JPH07274547A - 超音波モータの制御装置 - Google Patents
超音波モータの制御装置Info
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- JPH07274547A JPH07274547A JP6058753A JP5875394A JPH07274547A JP H07274547 A JPH07274547 A JP H07274547A JP 6058753 A JP6058753 A JP 6058753A JP 5875394 A JP5875394 A JP 5875394A JP H07274547 A JPH07274547 A JP H07274547A
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- moving
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 反転に要する時間を短縮する超音波モータの
制御装置を提供する。 【構成】 移動体２６の移動速度と振動体２３の振動量
の関係データを基に移動体２６の目標速度値として目標
の振動量を速度制御手段７に出力する目標速度設定手段
５と、移動体２６の移動方向を反転させる場合は現在の
駆動周波数を情報記憶手段６に記憶するとともに駆動周
波数を現在値より充分に高くし、かつ位相を反転させ記
憶値に掃引した後、移動体２６の移動速度を制御する速
度制御手段７と、速度制御手段７より出力された駆動周
波数の位相を９０度ずらす９０度位相手段８と、速度制
御手段７及び９０度位相手段８から出力される９０度位
相の異なった各々の周波信号を超音波モータ１を駆動す
るのに必要な電圧レベルまで増幅もしくは昇圧して圧電
体の各々の電極に一定の電圧レベルを印加し電力を供給
する電力増幅手段９，１０とで構成する。
制御装置を提供する。 【構成】 移動体２６の移動速度と振動体２３の振動量
の関係データを基に移動体２６の目標速度値として目標
の振動量を速度制御手段７に出力する目標速度設定手段
５と、移動体２６の移動方向を反転させる場合は現在の
駆動周波数を情報記憶手段６に記憶するとともに駆動周
波数を現在値より充分に高くし、かつ位相を反転させ記
憶値に掃引した後、移動体２６の移動速度を制御する速
度制御手段７と、速度制御手段７より出力された駆動周
波数の位相を９０度ずらす９０度位相手段８と、速度制
御手段７及び９０度位相手段８から出力される９０度位
相の異なった各々の周波信号を超音波モータ１を駆動す
るのに必要な電圧レベルまで増幅もしくは昇圧して圧電
体の各々の電極に一定の電圧レベルを印加し電力を供給
する電力増幅手段９，１０とで構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電体に弾性波を励振
することにより駆動力を発生する超音波モータの制御装
置に関する。
することにより駆動力を発生する超音波モータの制御装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、圧電セラミックス等の圧電体を用
いた振動体に弾性振動を励振し、これを駆動力とした超
音波モータが注目されている。
いた振動体に弾性振動を励振し、これを駆動力とした超
音波モータが注目されている。
【０００３】以下、図面を参照しながら超音波モータと
その駆動方法の従来技術について説明を行う。
その駆動方法の従来技術について説明を行う。
【０００４】図４は円環形超音波モータの一部切欠斜視
図であり、円環形の弾性体２１の円環面の一方に圧電体
として円環形圧電セラミックス２２を貼合わせて振動体
２３を形成している。また２５は円環形の弾性体であ
り、耐摩耗性材料の摩擦材２４と貼合わせることにより
移動体２６を形成している。この移動体２６は摩擦材２
４を介して振動体２３と加圧接触されている。
図であり、円環形の弾性体２１の円環面の一方に圧電体
として円環形圧電セラミックス２２を貼合わせて振動体
２３を形成している。また２５は円環形の弾性体であ
