JPH07272259A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JPH07272259A
JPH07272259A JP1152795A JP1152795A JPH07272259A JP H07272259 A JPH07272259 A JP H07272259A JP 1152795 A JP1152795 A JP 1152795A JP 1152795 A JP1152795 A JP 1152795A JP H07272259 A JPH07272259 A JP H07272259A
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protective layer
recording medium
magnetic
layer
magnetic recording
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久雄 河合
Akinori Kurikawa
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Hoya Corp
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Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic recording medium excellent in chemical durability of the magnetic layer by forming two protective layers having mutually different compsns. CONSTITUTION:An underlayer 2, a magnetic layer 3, a 1st protective layer 4a, a 2nd protective layer 4b and a lubricative layer 5 are successively formed on a nonmagnetic substrate 1 to obtain the objective magnetic recording medium. The 1st protective layer 4a is made of a Cr film having 50Angstrom thickness and the 2nd protective layer 4b consists of a metal oxide film 6 using silicon oxide as the metal oxide, fine silica particles 7 having 300Angstrom average particle diameter and fine silica particles 8 having 3,000Angstrom average particle diameter dispersed in the film 6. In the 2nd protective layer 4b, the thickness of the metal oxide film 6 in the region where the fine silica particles 7 and 8 do not exist is 150Angstrom , the existence density of the particles 7 is 20 per 1mum<2> and that of the particles 8 is 0.1 per 1um<2>. Since the 1st protective layer 4a prevents moisture contained in the open air from entering the magnetic layer 3 through the 2nd protective layer 4b, the chemical durability of the magnetic layer 3 is maintained and spacing loss can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等に用
いられる磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium used in a magnetic disk device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置等において磁気
記録媒体に記録される情報量は著しく増加し、磁気記録
媒体に要求される特性は益々厳しくなってきている。こ
の磁気記録媒体には、優れた磁気特性、電磁変換特性を
有する磁性層と、磁気ヘッドとの接触、摺動時の摩擦力
が小さく耐摩耗性が高く、ヘッドクラッシュが起り難
く、さらに防蝕性の優れた保護層とが要求されている。
この為、最近では非磁性体基板上に磁性層を形成した
後、保護層を形成し、さらに必要に応じて潤滑層を形成
して磁気記録媒体を構成することが多い。例えば、特開
昭61−73227号公報では、予めNi−P層を設け
たAl基板上にCoNiP磁性層を設けた後、粒径30
0〜500オングストロームのγ−アルミナ微粒子から
なる硬質微粒子を分散させた酸化ケイ素ポリマー保護層
を設け、さらにパーフルオロポリエーテル潤滑層を順次
設けた磁気記録媒体が開示されている。この特開昭61
−73227号公報には、磁気記録媒体を前述した構成
にすることより保護層の硬度が高くなりコンタクトスタ
ートストップ(以下CSSという)テストに対する耐久
性が向上することが記載されている。ここでCSSテス
トとは、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを当接した状態で
磁気記録媒体の回転を開始し、この回転により磁気ヘッ
ドを磁気記録媒体と摺動しながら浮上させ、そして、所
定時間回転した後、磁気記録媒体の回転を停止して磁気
ヘッドを再び磁気記録媒体に当接し、以下、この回転開
始・停止を繰り返して行なうものであり、磁気記録媒体
が何回のCSS回数を経た後、破損や摩擦係数の増大等
をきたすかを調べ、磁気記録媒体の耐久性を評価するた
めのテストである。
2. Description of the Related Art In recent years, the amount of information recorded on a magnetic recording medium in a magnetic disk device or the like has significantly increased, and the characteristics required for the magnetic recording medium have become more and more severe. This magnetic recording medium has a magnetic layer with excellent magnetic characteristics and electromagnetic conversion characteristics, a small frictional force at the time of contact with the magnetic head and sliding, high wear resistance, head crash does not easily occur, and corrosion resistance An excellent protective layer is required.
Therefore, recently, a magnetic recording medium is often constructed by forming a magnetic layer on a non-magnetic substrate, then forming a protective layer and, if necessary, a lubricating layer. For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 61-73227, a CoNiP magnetic layer is provided on an Al substrate on which a Ni-P layer is provided in advance, and then the grain size is 30.
A magnetic recording medium is disclosed in which a silicon oxide polymer protective layer in which hard fine particles of γ-alumina fine particles of 0 to 500 angstrom are dispersed is provided, and further a perfluoropolyether lubricating layer is sequentially provided. This JP-A-61
JP-A-73227 describes that the hardness of the protective layer is increased and the durability against a contact start stop (hereinafter referred to as CSS) test is improved by using the above-described magnetic recording medium. Here, the CSS test is to start rotation of the magnetic recording medium in a state where the magnetic recording medium and the magnetic head are in contact with each other, and the rotation causes the magnetic head to fly while sliding on the magnetic recording medium, and for a predetermined time. After the rotation, the rotation of the magnetic recording medium is stopped, the magnetic head is brought into contact with the magnetic recording medium again, and thereafter, this rotation start / stop is repeated, and the magnetic recording medium has passed CSS times. This is a test for evaluating the durability of the magnetic recording medium by investigating whether damage or increase in friction coefficient will occur later.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述の構
成の磁気記録媒体は、湿度の低い雰囲気中でCSSテス
トによる耐久性(以下CSS耐久性という)を評価する
と、相応のCSS耐久性を示すが、湿度の高い雰囲気
中、例えば相対温度90%で温度30℃の雰囲気中でC
SS耐久性を評価すると、CSS耐久性は著しく低下
し、例えば数100回のCSS回数で磁気ヘッドとの静
止摩擦係数が増加しはじめ、数1000回のCSS回数
で磁気ヘッドが磁気記録媒体表面に吸着してしまうとい
う現象が起り、またヘッドクラッシュが発生することも
多くなる。
However, the magnetic recording medium having the above-mentioned structure shows a suitable CSS durability when evaluated by CSS test durability (hereinafter referred to as CSS durability) in an atmosphere of low humidity. C in a high humidity atmosphere, for example, in an atmosphere with a relative temperature of 90% and a temperature of 30 ° C.
When the SS durability is evaluated, the CSS durability is remarkably lowered. For example, the static friction coefficient with the magnetic head starts to increase after several hundred CSS times, and the magnetic head reaches the magnetic recording medium surface after several thousand CSS times. The phenomenon of adsorption occurs, and head crash often occurs.

