JPH0727840A - Ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 伝熱冷却されるＳＱＵＩＤ磁束計を小形化
し、多チャンネル化を簡単に達成する。 【構成】 一端部が極低温部材５にねじ込まれる良熱伝
導部材１の他端部に、ピックアップコイル４が巻回され
たボビン３を一体的に連結し、良熱伝導部材１の側面所
定位置に凹所１ｃを形成してこの凹所１ｃにＳＱＵＩＤ
素子を収容する超伝導シールド部材２を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はＳＱＵＩＤ磁束計に関
し、さらに詳細にいえば、極低温にまで冷却される極低
温部材に対して取外し可能に装着されるＳＱＵＩＤ磁束
計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から微弱磁場を高感度に検出できる
という特質に着目して、ＳＱＵＩＤ磁束計が注目を浴び
ている。特に、心磁場等の生体磁場を計測するための試
みがなされている。ＳＱＵＩＤ磁束計を用いて生体磁場
等を計測するに当っては、ＳＱＵＩＤ素子、ピックアッ
プコイル等を超伝導転移温度以下にまで冷却することが
必須であり、これらを超伝導転移温度以下にまで冷却す
る方法として、液体ヘリウムを用いる方法と極低温冷凍
機を用いる方法とが提案されている。

【０００３】これらのうち、前者の方法を採用する場合
には、液体ヘリウムの取扱いに熟練を要し、しかも取扱
いを誤ると危険であるという不都合がある。また、液体
ヘリウムを収容した容器は、最も上部にまで液体ヘリウ
ムが充填されているのではないから、容器の上部ほど温
度が高くなり、この結果、容器の内部に温度勾配が生じ
る。そして、この温度勾配に起因して、容器の傾斜可能
角度が制限されてしまうという不都合もある。後者の不
都合は、例えば、生体磁場の計測を行なうような場合
に、計測対象者の状態（姿勢）に合せてＳＱＵＩＤ素
子、ピックアップコイル等を自由に配置することが不可
能になってしまう点において、到底無視し得ない不都合
であるといえる。

【０００４】後者の方法を採用する場合には、極低温冷
凍機により超伝導転移温度以下にまで冷却される最終冷
却ステージに対してＳＱＵＩＤ磁束計、ピックアップコ
イル等を熱結合させた状態で装着することになる。した
がって、極低温冷凍機の動作を制御するだけで超伝導状
態と常伝導状態とを選択することができ、ＳＱＵＩＤ素
子、ピックアップコイル等を移動させる必要が全くなく
なる。

【０００５】図７はＳＱＵＩＤ素子、ピックアップコイ
ルの装着例を示す側面図、図８は要部を示す一部切欠平
面図であり、図示しない極低温冷凍機により超伝導転移
温度以下（例えば、約４Ｋ）にまで冷却される４Ｋステ
ージ８１の上面中央部に、ＳＱＵＩＤ素子を収容する超
伝導シールド部材８２を配置してあるとともに、超伝導
シールド部材８２を挟み、かつ跨ぐ状態で伝熱ブロック
部材８３を配置してある。そして、伝熱ブロック８３の
上面中央部に、銅ファイバからなる筒状の芯部材と、芯
部材の内面および外面を覆う、ガラスファイバからなる
被覆層とから構成されるボビン８４を立設し、ボビン８
４の所定位置にピックアップコイル８５を巻回してあ
る。尚、超伝導シールド部材８２の所定位置には、ＳＱ
ＵＩＤ素子とピックアップコイル８５とを接続するため
の電線、ＳＱＵＩＤ素子と常温側に配置された電子部品
等とを接続するための電線を挿通するための孔８２ａが
形成されている。尚、８６ａ，８６ｂは輻射シールド部
材、８７は真空ケーシングである。また、図８中の小さ
い丸印は各部材を装着するためのネジ孔である。

