JP2752332B2 - Magnetic recording media - Google Patents

Magnetic recording media

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JP2752332B2
JP2752332B2 JP7011528A JP1152895A JP2752332B2 JP 2752332 B2 JP2752332 B2 JP 2752332B2 JP 7011528 A JP7011528 A JP 7011528A JP 1152895 A JP1152895 A JP 1152895A JP 2752332 B2 JP2752332 B2 JP 2752332B2
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magnetic
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等に用
いられる磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium used for a magnetic disk drive or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置等において磁気
記録媒体に記録される情報量は著しく増加し、磁気記録
媒体に要求される特性は益々厳しくなってきている。こ
の磁気記録媒体には、優れた磁気特性、電磁変換特性を
有する磁性層と、磁気ヘッドとの接触、摺動時の摩擦力
が小さく耐摩耗性が高く、ヘッドクラッシュが起り難
く、さらに防蝕性の優れた保護層とが要求されている。
この為、最近では非磁性体基板上に磁性層を形成した
後、保護層を形成し、さらに必要に応じて潤滑層を形成
して磁気記録媒体を構成することが多い。例えば、特開
昭61−73227号公報では、予めNi−P層を設け
たAl基板上にCoNiP磁性層を設けた後、粒径30
0〜500オングストロームのγ−アルミナ微粒子から
なる硬質微粒子を分散させた酸化ケイ素ポリマー保護層
を設け、さらにパーフルオロポリエーテル潤滑層を順次
設けた磁気記録媒体が開示されている。この特開昭61
−73227号公報には、磁気記録媒体を前述した構成
にすることより保護層の硬度が高くなりコンタクトスタ
ートストップ(以下CSSという)テストに対する耐久
性が向上することが記載されている。ここでCSSテス
トとは、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを当接した状態で
磁気記録媒体の回転を開始し、この回転により磁気ヘッ
ドを磁気記録媒体と摺動しながら浮上させ、そして、所
定時間回転した後、磁気記録媒体の回転を停止して磁気
ヘッドを再び磁気記録媒体に当接し、以下、この回転開
始・停止を繰り返して行なうものであり、磁気記録媒体
が何回のCSS回数を経た後、破損や摩擦係数の増大等
をきたすかを調べ、磁気記録媒体の耐久性を評価するた
めのテストである。
2. Description of the Related Art In recent years, the amount of information recorded on a magnetic recording medium in a magnetic disk device or the like has increased remarkably, and the characteristics required for the magnetic recording medium have become increasingly severe. This magnetic recording medium has a magnetic layer with excellent magnetic properties and electromagnetic conversion properties, a low frictional force when contacting and sliding with the magnetic head, high abrasion resistance, hard to cause head crash, and corrosion resistance. An excellent protective layer is required.
Therefore, recently, a magnetic recording medium is often formed by forming a magnetic layer on a nonmagnetic substrate, forming a protective layer, and further forming a lubricating layer as necessary. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-73227, after a CoNiP magnetic layer is provided on an Al substrate on which a Ni-P layer is provided in advance, a particle size of 30 nm is obtained.
There is disclosed a magnetic recording medium provided with a silicon oxide polymer protective layer in which hard fine particles of 0-500 angstroms of γ-alumina fine particles are dispersed, and further provided with a perfluoropolyether lubricating layer in order. This Japanese Patent Application Laid-Open
JP-A-73227 describes that the hardness of the protective layer is increased and the durability to a contact start / stop (hereinafter referred to as CSS) test is improved by using the above-described structure of the magnetic recording medium. Here, the CSS test means that the rotation of the magnetic recording medium is started in a state where the magnetic recording medium and the magnetic head are in contact with each other, and the rotation causes the magnetic head to fly while sliding on the magnetic recording medium, and for a predetermined time. After the rotation, the rotation of the magnetic recording medium is stopped, and the magnetic head is again brought into contact with the magnetic recording medium. Thereafter, the rotation start / stop is repeated, and the magnetic recording medium has passed several CSS times. After that, it is a test for examining whether a breakage or an increase in friction coefficient is caused, and evaluating the durability of the magnetic recording medium.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述の構
成の磁気記録媒体は、湿度の低い雰囲気中でCSSテス
トによる耐久性(以下CSS耐久性という)を評価する
と、相応のCSS耐久性を示すが、湿度の高い雰囲気
中、例えば相対温度90%で温度30℃の雰囲気中でC
SS耐久性を評価すると、CSS耐久性は著しく低下
し、例えば数100回のCSS回数で磁気ヘッドとの静
止摩擦係数が増加しはじめ、数1000回のCSS回数
で磁気ヘッドが磁気記録媒体表面に吸着してしまうとい
う現象が起り、またヘッドクラッシュが発生することも
多くなる。
However, when the durability of a magnetic recording medium having the above-described structure is evaluated by a CSS test in a low humidity atmosphere (hereinafter referred to as CSS durability), the magnetic recording medium exhibits appropriate CSS durability. C in an atmosphere with high humidity, for example, an atmosphere at a relative temperature of 90% and a temperature of 30 ° C.
When the SS durability is evaluated, the CSS durability remarkably decreases. For example, the coefficient of static friction with the magnetic head starts to increase when the number of CSSs is several hundred, and when the number of CSSs is several thousand, the magnetic head comes to the surface of the magnetic recording medium. The phenomenon of sticking occurs, and a head crash often occurs.