【0004】そしてこのようなCSS耐久性のない磁気
記録媒体を、特に我国の梅雨期や夏期などのように湿度
の高い環境下で使用すると、磁気ディスク装置が使用不
能になってしまうことから重大な問題となっていた。
When such a magnetic recording medium having no CSS durability is used in a high humidity environment such as the rainy season and summer of Japan, the magnetic disk device becomes unusable, which is a serious problem. It was a problem.

【0005】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、その目的は湿度の高い環境下でも
優れた耐久性を有する磁気記録媒体を提供することにあ
る。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a magnetic recording medium having excellent durability even in an environment of high humidity.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、非磁性体基板上に磁性
層、第1保護層および第2保護層を順次形成してなる磁
気記録媒体において、前記第1保護層は、クロムおよび
酸化クロムから選ばれた少なくとも1種の膜からなり、
前記第2保護層は、粒径分布を有する硬質微粒子を含む
金属酸化物膜からなることを特徴とする磁気記録媒体で
ある。
The present invention has been made in order to achieve the above-mentioned object, and is a magnetic layer formed by sequentially forming a magnetic layer, a first protective layer and a second protective layer on a non-magnetic substrate. In the recording medium, the first protective layer comprises at least one film selected from chromium and chromium oxide,
The second protective layer is a magnetic recording medium comprising a metal oxide film containing hard particles having a particle size distribution.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1を参照しつつ詳
細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIG.