り、耐摩耗性材料の摩擦材２４と貼合わせることにより
移動体２６を形成している。この移動体２６は摩擦材２
４を介して振動体２３と加圧接触されている。
【０００５】圧電体２２に設けられた駆動電極（図示せ
ず）に交流電圧を印加すると、図５に示すような径方向
の変位分布を有する径方向１次、周方向３次以上の撓み
振動の進行波が振動体２３に励振される。この進行波の
波頭の横方向成分により、移動体２６は摩擦駆動され回
転運動をする。
ず）に交流電圧を印加すると、図５に示すような径方向
の変位分布を有する径方向１次、周方向３次以上の撓み
振動の進行波が振動体２３に励振される。この進行波の
波頭の横方向成分により、移動体２６は摩擦駆動され回
転運動をする。
【０００６】図６は振動体２３に励振された撓み振動の
進行波により、移動体２６が摩擦駆動される原理を示す
説明図である。振動体２３の表面の任意のＡ点は、撓み
振動の進行波の励振によって、長軸２ｗ、短軸２ｕの楕
円運動をする。振動体２３上に加圧して設置された移動
体２６は、楕円軌跡の頂点近傍で振動体と接触すること
により、接触面の摩擦力により進行波の進行方向とは逆
方向に運動する。振動体２３の振動量は圧電体に流入す
る駆動電流により決まり、進行波の波頭の横方向成分ｕ
は振動体の振動量によって決まる。移動体２６の移動速
度ｖは、上記の進行波の波頭の横方向成分ｕと撓み振動
の角周波数ωの積により（数１）のように決まり、
進行波により、移動体２６が摩擦駆動される原理を示す
説明図である。振動体２３の表面の任意のＡ点は、撓み
振動の進行波の励振によって、長軸２ｗ、短軸２ｕの楕
円運動をする。振動体２３上に加圧して設置された移動
体２６は、楕円軌跡の頂点近傍で振動体と接触すること
により、接触面の摩擦力により進行波の進行方向とは逆
方向に運動する。振動体２３の振動量は圧電体に流入す
る駆動電流により決まり、進行波の波頭の横方向成分ｕ
は振動体の振動量によって決まる。移動体２６の移動速
度ｖは、上記の進行波の波頭の横方向成分ｕと撓み振動
の角周波数ωの積により（数１）のように決まり、
【０００７】
【数１】
【０００８】出力トルクは振動体２３と移動体２６の間
の摩擦力によって決まる。超音波モータは、圧電体２２
に所定の位置だけずらした２組の駆動電極を構成して駆
動端子を取り出し、この２つの駆動端子に所定の位相の
異なる交流電圧をそれぞれ印加することにより、振動体
２３に位置のずれた２つの撓み振動の定在波を励振し、
その結果として撓み振動の進行波を励振することができ
る。この時２つの定在波の振幅が等しければ定在波成分
の小さい進行波が得られ、動作原理より効率よく移動体
２６を駆動することができる。振動体２３は圧電体単体
の時と同様に、駆動端子から見ると共振・反共振特性を
示す。従って、共振周波数近傍で駆動すれば、低電圧で
効率よく駆動することができる。
の摩擦力によって決まる。超音波モータは、圧電体２２
に所定の位置だけずらした２組の駆動電極を構成して駆
動端子を取り出し、この２つの駆動端子に所定の位相の
異なる交流電圧をそれぞれ印加することにより、振動体
２３に位置のずれた２つの撓み振動の定在波を励振し、
その結果として撓み振動の進行波を励振することができ
る。この時２つの定在波の振幅が等しければ定在波成分
の小さい進行波が得られ、動作原理より効率よく移動体
２６を駆動することができる。振動体２３は圧電体単体
の時と同様に、駆動端子から見ると共振・反共振特性を
示す。従って、共振周波数近傍で駆動すれば、低電圧で
効率よく駆動することができる。
【０００９】超音波モータに印加する周波電圧の周波数
（以降、駆動周波数と称する。）を変化させた時の移動
体２６の速度の変化は図７に示すような周波数特性を示
す。この図から分かるように駆動周波数と移動体２６の
移動速度の関係は移動方向が変わっても殆ど変わらな
い。
（以降、駆動周波数と称する。）を変化させた時の移動
体２６の速度の変化は図７に示すような周波数特性を示
す。この図から分かるように駆動周波数と移動体２６の
移動速度の関係は移動方向が変わっても殆ど変わらな
い。
