JPH07283464A - 放電励起型ｃｏガスレーザ及びその制御方法 - Google Patents
放電励起型ｃｏガスレーザ及びその制御方法Info
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- JPH07283464A JPH07283464A JP7767594A JP7767594A JPH07283464A JP H07283464 A JPH07283464 A JP H07283464A JP 7767594 A JP7767594 A JP 7767594A JP 7767594 A JP7767594 A JP 7767594A JP H07283464 A JPH07283464 A JP H07283464A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電励起型ＣＯガスレーザ及びその制御方法
に係るもので、レーザガスにＸｅやＨｇを添加すること
なく、レーザガスを低温化する労力及び設備を省略し、
高効率、高出力のＣＯガスレーザを室温程度の温度雰囲
気で確実に発生させる。 【構成】 ＣＯガスを含有するレーザガスを挿通させ、
レーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高周波給
電手段及び放電用電極とを有する放電励起型ＣＯガスレ
ーザにおいて、放電部の出口のガス温度検出手段と、ガ
ス温度検出手段の検出温度と高周波給電手段の出力とに
基づきレーザガス流路の風速を設定する送風機とを具備
する。
に係るもので、レーザガスにＸｅやＨｇを添加すること
なく、レーザガスを低温化する労力及び設備を省略し、
高効率、高出力のＣＯガスレーザを室温程度の温度雰囲
気で確実に発生させる。 【構成】 ＣＯガスを含有するレーザガスを挿通させ、
レーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高周波給
電手段及び放電用電極とを有する放電励起型ＣＯガスレ
ーザにおいて、放電部の出口のガス温度検出手段と、ガ
ス温度検出手段の検出温度と高周波給電手段の出力とに
基づきレーザガス流路の風速を設定する送風機とを具備
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電励起型ＣＯガスレ
ーザ及びその制御方法に係り、特に、室温で高効率、高
出力のＣＯガスレーザを作動させる技術に関するもので
ある。
ーザ及びその制御方法に係り、特に、室温で高効率、高
出力のＣＯガスレーザを作動させる技術に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】ＣＯガスレーザは、励起機
構上、高効率を得るため、低温で作動させることが必要
である。このため、特公平１−３３９５６号公報の開
示技術のように、液体窒素やフレオン等の冷媒でレーザ
ガスの冷却を行なう方法や、文献：Ｓ．Ｋｒａｕｓ
ａｎｄ Ｆ．Ｍａｉｓｅｎｈａｅｌｄｅｒ，Ａｐｐｌ．
Ｐｈｙｓｉｃｓ，ｖｏｌ．２２ ４２１（１９８０）の
開示技術のように、レーザガスを超音速膨張させて冷却
する方法が考えられているが、これらの冷却装置は、い
ずれも大掛かりな冷凍機や圧縮機で構成されるために、
システムとしても変換効率が低くなる。
構上、高効率を得るため、低温で作動させることが必要
である。このため、特公平１−３３９５６号公報の開
示技術のように、液体窒素やフレオン等の冷媒でレーザ
ガスの冷却を行なう方法や、文献：Ｓ．Ｋｒａｕｓ
ａｎｄ Ｆ．Ｍａｉｓｅｎｈａｅｌｄｅｒ，Ａｐｐｌ．
Ｐｈｙｓｉｃｓ，ｖｏｌ．２２ ４２１（１９８０）の
開示技術のように、レーザガスを超音速膨張させて冷却
する方法が考えられているが、これらの冷却装置は、い
ずれも大掛かりな冷凍機や圧縮機で構成されるために、
システムとしても変換効率が低くなる。
【０００３】一方、大掛かりな冷却装置を用いずに、Ｃ
Ｏガスレーザを発生させる方法として、特公平４−５
８７１７号公報の開示技術のように、同軸型の装置にＸ
ｅを添加したレーザガスを高速で放電部を通過させる方
法が提案されているが、Ｘｅが希ガスであるために高価
となり、運転コストの面から実用性が損われる。また、
Ｘｅ以外に例えばＨｇを添加する方法も提案されている
が、この場合には、取り扱い性が損われ易い。
Ｏガスレーザを発生させる方法として、特公平４−５
８７１７号公報の開示技術のように、同軸型の装置にＸ
ｅを添加したレーザガスを高速で放電部を通過させる方