【0008】実施例1 図1は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図を示すもの
であり、該磁気記録媒体は、非磁性体基板1上に下地層
2、磁性層3、第1保護層4a、第2保護層4bおよび
潤滑層5を順次設けてなる。前記第1保護層4aは膜厚
が50オングストロームのクロム膜からなる。また前記
第2保護層4bは、金属酸化物としてケイ素酸化物を用
いた金属酸化物膜6と、該金属酸化物膜6中に分散され
た、平均粒径が異なる2種の硬質微粒子、すなわち平均
粒径300オングストロームのシリカ微粒子7と平均粒
径3000オングストロームのシリカ微粒子8とによっ
て構成されている(なおここに平均粒径とは、硬質微粒
子(シリカ微粒子)の平均的な大きさ、すなわち縦と横
とでは径の違う硬質微粒子(シリカ微粒子)を含めて一
群の硬質微粒子(シリカ微粒子)の径を測定し平均した
大きさを意味する)。 また第2保護層4bにおいて硬
質微粒子であるシリカ微粒子7,8が存在しない金属酸
化物膜6の領域の厚さは、150オングストロームであ
り、またシリカ微粒子7の存在密度は20個/1μmス
クウェア、シリカ微粒子8の存在密度は0.1個/1μ
mスクウェアである。
Example 1 FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium of this example. The magnetic recording medium comprises a non-magnetic substrate 1, an underlayer 2, a magnetic layer 3, and a first protective layer. The layer 4a, the second protective layer 4b, and the lubricating layer 5 are sequentially provided. The first protective layer 4a is made of a chromium film having a thickness of 50 Å. The second protective layer 4b is composed of a metal oxide film 6 using silicon oxide as a metal oxide, and two kinds of hard fine particles having different average particle diameters dispersed in the metal oxide film 6, that is, It is composed of silica fine particles 7 having an average particle diameter of 300 angstroms and silica fine particles 8 having an average particle diameter of 3000 angstroms (here, the average particle diameter means an average size of hard fine particles (silica fine particles), that is, a vertical direction. Means the average of the diameters of a group of hard particles (silica particles), including hard particles (silica particles) that differ in diameter between and. In the second protective layer 4b, the thickness of the region of the metal oxide film 6 where the hard silica particles 7, 8 are not present is 150 Å, and the density of the silica particles 7 is 20 pieces / 1 μm square. The existence density of the silica fine particles 8 is 0.1 piece / 1 μ
It is m square.

【0009】この磁気記録媒体は以下のようにして製造
された。すなわち、先ず両主表面を鏡面研磨した、直径
130mm、中心部穴径40mm、厚さ1.9mmのア
ルミニウム合金板(表面粗さ:80オングストローム)
をアルマイト処理して得た非磁性体基板1を用意し、こ
の基板1上に、CrターゲットとArガスを用いるスパ
ッタリング法により膜厚1000オングストロームのC
r膜からなる下地層2を形成した。
This magnetic recording medium was manufactured as follows. That is, first, both main surfaces were mirror-polished, and an aluminum alloy plate having a diameter of 130 mm, a central hole diameter of 40 mm, and a thickness of 1.9 mm (surface roughness: 80 angstrom).
A nonmagnetic substrate 1 obtained by alumite treatment is prepared, and a C film having a film thickness of 1000 angstrom is formed on the substrate 1 by a sputtering method using a Cr target and Ar gas.
The underlayer 2 made of the r film was formed.

【0010】次にこの下地層2上にCoNiCrターゲ
ットとArガスを用いるスパッタリング法により膜厚6
00オングストロームのCoNiCr膜からなる磁性層
3を形成した。
Next, a film thickness 6 is formed on the underlayer 2 by a sputtering method using a CoNiCr target and Ar gas.
A magnetic layer 3 made of a CoNiCr film of 00 angstrom was formed.

【0011】次にCrターゲットとArガスを用いるス
パッタリング法により膜厚50オングストロームのCr
膜からなる第1保護層4aを形成した。この第1保護層
4aは外気に含まれる水分が潤滑層5、第2保護層4b
を経由して磁性層3に入り込むのを防止し、磁性層の化
学的耐久性を更に向上させるために設けられる。
Then, a Cr film having a film thickness of 50 angstrom is formed by a sputtering method using a Cr target and Ar gas.
The first protective layer 4a made of a film was formed. The first protective layer 4a contains moisture contained in the outside air as the lubricating layer 5 and the second protective layer 4b.
It is provided in order to prevent the magnetic layer 3 from entering into the magnetic layer 3 via the magnetic field and further improve the chemical durability of the magnetic layer.

