JP2752331B2 - Magnetic recording media - Google Patents

Magnetic recording media

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JP2752331B2
JP2752331B2 JP7011527A JP1152795A JP2752331B2 JP 2752331 B2 JP2752331 B2 JP 2752331B2 JP 7011527 A JP7011527 A JP 7011527A JP 1152795 A JP1152795 A JP 1152795A JP 2752331 B2 JP2752331 B2 JP 2752331B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等に用
いられる磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium used for a magnetic disk drive or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置等において磁気
記録媒体に記録される情報量は著しく増加し、磁気記録
媒体に要求される特性は益々厳しくなってきている。こ
の磁気記録媒体には、優れた磁気特性、電磁変換特性を
有する磁性層と、磁気ヘッドとの接触、摺動時の摩擦力
が小さく耐摩耗性が高く、ヘッドクラッシュが起り難
く、さらに防蝕性の優れた保護層とが要求されている。
この為、最近では非磁性体基板上に磁性層を形成した
後、保護層を形成し、さらに必要に応じて潤滑層を形成
して磁気記録媒体を構成することが多い。例えば、特開
昭61−73227号公報では、予めNi−P層を設け
たAl基板上にCoNiP磁性層を設けた後、粒径30
0〜500オングストロームのγ−アルミナ微粒子から
なる硬質微粒子を分散させた酸化ケイ素ポリマー保護層
を設け、さらにパーフルオロポリエーテル潤滑層を順次
設けた磁気記録媒体が開示されている。この特開昭61
−73227号公報には、磁気記録媒体を前述した構成
にすることより保護層の硬度が高くなりコンタクトスタ
ートストップ(以下CSSという)テストに対する耐久
性が向上することが記載されている。ここでCSSテス
トとは、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを当接した状態で
磁気記録媒体の回転を開始し、この回転により磁気ヘッ
ドを磁気記録媒体と摺動しながら浮上させ、そして、所
定時間回転した後、磁気記録媒体の回転を停止して磁気
ヘッドを再び磁気記録媒体に当接し、以下、この回転開
始・停止を繰り返して行なうものであり、磁気記録媒体
が何回のCSS回数を経た後、破損や摩擦係数の増大等
をきたすかを調べ、磁気記録媒体の耐久性を評価するた
めのテストである。
2. Description of the Related Art In recent years, the amount of information recorded on a magnetic recording medium in a magnetic disk device or the like has increased remarkably, and the characteristics required for the magnetic recording medium have become increasingly severe. This magnetic recording medium has a magnetic layer with excellent magnetic properties and electromagnetic conversion properties, a low frictional force when contacting and sliding with the magnetic head, high abrasion resistance, hard to cause head crash, and corrosion resistance. An excellent protective layer is required.
Therefore, recently, a magnetic recording medium is often formed by forming a magnetic layer on a nonmagnetic substrate, forming a protective layer, and further forming a lubricating layer as necessary. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-73227, after a CoNiP magnetic layer is provided on an Al substrate on which a Ni-P layer is provided in advance, a particle size of 30 nm is obtained.
There is disclosed a magnetic recording medium provided with a silicon oxide polymer protective layer in which hard fine particles of 0-500 angstroms of γ-alumina fine particles are dispersed, and further provided with a perfluoropolyether lubricating layer in order. This Japanese Patent Application Laid-Open
JP-A-73227 describes that the hardness of the protective layer is increased and the durability to a contact start / stop (hereinafter referred to as CSS) test is improved by using the above-described structure of the magnetic recording medium. Here, the CSS test means that the rotation of the magnetic recording medium is started in a state where the magnetic recording medium and the magnetic head are in contact with each other, and the rotation causes the magnetic head to fly while sliding on the magnetic recording medium, and for a predetermined time. After the rotation, the rotation of the magnetic recording medium is stopped, and the magnetic head is again brought into contact with the magnetic recording medium. Thereafter, the rotation start / stop is repeated, and the magnetic recording medium has passed several CSS times. After that, it is a test for examining whether a breakage or an increase in friction coefficient is caused, and evaluating the durability of the magnetic recording medium.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述の構
成の磁気記録媒体は、湿度の低い雰囲気中でCSSテス
トによる耐久性(以下CSS耐久性という)を評価する
と、相応のCSS耐久性を示すが、湿度の高い雰囲気
中、例えば相対温度90%で温度30℃の雰囲気中でC
SS耐久性を評価すると、CSS耐久性は著しく低下
し、例えば数100回のCSS回数で磁気ヘッドとの静
止摩擦係数が増加しはじめ、数1000回のCSS回数
で磁気ヘッドが磁気記録媒体表面に吸着してしまうとい
う現象が起り、またヘッドクラッシュが発生することも
多くなる。
However, when the durability of a magnetic recording medium having the above-described structure is evaluated by a CSS test in a low humidity atmosphere (hereinafter referred to as CSS durability), the magnetic recording medium exhibits appropriate CSS durability. C in an atmosphere with high humidity, for example, an atmosphere at a relative temperature of 90% and a temperature of 30 ° C.
When the SS durability is evaluated, the CSS durability remarkably decreases. For example, the coefficient of static friction with the magnetic head starts to increase when the number of CSSs is several hundred, and when the number of CSSs is several thousand, the magnetic head comes to the surface of the magnetic recording medium. The phenomenon of sticking occurs, and a head crash often occurs.

