 平行光線 Ｍ−Ｎ 回転軸心
Claims (7)
- 【請求項１】 樹脂タブレットの検査選別方法であっ
て、円柱状の樹脂タブレットを、該樹脂タブレットの軸
心を回転軸心として回転させながら上記回転樹脂タブレ
ットに検査光を照射し、上記検査光の受光器における受
光量を検査することにより、上記した樹脂タブレットを
良品と不良品に選別することを特徴とする樹脂タブレッ
トの検査選別方法。 - 【請求項２】 検査光を、回転する樹脂タブレットの全
体に照射することを特徴とする請求項１に記載の樹脂タ
ブレットの検査選別方法。 - 【請求項３】 検査光を、回転する樹脂タブレットの周
側面における一部分のみに照射することを特徴とする請
求項１に記載の樹脂タブレットの検査選別方法。 - 【請求項４】 検査光の照射角度を、樹脂タブレットの
回転軸心に対して90度の角度に設定したことを特徴とす
る請求項１乃至請求項３に記載の樹脂タブレットの検査
選別方法。 - 【請求項５】 検査光の照射角度を、樹脂タブレットの
回転軸心に対して所要の傾斜角度に設定したことを特徴
とする請求項１に記載の樹脂タブレットの検査選別方
法。 - 【請求項６】 検査される樹脂タブレットを整列するパ
ーツフィ−ダから成る整列手段と、上記整列手段から検
査機構部の回転支持手段に供給する供給手段とから構成
されるインロード機構部と、 上記した供給手段にて供給された樹脂タブレットを支持
すると共に回転させる回転支持手段と、上記回転支持手
段における樹脂タブレットに検査光を照射する投光部及
び上記検査光を受光する受光部とから構成される検査機
構部と、 上記検査機構部での検査済樹脂タブレットを上記回転支
持手段から搬出して選別する選別手段と、上記選別手段
にて該検査済樹脂タブレットを良品と不良品に選別収容
する各収容ユニットとから構成されるアンロード機構部
とを備えたことを特徴とする樹脂タブレットの検査選別
装置。 - 【請求項７】 インロード機構部が、検査される樹脂タ
ブレットを収容する供給カセットと、上記樹脂タブレッ
トを上記供給カセットから検査機構部の回転支持手段に
供給する供給手段とから構成されることを特徴とする請
求項６に記載の樹脂タブレットの検査選別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11441394A JPH07294228A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 樹脂タブレットの検査選別方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11441394A JPH07294228A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 樹脂タブレットの検査選別方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294228A true JPH07294228A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=14637076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11441394A Pending JPH07294228A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 樹脂タブレットの検査選別方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07294228A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070164A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Inoac Corp | ローラの検査方法 |
| EP3249351A4 (en) * | 2015-01-23 | 2018-08-15 | KYOCERA Corporation | Measuring apparatus and measuring method |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP11441394A patent/JPH07294228A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070164A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Inoac Corp | ローラの検査方法 |
| EP3249351A4 (en) * | 2015-01-23 | 2018-08-15 | KYOCERA Corporation | Measuring apparatus and measuring method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20190143374A1 (en) | Chip Sorting and Packaging Platform | |
| CN101783306B (zh) | 检测晶片的系统和方法 | |
| US8056700B2 (en) | Tray flipper, tray, and method for parts inspection | |
| JP5201350B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2020517110A (ja) | 光学センサを有するコンポーネント受け取り装置 | |
| CN101127315A (zh) | 晶片和半导体器件的检查方法和装置 | |
| JPS61100932A (ja) | 露光装置 | |
| JP2001503148A (ja) | ウェハ表面上のピットと粒子を区別するための表面検査システム及び方法 | |
| US20070236696A1 (en) | Visual Inspection Apparatus | |
| JPH07294228A (ja) | 樹脂タブレットの検査選別方法及びその装置 | |
| JP2003282675A (ja) | ウエハマッピング装置 | |
| JPH0587546A (ja) | 外観検査方法およびその装置 | |
| JPH07286970A (ja) | 瓶口の開口天面欠陥検査方法 | |
| JP2008172203A (ja) | 半導体チップの選別装置 | |
| JP2000088542A (ja) | はんだ付検査装置及び検査方法 | |
| JPH04259807A (ja) | 線状物検査用画像入力装置 | |
| US7586595B2 (en) | Method of scanning and scanning apparatus | |
| JPH10253547A (ja) | 基板外観検査システム | |
| JP3851787B2 (ja) | 半導体素子の検査方法 | |
| JPH01284744A (ja) | 電子部品の検査装置 | |
| JP2004514132A (ja) | 穀物など穀類の穀粒のような小さな粒を光学的に測定するための装置並びに方法 | |
| JPH10253543A (ja) | 基板外観検査装置及び方法 | |
| US5184197A (en) | Method for inspecting magnetic disk cartridge | |
| US7443500B2 (en) | Apparatus for scattered light inspection of optical elements | |
| KR100617619B1 (ko) | 반도체 소자 검사장치 및 검사방법 |