【0012】次に金属アルコキシドであるテトラエトキ
シシラン(Si(OC2 5 4 )と水とメタノールと
酢酸とホルムアミドとをモル比1/2/10/0.1/
0.1となるように調合して得た溶液と、平均粒径が3
00オングストローム(平均粒径の値はコールターカウ
ンター社製の粒度分布測定機コールターカウンターN4
で測定した。以下同様)のシリカ微粒子7と平均粒径が
3000オングストロームのシリカ微粒子8をメタノー
ル中にそれぞれ15wt%ずつ分散させて得た溶液と
を、100/1の割合で混合し、得られた混合液を、上
記第1保護層4a上にスピンコート法により塗布した
後、290℃で30分間熱処理して金属アルコキシドで
あるテトラエトキシシランを金属酸化物であるケイ素酸
化物に転化して金属酸化物膜6を形成し、該金属酸化物
膜6中にシリカ微粒子7とシリカ微粒子8とが分散され
た第2保護層4bを得た。この第2保護層4b中のシリ
カ微粒子の存在しない金属酸化物膜6の領域の厚さは、
上述の如く約150オングストロームであり、走査型電
子顕微鏡により測定したシリカ微粒子の存在密度は、上
述の如く平均粒径300オングストロームのシリカ微粒
子7については20個/1μmスクウェア、平均粒径3
000オングストロームのシリカ微粒子8については
0.1個/1μmスクウェアであった。
Next, tetraethoxysilane (Si (OC 2 H 5 ) 4 ) which is a metal alkoxide, water, methanol, acetic acid and formamide are mixed at a molar ratio of 1/2/10 / 0.1 /.
The solution obtained by blending so as to be 0.1, and the average particle size is 3
00 angstrom (The average particle size is Coulter Counter N4 manufactured by Coulter Counter Co., Ltd.)
It was measured at. The same shall apply hereinafter) and a solution obtained by dispersing 15 wt% of silica fine particles 8 having an average particle diameter of 3000 angstrom in methanol at a ratio of 100/1 are mixed to obtain a mixed liquid. After being coated on the first protective layer 4a by a spin coating method, it is heat-treated at 290 ° C. for 30 minutes to convert tetraethoxysilane, which is a metal alkoxide, into silicon oxide, which is a metal oxide. To obtain a second protective layer 4b in which the silica fine particles 7 and the silica fine particles 8 are dispersed in the metal oxide film 6. The thickness of the region of the metal oxide film 6 in which the silica fine particles do not exist in the second protective layer 4b is
As described above, the density of silica fine particles is about 150 Å, and the density of the silica fine particles measured by a scanning electron microscope is 20 particles / μm square and the average particle size is 3 for the silica fine particles 7 having an average particle size of 300 Å as described above.
With respect to the silica fine particles 8 of 000 angstrom, the number was 0.1 pieces / 1 μm square.

【0013】次に上記第2保護層4b上にスピンコート
法によりフッ素化オイル(デュポン社製KRYTOX
157 FSH)を塗布して膜厚約15オングストロー
ムの潤滑層5を形成して、目的とする磁気記録媒体を得
た。
Then, a fluorinated oil (KRYTOX manufactured by DuPont) is formed on the second protective layer 4b by a spin coating method.
157 FSH) to form a lubricating layer 5 having a film thickness of about 15 angstroms to obtain a desired magnetic recording medium.

【0014】次に、得られた実施例1の磁気記録媒体の
それぞれ10枚について、AlTiCのスライダーを有
する磁気ヘッドを用いて、平均相対湿度90%、平均温
度30℃の雰囲気中でCSSテストを行ない、CSS耐
久性を評価した結果、実施例1の磁気記録媒体は、全1
0枚ともに10000回以上のCSS回数に耐えるのみ
ならず、10000回のCSS回数を経た後でも磁気ヘ
ッドとの静止摩擦係数は平均で約0.5と極めて小さい
値であった。また磁気ヘッドが磁気記録媒体の表面に吸
着することも発生せず、さらにヘッドクラッシュも起ら
なかった。
Next, for each of the 10 magnetic recording media obtained in Example 1, a CSS test was conducted in an atmosphere having an average relative humidity of 90% and an average temperature of 30 ° C. using a magnetic head having an AlTiC slider. As a result of evaluating the CSS durability, the magnetic recording medium of Example 1 was 1
Not only did 0 sheets withstand the number of CSS times of 10,000 times or more, but the static friction coefficient with the magnetic head was a very small value of about 0.5 even after passing the number of CSS times of 10,000 times. Further, the magnetic head did not stick to the surface of the magnetic recording medium, and head crash did not occur.

【0015】以上の結果により、実施例1の磁気記録媒
体は、湿度の高い雰囲気中でもCSS耐久性にすぐれて
いることが明らかとなった。
From the above results, it has been clarified that the magnetic recording medium of Example 1 has excellent CSS durability even in an atmosphere of high humidity.