【0004】そしてこのようなCSS耐久性のない磁気
記録媒体を、特に我国の梅雨期や夏期などのように湿度
の高い環境下で使用すると、磁気ディスク装置が使用不
能になってしまうことから重大な問題となっていた。
If such a magnetic recording medium having no CSS durability is used in a humid environment, such as in the rainy season or summer in Japan, the magnetic disk device becomes unusable. Was a problem.

【0005】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、その目的は湿度の高い環境下でも
優れた耐久性を有する磁気記録媒体を提供することにあ
る。
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having excellent durability even in a high humidity environment.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、非磁性体基板上に磁性
層、第1保護層および第2保護層を順次形成してなる磁
気記録媒体において、前記第1保護層は、クロムおよび
酸化クロムから選ばれた少なくとも1種の膜からなり、
前記第2保護層は、粒径の異なる複数種類の硬質微粒子
を分散状態で含む金属酸化物膜からなることを特徴とす
る磁気記録媒体である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above-mentioned object, and comprises a magnetic layer formed by sequentially forming a magnetic layer, a first protective layer and a second protective layer on a non-magnetic substrate. In the recording medium, the first protective layer includes at least one film selected from chromium and chromium oxide,
The second protective layer includes a plurality of types of hard fine particles having different particle sizes.
A magnetic recording medium comprising a metal oxide film containing in a dispersed state .

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1を参照しつつ詳
細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIG.

【0008】実施例1 図1は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図を示すもの
であり、該磁気記録媒体は、非磁性体基板1上に下地層
2、磁性層3、第1保護層4a、第2保護層4bおよび
潤滑層5を順次設けてなる。前記第1保護層4aは膜厚
が50オングストロームのクロム膜からなる。また前記
第2保護層4bは、金属酸化物としてケイ素酸化物を用
いた金属酸化物膜6と、該金属酸化物膜6中に分散され
た、平均粒径が異なる2種の硬質微粒子、すなわち平均
粒径300オングストロームのシリカ微粒子7と平均粒
径3000オングストロームのシリカ微粒子8とによっ
て構成されている(なおここに平均粒径とは、硬質微粒
子(シリカ微粒子)の平均的な大きさ、すなわち縦と横
とでは径の違う硬質微粒子(シリカ微粒子)を含めて一
群の硬質微粒子(シリカ微粒子)の径を測定し平均した
大きさを意味する)。 また第2保護層4bにおいて硬
質微粒子であるシリカ微粒子7,8が存在しない金属酸
化物膜6の領域の厚さは、150オングストロームであ
り、またシリカ微粒子7の存在密度は20個/1μmス
クウェア、シリカ微粒子8の存在密度は0.1個/1μ
mスクウェアである。
Embodiment 1 FIG. 1 is a partial sectional view of a magnetic recording medium according to the present embodiment. The magnetic recording medium has an underlayer 2, a magnetic layer 3, a first protective layer A layer 4a, a second protective layer 4b, and a lubricating layer 5 are sequentially provided. The first protective layer 4a is made of a chromium film having a thickness of 50 angstroms. The second protective layer 4b includes a metal oxide film 6 using silicon oxide as a metal oxide, and two types of hard fine particles dispersed in the metal oxide film 6 and having different average particle diameters, It is composed of silica fine particles 7 having an average particle size of 300 angstroms and silica fine particles 8 having an average particle size of 3000 angstroms. (Here, the average particle size means an average size of hard fine particles (silica fine particles), that is, a vertical size. And the width mean the average size of a group of hard fine particles (silica fine particles) including hard fine particles (silica fine particles) having different diameters). In the second protective layer 4b, the thickness of the region of the metal oxide film 6 where the hard silica particles 7, 8 are not present is 150 angstroms, and the density of the silica particles 7 is 20 particles / 1 μm square. The existing density of the silica fine particles 8 is 0.1 particles / 1 μ.
m square.