【００１０】しかし、共振周波数は振動体２３と移動体
２６の接触状態や外部から受ける負荷の状態や温湿度変
化等によって変わってしまう。
２６の接触状態や外部から受ける負荷の状態や温湿度変
化等によって変わってしまう。
【００１１】以上説明したように、超音波モータを効率
よく駆動するためには常に共振周波数に追従して駆動す
る必要がある。
よく駆動するためには常に共振周波数に追従して駆動す
る必要がある。
【００１２】また、超音波モータは曲げ振動の進行波を
利用しているので、移動体２６の移動速度と振動体２３
の振動量は比例関係にある。そのため、移動体２６の速
度を遅くしようとすれば、駆動電圧を小さくして振動体
２３の振動量を小さくし、上記の短軸ｕを小さくすれば
よい。また、移動体２６の速度を速くしようとすれば、
駆動電圧を大きくして振動体２３の振動量を大きくし、
上記の短軸ｕを大きくすればよい。駆動周波数を離散的
にしか変えられない構成の場合、駆動周波数を変えるこ
とで粗制御を行い、駆動電圧を変えることで密制御を行
っている。
利用しているので、移動体２６の移動速度と振動体２３
の振動量は比例関係にある。そのため、移動体２６の速
度を遅くしようとすれば、駆動電圧を小さくして振動体
２３の振動量を小さくし、上記の短軸ｕを小さくすれば
よい。また、移動体２６の速度を速くしようとすれば、
駆動電圧を大きくして振動体２３の振動量を大きくし、
上記の短軸ｕを大きくすればよい。駆動周波数を離散的
にしか変えられない構成の場合、駆動周波数を変えるこ
とで粗制御を行い、駆動電圧を変えることで密制御を行
っている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波モータの
制御装置は、移動体の移動方向を反転させる場合は一度
駆動周波数を充分に高くし、位相を反転させてから目標
速度と実際の移動体の速度の差が小さくなるように徐々
に駆動周波数を低くして速度制御を行っていた。そのた
め、駆動周波数を変更する毎に、目標速度と実際の移動
体の速度の差を検出しなければならないため、反転に要
する時間が長いという問題点があった。
制御装置は、移動体の移動方向を反転させる場合は一度
駆動周波数を充分に高くし、位相を反転させてから目標
速度と実際の移動体の速度の差が小さくなるように徐々
に駆動周波数を低くして速度制御を行っていた。そのた
め、駆動周波数を変更する毎に、目標速度と実際の移動
体の速度の差を検出しなければならないため、反転に要
する時間が長いという問題点があった。
【００１４】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、移動体の移動方向を反転させる場合に現在の駆動周
波数を記憶するとともに、この駆動周波数を現在値より
充分に高くし、かつ位相を反転させ記憶値に掃引した
後、移動体の移動速度を制御することで反転に要する時
間を短縮する超音波モータの制御装置を提供することを
目的とする。
で、移動体の移動方向を反転させる場合に現在の駆動周
波数を記憶するとともに、この駆動周波数を現在値より
充分に高くし、かつ位相を反転させ記憶値に掃引した
後、移動体の移動速度を制御することで反転に要する時
間を短縮する超音波モータの制御装置を提供することを
目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の超音波モータの制御装置は、移動体の移動速
度に関する情報を検出する速度情報検出手段と、移動体
の移動方向を設定する移動方向設定手段と、移動体の目
標速度を設定する目標速度設定手段と、速度情報検出手
段の出力情報を基に、駆動周波数を変えることで移動体
の移動速度が目標速度になるように制御し、移動体の移
動方向を反転させる場合は現在の駆動周波数を記憶する
とともに駆動周波数を現在値より充分に高くし、かつ位
相を反転させ記憶値に掃引した後、移動体の移動速度を
制御する速度制御手段とを有している。
に本発明の超音波モータの制御装置は、移動体の移動速
度に関する情報を検出する速度情報検出手段と、移動体