法が提案されているが、Ｘｅが希ガスであるために高価
となり、運転コストの面から実用性が損われる。また、
Ｘｅ以外に例えばＨｇを添加する方法も提案されている
が、この場合には、取り扱い性が損われ易い。
【０００４】本発明は、これらの事情に鑑がみてなされ
たもので、レーザガスにＸｅやＨｇを添加することな
く、レーザガスを低温化する労力及び設備を省略し、高
効率、高出力のＣＯガスレーザを室温程度の温度雰囲気
で確実に発生させることを目的としている。
たもので、レーザガスにＸｅやＨｇを添加することな
く、レーザガスを低温化する労力及び設備を省略し、高
効率、高出力のＣＯガスレーザを室温程度の温度雰囲気
で確実に発生させることを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために以下の提案をしている。ＣＯガスを含有するレー
ザガスを挿通させるレーザガス流路と、該レーザガス流
路中のレーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高
周波給電手段及び放電用電極とを有する放電励起型ＣＯ
ガスレーザにおいて、放電部の出口ガス温度を検出する
ガス温度検出手段と、該ガス温度検出手段の検出温度と
高周波給電手段の出力とに基づきレーザガス流路の風速
を設定する送風機とを具備する構成を採用する。レーザ
ガスは、成分中にＸｅやＨｇが添加されないもの、例え
ばＮ2 ：１６％，ＣＯ：５％，Ｏ2 ：０．２〜０．４
％，Ｈｅ残部（モル分率）の成分を有するものが採用さ
れる。放電励起型ＣＯガスレーザを制御する方法とし
て、放電部の出口ガス温度を４５０Ｋ以下とする高周波
給電手段の出力とレーザガス流路の風速とが選択され
る。
ために以下の提案をしている。ＣＯガスを含有するレー
ザガスを挿通させるレーザガス流路と、該レーザガス流
路中のレーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高
周波給電手段及び放電用電極とを有する放電励起型ＣＯ
ガスレーザにおいて、放電部の出口ガス温度を検出する
ガス温度検出手段と、該ガス温度検出手段の検出温度と
高周波給電手段の出力とに基づきレーザガス流路の風速
を設定する送風機とを具備する構成を採用する。レーザ
ガスは、成分中にＸｅやＨｇが添加されないもの、例え
ばＮ2 ：１６％，ＣＯ：５％，Ｏ2 ：０．２〜０．４
％，Ｈｅ残部（モル分率）の成分を有するものが採用さ
れる。放電励起型ＣＯガスレーザを制御する方法とし
て、放電部の出口ガス温度を４５０Ｋ以下とする高周波
給電手段の出力とレーザガス流路の風速とが選択され
る。
【０００６】
【作用】放電励起型ＣＯガスレーザでは、Ｎ2 ，ＣＯ，
Ｏ2 ，Ｈｅ残部（モル分率）の混合成分のレーザガスを
封入して亜音速で循環させ、放電部における自己持続放
電によってレーザガスを励起することにより、レーザの
連続発振が行なわれる。励起エネルギ密度を大きくする
と、レーザ出力が増加するが、この際にはレーザ媒質で
あるレーザガスの温度上昇が起こり、温度上昇が大きく
なることによりレーザ利得が減少して、レーザ出力の飽
和あるいは減少を招く。レーザガスの流速増大によって
熱交換性を高めることができるため、ガス流速を大きく
して温度上昇を抑制することが重要である。レーザガス
の温度上昇（ΔＴ）は、次式で与えられる。 ΔＴ＝（Ｐe −Ｐl ）／（Ｃp ・ρ・ｕ・Ｗ・Ｈ）……（式１） ただし、Ｐe ：放電入力，Ｐl ：レーザ出力，Ｃp ：比
熱，ρ：ガス密度，ｕ：ガス流速，Ｗ・Ｈ：ガス流れの
断面積である。これらのうち、Ｃp はガス成分に依存
し、ρはガス組成比に依存してガス圧力に比例する。Ｗ
・Ｈを不変とすれば、ΔＴを抑えるためには、ｕを大き
く、つまり、ガス流速を大きくすることが有効である。
したがって、放電部の出口ガス温度の許容温度が、４５
０Ｋ以下である場合には、その条件の下で、放電入力
（高周波給電手段の出力）と、レーザガス流路の風速と
を選択して、レーザ出力を所望の大きさとする制御がな
される。
Ｏ2 ，Ｈｅ残部（モル分率）の混合成分のレーザガスを
封入して亜音速で循環させ、放電部における自己持続放
電によってレーザガスを励起することにより、レーザの
連続発振が行なわれる。励起エネルギ密度を大きくする
と、レーザ出力が増加するが、この際にはレーザ媒質で
あるレーザガスの温度上昇が起こり、温度上昇が大きく
なることによりレーザ利得が減少して、レーザ出力の飽
和あるいは減少を招く。レーザガスの流速増大によって