【0009】この磁気記録媒体は以下のようにして製造
された。すなわち、先ず両主表面を鏡面研磨した、直径
130mm、中心部穴径40mm、厚さ1.9mmのア
ルミニウム合金板(表面粗さ:80オングストローム)
をアルマイト処理して得た非磁性体基板1を用意し、こ
の基板1上に、CrターゲットとArガスを用いるスパ
ッタリング法により膜厚1000オングストロームのC
r膜からなる下地層2を形成した。
This magnetic recording medium was manufactured as follows. That is, an aluminum alloy plate having a diameter of 130 mm, a central hole diameter of 40 mm, and a thickness of 1.9 mm (surface roughness: 80 Å), both of whose main surfaces are mirror-polished first.
Is prepared by alumite treatment, and a 1000 Å thick C film is formed on the substrate 1 by a sputtering method using a Cr target and Ar gas.
An underlayer 2 made of an r film was formed.

【0010】次にこの下地層2上にCoNiCrターゲ
ットとArガスを用いるスパッタリング法により膜厚6
00オングストロームのCoNiCr膜からなる磁性層
3を形成した。
Next, a film thickness of 6 is formed on the underlayer 2 by a sputtering method using a CoNiCr target and Ar gas.
A magnetic layer 3 made of a 00 Å CoNiCr film was formed.

【0011】次にCrターゲットとArガスを用いるス
パッタリング法により膜厚50オングストロームのCr
膜からなる第1保護層4aを形成した。この第1保護層
4aは外気に含まれる水分が潤滑層5、第2保護層4b
を経由して磁性層3に入り込むのを防止し、磁性層の化
学的耐久性を更に向上させるために設けられる。
Next, a 50 angstrom thick Cr film is formed by sputtering using a Cr target and Ar gas.
A first protective layer 4a made of a film was formed. The first protective layer 4a is used for removing the moisture contained in the outside air into the lubricating layer 5 and the second protective layer 4b.
The magnetic layer 3 is provided to prevent the magnetic layer 3 from entering the magnetic layer 3 through the layer and to further improve the chemical durability of the magnetic layer.

【0012】次に金属アルコキシドであるテトラエトキ
シシラン(Si(OC2 5 4 )と水とメタノールと
酢酸とホルムアミドとをモル比1/2/10/0.1/
0.1となるように調合して得た溶液と、平均粒径が3
00オングストローム(平均粒径の値はコールターカウ
ンター社製の粒度分布測定機コールターカウンターN4
で測定した。以下同様)のシリカ微粒子7と平均粒径が
3000オングストロームのシリカ微粒子8をメタノー
ル中にそれぞれ15wt%ずつ分散させて得た溶液と
を、100/1の割合で混合し、得られた混合液を、上
記第1保護層4a上にスピンコート法により塗布した
後、290℃で30分間熱処理して金属アルコキシドで
あるテトラエトキシシランを金属酸化物であるケイ素酸
化物に転化して金属酸化物膜6を形成し、該金属酸化物
膜6中にシリカ微粒子7とシリカ微粒子8とが分散され
た第2保護層4bを得た。この第2保護層4b中のシリ
カ微粒子の存在しない金属酸化物膜6の領域の厚さは、
上述の如く約150オングストロームであり、走査型電
子顕微鏡により測定したシリカ微粒子の存在密度は、上
述の如く平均粒径300オングストロームのシリカ微粒
子7については20個/1μmスクウェア、平均粒径3
000オングストロームのシリカ微粒子8については
0.1個/1μmスクウェアであった。
Next, a metal alkoxide, tetraethoxysilane (Si (OC 2 H 5 ) 4 ), water, methanol, acetic acid and formamide are mixed at a molar ratio of 1/2/10 / 0.1 /
0.1 and a solution having an average particle size of 3
00 angstroms (the average particle size is a particle size distribution analyzer Coulter Counter N4 manufactured by Coulter Counter Co., Ltd.)
Was measured. The same applies to the following), and a solution obtained by dispersing 15% by weight of each of the silica fine particles 7 and the silica fine particles 8 having an average particle diameter of 3000 angstrom in methanol at a ratio of 100 wt. Is applied on the first protective layer 4a by spin coating, and then heat-treated at 290 ° C. for 30 minutes to convert tetraethoxysilane, which is a metal alkoxide, to silicon oxide, which is a metal oxide. Was formed to obtain a second protective layer 4b in which silica fine particles 7 and silica fine particles 8 were dispersed in the metal oxide film 6. The thickness of the region of the metal oxide film 6 in which the silica fine particles do not exist in the second protective layer 4b is:
As described above, the density of the silica fine particles measured by a scanning electron microscope is about 150 angstroms. As described above, the silica fine particles 7 having an average particle diameter of 300 angstroms have a size of 20 particles / 1 μm square and an average particle diameter of 3
Regarding the silica fine particles 8 of 000 angstroms, the size was 0.1 / μm square.