【0004】そしてこのようなCSS耐久性のない磁気
記録媒体を、特に我国の梅雨期や夏期などのように湿度
の高い環境下で使用すると、磁気ディスク装置が使用不
能になってしまうことから重大な問題となっていた。
If such a magnetic recording medium having no CSS durability is used in a humid environment, such as in the rainy season or summer in Japan, the magnetic disk device becomes unusable. Was a problem.

【0005】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、その目的は湿度の高い環境下でも
優れた耐久性を有する磁気記録媒体を提供することにあ
る。
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having excellent durability even in a high humidity environment.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、非磁性体基板上に磁性
層および保護層を順次形成してなり、前記保護層が金属
酸化物膜と、該金属酸化物膜中に分散された硬質微粒子
とにより構成されている磁気記録媒体において、前記保
護層中の、硬質微粒子間の硬質微粒子存在しない金属
酸化物膜の領域の厚さが50〜400オングストローム
であり、前記硬質微粒子は、粒径の異なる複数種類の硬
質微粒子からなることを特徴とする磁気記録媒体であ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above object, and comprises a magnetic layer and a protective layer formed sequentially on a non-magnetic substrate, wherein the protective layer is formed of a metal oxide. In a magnetic recording medium comprising a film and hard fine particles dispersed in the metal oxide film, in the protective layer, the thickness of the region of the metal oxide film where no hard fine particles exist between the hard fine particles Is 50 to 400 angstroms, and the hard fine particles include a plurality of types of hard particles having different particle diameters.
A magnetic recording medium comprising fine particles .

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1を参照しつつ詳
細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIG.

【0008】実施例1 図1は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図を示すもの
であり、該磁気記録媒体は、非磁性体基板1上に下地層
2、磁性層3、保護層4および潤滑層5を順次設けてな
り、前記保護層4は、金属酸化物としてケイ素酸化物を
用いた金属酸化物膜6と、該金属酸化物膜6中に分散さ
れた硬質微粒子は粒径分布を有し、平均粒径が異なる2
種の硬質微粒子、すなわち平均粒径300オングストロ
ームのシリカ微粒子7と平均粒径3000オングストロ
ームのシリカ微粒子8とによって構成されている(なお
ここに平均粒径とは、硬質微粒子(シリカ微粒子)の平
均的な大きさ、すなわち縦と横とでは径の違う硬質微粒
子(シリカ微粒子)を含めて一群の硬質微粒子(シリカ
微粒子)の径を測定し平均した大きさを意味する)。
Embodiment 1 FIG. 1 is a partial sectional view of a magnetic recording medium according to the present embodiment. The magnetic recording medium comprises an underlayer 2, a magnetic layer 3, and a protective layer 4 on a non-magnetic substrate 1. And a lubricating layer 5. The protective layer 4 includes a metal oxide film 6 using silicon oxide as a metal oxide, and hard fine particles dispersed in the metal oxide film 6. 2 having different average particle sizes
The hard fine particles (silica fine particles) are composed of various kinds of hard fine particles, that is, silica fine particles 7 having an average particle diameter of 300 angstroms and silica fine particles 8 having an average particle diameter of 3000 angstroms. (Ie, the average size of a group of hard fine particles (silica fine particles) including hard fine particles (silica fine particles) having different diameters in the vertical and horizontal directions).

【0009】また保護層4において、硬質微粒子間の
微粒子(シリカ微粒子7、8)が存在しない金属酸化
物膜6の領域の厚さは、本発明の限定範囲(50〜40
0オングストローム)に含まれる150オングストロー
ムであり、またシリカ微粒子7の存在密度は20個/1
μmスクウェア、シリカ微粒子8の存在密度は0.1個
/1μmスクウェアである。
In the protective layer 4, the thickness of the region of the metal oxide film 6 where the hard fine particles (silica fine particles 7, 8) do not exist between the hard fine particles is limited in the range of the present invention (50 to 50). 40
0 Å), and the density of the silica fine particles 7 is 20 particles / 1.
The existing density of the μm square and the silica fine particles 8 is 0.1 / μm square.