【0016】次に実施例1の磁気記録媒体について、ス
ペーシングロス(ヘッドと磁気記録媒体の距離の増加に
よる記録密度の低下)の程度を評価すべく、磁気ヘッド
の出力を測定した。なおこの測定において測定機として
米国アデルファイ社製のRD008 メディアサーティ
ファイヤー(モノリシックタイプの磁気ヘッドを使用)
を用い、ヘッドと磁気記録媒体の表面との距離(いわゆ
る浮上高さ)を2000オングストロームとした。その
結果、実施例1の磁気記録媒体の場合、磁気ヘッドの出
力電圧が0.4mVであり、実施例1の磁気記録媒体は
スペーシングロスが少ないことが明らかとなった。
Next, with respect to the magnetic recording medium of Example 1, the output of the magnetic head was measured in order to evaluate the degree of spacing loss (decrease in recording density due to increase in the distance between the head and the magnetic recording medium). In this measurement, the RD008 media certifier (monolithic type magnetic head is used) manufactured by Adelphi, USA
The distance between the head and the surface of the magnetic recording medium (so-called flying height) was set to 2000 angstroms. As a result, it was revealed that in the case of the magnetic recording medium of Example 1, the output voltage of the magnetic head was 0.4 mV, and the magnetic recording medium of Example 1 had less spacing loss.

【0017】以上実施例により本発明を説明してきた
が、本発明は以下の変形例および応用例を含むものであ
る。
Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention includes the following modifications and applications.

【0018】(1) 実施例では、第2保護層における、ケ
イ素酸化物からなる金属酸化物膜を形成するための原料
として、テトラエトキシシランを用いたが、その部分又
は完全加水分解物を用いても良く、またいわゆるゾルゲ
ル法によりケイ素酸化物を形成するものであれば他のケ
イ素アルコキシドやその部分又は完全加水分解物を用い
ても良い。このような例としては、テトラメトキシシラ
ン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトラ−i−プロ
ポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラン、テトラ−
sec−ブトキシシラン、テトラ−tert−ブトキシ
シラン等のテトラアルコキシシランや、これらのテトラ
アルコキシシランのアルコキシ基の1〜3個をアルキル
基に置換したモノアルキルトリアルコキシシラン、ジア
ルキルジアルコキシシラン及びトリアルキルモノアルコ
キシシラン等のケイ素アルコキシド及びこれらの部分又
は完全加水分解物が挙げられる。
(1) In the examples, tetraethoxysilane was used as a raw material for forming the metal oxide film made of silicon oxide in the second protective layer, but a partial or complete hydrolyzate thereof was used. Other silicon alkoxides or partial or complete hydrolysates thereof may be used as long as they form a silicon oxide by the so-called sol-gel method. Such examples include tetramethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-i-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane, tetra-
Tetraalkoxysilanes such as sec-butoxysilane and tetra-tert-butoxysilane, and monoalkyltrialkoxysilanes, dialkyldialkoxysilanes and trialkyls in which 1 to 3 of the alkoxy groups of these tetraalkoxysilanes are substituted with alkyl groups. Silicon alkoxides such as monoalkoxysilanes and their partial or complete hydrolysates are mentioned.

【0019】また金属酸化物膜はアルミニウム酸化物に
よって形成しても良く、このアルミニウム酸化物からな
る膜もアルミニウムアルコキシドやその部分又は完全加
水分解物を用いるゾルゲル法により形成される。これら
の例としては、トリエトキシアルミニウム、トリメトキ
シアルミニウム、トリ−n−プロポキシアルミニウム、
トリ−i−プロポキシアルミニウム、トリ−n−ブトキ
シアルミニウム等のトリアルコキシアルミニウムや、こ
れらのトリアルコキシアルミニウムのアルコキシ基の1
〜2個をアルキル基に置換したモノアルキルジアルコキ
シアルミニウム及びジアルキルモノアルコキシアルミニ
ウム等のアルミニウムのアルコキシド及びこれらの部分
又は完全加水分解物が挙げられる。さらに、金属アルコ
キシドとして、タンタル、タングステン、スズ、ジルコ
ニウム及びチタン等のアルコキシド並びにこれらの部分
又は完全加水分解物を使用し、金属酸化物膜を形成して
も良い。ここに金属酸化物膜とは、上述のようなケイ素
の酸化物等の半金属の酸化物を包含するものとする。
The metal oxide film may be formed of aluminum oxide, and the film made of this aluminum oxide is also formed by a sol-gel method using aluminum alkoxide or its partial or complete hydrolyzate. Examples of these are triethoxy aluminum, trimethoxy aluminum, tri-n-propoxy aluminum,
Trialkoxyaluminum such as tri-i-propoxyaluminum and tri-n-butoxyaluminum, and one of the alkoxy groups of these trialkoxyaluminums.
Examples include aluminum alkoxides such as monoalkyl dialkoxy aluminum and dialkyl monoalkoxy aluminum in which 2 to 2 are substituted with alkyl groups, and partial or complete hydrolysates thereof. Further, as the metal alkoxide, alkoxides of tantalum, tungsten, tin, zirconium, titanium and the like and partial or complete hydrolysates thereof may be used to form the metal oxide film. Here, the metal oxide film includes an oxide of a semimetal such as an oxide of silicon as described above.