【0013】次に上記第2保護層4b上にスピンコート
法によりフッ素化オイル(デュポン社製KRYTOX
157 FSH)を塗布して膜厚約15オングストロー
ムの潤滑層5を形成して、目的とする磁気記録媒体を得
た。
Next, a fluorinated oil (KRYTOX manufactured by DuPont) is spin-coated on the second protective layer 4b.
157 FSH) to form a lubricating layer 5 having a thickness of about 15 angstroms, thereby obtaining a target magnetic recording medium.

【0014】次に、得られた実施例1の磁気記録媒体の
それぞれ10枚について、AlTiCのスライダーを有
する磁気ヘッドを用いて、平均相対湿度90%、平均温
度30℃の雰囲気中でCSSテストを行ない、CSS耐
久性を評価した結果、実施例1の磁気記録媒体は、全1
0枚ともに10000回以上のCSS回数に耐えるのみ
ならず、10000回のCSS回数を経た後でも磁気ヘ
ッドとの静止摩擦係数は平均で約0.5と極めて小さい
値であった。また磁気ヘッドが磁気記録媒体の表面に吸
着することも発生せず、さらにヘッドクラッシュも起ら
なかった。
Next, a CSS test was performed on each of the ten magnetic recording media of Example 1 in an atmosphere having an average relative humidity of 90% and an average temperature of 30 ° C. using a magnetic head having an AlTiC slider. As a result, the magnetic recording medium of Example 1 was found to have a total of 1
Each of the 0 sheets not only endured the number of CSSs of 10,000 or more, but even after the number of CSSs of 10,000, the coefficient of static friction with the magnetic head was an extremely small value of about 0.5 on average. In addition, the magnetic head did not stick to the surface of the magnetic recording medium, and no head crash occurred.

【0015】以上の結果により、実施例1の磁気記録媒
体は、湿度の高い雰囲気中でもCSS耐久性にすぐれて
いることが明らかとなった。
From the above results, it was clarified that the magnetic recording medium of Example 1 had excellent CSS durability even in a high humidity atmosphere.

【0016】次に実施例1の磁気記録媒体について、ス
ペーシングロス(ヘッドと磁気記録媒体の距離の増加に
よる記録密度の低下)の程度を評価すべく、磁気ヘッド
の出力を測定した。なおこの測定において測定機として
米国アデルファイ社製のRD008 メディアサーティ
ファイヤー(モノリシックタイプの磁気ヘッドを使用)
を用い、ヘッドと磁気記録媒体の表面との距離(いわゆ
る浮上高さ)を2000オングストロームとした。その
結果、実施例1の磁気記録媒体の場合、磁気ヘッドの出
力電圧が0.4mVであり、実施例1の磁気記録媒体は
スペーシングロスが少ないことが明らかとなった。
Next, for the magnetic recording medium of Example 1, the output of the magnetic head was measured in order to evaluate the degree of spacing loss (decrease in recording density due to an increase in the distance between the head and the magnetic recording medium). In this measurement, a RD008 media certifier manufactured by Adelphi Corporation (using a monolithic magnetic head) was used as a measuring device.
And the distance between the head and the surface of the magnetic recording medium (the so-called flying height) was set to 2000 angstroms. As a result, in the case of the magnetic recording medium of Example 1, the output voltage of the magnetic head was 0.4 mV, and it became clear that the magnetic recording medium of Example 1 had a small spacing loss.