【０００６】したがって、超伝導シールド部材８２が４
Ｋステージ８１により超伝導転移温度以下にまで冷却さ
れ、内部のＳＱＵＩＤ素子に対する外部磁束の影響を阻
止することができる。また、ボビン８４の芯部材が伝熱
ブロック８３を介して４Ｋステージ８１により伝熱冷却
されるので、ピックアップコイル８５も超伝導転移温度
以下にまで冷却される。この結果、ピックアップコイル
８５により外部の微弱磁場を検出でき、検出した微弱磁
場に対応する電流を超伝導シールド部材８２の内部に収
容されたインプットコイル（図示せず）に導くことによ
り、検出した微弱磁場に比例する磁場をＳＱＵＩＤ素子
に供給することができる。そして、ＳＱＵＩＤ素子の出
力信号に基づいて微弱磁場を高感度に検出することがで
きる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記の構成のＳＱＵＩ
Ｄ磁束計を採用した場合には、超伝導シールド部材８２
を跨ぐように伝熱ブロック８３を設けることが必須にな
るので、ＳＱＵＩＤ磁束計の平面形状を余り小さくする
ことができず、生体磁場の高精度な測定等のためにＳＱ
ＵＩＤ磁束計を多チャンネル化する要請があるにも拘ら
ず、多チャンネル化することが著しく困難であり、チャ
ンネル数によっては多チャンネル化することが不可能に
なってしまうという不都合がある。

【０００８】さらに詳細に説明すると、ＳＱＵＩＤ磁束
計を小形化しようとすれば、超伝導シールド部材８２、
伝熱ブロック８３およびボビン８４を小形化すればよい
のであるが、ボビン８４を小径化すると磁束検出感度が
低下するので、ボビン８４は余り小形化できず、また、
超伝導シールド部材８２も内部に収容するＳＱＵＩＤ素
子によって必要な大きさが定まるのであるから小形化に
限界がある。したがって、超伝導シールド部材８２を跨
ぐように配置される伝熱ブロック８３も小形化に限界が
あることになる。

【０００９】また、実際のＳＱＵＩＤ磁束計の製造工程
を考慮すれば、ピックアップコイル８５は１次または２
次の微分型になるようにボビン８４に巻回されるのであ
るから、以下に説明するような作業工程が必須になり、
この面からも小形化が制限されてしまうことになる。即
ち、伝熱ブロック８３およびボビン８４を装着した状態
でピックアップコイル８５を巻回し、ピックアップコイ
ル８５からの引き出し線を、ボビン８４、伝熱ブロック
８３に熱結合させた状態でＳＱＵＩＤ素子まで導いて超
伝導半田等による電気的接続を行なう。したがって、伝
熱ブロック８３の内部空間がこの電気的接続作業の遂行
を許容し得る大きさでなければならない。具体的には、
半田鏝の侵入、指等の侵入を許容し得る大きさでなけれ
ばならない。このように伝熱ブロックの内部空間の大き
さが制限を受けるのであるから、ＳＱＵＩＤ磁束計の平
面形状を余り小さくすることができない。もちろん、繁
雑な作業工程が必要になるので、ＳＱＵＩＤ磁束計の組
み付け所要時間が著しく長くなってしまう。この点に関
連して、ＳＱＵＩＤ素子とピックアップコイル８５との
電気的接続だけでも上述のように繁雑な作業が必要であ
るが、ＳＱＵＩＤ素子と常温側の電子部品等との電気的
接続を達成するに当っては、引き出し線を４Ｋステージ
と熱結合させるためのサーマルアンカが必要であるとと
もに、適宜箇所を引き回して常温側に引き出し線を導か
なければならないのであるから、全体として著しく繁雑
な作業が必要になる。また、ＳＱＵＩＤ磁束計同士の相
対位置によっては、サーマルアンカを確保することが殆
ど不可能になってしまう可能性もある。

【００１０】上記４Ｋステージ８１を大型化すれば、Ｓ
ＱＵＩＤ磁束計が相対的に小形化されたことになるが、
４Ｋステージ８１は極低温冷凍機により伝熱冷却されて
いるのであるから、極低温冷凍機の冷却能力を越えてま
で４Ｋステージ８１を大型化することは不可能であり、
この面からもＳＱＵＩＤ磁束計の多チャンネル化が疎外
されてしまう。

【００１１】さらにまた、ＳＱＵＩＤ磁束計の多チャン
ネル化が達成できたと仮定しても、他のＳＱＵＩＤ磁束
計により包囲されたＳＱＵＩＤ磁束計に故障が発生した
場合に、周囲のＳＱＵＩＤ磁束計を分解して取外した後
でなければ対象となるＳＱＵＩＤ磁束計の点検、修理を
行なうことができず、保守点検修理の作業性が著しく低
くなってしまうという不都合もある。