熱交換性を高めることができるため、ガス流速を大きく
して温度上昇を抑制することが重要である。レーザガス
の温度上昇（ΔＴ）は、次式で与えられる。 ΔＴ＝（Ｐe −Ｐl ）／（Ｃp ・ρ・ｕ・Ｗ・Ｈ）……（式１） ただし、Ｐe ：放電入力，Ｐl ：レーザ出力，Ｃp ：比
熱，ρ：ガス密度，ｕ：ガス流速，Ｗ・Ｈ：ガス流れの
断面積である。これらのうち、Ｃp はガス成分に依存
し、ρはガス組成比に依存してガス圧力に比例する。Ｗ
・Ｈを不変とすれば、ΔＴを抑えるためには、ｕを大き
く、つまり、ガス流速を大きくすることが有効である。
したがって、放電部の出口ガス温度の許容温度が、４５
０Ｋ以下である場合には、その条件の下で、放電入力
（高周波給電手段の出力）と、レーザガス流路の風速と
を選択して、レーザ出力を所望の大きさとする制御がな
される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る放電励起型ＣＯガスレー
ザ及びその制御方法の一実施例について、図１ないし図
５に基づき説明する。図１において、符号１はレーザガ
ス流路（ガスダクト）、２は放電部、３Ａ，３Ｂは放電
用電極、４は高周波給電手段（高周波電源部）、５はガ
ス供給源、６はガス排気系、７は送風機、８Ａ，８Ｂは
熱交換器、９はガス温度検出手段（出口ガス温度測定
部）、１０は入口ガス温度測定部、１１は流量測定部で
ある。
ザ及びその制御方法の一実施例について、図１ないし図
５に基づき説明する。図１において、符号１はレーザガ
ス流路（ガスダクト）、２は放電部、３Ａ，３Ｂは放電
用電極、４は高周波給電手段（高周波電源部）、５はガ
ス供給源、６はガス排気系、７は送風機、８Ａ，８Ｂは
熱交換器、９はガス温度検出手段（出口ガス温度測定
部）、１０は入口ガス温度測定部、１１は流量測定部で
ある。
【０００８】前記レーザガス流路１には、放電部２と、
レーザガスを供給するためのガス供給源５と、不要ガス
を排出するためのガス排気系６と、レーザガスを駆動し
て循環させるための送風機７と、循環するレーザガスの
冷却を行なうための熱交換器８Ａ，８Ｂと、ガス温度検
出手段９の測温部と、入口ガス温度測定部１０の測温部
とが配される。
レーザガスを供給するためのガス供給源５と、不要ガス
を排出するためのガス排気系６と、レーザガスを駆動し
て循環させるための送風機７と、循環するレーザガスの
冷却を行なうための熱交換器８Ａ，８Ｂと、ガス温度検
出手段９の測温部と、入口ガス温度測定部１０の測温部
とが配される。
【０００９】前記放電部２には、レーザガス流路１の隔
壁等に対して電気絶縁状態に、対をなす放電用電極３
Ａ，３Ｂが配され、放電用電極３Ａ，３Ｂの対向方向
が、レーザガス流路１に対して直交状態となるように設
定される。
壁等に対して電気絶縁状態に、対をなす放電用電極３
Ａ，３Ｂが配され、放電用電極３Ａ，３Ｂの対向方向
が、レーザガス流路１に対して直交状態となるように設
定される。
【００１０】なお、レーザ光軸は、レーザガス流路１の
方向と放電用電極３Ａ，３Ｂの対向方向とに対して相互
に直交状態となるように、つまり、三軸直交型に設定さ
れる。
方向と放電用電極３Ａ，３Ｂの対向方向とに対して相互
に直交状態となるように、つまり、三軸直交型に設定さ
れる。
【００１１】前記高周波給電手段４にあっては、１メガ
ヘルツないし２５０メガヘルツの高周波を放電用電極３
Ａ，３Ｂに供給（給電）して、放電を生じさせるもので
ある。該高周波給電手段４は、いわゆるＲＦ発振器（ｒ
ａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ発振器）等が適用され
る。
ヘルツないし２５０メガヘルツの高周波を放電用電極３
Ａ，３Ｂに供給（給電）して、放電を生じさせるもので
ある。該高周波給電手段４は、いわゆるＲＦ発振器（ｒ
ａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ発振器）等が適用され
る。
【００１２】前記ガス供給源５は、ＸｅやＨｇを添加し
ていない所要成分のレーザガス、例えばＮ2 ：１６％，
ＣＯ：５％，Ｏ2 ：０．２〜０．４％，Ｈｅ残部（モル
分率）の成分を有するものを供給する。
ていない所要成分のレーザガス、例えばＮ2 ：１６％，
ＣＯ：５％，Ｏ2 ：０．２〜０．４％，Ｈｅ残部（モル
分率）の成分を有するものを供給する。
【００１３】前記送風機７は、高周波給電手段４及びガ
ス温度検出手段９に関連づけて配され、レーザガス流路
１を挿通するレーザガスの風速（風量）を調整し得るも