【0017】以上実施例により本発明を説明してきた
が、本発明は以下の変形例および応用例を含むものであ
る。
Although the present invention has been described with reference to the embodiment, the present invention includes the following modifications and application examples.

【0018】(1) 実施例では、第2保護層における、ケ
イ素酸化物からなる金属酸化物膜を形成するための原料
として、テトラエトキシシランを用いたが、その部分又
は完全加水分解物を用いても良く、またいわゆるゾルゲ
ル法によりケイ素酸化物を形成するものであれば他のケ
イ素アルコキシドやその部分又は完全加水分解物を用い
ても良い。このような例としては、テトラメトキシシラ
ン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトラ−i−プロ
ポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラン、テトラ−
sec−ブトキシシラン、テトラ−tert−ブトキシ
シラン等のテトラアルコキシシランや、これらのテトラ
アルコキシシランのアルコキシ基の1〜3個をアルキル
基に置換したモノアルキルトリアルコキシシラン、ジア
ルキルジアルコキシシラン及びトリアルキルモノアルコ
キシシラン等のケイ素アルコキシド及びこれらの部分又
は完全加水分解物が挙げられる。
(1) In the embodiment, tetraethoxysilane was used as a raw material for forming a metal oxide film made of silicon oxide in the second protective layer, but a partial or complete hydrolyzate thereof was used. Alternatively, any other silicon alkoxide or its partial or complete hydrolyzate may be used as long as it forms a silicon oxide by a so-called sol-gel method. Such examples include tetramethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-i-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane, tetra-
tetra-alkoxy silanes such as sec-butoxy silane and tetra-tert-butoxy silane, and monoalkyl trialkoxy silanes, dialkyl dialkoxy silanes and trialkyls in which 1 to 3 of the alkoxy groups of these tetraalkoxy silanes are substituted with alkyl groups Examples include silicon alkoxides such as monoalkoxysilanes and their partial or complete hydrolysates.

【0019】また金属酸化物膜はアルミニウム酸化物に
よって形成しても良く、このアルミニウム酸化物からな
る膜もアルミニウムアルコキシドやその部分又は完全加
水分解物を用いるゾルゲル法により形成される。これら
の例としては、トリエトキシアルミニウム、トリメトキ
シアルミニウム、トリ−n−プロポキシアルミニウム、
トリ−i−プロポキシアルミニウム、トリ−n−ブトキ
シアルミニウム等のトリアルコキシアルミニウムや、こ
れらのトリアルコキシアルミニウムのアルコキシ基の1
〜2個をアルキル基に置換したモノアルキルジアルコキ
シアルミニウム及びジアルキルモノアルコキシアルミニ
ウム等のアルミニウムのアルコキシド及びこれらの部分
又は完全加水分解物が挙げられる。さらに、金属アルコ
キシドとして、タンタル、タングステン、スズ、ジルコ
ニウム及びチタン等のアルコキシド並びにこれらの部分
又は完全加水分解物を使用し、金属酸化物膜を形成して
も良い。ここに金属酸化物膜とは、上述のようなケイ素
の酸化物等の半金属の酸化物を包含するものとする。
The metal oxide film may be formed of aluminum oxide, and the film made of this aluminum oxide is also formed by a sol-gel method using aluminum alkoxide or its partial or complete hydrolyzate. Examples of these include aluminum triethoxy, aluminum trimethoxy, aluminum tri-n-propoxy,
Trialkoxyaluminums such as tri-i-propoxyaluminum and tri-n-butoxyaluminum, and one of the alkoxy groups of these trialkoxyaluminums
Alkoxides of aluminum such as monoalkyldialkoxyaluminum and dialkylmonoalkoxyaluminum, in which .about.2 are substituted with alkyl groups, and partially or completely hydrolyzed products thereof. Further, as the metal alkoxide, an alkoxide such as tantalum, tungsten, tin, zirconium, and titanium and a partial or complete hydrolyzate thereof may be used to form a metal oxide film. Here, the metal oxide film includes a metal oxide such as a silicon oxide as described above.