【００１２】さらには、伝熱ブロック８３が一般的に複
数個のブロックを順次ネジ等により装着することにより
構成されるのであるから、ブロック同士の接触状態によ
り熱抵抗がばらついてしまい、ピックアップコイル８５
の温度がＳＱＵＩＤ素子毎にばらついてしまう可能性が
あり、最悪の場合には、少なくとも１つのＳＱＵＩＤ素
子のピックアップコイル８５を超伝導転移温度以下にま
で冷却することが不可能になってしまう。

【００１３】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、極低温冷凍機により伝熱冷却されるＳＱ
ＵＩＤ磁束計の多チャンネル化を簡単に達成できるとと
もに、組み付け作業を簡素化でき、しかも保守点検修理
の作業性を著しく高めることができるＳＱＵＩＤ磁束計
を提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項１のＳＱＵＩＤ磁束計は、極低温にまで冷
却される極低温部材に対して取外し可能に装着されるＳ
ＱＵＩＤ磁束計であって、ピックアップコイルが巻回さ
れてなるボビンと、一端部がボビンと連結され、他端部
が極低温部材の所定位置に取外し可能に装着される良熱
伝導部材と、良熱伝導部材の側面所定位置に取外し可能
に装着され、かつ装着状態においてＳＱＵＩＤ素子を収
容する超伝導シールド部材とを含んでいる。

【００１５】請求項２のＳＱＵＩＤ磁束計は、良熱伝導
部材として側面所定位置に凹所を有するものを採用し、
超伝導シールド部材が凹所に装着されているものであ
る。請求項３のＳＱＵＩＤ磁束計は、良熱伝導部材の、
極低温部材の所定位置に取外し可能に装着される端部が
常温側への配線を挿通するための貫通孔を有しているも
のである。

【００１６】

【作用】請求項１のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、ピック
アップコイルが巻回されてなるボビンと連結される良熱
伝導部材を極低温部材に装着するだけで簡単にＳＱＵＩ
Ｄ磁束計の装着を達成できる。もちろん、ＳＱＵＩＤ素
子を収容する超伝導シールド部材が良熱伝導部材の側面
所定位置に取外し可能に装着されているので、上述のＳ
ＱＵＩＤ磁束計の装着に悪影響を及ぼす可能性は殆どな
い。また、ＳＱＵＩＤ素子とピックアップコイルとの間
の電気的接続についても、良熱伝導部材の極低温部材に
対する装着の前に達成しておくことができ、狭い場所で
の配線、半田付け等が不要になるので、ＳＱＵＩＤ磁束
計の組み付け作業を簡単化できる。もちろん、保守点検
修理作業をも簡単化できる。

【００１７】また、超伝導シールド部材が良熱伝導部材
の側面所定位置に装着されるのであるから、良熱伝導部
材により超伝導シールド部材を跨ぐ従来の構成と比較し
て平面形状を著しく小さくでき、極低温部材を大型化す
ることなく簡単にＳＱＵＩＤ磁束計の多チャンネル化を
達成できる。しかも、装着作業に伴なって他のＳＱＵＩ
Ｄ磁束計等との干渉を防止するために必要な平面形状を
大きくすることなく複数のＳＱＵＩＤ素子および対応す
る超伝導シールド部材を装着することができ、空間利用
効率を高めることができる。即ち、比較的狭い範囲にお
いて簡単に多チャンネル化を達成できる。また、例え
ば、ボビンに１次微分型のピックアップコイルを２組設
けることにより、完全にバランスのとれた２次微分型の
ものと等価なものを得ることができるほか、一方を信号
検出用、他方を雑音除去のための参照用として用いるこ
とにより、雑音の影響を高精度に排除して目的とする信
号のみを高精度に検出することができる。さらに、良熱
伝導部材は予め一体のものとして作成できるので、ピッ
クアップコイルを確実に超伝導転移温度以下にまで冷却
することができる。