【0020】ケイ素、アルミニウム、タンタル、タング
ステン、スズ、ジルコニウム、チタン等の金属酸化物か
らなる膜は、金属アルコキシドを用いる、前記ゾルゲル
法以外の方法で形成しても良い。なお、金属酸化物膜を
構成する金属酸化物として2種以上のものを用いても良
い。
The film made of a metal oxide such as silicon, aluminum, tantalum, tungsten, tin, zirconium or titanium may be formed by a method other than the sol-gel method using a metal alkoxide. Two or more kinds of metal oxides may be used as the metal oxide forming the metal oxide film.

【0021】また、実施例では、ケイ素酸化物からなる
金属酸化物膜の形成に際して、テトラエトキシシランと
水とメタノールと酢酸とホルムアミドとの混合物を用い
たが、酢酸とホルムアミドについてはその一方又は両方
の使用を省略できる。また水を積極的に使用せずに、大
気中の水(水蒸気)を取り込んで金属アルコキシドの加
水分解物を含有する溶液を得ても良い。また前記メタノ
ールの代りにエチルアルコールやブチルアルコール等を
用いても良い。
Further, in the examples, a mixture of tetraethoxysilane, water, methanol, acetic acid and formamide was used in forming the metal oxide film made of silicon oxide, but one or both of acetic acid and formamide were used. Can be omitted. Further, without using water positively, water (steam) in the atmosphere may be taken in to obtain a solution containing the hydrolyzate of the metal alkoxide. Further, ethyl alcohol, butyl alcohol, or the like may be used instead of the methanol.

【0022】(2) 実施例では、金属酸化物膜中に分散さ
れる硬質微粒子として、シリカ微粒子を用いたが、硬質
性を有するものであれば、他の無機系微粒子を用いても
良く、その例としてアルミナ、ジルコニア、チタニア、
炭化ケイ素、炭化タングステン等の微粒子が挙げられ
る。硬質微粒子として種類の異なる2種以上のものを用
いることもできる。
(2) In the embodiment, silica fine particles are used as the hard fine particles dispersed in the metal oxide film, but other inorganic fine particles may be used as long as they have hardness. As an example, alumina, zirconia, titania,
Examples include fine particles of silicon carbide, tungsten carbide and the like. It is also possible to use two or more kinds of different hard particles.

【0023】(3) 実施例では、第1保護層の膜厚を50
オングストロームとしたが、この膜厚は30〜80オン
グストロームの範囲とするのが好ましい。その理由は、
30オングストローム未満であると、磁性層に対する保
護機能が低下しやすく、80オングストロームを超える
とスペーシングロスが大きくなり磁器特性が低下しやす
いからである。
(3) In the embodiment, the thickness of the first protective layer is 50.
Although the thickness is set to angstrom, it is preferable that the film thickness is in the range of 30 to 80 angstrom. The reason is,
If it is less than 30 angstroms, the protective function for the magnetic layer tends to deteriorate, and if it exceeds 80 angstroms, spacing loss increases and the porcelain characteristics tend to deteriorate.

【0024】また実施例では、第2保護層中の硬質微粒
子の存在しない金属酸化物膜の領域の厚さを150オン
グストロームとしたが、この厚さは50〜400オング
ストロームの範囲とするのが好ましい。
Further, in the embodiment, the thickness of the region of the metal oxide film in which the hard particles are not present in the second protective layer is 150 angstrom, but this thickness is preferably in the range of 50 to 400 angstrom. .

【0025】その理由は50オングストローム未満であ
ると、金属酸化物膜が薄くなりすぎて硬質微粒子を保持
する力が小さくなって、CSS耐久性が悪くなることが
あり、また400オングストロームを超えるとスペーシ
ングロスの問題が発生することがあるからである。
The reason is that if the thickness is less than 50 angstroms, the metal oxide film becomes too thin and the force for holding the hard particles becomes small, so that the CSS durability may deteriorate, and if it exceeds 400 angstroms. This is because the problem of pacing loss may occur.