【0020】ケイ素、アルミニウム、タンタル、タング
ステン、スズ、ジルコニウム、チタン等の金属酸化物か
らなる膜は、金属アルコキシドを用いる、前記ゾルゲル
法以外の方法で形成しても良い。なお、金属酸化物膜を
構成する金属酸化物として2種以上のものを用いても良
い。
The film made of a metal oxide such as silicon, aluminum, tantalum, tungsten, tin, zirconium, and titanium may be formed by a method other than the sol-gel method using a metal alkoxide. Note that two or more kinds of metal oxides constituting the metal oxide film may be used.

【0021】また、実施例では、ケイ素酸化物からなる
金属酸化物膜の形成に際して、テトラエトキシシランと
水とメタノールと酢酸とホルムアミドとの混合物を用い
たが、酢酸とホルムアミドについてはその一方又は両方
の使用を省略できる。また水を積極的に使用せずに、大
気中の水(水蒸気)を取り込んで金属アルコキシドの加
水分解物を含有する溶液を得ても良い。また前記メタノ
ールの代りにエチルアルコールやブチルアルコール等を
用いても良い。
In the embodiment, a mixture of tetraethoxysilane, water, methanol, acetic acid and formamide is used for forming a metal oxide film made of silicon oxide. However, one or both of acetic acid and formamide are used. Can be omitted. Alternatively, a solution containing a hydrolyzate of a metal alkoxide may be obtained by taking in water (steam) in the atmosphere without actively using water. Ethyl alcohol, butyl alcohol, or the like may be used instead of methanol.

【0022】(2) 実施例では、金属酸化物膜中に分散さ
れる硬質微粒子として、シリカ微粒子を用いたが、硬質
性を有するものであれば、他の無機系微粒子を用いても
良く、その例としてアルミナ、ジルコニア、チタニア、
炭化ケイ素、炭化タングステン等の微粒子が挙げられ
る。硬質微粒子として種類の異なる2種以上のものを用
いることもできる。
(2) In the embodiment, silica fine particles are used as the hard fine particles dispersed in the metal oxide film, but other inorganic fine particles may be used as long as they have a hard property. Examples include alumina, zirconia, titania,
Fine particles such as silicon carbide and tungsten carbide can be used. Two or more different types of hard fine particles can be used.

【0023】(3) 実施例では、第1保護層の膜厚を50
オングストロームとしたが、この膜厚は30〜80オン
グストロームの範囲とするのが好ましい。その理由は、
30オングストローム未満であると、磁性層に対する保
護機能が低下しやすく、80オングストロームを超える
とスペーシングロスが大きくなり磁器特性が低下しやす
いからである。
(3) In the embodiment, the thickness of the first protective layer is set to 50
Although the thickness was set to be Å, it is preferable that the thickness be in the range of 30 to 80 Å. The reason is,
If the thickness is less than 30 angstroms, the function of protecting the magnetic layer tends to decrease, and if it exceeds 80 angstroms, the spacing loss increases and the porcelain characteristics tend to deteriorate.

【0024】また実施例では、第2保護層中の硬質微粒
子の存在しない金属酸化物膜の領域の厚さを150オン
グストロームとしたが、この厚さは50〜400オング
ストロームの範囲とするのが好ましい。
Further, in the embodiment, the thickness of the region of the metal oxide film in which the hard fine particles are not present in the second protective layer is set to 150 Å, but this thickness is preferably set in the range of 50 to 400 Å. .

【0025】その理由は50オングストローム未満であ
ると、金属酸化物膜が薄くなりすぎて硬質微粒子を保持
する力が小さくなって、CSS耐久性が悪くなることが
あり、また400オングストロームを超えるとスペーシ
ングロスの問題が発生することがあるからである。
The reason is that if the thickness is less than 50 angstroms, the metal oxide film becomes too thin and the force for holding the hard fine particles becomes small, and the CSS durability may be deteriorated. This is because a pacing loss problem may occur.