【００１８】請求項２のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、良
熱伝導部材として側面所定位置に凹所を有するものを採
用し、超伝導シールド部材が凹所に装着されているの
で、装着動作に伴なって他のＳＱＵＩＤ磁束計等との干
渉を防止するために必要な平面形状を小さくでき、空間
利用効率を一層高めることができる。即ち、比較的狭い
範囲において装着可能なＳＱＵＩＤ磁束計の数を一層増
加させることができる。請求項３のＳＱＵＩＤ磁束計で
あれば、良熱伝導部材の、極低温部材の所定位置に取外
し可能に装着される端部が常温側への配線を挿通するた
めの貫通孔を有しているので、ＳＱＵＩＤ磁束計を極低
温部材に装着する前に常温側への配線をＳＱＵＩＤ素子
に接続しておくことができ、極低温部材に対するＳＱＵ
ＩＤ磁束計の装着後に、極低温部材の表面側において配
線を引き回すことなく極低温部材の背面側のみにおいて
配線を引き回すことができ、配線引き回し作業を簡単化
できる。

【００１９】

【実施例】以下、実施例を示す添付図面によって詳細に
説明する。図１はこの発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施
例を示す正面図、図２は中央縦断面図であり、両端部に
雄ねじ部１ａ，１ｂを有する良熱伝導部材１の中央部所
定位置に１対の凹所１ｃを形成し、凹所１ｃにそれぞれ
ＳＱＵＩＤ素子を収容するための超伝導シールド部材２
が取外し可能に装着されている。そして、一方の雄ねじ
部１ｂにボビン３が螺合され、ボビン３の所定位置に１
対のピックアップコイル４が巻回されている。上記良熱
伝導部材１は全体が例えば銅からなるものであり、他方
の雄ねじ部１ａの先端中央部と、凹所１ｃの所定位置と
にそれぞれ開口される配線挿通孔１ｄが形成されてい
る。上記超伝導シールド部材２は、良熱伝導部材１の凹
所１ｃに埋め込み状に装着される基部部材２ａとねじ等
により取外し可能に装着されるカバー部材２ｂとで構成
されており、カバー部材２ｂの所定位置に引き出し線挿
通用の溝２ｃが形成されている。そして、基部部材２ａ
の所定位置にスペーサ部材２ｄを介して、ＳＱＵＩＤ素
子（図示せず）が搭載された基板２ｅが装着されてい
る。尚、雄ねじ部１ａに続く位置に大径フランジを一体
形成し、後述する極低温部材５との接触面積を大きくす
るようにしている。上記ボビン３は、銅ファイバからな
る円筒状の芯部材３ａと、ガラスファイバからなり、か
つ芯部材３ａの外表面および内表面を覆う被覆層３ｂと
を有している。上記ピックアップコイル４は、例えば、
１次微分型となるようにボビン３の外表面に巻回されて
なるものであり、ボビン３の所定位置に形成された環状
溝３ｃに収容される状態でピックアップコイル４が巻回
されている。また、図から明らかなように、ボビン３に
は１対のピックアップコイル４が巻回されており、各ピ
ックアップコイル４に対応すべく１対の基板２ｅがそれ
ぞれ対応する超伝導シールド部材２に収容されている。
即ち、２つのＳＱＵＩＤ磁束計が一体化されたことにな
る。さらに、ピックアップコイル４の引き出し線４ａが
一方の溝２ｃを通って基板２ｅのＳＱＵＩＤ素子と接続
され、ＳＱＵＩＤ素子からの引き出し線２ｆが配線挿通
孔１ｄを通して引き出されており、この引き出し線２ｆ
の端部にコネクタ２ｇが設けられている。

【００２０】図３は図１、図２に示すユニットが３２個
装着された多チャンネル計測システムの構成を概略的に
示す中央縦断面図、図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図で
あり、３２個のユニットＡが極低温部材５に所定間隔で
ねじ込み状に装着されている。ここで、極低温部材５
は、図示しない極低温冷凍機により超伝導転移温度以下
（例えば、約４Ｋ）にまで冷却されるものである。尚、
６は真空ケーシング、７ａ，７ｂは輻射シールド部材で
ある。また、極低温部材５の下面には、コネクタ８ｄが
予め装着されたプリント配線板８が配置されている。