【0026】(4) 実施例では、平均粒径の小さい硬質微
粒子として平均粒径300オングストロームの硬質微粒
子を、そして平均粒径の大きい硬質微粒子として平均粒
径3000オングストロームの硬質微粒子を用いたが、
前者の平均粒径の小さい硬質微粒子は平均粒径200〜
1000オングストロームの範囲で選択でき、また後者
の平均粒径の大きい硬きい硬質微粒子は1000〜50
00オングストロームの範囲で選択できる。
(4) In the embodiment, hard fine particles having an average particle diameter of 300 Å are used as hard fine particles having a small average particle diameter, and hard fine particles having an average particle diameter of 3000 Å are used as hard fine particles having a large average particle diameter.
The former hard fine particles having a small average particle size have an average particle size of 200-
It can be selected in the range of 1000 angstroms, and the latter hard hard fine particles having a large average particle size are 1000-50.
It can be selected in the range of 00 Å.

【0027】前者の平均粒径200〜1000オングス
トロームの硬質微粒子の存在密度を実施例では20個/
1μmスクウェアとしたが、本発明において、その存在
密度は10〜500個/1μmスクウェアの範囲とする
のが好ましい。
The former density of hard fine particles having an average particle size of 200 to 1000 angstroms is 20 particles /
Although the 1 μm square was used, in the present invention, the existing density is preferably in the range of 10 to 500 pieces / 1 μm square.

【0028】その理由は10個/1μmスクウェア未満
であると、高湿度(例えば相対湿度90%)下のCSS
テストにおいて数100回のCSS回数で静止摩擦係数
が急速に増加しはじめ、また500個/1μmスクウェ
アを超えると、CSSテストの継続により静止摩擦係数
が増加しやすく、しかもスペーシングロスの問題が発生
することがあるからである。
The reason is that if the number is less than 10 pieces / μm square, the CSS under high humidity (for example, 90% relative humidity).
In the test, the static friction coefficient starts to increase rapidly after several hundred CSS times, and when the number exceeds 500 pieces / 1 μm square, the static friction coefficient tends to increase due to the continuation of the CSS test and a problem of spacing loss occurs. Because there is something to do.

【0029】また後者の平均粒径1000〜5000オ
ングストロームの硬質微粒子の存在密度を実施例では
0.1個/1μmスクウェアとしたが、本発明におい
て、その存在密度は0.01〜10個/1μmスクウェ
アの範囲とするのが好ましい。その理由は0.01個/
1μmスクウェア未満であると、CSSテストの継続に
より硬質微粒子がけずられてしまい静止摩擦係数が増加
しやすくなり、また10個/1μmスクウェアを超える
とスペーシングロスの問題が発生することがあるからで
ある。
The density of the latter hard fine particles having an average particle size of 1000 to 5000 angstroms was set to 0.1 pieces / 1 μm square in the examples, but in the present invention, the existence density is 0.01 to 10 pieces / 1 μm. It is preferably in the square range. The reason is 0.01 /
If it is less than 1 μm square, the hard fine particles will be displaced due to the continuation of the CSS test, and the static friction coefficient will easily increase, and if it exceeds 10 pieces / μm square, the problem of spacing loss may occur. is there.

【0030】すなわち、平均粒径の異なる2種の硬質微
粒子の平均粒径の範囲と存在密度の範囲を上記の如く設
定することにより、CSS回数を重ねても静止摩擦係数
の増加が極めて小さくCSS耐久性に特にすぐれ、しか
もスペーシングロスの特に小さい磁気記録媒体を得るこ
とができる。
That is, by setting the range of the average particle size and the range of the existing density of the two types of hard fine particles having different average particle sizes as described above, the increase in the static friction coefficient is extremely small even if the CSS times are repeated, and the CSS is very small. It is possible to obtain a magnetic recording medium having excellent durability and a particularly small spacing loss.

【0031】(5) 実施例では、硬質微粒子として平均粒
径が異なる2種の硬質微粒子を用いたが、本発明の目的
を損わない範囲で上記2種の硬質微粒子以外に他の、1
種以上の硬質微粒子を用いることもできる。また1種の
硬質微粒子も用いることもできる。
(5) In the examples, two kinds of hard fine particles having different average particle diameters were used as the hard fine particles, but other than the above two kinds of hard fine particles, other 1
It is also possible to use one or more kinds of hard fine particles. Also, one kind of hard fine particles can be used.