【0010】この磁気記録媒体は以下のようにして製造
された。すなわち、先ず両主表面を鏡面研磨した、直径
130mm、中心部穴径40mm、厚さ1.9mmのア
ルミニウム合金板(表面粗さ:80オングストローム)
をアルマイト処理して得た非磁性体基板1を用意し、こ
の基板1上に、CrターゲットとArガスを用いるスパ
ッタリング法により膜厚1000オングストロームのC
r膜からなる下地層2を形成した。
This magnetic recording medium was manufactured as follows. That is, an aluminum alloy plate having a diameter of 130 mm, a central hole diameter of 40 mm, and a thickness of 1.9 mm (surface roughness: 80 Å), both of whose main surfaces are mirror-polished first.
Is prepared by alumite treatment, and a 1000 Å thick C film is formed on the substrate 1 by a sputtering method using a Cr target and Ar gas.
An underlayer 2 made of an r film was formed.

【0011】次にこの下地層2上にCoNiCrターゲ
ットとArガスを用いるスパッタリング法により膜厚6
00オングストロームのCoNiCr膜からなる磁性層
3を形成した。
Next, a film thickness of 6 is formed on the underlayer 2 by a sputtering method using a CoNiCr target and Ar gas.
A magnetic layer 3 made of a 00 Å CoNiCr film was formed.

【0012】次に金属アルコキシドであるテトラエトキ
シシラン(Si(OC254)と水とメタノールと酢
酸とホルムアミドとをモル比1/2/10/0.1/
0.1となるように調合して得た溶液と、平均粒径が3
00オングストローム(平均粒径の値はコールターカウ
ンター社製の粒度分布測定機コールターカウンターN4
で測定した。以下同様)のシリカ微粒子7と平均粒径が
3000オングストロームのシリカ微粒子8をメタノー
ル中にそれぞれ15wt%ずつ分散させて得た溶液と
を、100/1の割合で混合し、得られた混合液を、上
記磁性層3上にスピンコート法により塗布した後、29
0℃で30分間熱処理して金属アルコキシドであるテト
ラエトキシシランを金属酸化物であるケイ素酸化物に転
化して金属酸化物膜6を形成し、該金属酸化物膜6中に
シリカ微粒子7とシリカ微粒子8とが分散された保護層
4を得た。この保護層4中の、硬質微粒子間のシリカ微
粒子存在しない金属酸化物膜6の領域の厚さは、上述
の如く約150オングストロームであり、走査型電子顕
微鏡により測定したシリカ微粒子の存在密度は、上述の
如く平均粒径300オングストロームのシリカ微粒子7
については20個/1μmスクウェア、平均粒径300
0オングストロームのシリカ微粒子8については0.1
個/1μmスクウェアであった。
Next, a metal alkoxide, tetraethoxysilane (Si (OC 2 H 5 ) 4 ), water, methanol, acetic acid and formamide are mixed at a molar ratio of 1/2/10 / 0.1 /
0.1 and a solution having an average particle size of 3
00 angstroms (the average particle size is a particle size distribution analyzer Coulter Counter N4 manufactured by Coulter Counter Co., Ltd.)
Was measured. The same applies hereinafter) to a solution obtained by dispersing 15% by weight of each of the silica fine particles 7) and silica fine particles 8 having an average particle diameter of 3000 Å in methanol at a ratio of 100/1, and mixing the resulting mixed liquid. After spin coating on the magnetic layer 3, 29
Heat treatment at 0 ° C. for 30 minutes to convert tetraethoxysilane, which is a metal alkoxide, to silicon oxide, which is a metal oxide, to form a metal oxide film 6. The protective layer 4 in which the fine particles 8 were dispersed was obtained. The thickness of the region of the metal oxide film 6 in the protective layer 4 where the silica fine particles are not present between the hard fine particles is about 150 angstroms as described above, and the density of the silica fine particles measured by the scanning electron microscope is as follows. And silica fine particles 7 having an average particle size of 300 Å as described above.
About 20 pieces / 1 μm square, average particle size 300
0.1 Å for silica fine particles 8 of 0 Å
Pieces / μm square.