【００２１】図５はプリント配線板８の上面図であり、
コネクタ８ｄのピン８ａが露呈されているとともに、対
応するピン間を電気的に接続する配線パターン８ｂが形
成されている。また、所定位置に、ユニットＡの雄ねじ
部１ａを貫通させる透孔８ｃが形成されている。さら
に、中央部に、極低温冷凍機の最終冷却部８ｆと極低温
部材５との直接接触を許容するための大径孔８ｅが形成
されている。図６は極低温部材５の下面図であり、上記
透孔８ｃと対応する位置に雌ねじ孔５ａが形成されてい
るとともに、コネクタ８ｄに対応する位置にピン８ａを
収容するための凹所５ｂが形成されている。

【００２２】上記の構成のＳＱＵＩＤ磁束計の作用は次
のとおりである。先ず、良熱伝導部材１とボビン３とを
一体的に連結し、良熱伝導部材１の側面所定位置に形成
した凹所１ｃに超伝導シールド部材２の基部部材２ａを
装着し、スペーサ部材２ｄを介して、ＳＱＵＩＤ素子が
搭載された基板２ｅを装着する。そして、ボビン３にピ
ックアップコイル４を巻回し、ピックアップコイル４の
引き出し線４ａをＳＱＵＩＤ素子と電気的に接続すべく
基板２ｅの所定位置に接続する。また、ＳＱＵＩＤ素子
に対してバイアスを供給し、またはＳＱＵＩＤ素子から
電気信号を取り出す引き出し線２ｆが配線挿通孔１ｄを
通って雄ねじ部１ａの端面中央部から外部に引き出され
る。尚、この引き出し線２ｆの遊端部にコネクタ２ｇが
接続される。そして、最後に超伝導シールド部材２のカ
バー部材２ｂをねじ等により良熱伝導部材１に固定し、
引き出し線４ａ，２ｆをカバー部材２ｂの溝２ｃに収容
する。

【００２３】以上の作業を行なうことにより、２個のＳ
ＱＵＩＤ磁束計が一体化されたユニットＡを得ることが
できる。また、極低温部材５の背面（下面）にプリント
配線板８を配置し、極低温冷凍機の最終冷却部８ｆが極
低温部材５の中央部下面と直接接触するように極低温部
材５およびプリント配線板８を位置決めして固定する。
尚、このとき、プリント配線板８の配線部がサーマルア
ンカの働きを兼ねることになる。この状態においてコネ
クタ８ｄのピン８ａは極低温部材５の凹所５ｂに収容さ
れるのであるから、ピン同士が短絡状態になることはな
い。そして、輻射シールド部材７ａ，７ｂおよび真空ケ
ーシング６を装着する。もちろん、プリント配線板８ま
での必要な配線処理も行なわれる。尚、これらの作業は
予め行なわれているのが一般的であるから、上記ユニッ
トＡを極低温部材５に装着するに当っては、真空ケーシ
ング６および輻射シールド部材７ａ，７ｂを取外して極
低温部材５を外部に露呈させる。この状態において、各
ユニットＡを、雄ねじ部１ａを雌ねじ孔５ａにねじ込む
ことにより極低温部材５に対する装着を行なう。各ユニ
ットＡの装着作業は単なるねじ込みだけでよいととも
に、超伝導シールド部材２が良熱伝導部材１の凹所１ｃ
に装着されているのであるから、隣合うユニットＡとの
間の空間を必要最小限にできる。また、各ユニットＡを
極低温部材５に装着すれば、、遊端部にコネクタ２ｇが
装着された引き出し線２ｆがプリント配線板８の下方に
垂下した状態になるので、コネクタ２ｇを、プリント配
線板８の該当するコネクタ８ｅと接続するだけで必要な
配線処理を簡単に達成できる。そして、全てのユニット
Ａを装着して配線処理を行なった後は、輻射シールド部
材７ａ，７ｂを装着し、さらに真空ケーシング６を装着
する。そして、真空ケーシング６の内部を真空にすると
ともに、極低温冷凍機を動作させて全てのＳＱＵＩＤ磁
束計を超伝導転移温度以下にまで冷却し、ＳＱＵＩＤ磁
束計による生体磁場等の計測を行なう。