の移動方向を設定する移動方向設定手段と、移動体の目
標速度を設定する目標速度設定手段と、速度情報検出手
段の出力情報を基に、駆動周波数を変えることで移動体
の移動速度が目標速度になるように制御し、移動体の移
動方向を反転させる場合は現在の駆動周波数を記憶する
とともに駆動周波数を現在値より充分に高くし、かつ位
相を反転させ記憶値に掃引した後、移動体の移動速度を
制御する速度制御手段とを有している。
【００１６】
【作用】本発明は上記した構成により、移動体の移動方
向を反転させる場合に駆動周波数の現在の値を記憶し、
この駆動周波数を現在値より充分に高くし、位相を反転
させ記憶値に掃引した後、移動体の移動速度を制御する
ことで反転時に生じる騒音の防止と安定性を向上させる
ことができると共に、反転に要する時間を短縮すること
ができる。
向を反転させる場合に駆動周波数の現在の値を記憶し、
この駆動周波数を現在値より充分に高くし、位相を反転
させ記憶値に掃引した後、移動体の移動速度を制御する
ことで反転時に生じる騒音の防止と安定性を向上させる
ことができると共に、反転に要する時間を短縮すること
ができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１８】図１は本発明の実施例における超音波モー
タの制御装置のブロック図を示すものである。図１にお
いて、１は振動体２３と移動体２６で構成された超音波
モータ、２は超音波モータ１の振動体２３の振動量を検
出する振動量検出手段、３は振動量検出手段２から出力
されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換手段、４は移動体２６の移動方向を設定する移動方向
設定手段、５は移動体２６の移動速度と振動体２３の振
動量の関係データを基に移動体２６の目標速度値として
目標の振動量を設定する目標速度設定手段、６は駆動周
波数を記憶する情報記憶手段、７は駆動周波数を変化さ
せて振動体２３の振動量が目標速度設定手段５で設定さ
れた振動量になるようにして移動体２６の移動速度を制
御し、移動体２６の移動方向を反転させる場合は現在の
駆動周波数を情報記憶手段６に記憶するとともに駆動周
波数を現在値より充分に高くし、かつ位相を反転させ記
憶値に掃引した後、移動体２６の移動速度を制御する速
度制御手段、８は９０度位相の異なる周波信号を出力す
る９０度位相手段、９，１０は速度制御手段６及び９０
度位相手段８から出力される９０度位相の異なった各々
の周波信号を超音波モータ１を駆動するのに必要な電圧
レベルまで増幅もしくは昇圧して圧電体の各々の電極に
一定の電圧レベルを印加し電力を供給するための電力増
幅手段である。
タの制御装置のブロック図を示すものである。図１にお
いて、１は振動体２３と移動体２６で構成された超音波
モータ、２は超音波モータ１の振動体２３の振動量を検
出する振動量検出手段、３は振動量検出手段２から出力
されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換手段、４は移動体２６の移動方向を設定する移動方向
設定手段、５は移動体２６の移動速度と振動体２３の振
動量の関係データを基に移動体２６の目標速度値として
目標の振動量を設定する目標速度設定手段、６は駆動周
波数を記憶する情報記憶手段、７は駆動周波数を変化さ
せて振動体２３の振動量が目標速度設定手段５で設定さ
れた振動量になるようにして移動体２６の移動速度を制
御し、移動体２６の移動方向を反転させる場合は現在の
駆動周波数を情報記憶手段６に記憶するとともに駆動周
波数を現在値より充分に高くし、かつ位相を反転させ記
憶値に掃引した後、移動体２６の移動速度を制御する速
度制御手段、８は９０度位相の異なる周波信号を出力す
る９０度位相手段、９，１０は速度制御手段６及び９０
度位相手段８から出力される９０度位相の異なった各々
の周波信号を超音波モータ１を駆動するのに必要な電圧
レベルまで増幅もしくは昇圧して圧電体の各々の電極に
一定の電圧レベルを印加し電力を供給するための電力増
幅手段である。