【0013】次に上記保護層4上にスピンコート法によ
りフッ素化オイル(デュポン社製KRYTOX 157
FSH)を塗布して膜厚約15オングストロームの潤
滑層5を形成して、目的とする磁気記録媒体を得た。
Next, a fluorinated oil (KRYTOX 157 manufactured by DuPont) is applied on the protective layer 4 by spin coating.
FSH) was applied to form a lubricating layer 5 having a thickness of about 15 angstroms, thereby obtaining a target magnetic recording medium.

【0014】得られた、本実施例の磁気記録媒体につい
てCSSテストを行ない、また磁気ヘッドの出力電圧を
測定した。これらの結果は、後記の比較例1〜3の磁気
記録媒体についての結果とともに後に詳述する。
The obtained magnetic recording medium of this embodiment was subjected to a CSS test, and the output voltage of the magnetic head was measured. These results will be described later in detail together with the results of the magnetic recording media of Comparative Examples 1 to 3 described later.

【0015】比較例1 硬質微粒子として、平均粒径が300オングストローム
のシリカ微粒子のみを用い、その存在密度を50個/1
μmスクウェアとした以外は実施例1と同様の方法で本
比較例の磁気記録媒体を得た。
Comparative Example 1 Only silica fine particles having an average particle size of 300 Å were used as the hard fine particles, and the existing density was 50 particles / 1.
A magnetic recording medium of this comparative example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the square was set to μm square.

【0016】比較例2 硬質微粒子として、平均粒径が2000オングストロー
ムのシリカ微粒子のみを用い、その存在密度を10個/
1μmスクウェアとした以外は実施例1と同様にして本
比較例の磁気記録媒体を得た。
Comparative Example 2 Only fine silica particles having an average particle size of 2000 Å were used as the hard fine particles, and the existing density was 10 particles /
A magnetic recording medium of this comparative example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the square was 1 μm.

【0017】比較例3 硬質微粒子として、平均粒径が4000オングストロー
ムのシリカ微粒子のみを用い、その存在密度を10個/
1μmスクウェアとした以外は実施例1と同様の方法で
本比較例の磁気記録媒体を得た。
Comparative Example 3 Only fine silica particles having an average particle size of 4000 Å were used as the hard fine particles, and the density of the fine particles was 10 particles /
A magnetic recording medium of this comparative example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the square was 1 μm.

【0018】次に、得られた、実施例1、2および比較
例1の磁気記録媒体のそれぞれ10枚について、AlT
iCのスライダーを有する磁気ヘッドを用いて、平均相
対湿度90%、平均温度30℃の雰囲気中でCSSテス
トを行ない、CSS耐久性を評価した結果は以下の通り
である。
Next, for each of the ten magnetic recording media of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1,
Using a magnetic head having an iC slider, a CSS test was performed in an atmosphere having an average relative humidity of 90% and an average temperature of 30 ° C., and the results of evaluating the CSS durability were as follows.

【0019】実施例1の磁気記録媒体は、全10枚とも
に10000回以上のCSS回数に耐えるのみならず、
10000回のCSS回数を経た後でも磁気ヘッドとの
静止摩擦係数は平均で約0.5と極めて小さい値であっ
た。また磁気ヘッドが磁気記録媒体の表面に吸着するこ
とも発生せず、さらにヘッドクラッシュも起らなかっ
た。
The magnetic recording medium of the first embodiment not only withstands the number of CSSs of 10,000 or more for all ten sheets,
Even after 10,000 CSS cycles, the coefficient of static friction with the magnetic head was an extremely small value of about 0.5 on average. In addition, the magnetic head did not stick to the surface of the magnetic recording medium, and no head crash occurred.

【0020】これに対して比較例1の磁気記録媒体は、
CSS回数が約100回から磁気ヘッドとの静止摩擦係
数が増加しはじめ、10枚のうち4枚については500
〜1000回のCSS回数で、静止摩擦係数が、CSS
耐久性評価装置のモーターのトルク値をモーターの回転
軸と磁気ヘッドとの距離で除した値より大きくなり測定
不能になってしまった。残り6枚は500〜1000回
のCSS回数でヘッドクラッシュを引き起こしてしまっ
た。なお、ヘッドクラッシュを引き起こす直前の磁気ヘ
ッドとの静止摩擦係数は2.0以上であった。
On the other hand, the magnetic recording medium of Comparative Example 1
The coefficient of static friction with the magnetic head starts to increase from about 100 times of CSS, and 500 out of four out of ten sheets.
With a CSS count of ~ 1000, the static friction coefficient is
The torque value of the motor of the durability evaluation device was larger than the value obtained by dividing the torque between the rotation axis of the motor and the magnetic head, and the measurement became impossible. The remaining six cards caused a head crash at the CSS count of 500 to 1000 times. The coefficient of static friction with the magnetic head immediately before the head crash was 2.0 or more.