【００２４】尚、この計測に当って、各ユニットＡが２
個のＳＱＵＩＤ磁束計を有しているのであるから、一方
を信号用、他方を参照用として使用することにより極低
温冷凍機等に起因する雑音成分を除去して高精度の磁場
計測信号を得ることができる。また、各ＳＱＵＩＤ磁束
計が１次微分型のピックアップコイル４を有している場
合には、一方のＳＱＵＩＤ磁束計の出力に所定の計数を
乗算して他方のＳＱＵＩＤ磁束計の出力から減算するこ
とにより、１００％バランスがとれた２次微分型のピッ
クアップコイルを有するＳＱＵＩＤ磁束計と等価な計測
信号を得ることができる。さらに、１つのユニットＡで
同軸上における磁場の一次勾配および二次勾配を得るこ
とができ、得られる情報量が増加するので、磁場源の解
析精度等を高めることができる。

【００２５】また、何れかのＳＱＵＩＤ磁束計に異常が
発生した場合には、該当するユニットＡのみを抜き取っ
て点検修理作業を行なえばよく、他のユニットＡを抜き
取る必要がないので、点検修理作業を著しく簡単化でき
る。尚、この発明は上記の実施例に限定されるものでは
なく、例えば、良熱伝導部材１の側面所定位置に設ける
凹所１ｃを省略すること、配線挿通孔１ｄを省略するこ
と等が可能であるほか、この発明の要旨を変更しない範
囲内において種々の設計変更を施すことが可能である。

【００２６】

【発明の効果】以上のように請求項１の発明は、ＳＱＵ
ＩＤ磁束計の平面形状を小形化でき、しかも各構成要素
の装着、電気的接続を簡単に達成でき、ひいては極低温
部材を大型化することなく簡単に多チャンネル化を達成
できるとともに、保守点検修理作業を著しく簡単化でき
るという特有の効果を奏する。

【００２７】請求項２の発明は、装着動作に伴なって他
のＳＱＵＩＤ磁束計等との干渉を防止するために必要な
平面形状を小さくでき、空間利用効率を一層高めること
ができるので、比較的狭い範囲において装着可能なＳＱ
ＵＩＤ磁束計の数を一層増加させることができる。請求
項３の発明は、ＳＱＵＩＤ磁束計を極低温部材に装着す
る前に常温側への配線をＳＱＵＩＤ素子に接続しておく
ことができ、極低温部材に対するＳＱＵＩＤ磁束計の装
着後に、極低温部材の表面側において配線を引き回すこ
となく極低温部材の背面側のみにおいて配線を引き回す
ことができるという特有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施例を示す
正面図である。

【図２】同上中央縦断面図である。

【図３】図１、図２に示すユニットが３２個装着された
多チャンネル計測システムの構成を概略的に示す中央縦
断面図である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。

【図５】プリント配線板の上面図である。

【図６】極低温部材の下面図である。

【図７】従来のＳＱＵＩＤ素子、ピックアップコイルの
装着例を示す側面図である。

【図８】同上要部を示す一部切欠平面図である。

【符号の説明】 １ 良熱伝導部材 １ｃ 凹所 １ｄ 配線挿通孔 ２ 超伝導シールド部材 ３ ボビン ４ ピックアップコイル ５ 極低温部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 極低温にまで冷却される極低温部材
   （５）に対して取外し可能に装着されるＳＱＵＩＤ磁束
   計であって、ピックアップコイル（４）が巻回されてな
   るボビン（３）と、一端部がボビン（３）と連結され、
   他端部が極低温部材（５）の所定位置に取外し可能に装
   着される良熱伝導部材（１）と、良熱伝導部材（１）の
   側面所定位置に取外し可能に装着され、かつ装着状態に
   おいてＳＱＵＩＤ素子を収容する超伝導シールド部材
   （２）とを含んでいることを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束
   計。
2. 【請求項２】 良熱伝導部材（１）が側面所定位置に凹
   所（１ｃ）を有しており、超伝導シールド部材（２）が
   凹所（１ｃ）に装着されている請求項１に記載のＳＱＵ
   ＩＤ磁束計。
3. 【請求項３】 良熱伝導部材（１）の、極低温部材
   （５）の所定位置に取外し可能に装着される端部が常温
   側への配線（２ｆ）を挿通するための貫通孔（１ｄ）を
   有している請求項１に記載のＳＱＵＩＤ磁束計。