【００１９】図２は速度制御手段７の速度制御の過程を
示すフローチャート、図３は速度制御手段７の反転動作
の過程を示すフローチャートである。
示すフローチャート、図３は速度制御手段７の反転動作
の過程を示すフローチャートである。
【００２０】以上のように構成された本実施例の超音波
モータの制御装置について、以下その動作を図面を基に
説明する。
モータの制御装置について、以下その動作を図面を基に
説明する。
【００２１】目標速度設定手段５は移動体２６の移動速
度と振動体２３の振動量の関係データを基に移動体２６
の目標速度値として目標の振動量を速度制御手段７に出
力する。速度制御手段７は演算処理を行い、駆動周波数
を変えて振動体２３の振動量が目標の振動量になるよう
に制御し、反転時には現在の駆動周波数を情報記憶手段
６に記憶するとともに駆動周波数を現在値より充分に高
くし、かつ位相を反転させ記憶値に掃引した後、移動体
２６の移動速度を制御する。９０度位相手段８は速度制
御手段７より出力された駆動周波数の位相を９０度ずら
す。電力増幅手段９，１０は速度制御手段７及び９０度
位相手段８から出力される９０度位相の異なった各々の
周波信号を超音波モータ１を駆動するのに必要な電圧レ
ベルまで増幅もしくは昇圧して圧電体の各々の電極に一
定の電圧レベルを印加し電力を供給する。その結果、振
動体２３が振動し、移動体２６が駆動される。この振動
体２３の振動量は振動量検出手段２及び、Ａ／Ｄ変換手
段３を通じて速度制御手段７に出力される。
度と振動体２３の振動量の関係データを基に移動体２６
の目標速度値として目標の振動量を速度制御手段７に出
力する。速度制御手段７は演算処理を行い、駆動周波数
を変えて振動体２３の振動量が目標の振動量になるよう
に制御し、反転時には現在の駆動周波数を情報記憶手段
６に記憶するとともに駆動周波数を現在値より充分に高
くし、かつ位相を反転させ記憶値に掃引した後、移動体
２６の移動速度を制御する。９０度位相手段８は速度制
御手段７より出力された駆動周波数の位相を９０度ずら
す。電力増幅手段９，１０は速度制御手段７及び９０度
位相手段８から出力される９０度位相の異なった各々の
周波信号を超音波モータ１を駆動するのに必要な電圧レ
ベルまで増幅もしくは昇圧して圧電体の各々の電極に一
定の電圧レベルを印加し電力を供給する。その結果、振
動体２３が振動し、移動体２６が駆動される。この振動
体２３の振動量は振動量検出手段２及び、Ａ／Ｄ変換手
段３を通じて速度制御手段７に出力される。
【００２２】速度制御手段７ではこの振動量と目標速度
設定手段５から出力される目標振動量を基に図２に示す
演算処理を行うわけであるが、以下その処理についてフ
ローチャートの順に説明を行う。
設定手段５から出力される目標振動量を基に図２に示す
演算処理を行うわけであるが、以下その処理についてフ
ローチャートの順に説明を行う。
【００２３】ステップＳ１では目標速度設定手段５から
設定される振動体２３の目標振動量を読み込みステップ
Ｓ２に進む。
設定される振動体２３の目標振動量を読み込みステップ
Ｓ２に進む。
【００２４】ステップＳ２では振動体２３の目標振動量
が変わったかどうかチェックし、変わった場合ステップ
Ｓ１に進み、変わらなかった場合ステップＳ３に進む。
が変わったかどうかチェックし、変わった場合ステップ
Ｓ１に進み、変わらなかった場合ステップＳ３に進む。
【００２５】ステップＳ３では振動体２３の現在の振動
量を読み込みステップ４に進む。ステップＳ４ではステ
ップＳ１で読み込んだ目標振動量とステップＳ３で読み
込んだ現在の振動量の差を計算し、速度誤差を求めてス
テップＳ５に進む。
量を読み込みステップ４に進む。ステップＳ４ではステ
ップＳ１で読み込んだ目標振動量とステップＳ３で読み
込んだ現在の振動量の差を計算し、速度誤差を求めてス
テップＳ５に進む。
【００２６】ステップＳ５ではステップＳ４で求めた速
度誤差が０より大きいか比較することで移動体２６の現
在の移動速度が目標速度と比較して速いか遅いか推測す
る。速い場合ステップＳ６に進み、遅い場合ステップＳ
７に進む。