【0021】以上の結果により、実施例1の磁気記録媒
体は、比較例1のものに比べて湿度の高い雰囲気中でも
CSS耐久性にすぐれていることが明らかとなった。
From the above results, it was clarified that the magnetic recording medium of Example 1 was excellent in CSS durability even in an atmosphere having a higher humidity than that of Comparative Example 1.

【0022】次に実施例1の磁気記録媒体および比較例
2、3の磁気記録媒体について、スペーシングロス(ヘ
ッドと磁気記録媒体の距離の増加による記録密度の低
下)の程度を評価すべく、磁気ヘッドの出力を測定し
た。なおこの測定において測定機として米国アデルファ
イ社製のRD008 メディアサーティファイヤー(モ
ノリシックタイプの磁気ヘッドを使用)を用い、ヘッド
と磁気記録媒体の表面との距離(いわゆる浮上高さ)を
2000オングストロームとした。その結果、実施例1
の磁気記録媒体の場合、磁気ヘッドの出力電圧が0.4
mVであるのに対し、比較例2、3の磁気記録媒体の場
合、磁気ヘッドの出力電圧がそれぞれ0.25mV、
0.15mVであり、実施例1の磁気記録媒体は比較例
のものに比べスペーシングロスが少ないことが明らかと
なった。
Next, with respect to the magnetic recording medium of Example 1 and the magnetic recording media of Comparative Examples 2 and 3, to evaluate the degree of spacing loss (decrease in recording density due to an increase in the distance between the head and the magnetic recording medium), The output of the magnetic head was measured. In this measurement, an RD008 media certifier (using a monolithic type magnetic head) manufactured by Adelphi Corporation in the United States was used as a measuring instrument, and the distance between the head and the surface of the magnetic recording medium (so-called flying height) was set to 2000 Å. . As a result, Example 1
Magnetic recording medium, the output voltage of the magnetic head is 0.4
In contrast, in the case of the magnetic recording media of Comparative Examples 2 and 3, the output voltage of the magnetic head was 0.25 mV,
0.15 mV, indicating that the spacing loss of the magnetic recording medium of Example 1 was smaller than that of the magnetic recording medium of Comparative Example.

【0023】以上実施例により本発明を説明してきた
が、本発明は以下の変形例および応用例を含むものであ
る。
While the present invention has been described with reference to the embodiment, the present invention includes the following modifications and application examples.

【0024】(1) 実施例では、ケイ素酸化物からなる金
属酸化物膜を形成するための原料として、テトラエトキ
シシランを用いたが、その部分又は完全加水分解物を用
いても良く、またいわゆるゾルゲル法によりケイ素酸化
物を形成するものであれば他のケイ素アルコキシドやそ
の部分又は完全加水分解物を用いても良い。このような
例としては、テトラメトキシシラン、テトラ−n−プロ
ポキシシラン、テトラ−i−プロポキシシラン、テトラ
−n−ブトキシシラン、テトラ−sec−ブトキシシラ
ン、テトラ−tert−ブトキシシラン等のテトラアル
コキシシランや、これらのテトラアルコキシシランのア
ルコキシ基の1〜3個をアルキル基に置換したモノアル
キルトリアルコキシシラン、ジアルキルジアルコキシシ
ラン及びトリアルキルモノアルコキシシラン等のケイ素
アルコキシド及びこれらの部分又は完全加水分解物が挙
げられる。
(1) In the examples, tetraethoxysilane was used as a raw material for forming a metal oxide film made of silicon oxide, but a partial or complete hydrolyzate thereof may be used. As long as a silicon oxide is formed by a sol-gel method, another silicon alkoxide or a partial or complete hydrolyzate thereof may be used. Such examples include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-i-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane, tetra-sec-butoxysilane, and tetra-tert-butoxysilane. And silicon alkoxides such as monoalkyl trialkoxy silanes, dialkyl dialkoxy silanes and trialkyl monoalkoxy silanes in which 1 to 3 of the alkoxy groups of these tetraalkoxy silanes are substituted with alkyl groups, and partial or complete hydrolysates thereof Is mentioned.