のが適用される。
ス温度検出手段９に関連づけて配され、レーザガス流路
１を挿通するレーザガスの風速（風量）を調整し得るも
のが適用される。
【００１４】前記ガス温度検出手段９は、その感温部が
放電部２の出口ガス温度を計測し得るものとされ、後述
するように高周波給電手段４の出力と関わって送風機７
の運転制御を行なうものが適用される。
放電部２の出口ガス温度を計測し得るものとされ、後述
するように高周波給電手段４の出力と関わって送風機７
の運転制御を行なうものが適用される。
【００１５】このように構成されている放電励起型ＣＯ
ガスレーザにあっては、ガス排気系６の作動によって、
レーザガス流路１の排気をした後に、ガス供給源５によ
り前述の所要成分のレーザガスを供給して充満状態と
し、送風機７によるレーザガスの循環、熱交換器８Ａ，
８Ｂによる室温近傍までの冷却をしておいて、高周波給
電手段４の作動により放電用電極３Ａ，３Ｂの間に電位
差を付与し、対をなす放電用電極３Ａ，３Ｂに、例えば
１３．５６メガヘルツの高周波電流を流す放電を行な
い、前述のレーザガスの励起を行なう。
ガスレーザにあっては、ガス排気系６の作動によって、
レーザガス流路１の排気をした後に、ガス供給源５によ
り前述の所要成分のレーザガスを供給して充満状態と
し、送風機７によるレーザガスの循環、熱交換器８Ａ，
８Ｂによる室温近傍までの冷却をしておいて、高周波給
電手段４の作動により放電用電極３Ａ，３Ｂの間に電位
差を付与し、対をなす放電用電極３Ａ，３Ｂに、例えば
１３．５６メガヘルツの高周波電流を流す放電を行な
い、前述のレーザガスの励起を行なう。
【００１６】〔ＣＯガスレーザの室温発振実験例〕ガス
温度：２９３Ｋの室温雰囲気でＣＯガスレーザを発振さ
せ、（式１）に基づいて、放電入力（以下、高周波入力
電力に代える）、レーザ出力、ガス流速を変数とした場
合の相互関係について検討した。その結果を図２ないし
図５に示す。ただし、レーザ発振条件を下記のように設
定した。 ガス組成（Ｈｅ／Ｎ2 ／ＣＯ／Ｏ2 ）：78.8／16／5／
0.2（モル分率） 動作ガス圧力：８０ｈＰａ 高周波電流：１３．５６メガヘルツ Ｔｇ：放電部入口におけるガス温度：２９３Ｋ
温度：２９３Ｋの室温雰囲気でＣＯガスレーザを発振さ
せ、（式１）に基づいて、放電入力（以下、高周波入力
電力に代える）、レーザ出力、ガス流速を変数とした場
合の相互関係について検討した。その結果を図２ないし
図５に示す。ただし、レーザ発振条件を下記のように設
定した。 ガス組成（Ｈｅ／Ｎ2 ／ＣＯ／Ｏ2 ）：78.8／16／5／
0.2（モル分率） 動作ガス圧力：８０ｈＰａ 高周波電流：１３．５６メガヘルツ Ｔｇ：放電部入口におけるガス温度：２９３Ｋ
【００１７】図２は高周波入力電力とレーザ出力との関
係、図３は高周波入力電力と放電部の出口ガス温度との
関係、図４は放電部のガス流速と高周波入力電力との関
係、図５は放電部のガス流量と高周波入力電力との関係
をそれぞれ示している。図２ないし図５より、以下のよ
うな結果が得られた。 ａ） 図２例のように、高周波入力電力を大きくするこ
とによりレーザー出力が増大するものの、レーザー出力
が次第に飽和及び減少する傾向がある。 ｂ） ガス流速を大きくすると、高周波入力電力に対応
してレーザー出力が増大し、ガス流速３７ｍ／秒では高
周波入力電力６．３ｋＷでレーザー出力６５０Ｗが得ら
れた。 ｃ） 図３例のように、高周波入力電力を大きくすると
出口ガス温度が高くなるものの、ガス流速を大きくする
ことにより出口ガス温度を抑制することができ、高周波
入力電力６．３ｋＷでは４４０Ｋとなった。 ｄ） 図４例のように、ガス流速を大きくすることによ
って、高周波入力電力を大きくすることができ、概略比
例関係が成立する。 ｅ） 図５例のように、ガス流量を多くすることによっ
ても、高周波入力電力を大きくすることができ、この場
合も、概略比例関係が成立する。 ｆ） 送風機７の能力が十分である場合には、ガス流速
及びガス流量を大きくして、高周波入力電力を増やすこ
とにより、比較的容易にレーザー出力を大きくすること
ができる。その場合、図２及び図３の比較より、出口ガ
ス温度が、４００〜４５０Ｋ以下であれば、高周波入力
電力の増加によりレーザー出力を大きくすることができ
るが、出口ガス温度がその限度を超えると、レーザー出
力が不安定になる。 ｇ） 比較的温度の高い２９６Ｋにおいても、高周波入
力電力６．３ｋＷでレーザー出力６５０Ｗの高出力を得
ることができる。 ｈ） この結果は、前述した特公平４−５８７１７号