度誤差が０より大きいか比較することで移動体２６の現
在の移動速度が目標速度と比較して速いか遅いか推測す
る。速い場合ステップＳ６に進み、遅い場合ステップＳ
７に進む。
【００２７】ステップＳ６では演算処理を行い、駆動周
波数を上げてステップＳ２に進む。ステップＳ７では演
算処理を行い、駆動周波数を下げてステップＳ２に進
む。
波数を上げてステップＳ２に進む。ステップＳ７では演
算処理を行い、駆動周波数を下げてステップＳ２に進
む。
【００２８】このようにして、移動体２６の移動速度が
目標速度になるように制御している。
目標速度になるように制御している。
【００２９】また、移動方向設定手段４からの設定によ
り移動体２６の移動方向を反転する場合は、図３に示す
演算処理を行った後、図２に示す演算処理を行うわけで
あるが、以下その処理についてフローチャートの順に説
明を行う。
り移動体２６の移動方向を反転する場合は、図３に示す
演算処理を行った後、図２に示す演算処理を行うわけで
あるが、以下その処理についてフローチャートの順に説
明を行う。
【００３０】ステップＳ８では現在の駆動周波数を情報
記憶手段６に記憶しステップＳ９に進む。
記憶手段６に記憶しステップＳ９に進む。
【００３１】ステップＳ９では駆動周波数を現在の値よ
り充分高い周波数にしステップＳ１０に進む。
り充分高い周波数にしステップＳ１０に進む。
【００３２】ステップＳ１０では９０度位相手段８の出
力を反転しステップＳ１１に進む。ステップＳ１１では
駆動周波数が記憶値になったかどうかチェックし、なっ
た場合ステップＳ１３に進み、ならなかった場合ステッ
プＳ１２に進む。
力を反転しステップＳ１１に進む。ステップＳ１１では
駆動周波数が記憶値になったかどうかチェックし、なっ
た場合ステップＳ１３に進み、ならなかった場合ステッ
プＳ１２に進む。
【００３３】ステップＳ１２では設定可能な最小周波数
分だけ駆動周波数を小さくしてステップＳ１１に進む。
分だけ駆動周波数を小さくしてステップＳ１１に進む。
【００３４】ステップＳ１３では図２に示した速度制御
の演算処理を行う。以上のように本発明の実施例によれ
ば、移動体の移動方向を反転させる場合に現在の駆動周
波数を記憶するとともに、この駆動周波数を現在値より
充分に高くし、かつ位相を反転させ記憶値に掃引するこ
とにより、目標速度と実際の移動体の速度の差を検出す
ることなく、移動体の移動速度を目標速度近傍にするこ
とができるので、反転に要する時間を短縮することがで
きる。また、本実施例によれば、共振周波数近傍の不安
定な領域で反転動作を行わないので、動作が不安定にな
ることがなく、騒音を防止することができる。
の演算処理を行う。以上のように本発明の実施例によれ
ば、移動体の移動方向を反転させる場合に現在の駆動周
波数を記憶するとともに、この駆動周波数を現在値より
充分に高くし、かつ位相を反転させ記憶値に掃引するこ
とにより、目標速度と実際の移動体の速度の差を検出す
ることなく、移動体の移動速度を目標速度近傍にするこ
とができるので、反転に要する時間を短縮することがで
きる。また、本実施例によれば、共振周波数近傍の不安
定な領域で反転動作を行わないので、動作が不安定にな
ることがなく、騒音を防止することができる。
【００３５】なお、本実施例では、速度情報検出手段と
して振動量検出手段による振動体の振動量から移動体の
速度情報を検出する方式の場合について述べてたが、エ
ンコーダーや磁気センサー等を用いることにより速度情
報を検出する方式の場合でも本発明の目的が達せられ
る。
して振動量検出手段による振動体の振動量から移動体の
速度情報を検出する方式の場合について述べてたが、エ
ンコーダーや磁気センサー等を用いることにより速度情
報を検出する方式の場合でも本発明の目的が達せられ
る。
【００３６】また、本実施例では、駆動周波数や昇圧電
圧の変化量を一定にした場合について述べたが、目標速
度と実際の速度との差に応じて変化量を変えた場合でも
本発明の目的が達せられるのは言うまでもない。
圧の変化量を一定にした場合について述べたが、目標速
度と実際の速度との差に応じて変化量を変えた場合でも