【0026】(4) 実施例では、平均粒径の小さい硬質微
粒子として平均粒径300オングストロームの硬質微粒
子を、そして平均粒径の大きい硬質微粒子として平均粒
径3000オングストロームの硬質微粒子を用いたが、
前者の平均粒径の小さい硬質微粒子は平均粒径200〜
1000オングストロームの範囲で選択でき、また後者
の平均粒径の大きい硬きい硬質微粒子は1000〜50
00オングストロームの範囲で選択できる。
(4) In the examples, hard fine particles having an average particle size of 300 Å were used as the hard fine particles having a small average particle size, and hard fine particles having an average particle size of 3,000 Å were used as the hard fine particles having a large average particle size.
The former hard fine particles having a small average particle size have an average particle size of 200 to
The hard hard fine particles having a large average particle diameter can be selected from the range of 1000 angstrom.
It can be selected in the range of 00 angstroms.

【0027】前者の平均粒径200〜1000オングス
トロームの硬質微粒子の存在密度を実施例では20個/
1μmスクウェアとしたが、本発明において、その存在
密度は10〜500個/1μmスクウェアの範囲とする
のが好ましい。
The density of the hard fine particles having an average particle diameter of 200 to 1000 angstroms was set to 20 particles /
Although 1 μm square was used, in the present invention, the existence density is preferably in the range of 10 to 500 pieces / 1 μm square.

【0028】その理由は10個/1μmスクウェア未満
であると、高湿度(例えば相対湿度90%)下のCSS
テストにおいて数100回のCSS回数で静止摩擦係数
が急速に増加しはじめ、また500個/1μmスクウェ
アを超えると、CSSテストの継続により静止摩擦係数
が増加しやすく、しかもスペーシングロスの問題が発生
することがあるからである。
The reason is that if the number of squares is less than 10 pieces / 1 μm square, CSS under high humidity (for example, 90% relative humidity)
In the test, the coefficient of static friction starts to increase rapidly after several hundred CSS cycles, and when it exceeds 500 pieces / μm square, the coefficient of static friction tends to increase due to the continuation of the CSS test, and there is a problem of spacing loss. Because it may

【0029】また後者の平均粒径1000〜5000オ
ングストロームの硬質微粒子の存在密度を実施例では
0.1個/1μmスクウェアとしたが、本発明におい
て、その存在密度は0.01〜10個/1μmスクウェ
アの範囲とするのが好ましい。その理由は0.01個/
1μmスクウェア未満であると、CSSテストの継続に
より硬質微粒子がけずられてしまい静止摩擦係数が増加
しやすくなり、また10個/1μmスクウェアを超える
とスペーシングロスの問題が発生することがあるからで
ある。
The density of the hard particles having an average particle diameter of 1,000 to 5,000 angstroms is set to 0.1 particles / 1 μm square in the embodiment, but in the present invention, the density is 0.01 to 10 particles / 1 μm. It is preferably within the range of square. The reason is 0.01 /
If it is less than 1 μm square, the hard fine particles are displaced by the continuation of the CSS test and the coefficient of static friction tends to increase, and if it exceeds 10 particles / 1 μm square, a problem of spacing loss may occur. is there.

【0030】すなわち、平均粒径の異なる2種の硬質微
粒子の平均粒径の範囲と存在密度の範囲を上記の如く設
定することにより、CSS回数を重ねても静止摩擦係数
の増加が極めて小さくCSS耐久性に特にすぐれ、しか
もスペーシングロスの特に小さい磁気記録媒体を得るこ
とができる。
That is, by setting the range of the average particle diameter and the range of the existing density of the two types of hard fine particles having different average particle diameters as described above, the increase in the coefficient of static friction is extremely small even if the CSS frequency is repeated. It is possible to obtain a magnetic recording medium that is particularly excellent in durability and has a particularly small spacing loss.

【0031】(5) 実施例では、硬質微粒子として平均粒
径が異なる2種の硬質微粒子を用いたが、本発明の目的
を損わない範囲で上記2種の硬質微粒子以外に他の、1
種以上の硬質微粒子を用いることもできる。また1種の
硬質微粒子も用いることもできる。
(5) In the examples, two kinds of hard fine particles having different average particle diameters were used as the hard fine particles. However, other than the above two kinds of hard fine particles, other hard fine particles may be used as long as the object of the present invention is not impaired.
Hard particles of more than one kind can also be used. Also, one kind of hard fine particles can be used.