公報の開示技術におけるレーザ出力が略３２．５Ｗであ
るのと比較して、２０倍の大出力である。 ｉ） 送風機７の能力を高め得る場合や、低温冷媒が得
られる環境にあっては、さらに高出力化を図ることがで
きる。
係、図３は高周波入力電力と放電部の出口ガス温度との
関係、図４は放電部のガス流速と高周波入力電力との関
係、図５は放電部のガス流量と高周波入力電力との関係
をそれぞれ示している。図２ないし図５より、以下のよ
うな結果が得られた。 ａ） 図２例のように、高周波入力電力を大きくするこ
とによりレーザー出力が増大するものの、レーザー出力
が次第に飽和及び減少する傾向がある。 ｂ） ガス流速を大きくすると、高周波入力電力に対応
してレーザー出力が増大し、ガス流速３７ｍ／秒では高
周波入力電力６．３ｋＷでレーザー出力６５０Ｗが得ら
れた。 ｃ） 図３例のように、高周波入力電力を大きくすると
出口ガス温度が高くなるものの、ガス流速を大きくする
ことにより出口ガス温度を抑制することができ、高周波
入力電力６．３ｋＷでは４４０Ｋとなった。 ｄ） 図４例のように、ガス流速を大きくすることによ
って、高周波入力電力を大きくすることができ、概略比
例関係が成立する。 ｅ） 図５例のように、ガス流量を多くすることによっ
ても、高周波入力電力を大きくすることができ、この場
合も、概略比例関係が成立する。 ｆ） 送風機７の能力が十分である場合には、ガス流速
及びガス流量を大きくして、高周波入力電力を増やすこ
とにより、比較的容易にレーザー出力を大きくすること
ができる。その場合、図２及び図３の比較より、出口ガ
ス温度が、４００〜４５０Ｋ以下であれば、高周波入力
電力の増加によりレーザー出力を大きくすることができ
るが、出口ガス温度がその限度を超えると、レーザー出
力が不安定になる。 ｇ） 比較的温度の高い２９６Ｋにおいても、高周波入
力電力６．３ｋＷでレーザー出力６５０Ｗの高出力を得
ることができる。 ｈ） この結果は、前述した特公平４−５８７１７号
公報の開示技術におけるレーザ出力が略３２．５Ｗであ
るのと比較して、２０倍の大出力である。 ｉ） 送風機７の能力を高め得る場合や、低温冷媒が得
られる環境にあっては、さらに高出力化を図ることがで
きる。
【００１８】
【発明の効果】本発明に係る放電励起型ＣＯガスレーザ
及びその制御方法によれば、以下のような効果を奏す
る。 （１） 放電部の出口ガス温度を検出して、検出温度と
高周波給電手段の出力とに基づきレーザガス流路の風速
を設定することにより、室温程度の温度雰囲気でＣＯガ
スレーザを確実に発生させることができる。 （２） ガス流速を高めることにより、レーザガスにＸ
ｅやＨｇを添加することなく、高効率、高出力のＣＯガ
スレーザを比較的容易に発生させることができる。 （３） 上記により、レーザガスを低温化するための労
力及び設備を省略して、実用性を向上させることができ
る。
及びその制御方法によれば、以下のような効果を奏す
る。 （１） 放電部の出口ガス温度を検出して、検出温度と
高周波給電手段の出力とに基づきレーザガス流路の風速
を設定することにより、室温程度の温度雰囲気でＣＯガ
スレーザを確実に発生させることができる。 （２） ガス流速を高めることにより、レーザガスにＸ
ｅやＨｇを添加することなく、高効率、高出力のＣＯガ
スレーザを比較的容易に発生させることができる。 （３） 上記により、レーザガスを低温化するための労
力及び設備を省略して、実用性を向上させることができ
る。
【図１】本発明に係る放電励起型ＣＯガスレーザ及びそ
の制御方法の一実施例を示すブロック図を併記した正断
面図である。
の制御方法の一実施例を示すブロック図を併記した正断
面図である。
【図２】図１例のＣＯガスレーザの室温発振実験例にお
ける高周波入力電力とレーザ出力との関係曲線図であ
る。
ける高周波入力電力とレーザ出力との関係曲線図であ
る。
【図３】図１例のＣＯガスレーザの室温発振実験例にお
ける高周波入力電力と出口ガス温度との関係曲線図であ
る。
ける高周波入力電力と出口ガス温度との関係曲線図であ
る。
【図４】図１例のＣＯガスレーザの室温発振実験例にお
けるガス流速と高周波入力電力との関係曲線図である。
けるガス流速と高周波入力電力との関係曲線図である。
【図５】図１例のＣＯガスレーザの室温発振実験例にお
けるガス流量と高周波入力電力との関係曲線図である。
けるガス流量と高周波入力電力との関係曲線図である。
１ レーザガス流路（ガスダクト） ２ 放電部 ３Ａ，３Ｂ 放電用電極 ４ 高周波給電手段（高周波電源部） ５ ガス供給源 ６ ガス排気系 ７ 送風機 ８Ａ，８Ｂ 熱交換器 ９ ガス温度検出手段（出口ガス温度測定部） １０ 入口ガス温度測定部 １１ 流量測定部