【0025】また金属酸化物膜はアルミニウム酸化物に
よって形成しても良く、このアルミニウム酸化物からな
る膜もアルミニウムアルコキシドやその部分又は完全加
水分解物を用いるゾルゲル法により形成される。これら
の例としては、トリエトキシアルミニウム、トリメトキ
シアルミニウム、トリ−n−プロポキシアルミニウム、
トリ−i−プロポキシアルミニウム、トリ−n−ブトキ
シアルミニウム等のトリアルコキシアルミニウムや、こ
れらのトリアルコキシアルミニウムのアルコキシ基の1
〜2個をアルキル基に置換したモノアルキルジアルコキ
シアルミニウム及びジアルキルモノアルコキシアルミニ
ウム等のアルミニウムのアルコキシド及びこれらの部分
又は完全加水分解物が挙げられる。さらに、金属アルコ
キシドとして、タンタル、タングステン、スズ、ジルコ
ニウム及びチタン等のアルコキシド並びにこれらの部分
又は完全加水分解物を使用し、金属酸化物膜を形成して
も良い。ここに金属酸化物とは、上述のようなシリカの
酸化物等を含む半金属の酸化物を包含するものとする。
The metal oxide film may be formed of aluminum oxide, and the film made of this aluminum oxide is also formed by a sol-gel method using aluminum alkoxide or its partial or complete hydrolyzate. Examples of these include aluminum triethoxy, aluminum trimethoxy, aluminum tri-n-propoxy,
Trialkoxyaluminums such as tri-i-propoxyaluminum and tri-n-butoxyaluminum, and one of the alkoxy groups of these trialkoxyaluminums
Alkoxides of aluminum such as monoalkyldialkoxyaluminum and dialkylmonoalkoxyaluminum, in which .about.2 are substituted with alkyl groups, and partially or completely hydrolyzed products thereof. Further, as the metal alkoxide, an alkoxide such as tantalum, tungsten, tin, zirconium, and titanium and a partial or complete hydrolyzate thereof may be used to form a metal oxide film. Here, metal oxides include semi-metal oxides including the above-described silica oxides and the like.

【0026】ケイ素、アルミニウム、タンタル、タング
ステン、スズ、ジルコニウム、チタン等の金属酸化物か
らなる膜は、金属アルコキシドを用いる、前記ゾルゲル
法以外の方法で形成しても良い。なお、金属酸化物膜を
構成する金属酸化物として2種以上のものを用いても良
い。
The film made of a metal oxide such as silicon, aluminum, tantalum, tungsten, tin, zirconium, and titanium may be formed by a method other than the sol-gel method using a metal alkoxide. Note that two or more kinds of metal oxides constituting the metal oxide film may be used.

【0027】また、実施例では、ケイ素酸化物からなる
金属酸化物膜の形成に際して、テトラエトキシシランと
水とメタノールと酢酸とホルムアミドとの混合物を用い
たが、酢酸とホルムアミドについてはその一方又は両方
の使用を省略できる。また水を積極的に使用せずに、大
気中の水(水蒸気)を取り込んで金属アルコキシドの加
水分解物を含有する溶液を得ても良い。また前記メタノ
ールの代りにエチルアルコールやブチルアルコール等を
用いても良い。
In the embodiment, a mixture of tetraethoxysilane, water, methanol, acetic acid and formamide is used for forming a metal oxide film made of silicon oxide. One or both of acetic acid and formamide are used. Can be omitted. Alternatively, a solution containing a hydrolyzate of a metal alkoxide may be obtained by taking in water (steam) in the atmosphere without actively using water. Ethyl alcohol, butyl alcohol, or the like may be used instead of methanol.

【0028】(2) 実施例では、金属酸化物膜中に分散さ
れる硬質微粒子として、シリカ微粒子を用いたが、硬質
性を有するものであれば、他の無機系微粒子を用いても
良く、その例としてアルミナ、ジルコニア、チタニア、
炭化ケイ素、炭化タングステン等の微粒子が挙げられ
る。硬質微粒子として種類の異なる2種以上のものを用
いることもできる。
(2) In the examples, silica fine particles were used as the hard fine particles dispersed in the metal oxide film. However, other inorganic fine particles may be used as long as they have hardness. Examples include alumina, zirconia, titania,
Fine particles such as silicon carbide and tungsten carbide can be used. Two or more different types of hard fine particles can be used.

【0029】(3) 実施例では、保護層中の、硬質微粒子
間の硬質微粒子存在しない金属酸化物膜の領域の厚さ
を150オングストロームとしたが、本発明において、
この厚さは50〜400オングストロームの範囲に限定
される。
(3) In the embodiment , the hard fine particles in the protective layer
Although the thickness of the region of the metal oxide film hard particles do not exist between was 150 Å, in the present invention,
This thickness is limited to the range of 50-400 Angstroms.

【0030】その理由は50オングストローム未満であ
ると、金属酸化物膜が薄くなりすぎて硬質微粒子を保持
する力が小さくなって、CSS耐久性が悪くなり、また
400オングストロームを超えるとスペーシングロスの
問題が発生するからである。
The reason is that if the thickness is less than 50 angstroms, the metal oxide film becomes too thin and the force for holding the hard fine particles is reduced, and the CSS durability is deteriorated. If it exceeds 400 angstroms, the spacing loss is reduced. This is because a problem occurs.