【0032】(6) 実施例では、非磁性体基板として、ア
ルミニウム合金板を用いたが、アルミニウム合金以外の
金属、ガラス、アルミナ、セラミック、プラスチック等
の他の材質のものも使用することもできる。
(6) In the embodiment, the aluminum alloy plate is used as the non-magnetic substrate, but other materials such as metals other than aluminum alloy, glass, alumina, ceramics, plastics and the like can also be used. .

【0033】(7) 実施例では、磁性層として、CoNi
Cr膜を形成したが、CoNi,CoPt,CoPなど
の他のCo系合金やFe2 3 などの磁性材料により磁
性層を構成してもよい。
(7) In the embodiment, the magnetic layer is made of CoNi.
Although the Cr film is formed, the magnetic layer may be made of another Co-based alloy such as CoNi, CoPt, and CoP, or a magnetic material such as Fe 2 O 3 .

【0034】(8) 実施例ではCr膜からなる下地層を設
けたが、下地層の材料として、Cr以外にMo、Ti、
Ta等の非磁性材料を用いることができる。なお、下地
層は必須の層でなく、場合によりその形成を省略するこ
ともできる。
(8) In the embodiment, the underlayer made of the Cr film is provided. However, as the material of the underlayer, Mo, Ti,
A non-magnetic material such as Ta can be used. The underlayer is not an essential layer, and its formation may be omitted in some cases.

【0035】(9) 実施例では、磁性層上の第1保護層と
してCr金属膜を形成したが、酸化クロム膜を1層又は
複数層設けてもよい。
(9) In the embodiment, the Cr metal film is formed as the first protective layer on the magnetic layer. However, one or more chromium oxide films may be provided.

【0036】(10)実施例では潤滑層の材料としてフッ素
化オイルを用いたが、フルオロカーボン系の液体潤滑剤
やスルホン酸のアルカリ金属塩からなる潤滑剤を用いる
こともできる。なお潤滑層は必須の層でなく、場合によ
りその形成を省略することもできる。
(10) Although the fluorinated oil is used as the material of the lubricating layer in the embodiment, a fluorocarbon-based liquid lubricant or a lubricant composed of an alkali metal salt of sulfonic acid may be used. The lubricating layer is not an essential layer, and its formation may be omitted in some cases.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、第
1保護層を設けることにより、外気に含まれる水分が第
2保護層を経由して磁性層に入り込むのが防止され、磁
性層の化学的耐久性が保持される。その結果、高湿度下
におけるCSS耐久性にすぐれ、かつスペーシングロス
の問題のない磁気記録媒体が提供された。
As described in detail above, according to the present invention, the provision of the first protective layer prevents moisture contained in the outside air from entering the magnetic layer via the second protective layer. The chemical durability of the layer is maintained. As a result, a magnetic recording medium having excellent CSS durability under high humidity and having no problem of spacing loss was provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1の磁気記録媒体の部分断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium according to a first embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非磁性体基板 2 下地層 3 磁性層 4a 第1保護層 4b 第2保護層 5 潤滑層 6 金属酸化物膜 7,8 シリカ微粒子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Non-magnetic substrate 2 Underlayer 3 Magnetic layer 4a First protective layer 4b Second protective layer 5 Lubricating layer 6 Metal oxide film 7,8 Silica fine particles

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/72 G11B 5/66──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 5/72 G11B 5/66

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 非磁性体基板上に磁性層、第1保護層お
よび第2保護層を順次形成してなる磁気記録媒体におい
て、 前記第1保護層は、クロムおよび酸化クロムから選ばれ
た少なくとも1種の膜からなり、 前記第2保護層は、粒径の異なる複数種類の硬質微粒子
を分散状態で含む金属酸化物膜からなることを特徴とす
る磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium in which a magnetic layer, a first protective layer and a second protective layer are sequentially formed on a non-magnetic substrate, wherein the first protective layer is at least one selected from chromium and chromium oxide. The second protective layer comprises a plurality of types of hard fine particles having different particle sizes.
A magnetic recording medium comprising a metal oxide film containing in a dispersed state .
【請求項2】 保護層の表面に凹凸形成されている
とを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein irregularities are formed on the surface of the protective layer .
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