本発明の目的が達せられるのは言うまでもない。
【００３７】
【発明の効果】以上のように本発明は、移動体の移動方
向を反転させる場合に現在の駆動周波数を記憶するとと
もに、この駆動周波数を現在値より充分に高くし、かつ
位相を反転させ記憶値に掃引する構成としたことによ
り、反転に要する時間を短縮することができる。
向を反転させる場合に現在の駆動周波数を記憶するとと
もに、この駆動周波数を現在値より充分に高くし、かつ
位相を反転させ記憶値に掃引する構成としたことによ
り、反転に要する時間を短縮することができる。
【図１】本発明の実施例における超音波モータの制御装
置の構成を示すブロック図
置の構成を示すブロック図
【図２】同実施例における速度制御手段の速度制御の過
程を示すフローチャート
程を示すフローチャート
【図３】同実施例における速度制御手段の反転動作の過
程を示すフローチャート
程を示すフローチャート
【図４】円環形超音波モータの一部切欠斜視図
【図５】円環形超音波モータの振動体の径方向の振動変
位を示す説明図
位を示す説明図
【図６】超音波モータの動作原理を示す説明図
【図７】超音波モータの駆動周波数と移動速度の関係を
示す特性図
示す特性図
１ 超音波モータ ２ 振動量検出手段 ３ Ａ／Ｄ変換手段 ４ 移動方向設定手段 ５ 目標速度設定手段 ６ 情報記憶手段 ７ 速度制御手段 ８ ９０度位相手段 ９，１０ 電力増幅手段
Claims (1)
- 【請求項１】 弾性体と周波電圧で駆動される圧電体か
ら構成される振動体と、前記振動体上に接触して設置し
た移動体を具備し、前記振動体に弾性波を励振すること
により前記移動体を移動させる超音波モータの制御手段
として、前記移動体の移動速度に関する情報を検出する
速度情報検出手段と、前記移動体の移動方向を設定する
移動方向設定手段と、前記移動体の目標速度を設定する
目標速度設定手段と、前記速度情報検出手段の出力情報
を基に前記移動体の移動速度を制御する速度制御手段と
を備え、 前記速度制御手段は、前記周波電圧の周波数を変えるこ
とで前記移動体の移動速度が前記目標速度になるように
制御し、前記移動体の移動方向を反転する場合、前記周
波数を記憶手段に記憶させるとともに前記周波数を現在
値より充分に高くし、かつ位相を反転させ前記記憶値に
掃引した後、前記移動体の移動速度を制御することを特
徴とする超音波モータの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058753A JPH07274547A (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 超音波モータの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058753A JPH07274547A (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 超音波モータの制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07274547A true JPH07274547A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13093306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6058753A Pending JPH07274547A (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 超音波モータの制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07274547A (ja) |
-
1994
- 1994-03-29 JP JP6058753A patent/JPH07274547A/ja active Pending
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