【0031】(4) 実施例では、平均粒径の小さい硬質微
粒子として平均粒径300オングストロームの硬質微粒
子を、そして平均粒径の大きい硬質微粒子として平均粒
径3000オングストロームの硬質微粒子を用いたが、
前者の平均粒径の小さい硬質微粒子は平均粒径200〜
1000オングストロームの範囲で選択でき、また後者
の平均粒径の大きい硬質微粒子は1000〜5000オ
ングストロームの範囲で選択できる(但し、両者の硬質
微粒子として、いずれも平均粒径1000オングストロ
ームのものを使用することはできない)。
(4) In the examples, hard fine particles having an average particle diameter of 300 angstroms were used as hard fine particles having a small average particle diameter, and hard fine particles having an average particle diameter of 3000 angstroms were used as hard fine particles having a large average particle diameter.
The former hard fine particles having a small average particle size have an average particle size of 200 to
The hard fine particles having a large average particle size can be selected in the range of 1000 Å, and the latter hard fine particles having a large average particle size can be selected in the range of 1,000 to 5,000 Å (however, both hard fine particles having an average particle size of 1000 Å must be used. Can not).

【0032】前者の平均粒径200〜1000オングス
トロームの硬質微粒子の存在密度を実施例では20個/
1μmスクウェアとしたが、本発明において、その存在
密度は10〜500個/1μmスクウェアの範囲とする
のが好ましい。
The density of the hard particles having an average particle diameter of 200 to 1000 angstroms was set to 20 particles /
Although 1 μm square was used, in the present invention, the existence density is preferably in the range of 10 to 500 pieces / 1 μm square.

【0033】その理由は10個/1μmスクウェア未満
であると、高湿度(例えば相対湿度90%)下のCSS
テストにおいて数100回のCSS回数で静止摩擦係数
が急速に増加しはじめ、また500個/1μmスクウェ
アを超えると、CSSテストの継続により静止摩擦係数
が増加しやすく、しかもスペーシングロスの問題が発生
することがあるからである。
The reason is that if the number of squares is less than 10 pieces / 1 μm square, CSS under high humidity (for example, 90% relative humidity)
In the test, the coefficient of static friction starts to increase rapidly after several hundred CSS cycles, and when it exceeds 500 pieces / μm square, the coefficient of static friction tends to increase due to the continuation of the CSS test, and there is a problem of spacing loss. Because it may

【0034】また後者の平均粒径1000〜5000オ
ングストロームの硬質微粒子の存在密度を実施例では
0.1個/1μmスクウェアとしたが、本発明におい
て、その存在密度は0.01〜10個/1μmスクウェ
アの範囲とするのが好ましい。その理由は0.01個/
1μmスクウェア未満であると、CSSテストの継続に
より硬質微粒子がけずられてしまい静止摩擦係数が増加
しやすくなり、また10個/1μmスクウェアを超える
とスペーシングロスの問題が発生することがあるからで
ある。
The density of the hard particles having an average particle diameter of 1,000 to 5,000 angstroms was set to 0.1 particles / 1 μm square in the examples, but the density of the hard particles is 0.01 to 10 particles / 1 μm in the present invention. It is preferably within the range of square. The reason is 0.01 /
If it is less than 1 μm square, the hard fine particles are displaced by the continuation of the CSS test and the coefficient of static friction tends to increase, and if it exceeds 10 particles / 1 μm square, a problem of spacing loss may occur. is there.

【0035】すなわち、平均粒径の異なる2種の硬質微
粒子の平均粒径の範囲と存在密度の範囲を上記の如く設
定することにより、CSS回数を重ねても静止摩擦係数
の増加が極めて小さくCSS耐久性に特にすぐれ、しか
もスペーシングロスの特に小さい磁気記録媒体を得るこ
とができる。
That is, by setting the range of the average particle size and the range of the existence density of the two types of hard fine particles having different average particle sizes as described above, the increase in the coefficient of static friction is extremely small even when the CSS frequency is repeated. It is possible to obtain a magnetic recording medium that is particularly excellent in durability and has a particularly small spacing loss.

【0036】(5) 実施例では、硬質微粒子として平均粒
径が異なる2種の硬質微粒子を用いたが、本発明の目的
を損わない範囲で上記2種の硬質微粒子以外に他の、1
種以上の硬質微粒子を用いることもできる。
(5) In the examples, two types of hard fine particles having different average particle diameters were used as the hard fine particles.
Hard particles of more than one kind can also be used.