Claims (2)
- 【請求項１】 ＣＯガスを含有するレーザガスを挿通さ
せるレーザガス流路（１）と、該レーザガス流路中のレ
ーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高周波給電
手段（４）及び放電用電極（３Ａ，３Ｂ）とを有する放
電励起型ＣＯガスレーザであって、放電部（２）の出口
ガス温度を検出するガス温度検出手段（９）と、該ガス
温度検出手段の検出温度と高周波給電手段の出力とに基
づきレーザガス流路の風速を設定する送風機（７）とを
具備することを特徴とする放電励起型ＣＯガスレーザ。 - 【請求項２】 請求項１記載の放電励起型ＣＯガスレー
ザを制御する方法であって、放電部（２）の出口ガス温
度を４５０Ｋ以下とする高周波給電手段（４）の出力と
レーザガス流路（１）の風速とが選択されることを特徴
とする放電励起型ＣＯガスレーザの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7767594A JP3317013B2 (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 放電励起型ｃｏガスレーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7767594A JP3317013B2 (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 放電励起型ｃｏガスレーザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07283464A true JPH07283464A (ja) | 1995-10-27 |
| JP3317013B2 JP3317013B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=13640465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7767594A Expired - Fee Related JP3317013B2 (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 放電励起型ｃｏガスレーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3317013B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540607A (ja) * | 2006-06-14 | 2009-11-19 | サイマー インコーポレイテッド | Ｅｕｖ光源のための駆動レーザ |
| KR20160078393A (ko) | 2013-12-17 | 2016-07-04 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 직교 여기형 가스 레이저 발진 장치 |
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1994
- 1994-04-15 JP JP7767594A patent/JP3317013B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR20160078393A (ko) | 2013-12-17 | 2016-07-04 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 직교 여기형 가스 레이저 발진 장치 |
| US9634456B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-04-25 | Mitsubishi Electric Cororation | Gas laser oscillation apparatus of orthogonal excitation type |
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| JP3317013B2 (ja) | 2002-08-19 |
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