【0032】(6) 実施例では、非磁性体基板として、ア
ルミニウム合金板を用いたが、アルミニウム合金以外の
金属、ガラス、アルミナ、セラミック、プラスチック等
の他の材質のものも使用することもできる。
(6) In the embodiments, an aluminum alloy plate is used as the non-magnetic substrate, but other materials such as metal other than aluminum alloy, glass, alumina, ceramics, plastics, etc. can also be used. .

【0033】(7) 実施例では、磁性層として、CoNi
Cr膜を形成したが、CoNi,CoPt,CoPなど
の他のCo系合金やFe2 3 などの磁性材料により磁
性層を構成してもよい。
(7) In the embodiment, CoNi is used as the magnetic layer.
Although the Cr film is formed, the magnetic layer may be formed of another Co-based alloy such as CoNi, CoPt, or CoP or a magnetic material such as Fe 2 O 3 .

【0034】(8) 実施例ではCr膜からなる下地層を設
けたが、下地層の材料として、Cr以外にMo、Ti、
Ta等の非磁性材料を用いることができる。なお、下地
層は必須の層でなく、場合によりその形成を省略するこ
ともできる。
(8) In the embodiment, the underlayer made of a Cr film is provided, but as the material of the underlayer, in addition to Cr, Mo, Ti,
A non-magnetic material such as Ta can be used. The base layer is not an essential layer, and its formation may be omitted in some cases.

【0035】(9) 実施例では、磁性層上の第1保護層と
してCr金属膜を形成したが、酸化クロム膜を1層又は
複数層設けてもよい。
(9) In the embodiment, the Cr metal film is formed as the first protective layer on the magnetic layer, but one or more layers of chromium oxide film may be provided.

【0036】(10)実施例では潤滑層の材料としてフッ素
化オイルを用いたが、フルオロカーボン系の液体潤滑剤
やスルホン酸のアルカリ金属塩からなる潤滑剤を用いる
こともできる。なお潤滑層は必須の層でなく、場合によ
りその形成を省略することもできる。
(10) In the embodiment, fluorinated oil is used as the material of the lubricating layer, but a fluorocarbon liquid lubricant or a lubricant containing an alkali metal salt of sulfonic acid may be used. Note that the lubricating layer is not an essential layer, and its formation can be omitted in some cases.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、第
1保護層を設けることにより、外気に含まれる水分が第
2保護層を経由して磁性層に入り込むのが防止され、磁
性層の化学的耐久性が保持される。その結果、高湿度下
におけるCSS耐久性にすぐれ、かつスペーシングロス
の問題のない磁気記録媒体が提供された。
As described above in detail, according to the present invention, by providing the first protective layer, it is possible to prevent the moisture contained in the outside air from entering the magnetic layer via the second protective layer and The chemical durability of the layer is retained. As a result, a magnetic recording medium having excellent CSS durability under high humidity and having no problem of spacing loss was provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1の磁気記録媒体の部分断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium of Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非磁性体基板 2 下地層 3 磁性層 4a 第1保護層 4b 第2保護層 5 潤滑層 6 金属酸化物膜 7,8 シリカ微粒子 1 Non-Magnetic Substrate 2 Underlayer 3 Magnetic Layer 4a First Protective Layer 4b Second Protective Layer 5 Lubricating Layer 6 Metal Oxide Film 7,8 Silica Fine Particles

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性体基板上に磁性層、第1保護層お
よび第2保護層を順次形成してなる磁気記録媒体におい
て、 前記第1保護層は、クロムおよび酸化クロムから選ばれ
た少なくとも1種の膜からなり、 前記第2保護層は、粒径分布を有する硬質微粒子を含む
金属酸化物膜からなることを特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium in which a magnetic layer, a first protective layer and a second protective layer are sequentially formed on a non-magnetic substrate, wherein the first protective layer is at least selected from chromium and chromium oxide. A magnetic recording medium comprising one kind of film, wherein the second protective layer is made of a metal oxide film containing hard particles having a particle size distribution.
【請求項2】 粒径分布が、高湿度環境下において磁気
記録媒体表面とヘッドとの吸着を抑制するように保護層
の表面に凹凸を形成する分布であることを特徴とする請
求項1に記載の磁気記録媒体。
2. The particle size distribution is a distribution in which irregularities are formed on the surface of the protective layer so as to suppress adsorption between the head and the magnetic recording medium surface in a high humidity environment. The magnetic recording medium described.
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