【0037】(6) 実施例では、非磁性体基板として、ア
ルミニウム合金板を用いたが、アルミニウム合金以外の
金属、ガラス、アルミナ、セラミック、プラスチック等
の他の材質のものも使用することもできる。
(6) In the embodiment, the aluminum alloy plate is used as the non-magnetic substrate, but other materials such as metal other than aluminum alloy, glass, alumina, ceramic, plastic and the like can also be used. .

【0038】(7) 実施例では、磁性層として、CoNi
Cr膜を形成したが、CoNi,CoPt,CoPなど
の他のCo系合金やFe2 3 などの磁性材料により磁
性層を構成してもよい。
(7) In the embodiment, CoNi is used as the magnetic layer.
Although the Cr film is formed, the magnetic layer may be made of another Co-based alloy such as CoNi, CoPt, and CoP, or a magnetic material such as Fe 2 O 3 .

【0039】(8) 実施例ではCr膜からなる下地層を設
けたが、下地層の材料として、Cr以外にMo、Ti、
Ta等の非磁性材料を用いることができる。なお、下地
層は必須の層でなく、場合によりその形成を省略するこ
ともできる。
(8) In the embodiment, the underlayer made of the Cr film is provided. However, as the material of the underlayer, Mo, Ti,
A non-magnetic material such as Ta can be used. The underlayer is not an essential layer, and its formation may be omitted in some cases.

【0040】(9) 実施例では、磁性層上に直接保護層を
形成したが、磁性層と保護層との間にCr等の金属膜又
は酸化クロム等の金属酸化物膜を1層又は複数層介在さ
せて、磁性層の化学的耐久性を更に向上させても良い。
(9) In the embodiment, the protective layer is formed directly on the magnetic layer. However, one or more metal films such as Cr or metal oxide films such as chromium oxide are provided between the magnetic layer and the protective layer. The chemical durability of the magnetic layer may be further improved by interposing the layer.

【0041】(10)実施例では潤滑層の材料としてフッ素
化オイルを用いたが、フルオロカーボン系の液体潤滑剤
やスルホン酸のアルカリ金属塩からなる潤滑剤を用いる
こともできる。なお潤滑層は必須の層でなく、場合によ
りその形成を省略することもできる。
(10) In the embodiment, the fluorinated oil is used as the material of the lubricating layer. However, a fluorocarbon liquid lubricant or a lubricant comprising an alkali metal salt of sulfonic acid may be used. The lubricating layer is not an essential layer, and its formation may be omitted in some cases.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、保
護層の硬質微粒子が存在しない領域の膜厚を所定の値に
選定したことにより、高湿度下におけるCSS耐久性に
すぐれ、かつスペーシングロスの問題のない磁気記録媒
体が提供された。
As described above in detail, according to the present invention, the thickness of the protective layer in the region where the hard fine particles are not present is selected to a predetermined value, so that the CSS has excellent CSS durability under high humidity, and A magnetic recording medium free from spacing loss has been provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1の磁気記録媒体の部分断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium according to a first embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非磁性体基板 2 下地層 3 磁性層 4 保護層 5 潤滑層 6 金属酸化物膜 7,8 シリカ微粒子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Non-magnetic substrate 2 Underlayer 3 Magnetic layer 4 Protective layer 5 Lubrication layer 6 Metal oxide film 7,8 Silica fine particles

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/72 G11B 5/66──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 5/72 G11B 5/66

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 非磁性体基板上に磁性層および保護層を
順次形成してなり、前記保護層が金属酸化物膜と、該金
属酸化物膜中に分散された硬質微粒子とにより構成され
ている磁気記録媒体において、 前記保護層中の、硬質微粒子間の硬質微粒子存在しな
い金属酸化物膜の領域の厚さが50〜400オングスト
ロームであり、 前記硬質微粒子は、粒径の異なる複数種類の硬質微粒子
からなることを特徴とする磁気記録媒体。
A magnetic layer and a protective layer are sequentially formed on a non-magnetic substrate, wherein the protective layer comprises a metal oxide film and hard fine particles dispersed in the metal oxide film. In the magnetic recording medium, in the protective layer, the thickness of the region of the metal oxide film in which the hard fine particles are not present between the hard fine particles is 50 to 400 Å, and the hard fine particles have a plurality of types having different particle diameters. Hard fine particles
The magnetic recording medium characterized in that it consists of.
【請求項2】 保護層の表面に凹凸形成されている
とを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein irregularities are formed on the surface of the protective layer .
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